JPH10287382A - Tray cassette for base plate - Google Patents
Tray cassette for base plateInfo
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- JPH10287382A JPH10287382A JP9388997A JP9388997A JPH10287382A JP H10287382 A JPH10287382 A JP H10287382A JP 9388997 A JP9388997 A JP 9388997A JP 9388997 A JP9388997 A JP 9388997A JP H10287382 A JPH10287382 A JP H10287382A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大型ないし超大型
のガラス基板等の基板を収容するトレイ形のカセットに
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tray-type cassette for accommodating a large or ultra-large glass substrate or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ガラス基板などの基板を互いに接触しな
いように分離して収容するための基板用カセットとし
て、箱形の枠体の１対の相対向する側面を溝付き側板で
形成し、両溝付き側板の対応する溝間に基板を出入、収
容しうるようにしたものが普及している。溝付き側板の
形状やデザインには種々のものがあるが、いずれも基本
的には、カセットの内部側に向けて側板背肉部から所定
のピッチで平行に多数のリブ状の棚片が張り出した形状
を有している。隣接するリブ状の棚片間の空隙が溝とな
り、そこに基板が出入、収容される。2. Description of the Related Art As a substrate cassette for accommodating substrates such as glass substrates separately so as not to contact each other, a pair of opposing side surfaces of a box-shaped frame are formed by grooved side plates. The thing which can make a substrate enter and exit and accommodate between the corresponding grooves of the grooved side plate is widespread. There are various shapes and designs of the grooved side plates, but basically all of them have a number of rib-shaped shelf pieces projecting in parallel from the back of the side plate at a predetermined pitch toward the inside of the cassette. It has a different shape. A gap between adjacent rib-shaped shelf pieces becomes a groove, into which a substrate enters and leaves and is accommodated.
【０００３】このタイプのカセットには、たとえば、本
出願人の出願にかかる特開平２−２９５１５０号公報、
特開平３−１３３１５２号公報、特開平５−１４７６８
０号公報、特開平６−２４７４８３号公報、特開平６−
２８６８１２号公報、特開平８−４６０２２号公報など
に開示されたカセットがある。A cassette of this type includes, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-295150 filed by the present applicant,
JP-A-3-133152, JP-A-5-14768
0, JP-A-6-247483, JP-A-6-247483
There are cassettes disclosed in Japanese Patent Publication No. 286812 and Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 8-46022.
【０００４】ところが、ガラス基板のサイズが大きくな
ると、剛体であるガラス基板であってもその撓みが過大
になるため、溝付き側板のリブ状の棚片でガラス基板を
支える支承方式によっては、棚片間のピッチをかなり大
きくしないとガラス基板の円滑な入出操作を行うことが
できず、１個のカセットに収容しうるガラス基板の枚数
も少なくなる。However, when the size of the glass substrate is increased, even if the glass substrate is a rigid glass substrate, its bending becomes excessive. If the pitch between the pieces is not considerably large, the glass substrate cannot be smoothly moved in and out, and the number of glass substrates that can be accommodated in one cassette is reduced.
【０００５】そこでガラス基板の大型化に対処すべく、
本出願人の出願にかかる特開平９−３６２１９号公報に
あっては、側板のリブ状の棚片の長さを従来に比し著し
く長くしたカセット（さらに詳しくは、棚片の張り出し
長さをカセット有効巾の１／１０〜１／４にしたカセッ
ト）が提案されている。In order to cope with the enlargement of the glass substrate,
Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-36219 filed by the present applicant discloses a cassette in which the rib-shaped shelf of the side plate is significantly longer than the conventional one (more specifically, the projecting length of the shelf is reduced. (A cassette whose width is 1/10 to 1/4 of the effective width of the cassette) has been proposed.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ガラス基板の大型化は
益々進んでおり、たとえば、厚みが 0.7mmで、縦横が９
００mm×１１００mmとか１０００mm×１０００mmとかの
サイズになると、ガラス基板をその端部から１０〜２０
mmにおいて支持する従来の方法によっては、ガラス基板
中央付近の撓みは８０〜９０mmにもなる。そして、溝付
き側板のリブ状の棚片の長さを長くする特開平９−３６
２１９号公報の方式を採用しても、撓みを充分には抑制
できなくなる。The size of glass substrates has been increasing more and more. For example, a glass substrate having a thickness of 0.7 mm and a height and width of 9 mm has been developed.
When the size becomes 00 mm × 1100 mm or 1000 mm × 1000 mm, the glass substrate is moved from its end by 10 to 20 mm.
Depending on the conventional method of supporting in mm, the deflection near the center of the glass substrate can be as much as 80 to 90 mm. Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 9-36, in which the length of the rib-shaped shelf of the grooved side plate is increased.
Even if the method of Japanese Patent Application Laid-Open No. 219 is adopted, the bending cannot be sufficiently suppressed.
【０００７】本発明は、このような背景下において、ガ
ラス基板等の基板を溝付き側板のリブ状の棚片で支承す
る方式とは別の機構に基き、基板の大型化ないし超大型
化に対処しうるトレイ形のカセットを提供することを目
的とするものである。Under such a background, the present invention is based on a mechanism different from a method in which a substrate such as a glass substrate is supported by a rib-shaped shelf of a grooved side plate. It is an object of the present invention to provide a tray-type cassette that can be handled.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の基板用トレイカ
セットは、矩形骨格を形作る周枠(1) と、その周枠(1)
間に架設された桟(2) とからなる基本構造を有する格子
状のトレイ形のカセットであって、周枠(1) のうちの左
周枠(1L)、右周枠(1R)および後方周枠(1B)により、主枠
が構成されると共に、それら主枠の上面は実質的に同一
平面にあり、周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と、桟(2)
とにより、副枠が構成され、主枠は、その上面より低い
位置に、主枠内側面または主枠底面から張り出す張出部
材(3) を有し、主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠
上には、基板(G) を下方から支承するための樹脂ピン
(4) が突設されると共に、これら樹脂ピン(4) の上端
は、主枠上面で形成される平面よりも低位置の実質的に
同一平面にあり、さらに主枠は、トレイの積み重ねを可
能にする入り組み係合構造になされていることを特徴と
するものである。A tray cassette for a substrate according to the present invention comprises a peripheral frame (1) forming a rectangular frame, and the peripheral frame (1).
A lattice-shaped tray-shaped cassette having a basic structure consisting of a crosspiece (2) installed between the left frame (1L), the right frame (1R) and the rear of the peripheral frame (1) The main frame is constituted by the peripheral frame (1B), and the upper surfaces of the main frames are substantially in the same plane, and the front peripheral frame (1F) of the peripheral frame (1) and the crosspiece (2)
The main frame has a projecting member (3) projecting from the inner surface of the main frame or the bottom surface of the main frame at a position lower than the upper surface thereof, and a projecting member (3) attached to the main frame. 3) On top and on the sub-frame, resin pins for supporting the board (G) from below
(4) is projected, and the upper ends of these resin pins (4) are located substantially on the same plane at a lower position than the plane formed by the upper surface of the main frame. It is characterized in that it is made into a nested engagement structure that enables it.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail.
【００１０】本発明の基板用トレイカセットは、矩形骨
格を形作る周枠(1) と、その周枠(1) 間に架設された桟
(2) とからなる基本構造を有し、全体は格子状のトレイ
形となっている。[0010] The substrate tray cassette of the present invention comprises a peripheral frame (1) forming a rectangular frame, and a rail provided between the peripheral frames (1).
(2) It has a basic structure consisting of:
【００１１】桟(2) は、矩形骨格を形作る周枠(1) に対
し、たとえば「−」、「＝」、「＋」、「キ」、「井」
の字形のように平行または直角に配置され、また場合に
よっては、「／」、「×」、「XX」のように斜めに配置
させたり、平行・直角形と斜め形とを混在させたり、後
述の図６に例示のように曲線状にしたりすることもでき
る。The crosspiece (2) is, for example, "-", "=", "+", "G", "W" with respect to the peripheral frame (1) forming a rectangular skeleton.
Are arranged in parallel or at right angles like a letter, and in some cases, are arranged diagonally, such as "/", "x", "XX", or a mixture of parallel / right angle and oblique, It may be curved as shown in FIG. 6 described later.
【００１２】このトレイカセットにあっては、周枠(1)
のうちの左周枠(1L)、右周枠(1R)および後方周枠(1B)に
より、主枠が構成されている。そしてそれら主枠の上面
は実質的に同一平面にある。In this tray cassette, the peripheral frame (1)
The main frame is constituted by the left peripheral frame (1L), the right peripheral frame (1R) and the rear peripheral frame (1B). The upper surfaces of the main frames are substantially coplanar.
【００１３】また、周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と、
桟(2) とにより、副枠が構成されている。A front peripheral frame (1F) of the peripheral frame (1),
The subframe is constituted by the crosspiece (2).
【００１４】上記の主枠は、その上面より低い位置に、
主枠内側面または主枠底面から張り出す張出部材(3) を
有している。この張出部材(3) は、主枠の全長にわたっ
て設けてよく（たとえば断面視で「Ｌ」のように）、主
枠に部分的に設けてもよい。軽量化の観点からは、張出
部材(3) を主枠に部分的に設ける方が有利である。さら
に張出部材(3) は、後述の図５に例示のように、トレイ
カセットの内側に向けて主枠から長く張り出すように設
けることも好ましい。またこの張出部材(3) は、主枠の
成形時に一体成形により形成されていてもよく、主枠に
事後的に取り付けるようにしてもよい。The main frame is located at a position lower than the upper surface thereof.
An overhanging member (3) is provided to project from the inner surface of the main frame or the bottom surface of the main frame. The overhang member (3) may be provided over the entire length of the main frame (for example, like "L" in a sectional view), or may be provided partially on the main frame. From the viewpoint of weight reduction, it is advantageous to provide the overhang member (3) partially on the main frame. Further, it is preferable that the overhang member (3) is provided so as to protrude long from the main frame toward the inside of the tray cassette as illustrated in FIG. Further, the overhang member (3) may be formed by integral molding at the time of molding the main frame, or may be attached to the main frame ex post.
【００１５】主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠上
には、基板(G) を下方から支承するための樹脂ピン(4)
を突設する。樹脂ピン(4) の個数に限定はないが、たと
えば、張出部材(3) 上に合計で６個ないし２０個程度、
副枠上に３個ないし２０個程度とすればよい。そしてこ
れら樹脂ピン(4) の上端は、上記の主枠上面で形成され
る平面よりも低位置の実質的に同一平面にあるようにす
る。樹脂ピン(4) の高さは任意であるが、樹脂ピン(4)
の上端で基板(G) を下方から支承したときに、基板(G)
の上面が主枠上面で形成される平面よりも上にはみ出な
いようにすることが好ましく、また樹脂ピン(4) で支承
された基板(G) の背面が桟(2) に接触しないように留意
する。On the overhanging member (3) attached to the main frame and on the sub-frame, resin pins (4) for supporting the substrate (G) from below.
To protrude. There is no limitation on the number of resin pins (4), for example, about 6 to 20 in total on the overhanging member (3),
What is necessary is just to make about 3 to 20 pieces on a sub-frame. The upper ends of the resin pins (4) are located substantially on the same plane at a position lower than the plane formed on the upper surface of the main frame. The height of the resin pin (4) is arbitrary, but the resin pin (4)
When the board (G) is supported from below by the upper end of the
It is preferable that the upper surface of the board does not protrude above the plane formed by the upper surface of the main frame, and that the back surface of the substrate (G) supported by the resin pins (4) does not contact the rail (2). pay attention to.
【００１６】さらに主枠は、トレイの積み重ねを可能に
するように、入り組み係合構造に形成する。このときの
入り組み係合構造は、通常は主枠の４隅部に設けるだけ
でよいが、辺部に設けたり、４隅部と辺部との双方に設
けることもできる。Further, the main frame is formed in a nested engagement structure so as to enable stacking of trays. At this time, the intertwining engagement structure usually only needs to be provided at the four corners of the main frame, but can also be provided at the side or at both the four corners and the side.
【００１７】上記においては、格子のみで構成された底
のないトレイ形のカセットについて述べたが、その格子
状のトレイの底部に底板(5) を設けることが好ましい。
底板(5) を設けると、樹脂ピン(4) の上端と基板(G) の
背面との摩擦によってたとえ摩耗ゴミが生じても、その
ゴミが下段の基板(G) の上面に落下することが防止され
るからである。底板(5) は、その上面が桟(2) の背面と
同一面になるように設けてもよく、その上面が桟(2) の
背面から若干離れた下方の位置に設けてもよい。なお底
板(5) を設けると、それを設けない場合に比し重量およ
びコストの点では若干不利に作用するので、ユーザーの
要望を考慮して、底板(5) のないトレイカセット、また
は底板(5) のあるトレイカセットとすればよいIn the above description, a trayless cassette composed of only a lattice is described. However, it is preferable to provide a bottom plate (5) at the bottom of the lattice-shaped tray.
When the bottom plate (5) is provided, even if abrasion dust is generated due to friction between the upper end of the resin pin (4) and the back surface of the board (G), the dust may fall on the upper surface of the lower board (G). This is because it is prevented. The bottom plate (5) may be provided so that its upper surface is flush with the back surface of the bar (2), or its upper surface may be provided at a position slightly below the back surface of the bar (2). If the bottom plate (5) is provided, it has a disadvantageous effect on weight and cost as compared with the case where the bottom plate (5) is not provided.Therefore, a tray cassette without the bottom plate (5) or a bottom plate (5 5) Tray cassette with
【００１８】周枠(1) および桟(2) の材質は、樹脂、金
属、あるいは樹脂−金属複合体とし、通常は樹脂を用い
る。張出部材(3) の材質も、樹脂、金属、あるいは樹脂
−金属複合体とし、通常は樹脂を用いる。底板(5) の材
質は、通常は樹脂を用いる。The material of the peripheral frame (1) and the bar (2) is resin, metal, or a resin-metal composite, and usually uses resin. The material of the overhang member (3) is also resin, metal, or a resin-metal composite, and is usually made of resin. The bottom plate (5) is usually made of resin.
【００１９】樹脂ピン(4) は、基板(G) との摩擦によっ
ても発塵を生じがたい発塵防止性樹脂（たとえば、ポリ
エーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイ
ミド、ポリアセタール、ポリアミド、超高分子量ポリエ
チレン、ポリテトラフルオロエチレン、各種エラストマ
ーなど）の成形体を用いることが望ましく、そのときに
はフィラーを実質的に配合しないナチュラル品を用いて
成形を行う。The resin pins (4) are made of a dust-preventing resin (for example, polyetheretherketone, polyimide, polyetherimide, polyacetal, polyamide, ultra-high-density resin), which hardly generates dust even by friction with the substrate (G). It is desirable to use a molded article of high molecular weight polyethylene, polytetrafluoroethylene, various elastomers, etc.), and at that time, molding is performed using a natural product substantially not containing a filler.
【００２０】上記構造のトレイカセットに収容する基板
としては、ガラス基板、セラミックス基板をはじめとす
る各種の基板があげられ、特にガラス基板が重要であ
る。基板が大型ないし超大型であっても、何の問題もな
く対処できるという利点がある。Examples of the substrate accommodated in the tray cassette having the above structure include various substrates such as a glass substrate and a ceramic substrate, and a glass substrate is particularly important. There is an advantage that even if the substrate is large or very large, it can be dealt with without any problem.
【００２１】〈作用〉溝付き側板のリブ状の棚片でガラ
ス基板をその両辺側で支承する従来の方式にあっては、
ガラス基板の大型化につれて撓みが大きくなり、また厚
みが薄いほど撓みが大きくなる。ガラス基板のサイズ
（巾×奥行×厚み）と最大撓み量との関係は、たとえば
次の表１に如くである。<Operation> In a conventional method in which a glass substrate is supported on both sides by a rib-shaped shelf of a grooved side plate,
The bending increases as the size of the glass substrate increases, and the bending increases as the thickness decreases. The relationship between the size (width × depth × thickness) of the glass substrate and the maximum amount of deflection is as shown in Table 1 below, for example.
【００２２】[0022]
【表１】 ガラスサイズ 重量 基板端からの 撓み量 (mm) (kg) 支持長 (mm) (mm) 550× 650×0.7 0.603 10 10 650× 830×0.7 0.910 10 20 900×1100×1.1 2.625 15 28 1000×1000×1.1 2.651 15 36 [Table 1] Glass size Weight Deflection amount from board edge (mm) (kg) Support length (mm) (mm) 550 × 650 × 0.7 0.603 10 10 650 × 830 × 0.7 0.910 10 20 900 × 1100 × 1.1 2.625 15 28 1000 × 1000 × 1.1 2.651 15 36
【００２３】支持長を長くすれば（つまり溝付き側板の
リブ状の棚片の長さを長くすれば）、撓み量は小さくな
るが、強度的な制約があり、またロボットのハンド（フ
ォーク）(6) の挿抜の邪魔になるので、おのずから限界
がある。If the supporting length is increased (that is, if the length of the rib-shaped shelf of the grooved side plate is increased), the amount of bending is reduced, but there is a limitation in strength and the robot hand (fork) (6) There is naturally a limit as it interferes with the insertion and removal of.
【００２４】本発明のトレイカセットにあっては、ガラ
ス基板等の基板を溝付き側板のリブ状の棚片で支承する
従来の方式とは別の機構に基き、格子状のトレイ形のカ
セットを用いている。そして、主枠に付設の張出部材
(3) 上および副枠上に突設した樹脂ピン(4) 上に基板
(G) を載置して、樹脂ピン(4) の上端で基板(G) を下方
から支承するようにしている。そのため、基板(G) が大
型ないし超大型であっても、基板(G) はほとんど撓むこ
となく確実に支承され、またロボットのハンド（フォー
ク）(6) による基板(G) の出入にも何ら支障を生じな
い。According to the tray cassette of the present invention, a lattice-shaped tray-type cassette is formed based on a mechanism different from the conventional system in which a substrate such as a glass substrate is supported by a rib-shaped shelf of a grooved side plate. Used. And an overhang member attached to the main frame
(3) Substrate on resin pins (4) protruding above and subframe
(G) is placed, and the substrate (G) is supported from below by the upper end of the resin pin (4). Therefore, even if the substrate (G) is large or very large, the substrate (G) is securely supported with little bending, and the substrate (G) can be moved in and out by the robot hand (fork) (6). No hindrance occurs.
【００２５】格子状のトレイの底部に底板(5) を設ける
と、樹脂ピン(4) の上端と基板(G)の背面との摩擦によ
ってたとえ摩耗ゴミが生じても、そのゴミが下段の基板
(G)の上面に落下することが防止される。If a bottom plate (5) is provided at the bottom of the grid-shaped tray, even if abrasion dust is generated due to friction between the upper end of the resin pin (4) and the back surface of the substrate (G), the dust is removed from the lower substrate.
(G) is prevented from falling on the upper surface.
【００２６】張出部材(3) の張り出し長さを長くして、
その遊端側に樹脂ピン(4) を突設すると、基板(G) の撓
み量がさらに小さくなるので、より好ましいものとな
る。The overhang length of the overhang member (3) is increased,
When the resin pin (4) is protruded from the free end side, the amount of bending of the substrate (G) is further reduced, which is more preferable.
【００２７】[0027]
【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。The present invention will be further described with reference to the following examples.
【００２８】実施例１ 図１は本発明のトレイカセットの一例を示した斜視図で
ある。図２は図１のトレイカセットのＡ部の拡大図であ
る。図３は図１のトレイカセットのＢ部の拡大図であ
る。Embodiment 1 FIG. 1 is a perspective view showing an example of the tray cassette of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view of a portion A of the tray cassette of FIG. FIG. 3 is an enlarged view of a portion B of the tray cassette of FIG.
【００２９】図１〜３のトレイカセットは、矩形骨格を
形作る周枠(1) と、その周枠(1) 間に架設された桟(2)
とでできている。周枠(1) および桟(2) は、たとえば高
分子量ポリカーボネートやポリエーテルイミドを射出成
形することにより得られる。The tray cassette shown in FIGS. 1 to 3 comprises a peripheral frame (1) forming a rectangular frame, and a bar (2) installed between the peripheral frames (1).
And made of. The peripheral frame (1) and the crosspiece (2) are obtained by, for example, injection molding a high molecular weight polycarbonate or polyetherimide.
【００３０】周枠(1) のうちの左周枠(1L)、右周枠(1R)
および後方周枠(1B)により、主枠が構成されている。主
枠の上面は同一平面にある。The left frame (1L) and the right frame (1R) of the frame (1)
A main frame is constituted by the rear peripheral frame (1B). The upper surface of the main frame is on the same plane.
【００３１】周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と桟(2) と
により、副枠が構成されている。この実施例１では、桟
(2) は、前方周枠(1F)−後方周枠(B) 間に１本を、前方
周枠(1F)の上面と桟(2) の上面とが同一平面となるよう
に、架設してあり、また左周枠(1L)−右周枠(1R)間に２
本を、前方周枠(1F)の上面よりも桟(2) の上面が低くな
るように、架設してある。The front frame (1F) of the frame (1) and the crosspiece (2) constitute a sub-frame. In the first embodiment,
In (2), one is installed between the front peripheral frame (1F) and the rear peripheral frame (B) so that the upper surface of the front peripheral frame (1F) and the upper surface of the crosspiece (2) are flush with each other. Between the left frame (1L) and the right frame (1R).
The book is erected so that the upper surface of the bar (2) is lower than the upper surface of the front peripheral frame (1F).
【００３２】主枠のうち左周枠(1L)および右周枠(1R)に
は、その上面より低い位置に、主枠内側面から張り出す
張出部材(3) を、カセット内側に向けて水平方向に各４
個装着してある（図１参照）。そして、それらの張出部
材(3) のそれぞれの上面には、樹脂ピン(4) を突設して
ある（図２参照）。また、副枠のうち前方周枠(1F)−後
方周枠(1B)間に架設した桟(2) の上面にも、同じ樹脂ピ
ン(4) を計４個突設してある。これら１２個の樹脂ピン
(4) の上端は、主枠上面で形成される平面よりも低位置
の同一平面にあり、かつ樹脂ピン(4) の上端でガラス基
板(G) を支障したときにガラス基板(G) の上面が主枠上
面よりも上にはみ出さないような位置関係にしてある。
樹脂ピン(4) は、たとえばポリエーテルエーテルケト
ン、ポリエーテルイミドまたはエラストマーのナチュラ
ル品の射出成形により得られる。The left peripheral frame (1L) and the right peripheral frame (1R) of the main frame have a projecting member (3) projecting from the inner surface of the main frame at a position lower than the upper surface thereof toward the inside of the cassette. 4 each horizontally
Individually mounted (see FIG. 1). A resin pin (4) is provided on the upper surface of each of the projecting members (3) (see FIG. 2). Also, the same resin pins (4) protrude on the upper surface of the crosspiece (2) installed between the front peripheral frame (1F) and the rear peripheral frame (1B) among the sub-frames. These 12 resin pins
The upper end of (4) is on the same plane at a position lower than the plane formed on the upper surface of the main frame, and when the upper end of the resin pin (4) interferes with the glass substrate (G), The positional relationship is such that the upper surface does not protrude above the upper surface of the main frame.
The resin pin (4) is obtained, for example, by injection molding a natural product of polyetheretherketone, polyetherimide or an elastomer.
【００３３】主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠上
に突設した樹脂ピン(4) 上に載置されたガラス基板(G)
は、たとえば、厚みが 1.1mmとか 0.7mmとかいうように
薄く、かつ９００mm×１１００mmとか１０００mm×１０
００mmというように大型ないし超大型のサイズであって
も、前方周枠(1F)−後方周枠(1B)間に架設した桟(2)の
上面に設置した樹脂ピン(4) により中間部においても支
承されているので、撓み量はごくわずかになっている。
またガラス基板(G) の支承が樹脂ピン(4) の上端のみに
よってなされているので、ガラス基板(G) の背面に加わ
る摩擦力も最小限になっている。A glass substrate (G) mounted on a projecting member (3) attached to the main frame and on a resin pin (4) protruding on the sub-frame.
Is, for example, as thin as 1.1 mm or 0.7 mm, and 900 mm × 1100 mm or 1000 mm × 10 mm.
Even in the case of large or super large size such as 00 mm, the resin pin (4) installed on the upper surface of the crosspiece (2) installed between the front peripheral frame (1F) and the rear peripheral frame (1B) at the middle part , The amount of deflection is very small.
Also, since the glass substrate (G) is supported only by the upper ends of the resin pins (4), the frictional force applied to the back surface of the glass substrate (G) is minimized.
【００３４】上記主枠のうちの４隅部は、トレイの積み
重ねを可能にする入り組み係合構造に形成されている
（図３参照）。The four corners of the main frame are formed in a nested engagement structure which enables stacking of trays (see FIG. 3).
【００３５】上記構造を有するトレイカセットは積み重
ねられ、図１に示したように、ロボットのハンド（フォ
ーク）(6) を、前方周枠(1F)側から前方周枠(1F)とガラ
ス基板(G) との隙間に挿し込むことにより、ガラス基板
(G) の出入がなされる。The tray cassettes having the above structure are stacked, and as shown in FIG. 1, the robot hand (fork) (6) is moved from the front peripheral frame (1F) side to the front peripheral frame (1F) and the glass substrate ( G)
(G) is entered and exited.
【００３６】実施例２ 図４は本発明のトレイカセットの他の一例を示した斜視
図である。Embodiment 2 FIG. 4 is a perspective view showing another example of the tray cassette of the present invention.
【００３７】この実施例２にあっては、実施例１のトレ
イカセットの格子状のトレイの底部に底板(5) を一体に
設けてある。In the second embodiment, a bottom plate (5) is integrally provided at the bottom of the lattice-shaped tray of the tray cassette of the first embodiment.
【００３８】実施例３ 図５は本発明のトレイカセットのさらに他の一例を示し
た斜視図である。Embodiment 3 FIG. 5 is a perspective view showing still another example of the tray cassette of the present invention.
【００３９】この実施例３にあっては、実施例１のトレ
イカセットの格子状のトレイの底部に底板(5) を一体に
設けてあり、また張出部材(3) の張り出し長さを長くし
て、その遊端側に樹脂ピン(4) を突設してある。In the third embodiment, the bottom plate (5) is integrally provided at the bottom of the lattice-shaped tray of the tray cassette of the first embodiment, and the overhang length of the overhang member (3) is increased. In addition, a resin pin (4) protrudes from the free end side.
【００４０】実施例１〜３に示したトレイカセットを比
較すると、この実施例３のトレイカセットが最もすぐれ
ている。Comparing the tray cassettes shown in the first to third embodiments, the tray cassette of the third embodiment is most excellent.
【００４１】実施例４ 図６は本発明のトレイカセットの別の一例を示した斜視
図である。Embodiment 4 FIG. 6 is a perspective view showing another example of the tray cassette of the present invention.
【００４２】この実施例４にあっては、実施例２（図
４）のトレイカセットにさらに変更を加え、桟(2) の一
部を曲線状に形成すると共に、副枠上への樹脂ピン(4)
の数を増やし、さらには正面側の左右１対の張出部材
(3) の張り出し長さを長くして、その遊端側に樹脂ピン
(4) を各２個突設するようにしてある。このトレイカセ
ットにあっては、副枠の強度が上がる上、支持点が多い
ので基板(G) の撓みが一段と小さくなり、しかもロボッ
トのハンド（フォーク）(6) の出入には何の支障も与え
ない。In the fourth embodiment, the tray cassette of the second embodiment (FIG. 4) is further modified so that a part of the crosspiece (2) is formed in a curved shape and the resin pin is placed on the sub-frame. (Four)
And a pair of left and right overhanging members on the front side
Increase the overhang length of (3), and attach a resin pin to its free end.
(4) is to be protruded two each. In this tray cassette, the strength of the sub-frame is increased, and since there are many support points, the deflection of the substrate (G) is further reduced, and there is no hindrance for the hand (fork) (6) of the robot to enter and exit. Do not give.
【００４３】[0043]
【発明の効果】作用の項でも述べたように、本発明のト
レイカセットにあっては、ガラス基板等の基板を溝付き
側板のリブ状の棚片で支承する従来の方式とは別の機構
に基き、格子状のトレイ形のカセットを用いている。そ
して、主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠上に突設
した樹脂ピン(4) 上に基板(G) を載置して、樹脂ピン
(4) の上端で基板(G) を下方から支承するようにしてい
る。そのため、基板(G) が大型ないし超大型であって
も、基板(G) はほとんど撓むことなく確実に支承され、
またロボットのハンド（フォーク）(6) による基板(G)
の出入にも何ら支障を生じない。格子状のトレイの底部
に底板(5) を設けたときは、樹脂ピン(4) の上端と基板
(G) の背面との摩擦によってたとえ摩耗ゴミが生じて
も、そのゴミが下段の基板(G) の上面に落下することが
防止される。張出部材(3) の張り出し長さを長くして、
その遊端側に樹脂ピン(4) を突設すると、基板(G) の撓
み量がさらに小さくなる。As described in the operation section, in the tray cassette of the present invention, a mechanism different from the conventional system in which a substrate such as a glass substrate is supported by a rib-shaped shelf of a grooved side plate. Based on the above, a tray-shaped cassette in a lattice shape is used. Then, the board (G) is placed on the projecting member (3) attached to the main frame and the resin pin (4) projecting from the sub-frame, and the resin pin
The board (G) is supported from below at the upper end of (4). Therefore, even when the substrate (G) is large or very large, the substrate (G) is securely supported with almost no bending,
Substrate (G) by robot hand (fork) (6)
It does not cause any trouble in or out of the building. When the bottom plate (5) is provided on the bottom of the grid-shaped tray, the upper end of the resin pin (4) and the board
Even if abrasion dust is generated due to friction with the back surface of (G), the dust is prevented from dropping on the upper surface of the lower substrate (G). Increase the overhang length of the overhang member (3),
When the resin pin (4) protrudes from the free end side, the amount of deflection of the substrate (G) is further reduced.
【図１】本発明のトレイカセットの一例を示した斜視図
である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a tray cassette of the present invention.
【図２】図１のトレイカセットのＡ部の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a portion A of the tray cassette of FIG.
【図３】図１のトレイカセットのＢ部の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a portion B of the tray cassette of FIG. 1;
【図４】本発明のトレイカセットの他の一例を示した斜
視図である。FIG. 4 is a perspective view showing another example of the tray cassette of the present invention.
【図５】本発明のトレイカセットのさらに他の一例を示
した斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing still another example of the tray cassette of the present invention.
【図６】本発明のトレイカセットの別の一例を示した斜
視図である。FIG. 6 is a perspective view showing another example of the tray cassette of the present invention.
(1) …周枠、 (1L)…左周枠、(1R)…右周枠、(1B)…後方周枠、(1F)…
前方周枠、 (2) …桟、 (3) …張出部材、 (4) …樹脂ピン、 (5) …底板、 (6) …ロボットのハンド（フォーク）、 (G) …基板(1) ... peripheral frame, (1L) ... left peripheral frame, (1R) ... right peripheral frame, (1B) ... rear peripheral frame, (1F) ...
Front peripheral frame, (2) ... crossbar, (3) ... overhang member, (4) ... resin pin, (5) ... bottom plate, (6) ... robot hand (fork), (G) ... board
Claims (2)
(1) 間に架設された桟(2) とからなる基本構造を有する
格子状のトレイ形のカセットであって、 周枠(1) のうちの左周枠(1L)、右周枠(1R)および後方周
枠(1B)により、主枠が構成されると共に、それら主枠の
上面は実質的に同一平面にあり、 周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と、桟(2) とにより、副
枠が構成され、 主枠は、その上面より低い位置に、主枠内側面または主
枠底面から張り出す張出部材(3) を有し、 主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠上には、基板
(G) を下方から支承するための樹脂ピン(4) が突設され
ると共に、これら樹脂ピン(4) の上端は、主枠上面で形
成される平面よりも低位置の実質的に同一平面にあり、 さらに主枠は、トレイの積み重ねを可能にする入り組み
係合構造になされていることを特徴とする基板用トレイ
カセット。1. A peripheral frame (1) forming a rectangular skeleton, and the peripheral frame
(1) A grid-shaped tray-shaped cassette having a basic structure consisting of a crosspiece (2) erected between the left and right peripheral frames (1L) and (1R) of the peripheral frames (1). ) And the rear peripheral frame (1B) constitute a main frame, and the upper surfaces of the main frames are substantially coplanar, and the front peripheral frame (1F) of the peripheral frame (1) and the 2) constitutes a sub-frame, and the main frame has a projecting member (3) projecting from the inner surface of the main frame or the bottom of the main frame at a position lower than the upper surface thereof. On the member (3) and on the sub-frame,
(G) from below are provided with resin pins (4) projecting therefrom, and the upper ends of the resin pins (4) are substantially flush with a plane formed on the upper surface of the main frame. Wherein the main frame has a nested engagement structure that allows stacking of the trays.
れている請求項１記載の基板用トレイカセット。2. The substrate tray cassette according to claim 1, wherein a bottom plate (5) is provided at the bottom of the lattice-shaped tray.
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