JPH10509249A - 複数の誘導波長用光学フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 あらゆる基本部分が複数の格子（２０）を備え、それらの格子の周期が種々のそれぞれのフィルタ波長に対応し、種々の基本格子（２０）が１つの誘導層（２２）または誘導層（２２）のスタックに刻まれる、連続格子を含む多重誘導波長のための光学フィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】 複数の誘導波長用光学フィルタ 本発明は光学フィルタの分野に関するものである。 本発明は受動光学フィルタまたは能動光学フィルタの製作に応用できる。 更に詳しくいえば、本発明は多数（２より多い）の誘導波長のための光学フィ ルタを提案することを求めているものである。 本発明の多数波長フィルタは、たとえば、多数波長レーザ源に含むことができ る。 そのようなレーザ源は将来の多重通信システムのための基本的な部品である。 現在の技術状態では、非常に多数のアクセスできるチャネル、たとえば、最低５ ０チャネル、を含むエルビウム帯（１５３０ｎｍないし１５６０ｎｍ）をカバー するレーザ源を開発することに特別な利益が存在する、と発明者は結論した。 本発明のフィルタはスペクトル拡散源において、それが発生するように製作さ れている周波数を選択することもできる。 本発明のフィルタは一連の光導波器素子に含むことができ、またはファイバ内 の本来の場所に定義されることができる。 周波数くしを実現する２種類の装置が多波長レーザ源のために最近提案された 。 分布ブラッグ反射器（ＤＢＲ）型であるそのような構造では、フィルタ素子（ 周波数くし）は光の伝播する方向にある能動領域の両側に配置される。 それら２つの既知の従来構造を添付した第１図と第２図に線図的に示す。 添付した第１図に示す、第１の既知の構造がＩＥＥＥ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ、２９巻、６号、１９９３年７月、 所載の「標本化格子を有する同調範囲拡張半導体レーザの理論、設計、および性 能（Ｔｈｅｏｒｙ，ｄｅｓｉｇｎ，ａｎｄ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ｅ ｘｔｅｎｄｅｄ ｔｕｎｉｎｇ ｒａｎｇｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｌ ａｓｅｒｓ ｗｉｔｈ ｓａｍｐｌｅｄ ｇｒａｔｉｎｇｓ）」と題するＪａｙ ａｒａｍａｎ他の論文と、１９９４年３月Ｓａｎｔａ Ｂａｒｂａｒａにおける 第６回インジウムりん化合物および関連する物質についての国際会議（６ｔｈ Ｉｎｔ．Ｃｏｎｆ．Ｉｎｄｉｕｍ Ｐｈｏｓｐｈｉｄｅ ａｎｄ Ｒｅｌａｔｅ ｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）で発表された「出力電力が１０ｍワットで、６０ｎｍ 以上の同調のサンプル格子同調可能レーザの持続波動作、および単一同調特性（ Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ−ｗａｖｅ ｏｐｅｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｓａｍｐｌｅ ｇｒａｔｉｎｇ ｔｕｎａｂｌｅ ｌａｓｅｒｓ ｗｉｔｈ １０ ｍｗａｔｔ ｏｕｔｐｕｔ ｐｏｗｅｒ，＞６０ｎｍ ｔｕｎｉｎｇ，ａｎｄ ｍｏｎｏｔ ｏｎｉｃ ｔｕｎｉｎｇ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ）」と題するＪａｙ ａｒａｍａｎ他の論文とに記述されている。レーザ源は能動領域１２の両側に標 本化格子１０を含む。更に詳しくいえば、導波器は回折格子領域を周期的に（周 期がＺ₀）含む。各格子領域は分布反射器として挙動する。標本化周期は格子領 域の周期Ｚ₀により決定される。 第２図に示す第２の既知の従来技術が、たとえば、ＩＥＥＥ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ２９巻、６号、１９９３年 ６月号所載の「広帯域波長同調可能な超構造格子（ＳＳＧ）ＤＢＲレーザ（Ｂｒ ｏａｄ ｒａｎｇｅ ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−ｔｕｎａｂｌｅ ｓｕｐｅｒｓｔ ｒｕｃｔｕｒｅ ｇｒａｔｉｎｇ （ＳＳＧ） ＤＢＲ ｌａｓｅｒｓ）」と題 するＴｏｈｍｏｒｉ他の論文に記述されている。その構造は超構造格子（ＳＳＧ ）を含む。またその場合には、能動領域１２の両側に格子導波器１０が認められ る。しかし、第２の源では、各導波器１０はそれの全長にわたって格子を有する 。変化するのは周期（または位相）であり、これは周期Λ_Sで周期的に行われる 。結 果としての周波数くしは格子周期にわたって周期Λ_Sにより定められる。 第１図に示す第１の既知の構造は格子により行われる結合振幅に対するオン／ オフ変化を周期的に行う。添付した第２図に示す第２の既知の構造は信号の位相 を変更する。 数多くの他の文献が光信号に対する種々の格子構造の作用を解析している。 たとえば、ＥＣＯＣ ９３ ｐｏｓｔ−ｄｅａｄｌｉｎｅ ｐａｐｅｒ所載の 「ＩｎＰにおける格子支援垂直指向性結合器を用いる偏光には無関係の波長フィ ルタ（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ−ｉｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔ ｗａｖｅｌｅｎｇ ｔｈ ｆｉｌｔｅｒ ｕｓｉｎｇ ａ ｇｒａｔｉｎｇ−ａｓｓｉｓｔｅｄ ｖ ｅｒｔｉｃａｌ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ｃｏｕｐｌｅｒ ｉｎ ＩｎＰ）」 と題するＨｅｉｓｍａｎｎ他による論文には、指向性結合器に組合わせたフィル タが記述されている。指向性結合器は２つの周期を持ち、２つの偏光、ＴＥ、Ｔ Ｍ、を別々に濾光できるようにする格子である。Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌｅ ｔｔｅｒｓ １９９１年１０月１０日号、１７巻、２１号、１９６９〜１９７１ ページ所載の「高速高密度波長多チャネル突き合わせ接合ＤＢＲレーザ（Ｈｉｇ ｈ ｓｐｅｅｄ ａｎｄ ｈｉｇｈ ｄｅｎｓｉｔｙ ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ ｍｕｌｔｉｃｈａｎｎｅｌ−ｊｏｉｎｔｅｄ ＤＢＲ ｌｅｓｅｒｓ）」と題す る論文に、格子を局部的にエッチングすることにより製作され、電流により制御 されるフィルタが記述されている。 Ｏｐｔｉｃａｌ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ａｍｅｒｉｃａ ７巻、８号、１９ ９０年８月、所載の「二重周期構造における誘導波の厳密な解析（Ｒｉｇｏｒｏ ｕｓ ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｇｕｉｄｅｄ ｗａｖｅｓ ｉｎ ｄｏｕｂｌ ｙ ｐｅｒｉｏｄｉｃ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ）」と題するＰｅｎｇによる論文 には、２つの格子の間にサンドイッチ状に挟まれているフィルム内での波の１つ の向きの伝播についての２つの格子の相互作用の影響を数学的に解析して、伝播 が生ずることを可能にするためには、一方の格子の周期を他方の格子の周期の２ 倍にしなければならないと結論している。 ＩＥＥＥ Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｌｅｔｔｅｒｓ、５ 巻、３号、１９９３年３月、所載の「波長多重分離応用のための平面状光導波器 における重畳位相格子（Ｓｕｐｅｒｉｍｐｏｓｅｄ ｐｈａｓｅ ｇｒａｔｉｎ ｇｓ ｉｎ ｐｌａｎａｒ ｏｐｔｉｃａｌ ｗａｖｅｇｕｉｄｅｓ ｆｏｒ ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ ｄｅｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏ ｎｓ）」と題するＮｉｎｉｅｒ他の論文、およびＯｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ 、１５巻、７号、１９９０年４月１日、所載の「局部的に感光性にした単一モー ド・ポリマーマイクロ構造導波器における波長分割多重化および多重分離（Ｗａ ｖｅｌｅｎｇｔｈ−ｄｉｖｉｓｉｏｎ ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ ａｎｄ ｄ ｅｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ ｏｎ ｌｏｃａｌｌｙ ｓｅｎｓｉｔｉｚｅｄ ｓｉｎｇｌｅ−ｍｏｄｅ ｐｏｌｙｍｅｒ ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｗ ａｖｅｇｕｉｄｅｓ）」と題するＷａｎｇ他の論文は、平面状光導波器における バルクホログラフィック格子で得られる回折の作用について研究している。 文献ＧＢ−Ａ−２２７０１７４は、異なる周期の２つの格子で構成された同調 可能な光学フィルタに関するものである。格子は導波器に沿って一列に置かれる 。各格子は全ての導波器に個々に作用する。 文献ＵＳ−Ａ−４８８５７５３は広く同調可能なレーザに関するものである。 その文献に記載されているほとんどの実施例では、格子は導波器に沿って１列に 製作され、所与の周期の各格子が電極により制御される。変更例では、第１の格 子を導波器層の下に置き、第２の格子をそれらの上に置くことが提案されている 。そのようにして提案されている着想は導波器の数を２に制限する。 標本化格子または超構造格子を持つ既知の多波長レーザ源には種々の欠点があ る。 それら２つの文献に記載されている２つの多周波フィルタの１つを含む分布ブ ラッグ反射器構造は、アクセス可能なチャネルに関して制約される。説明した実 現方法では、その方法により実現される装置の長さが合理的長さ（２ｍｍより短 い）になるようにしているが、フィルタの幾何学的な寸法がチャネルの間隔を決 定するから、チャネルの間の間隔を狭くすることは困難なようである。 とくに、Ｊａｒａｙａｍａｎにより開示されている標本化格子では、２つのチ ャネルの間の波長間隔は、標本化周期Ｚ₀により決定される。２つのチャネルの 間のこの間隔は１／Ｚ₀で変化する。Ｚ₀が約５０μｍであると、くしの２つのチ ャネルの間の波長間隔、ｄλ、は６ｎｍである。 約１ｎｍの間隔ｄλを得るためには、標本化周期Ｚ₀を３００μｍとする必要 がある。不幸なことに、２つのチャネルの間で選択するために、フィルタは少な くとも５つまたは６つの周期Ｚ₀を含まなければならない。そうすると長さが６ ×３００μｍ、すなわち、１８．８ｍｍであるフィルタとなる。同調可能なレー ザ源が２つのフィルタと利得領域を有するものとすると、その実現方法で得られ る、２つのチャネルの間の間隔を約１ｎｍまで狭くできる装置の長さは少なくと も４ｍｍである。そのような長さはレーザ源では考えられない。というのはそう すると伝播中の損失が過大にあるからである。 そうすると本発明の目的は既知の多波長導波器フィルタを改良することである 。 更に詳しくいえば、本発明の目的は、波長の間の間隔をあるｎｍ（通常は１０ ｎｍないし２０ｎｍ）ないし０．５ｎｍの範囲にでき、各周波数の反射率を制御 でき（全てを等しく、またはそうではなく）、かつ波長の間の間隔がフィルタの 形状に依存しないような多波長導波器光学フィルタを提案することである。 本発明の文脈では、フィルタは通常１００μｍないし５００μｍの長さにでき る。 得られる波長の総数は技術をいかに良く習得するかに依存する。その数は通常 ２より多い。 それら種々の目的は、フィルタの種々の波長にそれぞれ対応する周期を持つ複 数の格子を、各基本部分に、含む連続格子を備え、種々の基本格子が共通導波器 層内に、または重畳されている導波器層内に刻み込まれる、という事実を特徴と する多波長導波器光学フィルタにより本発明の文脈で達成される。 本発明のその他の特徴、諸目的、および諸利点は限定しない例として与えた添 付図面を参照する下記の詳細な説明を読むと明らかである。 ・第１図および第２図は上で説明したが、多波長レーザ源の従来技術の構造を 示す線図である。 ・第３図は本発明を線図的に表す受動フィルタの断面図である。 ・第４図は本発明を線図的に表す能動フィルタの断面図である。 ・第５図は本発明のフィルタの幾何学的形状を示す図である。 ・第６図および第７図は本発明の２つの能動構造で測定した低電流スペクトラ ムを示す。 上記のように、従来技術で教示される、格子を標本化する（周期的構造のフー リエ変換）ことにより得られる代わりに、したがって、格子の特性長さに依存す る代わりに、本発明では、フィルタの出力側で得られるべきである種々の周波数 の全てをフィルタの各基本部分に供給する。 更に詳しくいえば、この目的のために、本発明の多波長導波器光学フィルタは 、フィルタの種々の波長にそれぞれ対応する周期を持つ種々の格子を各基本部分 に含む連続格子を備える。更に詳しくいえば、上記種々の基本格子を共通導波器 層内に、または重畳されている複数の導波器層内に設けることができる。 種々の格子の相対的な位相はランダムにでき、または制御できる。 たとえば、添付した第３図は、受動導波器２４の上に重畳されているそれぞれ 特定の導波器波長層２２₁ないし２２_iに刻まれているｉ個の基本格子２０₁ない し２０_iを備える本発明の受動フィルタ構造を示す。 添付した第３図では、参照記号Ｅは受動導波器２４への光の入口を表し、参照 記号Ｓは受動導波器２４からの光の出口を表し、参照記号Ｌは本発明の受動フィ ルタの基本部分の長さを表す。 各格子２０の周期を第３図ではΛ_iで表す。 特定の層２２に刻まれている格子２０の各周期Λ_iは誘導波長の半分の整数倍 数ｍに対応する、すなわち、Λ_i＝ｍ×（λ_gi／２）である。 もちろん、変更例では、受動導波器２４の上に重畳されている１つの共通層２ ２に周期Λ_iの格子２０をｉ個刻むことにより、同等の能動フィルタを得ること ができる。 したがって、格子２０は層２４の内部を誘導される波を反射する連続全面格子 を構成する。 ２つのチャネルの間の間隔ｄλが０．５ｍｍより広いか、それに等しいならば 、種々の格子２０の作用が切り離されることを発明者は計算により確かめ、かつ 実験的に確認した。 また、それの濾光機能を実行するために、すなわち、各周波数に必要な結合を 行うために、格子２０を有する各誘導部の長さＬは、最高反射率に対する希望の 値に応じて、１００μｍないし５００μｍの範囲に少なくとも含まれなければな らず、そうすることが好ましいことが判明している。 本発明のフィルタの各基本部分に全ての周波数が同時に存在し、格子を含んで いる前記導波器領域が全ての周波数を結合する。所与の波長における反射率は前 記波長における格子の効率により制御される。 本発明の多波長フィルタは同調可能な多波長光源に含ませることができる。そ のような光源は長さが約４００μｍである利得部を通常含むことができる。その 利得部は、伝播方向にその利得部の両側の長さＬがおのおの約５００μｍである ２つの多波長フィルタの間の中央に配置される。したがって、全長が約１．４ｍ ｍである装置が得られる。 発明者は、しきい値より低い状態で、離隔されている６つの周波数を含む連続 格子を備えて、分布ブラッグ反射器レーザにおいて本発明の多波長フィルタを試 験した。 この目的のために、感光性樹脂の層を表面に有する半導体物質を、アルゴンレ ーザからの紫外線を用いる干渉装置からの出口で得られる種々の周期を持つ６つ の縞系に逐次露光した。試料へのビームの入射角を変更することにより縞系の周 期を変化した。 更に詳しくいえば、各露光の持続時間は、全ての周期に対して同じ効率、すな わち、同じ反射率、を有する格子を得るために要する全持続時間の６分の１に固 定した。 露光と現像の後で、感光性樹脂を用いて半導体物質をエッチングした。したが って、感光性樹脂の層はマスク情報を樹脂から半導体物質に転写するためのマス クとして役立った。 エッチングの後での６つの周期の転写は、光の回折を用いることを特徴とする （書込みのために用いたビームと同じ紫外線ビームを用いた）。 その特徴により、１つの書込み周期におのおの対応する６つの回折スポットを 観察することが可能にされた。各周期により回折された強さを測定した。この測 定により強さを対応する格子２０の形に、したがって、所与の導波器条件では、 それからの結果である結合に相関させることが可能にされた。 等しい全露光時間に対して、たかだか６ｄＢだけ変化する回折値を発明者は測 定した。それは格子により行われる結合の間の係数０．７に対応する。 また発明者は、種々の露光時間が種々の回折時間に、したがって、種々のそれ ぞれの波長に関連する種々の反射率に対応することも確認した。したがって、各 周波数に対する相対的な露光時間を制御することにより、各波長に対して特定の 反射率を持つフィルタをこのようにして得ることが可能である。 その後で、第４図に示す種類の連続格子レーザ構造により構成した、このよう にして得た能動フィルタを試験した。 第４図で、バイアスのための２つの金属層３０、３２と、ＩｎＰ基板３３と、 能動物質層３４と、上記６種類の周期が移されている四価のＧａＩｎＡｓＰ物質 の層３５と、最後に上部のＩｎＰ層３６とを見ることができる。能動物質３５の ２つの面に反射防止処理を施した。 更に詳しくいえば、発明者は、しきい値電流より少ない電流で、更に詳しくい えば、しきい値電流の０．８倍の電流で、第４図に示す２つの構造に対して試験 した。 第６図および第７図はそれら２つの能動構造を用いて得たそれぞれの低電流ス ペクトラムを示す。 第６図は、しきい値電流が２８ｍＡで、動作電流が２２ｍＡである能動電流に 対応し、第７図はしきい値電流が３５ｍＡで、動作電流が２８ｍＡである能動電 流に対応する。 第６図および第７図からわかるように、測定したスペクトラムは、格子２０の ６つの周波数にそれぞれ組合わされた６つのバンドを示す。 バンドの間の間隔は格子２０の周期の間に間隔をとった結果である。バンドの 重みは格子２０の効率を表す。 バンドは一定に離隔され、かつ対応するバンド幅であることがわかる。 能動物質における各バンドは受動物質における反射率スペクトラム幅に等しい 。 もちろん、本発明は上記特定の実施例に限定されるものではない。 とくに、フィルタの単一の共通層への、またはフィルタの複数の重畳された層 への、種々の基本格子２０の移転を、数多くのやり方で行うことができる。 したがって、他の実施例では、導波器のどのような基本部にもおける全ての周 期を含み、格子中の各線の尺度で幾何学的な形を直接定める電子マスクにより、 フィルタの種々の周波数にそれぞれ対応する周期を有する各種の格子の和によっ て構成される完全な格子を得ることが可能である。前記形は希望する周期の和を 表すものであって、各周期に対して望まれる形である。そのような状況の下では 、各格子の振幅寄与は、マスクにより加えられる電子線の量の結果として得られ る格子の幾何学的形状によって制御できる。 周期Ｚ_iが求められる。各周期に対して、格子の幾何学的形状をＡ_iｃｏｓ（２ πｚ／Ｚ_i）により表すことができる（それの第一種の拡張まで）。周期Ｚ_iに関 連する周波数Ｆ_iで誘導される光に対する反射率はＡ_iに依存する。格子の和とし て得られる格子は Σ_iＡ_iｃｏｓ（（２πｚ／Ｚ_i）＋θ_i） に対応する（いぜんとして第一種まで）。ここにθ_iは基準に対する各周期の位 この幾何学的形状は、導波器層の上に重ねられた格子を表す第５図の線図に対 応する。格子の和を構成する格子の外観は相対的な位相に対応する。 本発明のフィルタは、それの電流注入手段を、種々の格子を含んでいる領域に 面するように置くことによって同調可能にできる。このためには、電極を上記領 域の上に置くだけで十分である。それ自体知られているやり方で、電流を制御し つつ注入することにより、フィルタを構成する媒体の屈折率を変化することから フィルタを同調させることができる。 発明者は、２つの５周期フィルタ（おのおの５つの重畳された格子を含む）の 間に４００μｍの長さの中央能動部を備える三部ＤＢＲレーザ構造でも本発明の 多波長フィルタを試験した。前記２つのフィルタのうちの第１のフィルタは、長 さが１５０μｍで、周期が波長間隔５．６９ｎｍに対して０．８９ｎｍだけ離隔 されたものであり、第２のフィルタは長さが２４０μｍで、周期が波長間隔４． ６ｎｍに対して０．７２ｎｍだけ離隔されたものである。その構造は３つのエピ タキシャル工程により得られた。中央利得部を第１の工程で液相エピタキシ（Ｌ ＰＥ）技術で構成し、このＬＰＥ技術で同様に製作した受動ＧａＩｎＡｓＰ導波 器に結合し、かつ種々の求めている波長に対応した多数回の露光も行った。その 後で構造中でストリップを化学的にエッチングし、金属−有機物気相エピタキシ （ＭＯＶＩＰ）を用いてｐ型ＩｎＰ再成長により埋め込んだ。陽子打ち込みによ り能動ストリップにおける電流を制限した。 本発明の他の有利な特徴に従って、装置に位相領域を付加できる。従来のよう にして、制御した電流を注入するための電極が設けられている伝播領域でそのよ うな領域を構成する。その電流注入により関連する領域の屈折率が変化させられ る。これにより、光路長を変更することによって信号の位相を変化することが可 能にされる。この構成により空胴モードを反射器により同調することが可能にさ れる。 そのような位相領域を、たとえば、能動利得領域と本発明の多波長反射器フィ ルタとの間に、そのような単一フィルタを含む構造で、または実際は能動領域の それぞれの端部に２つのフィルタを含む構造で、配置できる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． フィルタの種々の波長にそれぞれ対応する周期を持つ複数の格子（２０ ）を、各基本部分に含む連続格子を備え、種々の基本格子（２０）が共通導波器 層（２２）内又は重畳されている導波器層（２２）内に刻み込まれることを特徴 とする多波長導波器光学フィルタ。 ２． 請求の範囲１記載の光学フィルタであって、重畳される基本格子の数は ２より大きいことを特徴とする光学フィルタ。 ３． 請求の範囲１または２記載の光学フィルタであって、各波長に対する反 射率を制御するように各格子の振幅寄与が制御されることを特徴とする光学フィ ルタ。 ４． 請求の範囲１ないし３のいずれか１つに記載の光学フィルタであって、 種々の格子の相対的な位相が制御されることを特徴とする光学フィルタ。 ５． 請求の範囲１ないし３のいずれか１つに記載の光学フィルタであって、 種々の格子の相対的な位相はランダムであることを特徴とする光学フィルタ。 ６． 請求の範囲１ないし５のいずれか１つに記載の光学フィルタであって、 フィルタの２つのチャネルの間の波長間隔は０．５ｎｍより広いか、それに等し いことを特徴とする光学フィルタ。 ７． 請求の範囲１ないし６のいずれか１つに記載の光学フィルタであって、 各基本部分に種々の格子を含む連続格子を備えるフィルタの長さ（Ｌ）は１００ μｍのオーダーであることを特徴とする光学フィルタ。 ８． 請求の範囲１ないし７のいずれか１つに記載のフィルタであって、受動 フィルタを構成することを特徴とするフィルタ。 ９． 請求の範囲１ないし７のいずれか１つに記載のフィルタであって、能動 フィルタを構成することを特徴とするフィルタ。 １０． 請求の範囲１ないし９のいずれか１つに記載の光学フィルタであって 、種々の周波数のそれぞれの周期に対応する縞系に感光性樹脂を露光し、前記縞 系を半導体層に移すことにより前記連続格子を得ることを特徴とする光学フィル タ。 １１． 請求の範囲１０記載のフィルタであって、各格子の前記振幅寄与が各 縞系の露光の相対的な持続時間により制御されることを特徴とするフィルタ。 １２． 請求の範囲１ないし９のいずれか１つに記載のフィルタであって、種 々の基本格子の和により全ての部分に形成された前記連続格子が連続マスクによ り得られることを特徴とする光学フィルタ。 １３． 請求の範囲１２記載のフィルタであって、各格子の振幅寄与が、マス クにより加えられる線量の結果としての格子の形状により制御されることを特徴 とするフィルタ。 １４． 請求の範囲１ないし１３のいずれか１つに記載のフィルタであって、 連続格子（２０₁，２０_i）が隣接する導波器層（２４）中を誘導される波に対す る反射面格子を構成することを特徴とするフィルタ。 １５． 請求の範囲１ないし１４のいずれか１つに記載のフィルタであって、 種々の基本格子（２０）の重畳により全ての点に形成された連続格子をおのおの が備える２つの導波器部の間に、伝播方向に、中央利得部を備える同調可能なレ ーザ源を構成することを特徴とするフィルタ。 １６． 請求の範囲１ないし１５のいずれか１つに記載のフィルタであって、 同調可能であることを特徴とするフィルタ。 １７． 請求の範囲１６記載のフィルタであって、重畳されている格子領域上 に電極を備える電流注入手段を備えることを特徴とするフィルタ。 １８． 請求の範囲１ないし１７のいずれか１つに記載のフィルタであって、 能動部と、重畳された多数の格子を有する部分との間に配置された、電流注入電 極を設けられている伝播領域により構成された少なくとも１つの位相領域を含む ことを特徴とするフィルタ。