JPH10282517A - 反射型アクティブマトリクス液晶表示装置 - Google Patents

反射型アクティブマトリクス液晶表示装置

Info

Publication number
JPH10282517A
JPH10282517A JP8659097A JP8659097A JPH10282517A JP H10282517 A JPH10282517 A JP H10282517A JP 8659097 A JP8659097 A JP 8659097A JP 8659097 A JP8659097 A JP 8659097A JP H10282517 A JPH10282517 A JP H10282517A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
liquid crystal
electrode
display device
signal line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8659097A
Other languages
English (en)
Inventor
Taku Nakamura
卓 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP8659097A priority Critical patent/JPH10282517A/ja
Publication of JPH10282517A publication Critical patent/JPH10282517A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表示の明るさを高め、かつクロストークによ
る表示不良を改善した反射型アクティブマトリクス型液
晶表示装置を得る。 【解決手段】 ゲート線12、信号線19、蓄積容量線
13、TFT22および表示画素電極18を配置したア
レイ基板11と、透明絶縁膜からなる共通対向電極25
を配置した対向基板23と、これら基板間に挟持された
液晶層26とを有し、一方の基板に反射板30を形成し
た反射型装置において、信号線19と画素電極18間の
間隙18sに対向する対向基板側の領域に透明導電膜お
よび遮光膜のないスリット25aを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、薄膜トランジスタ
(Thin Film Transister,以下TFTと記す)をスイッ
チング素子として表示画素電極アレイを構成したアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】アクティブマトリクス型液晶表示装置の
基本構成は、図4および図5に示すように、表示画素電
極をマトリクス状に配置したアレイ基板41(以下TF
T基板と記す)と対向基板42との間に液晶43を封入
してなる。アレイ基板41は、ガラスなどの透明絶縁性
基板上にマトリクス状に配置されたTFT44および表
示画素電極45を駆動、制御するための走査線46およ
び信号線47が形成され、さらに表示画素45を横切る
ように絶縁膜を介し相対して配設され容量を形成する蓄
積容量線49を具備する。一方、対向基板42は、ガラ
スなどの透明絶縁性基板上に透明導電膜が全面に形成さ
れてなる対向電極50を具備する。走査線46、信号線
47、TFT44に対向する対向電極領域に遮光体51
を形成する。
【0003】走査線46には、画面上方から順次行毎に
選択パルスが印加され、表示画素電極45には信号線4
7に印加された電位が書き込まれる。この表示画素電位
と対向電極電位との電位差に応じて液晶層43の光透過
率が変化する。
【0004】反射型アクティブマトリクス型液晶表示装
置では、アレイ基板41と対向基板42のいずれか一方
の基板(以下フロント基板と記す)例えば対向基板42
に偏光板51、他方の基板(以下リア基板と記す)例え
ばアレイ基板41に反射板付き偏光板522を貼付す
る。フロント基板42から太陽光または室内光の外光が
入射し、液晶層43により透過率の変調を受け、リア基
板41の反射板52で拡散反射され、拡散光が再度液晶
層により透過率の変調を受け、フロント基板41を通過
し装置から出射される。この拡散光の輝度を液晶層に印
加する電位により制御することによって表示が行われ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】反射型アクティブマト
リクス液晶表示装置では、表示の明るさを高めることが
要求されており、そのために、一画素において光がフロ
ント基板から入射しリア基板の反射板で反射されて再び
フロント基板へ抜けていくのを遮る、信号線、ゲート線
等の非透明配線電極、TFT素子、蓄積容量、配線電極
部の遮光体、TFT素子部の遮光体などの遮光物の面積
をできる限り小さくする必要がある。
【0006】そこで配線電極部遮光体を信号線、ゲート
線上に形成しないことが考えられるが、従来の共通対向
電極をもつ対向基板でこれを行うと、アレイ基板上の画
素透明電極の信号線とこれに対向する部分に位置する対
向基板上の透明な共通対向電極との間に形成される電界
(以下斜め電界と記す)にアレイ基板上の画素透明電極
と信号線との間の液晶分子が応答しており、この応答の
仕方が表示パターンに依存するため、配線部遮光体を設
置しない場合、クロストークの表示不良として観察され
てしまうという不都合がある。
【0007】また、信号線と画素電極との間にも形成さ
れる電界(以下横電界と記す)があり、配線部遮光体を
設置しない場合、やはり表示パターンに応じてクロスト
ークの表示不良を招き問題である。
【0008】本発明は、上記の技術的背景に鑑み、表示
の明るさを高め、かつクロストークによる表示不良を改
善した反射型アクティブマトリクス型液晶表示装置を提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明における第1の発
明は、透明絶縁基板上に配置されゲート電極上に半導体
層を有し、この半導体層上にソース電極およびドレイン
電極を形成した薄膜トランジスタと、前記基板上に形成
され、一部をゲート電極とした走査線と、この走査線と
同一の材料で形成された蓄積容量線と、前記走査線およ
び蓄積容量線に少なくとも絶縁膜を介して積層され一部
をドレイン電極に接続された信号線と、前記ソース電極
に電気的に接続され前記信号線と間隙を置いて配置され
た表示画素電極とを有するアレイ基板と;このアレイ基
板に対向して透明導電膜と遮光体が積層して形成された
対向基板と;前記アレイ基板と対向基板との間隙に挟持
される液晶層とを具備し、前記アレイ基板または前記対
向基板の一方に反射板を有する反射型アクティブマトリ
クス液晶表示装置において、前記信号線と前記表示画素
電極との間隙に対向する前記対向基板側の少なくとも一
部に、前記透明導電膜と前記遮光体とを有しない領域が
含まれていることを特徴とするアクティブマトリクス型
液晶表示装置である。
【0010】第2の発明は、前記アレイ基板上の前記信
号線および前記信号線と前記表示画素電極との間隙の部
分のうち、前記走査線および前記蓄積容量線との交差部
に対向する前記対向基板の対向部では前記遮光体が除か
れている液晶表示装置である。
【0011】第3の発明は、前記対向基板上の遮光体
は、前記アレイ基板の前記薄膜トランジスタに対向する
前記対向基板上にのみ存在する液晶表示装置である。
【0012】第4の発明は、前記透明導電膜は共通対向
電極であり信号電極に対向する共通対向電極部分に形成
されたスリットが表示画素電極上に達している液晶表示
装置である。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照して詳
細に説明する。
【0014】図1は、本実施例のアクティブマトリクス
型液晶表示装置の画素部分の平面図であり、図2は、図
1におけるA−A線、B−B線、C−C線の断面図であ
る。本実施の形態はフロント基板に偏光板、リア基板に
反射板付き偏光板を貼付するツイステッド、ネマチック
液晶をアクティブマトリクス駆動する反射型液晶表示装
置である。
【0015】まず、厚さ0.7mmのガラスからなる透
明絶縁基板11上にTi、Cr、Al、Ta、W、Cu
等の単体、これらの複合積層体あるいは合金を単層また
は多層に成膜後、フォトエッチング法により所定形状に
加工することにより、走査線12と走査線の一部である
ゲート電極12aおよび蓄積容量線13とを形成する。
【0016】次に例えばSiOxからなるゲート絶縁膜
14をプラズマCVD法により形成する。
【0017】次にこの上に、例えばi型の水素化アモル
ファスシリコン(以下、a−Si:Hと記す)からなる
半導体層15とSiNxからなる保護絶縁膜16をプラ
ズマCVD法により形成する。ここで、この保護絶縁膜
16はゲート電極パターンによる自己整合法で形成す
る。すなわち、上記ガラス基板11において、ゲート電
極12aが形成してある面(以下、膜面と記す)の裏面
から光をあて、上記保護絶縁膜16上に塗布したレジス
トを感光させる。このとき不透明なゲート電極12a上
にのみ保護絶縁膜が残り、しかも光の回折によりゲート
電極パターンより0〜3ミクロン小さく形成される。
【0018】このようにして形成したレジストパターン
をマスクとしてフォトエッチングにより保護絶縁膜16
をパタ−ニングする。
【0019】さらにこの上に、プラズマCVD法を用い
て、n型a−Si:Hでなる半導体層17を形成し、こ
のオーミック層となるn型a−Si:H半導体層17な
らびに前記チャンネル領域を形成するi型a−Si:H
半導体層15を最終所定形状にフォトエッチングする。
【0020】次に例えばITO膜をスパッタ法で被膜し
た後に、所定の形状にフォトエッチングすることによ
り、表示画素電極18を形成する。このとき信号線を被
着する領域と表示画素電極18との間隙の間隔は5ミク
ロンとした。さらに、Ti、Cr、Al、Ta、Mo、
W、Cu等の単体、複合体または合金をスパッタリング
法により被膜し、所定の形状にフオトエッチングして、
ソース電極19a、ドレイン電極20および信号線19
を形成する。
【0021】最後にSiNxからなる保護絶縁膜21を
プラズマCVD法を用いて全面に形成し、表示画素電極
部の保護絶縁膜をフォトエッチング法により除去し、ア
レイ基板11が得られる。基板11上に、マトリクス配
列された多数の表示画素電極18とスイッチング素子と
してTFT素子22が配置される。なお、TFT素子上
に遮光膜を形成しておくのがよい。
【0022】一方、対向基板23となる厚さ0.7mm
のガラス基板上には、例えばCr膜をスパッタリング法
により被膜した後、パターン精度および組み立て精度で
決定する所定の形状にフォトエッチングして、遮光層2
4を形成する。このとき遮光層はアレイ基板上の信号
線、走査線の対向部には設けず、TFT素子の対向部に
のみ設ける。
【0023】本実施の形態ではさらに、反射板付き偏光
板(図示せず)をリア基板11の背面に貼付する。この
ような反射型液晶表示装置では、配線電極や遮光体など
光の透過を遮るパターンに対し、リア基板の厚さ程度の
影ができる。したがって、蓄積容量線13や走査線19
に対向する対向基板23の対向部に遮光体を設けると、
影の面積が増え、画素内の実効的な開口部面積が減り、
表示画面の明るさが損なわれるため、遮光体はスイッチ
ング素子の光リークを防ぐための最小限の面積にするの
がよい。
【0024】対向基板23にさらにITOからなる透明
導電膜を例えばスパッタリング法により被膜した後、フ
ォトエッチング法により共通対向電極25を形成する。
このとき、対向基板上の共通対向電極はアレイ基板11
上の信号線19、および信号線と画素表示電極18の間
の間隙18sの無電極部分のうち、走査線12や蓄積容
量線13と重ならない部分に対向する部分25sにおい
て透明導電膜と遮光体のない領域としてスリット25a
を形成した。
【0025】信号線19および信号線19と画素電極1
8の間の部分のうち、走査線、蓄積容量線と重なる部分
の対向部25bでは、対向基板上のITOを残しておく
ことにより、対向電極抵抗の著しい上昇を防ぐことがで
きる。対向電極抵抗が著しく上昇してしまうと、例えば
対向電極電位をフレーム毎に極性反転するような駆動法
を用いた場合、対向電極電位に波形なまりを生じクロス
トークの表示不良を招き問題となる。
【0026】次に、このようにして得られたアレイ基板
11および対向基板23のそれぞれの電極形成面の全面
にポリイミド膜を印刷塗布し、ラビング処理を施すこと
によって配向膜(図示しない)を形成する。
【0027】続いてアレイ基板11と対向基板23をそ
れぞれの配向方向が概ね90゜をなすように組み合わせ
て接着し、液晶セルを形成する。ついでこの液晶セルに
液晶物質を注入して両基板間で液晶層26を挟持する。
【0028】リア基板となるアレイ基板11の外面に反
射板付き偏光板30を、フロント基板となる対向基板2
3の外面に偏光板31を被着して、本実施の形態の反射
型アクティブマトリクス型液晶表示装置が完成する。
【0029】このようにして得られた反射型アクティブ
マトリクス型液晶表示装置では、信号線、蓄積容量線お
よび走査線の対向部に遮光体を形成していないため明る
い表示が得られ、しかも、信号線の対向部において対向
基板上ITOが取り除かれているため、斜め電界による
クロストークの表示不良が観察されない高品位な表示を
行うことができる。
【0030】上記実施の形態の変形例は、図3に示すよ
うに、信号線19に対応する対向基板上の対向電極領域
をも取り除き広いスリット25cとする。なお、図にお
いて図2と同符号は同一部分を示す。スリット縁のアレ
イ基板上の投影位置は信号線19と表示画素電極18と
の間隙18sを含み、表示画素電極上に達しており、信
号線幅よりも広い幅の導電膜のない領域が信号線19に
そって形成される。これによっても、信号線電位が対向
電極電位に影響を及ぼさず、斜め電界が生じず液晶層の
液晶分子の配向が乱されないので、クロストークを避け
ることができる。しかも、遮光体を形成しないため、開
口率を高めることができる。
【0031】
【発明の効果】本発明の反射型アクティブマトリクス型
液晶表示装置においては、信号線と対向する部分の対向
基板上の透明電極を取り除いてしまうことにより、TF
T基板上の画素透明電極の信号線と平行な部分の縁との
間に斜め電界を発生させず、信号線の対向部の遮光体を
不要とし、表示の明るさを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態における反射型アクティ
ブマトリクス型液晶表示装置の一部平面図、
【図2】図1の一部を断面で示しており、(a)はA−
A線にそう断面図、(b)はB−B線にそう断面図、a
(c)はC−C線にそう断面図、
【図3】本発明の他の実施の形態を説明する一部断面
図、
【図4】従来の反射型アクティブマトリクス型液晶表示
装置の一部平面図、
【図5】図4のD−D線にそう断面図。
【符号の説明】
11…アレイ基板 12…走査線 12a…ゲート電極 13…蓄積容量線 14…ゲート絶縁膜 15…半導体層 18…画素電極 18s…信号線と画素表示電極との間隙 19…信号線 19a…ソース電極 20…ドレイン電極 21…保護絶縁膜 22…TFT 24…遮光体 23…対向基板 25…共通対向電極(透明導電膜) 25a…スリット 26…液晶層 30…反射板付き偏光板 31…偏光板

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明絶縁基板上に配置されゲート電極上
    に半導体層を有し、この半導体層上にソース電極および
    ドレイン電極を形成した薄膜トランジスタと、前記基板
    上に形成され、一部をゲート電極とした走査線と、この
    走査線と同一の材料で形成された蓄積容量線と、前記走
    査線および蓄積容量線に少なくとも絶縁膜を介して積層
    され一部をドレイン電極に接続された信号線と、前記ソ
    ース電極に電気的に接続され前記信号線と間隙を置いて
    配置された表示画素電極とを有するアレイ基板と;この
    アレイ基板に対向して透明導電膜と遮光体が積層して形
    成された対向基板と;前記アレイ基板と対向基板との間
    隙に挟持される液晶層とを具備し、前記アレイ基板また
    は前記対向基板の一方に反射板を有する反射型アクティ
    ブマトリクス液晶表示装置において、 前記信号線と前記表示画素電極との間隙に対向する前記
    対向基板側の少なくとも一部に、前記透明導電膜と前記
    遮光体とを有しない領域が含まれていることを特徴とす
    るアクティブマトリクス型液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 前記アレイ基板上の前記信号線および前
    記信号線と前記表示画素電極との間隙の部分のうち、前
    記走査線および前記蓄積容量線との交差部に対向する前
    記対向基板の対向部では前記遮光体が除かれていること
    を特徴とする請求項1の液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 前記対向基板上の遮光体は、前記アレイ
    基板の前記薄膜トランジスタに対向する前記対向基板上
    にのみ存在することを特徴とする請求項1の液晶表示装
    置。
  4. 【請求項4】 前記透明導電膜は共通対向電極であり信
    号電極に対向する共通対向電極部分に形成されたスリッ
    トが表示画素電極上に達していることを特徴とする請求
    項1の液晶表示装置。
JP8659097A 1997-04-04 1997-04-04 反射型アクティブマトリクス液晶表示装置 Pending JPH10282517A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8659097A JPH10282517A (ja) 1997-04-04 1997-04-04 反射型アクティブマトリクス液晶表示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8659097A JPH10282517A (ja) 1997-04-04 1997-04-04 反射型アクティブマトリクス液晶表示装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10282517A true JPH10282517A (ja) 1998-10-23

Family

ID=13891233

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8659097A Pending JPH10282517A (ja) 1997-04-04 1997-04-04 反射型アクティブマトリクス液晶表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10282517A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100675088B1 (ko) * 2000-02-16 2007-01-26 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시장치 및 액정 표시장치 제조방법
KR100825097B1 (ko) * 2002-01-07 2008-04-25 삼성전자주식회사 액정 표시 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100675088B1 (ko) * 2000-02-16 2007-01-26 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시장치 및 액정 표시장치 제조방법
KR100825097B1 (ko) * 2002-01-07 2008-04-25 삼성전자주식회사 액정 표시 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2776376B2 (ja) アクティブマトリクス液晶表示パネル
JP2853656B2 (ja) 液晶パネル
JPH09105952A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JPH1039336A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
KR20040062119A (ko) 횡전계방식 액정표시소자
KR20060001662A (ko) 수평전계방식 액정표시소자 및 그 제조방법
US7936424B2 (en) Liquid crystal display panel with light leakage prevention film and method for manufacturing the same
JP4731869B2 (ja) 薄膜トランジスタ表示板
KR100257244B1 (ko) 액정표시장치
TW200407643A (en) Substrate for liquid crystal display and liquid crystal display having the same
JPH1082996A (ja) 液晶表示パネル
JPH1070277A (ja) 薄膜トランジスタ
TW200405066A (en) Photoelectric device and electronic apparatus
JP2005182048A (ja) 多重ドメイン薄膜トランジスタ表示板及びこれを含む液晶表示装置
JPH08101400A (ja) 液晶表示装置
US20050248703A1 (en) Display panel and liquid crystal display device having the same
JP2784027B2 (ja) 液晶表示装置
JPH10282517A (ja) 反射型アクティブマトリクス液晶表示装置
KR101970550B1 (ko) 박막트랜지스터 기판 및 그 제조 방법
JPH10228032A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JP2002341330A (ja) 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法
JP2660532B2 (ja) 液晶表示装置
JPH09127547A (ja) 液晶表示装置
JP2786871B2 (ja) 液晶表示装置の端子の形成方法
JPH04342229A (ja) 液晶表示装置