JPH10318836A - 分析装置 - Google Patents

分析装置

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JPH10318836A
JPH10318836A JP13215997A JP13215997A JPH10318836A JP H10318836 A JPH10318836 A JP H10318836A JP 13215997 A JP13215997 A JP 13215997A JP 13215997 A JP13215997 A JP 13215997A JP H10318836 A JPH10318836 A JP H10318836A
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JP
Japan
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display
theoretical
profile
elements
wavelength
Prior art date
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Pending
Application number
JP13215997A
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English (en)
Inventor
Tadahiro Shioda
忠弘 塩田
Shoji Kuwabara
章二 桑原
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】元素の同定精度を高める。 【解決手段】指定手段6による複数元素の指定に対応し
て、指定された各指定元素が発するスペクトルの論理波
長もしくは理論エネルギー値の位置を示す複数のマーカ
Mを同時にプロファイルA上に重ね合わせて表示する表
示指令を表示手段6に出力することで、複数の元素に対
応したマーカMの同時表示を可能にした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光X線分析や分
光分析等の分析操作によって得られるスペクトルを分析
する分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、蛍光X線分析装置では、一次X
線を照射することで試料から生じる蛍光X線のスペクト
ルのプロファイルに対して、スムージング(平滑化)処
理およびバックグラウンドの排除処理を施したうえで、
ピークの検出および同定解析処理を行ってプロファイル
内のピークと各元素のスペクトルとを対応付けするよう
になっている。このようにして同定解析を行う蛍光X線
分析装置には、従来から、検出ピークと各元素のスペク
トルの名前(Kα線,Kβ線,Lα線,Lβ線,Mα
β線)とを対応付けする操作(同定解析操作)をプロ
ファイルの表示を見ながら操作者自身が行うように構成
されたものと、このような同定解析操作を自動化したも
のとがある。
【0003】同定解析操作を操作者自身が行う蛍光X線
分析装置においては、同定解析操作を手助けして操作精
度を高めるために、測定対象元素の理論波長の位置(も
しくは理論エネルギー値の位置)を示すマーカ(いわゆ
るKLMマーカ)をプロファイル上に重ね合わせて表示
する機能を備えている。同様に、同定解析操作を自動化
した蛍光X線分析装置においても、誤った同定解析操作
がなされたことを操作者が判断して訂正できるように、
上記マーカの表示機能を備えている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにして同定解析を行う従来の蛍光X線分析装置には次
のような課題があった。すなわち、従来の蛍光X線分析
装置は、単一の元素分のマーカを表示する機能しか有し
ていない。しかしながら、多くの種類の元素を含有する
試料の分析を行う場合には、得られるプロファイル内の
各ピークに単一の元素が対応するとは限らず、各ピーク
に複数の元素が対応する場合も発生する。このような場
合において、単一の元素分のマーカを表示する機能しか
備えていない従来の蛍光X線分析装置で分析しても、プ
ロファイル内の各ピークを正確に元素に対応付けする
(元素を同定する)ことができなくなってしまう。
【0005】このような不都合は、小型で安価であるも
のの分解能は波長分散型の蛍光X線分析装置より劣るエ
ネルギー分散型の蛍光X線分析装置において、顕著に現
れている。
【0006】したがって、本発明においては、元素の同
定精度を高めることを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、次のような手
段を備えることで、上述した課題を解決している。すな
わち、本発明は、分析操作によって得られるスペクトル
のプロファイルを表示する表示手段と、分析対象全元素
について、その元素が発するスペクトルの理論波長もし
くは理論エネルギー値の位置データを記憶する記憶部
と、任意の元素を指定する指定手段と、前記指定手段が
指定した元素が発するスペクトルの理論波長もしくは理
論エネルギー値の位置データを前記記憶部から読み出し
てその位置データに基づいて指定元素の理論波長もしく
は理論エネルギー値の位置を示すマーカを作成したうえ
で、作成したマーカを前記プロファイル上に重ね合わせ
て表示する表示指令を前記表示手段に出力する表示制御
手段とを備えており、かつ、前記表示制御手段は、前記
指定手段による複数元素の指定に対応して、指定された
各指定元素が発するスペクトルの論理波長もしくは理論
エネルギー値の位置を示す複数のマーカを同時に前記プ
ロファイル上に重ね合わせて表示する表示指令を前記表
示手段に出力するものであり、以上のものから分析装置
を構成した。
【0008】なお、前記表示制御手段は、複数のマーカ
をそれぞれ色分けして表示するものであるのが好まし
い。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の一実施
の形態の蛍光X線分析装置の構成を示すブロック図であ
る。この蛍光X線分析装置1は、蛍光X線分析部2と、
CRTからなり蛍光X線分析部2の分析操作で得られる
スペクトルのプロファイルAを表示する表示手段3と、
表示手段3の表示動作を制御する表示制御手段4と、分
析対象全元素について、その元素が発するスペクトルの
理論波長ないしは理論エネルギー値の位置データを記憶
する記憶部5と、任意の元素を指定する指定手段6とを
備えている。
【0010】なお、この蛍光X線分析装置1が波長分散
型である場合には、上記記憶部5は、分析対象全元素そ
れぞれが発するスペクトルの理論波長を記憶している。
一方、この蛍光X線分析装置1がエネルギー分散型であ
る場合には、上記記憶部5は、分析対象全元素それぞれ
が発するスペクトルの理論エネルギー値を記憶してい
る。
【0011】指定手段6としては、例えば、図2
(a),(b)に示すように、測定対象元素(この例で
は元素周期律表に記載されたほぼ全ての元素)に対応し
て設けられた複数の入切スイッチ群7を、元素周期律表
と同様の配列に配置して構成されている。なお、入切ス
イッチ群7は元素周期律表を表示する表示部とスイッチ
とが一体となったタッチパネルから構成してもよいし、
元素数に対応した複数の機械スイッチから構成してもよ
い。入切スイッチ群7を機械スイッチから構成する場合
には、各スイッチに各種の色点灯を行う点灯手段を組み
込む必要がある。点灯手段を組み込む理由は後述する。
【0012】表示手段3の表示画面は、図3(a)〜図
3(c)に示すように、横軸に波長(波長分散型の場
合)もしくはエネルギーレベル(エネルギー分散型)を
取る一方、縦軸に強度(波長分散型)もしくは出力パル
スのカウント数(エネルギー分散型)を取ったプロファ
イル表示となる。
【0013】次に、この蛍光X線分析装置1による分析
操作を説明する。ここでは、同定解析操作を操作者自身
が行う場合を例にして説明する。まず、蛍光X線分析部
2において試料(図示省略)に対して蛍光X線分析操作
を行って試料のスペクトルを採取する。採取した試料ス
ペクトルの分析データSPは、表示制御手段4に入力さ
れる。表示制御手段4では、入力された分析データSP
に対してスムージング(平滑化)処理およびバックグラ
ウンドの排除処理を施したうえで、スペクトルのプロフ
ァイルAの表示指令G1を作成して表示手段3に出力す
る。表示手段3では、入力された表示指令G1を基にし
て図3(a)に示すようなプロファイルAを表示する。
【0014】次に、操作者が指定手段6を操作して同定
する元素を指定する。元素の指定は次のようにして行
う。ここでは、クロム(Cr)とマンガン(Mn)とを
順次指定する場合を例にして説明する。
【0015】まず、図2(a)に示すように、指定手段
6を構成する入切スイッチ群7の中から、同定を希望す
る元素(クロム)を選択してその元素に対応するスイッ
チ7aを押圧操作する。この操作は、入切スイッチ群7
が元素周期律表の形態を備えているので比較的容易に行
うことができる。
【0016】すると、選択した元素(この場合はクロ
ム)に対応した元素選択信号S1が指定手段6から表示
制御手段4に出力される。表示制御手段4では、折り返
し指定手段6に対して第1の色選定信号C1が出力され
る。指定手段6では、第1の色選定信号C1が入力され
ると、押圧操作したスイッチ7aを第1の色選定信号C
1に対応する色(例えば、赤色)で点灯させる。このよ
うな点灯操作は、入切スイッチ群7が表示部を兼用した
タッチパネルである場合には容易に行うことができる。
また、入切スイッチ群7を機械スイッチから構成する場
合には、入切スイッチ群7を構成する各スイッチに点灯
手段を組み込んでおけば点灯操作を実施することができ
る。機械スイッチから入切スイッチ群7を構成する場合
に点灯手段を設けるのはこのような理由によっている。
【0017】また、表示制御手段4は、入力された元素
選択信号S1に対応する元素(この場合はクロム)が発
するスペクトルの理論波長(もしくは理論エネルギー
値)の位置データD1を検索する検索指令信号E1を記
憶部5に出力する。検索指令信号E1を受けた記憶部5
は、その元素(クロム)の理論波長(もしくは理論エネ
ルギー値)の位置データD1を取り出して表示制御手段
4に出力する。表示制御手段4では、入力された位置デ
ータD1を基にして指定元素(クロム)の理論波長もし
くは理論エネルギー値の位置を示すマーカM1を作成し
たうえで、作成したマーカM1と、作成済みのプロファ
イルAとを重ね合わせ表示する表示指令G2を作成して
表示手段3に出力する。表示手段3では、入力される表
示指令G2に基づいて、プロファイルAとマーカM1と
を重ね合わせ表示する。
【0018】マーカM1は、図3(b)等に示すよう
に、対応する波長(エネルギー)位置に屹立する線分か
ら構成している。このような線分からなるマーカM1で
は、対応する元素の理論強度の相対値に対応してその線
分長を設定すれば、理論強度を把握しやすくなる。クロ
ムのマーカM1では、その理論スペクトルであるK
α線,Kβ線に相当するマーカM1(Kα),M1(K
β)が表示画面上に表示される。さらに、マーカM1
(Kα),M1(Kβ)は、第1の色選定信号C1で選
定された色(上記例では、赤色)と同色に表示される。
【0019】次に、図2(b)に示すように、指定手段
6を構成する入切スイッチ群7の中から、同様に同定を
希望する元素(マンガン)を選択してその元素に対応す
るスイッチ7bを押圧操作する。この操作も入切スイッ
チ群7が元素周期律表の形態を備えているので比較的容
易に行うことができる。
【0020】すると、選択した元素(この場合はマンガ
ン)に対応した元素選択信号S2が指定手段6から表示
制御手段4に出力される。表示制御手段4では、折り返
し指定手段6に対して第2の色選定信号C2が出力され
る。指定手段6では、第2の色選定信号C2が入力され
ると、押圧操作したスイッチ7bを第2の色選定信号C
2に対応する色(例えば、黄色)で点灯させる。
【0021】また、表示制御手段4は、入力された元素
選択信号S2に対応する元素(この場合はマンガン)が
発するスペクトルの理論波長(もしくは理論エネルギー
値)の位置データD2を検索する検索指令信号E2を記
憶部5に出力する。検索指令信号E2を受けた記憶部5
は、その元素(マンガン)の理論波長(もしくは理論エ
ネルギー値)の位置データD2を取り出して表示制御手
段4に出力する。表示制御手段4では、入力された位置
データD2を基にして指定元素(マンガン)の理論波長
もしくは理論エネルギー値の位置を示すマーカM2を作
成したうえで、作成したマーカM2と、作成済みのプロ
ファイルAおよびマーカM1とを重ね合わせ表示する表
示指令G3を作成して表示手段3に出力する。表示手段
3では、入力される表示指令G3に基づいて、プロファ
イルAとマーカM1,M2とを重ね合わせて表示する。
【0022】マーカM2は、図3(c)に示すように、
マーカM1と同様に対応する波長(エネルギー)位置に
屹立する線分から構成されており、さらには、その線分
長は対応する元素の理論強度の相対値に対応して設定さ
れている。マンガンのマーカM2では、その理論スペク
トルであるKα線,Kβ線に相当するマーカM2
(Kα),M2(Kβ)が表示画面上に表示される。さ
らに、マーカM2(Kα),M2(Kβ)は、第2の色
選定信号C2で選定された色(上記例では、黄色)と同
色に表示される。
【0023】マーカM1,M2を消去したい場合には、
スイッチ7aないしスイッチ7bを再度押圧操作する。
すると、消去選択した元素に対応したマーカ消去信号S
3が指定手段6から表示制御手段4に出力される。表示
制御手段4では、折り返し指定手段6に対して点灯停止
信号C3が出力される。指定手段6では、点灯停止信号
C3が入力されると、押圧操作したスイッチ7aないし
スイッチ7bの点灯を停止する。
【0024】また、表示制御手段4は、入力されたマー
カ消去信号S3に基づいて、対応する元素のマーカM1
ないしマーカM2を画像から消去する表示指令G4を作
成して表示手段3に出力する。表示手段3では、入力さ
れる表示指令G4に基づいて、マーカM1ないしマーカ
(M2)を取り除いた画像をを表示する。
【0025】このようにしてプロファイルAにマーカM
1,M2を重ね合わせ表示すると、複数の元素(この場
合では、クロムとマンガン)を明確に区別して同定解析
操作することが可能になる。さらには、本実施の形態で
は、マーカM1,M2を色分けして表示しているので、
マーカM1,M2の識別も容易になって、さらに上記同
定解析操作が容易になる。
【0026】なお、上記実施の形態では、同定解析する
元素が2種類(クロム、マンガン)である場合を例にし
て本発明を説明したが、さらに複数種類の元素を同定解
析する場合も同様に本発明を実施できる。この場合、マ
ーカMどうしを色で識別する場合には、表示手段3で表
示可能な色の種類により、表示するマーカMの数も制限
されるが、色識別に、マーカMの線種を違えたり、マー
カMに図形を添設するといった他の識別構成を組み合わ
せれば、多種類の元素に対応したマーカMを互いに区別
した状態で表示することができる。
【0027】また、上記実施の形態では、元素周期律表
の形態をした入切スイッチ群7から指定手段6を構成し
たが、次のものから指定手段6を構成してもよい。すな
わち、同定元素リストの表示部と、同定元素リストに同
定元素名を記入するキーボード等の入力手段とにより指
定手段を構成してもよい。
【0028】さらには、上記実施の形態では、同定解析
操作を操作者自身が行う場合を例にして本発明を説明し
たが、同定解析操作を自動化した蛍光X線分析装置にお
いても本発明を実施できるのはいうまでもない。
【0029】さらにまた、上記した実施の形態では、本
発明を蛍光X線分析装置に実施していたが、本発明はこ
のようなものに限定されるものではなく、X線回折分析
装置、発光分光分析装置といった他の分析装置にも実施
することができる。要は、分析操作により試料のスペク
トルのプロファイルを作成したうえで、同定解析操作を
行う分析装置であれば、どのような分析装置であっても
本発明を実施することができる。
【0030】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、複数のの
元素のマーカを同時に表示するので、多数の元素を含有
する試料であっても、プロファイル内の各ピークを正確
に元素に対応付けする(元素を同定する)ことができ
た。これにより、例えば、小型で安価であるものの分解
能は波長分散型の蛍光X線分析装置より劣るエネルギー
分散型の蛍光X線分析装置、といった従来では高い同定
精度が得られにくい分析装置であっても、精度の高い同
定を行うことができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る蛍光X線分析装置
の構成を示すブロック図である。
【図2】実施の形態の指定手段の構成を示す平面図であ
る。
【図3】実施の形態の表示手段の表示形態を示す図であ
る。
【符号の説明】
2 蛍光X線分析部 3 表示手段 4 表示制御手段 5 記憶部 6 指定手段 A プロファイル M マーカ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 分析操作によって得られるスペクトルの
    プロファイルを表示する表示手段と、 分析対象全元素について、その元素が発するスペクトル
    の理論波長もしくは理論エネルギー値の位置データを記
    憶する記憶部と、 任意の元素を指定する指定手段と、 前記指定手段が指定した元素が発するスペクトルの理論
    波長もしくは理論エネルギー値の位置データを前記記憶
    部から読み出してその位置データに基づいて指定元素の
    理論波長もしくは理論エネルギー値の位置を示すマーカ
    を作成したうえで、作成したマーカを前記プロファイル
    上に重ね合わせて表示する表示指令を前記表示手段に出
    力する表示制御手段とを備えており、 かつ、前記表示制御手段は、前記指定手段による複数元
    素の指定に対応して、指定された各指定元素が発するス
    ペクトルの論理波長もしくは理論エネルギー値の位置を
    示す複数のマーカを同時に前記プロファイル上に重ね合
    わせて表示する表示指令を前記表示手段に出力するもの
    であることを特徴とする分析装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の分析装置であって、 前記表示制御手段は、複数のマーカをそれぞれ色分けし
    て表示するものであることを特徴とする分析装置。
JP13215997A 1997-05-22 1997-05-22 分析装置 Pending JPH10318836A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005114658A (ja) * 2003-10-10 2005-04-28 Rigaku Industrial Co 蛍光x線分析装置
JP2006010603A (ja) * 2004-06-29 2006-01-12 Sony Corp 元素含有判定方法、プログラム、装置およびシステム
WO2017006383A1 (ja) * 2015-07-03 2017-01-12 株式会社島津製作所 蛍光x線分析装置及びそれに用いられるスペクトル表示方法

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