JPH1047935A - 画像重ね合せ式の測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基準ワークの製造と測定を不要にする画像重
ね合せ式の測定方法を提供する。モニタ画面上で測定済
みの箇所と未測定の箇所とをわかりやすく区別して示す
ことのできる画像重ね合せ式の測定方法を提供する。 【解決手段】 事前に記憶された図面のＣＡＤデータの
モニタ画像と、被測定ワークのモニタ画像をモニタ画面
に重ねて表示する。図面のデータまたは基準ワークに関
する検出のデータを記憶させた後、被測定ワークに関し
て所定の位置で検出ツールによって被測定ワークの測定
を行ない、かつ、測定した形状をモニタ画像として被測
定物のモニタ画像に重ね合せてモニタ画面に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチック成型
品、金型、リードフレームのようなワークの寸法、特に
微小な寸法を測定するのに適した画像重ね合せ式の測定
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の測定方法を実施する手段
としては、測定顕微鏡や万能工具顕微鏡が知られてい
る。

【０００３】手動操作によりワークの移動を行う従来の
測定顕微鏡や万能工具顕微鏡は、測定する座標の方向が
基本的にはｘ，ｙ方向の２次元になっている。もっと
も、簡易的にｚ方向も測定可能な場合もあるが、それは
ピントが合った状態になるまでの移動量を見るもので、
ｚ方向の厳密な測定とは言いがたい。

【０００４】ワークの典型例としては、電子部品のリー
ドフレーム、プラスチック成型品、これらを成型するた
めの金型等がある。

【０００５】従来の手動測定顕微鏡は、基準ワーク（所
望の形状、寸法などを有する基準となるワーク）と被測
定ワーク（以下、図面または基準ワークを基準にして基
準ワークと同一の寸法を有するように製造されたワーク
を被測定ワークと言う）の拡大された画像を表示部（以
下モニタ画面と言うこともある）に表示し、ノブの回転
により手動で行うＸ，Ｙ方向の移動距離をマグネスケー
ル、光学スケール等により検出し、検出された移動距離
をカウンタ上に表示するものである。操作者は、モニタ
画面上のワークの画像とカウンタに表示される数値の両
方を注視して、それらを頼りに顕微鏡を操作する。

【０００６】従来の一般的なワークの測定法を述べる
と、まず、ワークにおいて寸法を厳密に管理することが
必要な個所を予め決めて、それらの個所を測定点として
図面上に設定する。しかるのち、実際に、基準ワークを
用いて基準となる座標データを得る。たとえば、基準ワ
ークを顕微鏡のステージに設置する。そして、その基準
ワークの各測定点の座標を測定する。その測定により得
られた座標データを演算処理装置にて処理することで、
その基準ワークの寸法を得る。このような測定操作を一
般的にティーチングと言う。ティーチングのあと、これ
から測定しようとするワークの被測定ワークを顕微鏡の
ステージに設置する。そして、その被測定ワークの各測
定点の座標を測定する。その測定により得られた座標デ
ータを演算処理装置にて処理することで、その被測定ワ
ークの寸法を得る。その際、基準ワークの座標データ
（具体的には基準ワークに関して得られた座標データに
基づいて算出される寸法データ）を被測定ワークを測定
しながら比較し評価する。

【０００７】以下に、従来の測定顕微鏡や万能工具顕微
鏡における測定手順の一例をさらに詳細に述べる。

【０００８】測定点の設定 ワークにおいて寸法を厳密に管理したい複数の個所を事
前に決定して、それらの個所を測定点として図面上に設
定する。

【０００９】ティーチング 基準ワークに関して、図面上で事前に設定された複数の
測定点の座標系データを顕微鏡装置に読み込ませる。そ
の手順は、次のとおりである。

【００１０】・まず基準ワークをステージ上に配置す
る。

【００１１】・基準ワーク上に原点を設定する。

【００１２】・ｘ，ｙ方向にステージを移動させなが
ら、図面上で事前に設定した測定点に対応する基準ワー
ク上の場所を、モニタ画像の中央にある検出ツール（た
とえば十字レチクル）にあわせる。

【００１３】・場所が正しければ、スイッチボタンを押
すことにより、その個所を測定点として確定する。測定
点を確定することで、座標データが演算処理装置に記憶
される。

【００１４】・同様にして、他の事前に設定した測定点
についても、対応する各測定点に関して順次座標データ
を入力していく。円形状の場合は３個所を測定点として
設定することで円の形状や寸法が求められる。

【００１５】・基準ワーク上の測定点を入力し終わる
と、ティーチングが終了する。

【００１６】被測定ワークの測定 ・基準ワークを基準として製造されたワーク（被測定ワ
ーク）をステージ上に配置して、基準ワークの原点に対
応させて被測定ワークの原点を設定する。

【００１７】・被測定ワークの測定を開始すると、次の
測定点までの相対座標がカウンタ上に減算表示される。
（この減算表示は、モニタ装置のモニタ画面上に測定点
に対応する点が表示される目安的なものである。） ・モニタ画面上の表示内容に基づき測定点に対応する場
所をモニタ画面中央の検出ツール（十字レチクル）にあ
わせて座標データを測定する。

【００１８】・被測定ワークの各測定点の座標データを
とり終えると、被測定ワークの測定が終了する。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】従来の測定方法では、
モニタ上に表示されている測定中の被測定ワークの、テ
ィーチングにより得ている基準ワークに対するずれの状
態を把握することが困難であった。

【００２０】モニタ上にティーチング時の検出ツール
や、測定点を表示していても、具体的なずれの状態はモ
ニタ画像上では極めてわかりにくい。

【００２１】そこで、本発明の第１の目的は、被測定ワ
ークの設計値、または基準ワークに対するずれの状態を
測定操作者が極めて容易に把握できるようにする画像重
ね合せ式の測定方法を提供することである。

【００２２】本発明の第２の目的は、基準ワークの製造
と測定を不要にする画像重ね合せ式の測定方法を提供す
ることである。

【００２３】本発明の第３の目的は、モニタ画面上で測
定済みの箇所と未測定の箇所とをわかりやすく区別して
示すことのできる画像重ね合せ式の測定方法を提供する
ことである。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本願発明は、前述の請求
項１〜６のいずれか１項に記載の測定方法を要旨として
いる。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、ＣＡＤ設計値または、
基準ワークの測定値をモニタ画像として、被測定ワーク
とともに重ねて表示することで、被測定ワークのずれの
状態を測定操作者が極めて容易に把握できるようにする
ことが可能となる。

【００２６】また、図面のＣＡＤデータをそのまま利用
することで画面に表示できるので、図面に基いて基準ワ
ークを製造したり、基準ワークを測定したりする手間が
省ける。

【００２７】また、本発明によれば、すでに測定した箇
所の形状をモニタ画面に表示して、それを被測定ワーク
のモニタ画像に重ね合せるので、モニタ画面で重ね合せ
のない測定箇所を未測定の箇所として認識して、順に測
定していくことができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明は、検出ツールを使用する
態様のみでなく、検出ツールを使用しない態様たとえば
パターンマッチング測定法にも適用できるし、また、移
動部（ステージ）を手動で移動させる態様のみでなく、
それをモータ等で自動的に移動させる態様にも適用でき
る。ここで、検出ツールを使用し、かつ、移動部（ステ
ージ）を手動で移動させる態様の構成と測定手順の概略
を説明する。

【００２９】測定装置 本発明による測定装置は、駆動系、観察系及び制御系か
らなる測定装置であって、駆動系は、移動部（例えばＸ
方向に移動するＸステージ、Ｙ方向に移動するＹステー
ジ）と、Ｘ、Ｙステージを移動させるハンドル及び／ま
たはモータなどを備えており、制御系は、演算処理装置
を有し、演算処理装置には、互いに電気的に接続された
ホストコンピータと画像処理装置が設けてある。

【００３０】測定点の設定 ワークに関して所望数の測定点を図面上で設定する。た
とえば、寸法を厳密に管理する必要がある複数の個所を
図面上に設定する。

【００３１】ティーチング ティーチングの第１態様としては、図面のＣＡＤデータ
を直接記憶させる。ティーチングの第２態様としては、
基準ワーク（図面のデータに基づいて製造された基準と
なるワークを本明細書では基準ワークと称する）を測定
装置で測定して各種測定データを記憶させる。

【００３２】まず、第１態様のティーチングを説明す
る。

【００３３】従来と同様に、ＣＡＤで所望のワークに関
する図面上のデータを入力する。その図面のＣＡＤデー
タに原点や所望の測定箇所つまり検出ツール位置を設定
する。このようなＣＡＤデータを利用して、被測定ワー
クの測定を行なう。

【００３４】次は、ティーチングの第２態様の一例を説
明する。

【００３５】・基準ワークを測定装置のステージ上に配
置する。

【００３６】・基準ワーク上に原点を設定する。例え
ば、原点の設定のために、基準ワークに２つの小孔をあ
けておき、それらの２つの小孔の位置を測定することに
よりワーク原点を決める。原点の設定は、他の従来法を
採用してもよい。

【００３７】・ｘ方向とｙ方向にステージを移動させ、
図面上で事前に設定した検出ツールの位置に対応する基
準ワーク上の場所を、モニタ画面上で合わせる。

【００３８】・検出ツールの表示された箇所が正しく、
始点及び終点の場所が適切であるならば、その検出ツー
ルの位置を確定する。この時、始点の座標値とそこから
のＸＹ方向の距離を特定することによって、検出ツール
の位置を確定するのが好ましい。

【００３９】・検出ツールの位置が確定することで、そ
のデータが演算処理装置に記憶される。

【００４０】・基準ワークに関して図面上で事前に設定
した他の測定点に対応する実際の基準ワークの各測定点
に関して検出ツールの位置を順次入力していく。

【００４１】・基準ワーク上の全検出ツール位置を入力
し終わると、基準ワークに基づくティーチングが終了す
る。

【００４２】被測定ワークの測定 ・図面または基準ワークに基づいて製造されたワーク
（これを本明細書では被測定ワークと称する）をステー
ジ上に配置して、図面のＣＡＤデータ又は基準ワークと
同様に原点を設定する。その際、被測定ワークのステー
ジ上の位置及び姿勢が基準ワークと相違していても、演
算処理で位置及び姿勢のずれが自動的に修正される。そ
れにより、手動による両者の位置合せを不要としてい
る。

【００４３】・ＣＡＤデータのモニタ画像と被測定ワー
クのモニタ画像がモニタ画面に重ね合せて表示される。

【００４４】・モニタ画面上に表示される移動マークの
方向と長さを見ながら、操作者は、手動でｘ方向とｙ方
向にステージを移動させる。このとき、ＣＡＤデータの
モニタ画像と被測定ワークのモニタ画像は、視野倍率や
ステージ移動に連動して一緒に移動する。

【００４５】・モニタ画面上に検出ツール及び／または
測定点が出現して表示されると、移動マークがモニタ画
像から消失して、図面のＣＡＤデータまたは基準ワーク
に基づいて予め記憶させておいた検出ツールの一部又は
全部がモニタ画面に表示される。

【００４６】・モニタ画面内で測定中の被測定ワークの
モニタ画像と図面のＣＡＤデータのモニタ画像とに寸法
や形状のズレがある場合、その部分の位置がずれる。

【００４７】このとき、このずれが目で判る。所定の範
囲内であれば、検出ツールにより被測定ワークの輪郭は
検出可能である。測定点の座標データが表示される。ズ
レの位置や量を自動測定することも可能である。

【００４８】この測定点を「確定」とすることで、測定
データが取り込まれる。

【００４９】・このずれにより検出ツールと被測定ワー
クの輪郭が交わらない状態の場合、被測定ワークの輪郭
が表示されている検出ツールでは検出できないので、測
定点の座標データは表示されず、ここで「確定」として
もエラーとなる。

【００５０】この場合、検出ツールを被測定ツールの輪
郭が交わるように再度設定することで、測定点の座標デ
ータを表示することができ、「確定」とすることで、測
定データが取り込まれる。

【００５１】ＣＡＤデータを利用する第１ティーチング
態様の場合も、基準ワークを利用する第２ティーチング
態様の場合も、前述の「確定」の結果、測定データが取
り込まれたら、その測定されて確定された形状をモニタ
画面に被測定ワークのモニタ画像に重ね合せて表示す
る。このとき、その測定されて確定された形状は、被測
定ワークのモニタ画像を拡大（縮小）しても図形の位置
を変更しても、それにモニタ画面内で追従する。

【００５２】・各測定点の座標データをとり終えると、
測定が終了する。

【００５３】次に、構成の概略を説明する。

【００５４】検出ツール ・本発明で使用する検出ツールは、ラインツールやエリ
アツールであって、図形たとえば矢印状（ラインツー
ル）や矩形（エリアツール）に構成されていて、始点及
び終点を有する。検出ツールが矢印状の場合、矢尻部を
始点にすることができる。ワークの測定点付近の境界を
検出ツールの矢印が交差する点を検出点として、そこを
測定点と推定する。

【００５５】移動マーク 移動マークが図形たとえば矢印であり、現在位置からの
移動方向と移動距離を示す。

【００５６】座標系 本発明の測定装置における座標系は、絶対座標系にする
必要がなく、被測定ワークに対する姿勢に依存するよう
に構成できる。

【００５７】測定点の設定 図面のＣＡＤデータや、ワーク（基準ワーク及び被測定
ワーク）上に設定される測定点またはそのための検出ツ
ールの位置は、通常、角など、わかりやすい箇所に設定
する。

【００５８】

【実施例】図１は、本発明による測定方法を実施するた
めの装置の一例を概略的に示す。

【００５９】図１において、顕微鏡タイプの測定装置
は、主として駆動系、観察系及び制御系からなる。駆動
系は、移動部、たとえばＸ方向に移動するＸステージ
１、Ｙ方向に移動するＹステージ２、操作者の手動操作
によってＸステージ１を移動させるＸ移動用ハンドル
３、操作者の手動操作によってＹステージ２を移動させ
るＹ移動用ハンドル４を備えている。ＸＹカウンタ５
は、それぞれＸステージ１のＸ座標とＹステージ２のＹ
座標の現在位置をカウントする。被測定ワーク６は、Ｘ
ステージ１の上面の所定位置に設定する。

【００６０】被測定ワーク６は図示されない照明機構に
より上面及び下面等から任意に選択して照明される。

【００６１】観察系として、被測定ワーク６の上方には
顕微鏡本体７が配置してあり、その顕微鏡本体７の下方
部分には対物レンズ部８が設けてあり、上方部にはＣＣ
Ｄカメラ９が設けてある。

【００６２】制御系においては、演算処理装置１８が配
置してあり、そこには、互いに電気的に接続されたホス
トコンピータ１０と画像処理装置１１が設けてある。ホ
ストコンピータ１０には、前述のＸＹカウンタ５が接続
してある。ホストコンピータ１０には、さらにフットス
イッチ１２及びマウス１３が接続してある。フットスイ
ッチ１２は、測定点の確定用のものであり、マウス１３
はメニューの選択や検出エリアの指示などに使用するも
のである。画像処理装置１１には、ＣＣＤカメラ９と、
モニタ装置１５が接続されている。

【００６３】画像処理装置１１は、通常、ＣＣＤカメラ
９のモニタ視野に入った視野画像を信号として受けて、
その視野画像の一部又は全部をＣＲＴのほぼ矩形のモニ
タ画面にモニタ画像として表示する。図３〜４の例で
は、視野画像の全部をそのままモニタ画面にモニタ画像
として映している。

【００６４】ハンドル３、４に代えて、または、それら
に追加して、Ｘ移動用モータおよびＹ移動用モータを設
けて、それらのモータとホストコンピュータ１０とを接
続して、Ｘステージ１とＹステージ２を自動的に移動さ
せることも可能である。

【００６５】図２に示すリードフレームは、Ｘステージ
１に設置した被測定ワーク１の一例であり、このワーク
（リードフレーム）の一部Ａが、視野画像としてＣＣＤ
カメラ９でとらえられて、モニタ装置１５のモニタ画面
にモニタ画像として表示されている。

【００６６】図３は、図面のＣＡＤデータ又はワークの
モニタ画像の一例を示す。

【００６７】前述の顕微鏡タイプの測定装置における測
定手順の概略を説明する。

【００６８】まず、ＣＡＤデータ又は図２に示す基準ワ
ーク６に関して所望数の測定点を設定する。たとえば、
図３に符号２１〜３２で示すように、寸法を厳密に管理
する必要がある複数の個所を設定する。小さな黒丸はエ
ッジを検出したい点（測定点）を示し、矢印の長さは、
幅測定をしたい箇所を示す。形状を測定する場合は、適
当に測定箇所を増加する。

【００６９】ティーチングは、いろいろな態様がある。
たとえば、第１態様のティーチングは、図面のＣＡＤデ
ータをそのまま、あるいは加工または修正してディスク
等に記憶させる。第２態様のティーチングは、基準ワー
クの所定箇所のデータを測定して測定データをディスク
等に記憶させる。

【００７０】第１態様のティーチングの場合は、ＣＡＤ
データを図１の画像処理装置１１内のＣＡＤデータ記憶
装置４３（後述）に入力して、それをモニタ画面１６に
表示する。

【００７１】第２態様のティーチングの場合は、基準ワ
ーク６の測定データをとって、それを基準ワーク用測定
データ記憶装置５４に記憶させる。

【００７２】たとえば、基準ワーク６を測定装置のステ
ージ１（図１）上に配置する。そのあと、基準ワーク６
上に原点を設定する。図２の例では、基準ワークの２つ
の小孔６ａ，６ｂの中心点Ｏ１とＯ２を測定して、それ
らにより基準ワーク６の原点を設定する。

【００７３】続いて手動でｘ方向とｙ方向にステージ１
を移動させ、図３に例示するように図面上で事前に設定
した第１番目の測定点２１に対応する基準ワーク上の場
所をモニタ画面１６に映し出す。

【００７４】図４に一例を示すように、第１番目の測定
点（たとえば図３に示す２１）に対応する基準ワーク上
の場所に対し、マウス１３を使用してモニタ画面１６上
で矢印形の検出ツールを設定する。このとき、検出ツー
ルの始点の座標値を入力し、検出ツールの終点は、座標
値でなく、相対位置すなわちＸＹ方向の距離で入力す
る。同様にして、第２〜１２番目の測定点（たとえば図
３に示す２２〜３２）に対応する基準ワーク上の場所に
対し、マウス１３を使用してモニタ画面１６上で矢印形
の検出ツールを設定する。これにより、図３に示されて
いる全測定点２１〜３２に対応する検出ツールの位置が
特定される。

【００７５】図５は、矢印の形をした検出ツールＲ（こ
れをラインツールと言う）と矩形の検出ツールＳ（これ
をエリアツールと言う）がモニタ画面１６内に表示され
ている状況を示している。検出ツールＲまたはＳはモニ
ター画面１６の任意の位置で設定できる。検出ツールＲ
またはＳの種類（形状及び寸法）は任意に設定できるも
のである。測定点付近の形状を勘案して、測定ミスの少
ない種類を選択するのが好ましい。

【００７６】モニタ画面１６に矩形の検出ツールＳと矢
印の検出ツールＲの両方を示してもよいし、１つのみを
示してもよい。もちろん、他の形状（例えばＸ印）の検
出ツールを示してもよい。また、矩形の検出ツールＳで
検出して、矩形の中心を通る矢印の検出ツールの形で記
憶させてもよい。

【００７７】検出ツールＲ、Ｓが表示された場所が正し
く、その始点Ｒ１および終点Ｒ２の場所が適切ならば、
その検出ツールＲ、Ｓの位置が確定する。

【００７８】第１の検出ツールＲ、Ｓの位置が確定する
ことで、そのデータが演算処理装置１８に記憶される。

【００７９】他の測定点に対応する実際の基準ワークの
各測定点２２〜３２その他に関して同じ測定作業をして
検出ツールＲ、Ｓの位置を順次入力していく。このよう
にして、基準ワーク上の全測定点２１〜３２その他に対
応する検出ツールＲ、Ｓの位置のデータを入力し終わる
と、ティーチングが終了する。

【００８０】図面のＣＡＤデータおよびまたは基準ワー
クの測定データがデータ記憶装置４３、５４に記憶され
たら、被測定ワーク６をステージ１上に配置して、基準
ワークと同様に原点を設定する。そのとき、基準ワーク
と被測定ワークがステージ１上の違った位置つまり少し
ずれた位置に配置されたとしても、両者の原点位置に基
いて位置のずれは、自動的に演算処理される。それゆえ
操作者は位置合せの操作をせず設置位置のずれを気にす
ることなく被測定ワーク６をステージ１上に設置でき
る。

【００８１】モニタ画面１６内に測定点２１またはその
ための検出ツールＲ、Ｓが表示されていないときは、図
１１（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、モニタ画面１６
に移動マークＴが表示される。図１１の例では移動マー
クＴは矢印になっている。移動マークＴの方向と長さを
見ながら、操作者は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に手
動でｘ方向とｙ方向にステージ１を移動させる。

【００８２】モニタ画面１６の縁から所定の距離に測定
点２１またはそのための検出ツールＲ、Ｓが入ると、基
準ワーク６または図面に基づいて予め記憶されていた種
類の検出ツールＲ、Ｓが自動的に表示される。それと同
時に移動マークＴはモニタ画面１６から消える。

【００８３】このとき、このずれが表示されている検出
ツールと交わる範囲内であれば、この検出ツールにより
被測定ワークの輪郭が検出可能である。測定点の座標デ
ータが表示される。

【００８４】この測定点を「確定」とすることで、測定
データが取り込まれる。

【００８５】ＣＡＤデータを利用する第１ティーチング
態様の場合も、基準ワークを利用する第２ティーチング
態様の場合も、前述の「確定」の結果、被測定ワークの
測定データが取り込まれたら、その測定されて確定され
た形状をモニタ画面１６にＣＣＤカメラ９から到来した
被測定ワークのモニタ画像に重ね合せて表示する。この
とき、その測定されて確定された形状４９（図２６を参
照して後述する）は、被測定ワークのモニタ画像を拡大
（縮小）しても図形の位置を変更しても、それにモニタ
画面内で追従する。

【００８６】・前述のずれにより検出ツールと被測定ワ
ークの輪郭が交わらない状態の場合、被測定ワークの輪
郭が表示されている検出ツールでは検出できないので、
測定点の座標データは表示されず、ここで「確定」と誤
認してもエラーとなる。

【００８７】この場合、検出ツールを被測定ツールの輪
郭が交わるように再度設定することで、測定点の座標デ
ータを表示させることができ、そこで正しく「確定」と
することで測定データが取り込まれる。

【００８８】各測定点に対応する測定データをとり終え
ると、測定操作が終了する。

【００８９】図２４〜２６を参照して、画像の重ね合せ
について詳しく述べる。

【００９０】図２４は、図１に示されている画像処理装
置１１の内部構成の一例を示す図である。

【００９１】図２５の（Ａ）は、図面のＣＡＤデータの
モニタ画像４６を示す。図２５の（Ｂ）は、被測定ワー
ク６のモニタ画像４７を示す。図２５の（Ｃ）は、前述
の図２５の（Ａ）と（Ｂ）の組合せ、すなわちＣＡＤデ
ータのモニタ画像４６に被測定ワーク６のモニタ画像４
７を重ね合わせたモニタ画像を示す。ズレが誇張されて
いる。

【００９２】図２６の（Ａ）は、被測定ワークのモニタ
画像４８を示す。図２６の（Ｂ）は、図２６の（Ａ）の
被測定ワークのモニタ画像４８に、測定されて確定され
た形状４９を重ね合わせて表示したモニタ画像を示す。
図２６の（Ｃ）は、図２６の（Ｂ）の一部を拡大したモ
ニタ画像を示す。

【００９３】図２４を参照して、さらに詳述すると、画
像処理装置１１の内部構成の一例として、フレームメモ
リ４１がＣＣＤカメラ９に接続されている。このフレー
ムメモリ４１に重ねるように３つのオーバー・レイ・メ
モリ４２，５０，５２が接続されている。ＣＣＤカメラ
９から送られてくる被測定ワーク６の画像データがフレ
ームメモリ４１に記憶される。他方、それぞれ、オーバ
ー・レイ・メモリ４２，５０，５２には、ＣＡＤデータ
記憶装置４３、被測定ワーク用の測定データ記憶装置４
４、基準ワーク用の測定データ記憶装置５４が調整装置
４５，５１，５３を経て送られてくるＣＡＤデータ、被
測定ワークの測定データ、基準ワークの測定データが記
憶される。これらの測定データはホストコンピュータ１
０から２種の測定データ記憶装置４４，５４に送られて
くる。

【００９４】フレーム・メモリ４１内の被測定ワーク６
の画像データが、オーバー・レイ・メモリ４２，５０，
５２内のＣＡＤデータと２種の測定データの少くとも１
つのデータに重ね合わされて、図２５の（Ｃ）や図２６
の（Ｂ）のようにモニタ画面１６に表示される。

【００９５】調整装置４５，５１，５３はＣＣＤカメラ
９及び演算処理装置１８に接続されており、ＣＣＤカメ
ラ９の拡大（縮小）の信号及び被測定ワークの姿勢のず
れのデータを受けとって、ＣＡＤデータや測定データが
それに追従して拡大（縮小）及び回転するように構成さ
れている。

【００９６】図２５の（Ａ）は、ＣＡＤデータ記憶装置
４３のＣＡＤデータ（測定箇所つまり検出ツール位置の
データを含む場合もある）がオーバー・レイ・メモリ４
２を経てモニタ画面１６に送られて表示されたときのモ
ニタ画像４６の一例を示している。

【００９７】図２５の（Ｂ）は、ＣＣＤカメラ９からの
被測定ワーク６の画像データがフレーム・メモリ４１を
経てモニタ画面１６に表示されたモニタ画像４７の一例
を示している。

【００９８】図２５の（Ｃ）は、前述の図２５（Ａ）の
モニタ画像４６と図２５（Ｂ）のモニタ画像４７を重ね
合わせた状態を示している。ただし、図２５の（Ｃ）
は、図を見やすくするためにズレを誇大して示してい
る。

【００９９】図２６の（Ａ）は、ＣＣＤカメラ９からの
被測定ワーク６の画像データがフレーム・メモリ４１を
経てモニタ画面１６に表示されたモニタ画像４８の他の
例を示している。

【０１００】図２６の（Ｂ）は、被測定ワークに関して
測定して確定された形状４９のモニタ画像を前述の図２
６（Ａ）のモニタ画像に重ね合わせた状態を示してい
る。このように重ねて画像表示すると、どこまで測定し
たか一目で判別しやすい。

【０１０１】図２６の（Ｃ）に示すように拡大（縮小）
して示したとき、両方のモニタ画像４８及び４９の位置
や大きさが追従する。しかも、ステージ１，２を操作し
たとき、両モニタ画像４８，４９はモニタ画面１６内で
一緒に移動する。

【０１０２】図２６の（Ｂ）に示されている測定されて
確定された形状４９のモニタ画像は、図２４に示す被測
定ワーク用の測定データ記憶装置４４の測定データが調
整装置５１及びオーバー・レイ・メモリ５０を経てモニ
タ画面１６に表示されたものである。その測定されて確
定された形状４９は、図２６の例においては、幅の部分
４９ａと円の部分４９ｂから成り立っている。このよう
な各部の形状単位は、たとえば図１０の図示例を採用で
きる。

【０１０３】基準ワーク用の測定データ記憶装置５４に
は、基準ワークに関して測定して「確定」とした形状を
記憶させることができる。

【０１０４】本発明の好適な実施例においては、次に説
明するようなエッジＷの検出を行うのが最善である。

【０１０５】図５と図６に示すように、エッジＷの姿勢
を認識して、検出ツールＲによるエッジＷの検出を、エ
ッジＷの方向に対して直角またはそれに近い方向に走査
して行う。例えば、エッジＷが斜め方向に延びている場
合、複数本の矢印の検出ツールＲ、Ｒａ、Ｒｂを使用し
て、エッジＷの方向に対して直角またはそれに近い走査
方向を自動的に演算して、検出ツールＲによるエッジＷ
の検出を、エッジＷの方向に対して直角またはそれに近
い方向に走査して行う。また、矩形の検出ツールＳを使
用して、その矩形の中で複数本の検出ツールを走査し
て、エッジＷの方向に対して直角またはそれに近い走査
方向を自動的に演算して、検出ツールＲによるエッジＷ
の検出を、エッジＷの方向に対して直角またはそれに近
い方向に走査して行う。いずれの場合も、測定点２１付
近で（例えば矢印Ｒ，Ｒａ，Ｒｂの方向に）複数の走査
を行うことにより被測定ワークの測定点２１付近の輪郭
を認識し、それに基づいてエッジＷの方向に対して垂直
またはそれに近い方向に検出ツールＲｃを自動的に設定
するのである。

【０１０６】このように測定する場合、測定エッジＷが
斜め方向に延びていても、エッジＷの姿勢を認識して、
エッジＷの方向に対して直角に近い走査方向を演算する
ので、わずらわしい検出条件を指定するための操作を減
らすことができる。それだけでなく、被測定ワークのエ
ッジＷの自動検出を高精度に行うことができる。

【０１０７】図７においては、小さな矩形の１つが１つ
の画素に相当するものとし、画素レベルでエッジＷが斜
めになっている場合、明と暗が重なっている画素が検出
ツールＲ上に存在しないように走査方向を選定する。こ
のような処理は、全て演算処理（ソフト）で行う。

【０１０８】エッジに対して垂直な方向に検出ツールを
自動的に設定するように構成すると、従来の検出ツール
と違って、走査がＸ，Ｙ軸方向だけに限定されず、測定
点付近でのワークの輪郭がＸ，Ｙ軸方向に対して斜めに
なっていても、エッジＷを求める際に検出するコントラ
ストの片方にダレ（変化が緩やかな状態）が生じること
を回避できる。その結果、高精度なエッジ検出ができ
る。

【０１０９】エッジＷに対して垂直方向に走査してコン
トラストの変化を検出すると、エッジＷを検出する際に
必要なコントラストの変化位置を厳密に検出できる。変
化が始まる位置と変化が終る位置との間が短くでき、厳
密にエッジＷの位置を検出できるのである。

【０１１０】矩形の検出ツールＳ内での明るさの分布を
検出して、エッジＷを堺にして暗い部分と明るい部分の
間で走査する場合、明暗のムラの少ないほうから多い方
向に走査して行う方法を説明する。

【０１１１】検出ツールＲによるエッジＷの検出を、常
に、明暗のムラの少ないほうから多い方向に走査して行
うのが好ましい。

【０１１２】図７の例では、暗い部分Ｄから明るい部分
Ｌに走査してエッジＷをサーチしている。

【０１１３】図８は、図７の左下位置から右上位置に向
けて走査したときの明暗レベルを示している。これによ
り明るい部分Ｌの境界Ｗを測定点２１として検出する。

【０１１４】図９は、図７の右上位置から左下位置に向
けて走査したときの明暗レベルを示している。これによ
り暗部Ｄの境界Ｗを測定点２１として検出する。

【０１１５】図８〜９のいずれにおいても、矢印で示す
走査方向は、明暗のムラの少ない方から多い方向に走査
している。

【０１１６】さらに、コントラストの変化を効率よく検
出でき、ゴミＭなどによる誤検出を防止できる。特に、
検出ツールＲによるエッジＷの検出を、常に明暗のムラ
の少ない方から多い方向に走査すると、ゴミＭによる誤
検出を防止できる。

【０１１７】図１８〜２０は、部分的にサーチの方向を
変えたり測定点をずらす方法を模式的に示している。図
１の測定装置においては、ステージ１の下方から照明し
ているので（本発明はステージ１の上方から照明する態
様も含むが）、ワーク６をステージ１上におくと、そこ
に陰ができる。この影と照明光とのコントラスト変化を
利用して前述のように境界つまりエッジＷを求めるので
ある。万一、このステージ１上にゴミＭがある場合、画
像処理による自動検出であると、図１９に示すように、
検出ツールＲまたはＳがこのゴミＭを検出することで、
ゴミＭによるコントラスト変化をエッジＷとして誤って
検出してしまう恐れがある。この場合、図２０に示すよ
うに、反対の方向にサーチすることで、ゴミＭによる誤
検出を防止できる。また、検出ツールＲまたはＳの始点
と終点を少しずらして、検出ツールＲｂや検出ツールＲ
ｃの位置に部分的に変更して、それによって正しくエッ
ジＷを測定するようにもできる。

【０１１８】図１１は、操作者のアシストとなる移動マ
ークの一例を示している。次の測定点２１とステージ１
又はモニタ画像１６の現在位置との相対位置に応じた方
向と長さを有する矢印Ｔが移動マークの一例として表示
されている。移動マークは、モニタ画面における表示領
域を移動すべき方向と量をしめす指示とも定義できる。
移動マークは、モニタ画像１６上での表示が最善である
が、モニタ画像１６外での表示も可能である。

【０１１９】図１１の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、ステ
ージ１を移動させることにより、モニタ画像１６が測定
点２１またはそのための検出ツールＴに向かって移動し
ていく過程を示している。図１１の（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）のいずれにおいても、次の測定点２１またはその
ための検出ツールＴがモニタ画面の縁から所定の距離に
入っていない。次の測定点２１またはそのための検出ツ
ールＴがモニタ画面の縁から所定の距離に入ると、自動
的に移動マークＴがモニタ画像１６から消える。それと
同時に、検出ツールＲまたはＳがモニタ画像１６に表示
される。

【０１２０】図１５〜１７は、その様なモニタ画像１６
における移動マークＴと検出ツールＲ、Ｓとの表示関係
の一例（ティーチングされた測定手順を半自動測定する
ときの操作態様）を示している。図１５の状態において
は、次の測定点２１またはそのための検出ツールＴがモ
ニタ画像１６に入っていない。次の測定点２１またはそ
のための検出ツールＴとステージ１又はモニタ画像１６
の現在位置との相対位置に応じた方向と長さを有する矢
印Ｔ（移動マーク）がモニタ画像１６内に表示されてい
る。

【０１２１】ステージ１を移動させることにより、図１
６に示すように、次の測定点２１またはそのための検出
ツールＴがモニタ画像１６に入ると、自動的に移動マー
クＴがモニタ画像１６から消え、それと同時に、検出ツ
ールＲ及び／またはＳの一部がモニタ画像１６に表示さ
れる。図１６の状態では、次の測定点２１はモニタ画像
１６に入っていないが、検出ツールＲ及び／またはＳの
一部がモニタ画像１６に入っている。

【０１２２】検出ツールＲ及び／またはＳの表示を操作
者のアシストとして、さらにステージ１を移動させるこ
とにより、図１７に示すように、検出ツールＲ、Ｓの全
部がモニタ画像１６に表示されると、確定待ち状態とな
る。この状態になると、次の測定点２１が自動的に検出
される。測定点がモニタ画像１６のどの位置に存在して
いても検出される。検出点が正しい位置であると操作者
が判断したときは、その点を確定とする。ただし、この
確定操作は、後から実施してもよい。

【０１２３】前述のような移動マークＴを使用すると、
次回の測定点２１またはそのための検出ツールＴが現在
位置からどの方向にどれだけ離れているか、すなわち移
動方向および移動距離を図形の移動マークＴで視覚的に
表示出来るので、次回の測定点２１またはそのための検
出ツールＴまでの移動が直感的にかつ容易に行える。そ
れゆえ、従来必要であった操作の習熟が不要になる。

【０１２４】ステージ１の移動に連動して移動マークＴ
の表示内容を更新する場合は、図１１の（ａ）（ｂ）
（ｃ）に例示するように、近づく過程も表現する事がで
きる。これにより、素早く、正確に移動させることが可
能になる。

【０１２５】又、次回の測定位置がモニタ画面に映って
いる場合、測定しようとしている位置（測定点）に、検
出ツールの検出位置を図１２〜１４に示すようにＸ印そ
の他の形で表示できる。

【０１２６】図１２〜１４は、図面のＣＡＤデータまた
は基準ワークの測定データに基づくモニタ画像及び検出
ツールＲ、Ｓがステージ１上での被測定ワーク６の移動
に追従する状況を示している。

【０１２７】図１２〜１４に示すようにＸ，Ｙステージ
１の移動にあわせて図面のＣＡＤデータまたは基準ワー
クの測定データに基づくモニタ画像及び検出ツールＲ、
Ｓとステージ１上でのワーク６（つまり測定点２１）を
一緒に移動させると、モニタ画面のどこでも正確に測定
しやすい。これにより、測定点がモニタ画面内に入って
きたら自動的に検出を行うことが可能となる。モニタ画
面内で像が移動しても、検出位置が追従するため、常に
同じように測定結果が得られる。また、検出ツールを見
ていれば、どこをどのように測定しているのかも確認で
きる。測定点をモニタ画面の中央に移動させる必要がな
くなる上に、操作者が測定点を目で確認できるため、測
定位置を間違えることがなくなる。

【０１２８】図２１は、測定手順を作成するときの操作
フローを作成するときのフローチャートを示し、図２２
は、図２１で作成した測定手順に基づいて測定するとき
のフローチャートを示す。

【０１２９】図２１〜２２を参照して、前述の測定装置
における測定手順の作成と、その測定手順に基づいて行
う測定操作の概略を説明する。

【０１３０】まず、図２１において、作業者は、所望数
の測定点を図面上で設定しておいてから、その図面を参
照しつつ、基準ワーク６に関してティーチングを開始す
る。作業者が、基準ワーク６を測定装置のステージ１
（図１）上に配置する。そのあと、作業者が、基準ワー
ク６上に原点を設定する。図２の例では、基準ワークの
２つの小孔６ａ，６ｂの中心点Ｏ１とＯ２を測定して、
それらにより基準ワーク６の原点を設定する。続いて、
作業者が手動でｘ方向とｙ方向にステージ１を移動さ
せ、図面上で事前に設定した順番で、測定点に対応する
基準ワーク上の場所をモニタ画面１６に映し出す。

【０１３１】作業者は、測定点の場所がモニタ画像に移
るようにステージ１を手動で移動する。

【０１３２】マウス１３を使用して、測定点（たとえば
図３に示す２１）に対応する基準ワーク上の場所に対
し、モニタ画面１６上で最善の種類の検出ツールＲ、Ｓ
を設定する。すると、図５に示すように、検出ツールＲ
及び／またはＳがモニタ画面１６内に表示される。この
とき、検出ツールはモニター画面１６の任意の位置で設
定できる。検出ツールが表示された場所が正しく、その
始点Ｒ１および終点Ｒ２の場所が適切ならばその検出ツ
ールの位置を確定する。その検出ツールの位置が確定す
ることで、そのデータが演算処理装置１８に記憶され
る。

【０１３３】測定の際、マウス１３を使用して、測定点
２１付近で（例えば矢印Ｒ，Ｒａ，Ｒｂの方向に）複数
の走査を行うことにより、測定装置は、画像処理によっ
て被測定ワークの測定点２１付近の輪郭つまり姿勢を認
識し、エッジＷの方向に対して直角に近い走査方向を演
算して、それに基づいてエッジＷの方向に対して垂直ま
たはそれに近い方向の検出ツールＲｃの位置を自動的に
記憶する。

【０１３４】しかも、検出ツールによるエッジＷの検出
は、常に明暗のムラの少ない方から多い方向に走査して
行う。

【０１３５】また、作業者は、測定する形状（円、距
離、幅など）を指定して、形状演算に必要な数だけ検出
（測定）を行う。すると、測定装置は、自動的にエッジ
の座標を使用して円の中心や直径などを演算する。

【０１３６】図１０は、その様な各種形状の検出箇所を
Ｘ印で示している。矢印は、走査方向を示している。

【０１３７】さらに作業者は必要に応じて寸法公差を指
定することもできる。

【０１３８】ＣＡＤデータ又は基準ワークに関して事前
に設定した他の測定点に対応する実際の基準ワークの各
測定点に関して同じ測定作業をして検出ツールの位置を
順次入力していく。

【０１３９】このようにして、作業者は、ＣＡＤデータ
又は基準ワーク上の全測定点に対応する検出ツールの位
置を入力し終われば、それを確認してから、それまでの
測定手順をファイルに保存する。それによりティーチン
グは終了する。

【０１４０】図２２を参照して、被測定ワーク６の測定
操作を説明する。

【０１４１】まず、作業者は、被測定ワーク６に合わせ
て測定装置で測定手順ファイルを指定する。次に、作業
者は、被測定ワーク６をステージ１上に配置して、ＣＡ
Ｄデータ又は基準ワークと同様に原点を設定する。その
とき、ＣＡＤデータ又は基準ワークと被測定ワークがス
テージ１上の違った位置つまり少しずれた位置に配置さ
れたとしても、両者の原点位置に基いて位置のずれは、
測定装置が自動的に演算処理する。それゆえ操作者は位
置合せの操作をせず設置位置のずれを気にすることなく
被測定ワーク６をステージ１上に設置すればよい。

【０１４２】作業者は、被測定ワーク６の原点設定が完
了したら、測定手順ファイルの実行をスタートさせる。

【０１４３】モニタ画面１６内に測定点またはそのため
の検出ツールが表示されていないときは、図１１（ａ）
（ｂ）（ｃ）に示すように、モニタ画面１６に矢印の移
動マークＴが表示される。移動マークＴの方向と長さを
見ながら、作業者は、順に手動でｘ方向とｙ方向にステ
ージ１を測定点に向けて移動させる。

【０１４４】モニタ画面１６に測定点２１またはそのた
めの検出ツールＲ、Ｓが入ると、基準ワーク６または図
面のデータに基づいて予め記憶されていた検出ツール
Ｒ、Ｓがモニタ画面に自動的に表示される。それと同時
に移動マークＴはモニタ画面１６から消える。

【０１４５】矩形の検出ツールＳ及び／または矢印の形
をした検出ツールＲがモニタ画面１６内に表示されてい
れば、検出ツールはモニター画面１６のどこに位置して
いても、測定は適切に実行できる。検出ツールの始点Ｒ
１および終点Ｒ２の場所がワーク上で適切ならば矢印の
検出ツールＲまたは矩形の検出ツールＳの中心がワーク
の境界Ｗと交差する点を測定点２１として確定する。測
定点２１が確定することで、その測定点２１の座標デー
タが演算処理装置１８に記憶される。

【０１４６】測定の途中で、検出条件や検出位置を変更
したほうが好ましいと作業者が判断したときは、検出条
件や検出位置を変更する。例えば、マウス１３を使用し
て、図１８〜２０に示すように検出ツールの種類や位置
を変更する。

【０１４７】また、再度、測定点２１付近で（例えば矢
印Ｒ，Ｒａ，Ｒｂの方向に）複数の走査を行うことによ
り、測定装置は、画像処理によって被測定ワークの測定
点２１付近の輪郭つまり姿勢を認識し、エッジＷの方向
に対して直角に近い走査方向を演算して、それに基づい
てエッジＷの方向に対して垂直またはそれに近い方向に
検出ツールＲｃを自動的に設定して測定する。

【０１４８】また、作業者は、図１０に示すように、測
定する形状（円、距離、幅など）を指定して、形状演算
に必要な数だけ測定を行う。すると、測定装置は、自動
的にエッジの座標を使用して円の中心や直径などを演算
する。

【０１４９】被測定ワークに関して全ての測定点に対応
する実際の検出ツールの位置について同じ測定作業を順
次おこなっていく。

【０１５０】このようにして、作業者は、被測定ワーク
上の全測定点を測定し終われば、それを確認してから、
それまでの測定結果をファイルに保存する。必要に応じ
て、公差判定でＮＧとなった測定点数をモニタ画面に表
示する。それにより測定作業は終了する。

【０１５１】また、記憶される図面のＣＡＤデータが、
測定手順に準じる形で入力されていれば、各測定箇所を
選択するだけで被測定ワークの測定が可能になる。

【０１５２】例えば、中心位置（ｘ，ｙ）半径ｒの穴の
ＣＡＤデータならば、演算処理装置１８により自動的に
円の測定手順が選択される。

【０１５３】もちろん、従来のＣＡＤデータに測定点、
及び測定手順のデータを別に付加する形式を用いてもよ
いし、あらかじめ複数の測定点の座標値あるいは次の測
定点の座標値（ｘ，ｙ）をキーボード等から入力しても
よい。これらの機能は、従来のティーチングにおける測
定点を探す手間を省くことが目的である。たとえば、複
数の所定の測定点の座標値入力から次の測定点の座標値
が円（ｘ１，ｙ１）、幅（ｘ２，ｙ２）、角（ｘ３，ｙ
３）であるとき、測定手順の作成は、円測定の手順作
成、幅測定の手順作成、角作成の手順作成とする。

【０１５４】このように測定点の座標値（キーボード入
力値、ＣＡＤデータなど）を入力することにより、測定
点までの方向及び距離（座標値の差分）を数値や図形
（矢印マークなど）などで示すことにより高倍率（狭い
視野）のままでも正確かつ迅速に測定点を探すことがで
きる。また、複数の測定点座標をまとめて入力しておく
ことにより操作性が更に向上する。

【０１５５】また、任意の点の座標値を入力すること
で、測定を目的としなくても、この機能を使用すること
ができる。

【０１５６】予め記憶させてある測定手順を基に同じ手
順で測定する場合、リアルタイム検出機能などにより検
出が困難なことが明らかなとき、検出ツール（円測定
用、幅測定用、点測定用など）の種類、位置、照明条
件、検出条件をその場で変更可能にすることにより測定
作業を円滑かつ確実に行うことができる。

【０１５７】本発明は、前述の実施例に限定されない。
例えば、本発明の別の実施例では、測定点２１またはそ
のための検出ツールＲ、Ｓがモニタ画面１６の外側の所
定距離（モニタ画面１６の寸法の１０％〜０％）または
内側の所定距離（モニタ画面１６の寸法の５０％〜０
％）に入ると、基準ワーク６または図面のデータに基づ
いて予め記憶されていた検出ツールＲ、Ｓがモニタ画面
に自動的に表示され、それと同時に移動マークＴはモニ
タ画面１６から消える。移動マークは、矢の形のみでな
く、その他の各種の形状を採用できる。図２３は、その
一例を示している。移動方向は、矢のみでなく、点滅の
形を採用したり、色を変えたりすることもできる。移動
距離は、長さのみでなく、太さや形状で表現したり、数
値で示すことも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施するための測定装置の一例を概略
的に示す。

【図２】ステージに設置するリードフレーム（被測定ワ
ークの一例）を示す。

【図３】モニタ画像の一例における、寸法を厳密に管理
する必要がある複数の個所を測定点として設定した例を
示す。

【図４】図３のモニタ画像に対応していて、寸法を厳密
に管理する必要がある複数の個所の測定順を示してい
る。

【図５】矢印の形をした検出ツールで複数の走査を行う
ことにより被測定ワークの測定点付近の輪郭を認識し、
それに基づいてエッジの方向に対して垂直またはそれに
近い方向に検出ツールを自動的に設定する状況の一例を
示す。

【図６】被測定ワークのエッジの方向に対して垂直また
はそれに近い方向に検出ツールを設定して測定する状況
の一例を示す。

【図７】検出ツールによるエッジの検出を、暗から明に
なる方向に走査して行う状況の一例を示す。

【図８】図７の左下位置から右上位置に向けて走査した
ときの明暗レベルの一例を示している。

【図９】図７の右上位置から左下位置に向けて走査した
ときの明暗レベルの一例を示している

【図１０】各種形状の検出箇所をＸ印で示している。

【図１１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、ステージを移動
させることにより、モニタ画像が測定点に向かって移動
していく過程を示している。（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の
いずれにおいても、次の測定点がモニタ画面の表示範囲
に入っていない。次の測定点がモニタ画面の縁から所定
距離に入ると、自動的に移動マークがモニタ画像から消
える。それと同時に、検出ツールがモニタ画面に表示さ
れる。

【図１２】モニタ画像における被測定ワークの測定点と
検出ツールの関係の一例を示している。

【図１３】被測定ワークの測定点と検出ツールの相対関
係が、図１２の相対関係から変化しないまま、モニタ画
像内を移動していく状況を示している。つまり、検出ツ
ールが測定点及びステージ上でのワークの移動に追従す
る状況を示している。

【図１４】被測定ワークの測定点と検出ツールの相対関
係が図１２及び図１３の相対関係から変化しないまま、
モニタ画像内をさらに移動していく状況を示している。

【図１５】モニタ画像内の移動マークとモニタ画像外の
被測定ワークの測定点との関係の一例を示している。

【図１６】ステージを移動させることにより、図１５の
状態からモニタ画像が測定点に向かって移動していった
ときの、モニタ画像外の被測定ワークの測定点と、モニ
タ画像における検出ツールとの表示関係の一例を示して
いる。次の測定点は、モニタ画面に入っていないが、そ
こに接近している。

【図１７】さらにステージを移動させることにより、図
１６の状態からモニタ画像が測定点に向かって移動して
いったときの、モニタ画像外の被測定ワークの測定点
と、モニタ画像における検出ツールとの表示関係の一例
を示している。次の測定点は、モニタ画面に入ってい
る。

【図１８】モニタ画像における被測定ワークの測定点と
検出ツールの関係の別の例を示している。

【図１９】図１８の被測定ワークの測定点近くにゴミが
存在している状態における、モニタ画像内の被測定ワー
クの測定点と検出ツールの関係を示している。

【図２０】図１９の被測定ワークの測定点近くにゴミが
存在している状態において、モニタ画像内における被測
定ワークの測定点と検出ツールの関係を変更するため
に、部分的にサーチの方向を変えたり検出ツールの位置
をずらす方法を模式的に示している。

【図２１】測定手順を作成するときの操作フローを作成
するときのフローチャート。

【図２２】図２１で作成した測定手順に基づいて測定す
るときのフローチャート。

【図２３】各種の移動マークの例を示している。

【図２４】図１に示されている画像処理装置１１の内部
構成の一例を示す図である。

【図２５】（Ａ）は図面のＣＡＤデータのモニタ画像を
示す。（Ｂ）は、被測定ワークのモニタ画像を示す。
（Ｃ）は、前述の（Ａ）と（Ｂ）の組合せ、すなわちＣ
ＡＤデータのモニタ画像に被測定ワークのモニタ画像を
重ね合わせたモニタ画像を示す。

【図２６】（Ａ）は、被測定ワークのモニタ画像を示
す。（Ｂ）は、（Ａ）の被測定ワークのモニタ画像に、
測定されて確定された形状を重ね合わせて表示したモニ
タ画像を示す。（Ｃ）は、（Ｂ）の一部を拡大したモニ
タ画像を示す。

【符号の説明】

１ Ｘステージ ２ Ｙステージ ３ Ｘ移動用ハンドル ４ Ｙ移動用ハンドル ５ ＸＹカウンタ ６ ワーク（基準ワーク、被測定ワーク） ６ａ、６ｂ 小孔 ７ 顕微鏡本体 ８ 接眼部 ９ ＣＣＤカメラ １０ ホストコンピュータ １１ 画像処理装置 １２ フットスイッチ １３ マウス １５ モニタ装置 ２１〜３２ 測定点 ４１ フレームメモリ ４２ オーバー・レイ・メモリ ４３ ＣＡＤデータ記憶装置 ４４ 測定データ記憶装置 ４５ 調整装置 ５０ オーバー・レイ・メモリ ５１ 調整装置 Ｄ 暗部 Ｌ 明部 Ｍ ゴミ Ｒ 検出ツール Ｓ 検出ツール Ｔ 移動マーク Ｗ エッジ

【手続補正書】

【提出日】平成８年９月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１１】ステージを移動させることにより、モニタ画
像が測定点に向かって移動していく過程を示している。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野村 和久 東京都板橋区蓮沼町75番１号 株式会社ト プコン内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記憶された図面のＣＡＤデータのモニタ
   画像と、被測定ワークのモニタ画像をモニタ画面に重ね
   て表示することを特徴とする画像重ね合せ式の測定方
   法。
2. 【請求項２】 記憶された基準ワークの測定データのモ
   ニタ画像と、被測定ワークのモニタ画像をモニタ画面に
   重ねて表示することを特徴とする画像重ね合せ式の測定
   方法。
3. 【請求項３】 記憶された図面のＣＡＤデータのモニタ
   画像が、モニタ画像に表示されている被測定ワークの倍
   率及び姿勢に合せてモニタ画面に重ねて表示されること
   を特徴とする請求項１に記載の画像重ね合せ式の測定方
   法。
4. 【請求項４】 記憶された基準ワークの測定データのモ
   ニタ画像が、モニタ画像に表示されている被測定ワーク
   の倍率及び姿勢に合せてモニタ画面に重ねて表示される
   ことを特徴とする請求項２に記載の画像重ね合せ式の測
   定方法。
5. 【請求項５】 データ記憶装置からのＣＡＤデータまた
   は基準ワークの測定データに基くモニタ画像と、カメラ
   からの被測定ワークのモニタ画像とをモニタ画面に重ね
   合せて表示し、被測定ワークの測定を行うことを特徴と
   する画像重ね合せ式の測定方法。
6. 【請求項６】 図面のＣＡＤデータおよび基準ワークの
   測定データの少なくとも１つのデータを記憶させた後、
   被測定ワークの測定を行うときに、測定として確定した
   形状を被測定ワークのモニタ画面に重ね合せてモニタ画
   面に表示することを特徴とする画像重ね合せ式の測定方
   法。