JPH10284565A - 半導体評価装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウエハサイズ毎にウエハホルダの交換作業を省
略し、自動的にウエハサイズに合わせたウエハホルダを
選択する。 【解決手段】ウエハサイズ検出器３によりウエハサイズ
を検出した検出信号８をウエハホルダ選択制御装置９へ
伝え、ウエハ搬送室２に設置されるウエハホルダ４，ウ
エハホルダ５，ウエハホルダ６の中から適合したホルダ
を選択することによってウエハ評価室１へ搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体評価装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体評価装置でウエハを搬送す
る機構には、各ウエハサイズに合わせた単一のウエハホ
ルダのみ設置される方式が多く使用されており、その特
長は様々なウエハサイズに合わせウエハホルダを交換す
ることである。そのためウエハサイズが変更になった場
合にはウエハホルダ交換や各種調整作業も必要になって
おりさらに、ウエハホルダに適合しないサイズのウエハ
が誤搬送される恐れもあった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記した様にウエハサ
イズが変更になった場合には、ウエハホルダの交換作業
および調整作業が必要になることとウエハホルダに適合
しない試料が誤搬送される恐れがあった。

【０００４】本発明の目的は、このような不便と不都合
を解決することのできる装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明ではウエハホルダをウエハサイズ毎に複数設
置することでウエハサイズが変更になってもウエハホル
ダの交換及び調整作業を行わなくてよい。さらに、ウエ
ハサイズ検出器によりウエハサイズを自動的に選択して
最適なウエハホルダへ搬送することでウエハサイズの異
なるウエハホルダへの誤搬送を防止することを特長とす
る。

【０００６】ウエハホルダが常時設置されていることで
交換及び調整作業が必要なくなる。ウエハサイズの異な
るウエハホルダへの誤搬送を防止できる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１に
より説明する。図１は半導体評価装置のウエハ搬送経路
におけるウエハホルダおよびウエハサイズ検出器設置の
構成を示す。図１で１はウエハ評価室、２はウエハ搬送
室、３はウエハサイズ検出器、４はウエハホルダ、５は
ウエハホルダ、６はウエハホルダ、７は可動式ウエハ搬
送機、８はウエハサイズ検出信号、９はウエハホルダ選
択制御装置である。

【０００８】可動式ウエハ搬送機７により搬送されウエ
ハサイズ検出器３により、ウエハサイズを検出した検出
信号８をウエハホルダ選択制御装置９へ伝え、ウエハ搬
送室２に設置されるウエハホルダ４，ウエハホルダ５，
ウエハホルダ６の中から適合したホルダを選択すること
によって、ウエハは可動式ウエハ搬送機７により自動的
に適合するウエハ搬送室２に設置される各ホルダへ搬送
されその後、ウエハ評価室１へ搬送される。

【０００９】この機構によってウエハホルダは、ウエハ
サイズによって交換および調整することもなく又、ウエ
ハホルダ選択制御装置により自動的に選択されたウエハ
ホルダに搬送されるため、ウエハサイズの異なるウエハ
ホルダへの誤搬送を防止することが可能になる。

【００１０】

【発明の効果】本発明によれば、ウエハホルダの交換や
調整作業も実施せずさらに、誤ったサイズへのウエハホ
ルダへの搬送が防止できるため、ウエハサイズを気にせ
ずウエハの搬送ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のブロック図。

【符号の説明】

１…ウエハ評価室、２…ウエハ搬送室、３…ウエハサイ
ズ検出器、４，５，６…ウエハホルダ、７…可動式ウエ
ハ搬送機、８…ウエハサイズ検出信号、９…ウエハホル
ダ選択制御装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体生産ラインで各種サイズのウエハの
   評価を行う半導体評価装置において、試料の搬送機構内
   に各種のサイズのウエハに対応する複数のウエハホルダ
   と、上記ウエハのサイズを判定する手段を設け、上記判
   定手段の判定結果に基づき、上記複数のウエハホルダの
   中から一つを選択することを特徴とする半導体評価装
   置。