JPH1064297A - メモリ試験装置 - Google Patents
メモリ試験装置Info
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- JPH1064297A JPH1064297A JP8225232A JP22523296A JPH1064297A JP H1064297 A JPH1064297 A JP H1064297A JP 8225232 A JP8225232 A JP 8225232A JP 22523296 A JP22523296 A JP 22523296A JP H1064297 A JPH1064297 A JP H1064297A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被試験メモリより動作速度が遅いメモリ素子
を使って不良解析メモリを構成する。 【解決手段】 フェイル発生アドレスの下位ビットの値
に応じて切換動作を行なう切換え回路と、この切換え回
路によって選択されてフェイルが発生したアドレスにフ
ェイルデータが書き込まれる複数のメモリバンクと、こ
れら複数のメモリバンクに通じる各アドレス信号及びフ
ェイルデータの伝送路に介挿され同一アドレスにおいて
連続して発生したフェイルデータの伝達を1個だけに制
限するパイプラインレジスタとによって構成される。
を使って不良解析メモリを構成する。 【解決手段】 フェイル発生アドレスの下位ビットの値
に応じて切換動作を行なう切換え回路と、この切換え回
路によって選択されてフェイルが発生したアドレスにフ
ェイルデータが書き込まれる複数のメモリバンクと、こ
れら複数のメモリバンクに通じる各アドレス信号及びフ
ェイルデータの伝送路に介挿され同一アドレスにおいて
連続して発生したフェイルデータの伝達を1個だけに制
限するパイプラインレジスタとによって構成される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は集積回路化された
メモリを試験するメモリ試験装置に関し、特に試験の結
果を記憶する不良解析メモリの部分に関する発明であ
る。
メモリを試験するメモリ試験装置に関し、特に試験の結
果を記憶する不良解析メモリの部分に関する発明であ
る。
【0002】
【従来の技術】図9にメモリ試験装置の概略の構成を示
す。パターン発生器PGは被試験メモリMUTに試験パ
ターン信号を与えると共に、論理比較器DCに期待値パ
ターン信号を与える。更に不良解析メモリFMには試験
パターン信号及び期待値パターン信号に付加されている
アドレス信号と同じアドレスを指すアドレス信号を与え
る。
す。パターン発生器PGは被試験メモリMUTに試験パ
ターン信号を与えると共に、論理比較器DCに期待値パ
ターン信号を与える。更に不良解析メモリFMには試験
パターン信号及び期待値パターン信号に付加されている
アドレス信号と同じアドレスを指すアドレス信号を与え
る。
【0003】論理比較器DCは被試験メモリMUTが出
力する応答出力と、パターン発生器PGが出力する期待
値パターンとを比較し、不一致の発生を検出する。応答
出力信号と期待値パターン信号とが不一致になる毎に、
その不良セルの位置を指示するフェイルデータを不良解
析メモリFMに書き込む。フェイルデータを書き込むア
ドレスは不一致が発生したアドレスであり、そのアドレ
ス信号はパターン発生器PGから不良解析メモリFMに
直接与えられる。
力する応答出力と、パターン発生器PGが出力する期待
値パターンとを比較し、不一致の発生を検出する。応答
出力信号と期待値パターン信号とが不一致になる毎に、
その不良セルの位置を指示するフェイルデータを不良解
析メモリFMに書き込む。フェイルデータを書き込むア
ドレスは不一致が発生したアドレスであり、そのアドレ
ス信号はパターン発生器PGから不良解析メモリFMに
直接与えられる。
【0004】不良解析メモリFMに取り込まれたフェイ
ルデータは不良セルの位置に1論理が書き込まれ、この
1論理の存在を読み出して例えばフェイルマップを表示
し、各被試験メモリMUTに付加されている救済手段に
よって救済が可能か否かを判定すること等に利用され
る。不良解析メモリFMは被試験メモリMUTと同一の
記憶容量を持ち、フェイルが発生する毎に、そのフェイ
ルが発生したメモリセルの位置に1論理を書き込む動作
を行なう。従って不良解析メモリFMは被試験メモリM
UTと同一の記憶容量を持つ他に、同一速度で動作しな
ければならない。
ルデータは不良セルの位置に1論理が書き込まれ、この
1論理の存在を読み出して例えばフェイルマップを表示
し、各被試験メモリMUTに付加されている救済手段に
よって救済が可能か否かを判定すること等に利用され
る。不良解析メモリFMは被試験メモリMUTと同一の
記憶容量を持ち、フェイルが発生する毎に、そのフェイ
ルが発生したメモリセルの位置に1論理を書き込む動作
を行なう。従って不良解析メモリFMは被試験メモリM
UTと同一の記憶容量を持つ他に、同一速度で動作しな
ければならない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、不良
解析メモリFMは被試験メモリMUTと同一の記憶容量
を持つ他に、同一の動作速度で動作しなければならな
い。このため従来より高速動作が可能なスタティック型
のSRAMと呼ばれるメモリ素子を用いて不良解析メモ
リを構成していた。然し乍ら、SRAMは高価な上、容
量の大きい素子が製造されていないため、多量のSRA
Mを用いて記憶容量が大きい不良解析メモリを構成しな
ければならない不都合がある。
解析メモリFMは被試験メモリMUTと同一の記憶容量
を持つ他に、同一の動作速度で動作しなければならな
い。このため従来より高速動作が可能なスタティック型
のSRAMと呼ばれるメモリ素子を用いて不良解析メモ
リを構成していた。然し乍ら、SRAMは高価な上、容
量の大きい素子が製造されていないため、多量のSRA
Mを用いて記憶容量が大きい不良解析メモリを構成しな
ければならない不都合がある。
【0006】このため、動作速度が遅いが安価に入手で
きるDRAM(記憶保持動作を必要とする随時書き込み
読み出し可能なメモリ)を用いる試みがなされている。
DRAMを用いる場合に考えられる構成を図10に示
す。不良解析メモリFMの内部に切換え回路MPと、複
数のメモリバンクBK#1,BK#2,BK#3,・・
・BK#Nを設け、切換え回路MPはフェイルが発生す
る毎にメモリバンクBK#1〜BK#Nを順番に切換え
てフェイルデータを与え、これら複数のメモリバンクB
K#1,BK#2,BK#3,・・・BK#Nにフェイ
ルデータを振り分けて格納する方法が考えられる。この
方法は一般にインターリーブと称し、このインターリー
ブ構造を採ることにより各メモリバンクBK#1〜BK
#Nは被試験メモリの動作速度の1/Nの動作速度で動
作すればよいことになる。
きるDRAM(記憶保持動作を必要とする随時書き込み
読み出し可能なメモリ)を用いる試みがなされている。
DRAMを用いる場合に考えられる構成を図10に示
す。不良解析メモリFMの内部に切換え回路MPと、複
数のメモリバンクBK#1,BK#2,BK#3,・・
・BK#Nを設け、切換え回路MPはフェイルが発生す
る毎にメモリバンクBK#1〜BK#Nを順番に切換え
てフェイルデータを与え、これら複数のメモリバンクB
K#1,BK#2,BK#3,・・・BK#Nにフェイ
ルデータを振り分けて格納する方法が考えられる。この
方法は一般にインターリーブと称し、このインターリー
ブ構造を採ることにより各メモリバンクBK#1〜BK
#Nは被試験メモリの動作速度の1/Nの動作速度で動
作すればよいことになる。
【0007】ところで、図10に示したインターリーブ
構造を採る場合、各メモリバンクBK#1〜BK#Nに
はフェイルが発生したアドレスとフェイルデータが無作
為に与えられるため、各メモリバンクBK#1〜BK#
Nは全て被試験メモリMUTと同一のメモリ容量を必要
とする。この結果、N相のインターリーブを構成する場
合は被試験メモリMUTのN倍のメモリ容量を必要と
し、インターリーブの相数Nに比例してメモリ素子の使
用量が大きくなる不都合がある。
構造を採る場合、各メモリバンクBK#1〜BK#Nに
はフェイルが発生したアドレスとフェイルデータが無作
為に与えられるため、各メモリバンクBK#1〜BK#
Nは全て被試験メモリMUTと同一のメモリ容量を必要
とする。この結果、N相のインターリーブを構成する場
合は被試験メモリMUTのN倍のメモリ容量を必要と
し、インターリーブの相数Nに比例してメモリ素子の使
用量が大きくなる不都合がある。
【0008】この発明の第1の目的は不良解析メモリを
インターリーブ構造によって構成する場合、各メモリバ
ンクのメモリ容量を少なくすることができる構成を提案
するものである。この発明の第2の目的は近接したテス
トサイクルにおいて、同一アドレスからフェイルが発生
した場合に、2回目以後に発生した同一アドレスのフェ
イルの書き込みを禁止し、不良解析メモリへの書き込み
頻度を低減させ、各メモリバンクに高速動作を要求しな
い構成をも提案するものである。
インターリーブ構造によって構成する場合、各メモリバ
ンクのメモリ容量を少なくすることができる構成を提案
するものである。この発明の第2の目的は近接したテス
トサイクルにおいて、同一アドレスからフェイルが発生
した場合に、2回目以後に発生した同一アドレスのフェ
イルの書き込みを禁止し、不良解析メモリへの書き込み
頻度を低減させ、各メモリバンクに高速動作を要求しな
い構成をも提案するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明ではインターリ
ーブ構造によって不良解析メモリを構成する場合、フェ
イルデータを各メモリバンクに振り分ける切換え回路
を、フェイルが発生したアドレスに依存して切換え制御
を行なわせる構成を提案するものである。つまり、フェ
イルが発生したアドレスの下位ビットの値に対応させて
切換え回路を制御し、各メモリバンクに格納するフェイ
ル発生アドレスをアドレスの下位ビットの値に従って仕
分けする構成とするものである。
ーブ構造によって不良解析メモリを構成する場合、フェ
イルデータを各メモリバンクに振り分ける切換え回路
を、フェイルが発生したアドレスに依存して切換え制御
を行なわせる構成を提案するものである。つまり、フェ
イルが発生したアドレスの下位ビットの値に対応させて
切換え回路を制御し、各メモリバンクに格納するフェイ
ル発生アドレスをアドレスの下位ビットの値に従って仕
分けする構成とするものである。
【0010】従ってこの発明の構成を採ることにより、
例えばフェイル発生アドレスの下位2ビットの値に対応
させて切換え回路を制御したとすると、各メモリバンク
に書き込まれるアドレスは1/4ずつに分散して仕分け
されるため、メモリバンクの記憶容量は被試験メモリの
それの1/4に制限することができる。この出願の第2
発明では更に上述の第1発明で提案した構成を採った場
合に発生する不都合をも解消しようとするものである。
つまり、上述したようにフェイル発生アドレスの下位ビ
ットの値に対応させて切換え回路の切換動作を制御させ
た場合に、近接したテストサイクルで同一アドレスがア
クセスされ、この同一アドレスでフェイルが発生したと
すると、同一のメモリバンクに続けてフェイルデータを
書き込まなければならなくなる。
例えばフェイル発生アドレスの下位2ビットの値に対応
させて切換え回路を制御したとすると、各メモリバンク
に書き込まれるアドレスは1/4ずつに分散して仕分け
されるため、メモリバンクの記憶容量は被試験メモリの
それの1/4に制限することができる。この出願の第2
発明では更に上述の第1発明で提案した構成を採った場
合に発生する不都合をも解消しようとするものである。
つまり、上述したようにフェイル発生アドレスの下位ビ
ットの値に対応させて切換え回路の切換動作を制御させ
た場合に、近接したテストサイクルで同一アドレスがア
クセスされ、この同一アドレスでフェイルが発生したと
すると、同一のメモリバンクに続けてフェイルデータを
書き込まなければならなくなる。
【0011】このような状況はセル間干渉テストパター
ンを実行した場合に発生する。セル間干渉テストパター
ンとは例えばギロッピング・パターン、ピンポン・パタ
ーン、バタフライ・パターン等が存在し、注目したメモ
リセルを中心として、注目したメモリセルとそのメモリ
セルに干渉を与えると考えられるメモリセルとを例えば
交互に書き込みと読み出しを実行し、注目したメモリセ
ルの記憶が破壊されるか否かを見るテストパターンであ
る。
ンを実行した場合に発生する。セル間干渉テストパター
ンとは例えばギロッピング・パターン、ピンポン・パタ
ーン、バタフライ・パターン等が存在し、注目したメモ
リセルを中心として、注目したメモリセルとそのメモリ
セルに干渉を与えると考えられるメモリセルとを例えば
交互に書き込みと読み出しを実行し、注目したメモリセ
ルの記憶が破壊されるか否かを見るテストパターンであ
る。
【0012】このセル間干渉テストパターンを実行した
場合に、注目したメモリセルが不良であった場合には、
近接したテストサイクル毎に同一アドレスでフェイルが
発生する。従ってフェイルが発生したアドレスの下位ビ
ットの値に対応してフェイルデータを格納するメモリバ
ンクを特定した場合に、同一アドレスで続けてフェイル
が発生すると同一のメモリバンクに連続してフェイルデ
ータを書き込まなければならない状況が発生する。
場合に、注目したメモリセルが不良であった場合には、
近接したテストサイクル毎に同一アドレスでフェイルが
発生する。従ってフェイルが発生したアドレスの下位ビ
ットの値に対応してフェイルデータを格納するメモリバ
ンクを特定した場合に、同一アドレスで続けてフェイル
が発生すると同一のメモリバンクに連続してフェイルデ
ータを書き込まなければならない状況が発生する。
【0013】この結果、メモリバンクに高速動作が要求
されてしまうことになる。この不都合を解消するため
に、この出願の第2発明では近接したテストサイクルで
同一アドレスでフェイルが発生した場合には、2回目以
後に発生した同一アドレスのフェイルデータの書き込み
を禁止する手段を設け、メモリバンクへの書き込み頻度
を低減させ、メモリバンクに高速動作を要求しない構成
を提案するものである。
されてしまうことになる。この不都合を解消するため
に、この出願の第2発明では近接したテストサイクルで
同一アドレスでフェイルが発生した場合には、2回目以
後に発生した同一アドレスのフェイルデータの書き込み
を禁止する手段を設け、メモリバンクへの書き込み頻度
を低減させ、メモリバンクに高速動作を要求しない構成
を提案するものである。
【0014】従って、この発明によれば少ないメモリ素
子によって不良解析メモリを構成できることと、そのメ
モリ素子は高速動作が要求されないことから、安価なメ
モリ素子を用いることができる利点が得られる。
子によって不良解析メモリを構成できることと、そのメ
モリ素子は高速動作が要求されないことから、安価なメ
モリ素子を用いることができる利点が得られる。
【0015】
【発明の実施の形態】図1にこの発明によるメモリ試験
装置に用いる不良解析メモリの実施例を示す。図中AF
Mはこの発明によるメモリ試験装置に用いる不良解析メ
モリを示す。この発明によるメモリ試験装置に用いる不
良解析メモリAFMはパイプラインレジスタ10と、切
換え回路11と、バッファメモリ12A〜12Dと、こ
れらバッファメモリ12A〜12Dから出力されるフェ
イルデータをフェイル発生アドレスに格納するメモリバ
ンクBK#1〜BK#4とによって構成される。
装置に用いる不良解析メモリの実施例を示す。図中AF
Mはこの発明によるメモリ試験装置に用いる不良解析メ
モリを示す。この発明によるメモリ試験装置に用いる不
良解析メモリAFMはパイプラインレジスタ10と、切
換え回路11と、バッファメモリ12A〜12Dと、こ
れらバッファメモリ12A〜12Dから出力されるフェ
イルデータをフェイル発生アドレスに格納するメモリバ
ンクBK#1〜BK#4とによって構成される。
【0016】この発明による不良解析メモリAFMでは
フェイルが発生したアドレス信号の中の例えば下位2ビ
ットの信号BTの値により切換え回路11の切換位置を
制御するように構成する。フェイル発生アドレスの下位
2ビットの信号BTが例えば「0,0」であった場合、
切換え回路11はバッファメモリ12Aにフェイルデー
タとそのフェイルの発生アドレスを表わすアドレス信号
を供給し、そのアドレス信号によってメモリバンクBK
#1をアクセスし、フェイルデータをメモリバンクBK
#1に書き込む。
フェイルが発生したアドレス信号の中の例えば下位2ビ
ットの信号BTの値により切換え回路11の切換位置を
制御するように構成する。フェイル発生アドレスの下位
2ビットの信号BTが例えば「0,0」であった場合、
切換え回路11はバッファメモリ12Aにフェイルデー
タとそのフェイルの発生アドレスを表わすアドレス信号
を供給し、そのアドレス信号によってメモリバンクBK
#1をアクセスし、フェイルデータをメモリバンクBK
#1に書き込む。
【0017】フェイル発生アドレスの下位2ビットの信
号BTが「0,1」の場合は切換え回路11はバッファ
メモリ12Bにフェイルデータとアドレス信号を供給す
る。従ってこの場合にはバッファメモリ12Bを通じて
メモリバンクBK#2にフェイルデータとアドレス信号
を与え、そのアドレス信号によって指示されたアドレス
にフェイルデータを格納する。
号BTが「0,1」の場合は切換え回路11はバッファ
メモリ12Bにフェイルデータとアドレス信号を供給す
る。従ってこの場合にはバッファメモリ12Bを通じて
メモリバンクBK#2にフェイルデータとアドレス信号
を与え、そのアドレス信号によって指示されたアドレス
にフェイルデータを格納する。
【0018】フェイル発生アドレスの下位2ビットの信
号BTが「1,0」の場合は切換え回路11はバッファ
メモリ12Cにフェイルデータとアドレス信号を与え、
そのフェイルデータをそのアドレス信号が指示するメモ
リバンクBK#3内のアドレスに書き込む。フェイル発
生アドレスの下位2ビットの信号BTが「1,1」の場
合は切換え回路11はバッファメモリ12Dにフェイル
データとフェイル発生アドレスとを与え、そのフェイル
データをそのアドレス信号が指示するメモリバンクBK
#4内のアドレスに書き込む。
号BTが「1,0」の場合は切換え回路11はバッファ
メモリ12Cにフェイルデータとアドレス信号を与え、
そのフェイルデータをそのアドレス信号が指示するメモ
リバンクBK#3内のアドレスに書き込む。フェイル発
生アドレスの下位2ビットの信号BTが「1,1」の場
合は切換え回路11はバッファメモリ12Dにフェイル
データとフェイル発生アドレスとを与え、そのフェイル
データをそのアドレス信号が指示するメモリバンクBK
#4内のアドレスに書き込む。
【0019】このように、切換え回路11の切換動作を
アドレス信号の下位2ビットの信号BTの値に対応付け
して実行させることにより、メモリバンクBK#1には
アドレス信号の下位2ビットの信号BTが「0,0」の
場合のフェイルデータがそのフェイル発生アドレスに書
き込まれ、その他の値を持つアドレスで発生したフェイ
ルデータは書き込まれない。従って各メモリバンクBK
#1〜BK#4にはそれぞれアドレス信号の下2桁が同
一の場合のフェイルデータを書き込むので、各メモリバ
ンクBK#1〜BK#4の記憶容量は被試験メモリMU
Tの記憶容量の1/4の容量が有ればよいことになる。
アドレス信号の下位2ビットの信号BTの値に対応付け
して実行させることにより、メモリバンクBK#1には
アドレス信号の下位2ビットの信号BTが「0,0」の
場合のフェイルデータがそのフェイル発生アドレスに書
き込まれ、その他の値を持つアドレスで発生したフェイ
ルデータは書き込まれない。従って各メモリバンクBK
#1〜BK#4にはそれぞれアドレス信号の下2桁が同
一の場合のフェイルデータを書き込むので、各メモリバ
ンクBK#1〜BK#4の記憶容量は被試験メモリMU
Tの記憶容量の1/4の容量が有ればよいことになる。
【0020】この発明では更に、同一アドレスにフェイ
ルが近接して発生した場合には、パイプラインレジスタ
10によって2回目以後に発生する同一アドレスのフェ
イルデータは書き込みを禁止させる動作を行なわせる。
図2にこのためのパイプラインレジスタ10の構成の一
例を示す。図2に示す例では、レジスタ10B1 〜10
B4 により、4段のパイプラインを構成し、各段のレジ
スタ10B4 ,10B3 ,10B2 ,10B1 の順に1
回目のフェイル発生から4回目のフェイル発生までのア
ドレスとフェイルデータを記憶させる。初段のレジスタ
10Aには新たにフェイルが発生したアドレスを表わす
アドレス信号とフェイルデータがストアされる。これら
の各レジスタ10Aと10B1 〜10B4 までのそれぞ
れのクロック入力端子CKにはテストサイクルの終了に
同期したクロックCLKが与えられる。従って各レジス
タ10B1 〜10B4 にストアした各アドレス信号及び
フェイルデータはクロックCLKに同期して順次1段ず
つ後方に送られる。
ルが近接して発生した場合には、パイプラインレジスタ
10によって2回目以後に発生する同一アドレスのフェ
イルデータは書き込みを禁止させる動作を行なわせる。
図2にこのためのパイプラインレジスタ10の構成の一
例を示す。図2に示す例では、レジスタ10B1 〜10
B4 により、4段のパイプラインを構成し、各段のレジ
スタ10B4 ,10B3 ,10B2 ,10B1 の順に1
回目のフェイル発生から4回目のフェイル発生までのア
ドレスとフェイルデータを記憶させる。初段のレジスタ
10Aには新たにフェイルが発生したアドレスを表わす
アドレス信号とフェイルデータがストアされる。これら
の各レジスタ10Aと10B1 〜10B4 までのそれぞ
れのクロック入力端子CKにはテストサイクルの終了に
同期したクロックCLKが与えられる。従って各レジス
タ10B1 〜10B4 にストアした各アドレス信号及び
フェイルデータはクロックCLKに同期して順次1段ず
つ後方に送られる。
【0021】尚、クロックCLKはフェイルデータの中
の何れかのビットに1論理(フェイルが存在すること)
が存在した場合に、その1論理信号をオアゲート10F
で取り出し、この1論理信号によってゲート10Gを開
に制御し、このゲート10Gを通じてクロックCLKを
取り出す。よってクロックCLKはフェイルが発生した
テストサイクルにおいてだけゲート10Gを通過し、レ
ジスタ10Aとパイプラインとに供給される。
の何れかのビットに1論理(フェイルが存在すること)
が存在した場合に、その1論理信号をオアゲート10F
で取り出し、この1論理信号によってゲート10Gを開
に制御し、このゲート10Gを通じてクロックCLKを
取り出す。よってクロックCLKはフェイルが発生した
テストサイクルにおいてだけゲート10Gを通過し、レ
ジスタ10Aとパイプラインとに供給される。
【0022】パイプラインを構成する各段のレジスタ1
0B1 〜10B4 の各出力側からアドレス信号を取り出
し、アドレス比較器10C1 〜10C4 の各一方の入力
端子Aに入力する。アドレス比較器10C1 〜10C4
の各他方の入力端子Bには初段のレジスタ10Aにスト
アしたアドレス信号を与える。従って各アドレス比較器
10C1 〜10C4 では新たにフェイルが発生したアド
レスと、過去4回分のフェイル発生アドレスとを比較す
る。
0B1 〜10B4 の各出力側からアドレス信号を取り出
し、アドレス比較器10C1 〜10C4 の各一方の入力
端子Aに入力する。アドレス比較器10C1 〜10C4
の各他方の入力端子Bには初段のレジスタ10Aにスト
アしたアドレス信号を与える。従って各アドレス比較器
10C1 〜10C4 では新たにフェイルが発生したアド
レスと、過去4回分のフェイル発生アドレスとを比較す
る。
【0023】各アドレス比較器10C1 〜10C4 の比
較出力はオアゲート10Dを通じてゲート10Eに与え
る。アドレス比較器10C1 〜10C4 は入力端子Aと
Bに入力したアドレス信号が一致した場合は「1」論理
を出力する。この「1」論理信号をオアゲート10Dを
通じてゲート10Eに与えることにより、アドレス比較
器10C1 〜10C4 の何れか一つでも一致が発生する
と、ゲート10Eは閉の状態に制御される。この結果、
新たにフェイルが発生したアドレスが過去4回分のアド
レスと一致する場合は、パイプラインに取り込むことを
阻止され、レジスタ10A内で次のフェイルが発生した
時点で、フェイルが発生したアドレス信号に書換えられ
消滅する。尚、図2ではパイプラインを4段構造とした
場合を説明したが、パイプラインの段数は4段に限るこ
となく自由に選定することができる。
較出力はオアゲート10Dを通じてゲート10Eに与え
る。アドレス比較器10C1 〜10C4 は入力端子Aと
Bに入力したアドレス信号が一致した場合は「1」論理
を出力する。この「1」論理信号をオアゲート10Dを
通じてゲート10Eに与えることにより、アドレス比較
器10C1 〜10C4 の何れか一つでも一致が発生する
と、ゲート10Eは閉の状態に制御される。この結果、
新たにフェイルが発生したアドレスが過去4回分のアド
レスと一致する場合は、パイプラインに取り込むことを
阻止され、レジスタ10A内で次のフェイルが発生した
時点で、フェイルが発生したアドレス信号に書換えられ
消滅する。尚、図2ではパイプラインを4段構造とした
場合を説明したが、パイプラインの段数は4段に限るこ
となく自由に選定することができる。
【0024】パイプラインレジスタ10から出力される
アドレス信号とフェイルデータは切換え回路11でアド
レス信号の下位2ビットの信号BTの値に応じて仕分け
されてバッファメモリ12A〜12Dに振り分けられ、
メモリバンクBK#1〜BK#4に書き込まれる。ここ
で、バッファメモリ12A〜12Dを構成するファース
トイン・ファーストアウトメモリに必要な段数について
考察する。図3に示すフェイルマップ(被試験メモリM
UTにおけるメモリセルの配置と等価)が作製された場
合、アドレスがA0 とA4 の列はメモリバンクBK#1
に書き込まれる。またアドレスA1とA5 の列はメモリ
ブロックBK#2に書き込まれる。アドレスA2 とA6
の列はメモリブロックBK#3に書き込まれる。アドレ
スA3 とA7 の列はメモリブロックBK#4に書き込ま
れる。
アドレス信号とフェイルデータは切換え回路11でアド
レス信号の下位2ビットの信号BTの値に応じて仕分け
されてバッファメモリ12A〜12Dに振り分けられ、
メモリバンクBK#1〜BK#4に書き込まれる。ここ
で、バッファメモリ12A〜12Dを構成するファース
トイン・ファーストアウトメモリに必要な段数について
考察する。図3に示すフェイルマップ(被試験メモリM
UTにおけるメモリセルの配置と等価)が作製された場
合、アドレスがA0 とA4 の列はメモリバンクBK#1
に書き込まれる。またアドレスA1とA5 の列はメモリ
ブロックBK#2に書き込まれる。アドレスA2 とA6
の列はメモリブロックBK#3に書き込まれる。アドレ
スA3 とA7 の列はメモリブロックBK#4に書き込ま
れる。
【0025】テストパターンとして図4に示すように、
アドレスA0 〜A63までを+1ずつずらしてX方向に走
査して0論理を書き込み(WO)、図5に示すようにそ
の書き込んだ0論理をアドレスA0 〜A64までを順次読
み出(RO)した場合に、全てのアドレスでフェイルが
発生したとすると、各メモリバンクBK#1〜BK#4
には図6に示すようにアドレスA0 ,A1 ,A2 ,A3
が書き込まれ、次にはA4 ,A5 ,A6 ,A7 の順に書
き込みが行なわれる。この場合例えばバッファメモリ1
2AにはA0 ,A4 ,A8 ・・・の順にアドレスが与え
られるから、その取り込み周期は被試験メモリの読み出
し速度の1/4の速度であるため、各バッファメモリ1
2A〜12Dにはアドレス信号及びフェイルデータは蓄
積されることなく通過し、各メモリバンクBK#1〜B
K#4に書き込まれる。従ってこのテストパターンを実
行するだけであればバッファメモリ12A〜12Dは必
ずしも必要としない。
アドレスA0 〜A63までを+1ずつずらしてX方向に走
査して0論理を書き込み(WO)、図5に示すようにそ
の書き込んだ0論理をアドレスA0 〜A64までを順次読
み出(RO)した場合に、全てのアドレスでフェイルが
発生したとすると、各メモリバンクBK#1〜BK#4
には図6に示すようにアドレスA0 ,A1 ,A2 ,A3
が書き込まれ、次にはA4 ,A5 ,A6 ,A7 の順に書
き込みが行なわれる。この場合例えばバッファメモリ1
2AにはA0 ,A4 ,A8 ・・・の順にアドレスが与え
られるから、その取り込み周期は被試験メモリの読み出
し速度の1/4の速度であるため、各バッファメモリ1
2A〜12Dにはアドレス信号及びフェイルデータは蓄
積されることなく通過し、各メモリバンクBK#1〜B
K#4に書き込まれる。従ってこのテストパターンを実
行するだけであればバッファメモリ12A〜12Dは必
ずしも必要としない。
【0026】一方、図7に示すようなテストパターンで
被試験メモリMUTに0を書き込み、読み出しを行なう
場合もある。このテストパターンはアドレスをA0 ,A
8 ,A16,A32,A40・・・A54の順にアクセスするの
で、この場合に、全てのアドレスでフェイルが発生した
とすると、そのフェイルデータはメモリブロックBK#
1に集中して書き込まなくてはならなくなる。
被試験メモリMUTに0を書き込み、読み出しを行なう
場合もある。このテストパターンはアドレスをA0 ,A
8 ,A16,A32,A40・・・A54の順にアクセスするの
で、この場合に、全てのアドレスでフェイルが発生した
とすると、そのフェイルデータはメモリブロックBK#
1に集中して書き込まなくてはならなくなる。
【0027】このため、バッファメモリ12Aとして例
えばA0 〜A56までの8個のフェイルデータとアドレス
を保持できるように8段のファーストイン・ファースト
アウトメモリを用いたとすれば、A0 〜A56までの8個
のフェイルデータ及びアドレス信号はバッファメモリ1
2Aに蓄えられ、A56までアクセスした後の次の読み出
しは、アドレスA1 〜A57になるのでこのアドレスA1
〜A57のフェイルデータ及びアドレス信号はメモリバン
クBK#2に書き込むべきデータであるから、バッファ
メモリ12Bが8段のバッファ容量を持っていれば、メ
モリバンクBK#2に書き込むデータはバッファメモリ
12Bに蓄えられ、書き込みを行なうことができる。次
にメモリバンクBK#1,BK#2に書き込むべきデー
タが発生した場合には、それまでの時間内にメモリバン
クBK#1とBK#2に書き込みが完了し、バッファメ
モリ12A,12Bは空の状態になる。このようにバッ
ファメモリ12A〜12Dが被試験メモリMUTのアド
レスのY方向のセルの数に相当する段数を持つことによ
り図7に示したテストパターンに対してデータの取り込
み動作を実行することができる。
えばA0 〜A56までの8個のフェイルデータとアドレス
を保持できるように8段のファーストイン・ファースト
アウトメモリを用いたとすれば、A0 〜A56までの8個
のフェイルデータ及びアドレス信号はバッファメモリ1
2Aに蓄えられ、A56までアクセスした後の次の読み出
しは、アドレスA1 〜A57になるのでこのアドレスA1
〜A57のフェイルデータ及びアドレス信号はメモリバン
クBK#2に書き込むべきデータであるから、バッファ
メモリ12Bが8段のバッファ容量を持っていれば、メ
モリバンクBK#2に書き込むデータはバッファメモリ
12Bに蓄えられ、書き込みを行なうことができる。次
にメモリバンクBK#1,BK#2に書き込むべきデー
タが発生した場合には、それまでの時間内にメモリバン
クBK#1とBK#2に書き込みが完了し、バッファメ
モリ12A,12Bは空の状態になる。このようにバッ
ファメモリ12A〜12Dが被試験メモリMUTのアド
レスのY方向のセルの数に相当する段数を持つことによ
り図7に示したテストパターンに対してデータの取り込
み動作を実行することができる。
【0028】図3に示したメモリセルの配置(フェイル
マップ)において、例えば図8に示すようにアドレスA
9 を注目アドレスとし、この注目アドレスA9 を中心と
して例えば、 テストサイクル (1),(2),(3),(4),(5),(6) 書き込み/読み出し W1, R1, W0, R1, W0, R1 アドレス A9 , A9 , A10, A9 , A8 , A9 (7),(8),(9),(10) ・・・ W0, R1, W0, R1 ・・・ A1 A9 , A17, A9 ・・・ とするテストパターンがある。
マップ)において、例えば図8に示すようにアドレスA
9 を注目アドレスとし、この注目アドレスA9 を中心と
して例えば、 テストサイクル (1),(2),(3),(4),(5),(6) 書き込み/読み出し W1, R1, W0, R1, W0, R1 アドレス A9 , A9 , A10, A9 , A8 , A9 (7),(8),(9),(10) ・・・ W0, R1, W0, R1 ・・・ A1 A9 , A17, A9 ・・・ とするテストパターンがある。
【0029】このテストパターンはテストサイクル
(1)でアドレスA9 に1論理を書き込み、テストサイ
クル(2)でアドレスA9 から1論理を読み出し、テス
トサイクル(3)でアドレスA10に0論理を書き込み、
テストサイクル(4)でアドレスA9 から1論理を読み
出し、・・・とするテストパターンである。この10回
のテストサイクルにおいて、注目アドレスA9 は6回ア
クセスされている。その中で5回は読み出し動作を行な
っており、この読み出し動作時に論理比較が行なわれ、
フェイルが発生するか否かが問われる。
(1)でアドレスA9 に1論理を書き込み、テストサイ
クル(2)でアドレスA9 から1論理を読み出し、テス
トサイクル(3)でアドレスA10に0論理を書き込み、
テストサイクル(4)でアドレスA9 から1論理を読み
出し、・・・とするテストパターンである。この10回
のテストサイクルにおいて、注目アドレスA9 は6回ア
クセスされている。その中で5回は読み出し動作を行な
っており、この読み出し動作時に論理比較が行なわれ、
フェイルが発生するか否かが問われる。
【0030】ここで注目アドレスA9 に不良セルが存在
したとすると、テストサイクル(2),(4),
(6),(8),(10)においてフェイルが発生する
ことになる。フェイル発生アドレスA9 が連続して図2
に示したパイプラインレジスタ10に入力されたとする
と、テストサイクル(1)で発生したフェイルデータと
アドレス信号だけがパイプラインに残され、他のテスト
サイクル(4),(6),(8),(10)で発生した
フェイルデータにアドレス信号はパイプラインへの取り
込みを阻止される。
したとすると、テストサイクル(2),(4),
(6),(8),(10)においてフェイルが発生する
ことになる。フェイル発生アドレスA9 が連続して図2
に示したパイプラインレジスタ10に入力されたとする
と、テストサイクル(1)で発生したフェイルデータと
アドレス信号だけがパイプラインに残され、他のテスト
サイクル(4),(6),(8),(10)で発生した
フェイルデータにアドレス信号はパイプラインへの取り
込みを阻止される。
【0031】従って同一アドレスでフェイルが連続して
発生した場合にはパイプラインレジスタ10でフェイル
の発生回数を圧縮するから、メモリバンクBK#1〜B
K#4への取り込みに高速性が要求されることはない。
尚、上述では同一アドレスにおけるフェイルの発生が連
続した場合を説明したが、同一アドレスにおけるフェイ
ルの発生の間に他のアドレスのフェイルが発生する場合
も考えられる。パイプラインレジスタ10の段数を図2
に示したように4段とした場合に、注目アドレスA9 の
後に例えばA10,A8 ,A1 ,A17でフェイルが発生す
ると、注目アドレスA9 はパイプラインの終段のレジス
タ10B 4 から出力されてしまい、アドレスの比較の対
象から外れてしまうことになる。このため、次に注目ア
ドレスA9 でフェイルが発生した場合には、注目アドレ
スA9 は再びパイプラインレジスタ10に取り込まれる
ことになる。注目アドレスA9 が再びパイプラインレジ
スタ10に取り込まれたとしても、先に取り込んだ注目
アドレスA9 との間には少なくとも4個の他のアドレス
のフェイルデータが存在するから、同一メモリブロック
への書き込みが連続することはない。
発生した場合にはパイプラインレジスタ10でフェイル
の発生回数を圧縮するから、メモリバンクBK#1〜B
K#4への取り込みに高速性が要求されることはない。
尚、上述では同一アドレスにおけるフェイルの発生が連
続した場合を説明したが、同一アドレスにおけるフェイ
ルの発生の間に他のアドレスのフェイルが発生する場合
も考えられる。パイプラインレジスタ10の段数を図2
に示したように4段とした場合に、注目アドレスA9 の
後に例えばA10,A8 ,A1 ,A17でフェイルが発生す
ると、注目アドレスA9 はパイプラインの終段のレジス
タ10B 4 から出力されてしまい、アドレスの比較の対
象から外れてしまうことになる。このため、次に注目ア
ドレスA9 でフェイルが発生した場合には、注目アドレ
スA9 は再びパイプラインレジスタ10に取り込まれる
ことになる。注目アドレスA9 が再びパイプラインレジ
スタ10に取り込まれたとしても、先に取り込んだ注目
アドレスA9 との間には少なくとも4個の他のアドレス
のフェイルデータが存在するから、同一メモリブロック
への書き込みが連続することはない。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、第1発明によれ
ば、フェイルが発生したアドレスの下位ビットの値によ
って書き込むメモリブロックBK#1〜BK#Nを規定
したから、各メモリブロックBK#1〜BK#Nをアク
セスするアドレスは予め或る範囲に制限される。従って
各メモリバンクBK#1〜BK#Nに用いるメモリ素子
の量は、インターリーブ数をNとした場合、1/Nに制
限することができるため、メモリ素子の使用量を大幅に
少なくすることができる。
ば、フェイルが発生したアドレスの下位ビットの値によ
って書き込むメモリブロックBK#1〜BK#Nを規定
したから、各メモリブロックBK#1〜BK#Nをアク
セスするアドレスは予め或る範囲に制限される。従って
各メモリバンクBK#1〜BK#Nに用いるメモリ素子
の量は、インターリーブ数をNとした場合、1/Nに制
限することができるため、メモリ素子の使用量を大幅に
少なくすることができる。
【0033】更に、第2発明によれば同一アドレスで連
続してフェイルが発生しても、1回目以後に発生したフ
ェイルはパイプラインレジスタ10によって取り込みを
阻止される。よって同一アドレスのフェイルが連続して
同一のメモリバンクに書き込まれるような状況(高速書
き込みが要求される状況)が発生することが回避され
る。よって特別に高速動作するメモリ素子をメモリバン
クに用いなくて済むため、不良解析メモリを容易に作る
ことができる利点が得られる。
続してフェイルが発生しても、1回目以後に発生したフ
ェイルはパイプラインレジスタ10によって取り込みを
阻止される。よって同一アドレスのフェイルが連続して
同一のメモリバンクに書き込まれるような状況(高速書
き込みが要求される状況)が発生することが回避され
る。よって特別に高速動作するメモリ素子をメモリバン
クに用いなくて済むため、不良解析メモリを容易に作る
ことができる利点が得られる。
【0034】尚、上述では切換え回路11の切換え制御
をフェイル発生アドレスの下位2ビットの値で制御した
が、そのビット数は3ビットでも4ビットでも任意に採
ることができる。要はメモリバンクの数によって決めら
れる。
をフェイル発生アドレスの下位2ビットの値で制御した
が、そのビット数は3ビットでも4ビットでも任意に採
ることができる。要はメモリバンクの数によって決めら
れる。
【図1】この発明によるメモリ試験用不良解析メモリの
全体の構成を説明するためのブロック図。
全体の構成を説明するためのブロック図。
【図2】この発明のメモリ試験用不良解析メモリに用い
るパイプラインレジスタの構造の一例を説明するための
ブロック図。
るパイプラインレジスタの構造の一例を説明するための
ブロック図。
【図3】この発明の動作を説明するための図。
【図4】この発明の動作を説明するための図。
【図5】この発明の動作を説明するための図。
【図6】この発明の動作を説明するための図。
【図7】メモリ試験のテストパターンの一例を説明する
ための図。
ための図。
【図8】メモリ試験に用いられるセル間干渉テストパタ
ーンの例を説明するための図。
ーンの例を説明するための図。
【図9】メモリ試験装置の概要を説明するためのブロッ
ク図。
ク図。
【図10】従来の技術を説明するためのブロック図。
10 パイプラインレジスタ 11 切換え回路 12A〜12D バッファメモリ BK#1〜BK#4 メモリバンク
Claims (5)
- 【請求項1】 被試験メモリにパターン発生器から出力
される試験パターン信号を与え、被試験メモリの応答出
力と上記パターン発生器から出力される期待値パターン
とを論理比較器で比較し、不一致の発生を検出してその
不一致が発生したアドレスに不一致が発生したメモリセ
ルを指示するためのフェイルデータを書き込む不良解析
メモリを具備して構成されるメモリ試験装置において、 上記不良解析メモリの入力側に設けられ、フェイルが発
生したアドレスを指示するアドレス信号の下位ビットの
値に対応して切換位置が制御される切換え回路と、 この切換え回路で切換られて出力されるフェイルデータ
をフェイルが発生したアドレスに取り込んで記憶する複
数のメモリバンクと、 上記複数のメモリバンクに供給するフェイルデータ及び
アドレス信号の各信号路に挿入され、同一アドレスで、
かつ近接したテストサイクルで発生したフェイルデータ
及びアドレス信号の通過を1個に制限するパイプライン
レジスタと、を付加したことを特徴とするメモリ試験装
置。 - 【請求項2】 上記請求項1記載のメモリ試験装置にお
いて、上記切換え回路と各メモリバンクとの間にファー
ストイン・ファーストアウトメモリによって構成したバ
ッファメモリを挿入したことを特徴とするメモリ試験装
置。 - 【請求項3】 上記請求項1記載のメモリ試験装置にお
いて、上記切換え回路の前段側に上記パイプラインレジ
スタを配置したことを特徴とするメモリ試験装置。 - 【請求項4】 上記請求項1記載のメモリ試験装置にお
いて、上記切換え回路の後段側に形成される複数の分岐
路のそれぞれに上記パイプラインレジスタを配置したこ
とを特徴とするメモリ試験装置。 - 【請求項5】 上記請求項1記載のメモリ試験装置にお
いて、上記パイプラインレジスタは複数のレジスタが縦
続接続されてパイププランを構成し、このパイプライン
の各段に格納されたアドレス信号と、新たに発生したフ
ェイルのアドレスを比較する複数のアドレス比較器と、
このアドレス比較器の中から一致信号が出力されること
により閉に制御されて新たに発生したフェイルデータ及
びアドレス信号が上記パイプラインに取り込まれること
を阻止するゲートとによって構成したことを特徴とする
メモリ試験装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8225232A JPH1064297A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | メモリ試験装置 |
KR1019970703431A KR987000574A (ko) | 1995-09-22 | 1996-09-20 | 메모리 시험장치 |
PCT/JP1996/002731 WO1997011381A1 (fr) | 1995-09-22 | 1996-09-20 | Controleur de memoire |
US08/836,764 US5909448A (en) | 1995-09-22 | 1996-09-20 | Memory testing apparatus using a failure cell array |
DE19680964T DE19680964T1 (de) | 1995-09-22 | 1996-09-20 | Speichertestgerät |
TW085111857A TW315416B (ja) | 1995-09-22 | 1996-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8225232A JPH1064297A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | メモリ試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1064297A true JPH1064297A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16826069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8225232A Withdrawn JPH1064297A (ja) | 1995-09-22 | 1996-08-27 | メモリ試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1064297A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002163897A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-06-07 | Agilent Technol Inc | エラー捕捉RAM、TagRAM、バッファメモリ及び刺激LogRAMとして使用するために構成可能なメモリセットを備えるメモリテスター |
JP2011249005A (ja) * | 1999-10-26 | 2011-12-08 | Teradyne Inc | 自動テスト機器用高速故障捕捉装置および方法 |
JP2013157043A (ja) * | 2012-01-26 | 2013-08-15 | Advantest Corp | 不良情報記憶装置および試験システム |
-
1996
- 1996-08-27 JP JP8225232A patent/JPH1064297A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011249005A (ja) * | 1999-10-26 | 2011-12-08 | Teradyne Inc | 自動テスト機器用高速故障捕捉装置および方法 |
JP2002163897A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-06-07 | Agilent Technol Inc | エラー捕捉RAM、TagRAM、バッファメモリ及び刺激LogRAMとして使用するために構成可能なメモリセットを備えるメモリテスター |
JP2013157043A (ja) * | 2012-01-26 | 2013-08-15 | Advantest Corp | 不良情報記憶装置および試験システム |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |