JPH10285730A - ガス給排装置 - Google Patents
ガス給排装置Info
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- JPH10285730A JPH10285730A JP9093430A JP9343097A JPH10285730A JP H10285730 A JPH10285730 A JP H10285730A JP 9093430 A JP9093430 A JP 9093430A JP 9343097 A JP9343097 A JP 9343097A JP H10285730 A JPH10285730 A JP H10285730A
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- JP
- Japan
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- gas
- condenser
- path
- discharge device
- vacuum pump
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Gas-Insulated Switchgears (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の目的は、ＳＦ6 ガス給排作業におい
て、ガスの大気放出を低減することのできるガス給排装
置を提供することにある。 【解決手段】真空排気系にガス凝縮器を設置し、ガス絶
縁機器１内部のガス圧力に応じてガス圧縮機８と真空ポ
ンプ１３を自動的に使い分けるとともに、それぞれの機
器に対応して、液体，固体の分解ガスの除去機構６を接
続している。又、ガス絶縁機器１の内部ガスが大気成分
の場合には真空ポンプ１３と直結できるバイパス手段を
設けている。液化回収されたガスを収納するタンクは全
装可搬型のガス回収装置から分離搬送できる構成とし
た。
て、ガスの大気放出を低減することのできるガス給排装
置を提供することにある。 【解決手段】真空排気系にガス凝縮器を設置し、ガス絶
縁機器１内部のガス圧力に応じてガス圧縮機８と真空ポ
ンプ１３を自動的に使い分けるとともに、それぞれの機
器に対応して、液体，固体の分解ガスの除去機構６を接
続している。又、ガス絶縁機器１の内部ガスが大気成分
の場合には真空ポンプ１３と直結できるバイパス手段を
設けている。液化回収されたガスを収納するタンクは全
装可搬型のガス回収装置から分離搬送できる構成とし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電力機器としてのＳ
Ｆ6 ガス絶縁機器のガス給排装置に係わり、特にＳＦ6
ガスの大気放出の少ないガス給排作業に適したガス給排
装置に関する。
Ｆ6 ガス絶縁機器のガス給排装置に係わり、特にＳＦ6
ガスの大気放出の少ないガス給排作業に適したガス給排
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＦ6 ガスはその優れた絶縁性能により
電力機器の絶縁ガスとして欠かせないものとなってい
る。通常は無色無臭無毒の安定なガスであるが、ガス遮
断器の電流遮断に代表されるようにアーク放電、あるい
は高温状態にさらされると一部は酸化硫化系のガスに分
解されるため、ＳＦ6 ガス絶縁機器試験時あるいは保守
点検時にはアルカリ系中和剤もしくは吸着剤により分解
ガスを中和除去した後にガスを回収していた。又、ＳＦ
6 ガスは大気より５倍重いため、空間に充満して酸欠を
引き起こしかねないので機器解体時には注意が払われて
いた。このようなガス給排作業に使用されるガス給排装
置は、分解ガス対策，効率的ガス回収法を主体に考えら
れていた。この種の従来の技術として例えば、特開平9
−856号公報，特開平7−163839 号公報，特開平6−2793
29 号公報，特開平6−257899 号公報，特開平5−38413
号に記載のものがある。
電力機器の絶縁ガスとして欠かせないものとなってい
る。通常は無色無臭無毒の安定なガスであるが、ガス遮
断器の電流遮断に代表されるようにアーク放電、あるい
は高温状態にさらされると一部は酸化硫化系のガスに分
解されるため、ＳＦ6 ガス絶縁機器試験時あるいは保守
点検時にはアルカリ系中和剤もしくは吸着剤により分解
ガスを中和除去した後にガスを回収していた。又、ＳＦ
6 ガスは大気より５倍重いため、空間に充満して酸欠を
引き起こしかねないので機器解体時には注意が払われて
いた。このようなガス給排作業に使用されるガス給排装
置は、分解ガス対策，効率的ガス回収法を主体に考えら
れていた。この種の従来の技術として例えば、特開平9
−856号公報，特開平7−163839 号公報，特開平6−2793
29 号公報，特開平6−257899 号公報，特開平5−38413
号に記載のものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、環境保護の面か
ら種々のガスの見直しが進む中、ＳＦ6 ガスもわずかな
がら地球温暖化を促進していることが指摘されている。
これまで、ＳＦ6 ガスは酸欠にさえ注意を払えばよく、
無毒であるという理由により比較的安易に扱われてきて
いる。ガス回収作業に関しても、０.０５ＭＰａ 程度の
真空までガス圧縮機を使用して回収できれば、その後は
真空ポンプにより、吸引，大気放出するのが一般的であ
った。今後も絶縁ガスとしてＳＦ6 ガスの利用を継続す
るためには、これまでの酸欠・分解ガス対策に加え、大
気放出を極力減らす対策が望まれている。
ら種々のガスの見直しが進む中、ＳＦ6 ガスもわずかな
がら地球温暖化を促進していることが指摘されている。
これまで、ＳＦ6 ガスは酸欠にさえ注意を払えばよく、
無毒であるという理由により比較的安易に扱われてきて
いる。ガス回収作業に関しても、０.０５ＭＰａ 程度の
真空までガス圧縮機を使用して回収できれば、その後は
真空ポンプにより、吸引，大気放出するのが一般的であ
った。今後も絶縁ガスとしてＳＦ6 ガスの利用を継続す
るためには、これまでの酸欠・分解ガス対策に加え、大
気放出を極力減らす対策が望まれている。
【０００４】本発明の第一の目的は、ＳＦ6 ガス給排作
業において、ガスの大気放出を低減することのできるガ
ス給排装置を提供することにある。
業において、ガスの大気放出を低減することのできるガ
ス給排装置を提供することにある。
【０００５】また、第二の目的は、液化回収ガスにより
高度な熱化学的再生が容易に行われるように、タンクを
分離搬送できるようにし、小型で大容量のガス給排装置
を提供することにある。
高度な熱化学的再生が容易に行われるように、タンクを
分離搬送できるようにし、小型で大容量のガス給排装置
を提供することにある。
【０００６】また、第三の目的は、ガスリサイクルをや
りやすくし地球環境に優しいガス変電機器用の保守機器
を提供することにある。
りやすくし地球環境に優しいガス変電機器用の保守機器
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のガス給排装置は、ＳＦ6 ガス絶縁機器と接
続された該ＳＦ6 ガス絶縁機器で発生する分解ガスを中
和あるいは吸着するための除去機構と、該除去機構に接
続され前記ＳＦ6 ガス絶縁機器内のＳＦ6 ガスを真空引
きするための真空ポンプと第二の凝縮器から構成される
第一の経路と、該第一の経路及び前記除去機構と並列に
接続されＳＦ6 ガスを液化するためのガス圧縮機と前記
第二の凝縮器より低い凝縮温度に設定された第一の凝縮
器を具備した液化機構を構成する第二の経路と、前記液
化機構により液化されたガスを蓄える貯蓄タンク機構
と、該貯蓄タンク機構に蓄えた液化ガスを気化してガス
絶縁機器に供給するための蒸発機構を備え、前記ＳＦ6
ガス絶縁機器内の圧力が大気圧以下の時に前記第一の経
路を通過させるように構成したことを特徴とする。
に、本発明のガス給排装置は、ＳＦ6 ガス絶縁機器と接
続された該ＳＦ6 ガス絶縁機器で発生する分解ガスを中
和あるいは吸着するための除去機構と、該除去機構に接
続され前記ＳＦ6 ガス絶縁機器内のＳＦ6 ガスを真空引
きするための真空ポンプと第二の凝縮器から構成される
第一の経路と、該第一の経路及び前記除去機構と並列に
接続されＳＦ6 ガスを液化するためのガス圧縮機と前記
第二の凝縮器より低い凝縮温度に設定された第一の凝縮
器を具備した液化機構を構成する第二の経路と、前記液
化機構により液化されたガスを蓄える貯蓄タンク機構
と、該貯蓄タンク機構に蓄えた液化ガスを気化してガス
絶縁機器に供給するための蒸発機構を備え、前記ＳＦ6
ガス絶縁機器内の圧力が大気圧以下の時に前記第一の経
路を通過させるように構成したことを特徴とする。
【０００８】又、ＳＦ6 ガス絶縁機器と接続された該Ｓ
Ｆ6 ガス絶縁機器で発生する分解ガスを中和あるいは吸
着するための除去機構と、該除去機構に接続され前記Ｓ
Ｆ6ガス絶縁機器内のＳＦ6 ガスを真空引きするための
真空ポンプと第二の凝縮器から構成される第一の経路
と、前記除去機構に接続されＳＦ6 ガスを液化するため
のガス圧縮機と第一の凝縮器を具備した液化機構を構成
する第二の経路と、前記第一の経路もしくは液化機構に
より液化されたガスを蓄える貯蓄タンク機構と、該貯蓄
タンク機構に蓄えた液化ガスを気化してガス絶縁機器に
供給するための蒸発機構を備え、前記ＳＦ6 ガス絶縁機
器内の圧力が大気圧以下の時に前記第一の経路を通過さ
せるように構成したことを特徴とするガス給排装置。
Ｆ6 ガス絶縁機器で発生する分解ガスを中和あるいは吸
着するための除去機構と、該除去機構に接続され前記Ｓ
Ｆ6ガス絶縁機器内のＳＦ6 ガスを真空引きするための
真空ポンプと第二の凝縮器から構成される第一の経路
と、前記除去機構に接続されＳＦ6 ガスを液化するため
のガス圧縮機と第一の凝縮器を具備した液化機構を構成
する第二の経路と、前記第一の経路もしくは液化機構に
より液化されたガスを蓄える貯蓄タンク機構と、該貯蓄
タンク機構に蓄えた液化ガスを気化してガス絶縁機器に
供給するための蒸発機構を備え、前記ＳＦ6 ガス絶縁機
器内の圧力が大気圧以下の時に前記第一の経路を通過さ
せるように構成したことを特徴とするガス給排装置。
【０００９】又、前記ＳＦ6 ガス絶縁機器と前記真空ポ
ンプとを直結するバイパス手段を設けたものである。
又、前記除去機構を液体を封入した中和槽と固体を装着
した吸着槽で構成したものである。又、前記ＳＦ6 ガス
絶縁機器内のガス圧力に応じて異なるガス流路にてガス
回収するようにバルブと機器を制御する構成としたもの
である。又、請求項１から５のいずれかに記載のガス給
排装置を全装可搬に構成するとともに、前記貯蓄タンク
機構には液化ガス収納用のガスタンクを気密保持したま
まガス流路から切り離す手段を設けたことを特徴とす
る。
ンプとを直結するバイパス手段を設けたものである。
又、前記除去機構を液体を封入した中和槽と固体を装着
した吸着槽で構成したものである。又、前記ＳＦ6 ガス
絶縁機器内のガス圧力に応じて異なるガス流路にてガス
回収するようにバルブと機器を制御する構成としたもの
である。又、請求項１から５のいずれかに記載のガス給
排装置を全装可搬に構成するとともに、前記貯蓄タンク
機構には液化ガス収納用のガスタンクを気密保持したま
まガス流路から切り離す手段を設けたことを特徴とす
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図１から図３
を用いて説明する。図１は、本実施例のガス回収装置の
系統図、図２は、本実施例の変形例であるガス回収装置
の一部配管構成図、図３は、本実施例の変形例であるガ
ス回収装置の一部配管構成図である。図１に示すよう
に、本実施例のガス給排装置は、次のように構成されて
いる。ＳＦ6 ガス絶縁機器１への接続部には並列にバル
ブ３とバルブ２０が設けられている。バルブ３には、中
和吸着部４とフィルター５で構成される分解ガスの除去
機構６が接続され、分解ガスの除去機構６にはバルブ１
２を介して真空ポンプ１３が接続されている。真空ポン
プ１３にはバルブ１４を介して大気放出管１５が接続さ
れる一方、バルブ１６を介して第二の凝縮器１７が接続
されている。第二の凝縮器１７は、バルブ１８を介して
バルブ７を具備した配管と合流するように接続されてお
り、合流部はさらにガス圧縮機８と第一の凝縮器９から
構成される液化機構１０に接続され、貯蓄タンク機構１
１，蒸発機構１９を介してバルブ２０と接続されてい
る。
を用いて説明する。図１は、本実施例のガス回収装置の
系統図、図２は、本実施例の変形例であるガス回収装置
の一部配管構成図、図３は、本実施例の変形例であるガ
ス回収装置の一部配管構成図である。図１に示すよう
に、本実施例のガス給排装置は、次のように構成されて
いる。ＳＦ6 ガス絶縁機器１への接続部には並列にバル
ブ３とバルブ２０が設けられている。バルブ３には、中
和吸着部４とフィルター５で構成される分解ガスの除去
機構６が接続され、分解ガスの除去機構６にはバルブ１
２を介して真空ポンプ１３が接続されている。真空ポン
プ１３にはバルブ１４を介して大気放出管１５が接続さ
れる一方、バルブ１６を介して第二の凝縮器１７が接続
されている。第二の凝縮器１７は、バルブ１８を介して
バルブ７を具備した配管と合流するように接続されてお
り、合流部はさらにガス圧縮機８と第一の凝縮器９から
構成される液化機構１０に接続され、貯蓄タンク機構１
１，蒸発機構１９を介してバルブ２０と接続されてい
る。
【００１１】このように構成されたガス給排装置を用い
てＳＦ6 ガス絶縁機器１の気密空間２に充填されたＳＦ
6 ガスを回収する場合には、バルブ１２を閉、バルブ７
を開状態にしているため、中和吸着部４とフィルター５
で構成される分解ガスの除去機構６を経て、ガス圧縮機
８と第一の凝縮器９から構成される液化機構１０により
液化ガスとなり、貯蓄タンク機構１１に蓄えられる。上
述したガス経路にて大気圧以下までガスを回収した後、
バルブ７を閉、バルブ１２を開状態にして流路を変更
し、真空ポンプ１３により吸引して、第一の凝縮器９よ
り高い冷媒温度に設定されている第二の凝縮器１７によ
り水分，油分を除去された後、バルブ１８を経て、液化
機構１０に導かれるようにして回収する。
てＳＦ6 ガス絶縁機器１の気密空間２に充填されたＳＦ
6 ガスを回収する場合には、バルブ１２を閉、バルブ７
を開状態にしているため、中和吸着部４とフィルター５
で構成される分解ガスの除去機構６を経て、ガス圧縮機
８と第一の凝縮器９から構成される液化機構１０により
液化ガスとなり、貯蓄タンク機構１１に蓄えられる。上
述したガス経路にて大気圧以下までガスを回収した後、
バルブ７を閉、バルブ１２を開状態にして流路を変更
し、真空ポンプ１３により吸引して、第一の凝縮器９よ
り高い冷媒温度に設定されている第二の凝縮器１７によ
り水分，油分を除去された後、バルブ１８を経て、液化
機構１０に導かれるようにして回収する。
【００１２】一方、このようにして回収され、貯蓄タン
ク機構１１に蓄えられたガスは、減圧・加熱・蒸発部等
から構成される蒸発機構１９によりガス化され、バルブ
２０を介してＳＦ6 ガス絶縁機器１に供給される。本実
施例によれば、大気圧以下までガス圧縮機でガスを吸引
し、その後もガスを大気放出することなく真空ポンプに
て引き続きガスを吸引できる。
ク機構１１に蓄えられたガスは、減圧・加熱・蒸発部等
から構成される蒸発機構１９によりガス化され、バルブ
２０を介してＳＦ6 ガス絶縁機器１に供給される。本実
施例によれば、大気圧以下までガス圧縮機でガスを吸引
し、その後もガスを大気放出することなく真空ポンプに
て引き続きガスを吸引できる。
【００１３】本実施例の変形例を図２を用いて説明す
る。本例においては、ＳＦ6 ガス絶縁機器１と真空ポン
プ１３とを直結するためのバルブ２５とバイパス手段２
６を設けている。これにより、ＳＦ6 ガス絶縁機器１の
気密空間２が大気である状態から真空引きを行う際に、
中間機器がなくなり圧力損失を最小限にできるため真空
引き所要時間が大幅に短縮できる。
る。本例においては、ＳＦ6 ガス絶縁機器１と真空ポン
プ１３とを直結するためのバルブ２５とバイパス手段２
６を設けている。これにより、ＳＦ6 ガス絶縁機器１の
気密空間２が大気である状態から真空引きを行う際に、
中間機器がなくなり圧力損失を最小限にできるため真空
引き所要時間が大幅に短縮できる。
【００１４】本実施例の変形例を図３を用いて説明す
る。本例では、図３に示すように、ＳＦ6 ガス絶縁機器
１にバルブ３５を介して第二の真空ポンプ３６が接続さ
れている。図１に示す実施例では、ＳＦ6 ガス絶縁機器
１の気密空間２が大気状態でもＳＦ6 ガス充填状態でも
共通の真空ポンプ１３を用いたが、本例では、大気状態
時専用の真空ポンプを設置している。これにより、真空
ポンプ排気に含まれる油蒸気の対策について配慮する必
要がなくなり、排気能力の高い真空ポンプを設置でき、
ＳＦ6 ガス絶縁機器１の気密空間２が大気状態である際
の真空引き時間を大幅に短縮することが可能となる。ま
た、気密空間２がＳＦ6 ガス充填状態である場合には、
真空領域までガス圧縮機８で吸引した後、真空ポンプ１
３が作動すればよく、真空ポンプ１３の特性として排気
能力は低くとも油混入の少ないメカニカルポンプ等を選
択できるため、ガス給排装置全体としてのガス回収性能
を向上することができる。
る。本例では、図３に示すように、ＳＦ6 ガス絶縁機器
１にバルブ３５を介して第二の真空ポンプ３６が接続さ
れている。図１に示す実施例では、ＳＦ6 ガス絶縁機器
１の気密空間２が大気状態でもＳＦ6 ガス充填状態でも
共通の真空ポンプ１３を用いたが、本例では、大気状態
時専用の真空ポンプを設置している。これにより、真空
ポンプ排気に含まれる油蒸気の対策について配慮する必
要がなくなり、排気能力の高い真空ポンプを設置でき、
ＳＦ6 ガス絶縁機器１の気密空間２が大気状態である際
の真空引き時間を大幅に短縮することが可能となる。ま
た、気密空間２がＳＦ6 ガス充填状態である場合には、
真空領域までガス圧縮機８で吸引した後、真空ポンプ１
３が作動すればよく、真空ポンプ１３の特性として排気
能力は低くとも油混入の少ないメカニカルポンプ等を選
択できるため、ガス給排装置全体としてのガス回収性能
を向上することができる。
【００１５】本発明の他の実施例を図４を用いて説明す
る。図４は、本実施例のガス回収装置の系統図である。
る。図４は、本実施例のガス回収装置の系統図である。
【００１６】本実施例のガス回収装置は、図１に示す実
施例と同様に構成されているが、本実施例では、バルブ
１２に第三の凝縮器２１，第四の凝縮器２２を直列に接
続し、第四の凝縮器２２を貯畜タンク機構１１に連結管
２４で接続する一方、バルブ２３を介して真空ポンプ１
３，大気放出管１５に接続している。
施例と同様に構成されているが、本実施例では、バルブ
１２に第三の凝縮器２１，第四の凝縮器２２を直列に接
続し、第四の凝縮器２２を貯畜タンク機構１１に連結管
２４で接続する一方、バルブ２３を介して真空ポンプ１
３，大気放出管１５に接続している。
【００１７】このように構成されたガス給排装置を用い
てＳＦ6 ガス絶縁機器１の気密空間２に充填されたＳＦ
6 ガスを回収する場合には、ＳＦ6 ガス絶縁機器１の気
密空間２に充填されたＳＦ6 ガスを大気圧まで吸引する
過程は図１に示す実施例と同じである。その後、第三の
凝縮器２１で水分その他のＳＦ6 ガス沸点以上の成分を
除去した後、第一の凝縮器９と同じ冷媒温度である第四
の凝縮器２２によりＳＦ6 ガスを液化回収し、連結管２
４を経て貯蓄タンク機構１１へ導いて回収する。この
時、ＳＦ6 ガスより沸点が低いＮ2，Ｏ2，ＣＯ2 等の成
分は液化させず、そのまま真空ポンプ１３より大気放出
管１５を経て大気に放出される。本実施例によれば、ガ
ス大気放出を防止しているほか、高圧力時と真空時とで
流路を完全に分離してガス液化ができるので、ガス系に
不純物が混入しにくい。なお、図２，図３に示す構成
は、本実施例にも適用することができる。
てＳＦ6 ガス絶縁機器１の気密空間２に充填されたＳＦ
6 ガスを回収する場合には、ＳＦ6 ガス絶縁機器１の気
密空間２に充填されたＳＦ6 ガスを大気圧まで吸引する
過程は図１に示す実施例と同じである。その後、第三の
凝縮器２１で水分その他のＳＦ6 ガス沸点以上の成分を
除去した後、第一の凝縮器９と同じ冷媒温度である第四
の凝縮器２２によりＳＦ6 ガスを液化回収し、連結管２
４を経て貯蓄タンク機構１１へ導いて回収する。この
時、ＳＦ6 ガスより沸点が低いＮ2，Ｏ2，ＣＯ2 等の成
分は液化させず、そのまま真空ポンプ１３より大気放出
管１５を経て大気に放出される。本実施例によれば、ガ
ス大気放出を防止しているほか、高圧力時と真空時とで
流路を完全に分離してガス液化ができるので、ガス系に
不純物が混入しにくい。なお、図２，図３に示す構成
は、本実施例にも適用することができる。
【００１８】本発明の他の実施例を図５を用いて説明す
る。図５は、本実施例に係わるガス回収装置の一部配管
構成図である。
る。図５は、本実施例に係わるガス回収装置の一部配管
構成図である。
【００１９】本実施例では、前述した実施例の分解ガス
の除去機構６を、その媒体が石灰水に代表されるアルカ
リ性の液体２７を封入した中和漕２８と、ソーダライム
やゼオライトに代表される粒径状の固体２９を装着した
吸着漕３０とで構成している。この構成では、ＳＦ6 ガ
ス絶縁機器１の気密空間２の絶縁ガスをガス圧縮機８に
より吸引する際には中和漕２８を経由し、真空ポンプ１
３で吸引する際には吸着漕３０を経由するようバルブ３
１，３２，３３，３４を操作する。一般的に、吸引能力
の高いガス圧縮機８の動作時には大量の分解ガスを回収
できるため、中和能力に優れた液体媒体を用い、真空ポ
ンプ１３動作時には、分解ガス除去機構通過時の圧力損
失を低減させるため固体媒体を用いた吸着漕３０を用い
ることで、効率的なガス回収作業が行える。
の除去機構６を、その媒体が石灰水に代表されるアルカ
リ性の液体２７を封入した中和漕２８と、ソーダライム
やゼオライトに代表される粒径状の固体２９を装着した
吸着漕３０とで構成している。この構成では、ＳＦ6 ガ
ス絶縁機器１の気密空間２の絶縁ガスをガス圧縮機８に
より吸引する際には中和漕２８を経由し、真空ポンプ１
３で吸引する際には吸着漕３０を経由するようバルブ３
１，３２，３３，３４を操作する。一般的に、吸引能力
の高いガス圧縮機８の動作時には大量の分解ガスを回収
できるため、中和能力に優れた液体媒体を用い、真空ポ
ンプ１３動作時には、分解ガス除去機構通過時の圧力損
失を低減させるため固体媒体を用いた吸着漕３０を用い
ることで、効率的なガス回収作業が行える。
【００２０】本発明の他の実施例を図６を用いて説明す
る。図６は、本実施例に係わるガス回収装置系統図であ
る。
る。図６は、本実施例に係わるガス回収装置系統図であ
る。
【００２１】本実施例のガス給排装置は、図２に示す例
の分解ガスの除去機構６に図５に示す例を適用した構成
と同様の構成にしているが、ガス絶縁機器１の気密空間
２の圧力を測定する圧力計３７を設置し、中和漕２８と
吸着漕３０を選択するためのバルブ３１，３２，３３，
３４，バイパス手段２６を選択するためのバルブ２５，
真空ポンプ１３系を選択するためのバルブ７，１２，１
８を電磁弁あるいは空気作動弁などの遠隔操作バルブと
し、圧力計３７の出力とともに制御計測線３８を用いて
制御装置３９に接続して、気密空間２内部ガス圧力状態
に応じて各バルブの開閉を制御できるようにしている。
図示していないが、各機器を運転するための動力信号線
も制御装置３９に取り込み、各遠隔操作バルブの開閉に
合わせて各機器の運転停止も同時に行うことができる。
具体的には、気密空間２の内部が大気圧以上のＳＦ6 ガ
ス充填状態である場合には、バルブ３−バルブ３１−中
和漕２８−バルブ３２−バルブ７−液化機構１０という
ガス経路が成立するように各バルブが制御され、圧力計
３７により気密空間２の内部圧力が０.０５ＭＰａ程度
の真空になったと確認された場合、自動的にバルブ３−
バルブ３３−吸着漕３０−バルブ３４−バルブ１２−真
空ポンプ１３−バルブ１６−第二の凝縮器１７−バルブ
１８−液化機構１０というガス経路に切り替えて運転す
る。このように分解ガス除去とガス回収・液化という動
作を、ガス圧力に応じて最適な装置を用いたガス経路を
自動的に形成することができるので、短時間で効率のよ
いガス回収作業が可能になる。
の分解ガスの除去機構６に図５に示す例を適用した構成
と同様の構成にしているが、ガス絶縁機器１の気密空間
２の圧力を測定する圧力計３７を設置し、中和漕２８と
吸着漕３０を選択するためのバルブ３１，３２，３３，
３４，バイパス手段２６を選択するためのバルブ２５，
真空ポンプ１３系を選択するためのバルブ７，１２，１
８を電磁弁あるいは空気作動弁などの遠隔操作バルブと
し、圧力計３７の出力とともに制御計測線３８を用いて
制御装置３９に接続して、気密空間２内部ガス圧力状態
に応じて各バルブの開閉を制御できるようにしている。
図示していないが、各機器を運転するための動力信号線
も制御装置３９に取り込み、各遠隔操作バルブの開閉に
合わせて各機器の運転停止も同時に行うことができる。
具体的には、気密空間２の内部が大気圧以上のＳＦ6 ガ
ス充填状態である場合には、バルブ３−バルブ３１−中
和漕２８−バルブ３２−バルブ７−液化機構１０という
ガス経路が成立するように各バルブが制御され、圧力計
３７により気密空間２の内部圧力が０.０５ＭＰａ程度
の真空になったと確認された場合、自動的にバルブ３−
バルブ３３−吸着漕３０−バルブ３４−バルブ１２−真
空ポンプ１３−バルブ１６−第二の凝縮器１７−バルブ
１８−液化機構１０というガス経路に切り替えて運転す
る。このように分解ガス除去とガス回収・液化という動
作を、ガス圧力に応じて最適な装置を用いたガス経路を
自動的に形成することができるので、短時間で効率のよ
いガス回収作業が可能になる。
【００２２】なお、本実施例においては、同じ目的を有
する２つの装置をそれぞれ単独動作させるようなガス流
路形成として説明したが、それぞれを並列あるいは直列
動作できるように機器配置を換えて構成することで相乗
効果を期待できる。
する２つの装置をそれぞれ単独動作させるようなガス流
路形成として説明したが、それぞれを並列あるいは直列
動作できるように機器配置を換えて構成することで相乗
効果を期待できる。
【００２３】本発明の他の実施例を図７を用いて説明す
る。図７は、本実施例に係わるガス回収装置の一部構成
図である。
る。図７は、本実施例に係わるガス回収装置の一部構成
図である。
【００２４】これまでに述べてきたガス回収装置４０
は、例えば台車４１に代表される移動手段の上に一体と
なって搭載できるものであり、そのまま運搬できる全装
可搬型である。それとともに、貯蓄タンク機構１１内に
設置される液化ガス収納用のガスタンク４２，４３はそ
れぞれ気密を保持したままガス流路から切り離す着脱手
段４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４４ｄを有し、ガスタンク
単独でガス回収装置４０から容易に分離運搬できる構成
とされている。本実施例によれば、ガス給排の対象とな
るガス絶縁機器１のそばにガス回収装置４０を設置でき
る上に、ガス回収装置の連続動作のままで、ガスタンク
交換を可能にした。これはガス回収装置容積の大部分を
占めるガスタンク部をカセット式交換式とすることで、
ガス回収装置小型化と取り扱えるガス給排容量の増加と
いう相反する事柄を可能にした。さらに、回収したＳＦ
6 ガスについて、ガス回収装置内の分解ガス除去手段よ
り高度な熱化学的再生を行うための、ガスタンク輸送が
やりやすくなり、よりいっそうのガスリサイクルが行え
る。
は、例えば台車４１に代表される移動手段の上に一体と
なって搭載できるものであり、そのまま運搬できる全装
可搬型である。それとともに、貯蓄タンク機構１１内に
設置される液化ガス収納用のガスタンク４２，４３はそ
れぞれ気密を保持したままガス流路から切り離す着脱手
段４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４４ｄを有し、ガスタンク
単独でガス回収装置４０から容易に分離運搬できる構成
とされている。本実施例によれば、ガス給排の対象とな
るガス絶縁機器１のそばにガス回収装置４０を設置でき
る上に、ガス回収装置の連続動作のままで、ガスタンク
交換を可能にした。これはガス回収装置容積の大部分を
占めるガスタンク部をカセット式交換式とすることで、
ガス回収装置小型化と取り扱えるガス給排容量の増加と
いう相反する事柄を可能にした。さらに、回収したＳＦ
6 ガスについて、ガス回収装置内の分解ガス除去手段よ
り高度な熱化学的再生を行うための、ガスタンク輸送が
やりやすくなり、よりいっそうのガスリサイクルが行え
る。
【００２５】なお、広く用いられているガス回収装置に
おいては、上記各実施例に記載した機器以外の付属機器
が用いられていることが多い。たとえば、分解ガス除去
機構部６においては固形分解生成物を除去するフィルタ
ーまたはストレーナ，ガス中の水分を吸着するドライ
ヤ，中和漕２８内のアルカリ度を計測するＰＨ計，液化
機構１０のガス圧縮機８においてはプレ＆アフターフィ
ルター，ドライヤー，ガス系全体に設けられている逆止
弁，安全弁，各種操作弁などのほか、各種計測機器など
が挙げられるが、これらを付加することができる。
おいては、上記各実施例に記載した機器以外の付属機器
が用いられていることが多い。たとえば、分解ガス除去
機構部６においては固形分解生成物を除去するフィルタ
ーまたはストレーナ，ガス中の水分を吸着するドライ
ヤ，中和漕２８内のアルカリ度を計測するＰＨ計，液化
機構１０のガス圧縮機８においてはプレ＆アフターフィ
ルター，ドライヤー，ガス系全体に設けられている逆止
弁，安全弁，各種操作弁などのほか、各種計測機器など
が挙げられるが、これらを付加することができる。
【００２６】以上説明したように、ガス絶縁機器にＳＦ
6 ガスが充填されている状態からガスを回収する際に
は、約０.０５ＭＰａ までガス圧縮機系で回収し、その
後は第二の凝縮器を備えた真空ポンプ系にて引き続きガ
スの大気放出なしに回収を行うことができる。ガス圧縮
機の稼動時には大量の分解ガスを回収する可能性がある
ため、中和能力に優れた液体媒体を用い、真空ポンプ動
作時には、分解ガス除去機構通過時の圧力損失を低減さ
せるため固体の吸着剤を用いる。分解ガスを吸引するこ
とがない場合には、ガス絶縁機器と真空ポンプを直結す
るため、迅速な真空排気が可能である。また、タンクの
分離搬送を可能にしたことにより、液化ガスの化学的再
生作業が容易に行われるようになり、ガスの有効活用を
促進することができる。
6 ガスが充填されている状態からガスを回収する際に
は、約０.０５ＭＰａ までガス圧縮機系で回収し、その
後は第二の凝縮器を備えた真空ポンプ系にて引き続きガ
スの大気放出なしに回収を行うことができる。ガス圧縮
機の稼動時には大量の分解ガスを回収する可能性がある
ため、中和能力に優れた液体媒体を用い、真空ポンプ動
作時には、分解ガス除去機構通過時の圧力損失を低減さ
せるため固体の吸着剤を用いる。分解ガスを吸引するこ
とがない場合には、ガス絶縁機器と真空ポンプを直結す
るため、迅速な真空排気が可能である。また、タンクの
分離搬送を可能にしたことにより、液化ガスの化学的再
生作業が容易に行われるようになり、ガスの有効活用を
促進することができる。
【００２７】
【発明の効果】本発明のガス給排装置によれば、ＳＦ6
ガス絶縁機器の気密空間に対するガス給排作業における
ガスの大気放出を最小限に抑えることができ、地球環境
保全に効果的である。また、大気吸引時とガス吸引時と
で適用機器を最適化し、ガス圧力に応じて機器を自動的
に選択させるのでガス回収時間短縮の効果がある。
ガス絶縁機器の気密空間に対するガス給排作業における
ガスの大気放出を最小限に抑えることができ、地球環境
保全に効果的である。また、大気吸引時とガス吸引時と
で適用機器を最適化し、ガス圧力に応じて機器を自動的
に選択させるのでガス回収時間短縮の効果がある。
【００２８】又、回収したガスタンクを着脱可能にして
いるため、ガス回収装置の小型化と、取り扱いガスの大
容量化を可能にし、合わせて、より高度なシステムでの
ガス再生をやりやすくしているため、円滑なガスリサイ
クルシステムを構築することができる。
いるため、ガス回収装置の小型化と、取り扱いガスの大
容量化を可能にし、合わせて、より高度なシステムでの
ガス再生をやりやすくしているため、円滑なガスリサイ
クルシステムを構築することができる。
【図１】本発明の一実施例に係わるガス回収装置の系統
図である。
図である。
【図２】本実施例の変形例であるガス回収装置の一部配
管構成図である。
管構成図である。
【図３】本実施例の変形例であるガス回収装置の一部配
管構成図である。
管構成図である。
【図４】本発明の他の実施例に係わるガス回収装置の系
統図である。
統図である。
【図５】本発明の他の実施例に係わるガス回収装置の一
部配管構成図である。
部配管構成図である。
【図６】本発明の他の実施例に係わるガス回収装置系統
図である。
図である。
【図７】本発明の他の実施例に係わるガス回収装置の一
部構成図である。
部構成図である。
１…ＳＦ6 ガス絶縁機器、２…気密空間、３，７，１
２，１４，１６，１８，２０，２３，２５，３１，３
２，３３，３４，３５…バルブ、４…中和吸着部、５…
フィルター、６…分解ガスの除去機構、８…ガス圧縮
機、９…第一の凝縮器、１０…液化機構、１１…貯蓄タ
ンク機構、１３…真空ポンプ、１５…大気放出管、１７
…第二の凝縮器、１９…蒸発機構、２１…第三の凝縮
器、２２…第四の凝縮器、２４…連結管、２６…バイパ
ス手段、２７…液体、２８…中和漕、２９…固体、３０
…吸着漕、３６…第二の真空ポンプ、３７…圧力計、３
８…制御計測線、３９…制御装置、４０…ガス回収装
置、４１…台車、４２，４３…ガスタンク、４４…着脱
手段。
２，１４，１６，１８，２０，２３，２５，３１，３
２，３３，３４，３５…バルブ、４…中和吸着部、５…
フィルター、６…分解ガスの除去機構、８…ガス圧縮
機、９…第一の凝縮器、１０…液化機構、１１…貯蓄タ
ンク機構、１３…真空ポンプ、１５…大気放出管、１７
…第二の凝縮器、１９…蒸発機構、２１…第三の凝縮
器、２２…第四の凝縮器、２４…連結管、２６…バイパ
ス手段、２７…液体、２８…中和漕、２９…固体、３０
…吸着漕、３６…第二の真空ポンプ、３７…圧力計、３
８…制御計測線、３９…制御装置、４０…ガス回収装
置、４１…台車、４２，４３…ガスタンク、４４…着脱
手段。
Claims (6)
- 【請求項１】ＳＦ6 ガス絶縁機器と接続された該ＳＦ6
ガス絶縁機器で発生する分解ガスを中和あるいは吸着す
るための除去機構と、該除去機構に接続され前記ＳＦ6
ガス絶縁機器内のＳＦ6 ガスを真空引きするための真空
ポンプと第二の凝縮器から構成される第一の経路と、該
第一の経路及び前記除去機構と並列に接続されＳＦ6ガ
スを液化するためのガス圧縮機と前記第二の凝縮器より
低い凝縮温度に設定された第一の凝縮器を具備した液化
機構を構成する第二の経路と、前記液化機構により液化
されたガスを蓄える貯蓄タンク機構と、該貯蓄タンク機
構に蓄えた液化ガスを気化してガス絶縁機器に供給する
ための蒸発機構を備え、前記ＳＦ6 ガス絶縁機器内の圧
力が大気圧以下の時に前記第一の経路を通過させるよう
に構成したことを特徴とするガス給排装置。 - 【請求項２】ＳＦ6 ガス絶縁機器と接続された該ＳＦ6
ガス絶縁機器で発生する分解ガスを中和あるいは吸着す
るための除去機構と、該除去機構に接続され前記ＳＦ6
ガス絶縁機器内のＳＦ6 ガスを真空引きするための真空
ポンプと第二の凝縮器から構成される第一の経路と、前
記除去機構に接続されＳＦ6 ガスを液化するためのガス
圧縮機と第一の凝縮器を具備した液化機構を構成する第
二の経路と、前記第一の経路もしくは液化機構により液
化されたガスを蓄える貯蓄タンク機構と、該貯蓄タンク
機構に蓄えた液化ガスを気化してガス絶縁機器に供給す
るための蒸発機構を備え、前記ＳＦ6 ガス絶縁機器内の
圧力が大気圧以下の時に前記第一の経路を通過させるよ
うに構成したことを特徴とするガス給排装置。 - 【請求項３】前記ＳＦ6 ガス絶縁機器と前記真空ポンプ
とを直結するバイパス手段を設けた請求項１又は２に記
載のガス給排装置。 - 【請求項４】前記除去機構を液体を封入した中和槽と固
体を装着した吸着槽で構成した請求項１から３のいずれ
かに記載のガス給排装置。 - 【請求項５】前記ＳＦ6 ガス絶縁機器内のガス圧力に応
じて異なるガス流路にてガス回収するようにバルブと機
器を制御する請求項１から４のいずれかに記載のガス給
排装置。 - 【請求項６】請求項１から５のいずれかに記載のガス給
排装置を全装可搬に構成するとともに、前記貯蓄タンク
機構には液化ガス収納用のガスタンクを気密保持したま
まガス流路から切り離す手段を設けたことを特徴とする
ガス給排装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9093430A JPH10285730A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | ガス給排装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9093430A JPH10285730A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | ガス給排装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10285730A true JPH10285730A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=14082102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9093430A Pending JPH10285730A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | ガス給排装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10285730A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100764109B1 (ko) | 2007-03-16 | 2007-10-05 | 우성진공기술(주) | 육불화황가스 액화회수장치 |
| KR101083369B1 (ko) | 2009-08-11 | 2011-11-14 | 우성진공기술(주) | 액화회수장치 및 액화회수방법 |
| CN111066877A (zh) * | 2018-10-22 | 2020-04-28 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种真空预冷系统 |
-
1997
- 1997-04-11 JP JP9093430A patent/JPH10285730A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100764109B1 (ko) | 2007-03-16 | 2007-10-05 | 우성진공기술(주) | 육불화황가스 액화회수장치 |
| KR101083369B1 (ko) | 2009-08-11 | 2011-11-14 | 우성진공기술(주) | 액화회수장치 및 액화회수방법 |
| CN111066877A (zh) * | 2018-10-22 | 2020-04-28 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种真空预冷系统 |
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