JPH10284582A - 半導体基板の温度調節器及び半導体基板の冷却方法 - Google Patents
半導体基板の温度調節器及び半導体基板の冷却方法Info
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- JPH10284582A JPH10284582A JP9102477A JP10247797A JPH10284582A JP H10284582 A JPH10284582 A JP H10284582A JP 9102477 A JP9102477 A JP 9102477A JP 10247797 A JP10247797 A JP 10247797A JP H10284582 A JPH10284582 A JP H10284582A
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【解決すべき課題】ウェーハを、温度分布の不均一がな
く冷却できる温度調節器を開示する。 【課題の解決手段】ウェーハ載置する温度調節プレート
３の裏面に接触状態で設けられた熱電変換素子が、温度
調節プレートの中央域３ａに接触する中央域グループ７
ａ、…と、その囲繞域３ｂに接触する囲繞域グループ７
ｂ、…とによって構成され、これらの熱電変換素子の他
側には、内部に熱媒体流路が形成されている熱交換器４
が接触しており、中央域グループと囲繞域グループの熱
電変換素子群は、夫々の熱電変換素子グループの接触域
の温度を検出する温度センサ２ａ、２ｂと、それらの検
出信号により熱電変換素子群７ａ、…，７ｂ、…の駆動
を制御する制御器Ｓ1、Ｓ2とを、グループ毎に個別に備
えている半導体基板の温度調節器。
く冷却できる温度調節器を開示する。 【課題の解決手段】ウェーハ載置する温度調節プレート
３の裏面に接触状態で設けられた熱電変換素子が、温度
調節プレートの中央域３ａに接触する中央域グループ７
ａ、…と、その囲繞域３ｂに接触する囲繞域グループ７
ｂ、…とによって構成され、これらの熱電変換素子の他
側には、内部に熱媒体流路が形成されている熱交換器４
が接触しており、中央域グループと囲繞域グループの熱
電変換素子群は、夫々の熱電変換素子グループの接触域
の温度を検出する温度センサ２ａ、２ｂと、それらの検
出信号により熱電変換素子群７ａ、…，７ｂ、…の駆動
を制御する制御器Ｓ1、Ｓ2とを、グループ毎に個別に備
えている半導体基板の温度調節器。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として、半導体
素子の製造過程において、リソグラフィ工程を行う際な
どに、高温に加熱された半導体ウェーハを均一な温度分
布を保って冷却或いは保温するのに適した装置とこの装
置を用いた冷却方法に関するものである。
素子の製造過程において、リソグラフィ工程を行う際な
どに、高温に加熱された半導体ウェーハを均一な温度分
布を保って冷却或いは保温するのに適した装置とこの装
置を用いた冷却方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】このような半導体素子の製造工程では、高
温（１２０〜１５０℃）に加熱処理されたウェーハを急
速に冷却する工程を何度も繰り返す必要があるため、製
造効率の面から、冷却速度のスピードアップが求められ
ており、また、歩留まり向上の面から、熱歪みを出来得
る限り小さく抑えるために、冷却過程におけるウェーハ
の温度分布の均一性が厳しく求められている。
温（１２０〜１５０℃）に加熱処理されたウェーハを急
速に冷却する工程を何度も繰り返す必要があるため、製
造効率の面から、冷却速度のスピードアップが求められ
ており、また、歩留まり向上の面から、熱歪みを出来得
る限り小さく抑えるために、冷却過程におけるウェーハ
の温度分布の均一性が厳しく求められている。
【０００３】この種の装置としては、図５に示すよう
に、ウェーハを載置するための基板載置板１００の下面
に、適当数の熱電変換素子１１４の一面を接触させ、該
熱電変換素子１１４の他側の面には、内部に冷却水が流
れる熱交換器１１０を接触させ、基板載置板１００に内
蔵させた温度検出器１１５の検出信号を、マイクロコン
ピュータ１１７に入力し、制御器１１６を通して、熱電
変換素子へ、ウェーハが高温のときは、大きな電流を流
して急冷し、ウェーハが目標温度に近づいたら、急冷信
号を停止して、ウェーハが過冷却にならないように、冷
却するものが、知られている。（特開平６−２８３４９
３号公報参照）。１１１は、熱交換器１１０への給水
管、１１２は、排水管である。
に、ウェーハを載置するための基板載置板１００の下面
に、適当数の熱電変換素子１１４の一面を接触させ、該
熱電変換素子１１４の他側の面には、内部に冷却水が流
れる熱交換器１１０を接触させ、基板載置板１００に内
蔵させた温度検出器１１５の検出信号を、マイクロコン
ピュータ１１７に入力し、制御器１１６を通して、熱電
変換素子へ、ウェーハが高温のときは、大きな電流を流
して急冷し、ウェーハが目標温度に近づいたら、急冷信
号を停止して、ウェーハが過冷却にならないように、冷
却するものが、知られている。（特開平６−２８３４９
３号公報参照）。１１１は、熱交換器１１０への給水
管、１１２は、排水管である。
【０００４】ウェーハは、基板載置板に直接接触するよ
うに、置かれたり、或いは、温度調節プレート（前記基
板載置板に相当する）の温度が不均一な場合は、該温度
調節プレートとウェーハとの間に、数百ミクロンのオー
ダーの微小透き間をあけて、温度調節プレートに装着
し、主としてウェーハからの輻射熱を温度調節プレート
が吸収するようにして、放射冷却させることも行われ
る。
うに、置かれたり、或いは、温度調節プレート（前記基
板載置板に相当する）の温度が不均一な場合は、該温度
調節プレートとウェーハとの間に、数百ミクロンのオー
ダーの微小透き間をあけて、温度調節プレートに装着
し、主としてウェーハからの輻射熱を温度調節プレート
が吸収するようにして、放射冷却させることも行われ
る。
【０００５】ところで、実際の冷却過程においては、温
度調節プレートは、周囲の温度の影響を受けやすく、周
囲雰囲気から熱を吸収し易いプレート周縁部の温度は高
くなり、温度調節プレートの中心部の温度は、周囲雰囲
気の影響を受けにくいため、その温度は低く保たれる。
従って、冷却過程におけるウェーハ温度を測定すると、
例えば、１２０℃に加熱されたウェーハを、略４０秒程
度で、室温（２３℃）に、冷却する場合、ウェーハ周縁
部とウェーハ中心部との温度差は、冷却開始からほぼ１
０秒後当たりから出現し、２０秒を経過するまでに３０
〜５０℃となる。この傾向は、特に、微小透き間を置い
て、ウェーハを温度調節プレートに装着した場合に著し
い。
度調節プレートは、周囲の温度の影響を受けやすく、周
囲雰囲気から熱を吸収し易いプレート周縁部の温度は高
くなり、温度調節プレートの中心部の温度は、周囲雰囲
気の影響を受けにくいため、その温度は低く保たれる。
従って、冷却過程におけるウェーハ温度を測定すると、
例えば、１２０℃に加熱されたウェーハを、略４０秒程
度で、室温（２３℃）に、冷却する場合、ウェーハ周縁
部とウェーハ中心部との温度差は、冷却開始からほぼ１
０秒後当たりから出現し、２０秒を経過するまでに３０
〜５０℃となる。この傾向は、特に、微小透き間を置い
て、ウェーハを温度調節プレートに装着した場合に著し
い。
【０００６】これは、従来の温度調節プレートが、この
ような現象に気づいておらず、熱電変換素子（ペルチェ
素子）を、温度調節プレートの裏面に、ほぼ均一に分布
するように配設しており、温度調節プレートの１カ所に
設けられた温度検出器による温度検出信号により、これ
らのペルチェ素子の駆動を制御しているので、ともすれ
ば、ウェーハ周辺部の冷却不足や、或いは、中心部の過
冷却を招く恐れがあった。
ような現象に気づいておらず、熱電変換素子（ペルチェ
素子）を、温度調節プレートの裏面に、ほぼ均一に分布
するように配設しており、温度調節プレートの１カ所に
設けられた温度検出器による温度検出信号により、これ
らのペルチェ素子の駆動を制御しているので、ともすれ
ば、ウェーハ周辺部の冷却不足や、或いは、中心部の過
冷却を招く恐れがあった。
【０００７】
【解決すべき課題】本発明の第１の目的は、ウェーハ
を、場所による温度分布の不均一がなく、均一温度を保
って、急速に冷却できる温度調節器を開示することにあ
る。
を、場所による温度分布の不均一がなく、均一温度を保
って、急速に冷却できる温度調節器を開示することにあ
る。
【０００８】本発明の第２の目的は、ウェーハを、中心
からの距離による温度の不均一がなく、所定の温度に保
持することができる温度調節器を開示することにある。
からの距離による温度の不均一がなく、所定の温度に保
持することができる温度調節器を開示することにある。
【０００９】本発明の第３の目的は、ウェーハを、均一
に温度を保ったまま、急速冷却をする方法を開示するこ
とにある。
に温度を保ったまま、急速冷却をする方法を開示するこ
とにある。
【００１０】
【課題の解決手段】本発明の第一の要旨は、熱良導性素
材から成り半導体基板を接触若しくは近接させて載置可
能な一面を備え、他面には熱電変換素子がその一側にお
いて熱交換自在に接触する温度調節プレートと、前記熱
電変換素子の他側には、内部に熱媒体流路が形成されて
いる熱交換器が熱授受可能に接触している温度調節器に
おいて、前記熱電変換素子が、前記温度調節プレートの
中央域に接触する中央域グループと、該中央域を同心状
に囲む１以上の囲繞域の夫々に接触する１以上の囲繞域
グループとによって構成され、前記中央域グループ及び
１以上の囲繞域グループの夫々に属する熱電変換素子
は、夫々の熱電変換素子グループの接触域の温度を検出
する温度センサと、該温度センサの検出信号により当該
熱電変換素子の駆動を制御する制御器とを、グループ毎
に個別に備えていることを特徴とする半導体基板の温度
調節器にある。
材から成り半導体基板を接触若しくは近接させて載置可
能な一面を備え、他面には熱電変換素子がその一側にお
いて熱交換自在に接触する温度調節プレートと、前記熱
電変換素子の他側には、内部に熱媒体流路が形成されて
いる熱交換器が熱授受可能に接触している温度調節器に
おいて、前記熱電変換素子が、前記温度調節プレートの
中央域に接触する中央域グループと、該中央域を同心状
に囲む１以上の囲繞域の夫々に接触する１以上の囲繞域
グループとによって構成され、前記中央域グループ及び
１以上の囲繞域グループの夫々に属する熱電変換素子
は、夫々の熱電変換素子グループの接触域の温度を検出
する温度センサと、該温度センサの検出信号により当該
熱電変換素子の駆動を制御する制御器とを、グループ毎
に個別に備えていることを特徴とする半導体基板の温度
調節器にある。
【００１１】上記において、温度調節プレートは、アル
ミニウム、銅、それらの合金などから構成される。熱交
換器としては、同様の素材から成る伝熱ブロック中に、
水やブラインなどの熱媒体の流路を渦巻き状や蛇行配設
したものなどが挙げられる。このような温度調節プレー
トは、その中心部を含む中央域と、これを同心状に囲む
第１囲繞域、更に、該第１囲繞域の外側に第２囲繞域と
いうように、必要に応じて、２以上の囲繞域が設けられ
る。中央域と第１囲繞域との境界部や、第１囲繞域と第
２囲繞域との境界部には、境界を区画して示す物理的も
のは、必ずしも、必要ではないが、これらの境界部に、
熱電変換素子グループの接触域間の熱移動を妨げるため
の周溝若しくは断熱素材が充填された周溝を形成するこ
とにより、温度センサの検出信号が、ペルチェ素子接触
域間における相互の熱干渉の影響が小さくなり、より均
一度の高いウェーハの冷却ができる。
ミニウム、銅、それらの合金などから構成される。熱交
換器としては、同様の素材から成る伝熱ブロック中に、
水やブラインなどの熱媒体の流路を渦巻き状や蛇行配設
したものなどが挙げられる。このような温度調節プレー
トは、その中心部を含む中央域と、これを同心状に囲む
第１囲繞域、更に、該第１囲繞域の外側に第２囲繞域と
いうように、必要に応じて、２以上の囲繞域が設けられ
る。中央域と第１囲繞域との境界部や、第１囲繞域と第
２囲繞域との境界部には、境界を区画して示す物理的も
のは、必ずしも、必要ではないが、これらの境界部に、
熱電変換素子グループの接触域間の熱移動を妨げるため
の周溝若しくは断熱素材が充填された周溝を形成するこ
とにより、温度センサの検出信号が、ペルチェ素子接触
域間における相互の熱干渉の影響が小さくなり、より均
一度の高いウェーハの冷却ができる。
【００１２】上記第１要旨にかかるウェーハ温度調節器
は、温度調節プレートの温度を、中央域と１以上の囲繞
域の夫々に設けた温度センサに目標温度を設定すること
により、冷却過程において、温度調節プレートの周辺部
から中心部に向けて温度が降下して行く、温度勾配の発
生に応じて、各グループに属する熱電変換素子群は、夫
々の接触域の温度検出信号に応じて、制御器から周辺部
のグループには、比較的大きな電流が、中央域に向かう
につれて、より小さな電流が供給されることにより、温
度調節プレートの温度差が解消され、これによって冷却
されるウェーハも、中心からの距離による温度の不均一
が解消され、均一な温度分布を保持したまま目標温度ま
で急速冷却される。断熱素材としては、耐熱性に優れ、
熱膨張係数が温度調節プレートのそれに近いものが望ま
しい。
は、温度調節プレートの温度を、中央域と１以上の囲繞
域の夫々に設けた温度センサに目標温度を設定すること
により、冷却過程において、温度調節プレートの周辺部
から中心部に向けて温度が降下して行く、温度勾配の発
生に応じて、各グループに属する熱電変換素子群は、夫
々の接触域の温度検出信号に応じて、制御器から周辺部
のグループには、比較的大きな電流が、中央域に向かう
につれて、より小さな電流が供給されることにより、温
度調節プレートの温度差が解消され、これによって冷却
されるウェーハも、中心からの距離による温度の不均一
が解消され、均一な温度分布を保持したまま目標温度ま
で急速冷却される。断熱素材としては、耐熱性に優れ、
熱膨張係数が温度調節プレートのそれに近いものが望ま
しい。
【００１３】本発明の第二の要旨は、熱良導性素材から
成り半導体基板を接触若しくは近接させて載置可能な一
面を備え、他面には熱電変換素子がその一側において熱
交換自在に接触する温度調節プレートと、前記熱電変換
素子の他側には、内部に熱媒体流路が形成されている熱
交換器が熱授受可能に接触している基板温度調節器にお
いて、前記熱電変換素子が、前記温度調節プレートの中
央域に接触する中央域グループと、該中央域を同心状に
囲む１以上の囲繞域の夫々に接触する、１以上の囲繞域
グループとによって構成され、前記中央域グループ及び
１以上の囲繞域グループの夫々に属する熱電変換素子
は、夫々の熱電変換素子グループの接触域の温度を検出
する温度センサと、該温度センサの検出信号により当該
熱電変換素子の駆動を制御する制御器とを、個別に備え
ている半導体基板の温度調節器を用いて、前記温度調節
プレートに装着した半導体基板を所定時間冷却した後、
前記夫々の温度センサの検出信号を比較し、温度差が所
定の値以下のとき、より内側域に属する熱電変換素子グ
ループの作動を停止することを特徴とする半導体基板の
冷却方法にある。
成り半導体基板を接触若しくは近接させて載置可能な一
面を備え、他面には熱電変換素子がその一側において熱
交換自在に接触する温度調節プレートと、前記熱電変換
素子の他側には、内部に熱媒体流路が形成されている熱
交換器が熱授受可能に接触している基板温度調節器にお
いて、前記熱電変換素子が、前記温度調節プレートの中
央域に接触する中央域グループと、該中央域を同心状に
囲む１以上の囲繞域の夫々に接触する、１以上の囲繞域
グループとによって構成され、前記中央域グループ及び
１以上の囲繞域グループの夫々に属する熱電変換素子
は、夫々の熱電変換素子グループの接触域の温度を検出
する温度センサと、該温度センサの検出信号により当該
熱電変換素子の駆動を制御する制御器とを、個別に備え
ている半導体基板の温度調節器を用いて、前記温度調節
プレートに装着した半導体基板を所定時間冷却した後、
前記夫々の温度センサの検出信号を比較し、温度差が所
定の値以下のとき、より内側域に属する熱電変換素子グ
ループの作動を停止することを特徴とする半導体基板の
冷却方法にある。
【００１４】前記第一要旨に係る温度調節器は、制御器
により、高温ウェーハの冷却初期における、温度調節プ
レートの温度を、熱電変換素子に大きな電力を供給し
て、急速冷却し、温度センサの検出信号が、室温（若し
くは、所望冷却温度）に近い一定値を示したら、供給電
力量を大幅に減ずるようにして、ウェーハの過冷却を防
止してもよいが、第二要旨に係る冷却方法のように、ウ
ェーハの温度が急速冷却を必要とする高温期を過ぎて目
標温度に近づくのに必要な一定時間が経過したら、互い
に隣り合う熱電変換素子グループの接触域同士の温度を
常に比較し、両者の温度差が、予め設定した一定値以下
になったら、温度調節プレートの中心により近い熱電変
換素子グループの通電を停止するようにすれば、過冷却
の無い、より安定な均一温度冷却が実現する。
により、高温ウェーハの冷却初期における、温度調節プ
レートの温度を、熱電変換素子に大きな電力を供給し
て、急速冷却し、温度センサの検出信号が、室温（若し
くは、所望冷却温度）に近い一定値を示したら、供給電
力量を大幅に減ずるようにして、ウェーハの過冷却を防
止してもよいが、第二要旨に係る冷却方法のように、ウ
ェーハの温度が急速冷却を必要とする高温期を過ぎて目
標温度に近づくのに必要な一定時間が経過したら、互い
に隣り合う熱電変換素子グループの接触域同士の温度を
常に比較し、両者の温度差が、予め設定した一定値以下
になったら、温度調節プレートの中心により近い熱電変
換素子グループの通電を停止するようにすれば、過冷却
の無い、より安定な均一温度冷却が実現する。
【００１５】
【発明の実施形態】図１〜２は、本発明に係る温度調節
器の一実施態様の要部を示すものである。円形アルミニ
ウム厚板から成る温度調節プレート３は、表面３ｄと裏
面３ｅとは、平滑面をなし、裏面３ｅには、熱電変換素
子７ａ、７ａ、…、７ｂ、７ｂ、…が、その吸放熱面の
一側において、密接している。温度調節プレート３は、
その中心Ｏを中心とする同心円を表す仮想線Ｌによって
囲まれる中央域３ａと、該仮想線Ｌの外側の囲繞域３ｂ
とに、分画されている。裏面３ｅには、この仮想線Ｌに
対応する位置に、周溝３ｃが、刻設されている。
器の一実施態様の要部を示すものである。円形アルミニ
ウム厚板から成る温度調節プレート３は、表面３ｄと裏
面３ｅとは、平滑面をなし、裏面３ｅには、熱電変換素
子７ａ、７ａ、…、７ｂ、７ｂ、…が、その吸放熱面の
一側において、密接している。温度調節プレート３は、
その中心Ｏを中心とする同心円を表す仮想線Ｌによって
囲まれる中央域３ａと、該仮想線Ｌの外側の囲繞域３ｂ
とに、分画されている。裏面３ｅには、この仮想線Ｌに
対応する位置に、周溝３ｃが、刻設されている。
【００１６】この中央域３ａの裏面（周溝３ｃの内側）
には、複数（図１では４個）の熱電変換素子７ａ、７
ａ、…が、接触しており、囲繞域３ｂの裏面には、同様
の熱電変換素子７ｂ、７ｂ、７ｂ、…が、熱授受自在に
接触している。中央域３ａを接触域とする熱電変換素子
群（７ａ、７ａ、…）は、中央域グループとして、電気
的に一連に接続されている。同様に、囲繞域３ｂの裏面
（周溝３ｃの外側）の熱電変換素子群（７ｂ、７ｂ、
…）は、囲繞域グループとして、中央域グループとは、
別回路構成となっている。
には、複数（図１では４個）の熱電変換素子７ａ、７
ａ、…が、接触しており、囲繞域３ｂの裏面には、同様
の熱電変換素子７ｂ、７ｂ、７ｂ、…が、熱授受自在に
接触している。中央域３ａを接触域とする熱電変換素子
群（７ａ、７ａ、…）は、中央域グループとして、電気
的に一連に接続されている。同様に、囲繞域３ｂの裏面
（周溝３ｃの外側）の熱電変換素子群（７ｂ、７ｂ、
…）は、囲繞域グループとして、中央域グループとは、
別回路構成となっている。
【００１７】中央域グループに属する熱電変換素子群
は、中央域３ａに埋設された温度センサ２ａの検出信号
を受け入れて、これを増幅する増幅器８ａと、比較器１
１ａとによって構成される制御器Ｓ1により、その作動
が制御される。比較器１１ａは、増幅器８ａの出力信号
と、予め設定器９に温度調節プレートの目標温度として
設定されている設定温度信号とを比較し、その偏差値に
より、直流電源１０ａに制御出力信号を送る。同様に、
囲繞域グループに属する熱電変換素子群は、囲繞域に埋
設された温度センサ２ｂの検出信号により、増幅器８
ｂ、比較器１１ｂ、設定器９等から成る制御器Ｓ2から
制御信号が出力され、この制御信号に応じて直流電源１
０ｂから出力された駆動電流により温度調節プレート３
を冷却する。
は、中央域３ａに埋設された温度センサ２ａの検出信号
を受け入れて、これを増幅する増幅器８ａと、比較器１
１ａとによって構成される制御器Ｓ1により、その作動
が制御される。比較器１１ａは、増幅器８ａの出力信号
と、予め設定器９に温度調節プレートの目標温度として
設定されている設定温度信号とを比較し、その偏差値に
より、直流電源１０ａに制御出力信号を送る。同様に、
囲繞域グループに属する熱電変換素子群は、囲繞域に埋
設された温度センサ２ｂの検出信号により、増幅器８
ｂ、比較器１１ｂ、設定器９等から成る制御器Ｓ2から
制御信号が出力され、この制御信号に応じて直流電源１
０ｂから出力された駆動電流により温度調節プレート３
を冷却する。
【００１８】４は、熱電変換素子７ａ、ｂの放熱側に密
接して、これを冷却する熱交換器で、アルミニウム製の
厚板中に、熱媒体の流路を蛇行配設したものから成る。
熱媒体としては、冷却水で十分であるが、万一の漏水を
考慮すれば、他の周辺機器に影響の無い熱媒体を用いる
のが望ましい。４ａは、熱媒体の流入管、４ｂは、流出
管である。
接して、これを冷却する熱交換器で、アルミニウム製の
厚板中に、熱媒体の流路を蛇行配設したものから成る。
熱媒体としては、冷却水で十分であるが、万一の漏水を
考慮すれば、他の周辺機器に影響の無い熱媒体を用いる
のが望ましい。４ａは、熱媒体の流入管、４ｂは、流出
管である。
【００１９】
【作用】このような構成から成る本願半導体基板温度調
節器１は、設定器９に、温度調節プレートの目標冷却温
度を設定する。高温のウェーハが温度調節プレートに載
置（若しくは若干の微小透き間を隔てて載置）される
と、温度調節プレートの温度は上昇し、中央域３ａと囲
繞域３ｂの温度を夫々検出する温度センサ２ａ、２ｂ
は、制御器Ｓ1、Ｓ2に検出信号を送り、夫々の制御器
は、比較器１１ａ、１１ｂにおいて、設定値と検出信号
とを比較し、夫々の偏差値にみあった直流電力を、中央
域グループの熱電変換素子７ａ、７ａ、…と、囲繞域グ
ループに属する熱電変換素子群７ｂ、７ｂ、…とに、出
力する。
節器１は、設定器９に、温度調節プレートの目標冷却温
度を設定する。高温のウェーハが温度調節プレートに載
置（若しくは若干の微小透き間を隔てて載置）される
と、温度調節プレートの温度は上昇し、中央域３ａと囲
繞域３ｂの温度を夫々検出する温度センサ２ａ、２ｂ
は、制御器Ｓ1、Ｓ2に検出信号を送り、夫々の制御器
は、比較器１１ａ、１１ｂにおいて、設定値と検出信号
とを比較し、夫々の偏差値にみあった直流電力を、中央
域グループの熱電変換素子７ａ、７ａ、…と、囲繞域グ
ループに属する熱電変換素子群７ｂ、７ｂ、…とに、出
力する。
【００２０】従って、周囲雰囲気からの熱影響より、高
温になる囲繞域を冷却する囲繞域グループの熱電変換素
子群には、中央域グループのそれよりも、より大きな電
流が供給されることにより、温度調節プレートの温度分
布は均一化され、これに接触するウェーハも、均一な温
度分布を保持して急冷される。目標温度に近づくにつれ
て、供給電力は、減少し、目標温度に到達すれば、目標
温度を維持するように働く。
温になる囲繞域を冷却する囲繞域グループの熱電変換素
子群には、中央域グループのそれよりも、より大きな電
流が供給されることにより、温度調節プレートの温度分
布は均一化され、これに接触するウェーハも、均一な温
度分布を保持して急冷される。目標温度に近づくにつれ
て、供給電力は、減少し、目標温度に到達すれば、目標
温度を維持するように働く。
【００２１】温度調節プレートの温度制御の精度は、温
度センサの検出信号が、正確に温度調節プレートの状態
を反映しているか否かにかかっている。周溝３ｃは、囲
繞域と中央域との熱移動を妨げ、或いは、緩和すること
により、相互の熱干渉に基づく検出誤差を少なくするた
めの配慮である。溝の深さを深くして、これに、フッ素
樹脂などのような耐熱性樹脂や、セラミックスなどから
成る断熱材を充填してもよい。
度センサの検出信号が、正確に温度調節プレートの状態
を反映しているか否かにかかっている。周溝３ｃは、囲
繞域と中央域との熱移動を妨げ、或いは、緩和すること
により、相互の熱干渉に基づく検出誤差を少なくするた
めの配慮である。溝の深さを深くして、これに、フッ素
樹脂などのような耐熱性樹脂や、セラミックスなどから
成る断熱材を充填してもよい。
【００２２】温度調節プレートの他の温度制御方法とし
ては、例えば、図４に示す制御器を準備する。即ち、温
度センサ２ａ、２ｂの増幅信号の出力端子か、若しく
は、これに比例する信号を出力する制御器Ｓ1とＳ2の出
力端子を、演算器１２に接続し、この算出温度差信号の
出力端子と、所定の微小温度（例えば、０.５℃）が設
定してある設定器とを、判定比較器１３の入力端子に接
続する。判定比較器１３の出力端子は、論理積回路１５
に接続すると共に、論理積回路１５の他の入力端子に
は、ウェーハ温度が急速冷却期を過ぎて室温（若しくは
目標設定温度）近くに冷却されるのに十分な一定の時間
を設定したタイマー１４を接続し、論理積回路１５の出
力端子には、過冷却になり易い中央域グループの熱電変
換素子群の駆動回路に介設したリレー回路１６に接続し
ておく。
ては、例えば、図４に示す制御器を準備する。即ち、温
度センサ２ａ、２ｂの増幅信号の出力端子か、若しく
は、これに比例する信号を出力する制御器Ｓ1とＳ2の出
力端子を、演算器１２に接続し、この算出温度差信号の
出力端子と、所定の微小温度（例えば、０.５℃）が設
定してある設定器とを、判定比較器１３の入力端子に接
続する。判定比較器１３の出力端子は、論理積回路１５
に接続すると共に、論理積回路１５の他の入力端子に
は、ウェーハ温度が急速冷却期を過ぎて室温（若しくは
目標設定温度）近くに冷却されるのに十分な一定の時間
を設定したタイマー１４を接続し、論理積回路１５の出
力端子には、過冷却になり易い中央域グループの熱電変
換素子群の駆動回路に介設したリレー回路１６に接続し
ておく。
【００２３】図４に示す制御回路において、制御器Ｓ1
とＳ2の出力信号は、演算器１２に入力して、中央域３
ａと囲繞域３ｂとの温度差が算出される。この算出され
た温度差信号と、予め設定器１７に設定して置いた所定
の微小温度設定値とが、判定比較器１３において、比較
されて、温度差信号が設定値以下になると、論理積回路
１５に出力する。このような状態において、論理積回路
１５の他の入力端子に、タイマー１４が、一定の時間経
過後に信号を出力する。上記判定比較器１３の出力信号
とタイマー１４の出力出力が論理積回路１５へ同時に入
力すると、論理積回路１５からリレー信号が出力され、
リレー回路１６が付勢され、中央域グループの熱電変換
素子群の駆動回路は、遮断される。
とＳ2の出力信号は、演算器１２に入力して、中央域３
ａと囲繞域３ｂとの温度差が算出される。この算出され
た温度差信号と、予め設定器１７に設定して置いた所定
の微小温度設定値とが、判定比較器１３において、比較
されて、温度差信号が設定値以下になると、論理積回路
１５に出力する。このような状態において、論理積回路
１５の他の入力端子に、タイマー１４が、一定の時間経
過後に信号を出力する。上記判定比較器１３の出力信号
とタイマー１４の出力出力が論理積回路１５へ同時に入
力すると、論理積回路１５からリレー信号が出力され、
リレー回路１６が付勢され、中央域グループの熱電変換
素子群の駆動回路は、遮断される。
【００２４】このような制御方法により、温度調節プレ
ートの中央域の冷却源が停止し、温度調節プレート全体
の冷却源は、囲繞域グループの熱電変換素子群によって
賄われる。これによって、目標設定冷却温度付近におけ
る、設定値と検出値との微小な偏差に基づく温度制御
が、熱電変換素子の接触域相互間の温度干渉によるセン
サ検出信号の乱れに影響されることが無く、均一温度分
布の保持が高精度に実現する。
ートの中央域の冷却源が停止し、温度調節プレート全体
の冷却源は、囲繞域グループの熱電変換素子群によって
賄われる。これによって、目標設定冷却温度付近におけ
る、設定値と検出値との微小な偏差に基づく温度制御
が、熱電変換素子の接触域相互間の温度干渉によるセン
サ検出信号の乱れに影響されることが無く、均一温度分
布の保持が高精度に実現する。
【００２５】上記実施態様においては、専らウェーハの
冷却について説明したが、本願温度調節器は、例えば、
ウェーハ温度を所定の温度に保持する用途にも、極めて
有効で、例えば、バーンインテストにおいて、ウェーハ
を所定の高温に維持する工程、或いは、ウェーハにレジ
ストを塗布して成膜する工程等において、ウェーハの中
心からの距離に基づく、温度分布の不均一が防止される
ため、テスト精度の向上や、膜厚の均一度の向上等に、
極めて有効である。特に、遠心力を利用して、レジスト
を基板に塗布するタイプのコーターにより、成膜する場
合は、周辺部の膜厚が、厚く成り易いが、本願装置によ
り、温度調節プレートの周辺部から中心部に向かって、
温度が下降する温度勾配を予め設けることにより、均一
な成膜が実現する。
冷却について説明したが、本願温度調節器は、例えば、
ウェーハ温度を所定の温度に保持する用途にも、極めて
有効で、例えば、バーンインテストにおいて、ウェーハ
を所定の高温に維持する工程、或いは、ウェーハにレジ
ストを塗布して成膜する工程等において、ウェーハの中
心からの距離に基づく、温度分布の不均一が防止される
ため、テスト精度の向上や、膜厚の均一度の向上等に、
極めて有効である。特に、遠心力を利用して、レジスト
を基板に塗布するタイプのコーターにより、成膜する場
合は、周辺部の膜厚が、厚く成り易いが、本願装置によ
り、温度調節プレートの周辺部から中心部に向かって、
温度が下降する温度勾配を予め設けることにより、均一
な成膜が実現する。
【図１】本発明に係る温度調節器の一実施態様を、平面
方向からみた説明図である。
方向からみた説明図である。
【図２】図１の温度調節器を側面方向からみた説明図で
ある。
ある。
【図３】本願温度調節器の温度制御方法のを実施するた
めのブロック回路図である。
めのブロック回路図である。
【図４】本願温度調節器の温度制御の他の方法を実施す
るための制御装置を示すブロック図である。
るための制御装置を示すブロック図である。
【図５】従来技術の一例を示す説明図である。
１ 温度調節器 ２ａ，ｂ 温度センサ ３ 温度調節プレート ３ａ 中央域 ３ｂ 囲繞域 ３ｃ 周溝 ４ 熱交換器 ７ａ 中央域グループの熱電変換素
子 ７ｂ 囲繞域グループの熱電変換素
子 Ｓ1 中央域グループの熱電変換素
子の制御器 Ｓ2 囲繞域グループの熱電変換素
子の制御器
子 ７ｂ 囲繞域グループの熱電変換素
子 Ｓ1 中央域グループの熱電変換素
子の制御器 Ｓ2 囲繞域グループの熱電変換素
子の制御器
Claims (3)
- 【請求項１】熱良導性素材から成り半導体基板を接触若
しくは近接させて載置可能な一面を備え、他面には熱電
変換素子がその一側において熱交換自在に接触する温度
調節プレートと、前記熱電変換素子の他側には、内部に
熱媒体流路が形成されている熱交換器が熱授受可能に接
触している温度調節器において、前記熱電変換素子が、
前記温度調節プレートの中央域に接触する中央域グルー
プと、該中央域を同心状に囲む１以上の囲繞域の夫々に
接触する、１以上の囲繞域グループとによって構成さ
れ、前記中央域グループ及び１以上の囲繞域グループの
夫々に属する熱電変換素子は、夫々の熱電変換素子グル
ープの接触域の温度を検出する温度センサと、該温度セ
ンサの検出信号により当該熱電変換素子の駆動を制御す
る制御器とを、グループ毎に個別に備えていることを特
徴とする半導体基板の温度調節器。 - 【請求項２】温度調節プレートの熱電変換素子接触面側
の、中央域とこれを囲む囲繞域との境界部或いは囲繞域
相互間の境界部に、熱電変換素子グループの接触域間の
熱移動を妨げるための周溝若しくは断熱素材が充填され
た周溝が形成されている請求項１の温度調節器。 - 【請求項３】熱良導性素材から成り半導体基板を接触若
しくは近接させて載置可能な一面を備え、他面には熱電
変換素子がその一側において熱交換自在に接触する温度
調節プレートと、前記熱電変換素子の他側には、内部に
熱媒体流路が形成されている熱交換器が熱授受可能に接
触している温度調節器において、前記熱電変換素子が、
前記温度調節プレートの中央域に接触する中央域グルー
プと、該中央域を同心状に囲む１以上の囲繞域の夫々に
接触する、１以上の囲繞域グループとによって構成さ
れ、前記中央域グループ及び１以上の囲繞域グループの
夫々に属する熱電変換素子は、夫々の熱電変換素子グル
ープの接触域の温度を検出する温度センサと、該温度セ
ンサの検出信号により当該熱電変換素子の駆動を制御す
る制御器とを、グループ毎に個別に備えている半導体基
板の温度調節器を用いて、前記温度調節プレートに装着
した半導体基板を所定時間冷却した後、前記夫々の温度
センサの検出信号を比較し、温度差が所定の値以下のと
き、より内側域に属する熱電変換素子グループの作動を
停止することを特徴とする半導体基板の冷却方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9102477A JPH10284582A (ja) | 1997-04-03 | 1997-04-03 | 半導体基板の温度調節器及び半導体基板の冷却方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9102477A JPH10284582A (ja) | 1997-04-03 | 1997-04-03 | 半導体基板の温度調節器及び半導体基板の冷却方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10284582A true JPH10284582A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=14328544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9102477A Pending JPH10284582A (ja) | 1997-04-03 | 1997-04-03 | 半導体基板の温度調節器及び半導体基板の冷却方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10284582A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007180335A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ |
| JP2017010558A (ja) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | アー・ファウ・エル・リスト・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 気体状又は液体状の媒体のための温度調節ユニット |
| CN111856891A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-10-30 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 优化光刻设备中工件台热效应的温度补偿装置 |
-
1997
- 1997-04-03 JP JP9102477A patent/JPH10284582A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007180335A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ |
| JP2017010558A (ja) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | アー・ファウ・エル・リスト・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 気体状又は液体状の媒体のための温度調節ユニット |
| CN111856891A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-10-30 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 优化光刻设备中工件台热效应的温度补偿装置 |
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