JPH10300573A - 光量測定装置 - Google Patents
光量測定装置Info
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- JPH10300573A JPH10300573A JP12644897A JP12644897A JPH10300573A JP H10300573 A JPH10300573 A JP H10300573A JP 12644897 A JP12644897 A JP 12644897A JP 12644897 A JP12644897 A JP 12644897A JP H10300573 A JPH10300573 A JP H10300573A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ発生器からのレーザビームや発光ダイ
オード等の発光体からの光ビームの光量を測定する光量
測定装置であって、動的な状態にある光の光量を測定し
得るように構成された光量測定装置を提供する。 【解決手段】 光量測定装置は所定経路に沿って走査す
るかあるいは点滅する動的な光の光量を測定するための
ものであって、動的な光を検出する光検出手段と、光検
出手段の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出
力手段と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの
出力値を一時的に保持する出力値保持手段と、光検出信
号出力手段からの光検出信号の出力に応じて出力値保持
手段からその保持値を光検出データとして取り込む光検
出データ取込み手段と、光検出データ取込み手段によっ
て取り込まれた光検出データを光量データに換算する換
算手段とを具備して成るものである。
オード等の発光体からの光ビームの光量を測定する光量
測定装置であって、動的な状態にある光の光量を測定し
得るように構成された光量測定装置を提供する。 【解決手段】 光量測定装置は所定経路に沿って走査す
るかあるいは点滅する動的な光の光量を測定するための
ものであって、動的な光を検出する光検出手段と、光検
出手段の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出
力手段と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの
出力値を一時的に保持する出力値保持手段と、光検出信
号出力手段からの光検出信号の出力に応じて出力値保持
手段からその保持値を光検出データとして取り込む光検
出データ取込み手段と、光検出データ取込み手段によっ
て取り込まれた光検出データを光量データに換算する換
算手段とを具備して成るものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ発生器からの
レーザビームや発光ダイオード等の発光体からの光ビー
ムの光量を測定するための光量測定装置に関する。
レーザビームや発光ダイオード等の発光体からの光ビー
ムの光量を測定するための光量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、レーザ発生器や発光ダイオード等
の発光体による光ビームを利用した種々のタイプの光学
装置が開発されており、このような光学装置では、光ビ
ームの光量調節のために光ビームの光量を測定すること
が必要となる。例えば、かかる光学装置の一例として
は、例えばレーザ描画装置が挙げられ、このようなレー
ザ描画装置では、そこで描画手段として用いるレーザビ
ームの光量を測定することが屡々必要となる。
の発光体による光ビームを利用した種々のタイプの光学
装置が開発されており、このような光学装置では、光ビ
ームの光量調節のために光ビームの光量を測定すること
が必要となる。例えば、かかる光学装置の一例として
は、例えばレーザ描画装置が挙げられ、このようなレー
ザ描画装置では、そこで描画手段として用いるレーザビ
ームの光量を測定することが屡々必要となる。
【０００３】詳述すると、上述したレーザ描画装置はフ
ォトリソグラフの手法を用いてプリント回路基板を製造
する際の回路パターンの描画記録に用いられ、被描画体
例えばフォトマスク用感光フィルムあるいは基板上のフ
ォトレジスト層上をレーザビームでもって走査しつつ描
画ラスタデータに基づいて該レーザビームを変調するこ
とにより、該被描画体上に所望の回路パターンが記録さ
れることになる。このようなレーザ描画装置では、プロ
セス条件例えば描画後の現像液や感光材料の特性等の変
更に伴ってレーザビームの光強度を調節しなければなら
ず、このような場合にレーザビームの光量測定が必要と
なる。
ォトリソグラフの手法を用いてプリント回路基板を製造
する際の回路パターンの描画記録に用いられ、被描画体
例えばフォトマスク用感光フィルムあるいは基板上のフ
ォトレジスト層上をレーザビームでもって走査しつつ描
画ラスタデータに基づいて該レーザビームを変調するこ
とにより、該被描画体上に所望の回路パターンが記録さ
れることになる。このようなレーザ描画装置では、プロ
セス条件例えば描画後の現像液や感光材料の特性等の変
更に伴ってレーザビームの光強度を調節しなければなら
ず、このような場合にレーザビームの光量測定が必要と
なる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の光量
測定装置は光量測定用光センサに対して光が静止した状
態にあるときにその光の光量を測定するようになってい
るものである。従って、従来の光量測定装置にあって
は、上述したようなレーザ描画装置が作動状態下に置か
れているとき、そのレーザビームの光量を測定するため
には、レーザビームの走査動作を一旦停止させなければ
ならないという面倒な作業が必要とされる。
測定装置は光量測定用光センサに対して光が静止した状
態にあるときにその光の光量を測定するようになってい
るものである。従って、従来の光量測定装置にあって
は、上述したようなレーザ描画装置が作動状態下に置か
れているとき、そのレーザビームの光量を測定するため
には、レーザビームの走査動作を一旦停止させなければ
ならないという面倒な作業が必要とされる。
【０００５】要するに、従来の光量測定装置は静的な光
の光量を測定することができても、光が動的な状態、例
えば光が上述のレーザ描画装置のように所定の経路に沿
って走査されたり、あるいは光が点滅されたりする状態
にある場合にはその動的な光の光量を測定することはで
きないものである。
の光量を測定することができても、光が動的な状態、例
えば光が上述のレーザ描画装置のように所定の経路に沿
って走査されたり、あるいは光が点滅されたりする状態
にある場合にはその動的な光の光量を測定することはで
きないものである。
【０００６】従って、本発明の第１の目的は動的な状態
にある光の光量を測定し得るように構成された光量測定
装置を提供することである。
にある光の光量を測定し得るように構成された光量測定
装置を提供することである。
【０００７】本発明の第２の目的は光が動的な状態にあ
っても静的な状態にあってもその光量を測定し得るよう
に構成された光量測定装置を提供することである。
っても静的な状態にあってもその光量を測定し得るよう
に構成された光量測定装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の局面によ
る光量測定装置は動的な光の光量を測定するためのもの
であって、動的な光を検出する光検出手段と、この光検
出手段の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出
力手段と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの
出力値を一時的に保持する出力値保持手段と、光検出信
号出力手段からの光検出信号の出力に応じて出力値保持
手段からその保持値を光検出データとして取り込む光検
出データ取込み手段と、この光検出データ取込み手段に
よって取り込まれた光検出データを光量データに換算す
る換算手段とを具備して成るものである。
る光量測定装置は動的な光の光量を測定するためのもの
であって、動的な光を検出する光検出手段と、この光検
出手段の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出
力手段と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの
出力値を一時的に保持する出力値保持手段と、光検出信
号出力手段からの光検出信号の出力に応じて出力値保持
手段からその保持値を光検出データとして取り込む光検
出データ取込み手段と、この光検出データ取込み手段に
よって取り込まれた光検出データを光量データに換算す
る換算手段とを具備して成るものである。
【０００９】本発明の第２の局面による光量測定装置は
動的な光の光量を測定するための光量測定装置であっ
て、動的な光を検出する光検出手段と、この光検出手段
の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出力手段
と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出力値
を一時的に保持する出力値保持手段と、光検出信号出力
手段からの光検出信号の出力に応じて前記出力値保持手
段からその保持値を光検出データとして取り込む光検出
データ取込み手段とを具備するものである。光検出デー
タ取込み手段は光検出信号出力手段からの光検出信号の
出力に応じて出力値保持手段から光検出データを取り込
むようになっている。本発明の第２の局面によれば、光
量測定装置は更に光検出データ取込み手段によって取り
込まれた複数の光検出データの平均値データを演算する
平均値演算手段と、この平均値演算手段によって得られ
た平均値データを光量データに換算する換算手段とを具
備して成るものである。
動的な光の光量を測定するための光量測定装置であっ
て、動的な光を検出する光検出手段と、この光検出手段
の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出力手段
と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出力値
を一時的に保持する出力値保持手段と、光検出信号出力
手段からの光検出信号の出力に応じて前記出力値保持手
段からその保持値を光検出データとして取り込む光検出
データ取込み手段とを具備するものである。光検出デー
タ取込み手段は光検出信号出力手段からの光検出信号の
出力に応じて出力値保持手段から光検出データを取り込
むようになっている。本発明の第２の局面によれば、光
量測定装置は更に光検出データ取込み手段によって取り
込まれた複数の光検出データの平均値データを演算する
平均値演算手段と、この平均値演算手段によって得られ
た平均値データを光量データに換算する換算手段とを具
備して成るものである。
【００１０】本発明による第３の局面による光量測定装
置は動的な光の光量及び静的な光の光量を選択的に測定
するためのものであって、動的な光の光量を測定する動
的測定モード及び静的な光の光量を測定する静的測定モ
ードのいずれかを選択するモード選択手段と、動的な光
及び静的な光を検出する光検出手段と、この光検出手段
の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出力手段
と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出力値
を一時的に保持する出力値保持手段と、この出力値保持
手段からその保持値を光検出データとして取り込む光検
出データ取込み手段とを具備する。モード選択手段によ
って動的測定モードが選択されているとき、光検出デー
タ取込み手段は光検出信号出力手段からの光検出信号の
出力に応じて前記出力値保持手段からその保持値を光検
出データとして取り込むようになっており、またモード
選択手段によって静的測定モードが選択されていると
き、光検出データ取込み手段は光検出信号出力手段から
の光検出信号の出力に関係なく適当なタイミングで出力
保持手段からその保持値を光検出データとして取り込む
ようになっている。本発明の第３の局面によれば、光量
測定装置は更に光検出データ取込み手段によって取り込
まれた光検出データを光量データに換算する換算手段を
具備して成るものである。
置は動的な光の光量及び静的な光の光量を選択的に測定
するためのものであって、動的な光の光量を測定する動
的測定モード及び静的な光の光量を測定する静的測定モ
ードのいずれかを選択するモード選択手段と、動的な光
及び静的な光を検出する光検出手段と、この光検出手段
の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出力手段
と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出力値
を一時的に保持する出力値保持手段と、この出力値保持
手段からその保持値を光検出データとして取り込む光検
出データ取込み手段とを具備する。モード選択手段によ
って動的測定モードが選択されているとき、光検出デー
タ取込み手段は光検出信号出力手段からの光検出信号の
出力に応じて前記出力値保持手段からその保持値を光検
出データとして取り込むようになっており、またモード
選択手段によって静的測定モードが選択されていると
き、光検出データ取込み手段は光検出信号出力手段から
の光検出信号の出力に関係なく適当なタイミングで出力
保持手段からその保持値を光検出データとして取り込む
ようになっている。本発明の第３の局面によれば、光量
測定装置は更に光検出データ取込み手段によって取り込
まれた光検出データを光量データに換算する換算手段を
具備して成るものである。
【００１１】本発明の第４の局面による光量測定装置は
動的な光の光量及び静的な光の光量を選択的に測定する
ためのものであって、動的な光の光量を測定する動的測
定モード及び前記静的な光の光量を測定する静的測定モ
ードのいずれかを選択するモード選択手段と、動的な光
及び前記静的な光を検出する光検出手段と、この光検出
手段の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出力
手段と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出
力値を一時的に保持する出力値保持手段と、この出力値
保持手段からその保持値を光検出データとして取り込む
光検出データ取込み手段とを具備するものである。モー
ド選択手段によって動的測定モードが選択されていると
き、光検出データ取込み手段は光検出信号出力手段から
の光検出信号の出力に応じて出力値保持手段からその保
持値を光検出データとして少なくとも二回以上取り込む
ようになっており、またモード選択手段によって静的測
定モードが選択されているとき、前記光検出データ取込
み手段は光検出信号出力手段からの光検出信号の出力に
関係なく適当なタイミングで出力保持手段からその保持
値を光検出データとして少なくとも二回以上取り込むよ
うになっている。本発明の第４の局面によれば、光量測
定装置は更に光検出データ取込み手段によって取り込ま
れた複数の光検出データの平均値データを演算する平均
値演算手段と、平均値演算手段によって得られた平均値
データを光量データに換算する換算手段とを具備して成
るものである。
動的な光の光量及び静的な光の光量を選択的に測定する
ためのものであって、動的な光の光量を測定する動的測
定モード及び前記静的な光の光量を測定する静的測定モ
ードのいずれかを選択するモード選択手段と、動的な光
及び前記静的な光を検出する光検出手段と、この光検出
手段の光検出時に光検出信号を出力する光検出信号出力
手段と、光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出
力値を一時的に保持する出力値保持手段と、この出力値
保持手段からその保持値を光検出データとして取り込む
光検出データ取込み手段とを具備するものである。モー
ド選択手段によって動的測定モードが選択されていると
き、光検出データ取込み手段は光検出信号出力手段から
の光検出信号の出力に応じて出力値保持手段からその保
持値を光検出データとして少なくとも二回以上取り込む
ようになっており、またモード選択手段によって静的測
定モードが選択されているとき、前記光検出データ取込
み手段は光検出信号出力手段からの光検出信号の出力に
関係なく適当なタイミングで出力保持手段からその保持
値を光検出データとして少なくとも二回以上取り込むよ
うになっている。本発明の第４の局面によれば、光量測
定装置は更に光検出データ取込み手段によって取り込ま
れた複数の光検出データの平均値データを演算する平均
値演算手段と、平均値演算手段によって得られた平均値
データを光量データに換算する換算手段とを具備して成
るものである。
【００１２】好ましくは、本発明による光量測定装置は
更に光量データを表示する光量データ表示手段を具備す
る。
更に光量データを表示する光量データ表示手段を具備す
る。
【００１３】また、好ましくは、本発明による光量測定
装置においては、出力値保持手段は光検出手段からの出
力値のピーク値を保持するピークホールド回路と、この
ピークホールド回路の出力値をデジタル値に変換するア
ナログ／デジタル変換器とを包含し、光検出手段取込み
手段はアナログ／デジタル変換器からの出力値を光検出
データとして取り込むようにされる。
装置においては、出力値保持手段は光検出手段からの出
力値のピーク値を保持するピークホールド回路と、この
ピークホールド回路の出力値をデジタル値に変換するア
ナログ／デジタル変換器とを包含し、光検出手段取込み
手段はアナログ／デジタル変換器からの出力値を光検出
データとして取り込むようにされる。
【００１４】更に、好ましくは、本発明による光量測定
装置においては、光検出信号出力手段は光検出手段の光
検出時に光検出信号としてトリガ信号を出力するトリガ
回路から成る。
装置においては、光検出信号出力手段は光検出手段の光
検出時に光検出信号としてトリガ信号を出力するトリガ
回路から成る。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して、本発
明による光量測定装置の一実施形態について具体的に説
明する。
明による光量測定装置の一実施形態について具体的に説
明する。
【００１６】図１を参照すると、本発明による光量測定
装置のブロック図が示され、同図から明らかなように、
光量測定装置は光検出手段としてホトダイオード１０を
具備する。ホトダイオード１０には所定の電圧（ＶＣ
Ｃ）が印加され、該ホトダイオード１０に動的な光が照
射されると、その光量に応じた電圧信号がホトダイオー
ド１０のアノード側から検出される。
装置のブロック図が示され、同図から明らかなように、
光量測定装置は光検出手段としてホトダイオード１０を
具備する。ホトダイオード１０には所定の電圧（ＶＣ
Ｃ）が印加され、該ホトダイオード１０に動的な光が照
射されると、その光量に応じた電圧信号がホトダイオー
ド１０のアノード側から検出される。
【００１７】ホトダイオード１０から検出される電圧信
号は増幅器１２によって増幅された後に、ピークホール
ド（Ｐ／Ｈ）回路１４によって出力電圧のピーク値が保
持される。次いで、Ｐ／Ｈ回路１４で保持された出力電
圧のピークはアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器１６
に対して出力される。要するに、Ｐ／Ｈ回路１４及びＡ
／Ｄ変換器１６はホトダイオード１０からの出力値を一
時的に保持する出力値保持手段として機能することにな
る。
号は増幅器１２によって増幅された後に、ピークホール
ド（Ｐ／Ｈ）回路１４によって出力電圧のピーク値が保
持される。次いで、Ｐ／Ｈ回路１４で保持された出力電
圧のピークはアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器１６
に対して出力される。要するに、Ｐ／Ｈ回路１４及びＡ
／Ｄ変換器１６はホトダイオード１０からの出力値を一
時的に保持する出力値保持手段として機能することにな
る。
【００１８】増幅器１２で増幅されたホトダイオード１
０からの出力値はトリガ回路１８に対しても出力され
る。トリガ回路１８内にはコンパレータが内蔵され、こ
のコンパレータには測定レンジの1/10程度の電圧値が閾
値として設定される。増幅器１２からの出力電圧値がか
かる閾値を越えたとき、トリガ回路１８から光検出信号
としてトリガ信号が出力される。
０からの出力値はトリガ回路１８に対しても出力され
る。トリガ回路１８内にはコンパレータが内蔵され、こ
のコンパレータには測定レンジの1/10程度の電圧値が閾
値として設定される。増幅器１２からの出力電圧値がか
かる閾値を越えたとき、トリガ回路１８から光検出信号
としてトリガ信号が出力される。
【００１９】光量測定装置には制御回路２０が設けら
れ、本実施形態では、制御回路２０はマイクロコンピュ
ータで形成される。即ち、制御回路２０は中央処理ユニ
ット（ＣＰＵ）２０Ａと、種々のルーチンを実行するた
めのプログラム、換算テーブル及び常数等を格納する読
出し専用メモリ（ＲＯＭ）２０Ｂ、データ等を一時的に
格納する書込み／読出し自在なメモリ（ＲＡＭ）２０Ｃ
及び入出力インターフェース（Ｉ／Ｏ）回路２０Ｄとか
ら成る。
れ、本実施形態では、制御回路２０はマイクロコンピュ
ータで形成される。即ち、制御回路２０は中央処理ユニ
ット（ＣＰＵ）２０Ａと、種々のルーチンを実行するた
めのプログラム、換算テーブル及び常数等を格納する読
出し専用メモリ（ＲＯＭ）２０Ｂ、データ等を一時的に
格納する書込み／読出し自在なメモリ（ＲＡＭ）２０Ｃ
及び入出力インターフェース（Ｉ／Ｏ）回路２０Ｄとか
ら成る。
【００２０】図１から明らかように、Ａ／Ｄ変換器１６
の出力端子とトリガ回路１８の出力端子は制御回路２０
のＩ／Ｏ回路２０Ｄに接続される。トリガ回路１８から
トリガ信号がＩ／Ｏ回路２０Ｄに対して出力されたと
き、制御回路２０ではトリガ信号に基づいてサンプリン
グ信号が造成され、このサンプリング信号はＡ／Ｄ変換
器１６に対して出力される。なお、Ａ／Ｄ変換器１６に
対するサンプリング信号の出力はトリガ信号の受信から
所定時間だけ遅らされ、その時間の経過によりＰ／Ｈ回
路１４の検出ピーク値は安定したものとなる。
の出力端子とトリガ回路１８の出力端子は制御回路２０
のＩ／Ｏ回路２０Ｄに接続される。トリガ回路１８から
トリガ信号がＩ／Ｏ回路２０Ｄに対して出力されたと
き、制御回路２０ではトリガ信号に基づいてサンプリン
グ信号が造成され、このサンプリング信号はＡ／Ｄ変換
器１６に対して出力される。なお、Ａ／Ｄ変換器１６に
対するサンプリング信号の出力はトリガ信号の受信から
所定時間だけ遅らされ、その時間の経過によりＰ／Ｈ回
路１４の検出ピーク値は安定したものとなる。
【００２１】Ａ／Ｄ変換器１６にサンプリング信号が出
力されると、Ｐ／Ｈ回路１４からＡ／Ｄ変換器１６に対
して出力された検出電圧のピーク値（即ち、Ｐ／Ｈ回路
１４で保持された保持値）が光検出データとして制御回
路２０内に取り込まれてＲＡＭ２０Ｃに一時的に格納さ
れる。次いで、制御回路２０はＲＯＭ２０Ｂに予め格納
されている換算テーブルまたは換算式に基づいて光検出
データを光量データに換算し、この光量データもＲＡＭ
２０Ｃに一時的に格納される。
力されると、Ｐ／Ｈ回路１４からＡ／Ｄ変換器１６に対
して出力された検出電圧のピーク値（即ち、Ｐ／Ｈ回路
１４で保持された保持値）が光検出データとして制御回
路２０内に取り込まれてＲＡＭ２０Ｃに一時的に格納さ
れる。次いで、制御回路２０はＲＯＭ２０Ｂに予め格納
されている換算テーブルまたは換算式に基づいて光検出
データを光量データに換算し、この光量データもＲＡＭ
２０Ｃに一時的に格納される。
【００２２】また、制御回路２０からＩ／Ｏ回路２０Ｄ
を介してＰ／Ｈ回路１４に放電指令電圧信号が出力され
るようになっており、この放電指令電圧信号は通常は低
レベルに維持され、このときＰ／Ｈ回路１４では検出電
圧のピーク値を保持した状態が維持される。しかし、放
電指令電圧信号が低レベルから高レベルに切り換えられ
ると、Ｐ／Ｈ回路１４からその保持電荷（即ち、ピーク
電圧値）が放電されて、Ｐ／Ｈ回路１４の出力はグラン
ドレベルに落とされる。Ｐ／Ｈ回路１４の放電が完了す
ると、放電指令電圧信号は高レベルから再び低レベルに
戻される。
を介してＰ／Ｈ回路１４に放電指令電圧信号が出力され
るようになっており、この放電指令電圧信号は通常は低
レベルに維持され、このときＰ／Ｈ回路１４では検出電
圧のピーク値を保持した状態が維持される。しかし、放
電指令電圧信号が低レベルから高レベルに切り換えられ
ると、Ｐ／Ｈ回路１４からその保持電荷（即ち、ピーク
電圧値）が放電されて、Ｐ／Ｈ回路１４の出力はグラン
ドレベルに落とされる。Ｐ／Ｈ回路１４の放電が完了す
ると、放電指令電圧信号は高レベルから再び低レベルに
戻される。
【００２３】図１に示すように、制御回路２０のＩ／Ｏ
回路２０ＤにはＬＣＤ駆動回路２２が接続され、このＬ
ＣＤ駆動回路２２には液晶表示（ＬＣＤ）パネル２４が
接続される。ＬＣＤパネル２４には上述した光量データ
が数値として表示されるようになっている。
回路２０ＤにはＬＣＤ駆動回路２２が接続され、このＬ
ＣＤ駆動回路２２には液晶表示（ＬＣＤ）パネル２４が
接続される。ＬＣＤパネル２４には上述した光量データ
が数値として表示されるようになっている。
【００２４】図１において、参照符号２６は測定モード
切換スイッチを示し、この測定モード切換スイッチ２６
が図示するようにオンされているとき、即ち測定モード
切換スイッチ２６のオンによってそこから制御回路２０
のＩ／Ｏ回路２０Ｄに出力される測定モード切換電圧信
号が所定の高レベルに維持されているとき、光量測定装
置は上述したように動的な光（即ち、所定経路に沿って
走査されるかあるいは点滅されるような光）の光量を測
定するように機能する。
切換スイッチを示し、この測定モード切換スイッチ２６
が図示するようにオンされているとき、即ち測定モード
切換スイッチ２６のオンによってそこから制御回路２０
のＩ／Ｏ回路２０Ｄに出力される測定モード切換電圧信
号が所定の高レベルに維持されているとき、光量測定装
置は上述したように動的な光（即ち、所定経路に沿って
走査されるかあるいは点滅されるような光）の光量を測
定するように機能する。
【００２５】一方、測定モード切換スイッチ２６がオフ
されたとき、即ち測定モード切換スイッチ２６から制御
回路２０のＩ／Ｏ回路２０Ｄに出力される測定モード切
換電圧信号が高レベルから低レベルに切り換えられる
と、光量測定装置は静的な光（即ち、停止状態にある光
あるいは点滅されずに点灯状態に維持された光）の光量
を測定するように機能する。即ち、測定モード切換スイ
ッチ２６がオフ（静的測定モード）のとき、トリガ回路
１８からＩ／Ｏ回路２０Ｄへのトリガ信号の出力に関係
なく、制御回路２０はＰ／Ｈ回路１４からＡ／Ｄ変換器
１６に対して出力された検出電圧のピーク値を所定のタ
イミングで光検出データとして取り込んでＲＡＭ２０Ｃ
に一時的に格納する。その他の点については、測定モー
ド切換スイッチ２６がオン（動的測定モード）されてい
る場合と実質的に同じである。
されたとき、即ち測定モード切換スイッチ２６から制御
回路２０のＩ／Ｏ回路２０Ｄに出力される測定モード切
換電圧信号が高レベルから低レベルに切り換えられる
と、光量測定装置は静的な光（即ち、停止状態にある光
あるいは点滅されずに点灯状態に維持された光）の光量
を測定するように機能する。即ち、測定モード切換スイ
ッチ２６がオフ（静的測定モード）のとき、トリガ回路
１８からＩ／Ｏ回路２０Ｄへのトリガ信号の出力に関係
なく、制御回路２０はＰ／Ｈ回路１４からＡ／Ｄ変換器
１６に対して出力された検出電圧のピーク値を所定のタ
イミングで光検出データとして取り込んでＲＡＭ２０Ｃ
に一時的に格納する。その他の点については、測定モー
ド切換スイッチ２６がオン（動的測定モード）されてい
る場合と実質的に同じである。
【００２６】なお、本実施形態にあっては、光量測定装
置の電源スイッチ（図示されない）がオンされたとき、
光量測定が自動的に行なわれるようになっており、その
光量測定の実行については測定モード切換スイッチ２６
によって選択された測定モードに従う。
置の電源スイッチ（図示されない）がオンされたとき、
光量測定が自動的に行なわれるようになっており、その
光量測定の実行については測定モード切換スイッチ２６
によって選択された測定モードに従う。
【００２７】図２には図１に示した光量測定装置で実行
される光量測定ルーチンのフローチャートが示され、ま
た図３及び図４のそれぞれには動的測定モードで光量測
定を行なう際のタイミングチャート及び静的測定モード
で光量測定を行なう際のタイミングチャートが示されて
いる。
される光量測定ルーチンのフローチャートが示され、ま
た図３及び図４のそれぞれには動的測定モードで光量測
定を行なう際のタイミングチャート及び静的測定モード
で光量測定を行なう際のタイミングチャートが示されて
いる。
【００２８】上述したように、光量測定ルーチンは光量
測定装置の電源スイッチのオンによって実行される。先
ず、ステップ２０１では、カウンタｎがリセットされ
る。次いで、ステップ２０２では測定モード切換スイッ
チ２６がオンされているか否かが判断される。
測定装置の電源スイッチのオンによって実行される。先
ず、ステップ２０１では、カウンタｎがリセットされ
る。次いで、ステップ２０２では測定モード切換スイッ
チ２６がオンされているか否かが判断される。
【００２９】測定モード切換スイッチ２６がオンされて
いるとき、即ち動的測定モードが選択されているとき、
ステップ２０２からステップ２０３に進み、そこでトリ
ガ回路１８からトリガ信号が出力されたか否かが判断さ
れる。
いるとき、即ち動的測定モードが選択されているとき、
ステップ２０２からステップ２０３に進み、そこでトリ
ガ回路１８からトリガ信号が出力されたか否かが判断さ
れる。
【００３０】例えば、所定経路に沿って光が繰り返し走
査され、かつかかる所定経路の適当な個所にホトダイオ
ード１０が設置された場合には、ホトダイオード１０で
の光検出は図３のタイミングチャートに示すようなもの
となる。即ち、所定の時間間隔で光検出がホトダイオー
ド１０によって行なわれ、その光検出の度毎にホトダイ
オード１０からはその検出光量に比例した電圧信号が検
出される。
査され、かつかかる所定経路の適当な個所にホトダイオ
ード１０が設置された場合には、ホトダイオード１０で
の光検出は図３のタイミングチャートに示すようなもの
となる。即ち、所定の時間間隔で光検出がホトダイオー
ド１０によって行なわれ、その光検出の度毎にホトダイ
オード１０からはその検出光量に比例した電圧信号が検
出される。
【００３１】このような検出電圧信号は上述したように
増幅器１２で増幅された後にＰ／Ｈ回路１４及びトリガ
回路１８に出力される。既に説明したように、検出電圧
信号のピーク値がＰ／Ｈ回路１４によって保持されると
（図３）、そのピーク値はＰ／Ｈ回路１４からＡ／Ｄ変
換器１６に対して出力される。一方、増幅器１２から出
力される検出電圧信号はトリガ回路１８にも出力され、
その検出電圧信号の電圧レベルが所定の閾値を越える
と、トリガ回路１８からトリガ信号が制御回路２０のＩ
／Ｏ回路２０Ｄに対して出力される（図３）。
増幅器１２で増幅された後にＰ／Ｈ回路１４及びトリガ
回路１８に出力される。既に説明したように、検出電圧
信号のピーク値がＰ／Ｈ回路１４によって保持されると
（図３）、そのピーク値はＰ／Ｈ回路１４からＡ／Ｄ変
換器１６に対して出力される。一方、増幅器１２から出
力される検出電圧信号はトリガ回路１８にも出力され、
その検出電圧信号の電圧レベルが所定の閾値を越える
と、トリガ回路１８からトリガ信号が制御回路２０のＩ
／Ｏ回路２０Ｄに対して出力される（図３）。
【００３２】ステップ２０３において、トリガ回路１８
からのトリガ信号の出力が確認されると、ステップ２０
４に進み、そこでＡ／Ｄ変換器１６からのサンプリング
が行なわれる（図３）。即ち、制御回路２０はＰ／Ｈ回
路１４からＡ／Ｄ変換器１６に対して出力された検出電
圧のピーク値（即ち、Ｐ／Ｈ回路１４で保持された保持
値）を光検出データＳＤn として取り込む。次いで、ス
テップ２０５に進み、そこで光検出データＳＤn がＲＡ
Ｍ２０Ｃに一時的に格納する。
からのトリガ信号の出力が確認されると、ステップ２０
４に進み、そこでＡ／Ｄ変換器１６からのサンプリング
が行なわれる（図３）。即ち、制御回路２０はＰ／Ｈ回
路１４からＡ／Ｄ変換器１６に対して出力された検出電
圧のピーク値（即ち、Ｐ／Ｈ回路１４で保持された保持
値）を光検出データＳＤn として取り込む。次いで、ス
テップ２０５に進み、そこで光検出データＳＤn がＲＡ
Ｍ２０Ｃに一時的に格納する。
【００３３】ＲＡＭ２０Ｃへの光検出データＳＤn の格
納が完了すると、ステップ２０６に進み、そこでＰ／Ｈ
回路１４の電荷（ピーク値）が放電されて、その出力は
グランドレベルにされる。次いで、ステップ２０７で
は、カウンタｎのカウント数が“４”に等しいか否かが
判断される。ｎ≠４のとき、ステップ２０７からステッ
プ２０８に進み、そこでカウンタｎのカウント数が
“１”だけカウントアップされた後、ステップ２０３に
戻る。その後、カウンタｎのカウント数が“４”に到達
するまで、ステップ２０３ないしステップ２０８から成
るルーチンが繰り返される。
納が完了すると、ステップ２０６に進み、そこでＰ／Ｈ
回路１４の電荷（ピーク値）が放電されて、その出力は
グランドレベルにされる。次いで、ステップ２０７で
は、カウンタｎのカウント数が“４”に等しいか否かが
判断される。ｎ≠４のとき、ステップ２０７からステッ
プ２０８に進み、そこでカウンタｎのカウント数が
“１”だけカウントアップされた後、ステップ２０３に
戻る。その後、カウンタｎのカウント数が“４”に到達
するまで、ステップ２０３ないしステップ２０８から成
るルーチンが繰り返される。
【００３４】ステップ２０７でカウンタｎのカウント数
が“４”に到達したとき、即ちホトダイオード１０で５
回の光検出が行なわれてそれぞれの光検出に対してＡ／
Ｄ変換器１６からのサンプリングが５回行なわれたと
き、ステップ２０７からステップ２０９に進み、そこで
光検出データＳＤ0 ないしＳＤ4 （ｎ＝０、１、２、
３、４）の平均値ＳＤが求められる。
が“４”に到達したとき、即ちホトダイオード１０で５
回の光検出が行なわれてそれぞれの光検出に対してＡ／
Ｄ変換器１６からのサンプリングが５回行なわれたと
き、ステップ２０７からステップ２０９に進み、そこで
光検出データＳＤ0 ないしＳＤ4 （ｎ＝０、１、２、
３、４）の平均値ＳＤが求められる。
【００３５】要するに、本実施形態にあっては、光検出
については５回行なわれ、その５つの光検出データの平
均値を得ることにより、測定誤差の影響を緩和するよう
になっている。勿論、本実施形態では、光検出は５回繰
り返されるが、その繰返し回数については任意である。
一方、光検出については１回だけもよい。なお、光検出
の回数を任意に設定し得るようになった設定スイッチを
光量測定装置に設けることもできる。
については５回行なわれ、その５つの光検出データの平
均値を得ることにより、測定誤差の影響を緩和するよう
になっている。勿論、本実施形態では、光検出は５回繰
り返されるが、その繰返し回数については任意である。
一方、光検出については１回だけもよい。なお、光検出
の回数を任意に設定し得るようになった設定スイッチを
光量測定装置に設けることもできる。
【００３６】ステップ２１０では、上述の平均値ＳＤが
制御回路２０のＲＯＭ２０Ｂに予め格納されている換算
テーブルまたは換算式に基づいて光量データに換算さ
れ、その光量データＳＤもＲＡＭ２０Ｃに一時的に格納
される。次いで、ステップ２１１では、光量データＳＤ
に基づいてその数値データがＬＣＤパネル２４で表示さ
れる。なお、上述の換算テーブルまたは換算式は既知の
光量データとホトダイオード１０の検出特性との関係か
ら得られた校正データに基づいて作成されるものであ
る。
制御回路２０のＲＯＭ２０Ｂに予め格納されている換算
テーブルまたは換算式に基づいて光量データに換算さ
れ、その光量データＳＤもＲＡＭ２０Ｃに一時的に格納
される。次いで、ステップ２１１では、光量データＳＤ
に基づいてその数値データがＬＣＤパネル２４で表示さ
れる。なお、上述の換算テーブルまたは換算式は既知の
光量データとホトダイオード１０の検出特性との関係か
ら得られた校正データに基づいて作成されるものであ
る。
【００３７】一方、ステップ２０２で測定モード切換ス
イッチ２６がオフされているとき、即ち静的測定モード
が選択されているとき、ステップ２０２からステップ２
１２に進み、そこで所定時間が経過したか否かが判断さ
れる。
イッチ２６がオフされているとき、即ち静的測定モード
が選択されているとき、ステップ２０２からステップ２
１２に進み、そこで所定時間が経過したか否かが判断さ
れる。
【００３８】静的測定モードが選択されているとき、ホ
トダイオード１０は光に比例した出力電圧を連続的に検
出することになる。即ち、ホトダイオード１０での光検
出は図４のタイミングチャートに示すようなものとな
り、ホトダイオード１０からは光量に比例した出力電圧
が出力される。このように電圧信号がＰ／Ｈ回路１４に
出力されると、Ｐ／Ｈ回路１４も光量に比例した電圧信
号を保持することになり（図４）、その電圧値はＰ／Ｈ
回路１４からＡ／Ｄ変換器１６に対して出力される。
トダイオード１０は光に比例した出力電圧を連続的に検
出することになる。即ち、ホトダイオード１０での光検
出は図４のタイミングチャートに示すようなものとな
り、ホトダイオード１０からは光量に比例した出力電圧
が出力される。このように電圧信号がＰ／Ｈ回路１４に
出力されると、Ｐ／Ｈ回路１４も光量に比例した電圧信
号を保持することになり（図４）、その電圧値はＰ／Ｈ
回路１４からＡ／Ｄ変換器１６に対して出力される。
【００３９】ステップ２１２において、所定時間の経過
が確認されると、ステップ２１３に進み、そこでＡ／Ｄ
変換器１６からのサンプリングが行なわれる（図４）。
即ち、制御回路２０はＰ／Ｈ回路１４からＡ／Ｄ変換器
１６に対して出力された電圧値（即ち、Ｐ／Ｈ回路１４
で保持された保持値）を光検出データＳＤn として取り
込む。次いで、ステップ２１４に進み、そこで光検出デ
ータＳＤn がＲＡＭ２０Ｃに一時的に格納する。
が確認されると、ステップ２１３に進み、そこでＡ／Ｄ
変換器１６からのサンプリングが行なわれる（図４）。
即ち、制御回路２０はＰ／Ｈ回路１４からＡ／Ｄ変換器
１６に対して出力された電圧値（即ち、Ｐ／Ｈ回路１４
で保持された保持値）を光検出データＳＤn として取り
込む。次いで、ステップ２１４に進み、そこで光検出デ
ータＳＤn がＲＡＭ２０Ｃに一時的に格納する。
【００４０】ＲＡＭ２０Ｃへの光検出データＳＤn の格
納が完了すると、ステップ２１５に進み、そこでＰ／Ｈ
回路１４の電荷（ピーク値）が放電されてグランドレベ
ルにされる。次いで、ステップ２１６では、カウンタｎ
のカウント数が“４”に等しか否かが判断される。ｎ≠
４のとき、ステップ２１６からステップ２１７に進み、
そこでカウンタｎのカウント数が“１”だけカウントア
ップされた後、ステップ２１２に戻る。その後、カウン
タｎのカウント数が“４”に到達するまで、ステップ２
１２ないしステップ２１７から成るルーチンが繰り返さ
れる。
納が完了すると、ステップ２１５に進み、そこでＰ／Ｈ
回路１４の電荷（ピーク値）が放電されてグランドレベ
ルにされる。次いで、ステップ２１６では、カウンタｎ
のカウント数が“４”に等しか否かが判断される。ｎ≠
４のとき、ステップ２１６からステップ２１７に進み、
そこでカウンタｎのカウント数が“１”だけカウントア
ップされた後、ステップ２１２に戻る。その後、カウン
タｎのカウント数が“４”に到達するまで、ステップ２
１２ないしステップ２１７から成るルーチンが繰り返さ
れる。
【００４１】ステップ２１６でカウンタｎのカウント数
が“４”に到達したとき、即ちホトダイオード１０で５
回の光検出が行なわれてそれぞれの光検出に対してＡ／
Ｄ変換器１６からのサンプリングが５回行なわれたと
き、ステップ２１７からステップ２０９に進み、そこで
光検出データＳＤ0 ないしＳＤ4 （ｎ＝０、１、２、
３、４）に基づいて上述した場合と同様に平均値ＳＤが
求められる。その後の処理については既に述べた通りで
ある。
が“４”に到達したとき、即ちホトダイオード１０で５
回の光検出が行なわれてそれぞれの光検出に対してＡ／
Ｄ変換器１６からのサンプリングが５回行なわれたと
き、ステップ２１７からステップ２０９に進み、そこで
光検出データＳＤ0 ないしＳＤ4 （ｎ＝０、１、２、
３、４）に基づいて上述した場合と同様に平均値ＳＤが
求められる。その後の処理については既に述べた通りで
ある。
【００４２】上述の実施形態では、測定精度を高めるた
めに、Ａ／Ｄ変換器１６に対するサンプリングを複数回
行なって光検出データの平均値を得るようにしている
が、必要に応じて、Ａ／Ｄ変換回路１６に対するサンプ
リングを１回だけ行なってその光検出データを光量デー
タとして換算していもよい。
めに、Ａ／Ｄ変換器１６に対するサンプリングを複数回
行なって光検出データの平均値を得るようにしている
が、必要に応じて、Ａ／Ｄ変換回路１６に対するサンプ
リングを１回だけ行なってその光検出データを光量デー
タとして換算していもよい。
【００４３】上述の実施形態では、測定モード切換スイ
ッチ２６がオンのときに動的測定モードが選択され、測
定モード切換スイッチ２６がオフのときに静的測定モー
ドが選択されるようになっているが、勿論、測定モード
切換スイッチのオン／オフと選択されるべき測定モード
との関係については上述の場合と逆にしてもよいことは
明らかであろう。
ッチ２６がオンのときに動的測定モードが選択され、測
定モード切換スイッチ２６がオフのときに静的測定モー
ドが選択されるようになっているが、勿論、測定モード
切換スイッチのオン／オフと選択されるべき測定モード
との関係については上述の場合と逆にしてもよいことは
明らかであろう。
【００４４】
【発明の効果】以上の記載から明らかように、本発明に
よる光量測定装置にあっては、動的な光に対する光量測
定を適正に行なうことが可能である。また、本発明によ
る光量測定装置は測定モード切換スイッチの切換作動だ
けで動的な光の光量だけでなく静的な光の光量も測定可
能である。
よる光量測定装置にあっては、動的な光に対する光量測
定を適正に行なうことが可能である。また、本発明によ
る光量測定装置は測定モード切換スイッチの切換作動だ
けで動的な光の光量だけでなく静的な光の光量も測定可
能である。
【図１】本発明による光量測定装置のブロック図であ
る。
る。
【図２】本発明による光量測定装置で実行される光量測
定ルーチンを示すフローチャートである。
定ルーチンを示すフローチャートである。
【図３】本発明による光量測定装置の光量測定ルーチン
を動的測定モードで実行する際のタイミングチャートで
ある。
を動的測定モードで実行する際のタイミングチャートで
ある。
【図４】本発明による光量測定装置の光量測定ルーチン
を静的測定モードで実行する際のタイミングチャートで
ある。
を静的測定モードで実行する際のタイミングチャートで
ある。
１０ ホトダイオード １２ 増幅器 １４ ピークホールド（Ｐ／Ｈ）回路 １６ アナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器 １８ トリガ回路 ２０ 制御回路 ２２ ＬＣＤ駆動回路 ２４ 液晶表示（ＬＣＤ）パネル ２６ 測定モード切換スイッチ
Claims (7)
- 【請求項１】 動的な光の光量を測定するための光量測
定装置であって、 前記動的な光を検出する光検出手段と、 前記光検出手段の光検出時に光検出信号を出力する光検
出信号出力手段と、 前記光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出力値
を一時的に保持する出力値保持手段と、 前記光検出信号出力手段からの光検出信号の出力に応じ
て前記出力値保持手段からその保持値を光検出データと
して取り込む光検出データ取込み手段と、 前記光検出データ取込み手段によって取り込まれた光検
出データを光量データに換算する換算手段とを具備して
成る光量測定装置。 - 【請求項２】 動的な光の光量を測定するための光量測
定装置であって、 前記動的な光を検出する光検出手段と、 前記光検出手段の光検出時に光検出信号を出力する光検
出信号出力手段と、 前記光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出力値
を一時的に保持する出力値保持手段と、 前記光検出信号出力手段からの光検出信号の出力に応じ
て前記出力値保持手段からその保持値を光検出データと
して取り込む光検出データ取込み手段とを具備し、 前記光検出データ取込み手段は前記光検出信号出力手段
からの光検出信号の出力に応じて前記出力値保持手段か
ら光検出データを取り込むようになっており、 更に、前記光検出データ取込み手段によって取り込まれ
た複数の光検出データの平均値データを演算する平均値
演算手段と、 前記平均値演算手段によって得られた平均値データを光
量データに換算する換算手段とを具備して成る光量測定
装置。 - 【請求項３】 動的な光の光量及び静的な光の光量を選
択的に測定するための光量測定装置であって、 前記動的な光の光量を測定する動的測定モード及び前記
静的な光の光量を測定する静的測定モードのいずれかを
選択するモード選択手段と、 前記動的な光及び前記静的な光を検出する光検出手段
と、 前記光検出手段の光検出時に光検出信号を出力する光検
出信号出力手段と、 前記光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出力値
を一時的に保持する出力値保持手段と、 前記出力値保持手段からその保持値を光検出データとし
て取り込む光検出データ取込み手段とを具備し、 前記モード選択手段によって動的測定モードが選択され
ているとき、前記光検出データ取込み手段は前記光検出
信号出力手段からの光検出信号の出力に応じて前記出力
値保持手段からその保持値を光検出データとして取り込
むようになっており、 前記モード選択手段によって静的測定モードが選択され
ているとき、前記光検出データ取込み手段は前記光検出
信号出力手段からの光検出信号の出力に関係なく適当な
タイミングで前記出力保持手段からその保持値を光検出
データとして取り込むようになっており、 更に、前記光検出データ取込み手段によって取り込まれ
た光検出データを光量データに換算する換算手段を具備
して成る光量測定装置。 - 【請求項４】 動的な光の光量及び静的な光の光量を選
択的に測定するための光量測定装置であって、 前記動的な光の光量を測定する動的測定モード及び前記
静的な光の光量を測定する静的測定モードのいずれかを
選択するモード選択手段と、 前記動的な光及び前記静的な光を検出する光検出手段
と、 前記光検出手段の光検出時に光検出信号を出力する光検
出信号出力手段と、 前記光検出手段の光検出時に該光検出手段からの出力値
を一時的に保持する出力値保持手段と、 前記出力値保持手段からその保持値を光検出データとし
て取り込む光検出データ取込み手段とを具備し、 前記モード選択手段によって動的測定モードが選択され
ているとき、前記光検出データ取込み手段は前記光検出
信号出力手段からの光検出信号の出力に応じて前記出力
値保持手段からその保持値を光検出データとして少なく
とも二回以上取り込むようになっており、 前記モード選択手段によって静的測定モードが選択され
ているとき、前記光検出データ取込み手段は前記光検出
信号出力手段からの光検出信号の出力に関係なく適当な
タイミングで前記出力保持手段からその保持値を光検出
データとして少なくとも二回以上取り込むようになって
おり、 更に、前記光検出データ取込み手段によって取り込まれ
た複数の光検出データの平均値データを演算する平均値
演算手段と、 前記平均値演算手段によって得られた平均値データを光
量データに換算する換算手段とを具備して成る光量測定
装置。 - 【請求項５】 請求項１から４までのいずれか１項に記
載の光量測定装置において、更に、前記光量データを表
示する光量データ表示手段が設けられることを特徴とす
る光量測定装置。 - 【請求項６】 請求項１から５までのいずれか１項に記
載の光量測定装置において、前記出力値保持手段が前記
光検出手段からの出力値のピーク値を保持するピークホ
ールド回路と、このピークホールド回路の出力値をデジ
タル値に変換するアナログ／デジタル変換器とを包含
し、前記光検出手段取込み手段が前記アナログ／デジタ
ル変換器からの出力値を光検出データとして取り込むこ
とを特徴とする光量測定装置。 - 【請求項７】 請求項１から６までのいずれか１項に記
載の光量測定装置において、前記光検出信号出力手段が
前記光検出手段の光検出時に光検出信号としてトリガ信
号を出力するトリガ回路から成ることを特徴とする光量
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12644897A JPH10300573A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 光量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12644897A JPH10300573A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 光量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10300573A true JPH10300573A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14935476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12644897A Withdrawn JPH10300573A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 光量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10300573A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1329700A1 (en) * | 2000-09-25 | 2003-07-23 | Hamamatsu Photonics K. K. | Optical measurement apparatus and method for optical measurement |
| CN114450641A (zh) * | 2019-09-30 | 2022-05-06 | Asml控股股份有限公司 | 具有调制光源的对准传感器 |
-
1997
- 1997-04-30 JP JP12644897A patent/JPH10300573A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1329700A1 (en) * | 2000-09-25 | 2003-07-23 | Hamamatsu Photonics K. K. | Optical measurement apparatus and method for optical measurement |
| EP1329700A4 (en) * | 2000-09-25 | 2011-03-23 | Hamamatsu Photonics Kk | APPARATUS AND METHOD FOR OPTICAL MEASUREMENT |
| CN114450641A (zh) * | 2019-09-30 | 2022-05-06 | Asml控股股份有限公司 | 具有调制光源的对准传感器 |
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