JPH1062248A - 凹面回折分光器 - Google Patents
凹面回折分光器Info
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- JPH1062248A JPH1062248A JP22140796A JP22140796A JPH1062248A JP H1062248 A JPH1062248 A JP H1062248A JP 22140796 A JP22140796 A JP 22140796A JP 22140796 A JP22140796 A JP 22140796A JP H1062248 A JPH1062248 A JP H1062248A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の目的は簡単な構成をもって凹面回折格
子への光束の入射角を増大させることなしにフラットフ
ィ−ルド結像を得ると共に軸外収差の低減化を図ること
ができる凹面回折分光器を提供することである。 【解決手段】光源１から発した光は集光光学系２により
試料３に照射され、その透過光はスリット４に入り、線
状に限定された光束が得られる。この光束は凹面回折格
子６に斜めに入射し、波長分散され、分散された光束は
凹面回折格子６によりそれぞれ結像される。結像される
像は波長分散作用をもつガラス平行平板５ａによって一
次元のフォトダイオ−ドセンサアレイの平面７上に近似
的に形成される。
子への光束の入射角を増大させることなしにフラットフ
ィ−ルド結像を得ると共に軸外収差の低減化を図ること
ができる凹面回折分光器を提供することである。 【解決手段】光源１から発した光は集光光学系２により
試料３に照射され、その透過光はスリット４に入り、線
状に限定された光束が得られる。この光束は凹面回折格
子６に斜めに入射し、波長分散され、分散された光束は
凹面回折格子６によりそれぞれ結像される。結像される
像は波長分散作用をもつガラス平行平板５ａによって一
次元のフォトダイオ−ドセンサアレイの平面７上に近似
的に形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は凹面回折分光器、特
に一次元フォトセンサアレイ受光器と共に用いられるの
に適した凹面回折分光器に関する。
に一次元フォトセンサアレイ受光器と共に用いられるの
に適した凹面回折分光器に関する。
【０００２】
【従来の技術】凹面回折格子は光の波長分散機能のみな
らず、分散された光の結像機能をももっていることか
ら、凹面回折格子を含む凹面回折分光器はその性能向上
と相俟って、生物、化学の微量分析に広く利用されるよ
うになっている。
らず、分散された光の結像機能をももっていることか
ら、凹面回折格子を含む凹面回折分光器はその性能向上
と相俟って、生物、化学の微量分析に広く利用されるよ
うになっている。
【０００３】凹面回折分光器は一次元フォトセンサアレ
イと共に用いられることが多く、この場合は凹面回折格
子によって波長分散された光を一次元フォトセンサアレ
イの平面と同一又はほぼ同一の平面上の異なる位置にそ
れぞれ結像させること、すなわちフラットフィ−ルド結
像が重要である。フラットフィ−ルド結像が達成される
ならば、フォトセンサアレイ平面と結像平面（焦平面）
が一致又はほぼ一致するため、結像された像のボケが減
少し、したがって高分解能での測定が可能となるからで
ある。光学系の明るさを増大させるために凹面回折格子
を大口径化し、さらに入射スリットの幅を狭くして高分
解能を図ろうとする場合には、分解能は結像された像の
ボケにより支配されるので、フラットフィ−ルド結像を
達成し、かつ、その結像面をフォトセンサアレイ平面と
一致させることはとりわけ重要である。
イと共に用いられることが多く、この場合は凹面回折格
子によって波長分散された光を一次元フォトセンサアレ
イの平面と同一又はほぼ同一の平面上の異なる位置にそ
れぞれ結像させること、すなわちフラットフィ−ルド結
像が重要である。フラットフィ−ルド結像が達成される
ならば、フォトセンサアレイ平面と結像平面（焦平面）
が一致又はほぼ一致するため、結像された像のボケが減
少し、したがって高分解能での測定が可能となるからで
ある。光学系の明るさを増大させるために凹面回折格子
を大口径化し、さらに入射スリットの幅を狭くして高分
解能を図ろうとする場合には、分解能は結像された像の
ボケにより支配されるので、フラットフィ−ルド結像を
達成し、かつ、その結像面をフォトセンサアレイ平面と
一致させることはとりわけ重要である。
【０００４】凹面回折格子のフラットフィールド結像に
関する技術は特開昭５６−１３７２３３号公報及び特開
昭５８−２２５３２１号公報に記載されている。これら
の技術はいずれも一次元フォトセンサアレイを受光器と
し、高分解能での測定を行うことを目的としている。特
開昭５６−１３７２３３号公報に記載された技術は、ホ
ログラフィック回折格子、スリット、センサの特定の配
置により水平焦線を直線に近づける方法であり、特開昭
５８−２２５３２１号公報に記載された技術は機械刻線
回折格子、スリット、センサの特定の配置によりセンサ
平面を垂直焦線と一致させ、さらに水平焦線と垂直焦線
の偏差を最小にすることにより水平焦線を直線に近づけ
るのみならず、非点収差を極めて小さくしたものであ
る。
関する技術は特開昭５６−１３７２３３号公報及び特開
昭５８−２２５３２１号公報に記載されている。これら
の技術はいずれも一次元フォトセンサアレイを受光器と
し、高分解能での測定を行うことを目的としている。特
開昭５６−１３７２３３号公報に記載された技術は、ホ
ログラフィック回折格子、スリット、センサの特定の配
置により水平焦線を直線に近づける方法であり、特開昭
５８−２２５３２１号公報に記載された技術は機械刻線
回折格子、スリット、センサの特定の配置によりセンサ
平面を垂直焦線と一致させ、さらに水平焦線と垂直焦線
の偏差を最小にすることにより水平焦線を直線に近づけ
るのみならず、非点収差を極めて小さくしたものであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】凹面回折格子分光器の
場合、結像される像の軸外収差（軸外波面収差）は一般
に次式で与えられる。
場合、結像される像の軸外収差（軸外波面収差）は一般
に次式で与えられる。
【０００６】 F11=(sinα・z/r0+sinβ・z’/rh)・w・l （１） α :入射角（光軸基準） β :出射角（光軸基準） z :スリット高さ（長さ） z’:像高 w :凹面回折格子の接平面上の座標（水平方向＝分散方
向） l :凹面回折格子の接平面上の座標（垂直方向） r0 :スリットと凹面回折格子との距離 rh :像と凹面回折格子中心との距離 特開昭５６−１３７２３３号公報に記載された技術は凹
面回折格子に斜めに入射する光の入射角を大きくして所
期の目的を達成しようとするものでる。しかし、αとβ
及び z と z’は互いに反対符号であるため、（１）式
から、αの絶対値及びβの絶対値が大きくなれば像の収
差すなわち拡がりが大きくなる（βの絶対値はαの絶対
値が大きくなれば大きくなる）。したがって、特開昭５
６−１３７２３３号公報に記載された技術の場合は、大
きな入射角の故に生じる像の拡がりは避け難い。一方、
特開昭５６−１３７２３３号公報に記載された技術はフ
ラットフイ−ルド結像に関して必ずしも充分であるとは
いい難く、また、軸外収差の低減に関しても特に注意が
払われていない。
向） l :凹面回折格子の接平面上の座標（垂直方向） r0 :スリットと凹面回折格子との距離 rh :像と凹面回折格子中心との距離 特開昭５６−１３７２３３号公報に記載された技術は凹
面回折格子に斜めに入射する光の入射角を大きくして所
期の目的を達成しようとするものでる。しかし、αとβ
及び z と z’は互いに反対符号であるため、（１）式
から、αの絶対値及びβの絶対値が大きくなれば像の収
差すなわち拡がりが大きくなる（βの絶対値はαの絶対
値が大きくなれば大きくなる）。したがって、特開昭５
６−１３７２３３号公報に記載された技術の場合は、大
きな入射角の故に生じる像の拡がりは避け難い。一方、
特開昭５６−１３７２３３号公報に記載された技術はフ
ラットフイ−ルド結像に関して必ずしも充分であるとは
いい難く、また、軸外収差の低減に関しても特に注意が
払われていない。
【０００７】本発明の目的は簡単な構成をもって凹面回
折格子への光束の入射角を増大させることなしにフラッ
トフィ−ルド結像を得ると共に軸外収差の低減化を図る
ことができる凹面回折分光器を提供することにある。
折格子への光束の入射角を増大させることなしにフラッ
トフィ−ルド結像を得ると共に軸外収差の低減化を図る
ことができる凹面回折分光器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明にもとづく凹面回
折格子は、線状に限定された光束を生成する手段と、該
光束生成手段によって生成され光束を波長分散させると
共に、該波長分散された光束をそれぞれ結像させる凹面
回折格子と、前記光源と前記凹面回折格子の間に配置さ
れ、かつ、前記凹面回折格子により結像される、前記波
長分散された光束を同一又はほぼ同一の平面上の異なる
位置にそれぞれ結像させる手段とを備えていることを特
徴とする。
折格子は、線状に限定された光束を生成する手段と、該
光束生成手段によって生成され光束を波長分散させると
共に、該波長分散された光束をそれぞれ結像させる凹面
回折格子と、前記光源と前記凹面回折格子の間に配置さ
れ、かつ、前記凹面回折格子により結像される、前記波
長分散された光束を同一又はほぼ同一の平面上の異なる
位置にそれぞれ結像させる手段とを備えていることを特
徴とする。
【０００９】光源と凹面回折格子の間に配置され、か
つ、凹面回折格子により結像される、波長分散された光
束を同一又はほぼ同一の平面上の異なる位置にそれぞれ
結像させる手段が備えられている故に、凹面回折格子単
独でフラットフイ−ルド結像を得ようとする場合に比べ
て入射角を増大することなしに大きなフラットフイ−ル
ド結像効果が得られる。また、入射角を小さくすること
ができるので、像の軸外収差の低減化が図られる。した
がって、線状光束断面の長手方向の寸法を大きくしてＳ
／Ｎ比を改善しようとする場合に大きな効果が得られる
と言える。さらに、光源と凹面回折格子の間に配置さ
れ、かつ、凹面回折格子により結像される、波長分散さ
れた光束を同一又はほぼ同一の平面上の異なる位置にそ
れぞれ結像させる手段はたとえば平行平板のような単純
なものであってよいため、全体としての構成が非常に簡
単である。換言すれば、本発明によれば、簡単な構成を
もって凹面回折格子への光束の入射角を増大させること
なしにフラットフィ−ルド結像を得ると共に軸外収差の
低減化を図ることができる凹面回折分光器が提供され
る。
つ、凹面回折格子により結像される、波長分散された光
束を同一又はほぼ同一の平面上の異なる位置にそれぞれ
結像させる手段が備えられている故に、凹面回折格子単
独でフラットフイ−ルド結像を得ようとする場合に比べ
て入射角を増大することなしに大きなフラットフイ−ル
ド結像効果が得られる。また、入射角を小さくすること
ができるので、像の軸外収差の低減化が図られる。した
がって、線状光束断面の長手方向の寸法を大きくしてＳ
／Ｎ比を改善しようとする場合に大きな効果が得られる
と言える。さらに、光源と凹面回折格子の間に配置さ
れ、かつ、凹面回折格子により結像される、波長分散さ
れた光束を同一又はほぼ同一の平面上の異なる位置にそ
れぞれ結像させる手段はたとえば平行平板のような単純
なものであってよいため、全体としての構成が非常に簡
単である。換言すれば、本発明によれば、簡単な構成を
もって凹面回折格子への光束の入射角を増大させること
なしにフラットフィ−ルド結像を得ると共に軸外収差の
低減化を図ることができる凹面回折分光器が提供され
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明にもとづく一位置実
施例を示す。光源１から発した光は集光光学系２により
試料３に照射される。その透過光はスリット４に入り、
ここで線状に限定された光束が得られる。スリット４を
光源とする、線上に限定された光束は凹面回折格子６に
斜めに入射し、波長分散される。光束断面と分散の方向
との関係については、光束断面の長手方向と直角な方向
が分散の方向と一致する。分散された光束は凹面回折格
子６によりそれぞれ結像される。すなわち、スリット４
の像が波長毎に異なる位置に形成される。結像された光
束は光電流として取り出され、信号処理系８により電流
／電圧変換され、さらにアナログ／デイジタル変換され
て、吸光度として計測される。
施例を示す。光源１から発した光は集光光学系２により
試料３に照射される。その透過光はスリット４に入り、
ここで線状に限定された光束が得られる。スリット４を
光源とする、線上に限定された光束は凹面回折格子６に
斜めに入射し、波長分散される。光束断面と分散の方向
との関係については、光束断面の長手方向と直角な方向
が分散の方向と一致する。分散された光束は凹面回折格
子６によりそれぞれ結像される。すなわち、スリット４
の像が波長毎に異なる位置に形成される。結像された光
束は光電流として取り出され、信号処理系８により電流
／電圧変換され、さらにアナログ／デイジタル変換され
て、吸光度として計測される。
【００１１】形成される像は凹面回折格子６だけでは厳
密には一次元フォトダイオ−ドセンサアレイの平面７に
は形成されず、図３に点線で示されている焦線（水平焦
線）上に形成される。理想的には像はフォトダイオ−ド
センサアレイ平面７上に形成されるべきであるが、現実
的にはその理想状態を得ることは難しい。しかし、像を
近似的にはフォトダイオ−ドセンサ平面７に形成するこ
とができる。これは波長分散を有する素子として透明な
平行平板、すなわちガラス平行平板５ａをスリット４と
凹面回折格子６の間に配置することによって達成され得
る。
密には一次元フォトダイオ−ドセンサアレイの平面７に
は形成されず、図３に点線で示されている焦線（水平焦
線）上に形成される。理想的には像はフォトダイオ−ド
センサアレイ平面７上に形成されるべきであるが、現実
的にはその理想状態を得ることは難しい。しかし、像を
近似的にはフォトダイオ−ドセンサ平面７に形成するこ
とができる。これは波長分散を有する素子として透明な
平行平板、すなわちガラス平行平板５ａをスリット４と
凹面回折格子６の間に配置することによって達成され得
る。
【００１２】この点について説明するに、図２に示され
るように、光束がスリット４からＳ点でガラス平行平板
５ａに入射した場合、波長に対する屈折率の違いにより
波長λ1、λ2 の光束は互いに間隔を保って出射する。
したがって、波長λ1、λ2 の光束の結像に関しては、
Ｏ1、Ｏ2の位置がスリット位置（等価スリット位置）で
あるということができる。この結像には球面収差が伴
う。しかし、それはわずかなため無視できる。
るように、光束がスリット４からＳ点でガラス平行平板
５ａに入射した場合、波長に対する屈折率の違いにより
波長λ1、λ2 の光束は互いに間隔を保って出射する。
したがって、波長λ1、λ2 の光束の結像に関しては、
Ｏ1、Ｏ2の位置がスリット位置（等価スリット位置）で
あるということができる。この結像には球面収差が伴
う。しかし、それはわずかなため無視できる。
【００１３】凹面回折格子の水平焦線の結像式は次式で
与えられる。
与えられる。
【００１４】 rhi=Rcos2βi/{cosα+cosβi-(R/ro)cos2α-(2λi/σo)b2} （２） R :凹面回折格子の曲率半径 σo:凹面回折格子中心位置の格子溝幅 b2 :凹面回折格子の不等間隔パラメ−タ （２）式から次式が得られる。
【００１５】 d(rh)/d(ro)=-(rh・cosα/ro/cosβ)2 （３） したがって、波長λi の光束を△rh だけずらしたいと
きには、等価スリット位置を △ro=-△rh・(rh・cosα/ro/cosβ)2 （４） だけずらせばよい。
きには、等価スリット位置を △ro=-△rh・(rh・cosα/ro/cosβ)2 （４） だけずらせばよい。
【００１６】理想的にはすべての測定波長の結像点がセ
ンサ平面７に一致されるべきであるが、このような理想
状態を得るのは現実的にはむずかしい。そこで、センサ
平面７を、図３のように、すべての測定波長の結像点に
対し、平均的な位置、すなわち偏差の最大値が最小とな
る位置に配置すれば理想に近い状態が得られる。
ンサ平面７に一致されるべきであるが、このような理想
状態を得るのは現実的にはむずかしい。そこで、センサ
平面７を、図３のように、すべての測定波長の結像点に
対し、平均的な位置、すなわち偏差の最大値が最小とな
る位置に配置すれば理想に近い状態が得られる。
【００１７】表１は、ガラス平行平板５ａを用いずに、
α＝３°、σ＝１／４００mm、b2＝０．２４５、R＝１
２０mm、ro＝１１５mm という条件下で求めた、各波長
毎の結像点のセンサ平面７からの偏差（従来例による偏
差）を示す。表２は厚さ３８．５ mm のガラス平行平板
５ａをスリット４の直後に配置し、波長λ＝８００ nm
における ro を１１５ mm として、各波長に対して ro
を（４）式にしたがって変化させて求めた、各波長毎の
結像点のセンサ平面７からの偏差（本発明例による偏
差）を示す。
α＝３°、σ＝１／４００mm、b2＝０．２４５、R＝１
２０mm、ro＝１１５mm という条件下で求めた、各波長
毎の結像点のセンサ平面７からの偏差（従来例による偏
差）を示す。表２は厚さ３８．５ mm のガラス平行平板
５ａをスリット４の直後に配置し、波長λ＝８００ nm
における ro を１１５ mm として、各波長に対して ro
を（４）式にしたがって変化させて求めた、各波長毎の
結像点のセンサ平面７からの偏差（本発明例による偏
差）を示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【表２】
【００２０】これらの表からわかるように、本発明例に
よれば、最大偏差が従来例のほぼ１／５であり、各波長
光束の結像点がセンサ平面に近似的に一致する。したが
って、像のボケ量も従来例のほぼ１／５となる。
よれば、最大偏差が従来例のほぼ１／５であり、各波長
光束の結像点がセンサ平面に近似的に一致する。したが
って、像のボケ量も従来例のほぼ１／５となる。
【００２１】図４は表１に示される偏差を有する従来例
による各波長のスペクトルを示し、図５は表２に示され
るように偏差の少ない本発明例による各波長のスペクト
ルを示す。明らかなように、本発明例にもとづく波長分
解能も従来例にもとづくそれのほぼ１／５である。
による各波長のスペクトルを示し、図５は表２に示され
るように偏差の少ない本発明例による各波長のスペクト
ルを示す。明らかなように、本発明例にもとづく波長分
解能も従来例にもとづくそれのほぼ１／５である。
【００２２】以上の実施例によれば、凹面回折格子への
光束の入射角を増大させることなしにフラットフィ−ル
ド結像が得られると共に軸外収差の低減化が図られる。
また、その実現のために単純なガラス平行平板５ａが追
加されるだけである。したがって、構成が極めて簡単で
ある。
光束の入射角を増大させることなしにフラットフィ−ル
ド結像が得られると共に軸外収差の低減化が図られる。
また、その実現のために単純なガラス平行平板５ａが追
加されるだけである。したがって、構成が極めて簡単で
ある。
【００２３】図６は本発明にもとづくもう一つの実施例
を示し、図７は波長λ1、λ2 の光束の進行の様子を示
す。図１と同じものには同じ符号が付けられている。図
１と異なる点はガラス平行平板５ａに代えてアプラナチ
ックレンズ５ｂをスリット４と凹面回折格子６の間に配
置したことである。アプラナチックレンズの場合、次の
式が成立する。
を示し、図７は波長λ1、λ2 の光束の進行の様子を示
す。図１と同じものには同じ符号が付けられている。図
１と異なる点はガラス平行平板５ａに代えてアプラナチ
ックレンズ５ｂをスリット４と凹面回折格子６の間に配
置したことである。アプラナチックレンズの場合、次の
式が成立する。
【００２４】 ro=(1+n)・RR+C 又は ro=(1+1/n)・RR+C （５） ro:(１)式の ro と同じ RR:アプラナチックレンズの曲率半径 n :アプラナチックレンズの屈折率 C :定数 n はλにより２次関数的に変化する。このため、アプラ
ナチックレンズ５ａも波長分散をもっていることにな
る。よって、アプラナチックレンズ５ｂを用いても各波
長光束の結像位置をセンサ平面と近似的に一致させるこ
とができる。アプラナチックレンズ５ｂとしてＵＢＫ７
を用いた場合、その厚さを５ mm、Ａ面の曲率半径を３
８．５ mm、Ｂ面の曲率半径を２６．５ mm とすること
で、フラットフイ−ルド結像に関して図１の実施例と同
等の効果を得ることができる。
ナチックレンズ５ａも波長分散をもっていることにな
る。よって、アプラナチックレンズ５ｂを用いても各波
長光束の結像位置をセンサ平面と近似的に一致させるこ
とができる。アプラナチックレンズ５ｂとしてＵＢＫ７
を用いた場合、その厚さを５ mm、Ａ面の曲率半径を３
８．５ mm、Ｂ面の曲率半径を２６．５ mm とすること
で、フラットフイ−ルド結像に関して図１の実施例と同
等の効果を得ることができる。
【００２５】明らかなように、アプラナチックレンズも
また構成的には単純なものであるにすぎない。また、ア
プラナチックレンズ５ｂはガラス平行平板５ａに比べて
格段と薄い。これは紫外線に対する吸収を少なくし得る
こと、言い替えれば、紫外線の透過率が高められ得るこ
とを意味する。さらに、アプラナチックレンズ５ｂの故
に、波長λ1、λ2 の光束についての等価スリット（光
源）位置Ｏ1、Ｏ2（図７参照）の、レンズ収差による拡
がりを防止することができる。
また構成的には単純なものであるにすぎない。また、ア
プラナチックレンズ５ｂはガラス平行平板５ａに比べて
格段と薄い。これは紫外線に対する吸収を少なくし得る
こと、言い替えれば、紫外線の透過率が高められ得るこ
とを意味する。さらに、アプラナチックレンズ５ｂの故
に、波長λ1、λ2 の光束についての等価スリット（光
源）位置Ｏ1、Ｏ2（図７参照）の、レンズ収差による拡
がりを防止することができる。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、簡単な構成をもって凹
面回折格子への光束の入射角を増大させることなしにフ
ラットフィ−ルド結像を得ると共に軸外収差の低減化を
図ることができる凹面回折分光器が提供される。
面回折格子への光束の入射角を増大させることなしにフ
ラットフィ−ルド結像を得ると共に軸外収差の低減化を
図ることができる凹面回折分光器が提供される。
【図１】本発明にもとづく一実施例の凹面回折格子分光
器を含む分光光度計の光学系を示す図である。
器を含む分光光度計の光学系を示す図である。
【図２】図１のガラス平行平板による波長λ1、λ2 の
光束の進行の様子を示す図である。
光束の進行の様子を示す図である。
【図３】図１の実施例における各波長光束の結像位置
（焦線）とフォトダイオ−ドセンサ平面との関係を示す
図である。
（焦線）とフォトダイオ−ドセンサ平面との関係を示す
図である。
【図４】従来例による各波長のスペクトル図である。
【図５】図１の実施例による各波長のスペクトル図であ
る。
る。
【図６】本発明にもとづくもう一つの実施例の凹面回折
格子分光器を含む分光光度計の光学系を示す図である。
格子分光器を含む分光光度計の光学系を示す図である。
【図７】図６のアプラナチックレンズによる波長λ1、
λ2 の光束の進行の様子を示す図である。
λ2 の光束の進行の様子を示す図である。
１：光源、２：集光光学系、３：試料、４：スリット、
５ａ：ガラス平行平板、５ｂ：アプラナチックレンズ、
６：凹面回折格子、７：センサ平面（一次元フォトダイ
オ−ドセンサアレイの平面）：８信号処理系。
５ａ：ガラス平行平板、５ｂ：アプラナチックレンズ、
６：凹面回折格子、７：センサ平面（一次元フォトダイ
オ−ドセンサアレイの平面）：８信号処理系。
Claims (3)
- 【請求項１】線状に限定された光束を生成する手段と、
該光束生成手段によって生成され光束を波長分散させる
と共に、該波長分散された光束をそれぞれ結像させる凹
面回折格子と、前記光源と前記凹面回折格子の間に配置
され、かつ、前記凹面回折格子により結像される、前記
波長分散された光束を同一又はほぼ同一の平面上の異な
る位置にそれぞれ結像させる手段とを備えていることを
特徴とする凹面回折格子分光器。 - 【請求項２】請求項１に記載された凹面回折分光器にお
いて、前記結像手段は透明平行平板からなることを特徴
とする凹面回折分光器。 - 【請求項３】請求項１に記載された凹面回折分光器にお
いて、前記結像手段はアプラナチックレンズからなるこ
とを特徴とする凹面回折分光器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22140796A JPH1062248A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 凹面回折分光器 |
| DE1997136474 DE19736474A1 (de) | 1996-08-22 | 1997-08-21 | Konkavbeugungsspektroskop und konkavbeugungsspektroskopisches Analyseverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22140796A JPH1062248A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 凹面回折分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062248A true JPH1062248A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16766265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22140796A Pending JPH1062248A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 凹面回折分光器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1062248A (ja) |
| DE (1) | DE19736474A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011164014A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Shimadzu Corp | ポリクロメータ |
| JP2012506562A (ja) * | 2008-10-20 | 2012-03-15 | ニンボ ユアンル エレクトロ−オプティクス，コーポレーション リミテッド | 収差補正凹面回折格子と透過型収差補正手段とを備える分光計 |
| WO2019130835A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 凹面回折格子の製造方法、凹面回折格子及びそれを用いた分析装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3163698A (en) * | 1960-10-20 | 1964-12-29 | Baird Atomic Inc | Spectroscopic apparatus having an oblique monitor radiation exit slit |
| FR2334947A1 (fr) * | 1975-12-10 | 1977-07-08 | Instruments Sa | Spectographe a champ plan pour un domaine spectral etendu utilisant un reseau holographique concave |
| FR2396961A2 (fr) * | 1977-07-08 | 1979-02-02 | Instruments Sa | Spectrographe a champ plan pour un domaine spectral etendu, utilisant un reseau holographique concave |
| DE3446726A1 (de) * | 1984-12-21 | 1986-06-26 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Optische anordnung mit einem konkavspiegel oder konkavgitter |
| DE3544512A1 (de) * | 1985-12-17 | 1987-06-19 | Bodenseewerk Perkin Elmer Co | Polychromator |
| US4984888A (en) * | 1989-12-13 | 1991-01-15 | Imo Industries, Inc. | Two-dimensional spectrometer |
| DD294087A5 (de) * | 1990-04-27 | 1991-09-19 | ���@��@����@�����@���@�������������k�� | Spektrometer |
| DE4223212C2 (de) * | 1992-07-15 | 1999-03-18 | Bodenseewerk Perkin Elmer Co | Gitter-Polychromator |
-
1996
- 1996-08-22 JP JP22140796A patent/JPH1062248A/ja active Pending
-
1997
- 1997-08-21 DE DE1997136474 patent/DE19736474A1/de not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2019130835A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 凹面回折格子の製造方法、凹面回折格子及びそれを用いた分析装置 |
| JPWO2019130835A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2021-03-11 | 株式会社日立ハイテク | 凹面回折格子の製造方法、凹面回折格子及びそれを用いた分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19736474A1 (de) | 1998-02-26 |
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