JP2798803B2 - Method of aligning a plurality of members and recording head manufactured using the method - Google Patents

Method of aligning a plurality of members and recording head manufactured using the method

Info

Publication number
JP2798803B2
JP2798803B2 JP29520690A JP29520690A JP2798803B2 JP 2798803 B2 JP2798803 B2 JP 2798803B2 JP 29520690 A JP29520690 A JP 29520690A JP 29520690 A JP29520690 A JP 29520690A JP 2798803 B2 JP2798803 B2 JP 2798803B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plane
positioning
axis
heater board
top plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP29520690A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04171126A (en
Inventor
正樹 稲葉
剛 馬場
弘司 春山
剛 折笠
孝 大庭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP29520690A priority Critical patent/JP2798803B2/en
Publication of JPH04171126A publication Critical patent/JPH04171126A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2798803B2 publication Critical patent/JP2798803B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、第1の部位が配設された第1の平面及び
この第1の平面と直交する第2の平面を有する第1の部
材と、第1の平面に平行な第3の平面及びこの第3の平
面と直交した第4の平面及びこの第4の平面と所定間隔
離間して平行に、且つ、第2の部位が形成された第5の
平面を有する第2の部材とを、第1及び第2の平面を密
着させ、且つ、第2及び第4の平面を密着させると共
に、第5の表面が外方に位置するように位置合わせす
る、複数部材の位置合わせ方法及びその方法を用いて製
造される記録ヘッドに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a first member having a first plane on which a first portion is provided and a second plane orthogonal to the first plane. And a third plane parallel to the first plane, a fourth plane orthogonal to the third plane, and a second part formed parallel to and spaced from the fourth plane by a predetermined distance. The second member having the fifth plane is brought into close contact with the first and second planes, and the second and fourth planes are brought into close contact with each other, and the fifth surface is positioned outward. The present invention relates to a method of positioning a plurality of members and a recording head manufactured by using the method.

[従来の技術] 近年、インクを吐出して、用紙上に印字させるに際し
て、インクを加熱して泡状になし、所謂バブルジエツト
方式で印字させる印字ヘッドが、印字精度の向上を図る
上で有利であるため、開発され、実用に供されている。
[Related Art] In recent years, when ink is ejected and printed on paper, a print head that heats the ink to form a bubble and prints in a so-called bubble jet method is advantageous in improving the printing accuracy. As such, it has been developed and put into practical use.

このようなバブルジエツト方式の印字ヘツドを組み立
てる組立装置においては、インクを加熱するためのヒー
タと、このヒータで加熱・沸騰され、泡状となったイン
クを用紙に向けて吐出する吐出口とを、ミクロンオーダ
で正確に位置決めしなければならないものである。例え
ば、印字精度として約360dpi(dotts per inch)の高精
度を達成するためには、約4.5mmの範囲に、64個の吐出
穴を等間隔に配列しなければならず、この際の配設ピッ
チは、約70ミクロンと微細な値になるものである。
In an assembling apparatus for assembling such a bubble jet type print head, a heater for heating ink, and a discharge port for discharging foamed ink heated and boiled by this heater toward a sheet of paper are provided. It must be accurately positioned on the order of microns. For example, in order to achieve a high printing accuracy of about 360 dpi (dotts per inch), 64 ejection holes must be arranged at equal intervals within a range of about 4.5 mm. The pitch is a fine value of about 70 microns.

ここで、このような極小間隔での吐出穴の形成は、例
えば、レーザ加工機等の超精密加工装置を用いる事によ
り、天板部材の前面に取り付けられるオリフイスプレー
トに、許容される所定の高精度で吐出穴を形成させるこ
とが出来るものであるし、また、ヒータの形成に際して
は、超精密エッチング技術を用いる事により、同様に、
許容される所定の高精度でヒータボード上に、ヒータを
形成させることが出来るものである。
Here, the formation of the discharge holes at such an extremely small interval is performed, for example, by using an ultra-precision processing device such as a laser processing machine so that the orifice plate attached to the front surface of the top plate member has a predetermined height. The discharge hole can be formed with high accuracy. Also, when forming the heater, by using the ultra-precision etching technology, similarly,
The heater can be formed on the heater board with an allowable predetermined high precision.

[発明が解決しようとする課題] ここで、従来の組立装置においては、第1の部材とし
てのヒータボード上の第1の部位としてのヒータと、第
2の部材としての天板の前面に取り付けられたオリフイ
スプレートに形成された第2の部位としての吐出穴と
を、その軸を正確に一致させた状態で、ヒータボード上
に天板を載置させるべく、その位置合わせを行うため
に、専用の治具を用いてヒータボードと天板とを夫々セ
ツトし、金属顕微鏡により、ヒータと吐出穴とを交互に
観察しながら、手動により位置合わせを行う様にしてい
る。
[Problems to be Solved by the Invention] Here, in a conventional assembling apparatus, a heater as a first portion on a heater board as a first member and a heater attached to a front surface of a top plate as a second member. In order for the top plate to be placed on the heater board, with the discharge hole as the second portion formed in the orifice plate being aligned with its axis exactly, The heater board and the top plate are each set using a dedicated jig, and the alignment is manually performed while alternately observing the heater and the discharge hole with a metallographic microscope.

しかしながら、このような手動による位置合わせで
は、作業のばらつきにより位置調整精度がばらつき、完
成品の信頼性の点で問題が発生している。
However, in such manual alignment, the positional adjustment accuracy varies due to a variation in work, and there is a problem in the reliability of a finished product.

このため、ヒータと吐出穴とを夫々カメラで撮影し、
その撮影した画像情報に基づき、その位置検出を行う事
が考えられる。このような画像情報に基づく位置検出を
利用する事により、その検出精度は飛躍的に高まり、信
頼性の点で全く問題がなくなるものである。
For this reason, the heater and the discharge hole are each photographed with a camera,
It is conceivable to perform the position detection based on the information of the captured image. By using such position detection based on image information, the detection accuracy is dramatically improved, and there is no problem in terms of reliability.

ここで、このような画像情報に基づき位置検出を精度
よくするためには、画像のピントが正確にあっている事
が要求される。しかしながら、高精度のピント合わせを
行おうとすると、焦点深度が浅くなり、このため、所定
の焦点深度の範囲外にカメラが位置していると、目標に
ピントを合わせる合焦動作を無限に繰り返し実行し、実
質的に位置合わせ作業が停止してしまう事になる。
Here, in order to accurately perform position detection based on such image information, it is required that the image be accurately focused. However, when trying to perform high-precision focusing, the depth of focus becomes shallow, so if the camera is located outside the range of the predetermined depth of focus, the focusing operation for focusing on the target is repeatedly executed indefinitely. However, the positioning operation is substantially stopped.

この発明は上述した課題に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは、より正確で、且つ、より
高速の位置合わせ動作をすることのできる複数部材の位
置合わせ方法及びその方法を用いて製造される記録ヘッ
ドを提供することである。
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to use a method of positioning a plurality of members that can perform a more accurate and faster positioning operation and a method thereof. The purpose of the present invention is to provide a recording head which is manufactured by using the following method.

[課題を解決するための手段] 上述した目的を達成するため、この発明に係る複数部
材の位置合わせ方法は、以下の特徴を備える。即ち、 第1の部位が配設された第1の平面及びこの第1の平
面と直交する第2の平面を有する第1の部材と、第1の
平面に平行な第3の平面及びこの第3の平面と直交した
第4の平面及びこの第4の平面と所定間隔離間して平行
に、且つ、第2の部位が形成された第5の平面を有する
第2の部材とを、第1及び第2の平面を密着させ、且
つ、第2及び第4の平面を密着させると共に、第5の表
面が外方に位置するように位置合わせする複数部材の位
置合わせ方法であって、 前記第1の部材の第1の平面を撮影し、この撮影した
画像情報に基づき、第1の部位の配設位置を検出する第
1の検出工程と、 前記第1の部材の第2の平面を撮影した画像を合焦さ
せる合焦工程と、 この合焦位置から、前記所定間隔分だけ、前記第1の
部材を遠のかせるオフセット工程と、 前記オフセットされた第1の部材の上方に第2の部材
を移動させる移動工程と、 第1の部材を第2の部材上に落下させ、第1及び第3
の平面を密着させる落下工程と、 第2の部材の第4の平面が第1の部材の第2の平面に
密着するように引き付ける引き付け工程と、 第2の平面と第4の平面とが互いに密着した状態で、
第5の平面を撮影し、この撮影した画像情報に基づき、
第2の部位の配設位置を検出する第2の検出工程と、 前記第1及び第2の検出工程で検出した第1及び第2
の配設位置に基づき、両配設位置が一致するように、第
1及び第2の部材を相対的に移動させる移動工程とを具
備する。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, a method for aligning a plurality of members according to the present invention has the following features. That is, a first member having a first plane on which the first portion is disposed and a second plane orthogonal to the first plane, a third plane parallel to the first plane, A fourth plane orthogonal to the third plane and a second member having a fifth plane parallel to the fourth plane at a predetermined distance and having a second portion formed thereon, And a second member that is in close contact with the second surface, and in which the second and fourth surfaces are in close contact with each other, and is positioned such that the fifth surface is positioned outward. A first detecting step of photographing a first plane of one member and detecting an arrangement position of a first part based on the photographed image information; and photographing a second plane of the first member A focusing step of focusing the focused image, and moving the first member away from the focused position by the predetermined distance. An offset step, a moving step of moving the second member above the offset first member, and dropping the first member onto the second member, thereby performing the first and third steps.
A step of bringing the second plane into close contact with the second plane, a step of attracting the fourth plane of the second member so that the fourth plane of the first member comes into close contact with the second plane of the first member, In the state of close contact,
The fifth plane is photographed, and based on the photographed image information,
A second detection step of detecting an arrangement position of the second part, and first and second detection steps detected in the first and second detection steps.
A moving step of relatively moving the first and second members based on the arrangement position of the first member and the second member so that the two arrangement positions coincide with each other.

また、好ましくは、前記引き付け工程と第2の検出工
程との間で実行され、第5の平面を撮影し、この第5の
平面の画像を合焦させる第2の合焦工程を更に具備す
る。
Preferably, the method further includes a second focusing step which is executed between the attraction step and the second detection step, takes a fifth plane, and focuses the image of the fifth plane. .

また、この発明に係る複数部材の位置合わせ方法を用
いて製造される記録ヘッドは、以下の特徴を備える。即
ち、 インクを吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、第1の部位が配設された第1の平面及びこ
の第1の平面と直交する第2の平面を有する第1の部材
と、第1の平面に平行な第3の平面及びこの第3の平面
と直交した第4の平面及びこの第4の平面と所定間隔離
間して平行に、且つ、第2の部位が形成された第5の平
面を有する第2の部材とを、第1及び第2の平面を密着
させ、且つ、第2及び第4の平面を密着させると共に、
第5の表面が外方に位置するように位置合わせして製造
される記録ヘッドであって、 前記第1の部材の第1の平面を撮影し、この撮影した
画像情報に基づき、第1の部位の配設位置を検出する第
1の検出工程と、 前記第1の部材の第2の平面を撮影した画像を合焦さ
せる合焦工程と、 この合焦位置から、前記所定間隔分だけ、前記第1の
部材を遠のかせるオフセット工程と、 前記オフセットされた第1の部材の上方に第2の部材
を移動させる移動工程と、 第1の部材を第2の部材上に落下させ、第1及び第3
の平面を密着させる落下工程と、 第2の部材の第4の平面が第1の部材の第2の平面に
密着するように引き付ける引き付け工程と、 第2の平面と第4の平面とが互いに密着した状態で、
第5の平面を撮影し、この撮影した画像情報に基づき、
第2の部位の配設位置を検出する第2の検出工程と、 前記第1及び第2の検出工程で検出した第1及び第2
の配設位置に基づき、両配設位置が一致するように、第
1及び第2の部材を相対的に移動させる移動工程とを具
備する複数部材の位置合わせ方法を用いて製造される。
Further, a recording head manufactured by using the method for aligning a plurality of members according to the present invention has the following features. That is, in an ink jet recording head that performs recording by discharging ink, a first member having a first plane provided with a first portion and a second plane orthogonal to the first plane; A third plane parallel to the first plane, a fourth plane orthogonal to the third plane, a fifth plane parallel to the fourth plane at a predetermined distance, and having a second portion formed therein. And a second member having a flat surface, the first and second planes are brought into close contact with each other, and the second and fourth planes are brought into close contact with each other.
A recording head manufactured by aligning a fifth surface so as to be located outward, wherein a first plane of the first member is photographed, and a first plane is formed based on the photographed image information. A first detection step of detecting an arrangement position of a part; a focusing step of focusing an image obtained by photographing a second plane of the first member; An offset step of moving the first member away, a moving step of moving a second member above the offset first member, dropping the first member onto the second member, 1st and 3rd
A step of bringing the second plane into close contact with the second plane, a step of attracting the fourth plane of the second member so that the fourth plane of the first member comes into close contact with the second plane of the first member, In the state of close contact,
The fifth plane is photographed, and based on the photographed image information,
A second detection step of detecting an arrangement position of the second part, and first and second detection steps detected in the first and second detection steps.
And a moving step of relatively moving the first and second members based on the arrangement position of the plurality of members.

[実施例] 以下に、この発明に係る複数部材の位置合わせ方法の
一実施例が適用される印字用ヘッドノズル組立装置10の
構成を説明する。
[Embodiment] A configuration of a print head nozzle assembly apparatus 10 to which an embodiment of a method for aligning a plurality of members according to the present invention is applied will be described below.

(ヘツドノズル100の説明) 先ず、この発明に係る位置合わせ方法が実施される組
立装置10により組み立てられるヘツドノズル100と、こ
れを搭載したインクジエツトカートリツジ200の概略構
成を、第1図乃至第3図を参照して説明する。
(Description of Head Nozzle 100) First, a schematic configuration of a head nozzle 100 assembled by an assembling apparatus 10 in which an alignment method according to the present invention is carried out, and an ink jet cartridge 200 equipped with the head nozzle 100 are shown in FIGS. This will be described with reference to FIG.

このインクジエツトカートリツジ200は、第1図に示
す様に、インクタンク202とヘツドノズル100とから概略
構成されている。また、このヘツドノズル100は、第2
図及び第3図に示す様に、インク加熱用のヒータ112が
形成されたヒータボード102と、このヒータボード102上
に位置決めされ、複数のインク流路を夫々区分するため
の隔壁や各インク流路へインクを分配するための共通液
室及びこの共通液室にインクを供給するための円筒状の
インク受け口118等を備えた天板104と、この天板104の
前面に一体的に取り付けられ、各インク流路に各々対応
した吐出口106を複数有するオリフイスプレート108とか
ら構成されている。
As shown in FIG. 1, the ink jet cartridge 200 is generally constituted by an ink tank 202 and a head nozzle 100. Also, this head nozzle 100 is
As shown in FIG. 3 and FIG. 3, a heater board 102 on which an ink heating heater 112 is formed, a partition wall positioned on the heater board 102, and a plurality of ink flow paths for partitioning a plurality of ink flow paths, respectively. A top plate 104 having a common liquid chamber for distributing ink to the passage and a cylindrical ink receiving port 118 for supplying ink to the common liquid chamber; and a top plate 104 integrally mounted on a front surface of the top plate 104. And an orifice plate 108 having a plurality of ejection ports 106 respectively corresponding to the respective ink flow paths.

尚、この一実施例においては、これらの吐出口106
は、長さ約4.5mmに渡り等間隔に配設されており、この
間隔の配設により、このヘツドノズル100の印字密度
は、約360dpi(dotts per inch)という高精度になつて
いる。
In this embodiment, these discharge ports 106
Are arranged at equal intervals over a length of about 4.5 mm, and the arrangement of the intervals allows the print density of the head nozzle 100 to be as high as about 360 dpi (dotts per inch).

(組立装置10の説明) 以下に、ヘツドノズル100の組立装置10、即ち、溝付
天板104を、ヒータボード102上に正確に位置決めした状
態で組み付けるための組立装置10の構成、及び、組み付
け方法を、添付図面の第4図以降を参照して、詳細に説
明する。
(Description of Assembling Apparatus 10) Hereinafter, an assembling apparatus 10 for assembling the head nozzle 100, that is, an assembling apparatus 10 for assembling the grooved top plate 104 on the heater board 102 in an accurately positioned state, and an assembling method. Will be described in detail with reference to FIG.

<組立装置10の全体構成の説明> この組立装置10は、第4図に示す様に、図示しない土
台上に水平状態にその載置姿勢を正確に位置決めされた
定盤12を備えている。この定盤12上には、この組立装置
10で組み立てられるヘツドノズル100の一方の構成部品
である所の、予めオリフイスプレート108が取り付けら
れた溝付天板104(以下、単に天板と呼ぶ)を、その取
り付け位置を調整可能に規定する第1の位置調整機構14
と、他方の構成部品である所の、予めベース部材208の
先端部上面に正確に位置決めされた状態で固着されたヒ
ータボード102を、その取り付け位置を調整可能に規定
する第2の位置調整機構16とが設けられている。
<Description of Overall Configuration of Assembling Apparatus 10> As shown in FIG. 4, the assembling apparatus 10 includes a surface plate 12 whose mounting posture is accurately positioned horizontally on a base (not shown). On the surface plate 12, this assembly device
A grooved top plate 104 (hereinafter simply referred to as a top plate) to which an orifice plate 108 is attached in advance, which is one of the components of the head nozzle 100 assembled in 10, is provided so as to adjust the attachment position thereof. 1 position adjustment mechanism 14
And a second position adjusting mechanism that regulates the mounting position of the heater board 102, which is the other component part, which is previously fixed to the upper surface of the distal end portion of the base member 208 in an accurately positioned manner. 16 are provided.

この第1の位置調整機構14は、定盤12上に直接載置さ
れ、定盤12に対してx軸方向(紙面に直行する方向)に
沿つて移動可能な第1のx軸ステージ18と、この第1の
x軸ステージ18上に載置され、第1のx軸ステージ18に
対してz軸方向(図中、上下方向)に沿つて移動可能な
第1のz軸ステージ20と、この第1のz軸ステージ20上
に載置され、第1のz軸ステージ20に対して、y軸方向
(図中、左右方向)に沿つて移動可能な第1のy軸ステ
ージ22と、この第1のy軸ステージ22上にスペーサ24を
介して基端部を載置され、先端部に、上述した天板104
が着脱可能に取り付けられる取り付け機構26と、この取
り付け機構26から取り外され、ヒータボード102上に載
置された溝付天板104の、ヒータボード102に対する位置
決めを実行するための第1の位置決め機構27とから構成
されている。この取り付け機構26と第1の位置決め機構
27との構成は、夫々後に詳細に説明する。
The first position adjustment mechanism 14 is mounted directly on the surface plate 12 and is movable with respect to the surface plate 12 along the x-axis direction (a direction perpendicular to the paper surface). A first z-axis stage 20 mounted on the first x-axis stage 18 and movable with respect to the first x-axis stage 18 along the z-axis direction (vertical direction in the figure); A first y-axis stage 22 mounted on the first z-axis stage 20 and movable with respect to the first z-axis stage 20 along the y-axis direction (left-right direction in the figure); The base end is placed on the first y-axis stage 22 via a spacer 24, and the top plate 104
And a first positioning mechanism for executing the positioning of the grooved top plate 104 removed from the mounting mechanism 26 and placed on the heater board 102 with respect to the heater board 102. It consists of 27. The mounting mechanism 26 and the first positioning mechanism
The configuration with 27 will be described in detail later.

一方、第2の位置調整機構16は、定盤12上に上述した
第1の位置調整機構14に隣接した状態で直接載置され、
定盤12に対して上述したx軸方向に沿つて移動可能な第
2のx軸ステージ28と、この第2のx軸ステージ28上に
載置され、第2のx軸ステージ28に対して上述したz軸
方向に沿つて移動可能な第2のz軸ステージ30と、この
第2のz軸ステージ30上に載置され、第2のz軸ステー
ジ30に対して、上述したy軸方向に沿つて移動可能な第
2のy軸ステージ32と、この第2のy軸ステージ32上に
配設され、ヒータボード102が取り付け固定されるベー
ス部材208を、この第2のy軸ステージ32に対して正確
に位置決めさせた状態で固定させる第2の位置決め機構
33と、天板104をヒータボード102上に所定の接合力が接
合させるための接合力発生機構34とから構成されてい
る。この第2の位置決め機構33と接合力発生機構34との
構成は、後に夫々詳細に説明する。
On the other hand, the second position adjustment mechanism 16 is directly mounted on the surface plate 12 in a state adjacent to the above-described first position adjustment mechanism 14,
A second x-axis stage 28 movable along the above-described x-axis direction with respect to the surface plate 12, and mounted on the second x-axis stage 28; A second z-axis stage 30 movable along the above-described z-axis direction, and a second z-axis stage 30 mounted on the second z-axis stage 30; A second y-axis stage 32 movable along the first y-axis stage 32 and a base member 208 mounted on the second y-axis stage 32 and to which the heater board 102 is attached and fixed are attached to the second y-axis stage 32. Second positioning mechanism for fixing in a state accurately positioned with respect to
33, and a bonding force generating mechanism 34 for bonding the top plate 104 to the heater board 102 with a predetermined bonding force. The configurations of the second positioning mechanism 33 and the joining force generating mechanism 34 will be described later in detail.

ここで、各軸ステージ18,20,22;28,30,32は、図示し
ていないが、各々、駆動モータを備えており、これら駆
動モータは、対応するドライバ36a,36b,36c,36d,36e,36
fを夫々介して、全体制御を司る制御ユニツト38に接続
されている。そして、これら駆動モータは、この制御ユ
ニツト38による制御の下で、第1の位置調整機構14にお
いては、天板104がヒータボード102の上方の所定位置に
来るように、また、第2の位置調整機構16においては、
ヒータボード102が定盤12に対して所定の位置に来るよ
うに、夫々位置決めされるべく、夫々駆動制御されるよ
うになされている。
Here, although not shown, each axis stage 18, 20, 22; 28, 30, 32 includes a drive motor, and these drive motors correspond to the corresponding drivers 36a, 36b, 36c, 36d, 36e, 36
Each is connected to a control unit 38 for controlling the entire system via the respective terminals f. Under the control of the control unit 38, these drive motors are controlled so that the top plate 104 comes to a predetermined position above the heater board 102 in the first position adjustment mechanism 14, and the second position In the adjusting mechanism 16,
The heater boards 102 are respectively driven and controlled so as to be positioned so as to be at predetermined positions with respect to the surface plate 12.

一方、この制御ユニツト38は、天板104を正確に位置
決めするために、その位置を正確に検出する必要がある
が、天板104を撮像した画像に基づき、その位置を正確
に検出する第1の位置検出機構40が、また、ヒータボー
ド102を正確に位置決めするために、その位置を正確に
検出する必要があるが、ヒータボード102を撮像した画
像に基づき、その位置を正確に検出する第2の位置検出
機構42が、共に、画像処理装置44を介して、制御ユニツ
ト38に接続されている。
On the other hand, the control unit 38 needs to accurately detect the position of the top plate 104 in order to accurately position the top plate 104. However, based on an image obtained by capturing the top plate 104, the first control unit 38 accurately detects the position. In order to accurately position the heater board 102, it is necessary for the position detecting mechanism 40 to accurately detect the position. However, based on an image obtained by capturing the heater board 102, the second position detecting mechanism 40 detects the position accurately. The two position detection mechanisms 42 are both connected to the control unit 38 via the image processing device 44.

ここで、この第1の位置検出機構40は、後に詳細に説
明する取り付け機構26により、これの先端に正確に把持
された溝付天板104のオリフイスプレート108の前方に配
設されており、第1の対物レンズ40aと、この第1の対
物レンズ40aを保持する第1の対物レンズホルダ40bと、
第1の落射照明器具40cと、この第1の落射照明器具40c
用の第1の光源40dと、合焦状態を判別する第1の光学
系40eと、これらの光学機器を収納する第1の鏡筒40f
と、第1の対物レンズ40aを介して観察されるオリフイ
スプレート108の画像を写し出す第1のITVカメラ40gと
から構成されている。
Here, the first position detection mechanism 40 is disposed in front of the orifice plate 108 of the grooved top plate 104 accurately grasped at the tip thereof by the attachment mechanism 26 described in detail later. A first objective lens 40a, a first objective lens holder 40b that holds the first objective lens 40a,
A first epi-illumination device 40c and a first epi-illumination device 40c
A first light source 40d, a first optical system 40e for determining an in-focus state, and a first lens barrel 40f for housing these optical devices.
And a first ITV camera 40g that projects an image of the orifice plate 108 observed through the first objective lens 40a.

尚、この第1のITVカメラ40gの画像情報は、第1の信
号変換器46を介して、上述した画像処理装置44に送られ
る。また、この第1の合焦判別用の光学系40eは、第1
の合焦状態検出器48を介して、制御ユニツト38に接続さ
れている。ここで、この第1の位置検出機構40は、図示
しない第1の支柱を介して、前述した定盤12上に取り付
け・固定されている。
The image information of the first ITV camera 40g is sent to the above-described image processing device 44 via the first signal converter 46. The first focusing optical system 40e is provided with a first focusing optical system 40e.
Is connected to the control unit 38 via the in-focus state detector 48. Here, the first position detection mechanism 40 is mounted and fixed on the surface plate 12 via a first support (not shown).

また、上述した第2の位置検出機構42は、後に詳細に
説明する第2の位置決め機構33により、第2のy軸ステ
ージ32上に正確に載置されたヒータボード102の上方に
配設されており、第2の対物レンズ42aと、この第2の
対物レンズ42aを保持する第2の対物レンズホルダ42b
と、第2の落射照明器具42cと、この第2の落射照明器
具42c用の第2の光源42dと、合焦状態を判別する第2の
光学系42eと、これらの光学機器を収納する第2の鏡筒4
2fと、第2の対物レンズ42aを介して観察されるヒータ
ボード102の画像を写し出す第2のITVカメラ42gとから
構成されている。
The above-described second position detection mechanism 42 is disposed above a heater board 102 accurately placed on the second y-axis stage 32 by a second positioning mechanism 33 described in detail later. A second objective lens 42a and a second objective lens holder 42b for holding the second objective lens 42a.
A second epi-illumination device 42c, a second light source 42d for the second epi-illumination device 42c, a second optical system 42e for judging a focused state, and a second optical device for accommodating these optical devices. 2 barrels 4
2f, and a second ITV camera 42g that projects an image of the heater board 102 observed through the second objective lens 42a.

尚、この第2のITVカメラ42gの画像情報は、第2の信
号変換器50を介して、上述した画像処理装置44に送られ
る。また、この第2の合焦判別用の光学系42eは、第2
の合焦状態検出器52を介して、制御ユニツト38に接続さ
れている。ここで、この第2の位置検出機構42は、図示
しない第2の支柱を介して、前述した定盤12上に取り付
け・固定されている。
The image information of the second ITV camera 42g is sent to the above-described image processing device 44 via the second signal converter 50. The second focus determination optical system 42e is
Is connected to the control unit 38 via the in-focus state detector 52. Here, the second position detection mechanism 42 is mounted and fixed on the surface plate 12 via a second support (not shown).

ここで、この一実施例においては、第1の位置検出機
構40における第1の対物レンズ40aの光軸と、第2の位
置検出機構42における第2の対物レンズ42aの光軸との
交わる位置において、組立作業位置αが規定されてい
る。この組立作業位置αにおいては、上述した2本の光
軸は正しく交差している事が好ましいが、別段、実際に
交差していなくても、後述する校正動作を実行する事に
より、実質的に問題ないものである。実際には、2本の
光軸を正しく交差する様に、両光軸の位置合わせをしよ
うと動作は、極めて困難であり、この一実施例の様に、
交差していない事を前提として、そのずれ量Δxを校正
動作により算出し、この算出したずれ量Δxを、第1及
び第2の位置調整機構14,16における位置調整動作にお
いて数値上考慮する事により、このずれ量Δxは、実質
的に無視することが出来る事になる。尚、このずれ量Δ
xを算出する校正動作は、後に詳細に説明する。
Here, in this embodiment, the position where the optical axis of the first objective lens 40a in the first position detection mechanism 40 intersects the optical axis of the second objective lens 42a in the second position detection mechanism 42 , The assembly work position α is defined. At the assembly work position α, it is preferable that the two optical axes described above intersect correctly. However, even if the two optical axes do not actually intersect, it is substantially possible to execute the calibration operation described later. There is no problem. In practice, the operation of aligning the two optical axes so as to intersect the two optical axes correctly is extremely difficult, and as in this embodiment,
Assuming that they do not intersect, the shift amount Δx is calculated by a calibration operation, and the calculated shift amount Δx is numerically considered in the position adjustment operation in the first and second position adjustment mechanisms 14 and 16. As a result, the deviation amount Δx can be substantially ignored. In addition, this deviation amount Δ
The calibration operation for calculating x will be described later in detail.

一方、この組立装置10は、吐出口106と対応する吐出
ヒータ112とを互いに合致せしめた後のヒータボード102
と天板104とを、紫外線硬化性の接着剤を介して互いに
接着する事により、両者の相対位置関係が変化しない様
にするために、換言すれば、両者を仮止めするために、
仮着機構54を備えている。この仮着機構54は、取り付け
機構26の先端部の両側に位置し、夫々の先端が、接着剤
配設部位に向けられた一対のライトガイド56と、両ライ
トガイド56の基端部に接続され、紫外線を発光する紫外
線光源58とから構成されている。
On the other hand, the assembling apparatus 10 includes the heater board 102 after the discharge port 106 and the corresponding discharge heater 112 are matched with each other.
The top plate 104 and the top plate 104 are bonded to each other via an ultraviolet curable adhesive so that the relative positional relationship between the two does not change, in other words, to temporarily fix the two,
A temporary attachment mechanism 54 is provided. The temporary attachment mechanism 54 is located on both sides of the distal end of the mounting mechanism 26, and each distal end is connected to a pair of light guides 56 directed to the adhesive disposing portion and the base ends of both light guides 56. And an ultraviolet light source 58 that emits ultraviolet light.

そして、上述した画像処理装置44は、第1及び第2の
信号変換器46,50を介して第1及び第2のITVカメラ40g,
42gから得られた画像情報に基づき、オリフイスプレー
ト108に形成された吐出口106の形成位置、及び、ヒータ
ボード102上に配設された吐出ヒータ112の配設位置を夫
々算出し、その算出結果を制御ユニツト38に送る様に構
成されている。また、この画像処理装置44には、測定画
像確認用のITVモニタ64、装置調整プログラム及びデー
タ入力用のキーボード62、データ表示用のCRTモニタ66
が接続されており、マン・マシン・インターフエイスが
確立している。
Then, the above-described image processing device 44 is connected to the first and second ITV cameras 40g, 40g via the first and second signal converters 46 and 50.
Based on the image information obtained from 42g, the formation position of the discharge port 106 formed in the orifice plate 108 and the arrangement position of the discharge heater 112 arranged on the heater board 102 are calculated, and the calculation results Is sent to the control unit 38. The image processing device 44 includes an ITV monitor 64 for confirming a measured image, a keyboard 62 for inputting a device adjustment program and data, and a CRT monitor 66 for displaying data.
Is connected, and a man-machine interface is established.

また、上述した制御ユニツト38は、第1及び第2の合
焦状態検出器48,52、及び、画像処理装置44から入力さ
れてきたデータを所定のアルゴリズムで演算し、この演
算結果に基づき、各ステージドライバ36a〜36fを各々介
して、対応する各軸ステージ18,20,22,28,30,32を適宜
駆動制御し、天板104とヒータボード102との相対位置を
調整して、吐出口106と対応する吐出ヒータ112とを互い
に合致せしめる様に、また、この合致後において、仮着
機構54を起動させて、紫外線光源58を作動させて、ヒー
タボード102と天板104との間に介在する接着剤を硬化さ
せる制御動作を実行する様に構成されている。
The control unit 38 calculates the data input from the first and second focus state detectors 48 and 52 and the image processing device 44 by a predetermined algorithm, and based on the calculation result, The respective axis stages 18, 20, 22, 28, 30, and 32 are appropriately driven and controlled via each of the stage drivers 36a to 36f to adjust the relative position between the top plate 104 and the heater board 102, and discharge. To make the outlet 106 and the corresponding discharge heater 112 coincide with each other, and after this coincidence, the temporary attachment mechanism 54 is activated, the ultraviolet light source 58 is operated, and the space between the heater board 102 and the top plate 104 is It is configured to execute a control operation of curing the adhesive interposed in the fin.

ここで、この制御ユニツト38には、組立装置10の操作
用の操作盤66と、動作プログラム設定・変更用のキーボ
ード68と、データ表示用のCRTモニタ70と、データ記録
用のプリンタ72と、データ保存用のデータデイスク74
と、動作プログラムが記憶されたプログラムデイスク76
とが接続され、マン・マシン・インターフエイスが確立
されている。
Here, the control unit 38 includes an operation panel 66 for operating the assembling apparatus 10, a keyboard 68 for setting and changing an operation program, a CRT monitor 70 for displaying data, a printer 72 for recording data, Data disk 74 for data storage
And the program disk 76 storing the operation program
Are connected to each other, and a man-machine interface is established.

<取り付け機構26の説明> 次に、第5図を参照して、天板104が取り付けられる
取り付け機構26の構成を、詳細に説明する。
<Description of Mounting Mechanism 26> Next, with reference to FIG. 5, the configuration of the mounting mechanism 26 to which the top plate 104 is mounted will be described in detail.

この取り付け機構26は、上述した第1のy軸ステージ
22上にスペーサ24を介して取り付け固定される本体26a
を備えている。この本体26aの先端部には、一対の吸引
部材26b,26cが互いに平行に、所定間隔を開けて、夫々
前方に向けて(y軸方向に沿つて)突出した状態で取り
付けられており、これら吸引部材26b,26cは、紫外線透
過性材料、具体的には透明板ガラスから夫々形成されて
いる。
The mounting mechanism 26 is provided with the first y-axis stage described above.
Main body 26a mounted and fixed on spacer 22 via spacer 24
It has. A pair of suction members 26b and 26c are attached to the distal end of the main body 26a in a state of projecting forward (along the y-axis direction) parallel to each other at a predetermined interval, and protruding forward. The suction members 26b and 26c are each formed of an ultraviolet-transmissive material, specifically, a transparent plate glass.

これら吸引部材26b,26cの下面には、吸引孔26d,26eが
夫々開口しており、これら吸引孔26d,26eは、対応する
吸引部材26b,26c内を貫通する連通管26f,26gの端部開口
から夫々規定されており、これら連通管26f,26gは、図
示しない切換弁を夫々介して図示しない負圧発生機構及
び正圧発生機構に選択的に接続されている。
On the lower surfaces of these suction members 26b, 26c, suction holes 26d, 26e are opened, respectively, and these suction holes 26d, 26e are connected to end portions of communication pipes 26f, 26g penetrating through the corresponding suction members 26b, 26c. The communication pipes 26f and 26g are selectively connected to a negative pressure generating mechanism and a positive pressure generating mechanism (not shown) via respective switching valves (not shown).

そして、切換弁が負圧発生機構に接続された状態にお
いて、これら吸引孔26d,26eに発生する吸引力を介し
て、天板104を吸引部材26b,26cの下面に吸引保持する様
になされている。一方、切換弁が正圧発生機構に接続さ
れた状態において、これら吸引孔26d,26eから噴出され
る(逆噴出される)空気により、今まで吸引部材26b,26
cに吸引・保持されていた天板104は、強制的に吸引部材
26b,26cから下方に引き離される事になる。
Then, in a state where the switching valve is connected to the negative pressure generating mechanism, the top plate 104 is suction-held on the lower surfaces of the suction members 26b and 26c via the suction force generated in the suction holes 26d and 26e. I have. On the other hand, in a state where the switching valve is connected to the positive pressure generating mechanism, the air blown out (reversely blown) from these suction holes 26d, 26e causes the suction members 26b, 26
The top plate 104 sucked and held by c is forcibly sucked.
It will be pulled down from 26b and 26c.

尚、この様に、一対の吸引部材26b,26cの下面に吸引
保持された状態で、天板104は、その円筒状のインク受
け口118が、丁度、吸引部材26b,26cの間に入り込んだ姿
勢に、また、オリフイスプレート108が前方に臨んだ姿
勢に設定されている。
In this manner, in the state where the top plate 104 is sucked and held on the lower surfaces of the pair of suction members 26b and 26c, the top plate 104 is positioned such that its cylindrical ink receiving port 118 just enters between the suction members 26b and 26c. In addition, the orifice plate 108 is set in a posture facing forward.

<第1の位置決め機構27の説明> また、この取り付け機構26には、ここから解放され、
ヒータボード102上に落下した天板104のヒータボード10
2に対する位置を正確に位置決めするための第1の位置
決め機構27が設けられている。
<Description of First Positioning Mechanism 27> The attachment mechanism 26 is released from here,
The heater board 10 of the top plate 104 that has fallen on the heater board 102
A first positioning mechanism 27 for accurately positioning the position with respect to 2 is provided.

この第1の位置決め機構27は、天板104のヒータボー
ド102上におけるx軸方向に沿う、即ち、互いに対応す
る吐出口106と吐出ヒータ112とが合致する様に、これら
の配列方向に沿う位置決めを行うx軸位置決め部27A
と、y軸方向に沿う、即ち、オリフイスプレート108の
後面が、ヒータボード102の前端面に密着する様に、位
置決めを行うy軸位置決め部27Bとを備えている。
The first positioning mechanism 27 performs positioning along the x-axis direction of the top plate 104 on the heater board 102, that is, along the arrangement direction such that the discharge ports 106 and the discharge heaters 112 corresponding to each other match. X-axis positioning unit 27A
And a y-axis positioning portion 27B for positioning such that the rear surface of the orifice plate 108 is in close contact with the front end surface of the heater board 102 along the y-axis direction.

《x軸位置決め部27Aの説明》 先ず、x軸位置決め部27Aにおいては、一方の、この
一実施例においては図中手前側の吸引部材26bを基準側
として規定しており、この基準側の吸引部材26bは、本
体26aに対して固定されている。これに対して、図中向
こう側の吸引部材26cは、本体26aに対して、x軸方向に
沿つて移動可能に支持されている。尚、このx軸位置決
め部27Aにおいては、一対の吸引部材26b,26cの互いに対
向する端面、即ち、間に円筒状のインク受け口118が入
り込んだ空間を規定する所の互いに対向する端面が、位
置規制面として夫々規定されている。
<< Description of x-axis positioning unit 27A >> First, in the x-axis positioning unit 27A, in this embodiment, the suction member 26b on the near side in the drawing is defined as a reference side, and suction on the reference side is performed. The member 26b is fixed to the main body 26a. On the other hand, the suction member 26c on the other side in the figure is supported movably along the x-axis direction with respect to the main body 26a. In the x-axis positioning portion 27A, the mutually opposed end surfaces of the pair of suction members 26b and 26c, that is, the mutually opposed end surfaces that define a space between which the cylindrical ink receiving port 118 enters are positioned. Each is regulated as a regulatory aspect.

また、この可動側の吸引部材26cは、その後部に、本
体26aの中途部まで延出する連設部材26hが一体的に接続
されいる。一方、この本体26aには、x軸方向に沿つて
延出するガイドシヤフト26iが取り付けられている。そ
して、この連設部材26hはスライドガイド26jを介してガ
イドシヤフト26iに、x軸方向に沿つて移動自在に支持
されている。
In addition, a continuous member 26h extending to a middle portion of the main body 26a is integrally connected to a rear portion of the movable suction member 26c. On the other hand, a guide shaft 26i extending along the x-axis direction is attached to the main body 26a. The connecting member 26h is supported by a guide shaft 26i via a slide guide 26j so as to be movable along the x-axis direction.

一方、この連設部材26hの中間部分に対向した状態
で、本体26a上には、第1の駆動シリンダ(図示せず)
が取り付けられている。この第1の駆動シリンダのピス
トンロツド、x軸方向に沿つて進退駆動される様に突出
し、これの先端は上述した連設部材26hに接続されてい
る。
On the other hand, a first drive cylinder (not shown) is provided on the main body 26a in a state facing the intermediate portion of the connecting member 26h.
Is attached. The piston rod of the first drive cylinder projects so as to be driven forward and backward along the x-axis direction, and the tip thereof is connected to the above-mentioned connecting member 26h.

この様にして、この第1の駆動シリンダが対応するピ
ストンロツドを高速で往復駆動する事により、連設部材
26hを介して連設された吸引部材26cは、x軸方向に沿つ
て高速で往復駆動、即ち、振動させられる事になる。
In this way, the first drive cylinder reciprocates the corresponding piston rod at a high speed, so that the connecting member
The suction member 26c connected continuously via the hole 26h is reciprocally driven, that is, vibrated at a high speed along the x-axis direction.

《y軸位置決め部27Bの説明》 次に、y軸位置決め部27Bは、第5図に示す様に、ヒ
ータボード102上に載置された天板104のオリフイスプレ
ート108の前面に係合可能な一対の係合片26m,26nを、互
いに立ち下がった状態で、間隔を開けて平行に備えてい
る。これら係合片26m,26nは、一対の吸引部材26b,26cに
夫々対応して設けられ、夫々対応する位置規制用の端面
よりも外側に位置する様に配設されている。また、これ
ら係合片26m,26nは、夫々対応する吸引部材26b,26cの前
端面の上縁に沿つてこれらの外方端よりも更に外方位置
まで延出する接続片26p,26qの内方端部に、夫々の上端
を接続されている。これら接続片26p,26qの外方端部
は、y軸方向に沿つて延出する連結部材26r,26sの前端
取り付けられている。
<< Description of y-axis positioning portion 27B >> Next, as shown in FIG. 5, the y-axis positioning portion 27B can be engaged with the front surface of the orifice plate 108 of the top plate 104 placed on the heater board 102. A pair of engaging pieces 26m and 26n are provided in parallel with a space therebetween while standing down. The engagement pieces 26m and 26n are provided corresponding to the pair of suction members 26b and 26c, respectively, and are disposed so as to be located outside the corresponding position regulating end faces. In addition, these engagement pieces 26m, 26n are formed in the connection pieces 26p, 26q extending further outward than their outer ends along the upper edge of the front end surfaces of the corresponding suction members 26b, 26c. The upper end is connected to one end. Outer ends of the connection pieces 26p and 26q are attached to front ends of connection members 26r and 26s extending along the y-axis direction.

一方、本体26aの両端縁には、y軸方向に沿つて延出
する第2の駆動シリンダ26tが配設されている。これら
第2の駆動シリンダ26tの夫々のピストンロツド26uは、
y軸方向に沿つて進退駆動される様に突出し、これらの
先端は上述した連結部材26r,26sの後方端部に夫々接続
されている。
On the other hand, second drive cylinders 26t extending along the y-axis direction are provided at both ends of the main body 26a. Each piston rod 26u of the second drive cylinder 26t is
The tips protrude in the y-axis direction so as to be driven forward and backward, and their tips are connected to the rear ends of the connecting members 26r and 26s, respectively.

この様にして、この第2の駆動シリンダ26tが、対応
するピストンロツド26uを高速で往復駆動する事によ
り、接続片26p,26qを夫々介して接続された係合片26m,2
6nは、y軸方向に沿つて高速で往復駆動、即ち、振動さ
せられて、オリフイスプレート108がヒータボード102の
前端面に密着する様に、天板104のy軸方向に沿う位置
決めがなされる事になる。
In this way, the second driving cylinder 26t reciprocates the corresponding piston rod 26u at a high speed, whereby the engaging pieces 26m, 2 connected via the connecting pieces 26p, 26q, respectively.
6n is reciprocally driven at high speed along the y-axis direction, that is, vibrated, and the orienting plate 108 is positioned along the y-axis direction so that the orifice plate 108 is in close contact with the front end surface of the heater board 102 Will be.

この様に取り付け機構26は構成されているので、一対
の吸引部材26b,26cに吸引保持された天板104は、ヒータ
ボード102の上方の所定位置まで、第1の位置調整機構1
4の駆動制御に基づき移動され、吸引が解除される事に
より、天板104はヒータボード102上に落下し、この落下
した位置において、天板104は、x軸位置決め部26Aの作
動により、ヒータボード102に対するx軸に沿う位置を
規定され、また、y軸位置決め部26Bの作動により、ヒ
ータボード102に対するy軸に沿う位置を規定される事
になる。尚、この取り付け機構26における位置調整動作
は、後に詳細に説明する。
Since the mounting mechanism 26 is configured in this manner, the top plate 104 sucked and held by the pair of suction members 26b and 26c moves the first position adjusting mechanism 1 to a predetermined position above the heater board 102.
The top plate 104 is dropped on the heater board 102 by being moved based on the drive control of 4 and the suction is released, and at the position where the top plate 104 is dropped, the top plate 104 is heated by the operation of the x-axis positioning unit 26A. A position along the x-axis with respect to the board 102 is defined, and a position along the y-axis with respect to the heater board 102 is defined by the operation of the y-axis positioning unit 26B. The position adjusting operation of the mounting mechanism 26 will be described later in detail.

<第2の位置決め機構33の説明> 次に、ヒータボード102が予め取り付けられたベース
部材208を第2のy軸ステージ32上に正確に位置決めし
た状態で取り付けるための第2の位置決め機構33の構成
を、第6A図乃至第6C図を参照して説明する。
<Description of Second Positioning Mechanism 33> Next, the second positioning mechanism 33 for mounting the base member 208 to which the heater board 102 is mounted in advance on the second y-axis stage 32 in an accurately positioned state. The configuration will be described with reference to FIGS. 6A to 6C.

この第2の位置決め機構33は、上述した第1の位置決
め機構27と同様に、ベース部材208の第2のy軸ステー
ジ32上におけるx軸方向に沿う位置決めを行うx軸位置
決め部33Aと、y軸方向に沿う位置決めを行うy軸位置
決め部33Bとを備えると共に、更に、z軸方向に沿うz
軸位置決め部33Cを備えている。
The second positioning mechanism 33 includes an x-axis positioning section 33A that positions the base member 208 on the second y-axis stage 32 along the x-axis direction, similarly to the first positioning mechanism 27 described above, and y A y-axis positioning portion 33B for positioning along the axial direction, and further, a z-axis along the z-axis direction.
The shaft positioning section 33C is provided.

ここで、この第2の位置決め機構33により位置決めさ
れる対象となるベース部材208は、第6A図から明らかな
様に、長方形状の本体部分208aと、この本体部分208aの
前端中央部から前方に突出し、その上面に、ヒータボー
ド102が取り付け固定されたヒータボード取り付け部208
bとから一体に形成されている。
Here, the base member 208 to be positioned by the second positioning mechanism 33 is, as is apparent from FIG. 6A, a rectangular main body part 208a and a front part from the front end central part of the main body part 208a. A heater board mounting portion 208 which protrudes and has the heater board 102 mounted and fixed on its upper surface.
It is formed integrally with b.

尚、このヒータボード102は、所定の精度で、ヒータ
ボード取り付け部208bに予め取り付けられ、固定されて
いるものである。従つて、このヒータボード102が取り
付けられたベース部材208を第2のy軸ステージ32に対
して位置決めする事により、ヒータボード102が第2の
y軸ステージ32に対して位置決めされる事になる。
The heater board 102 is attached and fixed in advance to the heater board attaching section 208b with a predetermined accuracy. Therefore, by positioning the base member 208 to which the heater board 102 is attached with respect to the second y-axis stage 32, the heater board 102 is positioned with respect to the second y-axis stage 32. .

この第2の位置決め機構33は、詳細には、第6A図及び
第6B図に示す様に、第2のy軸ステージ32上に取り付け
られ、側面略L字状に形成された取り付け本体33aと、
この本体33aの起立した内側面に、スライドガイド33bを
介して上下動自在に支持された位置決め台33cとを備え
ている。
In detail, as shown in FIGS. 6A and 6B, the second positioning mechanism 33 is mounted on the second y-axis stage 32 and has a mounting body 33a formed in a substantially L-shaped side surface. ,
A positioning table 33c is provided on the inner surface of the main body 33a, which stands upright via a slide guide 33b.

《x軸位置決め部33Aの説明》 また、この位置決め台33c上には、第6A図に示す様
に、x軸位置決め部33Aとして、上方に向けて突出した
一対のx軸位置決め用突起33d,33eがy軸方向に沿つて
並んだ状態で一体的に形成されている。これらx軸位置
決め用突起33d,33eにベース部材208の本体部分208aのy
軸に沿う一側縁が当接する事により、ベース部材208の
x軸に沿う位置が一義的に規定される事、即ち、x軸方
向が位置決めされる事になる。
<< Description of x-axis positioning section 33A >> As shown in FIG. 6A, a pair of x-axis positioning projections 33d and 33e projecting upward are provided on the positioning table 33c as x-axis positioning sections 33A. Are integrally formed in a state of being arranged along the y-axis direction. These x-axis positioning projections 33d and 33e are attached to the main body portion 208a of the base member 208 by y.
By contacting one side edge along the axis, the position of the base member 208 along the x-axis is uniquely defined, that is, the x-axis direction is positioned.

一方、この様に、これらx軸位置決め用突起33d,33e
にベース部材208の本体部分208aのy軸に沿う一側縁が
当接した状態を強制するために、これらx軸位置決め用
突起33d,33eに当接するベース部材208の一側縁とは反対
側の他側縁に当接可能に、x軸規制レバー33fが配設さ
れている。このx軸規制レバー33fは、基端部を第1の
支軸33g回りに回動可能に軸支されると共に、第1のト
ーシヨンばね33hにより、図中、反時計方向回りの回動
付勢力を受けている。尚、このx軸規制レバー33fの当
接端である先端は、ベース部材208の他側縁の略中央部
分に当接する様に設定されている。
On the other hand, in this way, these x-axis positioning projections 33d, 33e
In order to force the state in which one side edge along the y-axis of the main body portion 208a of the base member 208 abuts, the side opposite to the one side edge of the base member 208 abutting on these x-axis positioning projections 33d, 33e An x-axis regulating lever 33f is provided so as to be able to abut on the other side edge. The x-axis regulating lever 33f is rotatably supported at its base end around a first support shaft 33g, and is rotated counterclockwise in the figure by a first torsion spring 33h. Is receiving. The tip, which is the contact end of the x-axis regulating lever 33f, is set so as to contact the substantially central portion of the other side edge of the base member 208.

《y軸位置決め部33Bの説明》 また、この位置決め台33c上には、y軸位置決め部33B
として、上方に向けて突出した一本のy軸位置決め用突
起33iが一方のx軸位置決め用突起33eに近接した状態で
一体的に形成されている。このy軸位置決め用突起33i
にx軸方向位置を予め規定されたベース部材208の本体
部分208aのx軸に沿う先端縁が当接する事により、ベー
ス部材208のy軸に沿う位置が一義的に規定される事、
即ち、y軸方向が位置決めされる事になる。
<< Description of y-axis positioning section 33B >> Also, the y-axis positioning section 33B is provided on the positioning table 33c.
As one, one y-axis positioning projection 33i protruding upward is integrally formed in a state close to one x-axis positioning projection 33e. This y-axis positioning projection 33i
The position along the y-axis of the base member 208 is uniquely defined by abutting the leading edge along the x-axis of the main body portion 208a of the base member 208 whose x-axis direction position is predetermined.
That is, the y-axis direction is positioned.

一方、この様に、このy軸位置決め用突起33iにベー
ス部材208の本体部分208aのx軸に沿う先端縁が当接し
た状態を強制するために、このy軸位置決め用突起33i
に当接するベース部材208の先端縁とは反対側の後端縁
に当接可能に、略L字状のy軸規制レバー33jが配設さ
れている。このy軸規制レバー33jは、中間部(即ち、
L字を構成する折曲部)を第2の支軸33k回りに回動可
能に軸支されると共に、第2のトーシヨンばね33lによ
り、図中、反時計方向回りの回動付勢力を受けている。
尚、このy軸規制レバー33jの当接端である後端は、ベ
ース部材208の後端縁の略中央部分に当接する様に設定
されている。
On the other hand, in order to force the state in which the leading edge along the x-axis of the main body portion 208a of the base member 208 abuts on the y-axis positioning projection 33i, the y-axis positioning projection 33i is pressed.
A substantially L-shaped y-axis regulating lever 33j is provided so as to be able to abut on a rear end edge of the base member 208 opposite to the front end edge of the base member 208. The y-axis regulating lever 33j is located at the middle (ie,
The L-shaped bent portion is rotatably supported around a second support shaft 33k, and receives a rotational biasing force in the counterclockwise direction in the figure by a second torsion spring 33l. ing.
The rear end, which is the contact end of the y-axis regulating lever 33j, is set so as to contact the substantially central portion of the rear end edge of the base member 208.

ここで、ベース部材208の位置決め台33cへの着脱時に
は、x軸およびy軸規制レバー33f,33jによる付勢力が
解除されなければならない。このため、この一実施例に
おいては、解除機構33Dが設けられている。
Here, when attaching and detaching the base member 208 to and from the positioning table 33c, the urging force by the x-axis and y-axis regulating levers 33f and 33j must be released. Therefore, in this embodiment, a release mechanism 33D is provided.

この解除機構33Dは、第6C図に示す様に、位置決め台3
3cの一側縁に取り付けられた解除シリンダ33mと、この
解除シリンダ33mからx軸方向に沿つて進退自在に突出
し、位置決め台33c内を貫通するピストンロツド33nと、
このピストンロツド33nに起立した状態で一対設けら
れ、位置決め台33cにx軸方向に沿つて延出する様に形
成された透孔33p,33qを夫々介して、位置決め台33cの上
面から僅かに突出した状態で取り出され、x軸規制レバ
ー33f及びy軸規制レバー33jに夫々時計方向側から当接
可能な解除ピン33r,33sとから構成されている。
As shown in FIG. 6C, the release mechanism 33D
A release cylinder 33m attached to one side edge of 3c, a piston rod 33n projecting from the release cylinder 33m so as to be able to advance and retreat along the x-axis direction and penetrating through the positioning table 33c;
The pair of piston rods 33n are provided in a standing state, and slightly protrude from the upper surface of the positioning table 33c through through holes 33p and 33q formed in the positioning table 33c so as to extend along the x-axis direction. Release pins 33r and 33s which are taken out in a state and can be brought into contact with the x-axis restriction lever 33f and the y-axis restriction lever 33j from the clockwise side, respectively.

ここで、この解除機構33Dにおいて、解除シリンダ33m
は、非解除状態で、ピストンロツド33nを引き込んだ状
態に付勢している。この結果、一対の解除ピン33r,33s
は、夫々、対応するx軸規制レバー33f及びy軸規制レ
バー33jから離間する。この様にして、非解除状態にお
いては、x軸規制レバー33f及びy軸規制レバー33jは、
夫々、対応するトーシヨンばね33h,33lの付勢力によ
り、反時計方向に沿つて回動され、ベース部材208を位
置決め及び保持動作する。
Here, in this release mechanism 33D, the release cylinder 33m
Urges the piston rod 33n to be retracted in the non-released state. As a result, a pair of release pins 33r, 33s
Are separated from the corresponding x-axis regulating lever 33f and y-axis regulating lever 33j, respectively. In this manner, in the non-release state, the x-axis restriction lever 33f and the y-axis restriction lever 33j
By the biasing force of the corresponding torsion springs 33h, 33l, the torsion springs 33 are rotated counterclockwise to position and hold the base member 208.

一方、解除シリンダ33mは、解除状態において、ピス
トンロツド33nを突出した状態に付勢する。この結果、
一対の解除ピン33r,33sは、夫々、対応するx軸規制レ
バー33f及びy軸規制レバー33jに当接し、これらを対応
するトーシヨンばね33h,33lの付勢力に抗して、時計方
向に沿つて回動させる。従つて、x軸規制レバー33f及
びy軸規制レバー33jの夫々の当接端は、ベース部材208
の他側縁及び後端縁から夫々離間し、この様にして、ベ
ース部材208の位置決め及び保持は解除される事にな
る。
On the other hand, in the release state, the release cylinder 33m urges the piston rod 33n to the projected state. As a result,
The pair of release pins 33r, 33s abut against the corresponding x-axis restricting lever 33f and the corresponding y-axis restricting lever 33j, respectively, and oppose the biasing force of the corresponding torsion springs 33h, 33l in a clockwise direction. Rotate. Accordingly, the contact ends of the x-axis regulating lever 33f and the y-axis regulating lever 33j are connected to the base member 208.
The base member 208 is released from the other side edge and the rear edge, and the positioning and holding of the base member 208 are released.

《z軸位置決め部33Cの説明》 一方、上述したz軸位置決め部33Cは、第6B図に示す
様に、ベース部材208の先端部の下面に下方に向けて突
出した状態で、x軸方向に沿つて並設された第1及び第
2の一対の突起33t,33u(第6B図には、第1の突起33tし
か示されていないが、第6A図において、第1及び第2の
突起33t,33uの配設位置が破線で示されている。)と、
位置決め台33cの後端部の上面の中央部において上方に
向けて突出した状態で形成された第3の突起33vが形成
されている。
<< Description of z-axis positioning section 33C >> On the other hand, as shown in FIG. 6B, the z-axis positioning section 33C is protruded downward from the lower surface of the distal end portion of the base member 208 in the x-axis direction. A pair of first and second projections 33t, 33u arranged side by side (FIG. 6B shows only the first projection 33t, but FIG. 6A shows the first and second projections 33t, 33t). , 33u are indicated by broken lines.)
A third protrusion 33v is formed at the center of the upper surface of the rear end of the positioning table 33c so as to protrude upward.

ここで、これら第1乃至第3の突起33t〜33vの突出長
さは、予め、互いに同一となる様に正確に規定されてい
る。この結果、第1及び第2の突起33t,33uが位置決め
台33cの上面に当接し、且つ、第3の突起33vがベース部
材208の下面に当接する事により、ベース部材208の位置
決め台33c上におけるz軸方向に沿う位置が正確に規定
される事になる。
Here, the projection lengths of the first to third projections 33t to 33v are precisely defined in advance so as to be identical to each other. As a result, the first and second protrusions 33t and 33u abut on the upper surface of the positioning base 33c, and the third protrusion 33v abuts on the lower surface of the base member 208, thereby causing the upper surface of the positioning base 33c of the base member 208 to be mounted. Will be precisely defined along the z-axis direction.

尚、この一実施例においては、上述した当接状態を確
実に達成させるために、ベース部材208を位置決め台33c
に向けて吸引する吸引機構33Eが設けられている。この
吸引機構33Eは、第6B図に示す様に、位置決め台33c上に
配設され、上面が開口されたリング状の吸引パッド33w
と、この吸引パッド33wと図示しない吸引源とを接続す
べく、位置決め台33c内を貫通した状態で形成された接
続管33xとから構成されている。
In this embodiment, in order to reliably achieve the above-mentioned contact state, the base member 208 is attached to the positioning table 33c.
There is provided a suction mechanism 33E for sucking toward. As shown in FIG. 6B, the suction mechanism 33E is provided on a positioning table 33c, and has a ring-shaped suction pad 33w having an open upper surface.
And a connection pipe 33x formed to penetrate through the positioning table 33c to connect the suction pad 33w and a suction source (not shown).

ここで、吸引パッド33wの高さは、上述した3つの突
起33t,33u,33vの夫々の高さより僅かに高く設定されて
いる。この結果、ベース部材208が位置決め台33c上に載
置された状態で、吸引パッド33wの開放端縁は、ベース
部材208の下面に全周に渡り密着する事となる。そし
て、図示しない吸引源が起動する事により、このベース
部材208は位置決め台33cに向けて強制的に引きつけら
れ、この結果、第1及び第2の突起33t,33uが位置決め
台33cの上面に確実に当接し、且つ、第3の突起33vがベ
ース部材208の下面に確実に当接する状態が、強制的に
設定される事になる。
Here, the height of the suction pad 33w is set slightly higher than the height of each of the three protrusions 33t, 33u, 33v described above. As a result, in a state where the base member 208 is placed on the positioning table 33c, the open edge of the suction pad 33w comes into close contact with the lower surface of the base member 208 over the entire circumference. When the suction source (not shown) is activated, the base member 208 is forcibly attracted toward the positioning table 33c, and as a result, the first and second projections 33t and 33u are securely positioned on the upper surface of the positioning table 33c. , And the state in which the third protrusion 33v reliably contacts the lower surface of the base member 208 is forcibly set.

この様に、この第2の位置決め機構33を構成する事に
より、位置決め台33c上において、ベース部材208は、そ
のx軸方向、y軸方向、及びz軸方向に沿う位置を夫々
正確に位置決めされる事になる。この結果、この一実施
例においては、天板104をヒータボード102に取り付ける
際には、第1の位置決め機構27を介して、天板104のヒ
ータボード102に対する相対位置のみを規定する様にす
れば良い事になる。
As described above, by configuring the second positioning mechanism 33, the position of the base member 208 on the positioning table 33c along the x-axis direction, the y-axis direction, and the z-axis direction is accurately positioned. Will be. As a result, in this embodiment, when the top plate 104 is attached to the heater board 102, only the relative position of the top plate 104 with respect to the heater board 102 is defined via the first positioning mechanism 27. It would be good.

<接合力発生機構34の説明> 次に、天板104をヒータボード102上に位置決め・載置
した際に、両者の間に接合力を発生させる接合力発生機
構34について、第6B図を参照して説明する。
<Description of Bonding Force Generating Mechanism 34> Next, when the top plate 104 is positioned and placed on the heater board 102, the bonding force generating mechanism 34 that generates a bonding force between the two is shown in FIG. 6B. I will explain.

この接合力発生機構34は、上述した本体33aの先端
に、上下動自在に貫通した状態で取り付けられたガイド
シヤフト34aを備え、このガイドシヤフト34aの上端は、
位置決め台33cの下面に固定されている。また、このガ
イドシヤフト34aの上端部には、接合力調整用のワツシ
ヤ34bが螺合しており、このワツシヤ34bを回転させる事
により、これのガイドシヤフト34aに対する軸方向位置
が変化する事になる。
The joining force generating mechanism 34 includes a guide shaft 34a attached to a tip of the main body 33a described above so as to be vertically movably penetrated, and an upper end of the guide shaft 34a is
It is fixed to the lower surface of the positioning table 33c. A washer 34b for adjusting the joining force is screwed onto the upper end of the guide shaft 34a. By rotating the washer 34b, the axial position of the washer 34b with respect to the guide shaft 34a changes. .

一方、このガイドシヤフト34aの外周には、接合力発
生用のコイルスプリング34cが巻回されており、このコ
イルスプリング34cの上端は、ワツシヤ34bの下面に係止
されると共に、下端は本体33aの上面に係止されてい
る。ここで、このコイルスプリング34cは、位置決め台3
3c及びこれに乗っている部品類の重量を支えて、ある程
度縮んでいるが、このある程度縮んだ初期設定状態から
更に所定量だけ縮む事により、所定の弾性反発力を発生
する事となり、この弾性反発力が接合力として限定され
るものである。
On the other hand, a coil spring 34c for generating a joining force is wound around the outer circumference of the guide shaft 34a, and the upper end of the coil spring 34c is engaged with the lower surface of the washer 34b, and the lower end of the body 33a. Locked on top. Here, the coil spring 34c is
3c and the weights of the components on it have contracted to some extent, but from the initial setting state, which has shrunk to some extent, by further contracting by a predetermined amount, a predetermined elastic repulsive force is generated. The repulsive force is limited as the joining force.

この様に接合力発生機構34は構成されているので、天
板104をヒータボード102上に載置するに当たり、このヒ
ータボード102が位置決め・載置された位置決め台33cが
上述した所定量だけ下降する様に、天板104をヒータボ
ード102に対して押しつける事により、天板104とヒータ
ボード102との間には、上述した所定の接合力が両者の
間に発生する事になる。
Since the bonding force generating mechanism 34 is configured in this manner, when the top plate 104 is mounted on the heater board 102, the positioning table 33c on which the heater board 102 is positioned and mounted is lowered by the predetermined amount described above. As described above, by pressing the top plate 104 against the heater board 102, the above-described predetermined bonding force is generated between the top plate 104 and the heater board 102.

尚、この接合力の変更は、上述したワツシヤ34bを回
転させ、ガイドシヤフト34aの軸方向に沿つて偏倚させ
る事により、コイルスプリング34cの初期設定長さが変
化する事により達成されるものである。
The change in the joining force is achieved by rotating the washer 34b and displacing it along the axial direction of the guide shaft 34a, thereby changing the initial set length of the coil spring 34c. .

<校正チヤート78の説明> ここで、上述した第2の位置決め機構33の位置決め台
33c上には、第7A図に示すように、後に詳細に説明する
校正動作において用いられる校正チヤート78が固定され
ている。この校正チヤート78は、第2の位置決め機構33
により所定の位置に正確に位置決めされたベース部材20
8上のヒータボード102に対して、x軸に沿つて所定距離
だけ離間した位置に正確に配設されており、直方体形状
に形成されている。
<Description of Calibration Chart 78> Here, the positioning table of the second positioning mechanism 33 described above is used.
As shown in FIG. 7A, a calibration chart 78 used in a calibration operation described in detail later is fixed on 33c. This calibration chart 78 is used for the second positioning mechanism 33.
Base member 20 accurately positioned at a predetermined position by
It is accurately arranged at a position separated from the heater board 102 on the upper side by a predetermined distance along the x-axis, and is formed in a rectangular parallelepiped shape.

特に、その形成状態は、この直方体形状の校正チヤー
ト78の前端面から第1の校正面78aが規定され、この第
1の校正面78aは、正確にx軸方向に沿つて垂直に延出
すると共に、ヒータボード102の前端面と同一垂直面内
で延出するように設定されている。また、この直方体形
状の校正チヤート78の上面から第2の校正面78bが規定
され、この第2の校正面78bは、正確にz軸方向に沿つ
て水平に延出すると共に、ヒータボード102の上面と同
一水平面内で延出するように設定されている。更に、こ
の直方体形状の校正チヤート78のヒータボード102が配
設された側の側面から第3の校正面78cが規定され、こ
の第3の校正面78cは、正確にy軸方向に沿つて垂直に
延出するように設定されている。
In particular, the formation state is such that a first calibration surface 78a is defined from the front end surface of the rectangular parallelepiped calibration chart 78, and the first calibration surface 78a extends vertically exactly along the x-axis direction. At the same time, it is set so as to extend in the same vertical plane as the front end face of the heater board 102. A second calibration surface 78b is defined from the upper surface of the rectangular parallelepiped calibration chart 78. The second calibration surface 78b extends horizontally exactly along the z-axis direction, and the heater board 102 It is set to extend in the same horizontal plane as the upper surface. Further, a third calibration surface 78c is defined from the side of the rectangular parallelepiped calibration chart 78 on the side where the heater board 102 is provided, and the third calibration surface 78c is exactly perpendicular to the y-axis direction. It is set to extend to.

ここで、第1乃至第3の校正面78a〜78cの交差点によ
り、校正基準点78dが規定されている。この結果、第1
の位置検出機構40でこの校正チヤート78を撮影した場合
には、第7B図に示すように、第1の校正面78aのみが撮
影され、この校正基準点78dは、画面40Aの右上部に位置
する角部の交点として撮影され、また、第2の位置検出
機構42で撮影した場合には、第7C図に示すように、第2
の校正面78bのみが撮影され、この校正基準点78dは、画
面42Aの右下部に位置する角部の交点として撮影される
事になる。
Here, the calibration reference point 78d is defined by the intersection of the first to third calibration surfaces 78a to 78c. As a result, the first
When the calibration chart 78 is photographed by the position detection mechanism 40, only the first calibration surface 78a is photographed as shown in FIG. 7B, and the calibration reference point 78d is located at the upper right of the screen 40A. In the case where the image is taken as the intersection of the corners to be photographed and the image is taken with the second position detecting mechanism 42, as shown in FIG.
Only the calibration surface 78b is photographed, and the calibration reference point 78d is photographed as the intersection of the corner located at the lower right of the screen 42A.

尚、校正チヤート78を説明した第7A図において、符号
80a,80bは、天板104とヒータボード102とを互いに仮着
するための接着剤を示している。これらの接着剤80a,80
bは、紫外線を照射される事により硬化する紫外線硬化
性を有するように形成されており、図示するように、ヒ
ータボード102の後端縁の両端に夫々予め添着されるよ
うに設定されている。
In FIG. 7A illustrating the calibration chart 78, reference numerals are used.
Reference numerals 80a and 80b denote adhesives for temporarily attaching the top plate 104 and the heater board 102 to each other. These adhesives 80a, 80
b is formed so as to have an ultraviolet curability that is cured by being irradiated with ultraviolet light, and is set so as to be attached in advance to both ends of the rear end edge of the heater board 102 as shown in the figure. .

(組立装置10におけるヘツドノズル10の組立方法の説
明) 以下に、第8図以降を参照して、上述した構成の組立
装置10における、制御ユニツト38の制御の下での、複数
部材の位置合わせ方法が適用されるヘツドノズル10の組
立方法を説明する。
(Explanation of a method of assembling the head nozzle 10 in the assembling apparatus 10) A method of aligning a plurality of members under the control of the control unit 38 in the assembling apparatus 10 described above with reference to FIG. A method of assembling the head nozzle 10 to which the method is applied will be described.

<組立方法の概略手順> 先ず、第8図に示すフローチヤートを参照して、この
組立方法の概略的な手順を説明する。
<Schematic Procedure of Assembly Method> First, a schematic procedure of this assembly method will be described with reference to a flowchart shown in FIG.

先ず、組立動作が指示されると、ステツプS10におい
て、組立回数を示す変数Nを「1」に設定する。そし
て、ステツプS12において、各軸ステージ18,20,22,28,3
0,32の駆動モータの初期設定を実行し、引き続き、ステ
ツプS14において、各軸ステージ18,20,22,28,30,32の駆
動モータの原点出しを実行する。これらステツプS12及
びステツプS14を実行する事により、各軸ステージ18,2
0,22,28,30,32は、定盤12に対して規定された任意の位
置に正確に移動することが出来る事になる。
First, when an assembling operation is instructed, a variable N indicating the number of assembling is set to "1" in step S10. Then, in step S12, each axis stage 18, 20, 22, 28, 3
Initialization of the drive motors 0, 32 is executed, and subsequently, in step S14, the origins of the drive motors of the respective axis stages 18, 20, 22, 28, 30, 32 are executed. By executing these steps S12 and S14, each axis stage 18, 2
0, 22, 28, 30, and 32 can be accurately moved to an arbitrary position defined with respect to the surface plate 12.

この後、ステツプS16において、第1及び第2の位置
検出機構40,42の検出位置のずれ量を校正量Δxとして
予め算出しておくための、上述した校正チヤート78を利
用しての校正動作を実行し、第1及び第2の位置検出機
構40,42の検出位置のずれを校正する。尚、この校正動
作は、この発明の特徴の一つを構成するものであり、後
にサブルーチンとして詳細に説明する。このステツプS1
6における校正動作が終了すると、ステツプS18におい
て、変数Nを「1」に設定し直し、ステツプS20に進
む。
Thereafter, in step S16, the calibration operation using the above-described calibration chart 78 for previously calculating the amount of deviation between the detection positions of the first and second position detection mechanisms 40 and 42 as the calibration amount Δx. And calibrate the deviation between the detection positions of the first and second position detection mechanisms 40 and 42. This calibration operation constitutes one of the features of the present invention, and will be described later in detail as a subroutine. This step S1
When the calibration operation in step 6 is completed, the variable N is reset to "1" in step S18, and the process proceeds to step S20.

このステツプS20においては、ヒータボード102が予め
取り付けられたベース部材208を図示しない供給ロボツ
トを介して、供給位置から第2の位置調整機構16の第2
の位置決め機構33上に供給する。そして、引き続くステ
ツプS22において、この供給されたベース部材208を正確
に位置決めする。
In this step S20, the base member 208 to which the heater board 102 has been attached in advance is moved from the supply position to the second position adjusting mechanism 16 via the supply robot (not shown).
Is supplied on the positioning mechanism 33. Then, in the subsequent step S22, the supplied base member 208 is accurately positioned.

ここで、この位置決め動作においては、上述した第2
の位置決め機構33の動作に基づき、本体33aに対する3
軸方向の位置決めを実行する動作と共に、ヒータボード
102上の吐出ヒータ112a〜112eの中で、基準となる真ん
中に位置する吐出ヒータ112cの、これら吐出ヒータ112a
〜112eの配設方向であるx軸方向に関しての組立作業位
置αからのずれ量(xh)を正確に測定する動作と、且
つ、このずれ量測定を第2のITVカメラ42gで撮影した画
像に基づき行うために、その画像のピントを正確に合わ
せるために、ヒータボード102の上面の組立作業位置α
に対するz軸方向の正確な位置合わせ動作とを含むもの
である。
Here, in this positioning operation, the second
Of the main body 33a based on the operation of the positioning mechanism 33 of FIG.
Along with the operation to execute axial positioning, the heater board
Among the discharge heaters 112a to 112e on the discharge nozzle 112c, the discharge heater 112a
The operation of accurately measuring the amount of deviation (x h ) from the assembly work position α in the x-axis direction, which is the arrangement direction of 112e, and an image obtained by measuring the amount of deviation with the second ITV camera 42g In order to accurately focus the image, the assembling work position α on the upper surface of the heater board 102
And an accurate alignment operation in the z-axis direction with respect to.

尚、このベース部材208、即ち、ヒータボード102の供
給動作、及び、位置決め動作は、後にサブルーチンとし
て詳細に説明する。
The supply operation and positioning operation of the base member 208, that is, the heater board 102, will be described later in detail as a subroutine.

このヒータボード102の供給、及び位置決め動作に引
き続き、ステツプS24において、図示しない供給ロボツ
トを介して、天板104を収納位置から第1の位置調整機
構14の第1の位置決め機構27に供給する。そして、引き
続くステツプS26において、この供給された天板104を、
ステツプS22において予め第2の位置決め機構33を介し
て位置決めされたベース部材208上のヒータボード102に
対して仮置きする。尚、この天板104の供給動作及び仮
置き動作は、後にサブルーチンとして詳細に説明する。
Subsequent to the supply and positioning operation of the heater board 102, the top plate 104 is supplied from the storage position to the first positioning mechanism 27 of the first position adjusting mechanism 14 via a supply robot (not shown) in step S24. Then, in the subsequent step S26, the supplied top plate 104 is
In step S22, the heater board 102 is temporarily placed on the heater board 102 on the base member 208 which has been previously positioned via the second positioning mechanism 33. The operation of supplying and temporarily placing the top plate 104 will be described later in detail as a subroutine.

このように組立対象となるヒータボード102及び天板1
04が共に供給され、位置決めされたヒータボード102上
に天板104が仮置きされると、ステツプS28において、両
者のx軸方向に沿う相対位置関係を正確に規定した状態
で、ステツプS30に置いて、両者の接着動作が実行され
る。そして、接着動作が終了すると、ステツプS32にお
いて、完成品としての組体を、図示しないロボツトを介
して、完成品排出位置まで排出する。これらのx軸位置
合わせ動作は、その詳細を、後にサブルーチンとして説
明する。
Thus, the heater board 102 and the top plate 1 to be assembled are
When the top plate 104 is temporarily placed on the positioned heater board 102 in step S28, the top plate 104 is placed in step S30 in a state where the relative positional relationship along the x-axis direction is accurately defined in step S28. Thus, the bonding operation of the two is performed. When the bonding operation is completed, in step S32, the assembly as a finished product is discharged to a finished product discharging position via a robot (not shown). The details of these x-axis positioning operations will be described later as a subroutine.

そして、ステツプS34において、全ての組み付け動作
が終了し、全ての完成品の排出動作が終了したか否かが
判断され、このステツプS34においてNOと判断された場
合、即ち、未だ組み付け動作が終了せず、組立動作中で
あると判断される場合には、ステツプS36に進み、ここ
で変数Nを「1」だけインクリメントし、ステツプS38
において、変数Nが所定数に至ったか否かを判断する。
このステツプS38において、NOと判断される場合、即
ち、組立実行回数Nが所定数回未満であると判断される
場合、詳細には、最先の校正動作を実行してから所定数
回未満であると判断される場合には、先に算出した校正
量Δxへの信頼度が依然として維持されていると判断さ
れるので、新たに校正動作を実行することなく組立動作
を実行すべく、上述したステツプS20に戻り、これ以下
の組立制御手順を繰り返し実行する。
Then, in step S34, it is determined whether or not all the assembling operations have been completed, and whether or not all of the completed product discharging operations have been completed.If the determination in step S34 is NO, that is, the assembling operation is still completed. If it is determined that the assembling operation is being performed, the process proceeds to step S36, where the variable N is incremented by "1", and the process proceeds to step S38.
, It is determined whether or not the variable N has reached a predetermined number.
In this step S38, if it is determined as NO, that is, if it is determined that the number N of executions of the assembly is less than the predetermined number of times, in detail, after the earliest calibration operation is performed, the number of times of the execution is less than the predetermined number of times. If it is determined that there is, the reliability of the previously calculated calibration amount Δx is still determined to be maintained, and the above-described operation is performed to perform the assembly operation without newly performing the calibration operation. Returning to step S20, the following assembly control procedure is repeatedly executed.

一方、ステツプS38においてYESと判断される場合、即
ち、組立実行回数Nが、最先の校正動作を実行してから
所定数回目であると判断される場合には、温度変化当の
環境変化に基づき、上述した校正量Δxが変化している
可能性があり、再び、校正動作を実行して、この校正量
Δxを新たに算出すべく、上述したステツプS16に戻
り、これ以下の組立制御手順を繰り返し実行する。
On the other hand, if YES is determined in step S38, that is, if it is determined that the number N of times of execution of assembly is a predetermined number of times after executing the first calibration operation, the environmental change corresponding to the temperature change is performed. Based on the above, there is a possibility that the above-mentioned calibration amount Δx has changed, so that the calibration operation is performed again, and the process returns to the above-described step S16 in order to newly calculate the calibration amount Δx. Is repeatedly executed.

即ち、組立精度がミリメートルオーダである場合に
は、最初に上述した校正動作を実行し、得た校正量Δx
を、1日の全ての作業期間を通じて用いても何ら問題を
発生しないが、この一実施例の様に、その組立精度とし
てミクロンオーダの精度が要求される場合には、上述し
た温度変化に伴う校正量Δxの変化が、大きく組立精度
に影響する事になる。一方、この校正動作は、上述した
事情に鑑みれば、1回の組立動作毎に実行する事が好ま
しい。しかしながら、このように1回の組立動作毎に校
正動作を実行すると、組立時間が長くなり、組立効率が
低下し、ひいては、製品のコストに悪影響を与える事に
なる。このようにして、組立制度の維持と、組立効率と
の両立を図るべく、この一実施例においては、所定数回
の組立動作毎に、校正動作を再実行する様に設定してい
る。
That is, when the assembly accuracy is on the order of millimeters, the above-described calibration operation is first performed, and the obtained calibration amount Δx
Does not cause any problem even if it is used throughout the entire working period of one day. However, when assembling accuracy of a micron order is required, as in this embodiment, the above-described temperature change is required. The change in the calibration amount Δx greatly affects the assembly accuracy. On the other hand, in consideration of the above-described circumstances, it is preferable that the calibration operation is performed for each assembly operation. However, if the calibration operation is performed for each assembly operation as described above, the assembling time is increased, the assembling efficiency is reduced, and the cost of the product is adversely affected. In this way, in this embodiment, the calibration operation is set to be re-executed every predetermined number of assembly operations in order to achieve both the maintenance of the assembly system and the assembly efficiency.

ここで、このステツプS16において校正動作を実行し
た後、ステツプS18において変数Nは「1」に設定し直
されるので、この組立動作における組立回数は、再び、
一回目としてカウントされ、引き続く組立動作において
は、「1」つずつ組立回数がインクリメントされる事に
なる。
Here, after the calibration operation is performed in step S16, the variable N is reset to "1" in step S18.
It is counted as the first time, and in the subsequent assembling operation, the number of times of assembling is incremented by "1".

また、上述したステツプS34においてYESと判断される
場合、即ち、全ての組み付け動作が終了し、全ての完成
品の排出動作が終了したと判断される場合には、この時
点で、この組立制御手順を終了する。
If YES is determined in the above-described step S34, that is, if it is determined that all the assembling operations have been completed and all the completed product discharging operations have been completed, the assembling control procedure is performed at this time. To end.

尚、以下に、上述した組立制御手順で概略説明した個
々の制御手順をサブルーチンとして、詳細に説明する
が、実際には、既に上述したように、360dpiの高密度の
印字精度を達成するため、約4.5mmの長さの間に多数個
の吐出口106が等間隔に形成されたオリフィスプレート1
08を一体的に備えた天板104を、同様な配設ピッチで68
本の吐出ヒータ112が形成されたヒータボード102上に、
少なくとも64個の吐出口106及び吐出ヒータ112が互いに
対応した状態で組み付けられる様にするものであり、極
めて正確な位置決め動作、及び、微妙な接合力の付加動
作が要求されるものである。
In the following, individual control procedures outlined in the above-described assembly control procedure will be described in detail as a subroutine, but in actuality, as already described above, in order to achieve high printing accuracy of 360 dpi, An orifice plate 1 in which a number of discharge ports 106 are formed at equal intervals over a length of about 4.5 mm
08 with the same arrangement pitch
On the heater board 102 on which the discharge heaters 112 are formed,
At least 64 discharge ports 106 and discharge heaters 112 are assembled so as to correspond to each other, and an extremely accurate positioning operation and an operation of adding a delicate bonding force are required.

しかしながら、以下の組立制御手順の説明において、
実際通りに、68個の吐出口106及び、多数本の吐出ヒー
タ112を図示して説明しようとすると、却って不明確と
なると共に、説明が煩雑になるので、以下の説明におい
ては、オリフイスプレート108には第9図に示すよう
に、5個との吐出口106、具体的には、第1乃至第5の
吐出口106a〜106eが形成されており、ヒータボード102
上には、5本の吐出ヒータ112、具体的には、第1乃至
第5の吐出ヒータ112a〜112eが形成されているものと、
簡略化した状態で説明するものとする。
However, in the following description of the assembly control procedure,
As shown in the figures, if the 68 discharge ports 106 and the large number of discharge heaters 112 are illustrated and described, the description becomes rather unclear and the description becomes complicated. Therefore, in the following description, the orifice plate 108 will be described. As shown in FIG. 9, five discharge ports 106, specifically, first to fifth discharge ports 106a to 106e are formed in the heater board 102.
Above, five discharge heaters 112, specifically, first to fifth discharge heaters 112a to 112e are formed;
The description will be made in a simplified state.

<各サブルーチンの詳細な説明> 以下に、第8図を参照して概略的に説明した組立制御
手順の中の、種々のサブルーチンを詳細に説明する。
<Detailed Description of Each Subroutine> Hereinafter, various subroutines in the assembly control procedure schematically described with reference to FIG. 8 will be described in detail.

《ステツプS16における校正動作の説明》 先ず、第10図及び第11図、並びに先に示した第7B図及
び第7C図を参照して、上述したステツプS16における校
正動作の制御手順を説明する。
<< Description of Calibration Operation in Step S16 >> First, a control procedure of the calibration operation in the above-described step S16 will be described with reference to FIGS. 10 and 11, and FIGS. 7B and 7C described above.

即ち、第10図にフローチヤートとして示す様に、この
校正動作が起動されると、ステツプS16Aにおいて、第2
の位置調整機構16の第2のx軸ステージ28を駆動して、
第11図に示す様に、校正チヤート78をこれの校正基準点
78dが、第1及び第2の位置検出機構40,42における夫々
の対物レンズ40a,42aの光軸の交点で規定される組立作
業位置αと一致するまで移動させる。
That is, as shown in the flowchart of FIG. 10, when this calibration operation is started, the second operation is performed in step S16A.
Drive the second x-axis stage 28 of the position adjustment mechanism 16 of
As shown in FIG. 11, the calibration chart 78 is
The first and second position detecting mechanisms 40 and 42 are moved until they coincide with the assembly operation position α defined by the intersection of the optical axes of the objective lenses 40a and 42a.

そして、ステツプS16Bにおいて、第1の位置検出機構
40の第1のITVカメラ40gを用いて、この校正チヤート78
を正面から撮影する。また、ステツプS16Cにおいて、第
2の位置検出機構42の第2のITVカメラ42gを用いて、こ
の校正チヤート78を上方から撮影する。この結果、第1
のITVカメラ40gを用いて撮影した画像は、上述した第7B
図に示す様に、また、第2のITVカメラ42gを用いて撮影
した画像は、上述した第7C図に示す様に写し出される。
そこで、ステツプS16Dにおいて、ステツプS16Bで撮影さ
れた画像を、第1の信号変換器46を介して画像処理装置
44に伝送し、ステツプS16Eにおいて、ステツプS16Cで撮
影された画像を、第2の信号変換器50を介して画像処理
装置44に伝送する。
Then, in step S16B, the first position detecting mechanism
Using the 40 first ITV camera 40g, this calibration chart 78
Is photographed from the front. In step S16C, the calibration chart 78 is photographed from above using the second ITV camera 42g of the second position detection mechanism 42. As a result, the first
The image taken using the ITV camera 40g of the above-mentioned 7B
As shown in the figure, an image captured using the second ITV camera 42g is displayed as shown in FIG. 7C described above.
Therefore, in step S16D, the image photographed in step S16B is processed by the image processing device via the first signal converter 46.
Then, in step S16E, the image captured in step S16C is transmitted to the image processing device 44 via the second signal converter 50.

そして、ステツプS16Fにおいて、第1のITVカメラ40g
を介して撮影した画像に基づき、画面左端から校正基準
点78dまでの距離x1を電気的に測定し、ステツプS16Gに
おいて、第2のITVカメラ42gを介して撮影した画像に基
づき、画面左端から校正基準点78dまでの距離x2を電気
的に測定する。この後、ステツプS16Hにおいて、x1−x2
を演算し、この結果を、上述したずれ量(校正量)Δx
と規定する。
Then, in step S16F, the first ITV camera 40g
Based on the captured image through the electrically measure the distance x 1 from the left end of the screen to the calibration reference point 78d, in step S16G, based on the image photographed through the second ITV camera 42 g, from the left end of the screen electrically measuring the distance x 2 to the calibration reference point 78d. Thereafter, in step S16H, x 1 −x 2
Is calculated, and the result is referred to as the deviation amount (calibration amount) Δx described above.
It is prescribed.

そして、ステツプS16Iにおいて、この演算結果として
のずれ量Δxを、制御ユニツト38内のメモリ及びデータ
デイスク78に記憶し、ステツプS16Jにおいて、この校正
チヤート78が載置された位置決め台33cを、これの上に
ヒータボード102が予め固定されたベース部材208が供給
される供給位置まで復帰する様に、第2のx軸ステージ
28を駆動制御する。このようにして、一連の校正動作を
終了し、元のメインルーチンに戻る。
Then, in step S16I, the deviation amount Δx as the calculation result is stored in the memory and the data disk 78 in the control unit 38, and in step S16J, the positioning table 33c on which the calibration chart 78 is mounted is moved to the position table 33c. A second x-axis stage so that the heater board 102 is returned to a supply position where the base member 208 to which the heater board 102 is previously fixed is supplied.
28 is drive-controlled. In this way, a series of calibration operations is completed, and the process returns to the original main routine.

ここで、この校正動作においては、第1及び第2のIT
Vカメラ40g,42gは、校正チヤート78の同一の校正基準点
78dを撮影し、この同一の校正基準点78dまでの画面左端
からの距離x1,x2を夫々測定しているので、これら距離x
1,x2の差として規定されるΔxにより、第1及び第2の
対物レンズ40a,42aの夫々の光軸のずれ量が求められる
事になる。
Here, in this calibration operation, the first and second IT
V cameras 40g and 42g have the same calibration reference point on calibration chart 78.
Since the distance x 1 and x 2 from the left end of the screen to the same calibration reference point 78 d are measured, respectively,
1, the Δx is defined as the difference x 2, first and second objective lenses 40a, will be the amount of deviation of the optical axis of each of 42a are obtained.

《ステツプS20におけるヒータボードの供給動作の説
明》 次に、第12図に示すフローチヤート及び第13図を参照
して、上述したステツプS20におけるヒータボード供給
動作の制御手順を説明する。
<< Explanation of Heater Board Supply Operation in Step S20 >> Next, a control procedure of the heater board supply operation in the above-described step S20 will be described with reference to a flowchart shown in FIG. 12 and FIG.

このヒータボード102は、既に何度も説明している様
に、予め、所定の精度で、ベース部材208のヒータボー
ド取り付け部208b上に位置決め固定されているものであ
る。従つて、ヒータボード102を供給するという事は、
即ち、ベース部材208を第2の位置決め機構33上に供給
する事を意味するものである。
The heater board 102 is positioned and fixed in advance on the heater board mounting portion 208b of the base member 208 with a predetermined accuracy, as already described many times. Therefore, supplying the heater board 102
That is, this means that the base member 208 is supplied onto the second positioning mechanism 33.

先ず、ヒータボード供給動作が起動されると、ステツ
プS20Aにおいて、図示しない供給ロボツトをして、予め
ヒータボード102が取り付けられたベース部材208を収納
位置から把持して取り出し、図示しない接着剤塗布治具
上に搬送する。そして、ステツプS20Bにおいて、この接
着剤塗布治具上に載置されたベース部材208上のヒータ
ボード102の所定位置、詳細には、第7A図に示す様に、
ヒータボード102の後端縁両側に、図示しない接着剤塗
布機構を介して接着剤80a,80bを夫々塗布する。
First, when the heater board supply operation is started, in step S20A, a supply robot (not shown) is set, a base member 208 to which the heater board 102 is previously attached is gripped and removed from a storage position, and an adhesive application treatment (not shown) is performed. Conveyed on the tool. Then, in step S20B, a predetermined position of the heater board 102 on the base member 208 placed on the adhesive application jig, specifically, as shown in FIG.
Adhesives 80a and 80b are applied to both sides of the rear edge of the heater board 102 via an adhesive applying mechanism (not shown).

尚、この接着剤80a,80bは、上述した様に、紫外線を
照射される事により硬化、即ち、接着力を発揮する紫外
線硬化性接着剤から構成されている。換言すれば、この
塗布時点において、これら接着剤80a,80bは、何ら接着
性を発揮しておらず、単なる液体としてしか機能してい
ないものである。
As described above, the adhesives 80a and 80b are made of an ultraviolet-curable adhesive that cures when irradiated with ultraviolet rays, that is, exhibits an adhesive force. In other words, at the time of this application, these adhesives 80a and 80b do not exhibit any adhesiveness and function only as a mere liquid.

この後、ステツプS20Cにおいて、この接着剤80a,80b
が塗布されたヒータボード102が取り付けられたベース
部材208を、待機位置に位置する第2の位置決め機構33
上に搬送し、ステツプS20Dにおいて、搬送ロボツトによ
るベース部材208の把持を解除して、このベース部材208
を第2の位置決め機構33上に載置する。尚、この第2の
位置決め機構33の待機位置は、第13図に示す様に、上述
した組立作業位置αからx軸方向に沿つて所定距離だけ
離間した所の図示する位置により規定されている。
Thereafter, in step S20C, the adhesives 80a, 80b
The base member 208 to which the heater board 102 coated with is attached is moved to the second positioning mechanism 33 located at the standby position.
Then, in step S20D, the gripping of the base member 208 by the transfer robot is released, and the base member 208 is released.
Is placed on the second positioning mechanism 33. The standby position of the second positioning mechanism 33 is defined by a position shown in FIG. 13 that is separated from the assembly work position α by a predetermined distance in the x-axis direction, as shown in FIG. .

このようにして、一連のヒータボード供給動作を終了
して、制御手順は、元のメインルーチンに戻る。
In this way, a series of heater board supply operations ends, and the control procedure returns to the original main routine.

《ステツプS22におけるヒータボードの位置決め動作の
説明》 次に、第14図に示すフローチヤートと、第15図と、上
述した第6A図乃至第6C図とを参照して、ステツプS22に
おけるヒータボード102の位置決め動作について説明す
る。
<< Description of positioning operation of heater board in step S22 >> Next, referring to the flowchart shown in FIG. 14, FIG. 15, and FIGS. 6A to 6C described above, the heater board 102 in step S22 will be described. Will be described.

先ず、このヒータボード102を位置決めするための第
2の位置決め機構33は、ここに、ヒータボード102が搬
送されてくる前の待機状態において、第6C図に示す解除
機構33Dが起動しており、解除シリンダ33mが対応するピ
ストンロツド33nを押し出す様に駆動しているので、こ
のピストンロツド33n上の解除ピン33r,33sが夫々x軸規
制レバー33f及びy軸規制レバー33jに係合して、これら
を共にベース部材208から大きく離間する位置、即ち、
離間位置に移動している。
First, the second positioning mechanism 33 for positioning the heater board 102 has a release mechanism 33D shown in FIG. 6C activated in a standby state before the heater board 102 is conveyed. Since the release cylinder 33m is driven so as to push out the corresponding piston rod 33n, the release pins 33r and 33s on the piston rod 33n engage with the x-axis restriction lever 33f and the y-axis restriction lever 33j, respectively. A position far away from the base member 208, that is,
It has moved to the separated position.

このように第2の位置決め機構33が待機状態に設定さ
れた状態で、位置決め動作が起動されると、ステツプS2
2Aにおいて、解除シリンダ33mの駆動が解除される。こ
の結果、対応するピストンロツド33nは、内蔵する図示
しないリターンスプリングの付勢力により内方に引き込
まれる様に移動する。従つて、このピストンロツド33n
上の解除ピン33r,33sは夫々x軸規制レバー33f及びy軸
規制レバー33jから離間する事になる。
When the positioning operation is started in a state where the second positioning mechanism 33 is set in the standby state, the step S2 is started.
In 2A, the driving of the release cylinder 33m is released. As a result, the corresponding piston rod 33n moves so as to be drawn inward by the biasing force of the built-in return spring (not shown). Therefore, this piston rod 33n
The upper release pins 33r and 33s are separated from the x-axis restriction lever 33f and the y-axis restriction lever 33j, respectively.

このようにして、ベース部材208は、x軸規制レバー3
3fが第1のトーシヨンばね33hの付勢力により反時計方
向に沿つて回動偏倚する事により、離間位置からx軸方
向に沿つて押されて、x軸位置決め部33Aを構成する一
対のx軸位置決め用突起33d,33eに当接し、そのx軸方
向の位置を規定される事になる。一方、このベース部材
208は、y軸規制レバー33jが第2のトーシヨンばね33l
の付勢力により反時計方向に沿つて回動偏倚する事によ
り、離間位置からy軸方向に沿つて押し出され、y軸位
置決め部33Bを構成するy軸位置決め用突起33iに当接
し、そのy軸方向の位置を規定される事になる。即ち、
解除シリンダ33mがその駆動力を解除される事により、
ベース部材208はx軸及びy軸方向に沿う位置を正確に
位置決めされる事になる。
In this way, the base member 208 is
3f is rotated in the counterclockwise direction by the biasing force of the first torsion spring 33h, and is pushed in the x-axis direction from the separated position to form a pair of x-axes forming the x-axis positioning portion 33A. It comes into contact with the positioning projections 33d and 33e, and its position in the x-axis direction is defined. Meanwhile, this base member
Reference numeral 208 denotes a y-axis regulating lever 33j which is a second torsion spring 33l.
Is biased in the counterclockwise direction by the urging force, and is pushed out from the separated position along the y-axis direction to abut on the y-axis positioning projection 33i constituting the y-axis positioning portion 33B, and the y-axis The position of the direction will be defined. That is,
By releasing the driving force of the release cylinder 33m,
The base member 208 is accurately positioned at positions along the x-axis and y-axis directions.

このようにステツプS22Aが実行された後、ステツプS2
2Bにおいて、吸引機構33Eの駆動が開始される。この開
始にともない、図示しない吸引源が起動して、この吸引
源からの吸引力が接続管33xを介して吸引パッド33w内に
作用し、この結果、ベース部材208が下方に引きつけら
れ、z軸位置決め部33Cを構成する第1及び第2の突起3
3t,33uが位置決め第33cの上面に確実に当接し、また、
第3の突起33vがベース部材208の下面に確実に当接する
事になる。即ち、吸引機構33Eが駆動される事により、
ベース部材208はz軸方向に沿う位置を正確に位置決め
される事になる。
After execution of step S22A in this manner, step S2
In 2B, the driving of the suction mechanism 33E is started. Along with this start, a suction source (not shown) is activated, and a suction force from the suction source acts on the suction pad 33w via the connection pipe 33x. As a result, the base member 208 is attracted downward, and the z-axis is pulled. First and second projections 3 that constitute the positioning portion 33C
3t, 33u surely contacts the upper surface of the positioning 33c,
The third protrusion 33v will surely abut the lower surface of the base member 208. That is, by driving the suction mechanism 33E,
The base member 208 is accurately positioned at a position along the z-axis direction.

このようにして、ベース部材208は、第2の位置決め
機構33の位置決め動作により、これの本体33aに対する
3軸方向に関する位置決めが正確になされる事になる。
また、このような吸引機構33Eの作動により、ベース部
材208は、第2の位置決め機構33により正確に位置決め
された位置に、例え本体33aが移動したとしても、確実
に保持される事になる。
In this manner, the positioning of the base member 208 in the three-axis direction with respect to the main body 33a is accurately performed by the positioning operation of the second positioning mechanism 33.
Further, by the operation of the suction mechanism 33E, the base member 208 is reliably held at the position accurately positioned by the second positioning mechanism 33 even if the main body 33a is moved.

このステツプS22Bが終了すると、次に、ステツプS22C
において、第2の位置調整機構16を起動して、第2の位
置検出機構33に位置決め保持されたベース部材208をそ
の待機位置から組立作業位置αまで移動する。そして、
ステツプS22Dにおいて、この組立作業位置αにもたらさ
れたベース部材208上のヒータボード102の上面の画像
を、合焦判別用の第2の光学系42eを介して、第2の合
焦状態検出器52に伝送する。
When this step S22B is completed, next, step S22C
Then, the second position adjustment mechanism 16 is activated to move the base member 208 positioned and held by the second position detection mechanism 33 from its standby position to the assembly work position α. And
In step S22D, the image of the upper surface of the heater board 102 on the base member 208 brought to the assembling work position α is detected through the second optical system 42e for focus determination to detect the second focus state. To the device 52.

そして、ステツプS22Eにおいて、この第2の合焦状態
検出器52において、合焦位置からのz軸方向のピントず
れ量Δz、即ち、この合焦位置が設計上のz軸方向の設
定位置であるので、ヒータボード102の組立作業位置α
におけるz軸方向のピントずれ量Δzを測定し、ステツ
プS22Fにおいて、この測定したピントずれ量Δzを制御
ユニツト38に伝達する。この後、ステツプS22Gにおい
て、制御ユニツト38は、内部で、このピントずれ量Δz
に基づき、第2のz軸ステージ30の移動量Z2を算出し、
ステツプS22Hにおいて、この算出した移動量Z2に基づ
き、第2のz軸ステージ30を移動駆動して、ヒータボー
ド102の上面の組立作業位置αにおけるz軸方向の位置
を正確に規定する。
Then, in step S22E, in the second in-focus state detector 52, the defocus amount .DELTA.z in the z-axis direction from the in-focus position, that is, the in-focus position is a designed position in the z-axis direction. Therefore, the assembly work position α of the heater board 102
The defocus amount .DELTA.z in the z-axis direction is measured, and the measured defocus amount .DELTA.z is transmitted to the control unit 38 in step S22F. Thereafter, in step S22G, the control unit 38 internally stores the defocus amount Δz
, The amount of movement Z 2 of the second z-axis stage 30 is calculated,
In step S22H, based on the moving amount Z 2 which is the calculated, by moving drive the second z-axis stage 30, to accurately define the position of the z-axis direction in the assembling operation position of the upper surface α of the heater board 102.

次に、ステツプS22Iにおいて、第2の位置検出機構42
の第2のITVカメラ42gで、ヒータボード102の上面を撮
影し、ステツプS22Jにおいて、その撮影した画像情報
を、第2の信号変換器50を介して画像処理装置44に伝送
する。ここで、この第2のITVカメラ42gで撮影したヒー
タボードの画像を第15図に示す。この第2のITVカメラ4
2gで写し出される画像は、先に、ステツプS22D乃至ステ
ツプS22Hにおいて、ヒータボード102の上面の組立作業
位置αにおけるz軸方向の位置を正確に規定されている
ので、ピントの正確にあった鮮明な画像となっている。
Next, in step S22I, the second position detecting mechanism 42
The upper surface of the heater board 102 is photographed by the second ITV camera 42g, and the photographed image information is transmitted to the image processing device 44 via the second signal converter 50 in step S22J. FIG. 15 shows an image of the heater board taken by the second ITV camera 42g. This second ITV camera 4
2g, the position in the z-axis direction at the assembly work position α on the upper surface of the heater board 102 is precisely defined in steps S22D to S22H, so that the focus is accurate and clear. It is an image.

ここで、この第15図に示す様に、吐出ヒータ112a〜11
2eが所定の形成精度で予めヒータボード102上に形成さ
れ、且つ、上述した第2の位置決め機構33が所定の位置
決め動作を実行していれば、真ん中に位置する吐出ヒー
タ112cが画像内に写し出される事になる。そして、この
真ん中に位置する吐出ヒータ112cが写し出されている限
りにおいて、以下の組み付け動作は可能になる様に設定
されている。
Here, as shown in FIG. 15, the discharge heaters 112a to 112a
2e is formed on the heater board 102 in advance with a predetermined forming accuracy, and if the above-described second positioning mechanism 33 has performed a predetermined positioning operation, the discharge heater 112c located in the middle is projected in the image. Will be. As long as the discharge heater 112c located in the middle is displayed, the following assembling operation is set to be possible.

このため、ステツプS22Kにおいて、真ん中に位置する
吐出ヒータ112cが写し出されているか否かを判断し、こ
のステツプS22Kにおいて写し出されていないと判断され
る場合には、以下の組み付け動作が不可能になるので、
ステツプS22Lにおいて、警報を発し、その後の制御手順
を終了する。一方、ステツプS22Kにおいて真ん中に位置
する吐出ヒータ112cが写し出されていると判断される場
合には、ステツプS22Mに進み、吐出ヒータ112cの組立作
業位置αからのx軸方向に沿うずれ量xhを測定する。
For this reason, in step S22K, it is determined whether or not the discharge heater 112c located in the middle is projected, and if it is determined in step S22K that the discharge heater 112c is not projected, the following assembling operation becomes impossible. So
In step S22L, an alarm is issued, and the subsequent control procedure ends. On the other hand, if it is determined that the discharge heater 112c is located in the middle in step S22K are projected, the process proceeds to step S22m, the shift amount x h along the x-axis direction from the assembling operation position of the discharge heater 112c alpha Measure.

尚、このx軸方向に沿うずれ量xhの測定に際して、中
央に位置する吐出ヒータ112cが中心線より画面右側にず
れている場合に、(+)の符号を付し、左側にずれてい
る場合に、(−)の符号を付す様に設定されている。
Incidentally, for the measurement of the deviation amount x h along the x-axis direction, when the discharge heater 112c located at the center is shifted on the right side of the screen to the center line, denoted by the sign (+), it is shifted to the left In such a case, it is set so as to add the sign (-).

ここで、この一実施側においては、5つの吐出ヒータ
112a〜112eの中で、真ん中に位置する吐出ヒータ112cを
他から識別する手段として、第13図及び第15図に示す様
に、この吐出ヒータ112cに隣接する位置に識別マーク82
が描かれている。即ち、上述したステツプS22Kにおいて
は、この識別マーク82を画像内に認識した場合には、真
ん中に位置する吐出ヒータ112cが写し出されていると判
断し、識別マーク82を認識することが出来なかった場合
には、この吐出ヒータ112cが写し出されていないものと
判断する様に設定されている。
Here, on this one implementation side, five discharge heaters
As means for distinguishing the discharge heater 112c located in the middle from the others among the heaters 112a to 112e, as shown in FIGS. 13 and 15, an identification mark 82 is provided at a position adjacent to the discharge heater 112c.
Is drawn. That is, in the above-described step S22K, when the identification mark 82 is recognized in the image, it is determined that the discharge heater 112c located in the middle is being projected, and the identification mark 82 cannot be recognized. In such a case, the setting is made so as to determine that the discharge heater 112c is not projected.

尚、上述したx軸方向に沿うずれ量xhは、画像の中心
位置から真ん中の吐出ヒータ112cの中心位置までの距離
として規定されるものであり、この画像の中心位置と組
立作業位置αとは、予め一致する様に設定されている。
Incidentally, the deviation amount x h along the x-axis direction described above is intended to be defined as the distance from the center position of the image to the central position of the discharge heater 112c in the middle, and α the center position and the assembling operation position of the image Are set in advance to match.

このようにx軸方向のずれ量xhを測定した後、ステツ
プS22Nにおいて、このずれ量xhを制御ユニツト38に伝達
し、ステツプS22Oにおいて、このずれ量xhを制御ユニツ
ト38内のメモリに記憶する。
Thus after measuring the shift amount x h in the x-axis direction, in step S22N, propagates the shift amount x h to control Yunitsuto 38, in step S22O, the shift amount x h in the memory of the control Yunitsuto 38 Remember.

この後、ステツプS22Pにおいて、第1の位置検出機構
40の合焦判別用の第1の光学系40eを介して、この組立
作業位置αにもたらされたベース部材208上のヒータボ
ード102の前端面の画像を、第1の合焦状態検出器48に
伝送する。そして、ステツプS22Qにおいて、この第1の
合焦状態検出器48において、合焦状態が達成される様
に、即ちピントが合う様に、y軸方向に沿つてヒータボ
ード102を移動すべく、第2のy軸ステージ32を移動駆
動する。そして、このステツプS22Qにおいて合焦動作が
終了すると、ステツプS22Rにおいて、上述したオリフイ
スプレート108の厚さt1分だけ、更に、第2のy軸ステ
ージ32を移動駆動して、合焦位置から更に遠のく様にす
る。
Thereafter, in step S22P, the first position detecting mechanism
The image of the front end face of the heater board 102 on the base member 208 brought to this assembly work position α via the first optical system 40e for focusing determination of 40 is used as a first focusing state detector. Transmit to 48. Then, in step S22Q, the first focus state detector 48 moves the heater board 102 along the y-axis direction so that the focus state is achieved, that is, the focus state is achieved. The second y-axis stage 32 is moved and driven. When the focusing operation in this step S22Q completed, in step S22r, by the thickness t 1 minute orifice plate 108 as described above, further, moved by driving the second y-axis stage 32, further from the focus position Make it far away.

このようにオリフイスプレート108の厚さt1分だけ予
めy軸方向に関するヒータボード102の前端面の位置を
オフセツトする事により、このヒータボード102上に天
板104が組み付けられ、この天板104の前端面に予め固着
されているオリフイスプレート108が、ヒータボード102
の前端面に密着する様になされた状態で、このオリフイ
スプレート108の表面に対する第1の位置検出機構40に
おけるピントは、何ら合焦検出動作を実行することな
く、正確に合致する事になる。
Thus By offset the position of the front end surface of the heater board 102 about the thickness t 1 minute only advance y-axis direction of the orifice plate 108, top plate 104 is assembled to the heater board 102, the top plate 104 The orifice plate 108 fixed to the front end surface in advance
When the first position detecting mechanism 40 is brought into close contact with the front end surface of the orifice plate 108, the first position detecting mechanism 40 accurately focuses on the surface without performing any focus detecting operation.

このようにして、一連のヒータボード102の位置決め
動作を終了して、制御手順は元のメインルーチンに復帰
する。
In this way, a series of positioning operations of the heater board 102 is completed, and the control procedure returns to the original main routine.

《ステツプS24における天板104の供給動作の説明》 次に、第16図に示すフローチヤートと、上述した第8A
図及び第8B図と第13図とを参照して、ステツプS24にお
ける天板104の供給動作について説明する。
<< Description of Supply Operation of Top Plate 104 in Step S24 >> Next, the flow chart shown in FIG.
The supply operation of the top plate 104 in step S24 will be described with reference to FIG. 8, FIG. 8B, and FIG.

先ず、天板104の供給動作が起動されると、ステツプS
24Aにおいて、図示しない供給口ボツトを介して、天板1
04が収納位置から、待機位置にある取り付け機構26まで
搬送する。詳細には、取り付け機構26を構成する一対の
吸引部材26b,26cの間で規定される間隙内に、下方か
ら、天板104の円筒状のインク受け口118が入り込む様
に、搬送する。そして、ステツプS24Bにおいて、第1の
位置決め機構27の第1の駆動シリンダ26iを駆動して、
可動側の第2の吸引部材26cを固定側の第1の吸引部材2
6bに向けて近接する様に駆動し、第13図に示す様に、第
1及び第2の吸引部材26b,26cの間にインク受け口118が
弱い力で挟持される様にする。このようにして、インク
受け口118は固定側の第1の吸引部材26bの基準面として
規定される内側面に軽く当接する事となり、この結果、
インク受け口118の、従つて、天板104の取り付け機構26
に対するx軸方向の位置が正確に規定される事になる。
First, when the supply operation of the top plate 104 is started, step S
At 24A, the top plate 1 is connected via a supply port bot (not shown).
04 transports from the storage position to the mounting mechanism 26 at the standby position. Specifically, the ink is conveyed from below into a gap defined between the pair of suction members 26b and 26c constituting the attachment mechanism 26 so that the cylindrical ink receiving port 118 of the top plate 104 enters. Then, in step S24B, the first drive cylinder 26i of the first positioning mechanism 27 is driven,
The second suction member 26c on the movable side is connected to the first suction member 2 on the fixed side.
The ink suction port 118 is driven so as to approach toward 6b so that the ink receiving port 118 is sandwiched between the first and second suction members 26b and 26c with a small force as shown in FIG. In this manner, the ink receiving port 118 lightly contacts the inner side surface defined as the reference surface of the first suction member 26b on the fixed side, and as a result,
The mounting mechanism 26 of the ink receiving port 118 and thus the top plate 104
Is precisely defined in the x-axis direction.

ここで、このようにインク受け口118を挟持する力は
弱く設定されているので、この挟持力によるインク受け
口118の変形は殆ど無視することが出来るものであると
共に、この挟持状態ではインク受け口118を把持して、
天板104を保持することが出来ないものである。
Here, since the holding force of the ink receiving port 118 is set to be weak as described above, the deformation of the ink receiving port 118 due to the holding force can be almost ignored, and in this holding state, the ink receiving port 118 is not held. Hold it,
The top plate 104 cannot be held.

この後、ステツプS24Bでx軸方向の位置を位置決めれ
た天板104の天板本体116は、第1及び第2の吸引部材26
b,26cの下面に夫々形成された吸引孔26d,26eを介して、
これら第1及び第2の吸引部材26b,26cの下面に吸着・
保持される事になる。
Thereafter, the top plate body 116 of the top plate 104 whose position in the x-axis direction has been positioned in step S24B is moved to the first and second suction members 26.
b, through the suction holes 26d, 26e formed on the lower surface of 26c, respectively,
The lower and upper surfaces of the first and second suction members 26b and 26c
Will be retained.

このようにして、一連の天板104の供給動作を終了し
て、制御手順は元のメインルーチンに復帰する。
In this way, a series of supply operations of the top plate 104 are completed, and the control procedure returns to the original main routine.

《ステツプS26における天板104の仮置き動作の説明》 次に、第17図に示すフローチヤートを参照して、ステ
ツプS26における天板104のヒータボード102上への仮置
き動作を説明する。
<< Description of Temporary Placement Operation of Top Plate 104 in Step S26 >> Next, the temporary placement operation of the top plate 104 on the heater board 102 in Step S26 will be described with reference to a flowchart shown in FIG.

ここで、既に説明してある通り、天板104及びヒータ
ボード102は、実際には、共に、微細加工部品であるた
め、過大な力が作用すると破損する虞がある。このた
め、ステツプS28のx軸方向位置合わせ動作に先立っ
て、ヒータボード102上への天板104の仮置き動作が実行
される。
Here, as already described, since the top plate 104 and the heater board 102 are actually micro-machined components, there is a possibility that the top plate 104 and the heater board 102 will be damaged when an excessive force acts. Therefore, prior to the x-axis direction alignment operation of step S28, the temporary placing operation of the top plate 104 on the heater board 102 is performed.

先ず、仮置き動作が起動されると、ステツプS26Aに示
す様に、第1の位置調整機構14を駆動して、天板104と
ヒータボード102との間に充分な隙間を保って、天板104
をヒータボード102の直上方に移動する。この後、ステ
ツプS26Bにおいて、天板104をz軸方向に沿つて下方に
移動して、天板104とヒータボード102との隙間を縮め
る。そして、ステツプS26Cにおいて、天板104をヒータ
ボード102上に落下させる。
First, when the temporary placing operation is started, as shown in step S26A, the first position adjusting mechanism 14 is driven to maintain a sufficient gap between the top plate 104 and the heater board 102, and 104
Is moved directly above the heater board 102. Thereafter, in step S26B, the top plate 104 is moved downward along the z-axis direction to reduce the gap between the top plate 104 and the heater board 102. Then, in step S26C, the top plate 104 is dropped onto the heater board 102.

この状態において、天板104はヒータボード102上に、
その載置位置を正確に規定されない状態で載置される。
このため、ステツプS26Dにおいて、第1の位置決め機構
27の係合片26m,26nを動かして、オリフイスプレート108
をヒータボード102の前端面につき当てさせる。更に、
ステツプS26Eにおいて、x軸方向位置合わせ動作の準備
として、天板104の厚さ校正動作を行い、天板104と第1
の位置決め機構27における吸引部材26b,26cとの位置関
係を最適な状態に設定する。
In this state, the top plate 104 is placed on the heater board 102,
It is placed in a state where its placement position is not precisely defined.
For this reason, in step S26D, the first positioning mechanism
Move the engaging pieces 26m and 26n of the 27
Is applied to the front end face of the heater board 102. Furthermore,
In step S26E, as a preparation for the x-axis direction alignment operation, the thickness of the top plate 104 is calibrated, and the top plate 104 and the first
The positional relationship between the positioning mechanism 27 and the suction members 26b and 26c is set to an optimal state.

このようにして、一連の天板104のヒータボード102上
への仮置き動作を終了し、制御手順は元のメインルーチ
ンに復帰する。
In this manner, a series of temporary placing operations of the top plate 104 on the heater board 102 is completed, and the control procedure returns to the original main routine.

《ステツプS28における天板104のヒータボード102に対
するx軸方向の位置合わせ動作の説明》 次に、第18図に示すフローチヤートと、第19図乃至第
21図を参照して、この発明の特徴をなる所の、ステツプ
S28における天板104のヒータボード102上に対するx軸
方向の位置合わせ動作について説明する。
<< Description of the operation of aligning the top plate 104 with the heater board 102 in the x-axis direction in step S28 >> Next, the flow chart shown in FIG.
Referring to FIG. 21, the steps which characterize the present invention
The operation of aligning the top plate 104 on the heater board 102 in the x-axis direction in S28 will be described.

上述した天板104の仮置き動作においては、取り付け
機構26を設計上の取り付け位置に第1の位置調整機構14
を駆動して移動させ、その上で、この取り付け機構26か
ら天板104をヒータボード102上に落下させ、上述した設
計上の取り付け位置に位置決めさせる事により、この仮
置き動作を実行している。
In the above-described temporary placing operation of the top plate 104, the mounting mechanism 26 is moved to the designed mounting position by the first position adjusting mechanism 14.
The temporary placement operation is performed by driving the device to move it, and then dropping the top plate 104 from the attachment mechanism 26 onto the heater board 102 and positioning the top plate 104 at the design attachment position described above. .

ここで、既に上述している様に、天板104のオリフイ
スプレート108に形成された吐出口106及びヒータボード
102上に形成された吐出ヒータ112の配設ピッチは、ミク
ロンオーダであるので、設計上の絶対的な位置合わせの
みでなく、吐出ヒータ112に対する吐出口106の相対的な
位置合わせを実行して、実際に、互いに対応する吐出ヒ
ータ112と吐出口106とが、所定の位置精度内で、互いに
組み合わされる様に、位置決め動作を実行しなければな
らない。尚、これら吐出口106及び吐出ヒータ112の配設
方向は、x軸方向に設定されているので、この天板104
のヒータボード102に対する最終的な位置合わせは、x
軸方向に沿つてのみ、画像処理を介して行われる様に規
定されている。
Here, as described above, the discharge port 106 and the heater board formed in the orifice plate 108 of the top plate 104 are used.
Since the arrangement pitch of the discharge heaters 112 formed on the substrate 102 is on the order of microns, not only the absolute positioning in design but also the relative positioning of the discharge ports 106 with respect to the discharge heaters 112 is performed. Actually, the positioning operation must be performed so that the discharge heaters 112 and the discharge ports 106 corresponding to each other are combined with each other within a predetermined positional accuracy. Since the direction in which the discharge port 106 and the discharge heater 112 are disposed is set in the x-axis direction, the top plate 104
The final alignment of the heater board 102 with respect to
It is stipulated that the processing is performed only through the image processing along the axial direction.

先ず、このx軸合わせ動作が起動されると、ステツプ
S28Aにおいて、天板104の片寄動作を行う。即ち、この
片寄動作においては、第19A図に示す様に、天板104の円
筒状のインク受け口118が両吸引部材26b,26cの間に位置
した状態から、第19B図に示す様に、可動側の吸引部材2
6cを固定側の吸引部材26bに向けて移動させ、このイン
ク受け口118を固定側の吸引部材26bに突き当てる。そし
て、第19C図に示す様に、可動側の吸引部材26cを元の位
置に戻し、第19D図に示す様に、両吸引部材26b,26cを一
体的に、即ち、取り付け機構26を全体的に駆動して、天
板104を所定の位置まで移動する事により、この天板104
の片寄動作が完了する。
First, when this x-axis alignment operation is started, the step
In S28A, the offset operation of the top panel 104 is performed. That is, in the offset operation, as shown in FIG. 19A, the cylindrical ink receiving port 118 of the top plate 104 is moved from the state where it is positioned between the two suction members 26b and 26c, as shown in FIG. 19B. Side suction member 2
6c is moved toward the suction member 26b on the fixed side, and the ink receiving port 118 is brought into contact with the suction member 26b on the fixed side. Then, as shown in FIG. 19C, the movable side suction member 26c is returned to the original position, and as shown in FIG. 19D, the two suction members 26b and 26c are integrated, To move the top plate 104 to a predetermined position,
Is completed.

この天板104の片寄動作が終了すると、次に、ステツ
プS28Bにおいて、第20図に示す様に、第1の位置検出機
構40の合焦判別用の第1の光学系40eを介して、ヒータ
ボード102上に仮置きされた天板104の前方に取り付けら
れたオリフイスプレート108の前面の画像を、第1の合
焦状態検出器48に伝送する。そして、ステツプS28Cにお
いて、この第1の合焦状態検出器48において、合焦状態
が達成される様に、即ちピントが合う様に、y軸方向に
沿つてヒータボード102及び天板104を一体的に移動すべ
く、第2のy軸ステージ32を移動駆動する。
When the offset operation of the top plate 104 is completed, next, in step S28B, as shown in FIG. 20, the heater is passed through the first optical system 40e for focus determination of the first position detection mechanism 40. An image on the front surface of the orifice plate 108 mounted in front of the top plate 104 temporarily placed on the board 102 is transmitted to the first focus state detector 48. In step S28C, the heater board 102 and the top plate 104 are integrated along the y-axis direction so that the first focused state detector 48 achieves a focused state, that is, focuses. The second y-axis stage 32 is moved and driven in order to move it in a horizontal direction.

ここで、この合焦動作においては、先に説明したヒー
タボード102の位置決め動作のステツプS22P〜ステツプS
22Rにおいて、既に、第1のITVカメラ40gのピントが、
実質的に、オリフイスプレート108の前面に合わされて
いるので、この合焦動作は極めて短時間の内に済むと共
に、オリフイスプレート108の前面が合焦範囲外にあっ
て、合焦動作が不可能となる事が、確実に防止される事
になる。
Here, in this focusing operation, steps S22P to S22 of the positioning operation of the heater board 102 described above.
On 22R, the focus of the first ITV camera 40g has already been
Since the focusing operation is substantially performed on the front surface of the orifice plate 108, this focusing operation can be performed in a very short time, and the focusing operation cannot be performed because the front surface of the orifice plate 108 is out of the focusing range. Is surely prevented.

そして、このステツプS28Cにおいて合焦動作が終了す
ると、ステツプS28Dにおいて、第1の位置検出機構40に
おける第1のITVカメラ40gで、ヒータボード102上に仮
置きされた天板104の前面側に固定されているオリフイ
スプレート108の前面を撮影する。この第1のITVカメラ
40gで撮影されたオリフイスプレート108の画像は、上述
した様に合焦動作を済ませてあるので、第21図に示す様
に、ピントの正確に合つた鮮明な画像となっている。
Then, when the focusing operation is completed in step S28C, in step S28D, the first ITV camera 40g of the first position detection mechanism 40 is fixed to the front side of the top plate 104 temporarily placed on the heater board 102. The front of the orifice plate 108 is photographed. This first ITV camera
Since the image of the orifice plate 108 taken at 40 g has been subjected to the focusing operation as described above, it is a clear image that is accurately focused as shown in FIG.

この後、ステツプS28Eにおいて、ステツプS28Cで撮影
された画像を、第1の信号変換器46を介して画像処理装
置44に伝送し、ステツプS28Fにおいて、第1のITVカメ
ラ40gを介して撮影した画像に基づき、画面中央から上
述した中央の吐出ヒータ112cに一番近接していると判断
される吐出穴106の中心位置までの距離xHを電気的に測
定する。ここで、ステツプS22におけるヒータボード102
の位置決め動作において説明したと同様に、画面の中心
線は、組立作業位置αに対応しており、この距離xHは、
組立作業位置αから中央の吐出ヒータ112cに組み合わさ
れることとなる吐出穴106までのx軸方向に沿うずれ量
を表す事になる。
Thereafter, in step S28E, the image photographed in step S28C is transmitted to the image processing device 44 via the first signal converter 46, and in step S28F, the image photographed via the first ITV camera 40g. the basis, to electrically measure the distance x H from the center of the screen to the center position of the discharge hole 106 is determined to be close most to the discharge heater 112c of the center described above. Here, the heater board 102 in step S22 is used.
In the same manner as described in the positioning operation, the center line of the screen correspond to the assembling operation position alpha, this distance x H is
This indicates the amount of displacement along the x-axis direction from the assembly work position α to the discharge hole 106 to be combined with the central discharge heater 112c.

上述した中央の吐出ヒータ112cに対応する吐出口106
の中心線からのずれ量xHを測定し終えると、ステツプS2
8Gにおいて、中央に位置する吐出ヒータ112cと、これに
対応する吐出口106とを正確に上下で一致させるため
に、この吐出口106が形成されたオリフイスプレート108
を備える天板104を、x軸方向に沿つて移動させるに必
要となる移動量xTを、以下に示す演算式から算出する。
Discharge port 106 corresponding to the above-described central discharge heater 112c
When the finished measuring the shift amount x H from the center line, step S2
In 8G, the orifice plate 108 in which the discharge port 106 is formed in order to accurately align the discharge heater 112c located at the center with the corresponding discharge port 106 vertically.
The top plate 104 comprising the moving amount x T required for to along connexion moved in the x-axis direction is calculated from the arithmetic formula shown below.

xT=xh−xH+Δx 次に、ステツプS28Hにおいて、この移動量xTが予めデ
ータデイスクに記憶されているx方向位置合わせの調整
規格範囲Cより小さいか否かが判定される。このステツ
プS28Hにおいて、YESと判断される場合、即ち、移動量x
Tが調整規格範囲Cよりも小さいと判断される場合に
は、制御ユニツト38はヒータボード102の各吐出ヒータ1
12と天板104のオリフイスプレート108に形成された吐出
穴106との、互いにx軸方向の位置が合致していると判
断し、このx軸方向位置合わせ動作の制御手順を終了
し、メインルーチンにリターンする。
x T = x h -x H + Δx Next, in step S28H, adjusting the standard range C whether the difference is less than the x-direction alignment this movement amount x T is previously stored in the data disk is determined. If YES is determined in this step S28H, that is, the movement amount x
If it is determined that T is smaller than the adjustment standard range C, the control unit 38
It is determined that the positions of the discharge hole 106 formed in the orifice plate 108 of the top plate 104 and the discharge hole 106 of the top plate 104 match each other in the x-axis direction. Return to

一方、上述したステツプS28Hにおいて、NOと判断され
る場合、即ち、移動量xTが調整規格範囲Cよりも大きい
と判断される場合には、ステツプS28Iにおいて、第1の
x軸駆動ステージ18を駆動して、この移動量xTに相当す
る量だけ天板104を移動させ、上述したステツプS28Dに
復帰する。
On the other hand, in step S28H described above, when it is determined that NO, that is, when the amount of movement x T is determined to be greater than the adjusted standard range C, in step S28I, the first x-axis driving stage 18 driven to move the amount by top plate 104 corresponding to the moving amount x T, to return to the aforementioned step S28D.

そして、このように天板104のヒータボード102に対す
る位置決めがなされる事により、ヒータボード102の中
央に位置する吐出ヒータ112cと、天板104のオリフイス
プレート108における、吐出ヒータ112cに最も近接する
吐出口106との互いの中心線が、x軸方向に関して一致
する事になる。
By positioning the top plate 104 with respect to the heater board 102 in this manner, the discharge heater 112c located at the center of the heater board 102 and the discharge heater 112c of the orifice plate 108 of the top plate 104 which is closest to the discharge heater 112c. The center lines of the outlet 106 and the outlet 106 coincide with each other in the x-axis direction.

この様にして、天板104とヒータボード102とのx軸方
向の位置合わせ動作を終了し、制御手順は、元のメイン
ルーチンに復帰する。
Thus, the operation of aligning the top board 104 and the heater board 102 in the x-axis direction is completed, and the control procedure returns to the original main routine.

以上詳述した様に、この一実施例の組立装置10及びこ
の組立装置10における組立方法を実行する事により、微
細加工部品であるヒータボード102及び天板104を、これ
らに過度な組み付け力を作用させて破損することなく、
ヒータボード102の吐出ヒータ112と天板104の吐出口106
とを、所定の精度で正確に、互いに組み合わせた上で、
お互いを接着させることが出来る事になる。
As described in detail above, by executing the assembling apparatus 10 of this embodiment and the assembling method in the assembling apparatus 10, the heater board 102 and the top plate 104, which are the microfabricated parts, are subjected to excessive assembling force. Without causing damage
Discharge heater 112 of heater board 102 and discharge port 106 of top plate 104
And are accurately combined with each other with a predetermined accuracy,
You will be able to bond each other.

特に、上述した一実施例においては、この組立装置10
により、組立作業全体から手動操作を排除して、全自動
の組立作業を達成する事が出来る事になる。ここで、こ
の組立装置10の組立動作において、第1の部材としての
ヒータボード102と第2の部材としての天板104とを、両
者の位置合わせ動作を実行するに際して、天板104の前
面に取り付け固定され、第2の部位としての吐出口106
が形成されているオリフイスプレート108の厚さ(t1
は既知である。
In particular, in the above-described embodiment, this assembling apparatus 10
Accordingly, a manual operation can be eliminated from the entire assembling operation, and a fully automatic assembling operation can be achieved. Here, in the assembling operation of the assembling apparatus 10, the heater board 102 as the first member and the top plate 104 as the second member are placed on the front surface of the top plate 104 when the positioning operation of both is performed. The discharge port 106 as a second part is attached and fixed.
Of orifice plate 108 on which is formed (t 1 )
Is known.

このため、ヒータボード102の第1の平面としての上
面に、天板104の第3の平面としての下面が当接する様
に、この天板104がヒータボード102上に落下し、この
後、ヒータボード102の第2の平面としての前端面に、
オリフイスプレート108の第4の平面としての後面が密
着する様に、オリフイスプレート108をヒータボード102
に引き付けた状態で、オリフイスプレート108の第5の
平面としての前面に形成されている吐出口106を撮影し
て、この吐出口106の配設位置を、撮影した画像から検
出するに際して、この吐出口106を撮影する第1のITVカ
メラ40gの焦点は、予め、ヒータボード102の第2の平面
としての前端面を撮影した画像を合焦させる合焦動作を
実行し、この合焦位置から、オリフイスプレート108の
既知の厚さ(t1)分だけ、第2の位置調整機構16を起動
して、y軸方向に沿つて第1のITVカメラ40gからヒータ
ボード102を遠のかせるオフセツト動作を実行している
ので、上述した第1のITVカメラ40gで吐出口106を撮影
しようとした際には、既に、合焦動作を実質的に終了し
ているものである。
For this reason, the top plate 104 falls on the heater board 102 such that the lower surface of the top plate 104 as the third plane abuts on the upper surface of the heater board 102 as the first plane, and thereafter the heater On the front end face of the board 102 as a second plane,
The orifice plate 108 is attached to the heater board 102 so that the rear surface of the orifice plate 108 as the fourth plane is in close contact with the heater board 102.
In a state where the discharge port 106 is attracted to the orifice plate 108, the discharge port 106 formed on the front surface of the orifice plate 108 as a fifth plane is photographed. The focal point of the first ITV camera 40g for photographing the exit 106 performs a focusing operation for focusing an image of the front end face as the second plane of the heater board 102 in advance, and from this focusing position, The offset operation of activating the second position adjusting mechanism 16 by the known thickness (t 1 ) of the orifice plate 108 and moving the heater board 102 away from the first ITV camera 40g along the y-axis direction. Since the execution is being performed, the focusing operation has already been substantially ended when the above-described first ITV camera 40g attempts to photograph the discharge port 106.

従つて、この一実施例では、ステツプS28におけるx
軸合わせ動作でのステツプS28A及びステツプS28Bでの合
焦動作を不要にる事も可能であるし、また、この合焦動
作を実行する場合においても、この合焦動作にかかる時
間は非常に短時間で済事となり、このようにして、高速
の位置合わせ動作が達成される事になる。
Therefore, in this embodiment, x in step S28
It is possible to eliminate the need for the focusing operation in steps S28A and S28B in the axis alignment operation, and when performing this focusing operation, the time required for this focusing operation is very short. Time suffices, and a high-speed positioning operation is thus achieved.

[発明の効果] 以上詳述したように、この発明に係る複数部材の位置
合わせ方法は、第1の部位が配設された第1の平面及び
この第1の平面と直交する第2の平面を有する第1の部
材と、第1の平面に平行な第3の平面及びこの第3の平
面と直交した第4の平面及びこの第4の平面と所定間隔
離間して平行に、且つ、第2の部位が形成された第5の
平面を有する第2の部材とを、第1及び第2の平面を密
着させ、且つ、第2及び第4の平面を密着させると共
に、第5の表面が外方に位置するように位置合わせする
複数部材の位置合わせ方法であって、前記第1の部材の
第1の平面を撮影し、この撮影した画像情報に基づき、
第1の部位の配設位置を検出する第1の検出工程と、前
記第1の部材の第2の平面を撮影した画像を合焦させる
合焦工程と、この合焦位置から、前記所定間隔分だけ、
前記第1の部材を遠のかせるオフセット工程と、前記オ
フセットされた第1の部材の上方に第2の部材を移動さ
せる移動工程と、第1の部材を第2の部材上に落下さ
せ、第1及び第3の平面を密着させる落下工程と、第2
の部材の第4の平面が第1の部材の第2の平面に密着す
るように引き付ける引き付け工程と、第2の平面と第4
の平面とが互いに密着した状態で、第5の平面を撮影
し、この撮影した画像情報に基づき、第2の部位の配設
位置を検出する第2の検出工程と、前記第1及び第2の
検出工程で検出した第1及び第2の配設位置に基づき、
両配設位置が一致するように、第1及び第2の部材を相
対的に移動させる移動工程とを具備することを特徴とす
る。
[Effects of the Invention] As described above in detail, the method for aligning a plurality of members according to the present invention includes the first plane on which the first portion is provided and the second plane orthogonal to the first plane. A first member having a third plane parallel to the first plane, a fourth plane orthogonal to the third plane, and parallel to the fourth plane at a predetermined distance from each other; and A second member having a fifth plane on which the second part is formed is brought into close contact with the first and second planes, and the second and fourth planes are brought into close contact with each other. A method of positioning a plurality of members to be positioned so as to be located outside, wherein a first plane of the first member is photographed, and based on the photographed image information,
A first detecting step of detecting an arrangement position of the first portion, a focusing step of focusing an image obtained by photographing a second plane of the first member, and the predetermined distance from the focusing position. Only minutes
An offset step of moving the first member away, a moving step of moving a second member above the offset first member, dropping the first member on the second member, A dropping step of bringing the first and third planes into close contact with each other;
An attracting step of attracting the fourth plane of the member so that the fourth plane of the member is in close contact with the second plane of the first member;
A second detection step of photographing a fifth plane in a state where the planes are in close contact with each other and detecting an arrangement position of a second part based on the photographed image information; Based on the first and second arrangement positions detected in the detection step of
A moving step of relatively moving the first and second members so that the two disposition positions coincide with each other.

また、前記引き付け工程と第2の検出工程との間で実
行され、第5の平面を撮影し、この第5の平面の画像を
合焦させる第2の合焦工程を更に具備することを特徴と
する。
Further, the method further includes a second focusing step which is executed between the attraction step and the second detection step, takes a fifth plane, and focuses the image of the fifth plane. And

また、この発明に係る複数部材の位置合わせ方法を用
いて製造される記録ヘッドは、インクを吐出して記録を
行うインクジェット記録ヘッドにおいて、第1の部位が
配設された第1の平面及びこの第1の平面と直交する第
2の平面を有する第1の部材と、第1の平面に平行な第
3の平面及びこの第3の平面と直交した第4の平面及び
この第4の平面と所定間隔離間して平行に、且つ、第2
の部位が形成された第5の平面を有する第2の部材と
を、第1及び第2の平面を密着させ、且つ、第2及び第
4の平面を密着させると共に、第5の表面が外方に位置
するように位置合わせして製造される記録ヘッドであっ
て、前記第1の部材の第1の平面を撮影し、この撮影し
た画像情報に基づき、第1の部位の配設位置を検出する
第1の検出工程と、前記第1の部材の第2の平面を撮影
した画像を合焦させる合焦工程と、この合焦位置から、
前記所定間隔分だけ、前記第1の部材を遠のかせるオフ
セット工程と、前記オフセットされた第1の部材の上方
に第2の部材を移動させる移動工程と、第1の部材を第
2の部材上に落下させ、第1及び第3の平面を密着させ
る落下工程と、第2の部材の第4の平面が第1の部材の
第2の平面に密着するように引き付ける引き付け工程
と、第2の平面と第4の平面とが互いに密着した状態
で、第5の平面を撮影し、この撮影した画像情報に基づ
き、第2の部位の配設位置を検出する第2の検出工程
と、前記第1及び第2の検出工程で検出した第1及び第
2の配設位置に基づき、両配設位置が一致するように、
第1及び第2の部材を相対的に移動させる移動工程とを
具備する複数部材の位置合わせ方法を用いて製造される
ことを特徴とする。
Further, a recording head manufactured by using the method for aligning a plurality of members according to the present invention is an ink jet recording head which performs recording by discharging ink, wherein a first plane on which a first portion is provided and A first member having a second plane perpendicular to the first plane, a third plane parallel to the first plane, a fourth plane perpendicular to the third plane, and a fourth plane perpendicular to the third plane; Parallel at predetermined intervals and second
The second member having the fifth plane on which the part is formed is in close contact with the first and second planes, and the second and fourth planes are in close contact with each other, and the fifth surface is outside. A recording head that is manufactured by being positioned so as to be positioned in the first direction, wherein a first plane of the first member is photographed, and an arrangement position of the first part is determined based on the photographed image information. A first detection step of detecting, a focusing step of focusing an image obtained by photographing a second plane of the first member, and a focusing position,
An offset step of moving the first member away from the first member by the predetermined interval; a moving step of moving a second member above the offset first member; and moving the first member to the second member A dropping step of dropping the first and third planes onto each other, an attraction step of attracting the fourth plane of the second member so as to be in close contact with the second plane of the first member, A second detection step of photographing a fifth plane in a state where the planes of the fourth and fourth planes are in close contact with each other, and detecting an arrangement position of a second part based on the photographed image information; On the basis of the first and second arrangement positions detected in the first and second detection steps, so that both arrangement positions match,
The method is characterized by being manufactured by using a method of aligning a plurality of members including a moving step of relatively moving the first and second members.

従って、本発明によれば、より正確で、且つ、より高
速の位置合わせ動作をすることのできる複数部材の位置
合わせ方法及びその方法を用いて製造される記録ヘッド
が提供されることになる。
Therefore, according to the present invention, there is provided a method of aligning a plurality of members which can perform an accurate and faster alignment operation, and a recording head manufactured by using the method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はこの発明に係わる複数部材の位置合わせ方法が
実施される組立装置で組み立てられたヘツドノズルが組
み込まれたインクジエツト記録装置に着脱自在に装着さ
れるインクジエツトカートリツジの構成を取り出して示
す斜視図; 第2図は組立装置での組立対象としてのヘツドノズルの
構成を示す斜視図; 第3図はヘツドノズルの一方の構成要件を規定するヒー
タボードの構成を示す上面図; 第4図はこの発明に係る複数部材の位置合わせ方法の一
実施例が適用されるヘツドノズルの組立装置の構成を概
略的に示す図; 第5図は第1の位置調整機構における取り付け機構及び
第1の位置決め機構の構成を概略的に示す斜視図; 第6A図は第2の位置調整機構における第2の位置決め機
構の構成を示す上面図; 第6B図は第2の位置決め機構と共に接合力発生機構の構
成を示す側断面図; 第6C図は第2の位置決め機構における解除機構の構成を
示す上面図; 第7A図は校正チヤートの取り付け状態を示す斜視図; 第7B図は第1の位置検出機構における第1のITVカメラ
で撮影した校正チヤートの画像を示す図; 第7C図は第2の位置検出機構における第2のITVカメラ
で撮影した校正チヤートの画像を示す図; 第8図はこの発明に係る複数部材の位置合わせ方法の一
実施例が適用される組立方法の制御手順を示すフローチ
ヤート; 第9図は組立方法を説明するについて、説明を明確化す
るために、ヘツドノズルを構成するヒータボード及び天
板を簡略化した状態で示す斜視図; 第10図は校正動作の制御手順をサブルーチンとして示す
フローチヤート; 第11図は校正動作中の状態を示す斜視図; 第12図はヒータボード供給動作の制御手順をサブルーチ
ンとして示すフローチヤート; 第13図は第1及び第2の位置決め機構の待機位置と、組
立作業位置を示す斜視図; 第14図はヒータボードの位置決め動作のの制御手順をサ
ブルーチンとして示すフローチヤート; 第15図は第2のITVカメラでヒータボードを撮影した画
像を示す図; 第16図は天板供給動作の制御手順をサブルーチンとして
示すフローチヤート; 第17図は天板仮置き動作の制御手順をサブルーチンとし
て示すフローチヤート; 第18図は天板のヒータボードに対するx軸方向の位置合
わせ動作の制御手順を示すフローチヤート; 第19A図乃至第19D図は、天板の片寄動作の手順を順次示
す図; 第20図は天板のヒータボードに対するx軸の位置合わせ
動作におけるオリフイスプレートの撮影状態を示す斜視
図;そして 第21図は第1のITVカメラで撮影したオリフイスプレー
トの吐出口の画像を示す図である。 図中、10……組立装置、12……定盤、14……第1の位置
調整機構、16……第2の位置調整機構、18……第1のx
軸ステージ、20……第1のz軸ステージ、22……第1の
y軸ステージ、24……スペーサ、26……取り付け機構、
27……第1の位置決め機構、27A……x軸位置決め部、2
7B……y軸位置決め部、28……第2のx軸ステージ、30
……第2のz軸ステージ、32……第2のy軸ステージ、
33……第2の位置決め機構、33A……x軸位置決め部、3
3B……y軸位置決め部、33C……z軸位置決め部、33D…
…解除機構、33E……吸引機構、34……接合力発生機
構、36a〜36f……ドライバ、38……制御ユニツト、40…
…第1の位置検出機構、42……第2の位置検出機構、44
……画像処理装置、46……第1の信号変換器、48……第
1の合焦状態検出器、50……第2の信号変換器、52……
第2の合焦状態検出器、54……仮着機構、56……ライト
ガイド、58……紫外線光源、60……CRTモニタ、62……
キーボード、64……ITVモニタ、66……操作盤、68……
キーボード、70……CRTモニタ、72……プリンタ、74…
…データデイスク、76……プログラムデイスク、78……
校正チヤート、80a;80b……接着剤、 100……ヘツドノズル、102……ヒータボード、104……
溝付天板、106……吐出口、108……オリフイスプレー
ト、110……基板、112……吐出ヒータ、114……電気配
線、116……天板本体、118……インク受け口、 200……インクジエツトカートリツジ、202……インクタ
ンクである。
FIG. 1 is a perspective view showing the structure of an ink jet cartridge detachably mounted on an ink jet recording apparatus incorporating a head nozzle assembled by an assembling apparatus in which a method for aligning a plurality of members according to the present invention is carried out. FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a head nozzle as an object to be assembled in an assembling apparatus; FIG. 3 is a top view showing a configuration of a heater board which defines one component requirement of the head nozzle; FIG. FIG. 5 schematically shows a configuration of a head nozzle assembling apparatus to which an embodiment of a method for positioning a plurality of members according to the present invention is applied; FIG. 5 shows a configuration of a mounting mechanism and a first positioning mechanism in a first position adjusting mechanism; FIG. 6A is a top view showing a configuration of a second positioning mechanism in the second position adjusting mechanism; FIG. 6B is a second positioning mechanism. FIG. 6C is a top view showing the configuration of the release mechanism in the second positioning mechanism; FIG. 7A is a perspective view showing the mounting state of the calibration chart; FIG. FIG. 7C shows an image of the calibration chart taken by the first ITV camera in the first position detection mechanism; FIG. 7C shows an image of the calibration chart taken by the second ITV camera in the second position detection mechanism; FIG. 8 is a flowchart showing a control procedure of an assembling method to which one embodiment of a method of aligning a plurality of members according to the present invention is applied; FIG. 9 is a diagram for explaining an assembling method; FIG. 10 is a simplified perspective view showing a heater board and a top plate constituting a head nozzle; FIG. 10 is a flowchart showing a control procedure of a calibration operation as a subroutine; FIG. 11 is a perspective view showing a state during the calibration operation; FIG. 12 is a flowchart showing a control procedure of a heater board supply operation as a subroutine; FIG. 13 is a perspective view showing a standby position of the first and second positioning mechanisms, and an assembly work position; FIG. 15 is a flowchart showing a control procedure of the positioning operation as a subroutine; FIG. 15 is a view showing an image of a heater board taken by a second ITV camera; FIG. FIG. 17 is a flowchart showing a subroutine of a control procedure of a top board temporary placing operation; FIG. 18 is a flowchart showing a control procedure of an x-axis direction alignment operation of the top board with respect to the heater board; FIG. 19D is a view sequentially showing the procedure of the offset operation of the top plate; FIG. Perspective view showing an imaging state of; and FIG. 21 is a diagram showing an image of the discharge port of the orifice plate taken by the first ITV camera. In the drawing, 10: an assembling apparatus, 12: a platen, 14: a first position adjusting mechanism, 16: a second position adjusting mechanism, 18: a first x
Axis stage, 20 first z-axis stage, 22 first y-axis stage, 24 spacer, 26 mounting mechanism,
27: first positioning mechanism, 27A: x-axis positioning unit, 2
7B: y-axis positioning unit, 28: second x-axis stage, 30
... A second z-axis stage, 32... A second y-axis stage,
33 ... second positioning mechanism, 33A ... x-axis positioning part, 3
3B: y-axis positioning unit, 33C: z-axis positioning unit, 33D:
... release mechanism, 33E ... suction mechanism, 34 ... joining force generation mechanism, 36a-36f ... driver, 38 ... control unit, 40 ...
... First position detecting mechanism, 42 ... Second position detecting mechanism, 44
... Image processing device, 46 first signal converter, 48 first focus state detector 50 second signal converter 52
Second focus state detector, 54 temporary attachment mechanism, 56 light guide, 58 ultraviolet light source, 60 CRT monitor, 62
Keyboard, 64 ITV monitor, 66 Operation panel, 68
Keyboard, 70 CRT monitor, 72 Printer, 74
… Data disk, 76 …… Program disk, 78 ……
Calibration chart, 80a; 80b… adhesive, 100… head nozzle, 102… heater board, 104…
Top plate with groove, 106: Discharge port, 108: Orifice plate, 110: Substrate, 112: Discharge heater, 114: Electric wiring, 116: Top plate body, 118: Ink port, 200 ... Ink cartridge 202, an ink tank.

フロントページの続き (72)発明者 折笠 剛 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 大庭 孝 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平2−174300(JP,A) 特開 昭61−187115(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B23P 19/00Continued on the front page (72) Inventor Tsuyoshi Orikasa 3- 30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Takashi Oba 3- 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (56) References JP-A-2-174300 (JP, A) JP-A-61-187115 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) B23P 19/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】第1の部位が配設された第1の平面及びこ
の第1の平面と直交する第2の平面を有する第1の部材
と、第1の平面に平行な第3の平面及びこの第3の平面
と直交した第4の平面及びこの第4の平面と所定間隔離
間して平行に、且つ、第2の部位が形成された第5の平
面を有する第2の部材とを、第1及び第2の平面を密着
させ、且つ、第2及び第4の平面を密着させると共に、
第5の表面が外方に位置するように位置合わせする複数
部材の位置合わせ方法であって、 前記第1の部材の第1の平面を撮影し、この撮影した画
像情報に基づき、第1の部位の配設位置を検出する第1
の検出工程と、 前記第1の部材の第2の平面を撮影した画像を合焦させ
る合焦工程と、 この合焦位置から、前記所定間隔分だけ、前記第1の部
材を遠のかせるオフセット工程と、 前記オフセットされた第1の部材の上方に第2の部材を
移動させる移動工程と、 第1の部材を第2の部材上に落下させ、第1及び第3の
平面を密着させる落下工程と、 第2の部材の第4の平面が第1の部材の第2の平面に密
着するように引き付ける引き付け工程と、 第2の平面と第4の平面とが互いに密着した状態で、第
5の平面を撮影し、この撮影した画像情報に基づき、第
2の部位の配設位置を検出する第2の検出工程と、 前記第1及び第2の検出工程で検出した第1及び第2の
配設位置に基づき、両配設位置が一致するように、第1
及び第2の部材を相対的に移動させる移動工程とを具備
することを特徴とする複数部材の位置合わせ方法。
1. A first member having a first plane on which a first portion is disposed, a second plane orthogonal to the first plane, and a third plane parallel to the first plane. And a fourth plane orthogonal to the third plane and a second member having a fifth plane in which the second plane is formed in parallel with the fourth plane at a predetermined interval. The first and second planes are brought into close contact with each other, and the second and fourth planes are brought into close contact with each other.
A method of positioning a plurality of members for positioning such that a fifth surface is located outward, wherein a first plane of the first member is photographed, and a first plane is formed based on the photographed image information. First to detect the location of the parts
A focusing step of focusing an image of a second plane of the first member, and an offset for moving the first member away from the focusing position by the predetermined distance. Moving the second member over the offset first member; and dropping the first member onto the second member, thereby bringing the first and third planes into close contact with each other. A step of attracting the fourth plane of the second member so as to be in close contact with the second plane of the first member; and a step of attracting the second plane in a state in which the fourth plane is in close contact with the second plane. 5, a second detection step of detecting an arrangement position of a second part based on the image information of the captured image, and a first and a second detection steps of the first and second detection steps. The first position is determined based on the position of
And a moving step of relatively moving the second member.
【請求項2】前記引き付け工程と第2の検出工程との間
で実行され、第5の平面を撮影し、この第5の平面の画
像を合焦させる第2の合焦工程を更に具備することを特
徴とする請求項1に記載の複数部材の位置合わせ方法。
2. A second focusing step, which is executed between the attraction step and the second detection step, captures a fifth plane, and focuses the image of the fifth plane. The method for positioning a plurality of members according to claim 1, wherein:
【請求項3】インクを吐出して記録を行うインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、第1の部位が配設された第1の
平面及びこの第1の平面と直交する第2の平面を有する
第1の部材と、第1の平面に平行な第3の平面及びこの
第3の平面と直交した第4の平面及びこの第4の平面と
所定間隔離間して平行に、且つ、第2の部位が形成され
た第5の平面を有する第2の部材とを、第1及び第2の
平面を密着させ、且つ、第2及び第4の平面を密着させ
ると共に、第5の表面が外方に位置するように位置合わ
せして製造される記録ヘッドであって、 前記第1の部材の第1の平面を撮影し、この撮影した画
像情報に基づき、第1の部位の配設位置を検出する第1
の検出工程と、 前記第1の部材の第2の平面を撮影した画像を合焦させ
る合焦工程と、 この合焦位置から、前記所定間隔分だけ、前記第1の部
材を遠のかせるオフセット工程と、 前記オフセットされた第1の部材の上方に第2の部材を
移動させる移動工程と、 第1の部材を第2の部材上に落下させ、第1及び第3の
平面を密着させる落下工程と、 第2の部材の第4の平面が第1の部材の第2の平面に密
着するように引き付ける引き付け工程と、 第2の平面と第4の平面とが互いに密着した状態で、第
5の平面を撮影し、この撮影した画像情報に基づき、第
2の部位の配設位置を検出する第2の検出工程と、 前記第1及び第2の検出工程で検出した第1及び第2の
配設位置に基づき、両配設位置が一致するように、第1
及び第2の部材を相対的に移動させる移動工程とを具備
する複数部材の位置合わせ方法を用いて製造されること
を特徴とする記録ヘッド。
3. An ink jet recording head for performing recording by discharging ink, a first member having a first plane provided with a first portion and a second plane orthogonal to the first plane. And a third plane parallel to the first plane, a fourth plane orthogonal to the third plane, and a second part formed parallel to and spaced from the fourth plane by a predetermined distance. The second member having the fifth plane is brought into close contact with the first and second planes, and the second and fourth planes are brought into close contact with each other, and the fifth surface is positioned outward. A recording head manufactured by positioning the first member, wherein a first plane of the first member is photographed, and an arrangement position of the first part is detected based on the photographed image information.
A focusing step of focusing an image of a second plane of the first member, and an offset for moving the first member away from the focusing position by the predetermined distance. Moving the second member over the offset first member; and dropping the first member onto the second member, thereby bringing the first and third planes into close contact with each other. A step of attracting the fourth plane of the second member so as to be in close contact with the second plane of the first member; and a step of attracting the second plane in a state in which the fourth plane is in close contact with the second plane. 5, a second detection step of detecting an arrangement position of a second part based on the image information of the captured image, and a first and a second detection steps of the first and second detection steps. The first position is determined based on the position of
And a moving step of relatively moving the second member. The recording head is manufactured using a method of aligning a plurality of members.
JP29520690A 1990-11-02 1990-11-02 Method of aligning a plurality of members and recording head manufactured using the method Expired - Fee Related JP2798803B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29520690A JP2798803B2 (en) 1990-11-02 1990-11-02 Method of aligning a plurality of members and recording head manufactured using the method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29520690A JP2798803B2 (en) 1990-11-02 1990-11-02 Method of aligning a plurality of members and recording head manufactured using the method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04171126A JPH04171126A (en) 1992-06-18
JP2798803B2 true JP2798803B2 (en) 1998-09-17

Family

ID=17817579

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29520690A Expired - Fee Related JP2798803B2 (en) 1990-11-02 1990-11-02 Method of aligning a plurality of members and recording head manufactured using the method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2798803B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1178033A (en) 1997-03-12 1999-03-23 Canon Inc Manufacture of liquid jet recording head
DE69930454T2 (en) 1998-10-27 2006-10-19 Canon K.K. A liquid jet recording head and method of assembling same
CN115229804B (en) * 2022-09-21 2023-02-17 荣耀终端有限公司 Method and device for attaching component

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04171126A (en) 1992-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0483843B1 (en) Ink-jet head assembling apparatus
JP4196220B2 (en) Liquid jet head alignment apparatus and alignment method thereof
CN101144910A (en) Alignment apparatus and alignment method
JP2972320B2 (en) Measuring method of separation distance between plural members and recording head manufactured by using the method
JP2798803B2 (en) Method of aligning a plurality of members and recording head manufactured using the method
US7643144B2 (en) Alignment apparatus and alignment method
JP5511096B2 (en) Method and apparatus for mounting fluid ejection module
US5305521A (en) Ink-jet head assembling method
JP2751127B2 (en) Head nozzle assembly device for printing
JP2771714B2 (en) How to assemble the ink jet head
JPH054130A (en) Method and device for location of plurality of members
JPH05104354A (en) Device for assembling head for ink jet
JPH0577122A (en) Assembling method for ink jetting head
JPH05112011A (en) Head nozzle for printing
JPH06126962A (en) Assembling method for ink jet head
JPH04171130A (en) Adhering method of plural members
JPH05112010A (en) Head nozzle for printing
JPH0584622A (en) Method of assembling head for ink jet
JPH05293438A (en) Adhesive coating method
JPH04171129A (en) Joining method of plural members
JPH09192970A (en) High-precise positioning method and device for work
JPH11207533A (en) Method and device for part assembling
JPH05112009A (en) Head nozzle for printing
JPH0985545A (en) Method and device for positioning work with high accuracy
JPH06316080A (en) Device for assemblying ink jet head

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees