JPH1049585A - Quality control method for product - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ロット単位で製造
される製品の品質管理方法に関し、特に液晶表示装置の
品質管理に好適な製品の品質管理方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a quality control method for products manufactured in lots, and more particularly to a quality control method suitable for quality control of liquid crystal display devices.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ロット単位で製造が行われる製品
としては、例えば液晶表示装置が知られている。この液
晶製造装置の製造ラインでは、製造される製品の品質を
管理するために、例えば製造中にロット単位の特性が測
定され、また製造された製品の検査が行われる。そし
て、検査結果から得られた検査データ、ロット単位の特
性の測定結果から得られたロット特性データ（以下、こ
れをＰＱＣ（Process Quality Contorol）データと記
す) 等を用いて製品の管理を行っている。なお、本明細
書中では、歩留りのデータもＰＱＣデータの一つとす
る。2. Description of the Related Art Conventionally, as a product manufactured in lot units, for example, a liquid crystal display device is known. In the manufacturing line of the liquid crystal manufacturing apparatus, in order to manage the quality of the manufactured product, for example, the characteristics of each lot are measured during the manufacturing, and the manufactured product is inspected. The product is managed using inspection data obtained from inspection results, lot characteristic data obtained from measurement results of characteristics in lot units (hereinafter referred to as PQC (Process Quality Control) data), and the like. I have. In this specification, the yield data is also one of the PQC data.
【０００３】また、上記製造ラインでは、製造に用いる
製造装置を管理するため、製造装置毎に製造装置の特性
が測定される。この測定はロットの流れに対して不定期
に、例えば１日に１〜２回の頻度で行われる。よって、
得られる測定データ（以下、これをＥＱＣ（Equipment
Quality Contorol) データと記す）は、ロット番号の情
報を持たないため、ロット番号の情報を持つＰＱＣデー
タや検査データ、歩留り等とは別々にデータ処理され
る。すなわち、主にＥＱＣデータの推移を追って、その
データが管理値内に納まるように製造装置の管理を行っ
ている。In the above-mentioned production line, the characteristics of the production equipment are measured for each production equipment in order to manage the production equipment used for production. This measurement is performed irregularly with respect to the flow of the lot, for example, once or twice a day. Therefore,
Obtained measurement data (hereinafter referred to as EQC (Equipment
Quality Control) data) has no lot number information, and is thus processed separately from PQC data, inspection data, yield, etc., having lot number information. That is, the management of the manufacturing apparatus is mainly performed by following the transition of the EQC data so that the data falls within the management value.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来では、前述したよ
うにＥＱＣデータがロット番号の情報を持たず、主にそ
のデータが管理値内に納まっているか否かでデータを処
理するだけであるため、ＥＱＣデータに大きな変化がな
い限り変化点を見落としがちであるといった難点があ
る。また、ＥＱＣデータがロット番号の情報を持つＰＱ
Ｃデータや検査データ、歩留り等と関連付けられない
（紐付けられない）ため、ＥＱＣデータの変化が製品の
特性にどのような影響を与えるかが不明となっている。
その結果、例えば、ＥＱＣデータの変化が原因で異常ロ
ットが発生し、不良のＰＱＣデータや検査データ等が得
られた場合でも、勘である程度の当たりを付けて手作業
でＥＱＣデータやＰＱＣデータ、検査データのグラフ等
を作成し、原因を究明していく以外に方法がなく、原因
究明に非常に手間取るといった不都合が起きている。Conventionally, as described above, EQC data does not have lot number information, and data is only processed mainly based on whether or not the data is within a management value. However, there is a drawback that the change point tends to be overlooked unless there is a large change in the EQC data. In addition, the PQ where the EQC data has the information of the lot number
Since it is not associated (not linked) with C data, inspection data, yield, and the like, it is unknown how changes in the EQC data affect the characteristics of the product.
As a result, for example, even if an abnormal lot occurs due to a change in the EQC data and defective PQC data or inspection data is obtained, the EQC data or the PQC data can be manually added with a certain degree of intuition. There is no other way than to create a graph of inspection data and investigate the cause, and there is an inconvenience that it takes a lot of time to find the cause.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、製造装置を用いた処理によりロット単位で
製造される製品の品質を管理する方法であって、製品の
ロット単位での特性を表すロット情報と、製造装置で処
理された日時の情報を表すロット履歴とをロット毎に集
めるとともに、上記製造装置の特性を測定することによ
り、この測定結果と測定日時とを製造装置の特性データ
として求め、ロット履歴を基にロットが製造装置で処理
された日時順にロット情報を並べるとともに、製造装置
の特性データをこの特性データの測定日時順に並べて、
ロット情報と製造装置の特性データとを日時で関連付
け、関連付けられたロット情報と製造装置の特性データ
とを比較することにより製品の品質を管理することを特
徴とする。According to the present invention, there is provided a method for managing the quality of a product manufactured in lots by processing using a manufacturing apparatus, comprising the steps of: The lot information representing the characteristics and the lot history representing the information on the date and time of processing in the manufacturing apparatus are collected for each lot, and the characteristics of the manufacturing apparatus are measured. Determined as characteristic data, the lot information is arranged in order of date and time when the lot was processed by the manufacturing apparatus based on the lot history, and the characteristic data of the manufacturing apparatus is arranged in order of the measurement date and time of this characteristic data,
It is characterized in that the lot information is associated with the characteristic data of the manufacturing apparatus by date and time, and the quality of the product is managed by comparing the associated lot information with the characteristic data of the manufacturing apparatus.
【０００６】本発明では、ロット情報と製造装置の特性
データとを日時で関連付けるため、ロット番号の情報を
持たない製造装置の特性データと、ロット番号の情報を
持つロット情報とが一元化されて同じように取り扱える
ことになる。よって、製造装置の特性データとロット情
報との相関関係が明らかとなって、データの解析が精度
良くかつ容易に行える。In the present invention, since the lot information is associated with the characteristic data of the manufacturing apparatus by date and time, the characteristic data of the manufacturing apparatus having no lot number information and the lot information having the lot number information are unified and the same. Can be handled as follows. Therefore, the correlation between the characteristic data of the manufacturing apparatus and the lot information becomes clear, and the data can be analyzed accurately and easily.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る製品の品質管
理方法の実施形態を図面に基づいて説明する。ここで
は、制御部、記憶部、表示部、入力部を備えた情報処理
装置を用いて製品の品質管理を行う場合について述べ
る。図１は一実施形態を説明するための工程図である。
品質管理される製品は、製造装置を用いた処理によって
ロット毎に製造されるものである。この製品の品質管理
を行うにあたっては、まず図１のステップ（以下、ＳＴ
と記す）１に示すように、製品のロット単位での特性を
表すロット情報と、製造装置で処理された日時の情報を
表すロット履歴とをロット毎に集める。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a product quality control method according to the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, a case where quality control of a product is performed using an information processing apparatus including a control unit, a storage unit, a display unit, and an input unit will be described. FIG. 1 is a process chart for explaining one embodiment.
Products whose quality is controlled are manufactured for each lot by processing using a manufacturing apparatus. In order to control the quality of this product, first, the steps shown in FIG.
As shown in 1), lot information indicating the characteristics of each product in lot units and lot history indicating information on the date and time of processing in the manufacturing apparatus are collected for each lot.
【０００８】上記ロット情報としては、図２に示すよう
な、例えば製品の製造中に測定されるロット特性を表す
ロット特性データ（以下、ＰＱＣデータと記す）と、検
査装置を用いた製品の検査よって得られる検査データ等
が挙げられる。ここでは、ロット情報としてＰＱＣデー
タと検査データとを用い、ロット毎にＰＱＣデータと検
査データとを集める。As the lot information, as shown in FIG. 2, for example, lot characteristic data (hereinafter referred to as PQC data) representing lot characteristics measured during the production of a product, and inspection of the product using an inspection device. Thus, the obtained inspection data and the like can be mentioned. Here, PQC data and inspection data are used as lot information, and PQC data and inspection data are collected for each lot.
【０００９】また製造装置の特性を測定することによ
り、この測定結果と測定日時とを製造装置の特性データ
（以下、ＥＱＣデータと記す）として求め、集める。な
お、この実施形態において、品質管理に用いる情報処理
装置は、上記の製造装置と、この製造装置の特性を測定
する装置と、ＰＱＣデータ、検査データを得る各種の装
置とそれぞれ接続されている。したがって、図２に示す
ように、ロット履歴、検査データ、ＰＱＣデータ、ＥＱ
Ｃデータは、発生する度に情報処理装置の記憶部１に格
納され、データベースとして集約される。By measuring the characteristics of the manufacturing apparatus, the measurement result and the measurement date and time are obtained and collected as characteristic data of the manufacturing apparatus (hereinafter referred to as EQC data). In this embodiment, the information processing apparatus used for quality control is connected to the manufacturing apparatus described above, an apparatus for measuring characteristics of the manufacturing apparatus, and various apparatuses for obtaining PQC data and inspection data. Therefore, as shown in FIG. 2, lot history, inspection data, PQC data, EQ
Each time the C data is generated, it is stored in the storage unit 1 of the information processing apparatus, and is collected as a database.
【００１０】各データの発生の様子を図３に示す。例え
ば図３に示すように第１製造装置１１、第２製造装置１
２によってこの順にロットが処理された後、ロット特性
（ＰＱＣ）が測定され、検査装置１３によって製品検査
が行われて製品が製造される場合には、処理が行われる
度に、ロット番号、処理に用いられた製造装置名、処理
日時等の情報が発生し、これらがロット履歴として記憶
部１に記憶される。同様に、ＰＱＣ測定が行われる毎
に、ロット番号、測定日時等の情報を含むロット履歴
と、ロット番号の情報およびＰＱＣ測定結果からなるＰ
ＱＣデータとが発生して、これらのデータが記憶部１に
記憶される。また検査が行われる毎に、ロット番号、検
査装置名、測定日時等の情報を含むロット履歴と、検査
結果およびロット番号の情報からなる検査データとが発
生して、これらのデータが記憶部１に記憶される。FIG. 3 shows how each data is generated. For example, as shown in FIG. 3, the first manufacturing device 11 and the second manufacturing device 1
2, the lot is processed in this order, the lot characteristic (PQC) is measured, and the product is manufactured by the inspection device 13 for product inspection. The information such as the manufacturing apparatus name and the processing date and time used in the process is generated, and these are stored in the storage unit 1 as a lot history. Similarly, every time the PQC measurement is performed, a lot history including information such as a lot number and measurement date and time, and a P history including the lot number information and the PQC measurement result.
QC data is generated, and these data are stored in the storage unit 1. Each time an inspection is performed, a lot history including information such as a lot number, an inspection apparatus name, and a measurement date and time, and inspection data including information on the inspection result and the lot number are generated. Is stored.
【００１１】また第１製造装置１１の特性が、例えば１
日１回測定される度に、得られた結果とこの測定に用い
た装置名と、測定日時との情報がＥＱＣデータとして発
生し、ＥＱＣデータが記憶部１に記憶される。同様に第
２製造装置１２の特性が、例えば１日２回測定される度
に、ＥＱＣデータが発生して記憶部１に記憶される。次
に、図１のＳＴ２に示すように、ロット履歴を基にロッ
トが製造装置で処理された日時順にロット情報のＰＱＣ
データと検査データとを並べる。またこれとともに、Ｅ
ＱＣデータをこのＥＱＣデータの測定日時順に並べる。
そしてＰＱＣデータおよび検査データとＥＱＣデータと
を日時で関連付ける（ＳＴ３）。またロット情報の例え
ばＰＱＣデータと検査データとをロット番号で関連付け
る。The characteristics of the first manufacturing apparatus 11 are, for example, 1
Every time measurement is performed once a day, information on the obtained result, the name of the device used for this measurement, and the measurement date and time is generated as EQC data, and the EQC data is stored in the storage unit 1. Similarly, every time the characteristic of the second manufacturing apparatus 12 is measured, for example, twice a day, EQC data is generated and stored in the storage unit 1. Next, as shown in ST2 of FIG. 1, based on the lot history, the PQC of the lot information in the order of date and time when the lot was processed by the manufacturing apparatus.
Align data and test data. Also with this, E
The QC data is arranged in the order of the measurement date and time of the EQC data.
Then, the PQC data and the inspection data are associated with the EQC data by date and time (ST3). In addition, the lot information, for example, PQC data and inspection data are associated with each other by a lot number.
【００１２】ＥＱＣデータとロットとの時間的関係の一
例を図４に示す。例えば図３に示す第２製造装置１２か
ら得られた２回のＥＱＣデータのうち、１回目の測定結
果をDateE1、測定日時をTimeE1とし、２回目の測定結果
をDateE2、測定日時をTimeE2とする。また第２製造装置
１２でロット１を処理した日時をL1、ロット２を処理し
た日時をL2、以降L3、L4とする。ロットを第２製造装置
１２で処理された日時順に並べ、ＥＱＣデータを測定日
時順に並べることにより、例えば図４に示すような時間
的関係、すなわち、TimeE1以前に処理されたロットがロ
ット１、TimeE1とTimeE2との間に処理されたロットがロ
ット２、ロット３、TimeE2以降に処理されたロットがロ
ット４といった関係が明らかになる。FIG. 4 shows an example of the temporal relationship between the EQC data and the lot. For example, of the two EQC data obtained from the second manufacturing apparatus 12 shown in FIG. 3, the first measurement result is DateE1, the measurement date and time is TimeE1, the second measurement result is DateE2, and the measurement date and time is TimeE2. . The date and time when the second manufacturing apparatus 12 processes the lot 1 is L1, the date and time when the lot 2 is processed is L2, and thereafter L3 and L4. By arranging the lots in order of date and time processed by the second manufacturing apparatus 12 and arranging the EQC data in order of measurement date and time, for example, the time relationship as shown in FIG. The relationship that the lot processed between TimeE2 and LotE2 is Lot 2, lot 3, and the lot processed after TimeE2 is Lot4 becomes clear.
【００１３】そして、例えばＥＱＣデータをこの測定が
行われた日時以前に処理されたロットに関連付け、ある
いはＥＱＣデータをこの測定が行われた日時以降に処理
されたロットに関連付ける。ＥＱＣデータをこの測定が
行われた日時以前のロットに関連付けた場合には、Date
E1がロット１に、DateE2がロット２、ロット３に関連付
けられる。またＥＱＣデータをこの測定が行われた日時
以降のロットに関連付けた場合には、DateE1がロット
２、ロット３に、DateE2がロット４に関連付けられる。
このような方法により、ＥＱＣデータと、ＰＱＣデー
タ、検査データとが関連付けされる。[0013] For example, the EQC data is associated with a lot processed before the date and time when this measurement was performed, or the EQC data is associated with a lot processed after the date and time when this measurement was performed. If the EQC data is associated with a lot prior to the date and time this measurement was taken, the Date
E1 is associated with lot 1, and DateE2 is associated with lot 2 and lot 3. When the EQC data is associated with a lot after the date and time when this measurement is performed, DateE1 is associated with Lot2 and Lot3, and DateE2 is associated with Lot4.
By such a method, the EQC data is associated with the PQC data and the inspection data.
【００１４】またこの関連付けは、例えばＰＱＣデー
タ、ＥＱＣデータ等を格納する記憶部１を備えた情報処
理装置によって自動的に、あるいは情報処理装置の入力
部からの入力によって設定され、データ処理されて情報
処理装置の表示部に、図２（ａ）、（ｂ）に示すごと
く、ＥＱＣデータとＰＱＣデータ等が関連付けられてグ
ラフ表示され、あるいは帳票表示される。また、これと
合わせて図２（ｃ）、（ｄ）に示すように、表示部にＥ
ＱＣデータやＰＱＣデータ等も個別に表示させることも
可能である。This association is set automatically by an information processing apparatus provided with a storage unit 1 for storing PQC data, EQC data, and the like, or by an input from an input unit of the information processing apparatus, and subjected to data processing. As shown in FIGS. 2A and 2B, the EQC data and the PQC data are displayed in a graph or in a form on the display unit of the information processing apparatus in association with each other. In addition, as shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d), E
It is also possible to individually display QC data, PQC data, and the like.
【００１５】次いで、図１のＳＴ４に示すように、関連
付けられたＥＱＣデータ、ＰＱＣデータ、検査データ
を、例えば表示されたグラフを目視することにより比較
する。そして、比較結果に基づき、第１製造装置１１、
第２製造装置１２等を制御することによって、製品の品
質を管理する。Next, as shown in ST4 of FIG. 1, the associated EQC data, PQC data, and inspection data are compared by, for example, visually observing a displayed graph. Then, based on the comparison result, the first manufacturing apparatus 11,
The quality of the product is managed by controlling the second manufacturing device 12 and the like.
【００１６】図５は、液晶表示装置からなる製品を製造
した場合において、上記方法によりＥＱＣデータ、ＰＱ
Ｃデータ、検査データを集めて関連付け、グラフ表示し
た結果を示したものである。ここでＥＱＣデータは、図
６に示すようにＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が形成され
た基板２に対してローラ３を回転させてラビング処理す
る、ラビング装置のラビングの押し込み量のデータであ
る。またＰＱＣデータは、ＴＦＴの歩留りのデータであ
り、検査データは製造された液晶表示装置の画像テスト
（ＤＴ）での輝点不良率のデータである。FIG. 5 shows a case where a product comprising a liquid crystal display device is manufactured, and EQC data, PQ
It shows the results of collecting and associating C data and inspection data and displaying them in a graph. Here, the EQC data is data on the amount of rubbing pushed in by a rubbing device that performs rubbing processing by rotating the roller 3 with respect to the substrate 2 on which a TFT (thin film transistor) is formed as shown in FIG. The PQC data is data on TFT yield, and the inspection data is data on the percentage of defective bright spots in an image test (DT) of the manufactured liquid crystal display device.
【００１７】一般に、ＤＴにて輝点不良が多発したロッ
トが得られた場合のその輝点の発生原因となる要因とし
て、ＴＦＴ不良、ゴミやキズ、ラビングの押し込み量が
あることが知られている。このうち、輝点の多発が例え
ばラビングの押し込み量に原因がある場合には、ＴＦＴ
の特性と輝点の発生とは関係がないために、図５に示す
ごとく、ＰＱＣデータと検査データとでは相関関係が得
られず、これらのデータから輝点の発生原因が究明でき
ない。またラビングの押し込み量が、仮に通常値が５０
０μｍであり、管理値が７００μｍである場合には、図
５に示すように輝点不良の多発が観察されたロットを処
理した際の押し込み量の値が６００μｍであると、輝点
の多発がラビングの押し込み量に起因していても、プロ
セス上の警告がでないことになる。In general, it is known that, when a lot in which DTs are frequently generated in the DT is obtained, factors that cause the occurrence of luminescent spots include defective TFTs, dust, scratches, and the amount of rubbing pushed in. I have. Of these, if the number of bright spots is caused by the amount of rubbing, for example, the TFT
Since there is no relationship between the characteristics of the above and the occurrence of the bright spot, as shown in FIG. 5, no correlation is obtained between the PQC data and the inspection data, and the cause of the occurrence of the bright spot cannot be determined from these data. Also, if the rubbing amount is set to a normal value of 50
When the control value is 0 .mu.m and the control value is 700 .mu.m, as shown in FIG. 5, if the value of the indentation amount when processing the lot in which the occurrence of the bright spot defect is observed is 600 .mu.m, the occurrence of the bright spot frequently occurs. Even if it is caused by the amount of rubbing pushed in, there is no warning in the process.
【００１８】しかしながら、上記方法によりＥＱＣデー
タ、ＰＱＣデータ、検査データを集めて測定日時順、処
理された日時順に並べて日時で関連付け、比較すること
により、押し込み量と輝点不良率との相関関係を知見す
ることができ、不良の発生原因を解析できる。However, the EQC data, the PQC data, and the inspection data are collected by the above method, arranged in the order of the measurement date and time, and the date and time of the processing, and are related by the date and time. It can be informed and the cause of the failure can be analyzed.
【００１９】以上のように本実施形態では、ロット番号
の情報を持たないＥＱＣデータと、ロット番号の情報を
持つＰＱＣデータ、検査データからなるロット情報とを
日時で関連付けることにより、これらのデータを一元化
でき、ＥＱＣデータをロット情報と同じように取り扱う
ことができるので、これらのデータの相関関係が明らか
となってデータの解析を容易にかつ精度良く行うことが
できる。よって、手作業でそれぞれのデータを個別に処
理していた従来に比較して、精度良く製品の品質を管理
することができ、また製造装置に起因して異常ロットが
発生した際の、原因究明に要する時間を短縮することが
できる。さらに製造装置の特性変化によるロット異常を
予測することができるので、異常ロットの発生に至る前
に製造装置の特性をコントロールすることも可能であ
り、被害を最小限に抑えることができる。As described above, in the present embodiment, the EQC data having no lot number information and the lot information including the PQC data having the lot number information and the inspection data are associated with each other by date and time, so that these data can be obtained. Since the data can be unified and the EQC data can be handled in the same manner as the lot information, the correlation between these data becomes clear and the data can be analyzed easily and accurately. Therefore, product quality can be controlled more accurately than in the past, in which each data was individually processed manually, and the cause of abnormal lots caused by manufacturing equipment was investigated. Can be shortened. Further, since a lot abnormality due to a change in the characteristics of the manufacturing apparatus can be predicted, it is possible to control the characteristics of the manufacturing apparatus before the occurrence of an abnormal lot, and it is possible to minimize damage.
【００２０】なお、本実施形態では、ロット情報として
ＰＱＣデータおよび検査データとＥＱＣデータとを関連
付けて比較した場合について述べたが、本発明はこれに
限定されるものでなく、ＰＱＣデータとＥＱＣデータと
を関連付け、あるいは検査データとＥＱＣデータとを関
連付けて品質管理を行ってもよい。また本実施形態で
は、製品が液晶表示装置である場合について述べたが、
本発明はこの他、ロット単位で製造される種々の製品の
品質管理に適用できるのはもちろんである。In the present embodiment, a case has been described in which PQC data and inspection data are compared with EQC data as lot information. However, the present invention is not limited to this, and PQC data and EQC data are compared. Or quality control may be performed by associating the inspection data with the EQC data. In this embodiment, the case where the product is a liquid crystal display device has been described.
Of course, the present invention can be applied to quality control of various products manufactured in lot units.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る製品の
品質管理方法によれば、製造装置の特性データと、ロッ
ト情報とを日時で関連付けることにより、製造装置の特
性データをロット情報との相関関係を明らかにできるの
で、これらのデータの解析を精度良くかつ容易に行うこ
とができる。よって、従来に比較し、精度良く製品の品
質管理を行うことができるとともに、製造装置に起因し
て異常ロットが発生した際の、原因究明に要する時間の
短縮を図ることができる。As described above, according to the product quality control method of the present invention, the characteristic data of the manufacturing apparatus is associated with the lot information by date and time, so that the characteristic data of the manufacturing apparatus can be associated with the lot information. Since the correlation can be clarified, the analysis of these data can be performed accurately and easily. Therefore, the quality of the product can be controlled more accurately than in the past, and the time required for investigating the cause when an abnormal lot occurs due to the manufacturing apparatus can be reduced.
【図１】本発明に係る製品の品質管理方法の一実施形態
を示す工程図である。FIG. 1 is a process chart showing an embodiment of a product quality control method according to the present invention.
【図２】データの処理の一例を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of data processing.
【図３】各データの発生の様子を説明する図である。FIG. 3 is a diagram for explaining how each data is generated.
【図４】ＥＱＣデータとロットとの時間的関係の一例を
説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a temporal relationship between EQC data and a lot.
【図５】ＥＱＣデータとロット情報とを関連付けた様子
を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a state in which EQC data and lot information are associated with each other.
【図６】ラビング処理の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a rubbing process.
１１ 第１製造装置 １２ 第２製造装置 11 First manufacturing device 12 Second manufacturing device
Claims (2)
で製造される製品の品質を管理する方法であって、 製品のロット単位での特性を表すロット情報と、前記製
造装置で処理された日時の情報を表すロット履歴とをロ
ット毎に集めるとともに、前記製造装置の特性を測定す
ることにより、この測定結果と測定日時とを前記製造装
置の特性データとして求める第１工程と、 前記ロット履歴を基にロットが前記製造装置で処理され
た日時順にロット情報を並べるとともに、前記製造装置
の特性データを該特性データの測定日時順に並べて、前
記ロット情報と前記製造装置の特性データとを日時で関
連付ける第２工程と、 関連付けられたロット情報と製造装置の特性データとを
比較することにより製品の品質を管理する第３工程とを
有することを特徴とする製品の品質管理方法。1. A method for managing the quality of a product manufactured in a lot unit by a process using a manufacturing apparatus, comprising: lot information indicating characteristics of the product in a lot unit; A first step of collecting the lot history representing the information of each lot and measuring the characteristics of the manufacturing apparatus to obtain the measurement result and the measurement date and time as the characteristic data of the manufacturing apparatus; and The lot information is arranged in order of date and time when the lot is processed by the manufacturing apparatus, and the characteristic data of the manufacturing apparatus is arranged in order of the measurement date and time of the characteristic data, and the lot information and the characteristic data of the manufacturing apparatus are associated with the date and time. Having a second step and a third step of managing product quality by comparing the associated lot information with the characteristic data of the manufacturing apparatus. Characteristic product quality control method.
ット毎に検査する工程を含んで行われ、 前記ロット情報は、製品を製造する際にロット毎に測定
されたロット特性データと前記検査の結果から得られた
ロット毎の検査データとからなり、 前記第２工程では、前記ロット情報と前記製造装置の特
性データとを日時で関連付けるとともに、前記検査デー
タと前記ロット特性データとをロット番号で関連付け、 前記第３工程では、関連付けられたロット特性データと
製造装置の特性データと検査データとを比較することに
より、製品の品質を管理することを特徴とする請求項１
記載の製品の品質管理方法。2. The manufacturing of the product includes a step of inspecting the manufactured product for each lot, and the lot information includes a lot characteristic data measured for each lot when manufacturing the product and the lot characteristic data. In the second step, the lot information is associated with the characteristic data of the manufacturing apparatus by date and time, and the inspection data and the lot characteristic data are 2. The method according to claim 1, wherein in the third step, the quality of the product is managed by comparing the associated lot characteristic data with the characteristic data of the manufacturing apparatus and the inspection data.
The quality control method of the described product.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20676096A JPH1049585A (en) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | Quality control method for product |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP20676096A JPH1049585A (en) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | Quality control method for product |
Publications (1)
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|---|---|
| JPH1049585A true JPH1049585A (en) | 1998-02-20 |
Family
ID=16528640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20676096A Withdrawn JPH1049585A (en) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | Quality control method for product |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1049585A (en) |
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1996
- 1996-08-06 JP JP20676096A patent/JPH1049585A/en not_active Withdrawn
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