JPH10317137A - マグネット取付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スパッタの条件が異なっても、同一のマグネ
ット取付装置を用いて、スパッタレート，スパッタ膜
質，ターゲットの使用効率を良好にするような調整が容
易に行うことのできるマグネット取付装置を提供するこ
と 【解決手段】 ターゲット１の裏面にバッキングプレー
ト２が接合され、係るバッキングプレートの表面に、細
長い形状の溝のマグネット挿入部１５が形成されてい
る。係るマグネット挿入部の所定位置に、収納筒部１７
と固定部材１８から構成されるマグネット固定治具１４
が配置される。収納筒部は、筒状本体１７ｂ内の内部空
間１７ｃ内にマグネット１８が挿入された状態で、固定
部材がネジにより取り付けられて固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マグネット取付装
置に関するもので、具体的にはマグネトロンスパッタを
行うときに用いられるターゲットの裏面にマグネットを
配置するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】マグネトロンスパッタを行う場合には、
ターゲットの裏面にマグネットを配置してターゲットの
表面に磁場を発生させ、係る磁場内に、例えば励起させ
たＡｒイオンのプラズマを収束させる。そして、係る収
束されたプラズマにより、ターゲットから原子を飛び出
させ、所望の基板表面にスパッタを行う。

【０００３】ターゲットの裏面にマグネットを配置する
ために、マグネット取付装置を用いている。図５は、従
来用いられているターゲットの裏面にマグネットを配置
するための装置を示している。同図（Ａ）に示すよう
に、ターゲット１の裏面に、ターゲット１の形状に合わ
せて形成されたバッキングプレート２の裏面が取付けら
れている。

【０００４】また、バッキングプレート２の表面に、バ
ッキングプレート２の長手方向の中心線上に等間隔に３
つの穴部２ａが形成されている。係る穴部２ａ内に、マ
グネット固定治具３が取付けられ、係るマグネット固定
治具３により、穴部２ａ内にマグネット（複数のマグネ
ット要素６ａ〜６ｃの集合体）６を配置させて、ターゲ
ット１の表面に磁場を発生させている。

【０００５】同図（Ｂ）は、マグネット固定治具３の構
成を示している。同図に示すように、マグネット固定治
具３は、マグネット６を収納する有底円筒状の収納筒部
５と、その収納筒部５の開口部を閉塞し、内部にマグネ
ット６を固定する円柱状の固定部材４とから構成されて
いる。そしてそれら収納筒部５並びに固定部材４は非磁
性材料の銅により形成されている。

【０００６】固定部材４は、その先端側の周面に雄ネジ
部４ａが形成されている。また、収納筒部５は、筒状本
体５ｂの軸方向中央部の外周囲に突出するフランジ部５
ａを備え、底面側の内部空間５ｃがマグネット６を収納
する領域となっている。そして、筒状本体５ｂの底面側
が、バッキングプレート２に設けた穴部２ａ内に挿入さ
れる。また、その筒状本体５ｂの内径と固定部材４の外
径とがほぼ一致しており、内部空間５ｃの内壁の開口側
近傍には、前記固定部材４の雄ネジ部４ａと符合する雌
ネジ部５ｄが設けられている。これにより、収納筒部５
の内部空間５ｃ内に３個のマグネット要素６ａ，６ｂ，
６ｃ（マグネット６）を挿入した状態で固定部材４を収
納筒部５に固定すると、マグネット６が固定部材４によ
り収納筒部５の底面側に付勢され、両者間で挟持されて
位置決め固定される。

【０００７】さらに、フランジ部５ａには１２０度間隔
で３つの貫通孔５ｅが形成されている。また、バッキン
グプレート２の穴部２ａの周縁には、筒状本体５ｂを穴
部２ａ内に挿入した状態における前記貫通孔５ｅに対向
する位置に、それぞれネジ穴２ｂが設けられている。よ
って、貫通孔５ｅとネジ穴２ｂを位置合わせした状態で
貫通孔５ｅ内に止めネジ７を挿入するとともに、ネジ穴
２ｂと止めネジ７とを締結することにより収納筒部５を
バッキングプレート２に固定する。

【０００８】これにより、マグネット固定治具３内に収
納されたマグネット６から発生する磁力により、バッキ
ングプレート２に装着されたターゲット１の表面側に所
定の磁界を形成することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のマグネット取付装置では、以下に示す問題を有
する。すなわち、各マグネット取付治具５に装着された
マグネット６により形成される磁界内にプラズマが収束
される。そして、従来のものでは、マグネット６の取付
位置や、マグネット要素の個数は一定であったため、タ
ーゲット１を装着しない状態でマグネット６自体に起因
して形成される磁界も一定となる。そして、その磁界の
領域や強さは、その磁界内に収束するプラズマの密度等
に影響を与え、ひいてはスパッタレートやスパッタ膜厚
等の成膜状態に影響を与える一因となる。つまり、例え
ば、現在のプラズマの収束される領域が拡散している場
合には、プラズマ密度が低くなり、ターゲット１の表面
が削られる量（スパッタに用いられる量）が少なくなっ
てしまうので、スパッタレートやスパッタ膜質は劣化し
てしまう。

【００１０】また、プラズマの収束される領域は、磁界
の強さと収束・供給されるプラズマのエネルギーの均衡
が取れた範囲となるので、スパッタ条件（パワー，ガス
圧，ガス流量）を変更した場合にもプラズマの収束され
る領域が変更される。

【００１１】その結果、例えばターゲットの材料や形状
やスパッタ条件が変更された場合には、それにあったプ
ラズマ密度等になるようにしなければならないが、マグ
ネット６により形成される磁界は一定であるため、磁界
の発生領域や強さを変えることはできず、所望の領域に
プラズマを収束させることが困難となる。また、仮に係
る事態に対応するためには、ターゲットの種類等に応じ
て最適な磁界領域を形成するようにマグネットを配置し
たマグネット取付装置を複数種類用意し、所定のものを
選択し交換・取り付けしなければならず、煩雑で実用性
に欠ける。また、使用しないマグネット固定装置３を保
管するスペースも必要となる。

【００１２】一方、ターゲット１の表面のマグネットが
配置された位置に、プラズマ状態の原子が集中してぶつ
かるので、マグネットとマグネットの間の位置（マグネ
ットが配置されていない位置）は削られないか削られた
としてもその切削量は少ない。よって、ターゲット１の
表面は均一に削られない。そして、ターゲット１に対す
るマグネット６の設置数は固定されているので、ターゲ
ット１におけるスパッタに用いられる領域は部分的に制
限される。そのため、ターゲット１の材質をスパッタに
使用できない領域が存在し、また、そのようにターゲッ
ト１の一部が残っているにもかかわらずマグネット近傍
の表面が除去されてなくなるとターゲットの交換をしな
ければならず、利用性に欠ける。

【００１３】本発明は、上記した背景に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、上記した問題点を解
決し、ターゲットの材質，形状が変わりまたスパッタ条
件が変わったとしても、同一のマグネット取付装置を用
いて発生する磁界の領域や強さを変更・調整することが
でき、スパッタレート，スパッタ膜質を良好にするよう
な調整が容易に行うことができ、また、ターゲットの使
用効率が良好となるように容易に調整することのできる
マグネット取付装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明に係るマグネット取付装置では、マグネト
ロンスパッタを行うスパッタ装置に設けられ、そのスパ
ッタ装置内の所定領域に磁界を発生させるためのマグネ
ットを取り付けるマグネット取付装置であって、ターゲ
ットを装着するためのバッキングプレートの表面に、細
長い形状の切り口を有するマグネット挿入部を設ける。
そして、前記マグネット挿入部の長手方向の所定位置に
マグネット固定治具を位置決め固定可能とし、かつ、前
記マグネット固定治具によって、前記マグネットが前記
マグネット挿入部内の所定位置に着脱自在に配置される
ようにした。

【００１５】ここで、細長い形状とは、直線形状であっ
ても、曲線形状であってもよい。また、表面が開口され
ていれば、その奥面は有底の凹部であっても底部のない
透孔であってもよい。また、マグネットは単数または複
数のマグネット要素から構成された部品である。なおま
た、マグネット固定治具のバッキングプレートへの取付
機構は、実施の形態では止めネジ１７を用いて固定して
いるが本発明はこれに限ることはなく、フック機構その
他各種の固定手段を用いることができる。このことは、
請求項２に規定する収納筒部と固定部材の固定構造にも
同様のことが言える。

【００１６】また、前記マグネット固定治具は、前記マ
グネットを収納する少なくとも一方が開放した筒状の収
納筒部と、その収納筒部の開放側より内部に少なくとも
先端側の一部が挿入される棒状の固定部材から構成さ
れ、前記収納筒部内にマグネットを供給した状態で前記
固定部材の先端側を前記収納筒部内に挿入するとともに
固定して前記マグネットを前記収納筒部内に収納固定可
能に構成し、さらに、前記固定部材を前記収納筒体に固
定した際における前記固定部材の前記収納筒部内への挿
入量を変更可能としてもよい（請求項２）。

【００１７】請求項１に記載するように、バッキングプ
レート表面にマグネットを収納するためのマグネット挿
入部は、細長い形状の凹部または孔部から形成されてい
るので、係るマグネット挿入部の長手方向の任意の位置
にマグネットを挿入配置できる。よって、マグネットの
位置はマグネット挿入部上で容易に調整可能であり、複
数のマグネットの配置間隔を変えたり、設置数を変更す
ることができる。

【００１８】その結果、例えばスパッタの条件（パワ
ー，ガス圧，ガス流量）が異なって、プラズマの収束さ
れる領域が異なってしまう場合でも、マグネットの配置
位置を調整したり、配置個数を変更することにより、プ
ラズマの収束される領域を変化させて最良の状態に調整
し、スパッタレート，スパッタ膜質を最良の状態に制御
することができる。

【００１９】また、マグネット挿入部上に配置するマグ
ネットの個数を変更すると、収束されたプラズマの領域
の数を容易に任意の数に分割調整することができ、スパ
ッタに用いられるターゲットの面積を調整する。

【００２０】また、請求項２に記載するように、マグネ
ット固定治具を構成する固定部材の収納筒部内への挿入
量を変更することにより、収納筒部の内部空間の容積
（軸方向の長さ）を変更することができ、係る内部空間
内に収納するマグネットの大きさを変更することができ
る。これにより、マグネットから発生する磁力を変更で
き、プラズマの収束領域が調整されて、スパッタレー
ト，スパッタ膜質を最良の状態に制御することができ
る。なお、このように収納するマグネットの大きさを変
更する方法としては、例えば大きさの異なるマグネット
を複数用意し、それらを適宜交換するようにしてもよ
く、或いは、実施の形態で説明したように、複数の小さ
なマグネット要素を用意しておき、収納筒部内に収納す
るマグネット要素の数を変更するようにしてもよい。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係るマグネット取
付装置を用いて、マグネトロンスパッタを行うためのス
パッタ装置を示している。同図に示すように、八角柱の
基板ホルダー１０の各側面（図示された基板ホルダー１
０の各辺）に基板１１が接着されている。基板ホルダー
１０はチャンバー１２の内部に配置されており、基板ホ
ルダー１０の中心軸がチャンバー１２の中心と重なるよ
うに配置されている。チャンバー１２の側面には凹所１
２ａが設けられており、係る凹所１２ａ内に、本発明に
係るマグネット取付装置１３に取付けられたターゲット
１が配置されている。

【００２２】同図（Ｂ）は、Ｂ部（同図（Ａ）の点線で
示す部分）の側面図を示している。同図に示すように、
基板ホルダー１０の一側面には２枚の基板１１が配置さ
れ、接着されている。この基板１１の表面と平行になる
ようにターゲット１が配置される。

【００２３】すなわち、ターゲット１は、マグネット取
付装置１３の構成部品であるバッキングプレート２の裏
面に接着されている。そして、バッキングプレート２の
表面に取り付けたマグネット固定治具１４を介して、マ
グネットが固定されて配置されている。係るマグネット
により、ターゲット１の表面に磁界を発生させ、プラズ
マを収束させて、基板１１の表面にスパッタを行ってい
る。

【００２４】図２はターゲット１に取付けられた本発明
に係るマグネット取付装置１３の一実施の形態を示して
いる。同図（Ａ）に示すように、装着するターゲット１
と同一の平面形状からなるバッキングプレート２の表面
の長手方向の中心線上に、切り口が細長い帯形状の溝か
らなるマグネット挿入部１５が形成されている。そのマ
グネット挿入部１５は、本形態では有底の凹溝としてい
るが、底面が開口された透孔となっていても良い。

【００２５】バッキングプレート２の表面のマグネット
挿入部１５の両側縁近傍には、多数のネジ穴１６が形成
されている。各ネジ穴１６はマグネット挿入部１５の長
辺との距離が同じ間隔となるように形成されている。ま
た、隣り合ったネジ穴１６同士は同じ間隔をあけて形成
されている。これにより、マグネット挿入部１５の両側
縁に設けたネジ穴１６はそれぞれ等間隔で同一直線上に
配置されることになる。

【００２６】係るマグネット挿入部１５にガイドされて
マグネット固定治具１４が配置される。まず、マグネッ
ト固定治具１４の構造について説明すると、同図（Ｂ）
に示すようになっている。同図（Ｂ）と図５（Ｂ）を比
較すると明らかなように、基本的な構成は、従来のもの
と同様であるが、本発明品の方が全体的に長く形成して
いる。

【００２７】具体的には、マグネット固定治具１４は収
納筒部１７と固定部材１８から構成されている。収納筒
部１７は有底の筒状本体１７ｂの外周面に矩形状のフラ
ンジ部１７が設けられる。この筒状本体１７ｂの長さを
従来の筒状本体５ｂの長さよりも十分に長くしている。
そして、筒状本体１７ｂの内部空間１７ｃがマグネット
２０の収納空間となる。この内部空間１７ｃは、挿入さ
れるマグネット２０の外径よりもやや大きめの内径とな
るように設けられており、係る内部空間１７ｃの開口側
内壁に雌ネジ部１７ｄが形成されている。この雌ネジ部
１７ｄの形成領域も従来よりも長くしている。

【００２８】また、フランジ部１７ａには、筒状本体１
７ｂの片側に２個ずつ貫通孔１７ｅを設けている。この
貫通孔１７ｅの設置位置は、筒状本体１７ｂからの離反
距離と、バッキングプレート２のマグネット挿入部１５
の中心からネジ穴１６までの離反距離とが一致し、さら
に、同一側に設けた貫通孔１７ｅの間隔は、ネジ穴１６
の配置間隔と一致するようにしている。これにより、筒
状本体１７ｂの底面側をマグネット挿入部１５内の所定
位置に挿入すると、４つの貫通孔１７ｅは、所定のネジ
穴１６に対向するようになる。

【００２９】従って、係る所定位置に挿入した状態で止
めネジ１７を貫通孔１７ｅ，ネジ穴１６内に挿入すると
ともに締結することにより、収納筒部１７がバッキング
プレート２の表面に固定される。よって、ネジ穴１６の
配置間隔（ピッチ）単位で収納筒部１７（マグネット固
定治具１５）をマグネット挿入部１５（バッキングプレ
ート２）内の所定位置に位置決め固定できる。

【００３０】一方、固定部材１８は、収納筒部１７の内
径とほぼ一致する外径を有する円柱（細棒）状からな
り、その先端側の周面に雄ネジ部１８ａを形成し、その
雄ネジ部１８ａと、収納筒部１７の雌ネジ部１７ｄとを
符合させることにより、固定部材１８を収納筒部１７に
固定する。そして、ネジの締め付け量に応じて収納筒部
１７に対する固定部材１８の先端位置を変更でき、それ
により内部空間１７ｃの閉塞された領域の容積（軸方向
の長さ）を変更できる。これにより、内部空間１７ｃ内
に収納可能なマグネット２０を構成するマグネット要素
２０ａ，２０ｂ，…の個数を変更できる。

【００３１】次に、上記した実施の形態の使用態様につ
いて説明する。本形態では、マグネット２０のバッキン
グプレート２に対する取付位置や設置数を変更できる。
さらにマグネット２０から発生する磁力も調整できるよ
うになっている。

【００３２】＊取付位置の変更 ネジ穴１６は多数形成されているので、マグネット２０
の位置を変更するには、貫通孔１７ｅ，ネジ穴１６に挿
入されている止めネジ１９を取り除き、貫通孔１７ｅの
位置を別のネジ穴１６に合わせ、貫通孔１７ｅ，ネジ穴
１６に止めネジ１９を挿入し、収納筒部１７をバッキン
グプレート２に固定すればよい。すると、収納筒部１７
に形成されている内部空間１７ｃは、マグネット挿入部
１５上の別の位置に移動するので、ターゲット１の裏面
の任意の位置にマグネット２０を移動させることができ
る。

【００３３】このとき、バッキングプレート２上に、多
数のネジ穴１６が設けられているので、貫通孔１７ｅの
位置合わせを微調整することができる。すなわち、マグ
ネット２０の位置を容易に調整できるので、プラズマが
収束する領域を容易に変化させ、スパッタレートやスパ
ッタ膜質を容易に調整することができる。

【００３４】マグネット２０の位置を移動させることに
より、スパッタレートやスパッタ膜質を調整する一例に
ついて説明する。図３（Ａ）に示すように、ターゲット
１の裏面に、本発明に係るマグネット取付装置１３によ
って２つのマグネットが配置されている。すなわち、タ
ーゲット１の裏面側にバッキングプレート２が取付けら
れ、係るバッキングプレート２に設けられたマグネット
挿入部１５上で、２つのマグネット固定治具１４によ
り、マグネットが配置されている。すると、図中の実線
で示した領域内でプラズマの収束が生じる。

【００３５】ここで例えば、スパッタ条件の一つである
パワーを上げると、プラズマの収束領域は、図中の１点
鎖線で示す領域内に拡散してしまう。よって、せっかく
パワーを上げてもプラズマ密度が低くなってしまうの
で、スパッタに用いられる（プラズマにより削られる）
ターゲット１の材料の量は減少し、所望のスパッタレー
ト，スパッタ膜質が形成できなくなる。

【００３６】そこで、同図（Ｂ）に示すように、２つの
マグネット固定治具１４（マグネット）が互いに近付く
ような位置に調整し、両マグネット間の距離を近付ける
と、プラズマの収束領域は狭められる。よって、プラズ
マ密度を高くして、スパッタに用いるターゲット１の材
料の量を増加させ、スパッタレート，スパッタ膜質を良
好にすることができる。

【００３７】＊装着するマグネット個数の変更 本形態のマグネット取付装置では、多数のネジ穴１６が
設けられており、上記したように適宜の位置にマグネッ
ト取付治具１４を装着できる。従って、マグネット取付
治具１４を、複数用意しておくことにより、ターゲット
１の裏側に配置するマグネットの数を容易に調整するこ
とができる。

【００３８】このように、マグネット２０の設置個数を
調整することにより、ターゲットの使用効率を調整する
ことができる。すなわち、図４（Ａ）に示すように、タ
ーゲット１の裏面にバッキングプレート２が取付けら
れ、係るバッキングプレート２に設けられたマグネット
挿入部１５上で、２つのマグネット固定治具１４によ
り、２つのマグネットが配置されている。すると、スパ
ッタを行う時に、マグネット固定治具１４（マグネッ
ト）が配置された位置で、ターゲット１の表面が削られ
る。すなわち、配置されたマグネットが２個である場
合、ターゲット１の削られる箇所は２箇所となる。する
と、ターゲット１の表面でスパッタに使用される面積
は、スパッタに使用されない面積よりもかなり小さくな
る。

【００３９】そこで、同図（Ｂ）に示すように、マグネ
ット固定治具１４の数を３個に増加して、ターゲット１
の裏面側に配置するマグネットの数を３個に増加するこ
とにより、ターゲット１の削られる箇所の数は３箇所に
増加する。よって、スパッタに使用されるターゲット１
の面積を増加し、スパッタに用いるターゲットの使用効
率を向上することができる。

【００４０】＊マグネットの磁力の変更 本形態では、収納筒部１７を構成する筒状本体１７ｂの
長さを長くしているとともに、雄ネジ部１８ａ，雌ネジ
部１７ｄも長くしているので、収納筒部１７に対する固
定部材１８の軸方向の相対位置を変更でき、それに伴い
内部空間１７ｃの容積を変更できる。

【００４１】よって、内部空間１７ｃに収納可能なマグ
ネット要素の数を増加することが可能となる。つまり、
固定部材１８を取り外した状態で任意数のマグネット要
素を収納筒部１７内に供給し、その状態で固定部材１８
を収納筒部１７に締結固定する。そして、両ネジ部１７
ｄ，１８ａの締結量を調整することにより、固定部材１
８の先端をマグネット２０に接触させ、収納筒部１７と
の間で挟持固定できる。すなわち、収納したマグネット
要素の数が変更しても固定部材１８と収納筒部１７との
相対位置関係（固定部材１８の進入量）を調整すること
により、内部に供給したマグネット要素を固定できる。

【００４２】そのため、マグネット２０に用いるマグネ
ット要素の数の選択の幅が広がるので、マグネット２０
を構成するマグネット要素の数を調整して、プラズマ収
束領域を調整し、スパッタレート，スパッタ膜質を調整
することができる。

【００４３】なお、上記した各調整・変更に伴う代表的
な効果をそれぞれ説明したが、係る調整等に伴い発生す
る効果は上記のものに限られない。つまり、マグネット
２０の設置位置をずらすと、それに伴いターゲット１の
切除される領域を変更することができる。また、マグネ
ット２０の設置数や、各マグネット２０を構成するマグ
ネット要素の数を変更すると、磁界（磁場）の磁力を変
更できる。

【００４４】なおまた、本形態では、マグネット挿入部
の形状を直線形状に形成しているが、マグネット挿入部
の形状は曲線形状であってもよく、また、複数の溝を組
み合わせても良い。すなわち、マグネットの挿入できる
範囲が自由に調整可能であれば良いからである。

【００４５】

【発明の効果】以上のように、本発明に係るマグネット
取付装置では、マグネット挿入部の形状を細長い形状に
形成することにより、マグネット固定治具の配置位置を
容易に調整することができ、ターゲットの裏面に配置さ
れるマグネットの位置や設置数を容易に調整することが
できる。

【００４６】よって、異なるスパッタ条件でスパッタを
行う場合や、異なる材質のターゲットを用いてスパッタ
を行う場合であっても、同一のマグネット取付装置を用
いて、マグネットの配置位置や数を調整して、容易にス
パッタレート，スパッタ膜質，ターゲット使用効率を調
整することができる。

【００４７】また、マグネットを固定するためのマグネ
ット固定治具の内部空間の長さを長くすることにより、
調整できるマグネットを構成するマグネット要素の数の
幅を広げることができる。よって、マグネットを構成す
るマグネット要素の数を調整して、スパッタレート，ス
パッタ膜質，ターゲットの使用効率を向上することがで
きる。

【００４８】そして、スパッタ膜質を向上することによ
り、スパッタによって製造される製品の歩留まりを向上
することができる。また、スパッタレートやターゲット
の使用効率を向上することにより、スパッタ工程での時
間の短縮や、コスト削減を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は本発明に係るマグネット取付装置を用
いて、基板にスパッタを行うための装置の一例を示す図
である。（Ｂ）はそのＢ部の側面図である。

【図２】（Ａ）は本発明に係るマグネット取付装置の一
例を示す図である。（Ｂ）はそのマグネット固定治具の
構成を説明するための図である。

【図３】（Ａ）は、スパッタ条件が異なる場合のプラズ
マの発生領域を示した図である。（Ｂ）は、マグネット
の配置位置を調整した後のプラズマの発生領域を示す図
である。

【図４】（Ａ）は、マグネットの数を２つにした場合の
ターゲットの削られる箇所の数を示した図である。
（Ｂ）は、マグネットの数を増加した場合のターゲット
の削られる箇所の数を示した図である。

【図５】従来のマグネット取付装置を示す図である。

【符号の説明】

２ バッキングプレート １４ マグネット固定治具 １５ マグネット挿入部 １７ 筒状収納部 １８ 固定部材 ２０ マグネット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マグネトロンスパッタを行うスパッタ装
   置に設けられ、そのスパッタ装置内の所定領域に磁界を
   発生させるためのマグネットを取り付けるマグネット取
   付装置であって、 ターゲット（１）を装着するためのバッキングプレート
   （２）の表面に、細長い形状の切り口を有するマグネッ
   ト挿入部（１５）を設け、 前記マグネット挿入部の長手方向の所定位置にマグネッ
   ト固定治具（１４）を位置決め固定可能とし、 かつ、前記マグネット固定治具によって、前記マグネッ
   ト（２０）が前記マグネット挿入部内の所定位置に着脱
   自在に配置されることを特徴とするマグネット取付装
   置。
2. 【請求項２】 前記マグネット固定治具は、前記マグネ
   ットを収納する少なくとも一方が開放した筒状の収納筒
   部（１７）と、その収納筒部の開放側より内部に少なく
   とも先端側の一部が挿入される棒状の固定部材（１８）
   から構成され、 前記収納筒部内にマグネットを供給した状態で前記固定
   部材の先端側を前記収納筒部内に挿入するとともに固定
   して前記マグネットを前記収納筒部内に収納固定可能に
   構成し、 さらに、前記固定部材を前記収納筒部内に固定した際に
   おける前記固定部材の前記収納筒部内への挿入量を変更
   可能としたことを特徴とするマグネット取付装置。