JPH10341051A - 固体レーザ装置 - Google Patents
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- JPH10341051A JPH10341051A JP14916297A JP14916297A JPH10341051A JP H10341051 A JPH10341051 A JP H10341051A JP 14916297 A JP14916297 A JP 14916297A JP 14916297 A JP14916297 A JP 14916297A JP H10341051 A JPH10341051 A JP H10341051A
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- H01S3/06—Construction or shape of active medium
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- H01S3/0625—Coatings on surfaces other than the end-faces
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- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
- H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、固体レーザ媒質内の温度分布による
熱誘起複屈折の現象による損失を低減し、高効率でビー
ム品質の高いレーザ光を出力する。 【解決手段】レーザ共振器内にＹＡＧロッド５及び偏光
板４を配置し、ＹＡＧロッド５を励起して偏光したレー
ザ光を出力する場合、ＹＡＧロッド５を励起するＬＤ６
−１〜６−４とＹＡＧロッド５に接触してＹＡＧロッド
５を冷却するヒートシンク７−１〜７−４とをそれぞれ
ＹＡＧロッド５の側面上に等間隔で交互に配置し、レー
ザ光の偏光方向に対してＹＡＧロッド５内部の温度勾配
が平行又は垂直となるように形成した。
熱誘起複屈折の現象による損失を低減し、高効率でビー
ム品質の高いレーザ光を出力する。 【解決手段】レーザ共振器内にＹＡＧロッド５及び偏光
板４を配置し、ＹＡＧロッド５を励起して偏光したレー
ザ光を出力する場合、ＹＡＧロッド５を励起するＬＤ６
−１〜６−４とＹＡＧロッド５に接触してＹＡＧロッド
５を冷却するヒートシンク７−１〜７−４とをそれぞれ
ＹＡＧロッド５の側面上に等間隔で交互に配置し、レー
ザ光の偏光方向に対してＹＡＧロッド５内部の温度勾配
が平行又は垂直となるように形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体レーザ媒質内
部に生じる温度勾配に起因する熱誘起複屈折の影響を改
善した固体レーザ装置に関する。
部に生じる温度勾配に起因する熱誘起複屈折の影響を改
善した固体レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ロッド形状の固体レーザ媒質を用いたレ
ーザダイオード（以下、ＬＤと称する）励起固体レーザ
装置は、ＬＤから出力される光（以下、ＬＤ光と称す
る）を固体レーザ媒質して励起し、その誘導光をレーザ
共振器で共振させてレーザ光として出力するが、このと
きに固体レーザ媒質に発生する熱を冷却するために、固
体レーザ媒質を側面全体から冷却水等を流している。
ーザダイオード（以下、ＬＤと称する）励起固体レーザ
装置は、ＬＤから出力される光（以下、ＬＤ光と称す
る）を固体レーザ媒質して励起し、その誘導光をレーザ
共振器で共振させてレーザ光として出力するが、このと
きに固体レーザ媒質に発生する熱を冷却するために、固
体レーザ媒質を側面全体から冷却水等を流している。
【０００３】このように固体レーザ媒質を冷却すること
により、固体レーザ媒質内部には、図８に示すように同
心円状の温度分布が形成される。この温度分布は、例え
ば直径６ｍｍのＹＡＧロッドの側面４方向からＬＤ光で
励起した場合のＹＡＧロッド内部の温度分布であり、各
ＬＤのピーク出力１８０Ｗ、パルス幅２００μｓ、ＬＤ
光の幅を１０ｍｍとし、ＹＡＧロッド側面の水との境界
面での熱伝達率を５Ｗ／ｓ・℃・cm2 として温度計算し
た結果である。
により、固体レーザ媒質内部には、図８に示すように同
心円状の温度分布が形成される。この温度分布は、例え
ば直径６ｍｍのＹＡＧロッドの側面４方向からＬＤ光で
励起した場合のＹＡＧロッド内部の温度分布であり、各
ＬＤのピーク出力１８０Ｗ、パルス幅２００μｓ、ＬＤ
光の幅を１０ｍｍとし、ＹＡＧロッド側面の水との境界
面での熱伝達率を５Ｗ／ｓ・℃・cm2 として温度計算し
た結果である。
【０００４】このようにＹＡＧロッド内部の温度分布
は、同心円状に形成され、ＹＡＧロッドの側面から内部
に向かって温度が低下するものとなっている。このよう
な固体レーザ媒質内部の温度分布であるために、固体レ
ーザ媒質内部に生じる応力（歪み）は、固体レーザ媒質
の中心から放射状に、すなわち温度分布と垂直方向にベ
クトル方向を示す。
は、同心円状に形成され、ＹＡＧロッドの側面から内部
に向かって温度が低下するものとなっている。このよう
な固体レーザ媒質内部の温度分布であるために、固体レ
ーザ媒質内部に生じる応力（歪み）は、固体レーザ媒質
の中心から放射状に、すなわち温度分布と垂直方向にベ
クトル方向を示す。
【０００５】一方、このような温度分布の生じる固体レ
ーザ媒質をレーザ共振器内に配置するとともに、直線偏
光を得るための偏光板等を同レーザ共振器内に配置する
構成の固体レーザ装置では、固体レーザ媒質内を直線偏
光のレーザ光が透過し、この後、偏光板を透過するが、
このときに固体レーザ媒質内の温度分布による熱誘起複
屈折の現象で偏光方向が回転し損失Ｌが生じる。この損
失Ｌは、 Ｌ＝｛ sin（２ａ）・ sin（ｂ／２）｝2 …(1) により表される。ここで、ａは偏光方向と応力のベクト
ル方向のなす角度、ｂは複屈折で生じる位相差である。
ーザ媒質をレーザ共振器内に配置するとともに、直線偏
光を得るための偏光板等を同レーザ共振器内に配置する
構成の固体レーザ装置では、固体レーザ媒質内を直線偏
光のレーザ光が透過し、この後、偏光板を透過するが、
このときに固体レーザ媒質内の温度分布による熱誘起複
屈折の現象で偏光方向が回転し損失Ｌが生じる。この損
失Ｌは、 Ｌ＝｛ sin（２ａ）・ sin（ｂ／２）｝2 …(1) により表される。ここで、ａは偏光方向と応力のベクト
ル方向のなす角度、ｂは複屈折で生じる位相差である。
【０００６】このような損失Ｌが生じることから、固体
レーザ媒質内において、 sin（２ａ）＝１となる偏光方
向と４５°をなす角度方向に最大の損失を受け、効率が
低下する。又、固体レーザ媒質内の励起分布と異なるレ
ーザ光の出射パターンとなり、パターン形状の制御性の
低下を引き起こす。
レーザ媒質内において、 sin（２ａ）＝１となる偏光方
向と４５°をなす角度方向に最大の損失を受け、効率が
低下する。又、固体レーザ媒質内の励起分布と異なるレ
ーザ光の出射パターンとなり、パターン形状の制御性の
低下を引き起こす。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上のように固体レー
ザ媒質内部に同心円状の温度分布が形成されるために、
偏光方向と４５°をなす角度方向に最大の損失を受けて
効率が低下し、又、励起分布と異なるレーザ光の出射パ
ターンとなり、パターン形状の制御性の低下の引き起こ
していた。これらの対策として補償光学系を用いる手法
があるが、装置全体が大きくなってしまう。
ザ媒質内部に同心円状の温度分布が形成されるために、
偏光方向と４５°をなす角度方向に最大の損失を受けて
効率が低下し、又、励起分布と異なるレーザ光の出射パ
ターンとなり、パターン形状の制御性の低下の引き起こ
していた。これらの対策として補償光学系を用いる手法
があるが、装置全体が大きくなってしまう。
【０００８】そこで本発明は、固体レーザ媒質内の温度
分布による熱誘起複屈折の現象による損失を低減し、高
効率でビーム品質の高いレーザ光を出力できる固体レー
ザ装置を提供することを目的とする。
分布による熱誘起複屈折の現象による損失を低減し、高
効率でビーム品質の高いレーザ光を出力できる固体レー
ザ装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、レー
ザ共振器内に固体レーザ媒質及び偏光素子を配置し、固
体レーザ媒質を励起して偏光となったレーザ光を出力す
る固体レーザ装置において、固体レーザ媒質を励起する
励起光を出力する励起光源と固体レーザ媒質に接触して
固体レーザ媒質を冷却する冷却機構とをそれぞれ固体レ
ーザ媒質の側面上にそれぞれ等間隔で交互に配置し、レ
ーザ光の偏光方向に対して固体レーザ媒質内部の温度分
布の傾き方向が平行又は垂直となるように形成した固体
レーザ装置である。
ザ共振器内に固体レーザ媒質及び偏光素子を配置し、固
体レーザ媒質を励起して偏光となったレーザ光を出力す
る固体レーザ装置において、固体レーザ媒質を励起する
励起光を出力する励起光源と固体レーザ媒質に接触して
固体レーザ媒質を冷却する冷却機構とをそれぞれ固体レ
ーザ媒質の側面上にそれぞれ等間隔で交互に配置し、レ
ーザ光の偏光方向に対して固体レーザ媒質内部の温度分
布の傾き方向が平行又は垂直となるように形成した固体
レーザ装置である。
【００１０】請求項２によれば、レーザ共振器内に複数
の固体レーザ媒質及び偏光素子を配置し、複数の固体レ
ーザ媒質を励起して偏光したレーザ光を出力する固体レ
ーザ装置において、複数の固体レーザ媒質ごとに設けら
れ、固体レーザ媒質を励起する励起光を出力する励起光
源と固体レーザ媒質に接触して固体レーザ媒質を冷却す
る冷却機構とをそれぞれ固体レーザ媒質の側面上に等間
隔で交互に配置して構成される複数の励起モジュール
と、これら励起モジュール間を透過するレーザ光の偏光
方向を励起光の光軸と一致させる旋光子と、を備えた固
体レーザ装置である。
の固体レーザ媒質及び偏光素子を配置し、複数の固体レ
ーザ媒質を励起して偏光したレーザ光を出力する固体レ
ーザ装置において、複数の固体レーザ媒質ごとに設けら
れ、固体レーザ媒質を励起する励起光を出力する励起光
源と固体レーザ媒質に接触して固体レーザ媒質を冷却す
る冷却機構とをそれぞれ固体レーザ媒質の側面上に等間
隔で交互に配置して構成される複数の励起モジュール
と、これら励起モジュール間を透過するレーザ光の偏光
方向を励起光の光軸と一致させる旋光子と、を備えた固
体レーザ装置である。
【００１１】請求項３によれば、請求項１又は２記載の
固体レーザ装置において、固体レーザ媒質の側面上に励
起光源として２個又は４個のレーザダイオードと冷却機
構として２個又は４個のヒートシンクとを略等間隔で交
互に配置した。
固体レーザ装置において、固体レーザ媒質の側面上に励
起光源として２個又は４個のレーザダイオードと冷却機
構として２個又は４個のヒートシンクとを略等間隔で交
互に配置した。
【００１２】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。図１はＬＤ励起固体レーザ装置の構成
図である。レーザ共振器を構成する高反射ミラー１と出
力ミラー２との間には、そのレーザ光軸上に励起モジュ
ール３及び偏光板４が配置されている。
照して説明する。図１はＬＤ励起固体レーザ装置の構成
図である。レーザ共振器を構成する高反射ミラー１と出
力ミラー２との間には、そのレーザ光軸上に励起モジュ
ール３及び偏光板４が配置されている。
【００１３】励起モジュール３は、ＹＡＧロッド等の固
体レーザ媒質（以下、ＹＡＧロッドとして説明する）５
と、このＹＡＧロッド５を励起するためのＬＤ光を出力
する４つのＬＤ６−１〜６−４と、図２の励起モジュー
ル側面図に示すようにＹＡＧロッド５を冷却する４つの
ヒートシンク７−１〜７−４とから構成されている。な
お、図１には図示する関係上４つのヒートシンク７−１
〜７−４は省略してある。
体レーザ媒質（以下、ＹＡＧロッドとして説明する）５
と、このＹＡＧロッド５を励起するためのＬＤ光を出力
する４つのＬＤ６−１〜６−４と、図２の励起モジュー
ル側面図に示すようにＹＡＧロッド５を冷却する４つの
ヒートシンク７−１〜７−４とから構成されている。な
お、図１には図示する関係上４つのヒートシンク７−１
〜７−４は省略してある。
【００１４】このうち４つのＬＤ６−１〜６−４は、全
て直列接続されてＬＤドライバ８に配線され、このＬＤ
ドライバ８によりオン・オフ動作する構成となってい
る。４つのヒートシンク７−１〜７−４には、熱交換機
９が接続され、この熱交換機９からの冷却水が循環し、
励起モジュール３に発生する熱を外部環境に放熱する構
成となっている。
て直列接続されてＬＤドライバ８に配線され、このＬＤ
ドライバ８によりオン・オフ動作する構成となってい
る。４つのヒートシンク７−１〜７−４には、熱交換機
９が接続され、この熱交換機９からの冷却水が循環し、
励起モジュール３に発生する熱を外部環境に放熱する構
成となっている。
【００１５】これらＬＤ６−１〜６−４及びヒートシン
ク７−１〜７−４の具体的な配置を図２を参照して説明
すると、これらＬＤ６−１〜６−４とヒートシンク７−
１〜７−４とは、ＹＡＧロッド５の長手方向から見てそ
れぞれＹＡＧロッド５の側面上に等間隔で交互に配置さ
れている。
ク７−１〜７−４の具体的な配置を図２を参照して説明
すると、これらＬＤ６−１〜６−４とヒートシンク７−
１〜７−４とは、ＹＡＧロッド５の長手方向から見てそ
れぞれＹＡＧロッド５の側面上に等間隔で交互に配置さ
れている。
【００１６】すなわち、４つのＬＤ６−１〜６−４は、
それぞれ各ヒートシンク７−１〜７−４に対してマウン
トされ、図３に示すように各ＬＤ光軸がＹＡＧロッド５
の中心を通るように互いに角度９０°の間隔をおいて配
置されている。
それぞれ各ヒートシンク７−１〜７−４に対してマウン
トされ、図３に示すように各ＬＤ光軸がＹＡＧロッド５
の中心を通るように互いに角度９０°の間隔をおいて配
置されている。
【００１７】４つのヒートシンク７−１〜７−４は、そ
れぞれＬＤ６−１〜６−４をマウントした状態で、その
一部をＹＡＧロッド５の側面に熱的に接触している。こ
れらヒートシンク７−１〜７−４のＹＡＧロッド５に対
する接触部分は、各ＬＤ６−１〜６−４から出力される
ＬＤ光の各ＬＤ光照射部であり、互いに角度９０°の間
隔をおいた４カ所である。
れぞれＬＤ６−１〜６−４をマウントした状態で、その
一部をＹＡＧロッド５の側面に熱的に接触している。こ
れらヒートシンク７−１〜７−４のＹＡＧロッド５に対
する接触部分は、各ＬＤ６−１〜６−４から出力される
ＬＤ光の各ＬＤ光照射部であり、互いに角度９０°の間
隔をおいた４カ所である。
【００１８】これらヒートシンク７−１〜７−４は、例
えば金、銀、銅、アルミニウム、酸化ベリリウム（ベリ
リア）、窒化アルミナウムなどの熱伝導率の大きい材料
で形成されている。
えば金、銀、銅、アルミニウム、酸化ベリリウム（ベリ
リア）、窒化アルミナウムなどの熱伝導率の大きい材料
で形成されている。
【００１９】なお、ヒートシンク７−１〜７−４が導体
である銅やアルミニウムで形成される場合、各ＬＤ６−
１〜６−４とヒートシンク７−１〜７−４との間には、
電気的絶縁を図るために、酸化ベリリウム、窒化アルミ
ニウムなどの絶縁スペーサが挿入されている。又、ＬＤ
６−１〜６−４とヒートシンク７−１〜７−４との間に
は、熱伝達率を低減するためにインジウムのシートを挟
む場合もある。
である銅やアルミニウムで形成される場合、各ＬＤ６−
１〜６−４とヒートシンク７−１〜７−４との間には、
電気的絶縁を図るために、酸化ベリリウム、窒化アルミ
ニウムなどの絶縁スペーサが挿入されている。又、ＬＤ
６−１〜６−４とヒートシンク７−１〜７−４との間に
は、熱伝達率を低減するためにインジウムのシートを挟
む場合もある。
【００２０】又、ＹＡＧロッド５とヒートシンク７−１
〜７−４との間も、これらのＹＡＧロッド５とヒートシ
ンク７−１〜７−４との間の熱伝達率を低減するために
シンジウムのシートを挟んだり、ＹＡＧロッド５の側面
に金や銀、銅、アルミニウム等の熱伝導のよい材料がコ
ーティングされている。
〜７−４との間も、これらのＹＡＧロッド５とヒートシ
ンク７−１〜７−４との間の熱伝達率を低減するために
シンジウムのシートを挟んだり、ＹＡＧロッド５の側面
に金や銀、銅、アルミニウム等の熱伝導のよい材料がコ
ーティングされている。
【００２１】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。ＬＤドライバ８から各ＬＤ６−１〜６−
４に電流が流れると、これらＬＤ６−１〜６−４は、そ
の流れた電流値に対応してそれぞれＬＤ光を出力する。
いて説明する。ＬＤドライバ８から各ＬＤ６−１〜６−
４に電流が流れると、これらＬＤ６−１〜６−４は、そ
の流れた電流値に対応してそれぞれＬＤ光を出力する。
【００２２】これらＬＤ光１０は、ＹＡＧロッド５の側
面から入射し、ＹＡＧロッド５の内部で吸収されながら
透過していく。このＹＡＧロッド５に吸収されたＬＤ光
１０のエネルギーは、レーザ遷移での上準位にエネルギ
ーレベルが励起され、レーサ発振に寄与し、熱としても
エネルギーを放出する。
面から入射し、ＹＡＧロッド５の内部で吸収されながら
透過していく。このＹＡＧロッド５に吸収されたＬＤ光
１０のエネルギーは、レーザ遷移での上準位にエネルギ
ーレベルが励起され、レーサ発振に寄与し、熱としても
エネルギーを放出する。
【００２３】すなわち、ＬＤ光１０の照射によりＹＡＧ
ロッド５が励起されると、その誘導光が高反射ミラー１
と出力ミラー２との間で共振し、かつ偏光板４で直線偏
光とされて出力ミラー２からレーザ光として出力され
る。
ロッド５が励起されると、その誘導光が高反射ミラー１
と出力ミラー２との間で共振し、かつ偏光板４で直線偏
光とされて出力ミラー２からレーザ光として出力され
る。
【００２４】又、ＹＡＧロッド５の励起によりその内部
には熱が発生するが、この熱は、各ヒートシンク７−１
〜７−４に伝導され、冷却される。ここで、ＹＡＧロッ
ド５の径を直径６ｍｍ、ＹＡＧロッド５の側面の合計５
０％が各ヒートシンク７−１〜７−４に接触して冷却さ
れ、かつ各ＬＤ６−１〜６−４から出力される各ＬＤ光
１０のピーク出力を１８０Ｗ、パルス幅２００μｓ、Ｌ
Ｄ光１０の幅を１０ｍｍとすると、ＹＡＧロッド５内部
の吸収（励起）分布は、図４(a)(b)に通りとなり、発熱
も同じ分布となる。なお、同図(a) はＹＡＧロッド５の
断面全体における吸収分布、同図(b) は同ＹＡＧロッド
５の断面方向の吸収の強さを示す。
には熱が発生するが、この熱は、各ヒートシンク７−１
〜７−４に伝導され、冷却される。ここで、ＹＡＧロッ
ド５の径を直径６ｍｍ、ＹＡＧロッド５の側面の合計５
０％が各ヒートシンク７−１〜７−４に接触して冷却さ
れ、かつ各ＬＤ６−１〜６−４から出力される各ＬＤ光
１０のピーク出力を１８０Ｗ、パルス幅２００μｓ、Ｌ
Ｄ光１０の幅を１０ｍｍとすると、ＹＡＧロッド５内部
の吸収（励起）分布は、図４(a)(b)に通りとなり、発熱
も同じ分布となる。なお、同図(a) はＹＡＧロッド５の
断面全体における吸収分布、同図(b) は同ＹＡＧロッド
５の断面方向の吸収の強さを示す。
【００２５】この発熱分布を基にＹＡＧロッド５のヒー
トシンク７−１〜７−４との接触部の熱伝達率を０．５
Ｗ／ｓ・℃・cm2 とした場合のＹＡＧロッド５内部の温
度分布は、図５に示すように四角形状の如くとなる。同
図から分かるようにＹＡＧロッド５の各ＬＤ光１０の照
射部分の温度が高く、各ヒートシンク７−１〜７−４と
の接触部分の温度がＬＤ光照射部分の温度よりも低下し
ている。
トシンク７−１〜７−４との接触部の熱伝達率を０．５
Ｗ／ｓ・℃・cm2 とした場合のＹＡＧロッド５内部の温
度分布は、図５に示すように四角形状の如くとなる。同
図から分かるようにＹＡＧロッド５の各ＬＤ光１０の照
射部分の温度が高く、各ヒートシンク７−１〜７−４と
の接触部分の温度がＬＤ光照射部分の温度よりも低下し
ている。
【００２６】すなわち、各ヒートシンク７−１〜７−４
による冷却方向に水平、垂直に温度分布が形成されるの
で、レーザ共振器内の偏光板４の偏光方向を冷却方向に
一致させることで、ＹＡＧロッド５内の温度分布による
熱誘起複屈折の現象で偏光方向が回転し損失Ｌ｛上記式
(1) ｝の sin（２ａ）をＹＡＧロッド５の内部全体で
「０」とすることができ、損失Ｌを低減できる。
による冷却方向に水平、垂直に温度分布が形成されるの
で、レーザ共振器内の偏光板４の偏光方向を冷却方向に
一致させることで、ＹＡＧロッド５内の温度分布による
熱誘起複屈折の現象で偏光方向が回転し損失Ｌ｛上記式
(1) ｝の sin（２ａ）をＹＡＧロッド５の内部全体で
「０」とすることができ、損失Ｌを低減できる。
【００２７】このように上記第１の実施の形態において
は、レーザ共振器内にＹＡＧロッド５及び偏光板４を配
置した固体レーザ装置に、ＹＡＧロッド５に対して４つ
のＬＤ６−１〜６−４と４つのヒートシンク７−１〜７
−４とをそれぞれＹＡＧロッド５の側面上に等間隔で交
互に配置したので、レーザ共振器内の偏光板４による偏
光方向を冷却方向に一致することができ、レーザ光の偏
光方向に対してＹＡＧロッド５内部の温度勾配を平行又
は垂直となるように形成できる。
は、レーザ共振器内にＹＡＧロッド５及び偏光板４を配
置した固体レーザ装置に、ＹＡＧロッド５に対して４つ
のＬＤ６−１〜６−４と４つのヒートシンク７−１〜７
−４とをそれぞれＹＡＧロッド５の側面上に等間隔で交
互に配置したので、レーザ共振器内の偏光板４による偏
光方向を冷却方向に一致することができ、レーザ光の偏
光方向に対してＹＡＧロッド５内部の温度勾配を平行又
は垂直となるように形成できる。
【００２８】これにより、ＹＡＧロッド５内の温度分布
による熱誘起複屈折の現象で生じる損失Ｌを低減でき、
励起分布を反映したレーザ光の出射パターンを得ること
ができ、高効率でビーム品質の高いレーザ光を出力でき
る。 (2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。
による熱誘起複屈折の現象で生じる損失Ｌを低減でき、
励起分布を反映したレーザ光の出射パターンを得ること
ができ、高効率でビーム品質の高いレーザ光を出力でき
る。 (2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。
【００２９】図６はＬＤ励起固体レーザ装置の構成図で
ある。レーザ共振器を構成する高反射ミラー１と出力ミ
ラー２との間には、そのレーザ光軸上に複数の励起モジ
ュール、例えば２つの励起モジュール２０、２１が配置
され、かつ励起モジュール２０と高反射ミラー１との間
に偏光板４が配置されるとともに、２つの励起モジュー
ル２０、２１の間に偏光ロテータ（旋光子）２２が配置
されている。
ある。レーザ共振器を構成する高反射ミラー１と出力ミ
ラー２との間には、そのレーザ光軸上に複数の励起モジ
ュール、例えば２つの励起モジュール２０、２１が配置
され、かつ励起モジュール２０と高反射ミラー１との間
に偏光板４が配置されるとともに、２つの励起モジュー
ル２０、２１の間に偏光ロテータ（旋光子）２２が配置
されている。
【００３０】２つの励起モジュール２０、２１は、それ
ぞれ上記励起モジュール３と同様な構成で、このうち励
起モジュール２０は、ＹＡＧロッド２３を励起するため
のＬＤ光を出力する８つのＬＤ２４−１〜２４−８と、
ＹＡＧロッド２３を冷却する８つのヒートシンクとから
構成されている。なお、ヒートシンクは図示の関係上省
略してある。
ぞれ上記励起モジュール３と同様な構成で、このうち励
起モジュール２０は、ＹＡＧロッド２３を励起するため
のＬＤ光を出力する８つのＬＤ２４−１〜２４−８と、
ＹＡＧロッド２３を冷却する８つのヒートシンクとから
構成されている。なお、ヒートシンクは図示の関係上省
略してある。
【００３１】このうち各ＬＤ２４−１〜２４−８は、全
て直列接続されてＬＤドライバに配線され、かつ８つの
ヒートシンクには、熱交換機が接続されている。８つの
ＬＤ２４−１〜２４−８は、それぞれ各ヒートシンクに
対してマウントされ、図３に示すと同様に、各ＬＤ光軸
がＹＡＧロッド２３の中心を通るように互いに角度９０
°の間隔をおいて配置されている。
て直列接続されてＬＤドライバに配線され、かつ８つの
ヒートシンクには、熱交換機が接続されている。８つの
ＬＤ２４−１〜２４−８は、それぞれ各ヒートシンクに
対してマウントされ、図３に示すと同様に、各ＬＤ光軸
がＹＡＧロッド２３の中心を通るように互いに角度９０
°の間隔をおいて配置されている。
【００３２】８つのヒートシンクは、それぞれＬＤ２４
−１〜２４−８をマウントした状態で、その一部をＹＡ
Ｇロッド２３の側面に熱的に接触している。これらヒー
トシンクのＹＡＧロッド２３に対する接触部分は、各Ｌ
Ｄ２４−１〜２４−８から出力されるＬＤ光の各ＬＤ光
照射部であり、互いに角度９０°の間隔をおいた４カ所
である。
−１〜２４−８をマウントした状態で、その一部をＹＡ
Ｇロッド２３の側面に熱的に接触している。これらヒー
トシンクのＹＡＧロッド２３に対する接触部分は、各Ｌ
Ｄ２４−１〜２４−８から出力されるＬＤ光の各ＬＤ光
照射部であり、互いに角度９０°の間隔をおいた４カ所
である。
【００３３】なお、これらヒートシンクは、例えば金、
銀、銅、アルミニウム、酸化ベリリウム、窒化アルミナ
ウムなどの熱伝導率の大きい材料で形成されている。こ
れらヒートシンクが導体である銅やアルミニウムで形成
される場合、各ＬＤ２４−１〜２４−８とヒートシンク
との間には、電気的絶縁を図るために、酸化ベリリウ
ム、窒化アルミニウムなどの絶縁スペーサが挿入されて
いる。又、ＬＤ２４−１〜２４−８とヒートシンクとの
間には、熱伝達率を低減するためにインジウムのシート
を挟む場合もある。
銀、銅、アルミニウム、酸化ベリリウム、窒化アルミナ
ウムなどの熱伝導率の大きい材料で形成されている。こ
れらヒートシンクが導体である銅やアルミニウムで形成
される場合、各ＬＤ２４−１〜２４−８とヒートシンク
との間には、電気的絶縁を図るために、酸化ベリリウ
ム、窒化アルミニウムなどの絶縁スペーサが挿入されて
いる。又、ＬＤ２４−１〜２４−８とヒートシンクとの
間には、熱伝達率を低減するためにインジウムのシート
を挟む場合もある。
【００３４】又、ＹＡＧロッド２３とヒートシンクとの
間も、これらのＹＡＧロッド２３とヒートシンクとの間
の熱伝達率を低減するためにシンジウムのシートを挟ん
だり、ＹＡＧロッド２３の側面に金や銀、銅、アルミニ
ウム等の熱伝導のよい材料がコーティングされている。
間も、これらのＹＡＧロッド２３とヒートシンクとの間
の熱伝達率を低減するためにシンジウムのシートを挟ん
だり、ＹＡＧロッド２３の側面に金や銀、銅、アルミニ
ウム等の熱伝導のよい材料がコーティングされている。
【００３５】一方、励起モジュール２１は、上記励起モ
ジュール２０と同様に、ＹＡＧロッド２５を励起するた
めのＬＤ光を出力する８つのＬＤ２６−１〜２６−８
と、ＹＡＧロッド２５を冷却する８つのヒートシンクと
から構成されている。なお、ＬＤ２６−７〜２６−８及
びヒートシンクは図示の関係上省略してある。
ジュール２０と同様に、ＹＡＧロッド２５を励起するた
めのＬＤ光を出力する８つのＬＤ２６−１〜２６−８
と、ＹＡＧロッド２５を冷却する８つのヒートシンクと
から構成されている。なお、ＬＤ２６−７〜２６−８及
びヒートシンクは図示の関係上省略してある。
【００３６】このうち各ＬＤ２６−１〜２６−８は、全
て直列接続されてＬＤドライバに配線され、かつ８つの
ヒートシンクには、熱交換機が接続されている。８つの
ＬＤ２６−１〜２６−８は、それぞれ各ヒートシンクに
対してマウントされ、上記図３に示すと同様に、各ＬＤ
光軸がＹＡＧロッド２５の中心を通るように互いに角度
９０°の間隔をおいて配置されている。
て直列接続されてＬＤドライバに配線され、かつ８つの
ヒートシンクには、熱交換機が接続されている。８つの
ＬＤ２６−１〜２６−８は、それぞれ各ヒートシンクに
対してマウントされ、上記図３に示すと同様に、各ＬＤ
光軸がＹＡＧロッド２５の中心を通るように互いに角度
９０°の間隔をおいて配置されている。
【００３７】８つのヒートシンクは、それぞれＬＤ２６
−１〜２６−８をマウントした状態で、その一部をＹＡ
Ｇロッド２５の側面に熱的に接触している。これらヒー
トシンクのＹＡＧロッド２５に対する接触部分は、各Ｌ
Ｄ２６−１〜２６−８から出力されるＬＤ光の各ＬＤ光
照射部であり、互いに角度９０°の間隔をおいた４カ所
である。
−１〜２６−８をマウントした状態で、その一部をＹＡ
Ｇロッド２５の側面に熱的に接触している。これらヒー
トシンクのＹＡＧロッド２５に対する接触部分は、各Ｌ
Ｄ２６−１〜２６−８から出力されるＬＤ光の各ＬＤ光
照射部であり、互いに角度９０°の間隔をおいた４カ所
である。
【００３８】なお、これらヒートシンクは、上記同様
に、例えば金、銀、銅、アルミニウム、酸化ベリリウ
ム、窒化アルミナウムなどの熱伝導率の大きい材料で形
成されている。これらヒートシンクが導体である銅やア
ルミニウムで形成される場合、各ＬＤ２６−１〜２６−
８とヒートシンクとの間には、電気的絶縁を図るため
に、酸化ベリリウム、窒化アルミニウムなどの絶縁スペ
ーサが挿入されている。又、ＬＤ２６−１〜２６−８と
ヒートシンクとの間には、熱伝達率を低減するためにイ
ンジウムのシートを挟む場合もある。
に、例えば金、銀、銅、アルミニウム、酸化ベリリウ
ム、窒化アルミナウムなどの熱伝導率の大きい材料で形
成されている。これらヒートシンクが導体である銅やア
ルミニウムで形成される場合、各ＬＤ２６−１〜２６−
８とヒートシンクとの間には、電気的絶縁を図るため
に、酸化ベリリウム、窒化アルミニウムなどの絶縁スペ
ーサが挿入されている。又、ＬＤ２６−１〜２６−８と
ヒートシンクとの間には、熱伝達率を低減するためにイ
ンジウムのシートを挟む場合もある。
【００３９】又、ＹＡＧロッド２５とヒートシンクとの
間も、これらのＹＡＧロッド２５とヒートシンクとの間
の熱伝達率を低減するためにシンジウムのシートを挟ん
だり、ＹＡＧロッド２５の側面に金や銀、銅、アルミニ
ウム等の熱伝導のよい材料がコーティングされている。
間も、これらのＹＡＧロッド２５とヒートシンクとの間
の熱伝達率を低減するためにシンジウムのシートを挟ん
だり、ＹＡＧロッド２５の側面に金や銀、銅、アルミニ
ウム等の熱伝導のよい材料がコーティングされている。
【００４０】上記２つの励起モジュール２０、２１は、
各ヒートシンクによる各ＹＡＧロッド２３、２５に対す
る冷却方向、言い換えれば各ＹＡＧロッド２３、２５に
対するＬＤ照射光軸の方向を互いに４５°回転して配置
されている。
各ヒートシンクによる各ＹＡＧロッド２３、２５に対す
る冷却方向、言い換えれば各ＹＡＧロッド２３、２５に
対するＬＤ照射光軸の方向を互いに４５°回転して配置
されている。
【００４１】このうち励起モジュール２０は、偏光板４
の偏光方向とヒートシンクによる冷却方向とが一致して
いる。上記偏光ロテータ２２は、レーザ光の偏光方向を
４５°回転する作用を持っている。
の偏光方向とヒートシンクによる冷却方向とが一致して
いる。上記偏光ロテータ２２は、レーザ光の偏光方向を
４５°回転する作用を持っている。
【００４２】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。ＬＤドライバから各励起モジュール２
０、２１の各ＬＤ２４−１〜２４−８、２６−１〜２６
−８にタイミングを一致させて電流が流れると、これら
ＬＤ２４−１〜２４−８、２６−１〜２６−８は、その
流れた電流値に対応してそれぞれＬＤ光を出力する。
いて説明する。ＬＤドライバから各励起モジュール２
０、２１の各ＬＤ２４−１〜２４−８、２６−１〜２６
−８にタイミングを一致させて電流が流れると、これら
ＬＤ２４−１〜２４−８、２６−１〜２６−８は、その
流れた電流値に対応してそれぞれＬＤ光を出力する。
【００４３】これらＬＤ光は、各ＹＡＧロッド２３、２
５の側面から入射し、ＹＡＧロッド２３、２５の内部で
吸収されながら透過していく。これらＹＡＧロッド２
３、２５に吸収されたＬＤ光のエネルギーは、レーザ遷
移上準位にエネルギーレベルが励起される。
５の側面から入射し、ＹＡＧロッド２３、２５の内部で
吸収されながら透過していく。これらＹＡＧロッド２
３、２５に吸収されたＬＤ光のエネルギーは、レーザ遷
移上準位にエネルギーレベルが励起される。
【００４４】このように各ＹＡＧロッド２３、２５が励
起されると、その誘導光が高反射ミラー１と出力ミラー
２との間で共振するが、このとき偏光板４を透過したレ
ーザ光は、励起モジュール２０で損失なく増幅され、こ
の後、偏光ロテータ２２で４５°偏光方向が回転され、
もう一方の励起モジュール２１に入射する。
起されると、その誘導光が高反射ミラー１と出力ミラー
２との間で共振するが、このとき偏光板４を透過したレ
ーザ光は、励起モジュール２０で損失なく増幅され、こ
の後、偏光ロテータ２２で４５°偏光方向が回転され、
もう一方の励起モジュール２１に入射する。
【００４５】この励起モジュール２１においても、レー
ザ光の偏光方向と冷却方向とが一致しているので、レー
ザ光は損失なく増幅される。このようにして高反射ミラ
ー１と出力ミラー２との間で共振が発生し、出力ミラー
２からレーザ光として出力されるが、２つの励起モジュ
ール２０、２１は互いに４５°角度がずれているので、
各ＹＡＧロッド２３、２５はトータルで８方向から励起
した場合と同様な励起分布となり、この励起分布のＹＡ
Ｇロッド２３、２５にレーザ光が透過するので、損失な
く、より円形に近いビームプロファイルのレーザ光が出
力される。
ザ光の偏光方向と冷却方向とが一致しているので、レー
ザ光は損失なく増幅される。このようにして高反射ミラ
ー１と出力ミラー２との間で共振が発生し、出力ミラー
２からレーザ光として出力されるが、２つの励起モジュ
ール２０、２１は互いに４５°角度がずれているので、
各ＹＡＧロッド２３、２５はトータルで８方向から励起
した場合と同様な励起分布となり、この励起分布のＹＡ
Ｇロッド２３、２５にレーザ光が透過するので、損失な
く、より円形に近いビームプロファイルのレーザ光が出
力される。
【００４６】このように上記第２の実施の形態において
は、レーザ共振器内に２つの励起モジュール２０、２１
を配置するとともに、偏光板４、偏光ロテータ２２を配
置したので、上記第１の実施の形態と同様に、レーザ共
振器内の偏光板４の偏光方向及び偏光ロテータ２２の偏
光方向を冷却方向に一致でき、ＹＡＧロッド２３、２５
内の温度分布による熱誘起複屈折の現象で生じる損失Ｌ
を低減でき、励起分布を反映したより円形に近いビーム
プロファイルで、高効率でビーム品質の高いレーザ光を
出力できる。
は、レーザ共振器内に２つの励起モジュール２０、２１
を配置するとともに、偏光板４、偏光ロテータ２２を配
置したので、上記第１の実施の形態と同様に、レーザ共
振器内の偏光板４の偏光方向及び偏光ロテータ２２の偏
光方向を冷却方向に一致でき、ＹＡＧロッド２３、２５
内の温度分布による熱誘起複屈折の現象で生じる損失Ｌ
を低減でき、励起分布を反映したより円形に近いビーム
プロファイルで、高効率でビーム品質の高いレーザ光を
出力できる。
【００４７】なお、本発明は、上記第１及び第２の実施
の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよ
い。例えば、固体レーザ媒質としては、ＹＡＧロッドに
限らず、レーザ媒質の吸収スペクトルとＬＤの発振波長
とが合えば、そのレーザ媒質を適用してもよい。
の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよ
い。例えば、固体レーザ媒質としては、ＹＡＧロッドに
限らず、レーザ媒質の吸収スペクトルとＬＤの発振波長
とが合えば、そのレーザ媒質を適用してもよい。
【００４８】又、固体レーザ媒質を励起する全てのＬＤ
を直列配線するに限らず、複数個の一部又は全てのＬＤ
が並列接続されていても、ＬＤが正常に動作する配線で
あれば適用できる。
を直列配線するに限らず、複数個の一部又は全てのＬＤ
が並列接続されていても、ＬＤが正常に動作する配線で
あれば適用できる。
【００４９】又、ＬＤの冷却方法、冷却媒体に影響され
るものでなく、ＬＤ動作上、熱的な問題がなければ各手
法の冷却方法、冷却媒体を適用できる。又、ＹＡＧロッ
ドを冷却するヒートシンクの材質や密着性を高めるため
に用いるインタフェースの有無や材質、接触方向に影響
されるものでなく、熱誘起複屈折以外の熱的影響が問題
にならないように熱伝達率が大きくできれば適用でき
る。
るものでなく、ＬＤ動作上、熱的な問題がなければ各手
法の冷却方法、冷却媒体を適用できる。又、ＹＡＧロッ
ドを冷却するヒートシンクの材質や密着性を高めるため
に用いるインタフェースの有無や材質、接触方向に影響
されるものでなく、熱誘起複屈折以外の熱的影響が問題
にならないように熱伝達率が大きくできれば適用でき
る。
【００５０】又、ＬＤとＹＡＧロッドとの間隔に影響さ
れるものでなく、ＬＤ光がＹＡＧロッドを励起（照射）
できるように配置してもよい。又、励起モジュール内の
ＬＤ数に影響されるものでなく、レーザ光の偏光方向に
対して固体レーザ媒質内部の温度勾配が平行又は垂直と
なるように形成できれば、ＬＤ数に限定されない。又、
ミラーの個数に影響されるものでなく、レーザ発振がで
きる数、レーザ共振器構成であれば適用できる。
れるものでなく、ＬＤ光がＹＡＧロッドを励起（照射）
できるように配置してもよい。又、励起モジュール内の
ＬＤ数に影響されるものでなく、レーザ光の偏光方向に
対して固体レーザ媒質内部の温度勾配が平行又は垂直と
なるように形成できれば、ＬＤ数に限定されない。又、
ミラーの個数に影響されるものでなく、レーザ発振がで
きる数、レーザ共振器構成であれば適用できる。
【００５１】又、図７に示すように固体レーザ媒質５の
側面に、各ＬＤ３０、３１を例えば角度９０°おいて配
置し、その各ＬＤ光軸上の固体レーザ媒質５の反対面側
にそれぞれ反射コーティング３２、３３を形成し、ＬＤ
光を反射して固体レーザ媒質５の内部に戻す構成とした
場合、これらＬＤ光の照射部分と反射コーティング３
２、３３との各間にヒートシンク３４−１〜３４−４を
配置すれば、レーザ光の偏光方向に対して固体レーザ媒
質５内部の温度勾配が平行又は垂直となるように形成で
き、固体レーザ媒質５内の温度分布による熱誘起複屈折
の現象による損失を低減し、高効率でビーム品質の高い
レーザ光を出力できる。
側面に、各ＬＤ３０、３１を例えば角度９０°おいて配
置し、その各ＬＤ光軸上の固体レーザ媒質５の反対面側
にそれぞれ反射コーティング３２、３３を形成し、ＬＤ
光を反射して固体レーザ媒質５の内部に戻す構成とした
場合、これらＬＤ光の照射部分と反射コーティング３
２、３３との各間にヒートシンク３４−１〜３４−４を
配置すれば、レーザ光の偏光方向に対して固体レーザ媒
質５内部の温度勾配が平行又は垂直となるように形成で
き、固体レーザ媒質５内の温度分布による熱誘起複屈折
の現象による損失を低減し、高効率でビーム品質の高い
レーザ光を出力できる。
【００５２】この場合、反射コーティング３２、３３に
使用する材質に影響されるものでなく、又反射コーティ
ング３２、３３を施した部分以外には反射防止膜を施す
ことがあるが、反射防止膜に使用する材質にも影響され
るものでない。
使用する材質に影響されるものでなく、又反射コーティ
ング３２、３３を施した部分以外には反射防止膜を施す
ことがあるが、反射防止膜に使用する材質にも影響され
るものでない。
【００５３】
【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項１〜
３によれば、固体レーザ媒質内の温度分布による熱誘起
複屈折の現象による損失を低減し、高効率でビーム品質
の高いレーザ光を出力できる固体レーザ装置を提供でき
る。本発明の請求項２によれば、より円形に近いビーム
プロファイルで、ビーム品質の高いレーザ光を出力でき
る固体レーザ装置を提供できる。
３によれば、固体レーザ媒質内の温度分布による熱誘起
複屈折の現象による損失を低減し、高効率でビーム品質
の高いレーザ光を出力できる固体レーザ装置を提供でき
る。本発明の請求項２によれば、より円形に近いビーム
プロファイルで、ビーム品質の高いレーザ光を出力でき
る固体レーザ装置を提供できる。
【図１】本発明に係わるＬＤ励起固体レーザ装置の第１
の実施の形態を示す構成図。
の実施の形態を示す構成図。
【図２】同装置における励起モジュールの側面図。
【図３】ＬＤの配置を示す外観図。
【図４】ＹＡＧロッド内部の吸収（励起）分布を示す
図。
図。
【図５】ＹＡＧロッド内部の温度分布を示す図。
【図６】本発明に係わるＬＤ励起固体レーザ装置の第２
の実施の形態を示す構成図。
の実施の形態を示す構成図。
【図７】本発明に係わるＬＤ励起固体レーザ装置の変形
例を示す図。
例を示す図。
【図８】従来装置におけるＹＡＧロッド内部の温度分布
を示す図。
を示す図。
１…高反射ミラー、 ２…出力ミラー、 ３…励起モジュール、 ４…偏光板、 ５…固体レーザ媒質、 ６−１〜６−４…ＬＤ、 ７−１〜７−４…ヒートシンク、 ８…ＬＤドライバ、 ９…熱交換機、 ２０，２１…励起モジュール、 ２２…偏光ロテータ。
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ共振器内に固体レーザ媒質及び偏
光素子を配置し、前記固体レーザ媒質を励起して偏光と
なったレーザ光を出力する固体レーザ装置において、 前記固体レーザ媒質を励起する励起光を出力する励起光
源と前記固体レーザ媒質に接触して前記固体レーザ媒質
を冷却する冷却機構とをそれぞれ前記固体レーザ媒質の
側面上にそれぞれ等間隔で交互に配置し、前記レーザ光
の偏光方向に対して前記固体レーザ媒質内部の温度分布
の傾き方向が平行又は垂直となるように形成したことを
特徴とする固体レーザ装置。 - 【請求項２】 レーザ共振器内に複数の固体レーザ媒質
及び偏光素子を配置し、前記複数の固体レーザ媒質を励
起して偏光したレーザ光を出力する固体レーザ装置にお
いて、 前記複数の固体レーザ媒質ごとに設けられ、前記固体レ
ーザ媒質を励起する励起光を出力する励起光源と前記固
体レーザ媒質に接触して前記固体レーザ媒質を冷却する
冷却機構とをそれぞれ前記固体レーザ媒質の側面上に等
間隔で交互に配置して構成される複数の励起モジュール
と、 これら励起モジュール間を透過するレーザ光の偏光方向
を前記励起光の光軸と一致させる旋光子と、を具備した
ことを特徴とする固体レーザ装置。 - 【請求項３】 前記固体レーザ媒質の側面上に前記励起
光源として２個又は４個のレーザダイオードと前記冷却
機構として２個又は４個のヒートシンクとを略等間隔で
交互に配置したことを特徴とする請求項１又は２記載の
固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14916297A JPH10341051A (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14916297A JPH10341051A (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10341051A true JPH10341051A (ja) | 1998-12-22 |
Family
ID=15469158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14916297A Pending JPH10341051A (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10341051A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003067721A3 (en) * | 2002-02-07 | 2004-03-04 | Lambda Physik Ag | Solid-state diode pumped laser employing oscillator-amplifier |
| JP2006303141A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Ojima Shisaku Kenkyusho:Kk | 大出力レーザ光発生方法および大出力レーザ光発生装置 |
| WO2008031287A1 (fr) * | 2006-09-11 | 2008-03-20 | Shenzhen Han's Laser Technology Co., Limited | Cavité de pompage pour module de pompage latéral à semi-conducteur |
| KR101138456B1 (ko) | 2010-06-29 | 2012-04-26 | (주)한빛레이저 | 펄스 다이오드 펌핑형 고체레이저 모듈의 냉각 시스템 구조 |
| WO2018037944A1 (ja) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | 株式会社ブイ・テクノロジー | レーザポンプチャンバ装置 |
-
1997
- 1997-06-06 JP JP14916297A patent/JPH10341051A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003067721A3 (en) * | 2002-02-07 | 2004-03-04 | Lambda Physik Ag | Solid-state diode pumped laser employing oscillator-amplifier |
| JP2006303141A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Ojima Shisaku Kenkyusho:Kk | 大出力レーザ光発生方法および大出力レーザ光発生装置 |
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