JPH10282463A - 粘着フィルム剥離方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 粘着フィルムの剥離中に被接着体に加わる応
力を吸収・緩和して、被接着体の品質を確保する粘着フ
ィルムの剥離方法と剥離装置を提供する。 【解決手段】 上面にゴム２が張り付けられたパネルセ
ットステージ１を前後方向に移動する走行スライダ３が
取り付けプレート４に取り付けられている。パネルセッ
トステージ１と取り付けプレート４との間にパネルセッ
トステージ１を保持し高さを調節する連結プレート５と
高さ調節プレート６が設けられている。パネルセットス
テージ１の高さ調節は調整ネジ７で行い、剥離ローラー
８との平行も出す。パネルセットステージ１の上方に、
予め所定の部位が剥がされた偏光板等の粘着フィルムを
掴むためのクランプ機構を有する円筒状の剥離ローラー
８があり、その剥離ローラー８は固定側ローラーと可動
側ローラーとで構成されていて、粘着フィルムをこの間
に挟んで巻き取る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、粘着フィルムの剥
離に関し、特に液晶パネル上に貼り付けられた偏光板を
剥離する際に、液晶パネルに加わる応力を吸収し緩和す
る粘着フィルム剥離方法と装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術について図１２ないし図１６
を参照して説明する。図１２は従来の剥離ローラーを用
いた粘着フィルム剥離装置の側面図であり、図１３はそ
の平面図である。また、図１４は従来の剥がし治具の例
を示す図であり、図１５はその剥がし治具による剥離方
法を説明するための図である。更に、図１６は従来の剥
離ローラーを用いた粘着フィルム剥離装置の他の例を示
す図である。

【０００３】従来より、粘着フィルムを剥離するために
剥離ローラーを利用した剥離装置や剥がし治具を利用し
た剥離方法が用いられてきた。図１２は被接着体、例え
ば液晶パネル２３の表面に貼り付けられている粘着フィ
ルム、即ち偏光板２４を剥離する粘着フィルム剥離装置
であって、偏光板２４を外側に向けて液晶パネル２３を
保持する保持装置４１と、液晶パネル２３の一隅におい
て引き剥がされた偏光板２４の角部２５を挟むと共に、
剥離方向に一定回転しながら偏光板２４を巻き取って剥
離する剥離ローラー４２とを備えている。剥離ローラー
４２の回転駆動力としてモータ３７の回転がカップリン
グ３８、プーリー３９、タイミングベルト４０を介して
伝達される。また、保持装置４１は、モータ３７の回転
がカップリング３８を介してピニオン４３に伝えられ、
更にラック４４を介して直線移動させられ、従ってそこ
に載置されている液晶パネル２３も同様に移動して、偏
光板２４が剥離ローラー４２に巻き取られていく。

【０００４】このとき、図１３に示すように液晶パネル
２３は剥離ローラー４２に対して４５°の角度を持って
保持装置４１上に載置され、偏光板２４が巻き取られて
いた。偏光板２４を挟むための角部２５の剥離は、詳し
くは後段で説明する図５に示すような剥がし治具２６を
用いて予め所定量を剥がしておくものである。

【０００５】つぎに、治具を用いた剥離方法について説
明する。上述したように予め偏光板２４の角部２５を剥
がし治具２６を用いて所定量を剥がし、その剥がした角
部２５を図１４に示す治具の溝３０に差し込み、図１５
に示すような台２９の上で治具の取手３１を回転させ
て、偏光板２４を巻き取って剥離していた。台２９は静
電対策にために導電性のシートが巻き付けられている。

【０００６】また、図１６に示すように特開平５−２７
３５０８号公報に粘着ローラー３２を利用した剥離装置
が提案されている。粘着ローラー３２と除電ブロー３３
とを取り付けた剥がしユニット３４を、ステージ３５に
保持した偏光板２４のセパレータ３６に圧接させ、粘着
ローラー３２とセパレータ３６とを強固に接着させる。
その後、ステージ３５を粘着ローラー３２に対して移動
させ、粘着ローラー３２によってセパレータ３６を巻き
取りながらこれに密着している偏光板２４を液晶パネル
２３から剥離させる。このとき、粘着ローラー３２によ
って剥離されるセパレータ３６と偏光板２４との境界部
分に、除電ブロー３３から除電エアーを直接吹きつけて
静電対策を施している。

【０００７】ところで、最近の市場ニーズに対応して、
液晶パネルの大型化・薄型化が進んできている。それに
伴いガラス基板も大型化・薄型化が必要となってきてい
るが、ガラス基板の大型化・薄型化は、一方において液
晶パネルの強度低下をもたらすことになる。即ち、液晶
パネル内部のプラスチックビーズが局所的に集中するこ
とによるギャップ変化が起きてニュートンリングが発生
しやすくなり、また、強度不足のためガラスの破れによ
るパネル破壊が起こりやすい。しかしながら、その一方
では信頼性確保のため液晶パネルに貼り付けられる偏光
板の粘着力は強化されてきている。

【０００８】そのような状況において、図１２および図
１３を参照して説明した剥離装置では、大型化・薄型化
した液晶パネル２３に貼り付けられた偏光板２４を剥離
するために、剥離ローラー４２を片持ち構造としなけれ
ばならない。つまり、剥離ローラー４２に対して４５°
となる位置に液晶パネル２３を配置し、剥離ローラー４
２に偏光板２４を巻き付けながら剥離を行うため、剥離
ローラー４２は液晶パネル２３のゲート側基板上に多数
搭載されたパネル駆動用の電子部品を破壊することがな
いように、その長さが制限されるためである。

【０００９】従って、片持ち構造の剥離ローラー４２で
偏光板２４を巻き付けながら剥離を行うと、片持ち構造
の固定されていない側の先端部分と固定されている部分
とでは、液晶パネル２３に対して異なる押圧力が働き、
液晶パネル２３のギャップに変化を与え、表示品位不良
となる表示ムラが発生する。

【００１０】また、初期の剥離力が少なくて済むよう
に、液晶パネル２３は剥離ローラー４２に対して４５°
となるように載置されており、その１つの角部２５を所
定量引き剥がし、剥離ローラー４２に挟んで巻き取りな
がら剥離を行う。この場合、剥離ローラー４２によって
巻き取られていく偏光板２４の辺は、角部２５を挟んで
両側に４５°で開いていき、また閉じていく。このよう
な状態では剥離ローラー４２の中央部に最も厚く偏光板
２４は巻き取られていくことになり、中央部と端部では
剥離ローラー４２の直径が異なっていき、結果的に液晶
パネル２３に対して押圧力の異なる部分が生じ、液晶パ
ネル２３のギャップに変化を与え、これも表示品位不良
となる表示ムラを発生させることになる。特に剥離ロー
ラー４２の直径が小さい場合は何回も巻き取ることにな
り、表示ムラの発生も顕著になる。

【００１１】また、前述した図１６に示す特開平５−２
７３５０８号公報において提案された剥離装置において
は、粘着ローラー３２のもつ粘着力を利用して偏光板２
４の剥離を行うため、ラミネート等の比較的粘着力が弱
い場合には効果があるが、液晶パネル２３に強固に貼り
付けられた偏光板２４を剥離することは困難である。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】従って本発明は、被接
着体上に貼り付けられた粘着フィルムを剥離する場合に
おいて、被接着体の大型化・薄型化、および粘着フィル
ムの粘着力増大によることなく、粘着フィルムの剥離中
に被接着体に加わる応力を吸収・緩和して、被接着体の
品質を確保する粘着フィルムの剥離方法と剥離装置を提
供することを課題とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
成されたものであり、被接着体に貼り付けられている粘
着フィルムを剥離する粘着フィルム剥離方法において、
前記被接着体に貼り付いている前記粘着フィルムの一つ
の辺の全幅にわたって所定幅だけ引き剥がし、その引き
剥がされた部位を挟んで剥離方向に一定回転させながら
前記粘着フィルムを巻き取って剥離する粘着フィルム剥
離方法を用いる。

【００１４】被接着体に貼り付けられている粘着フィル
ムを剥離する粘着フィルム剥離装置において、少なくと
も、前記粘着フィルムを外面に露出させて前記被接着体
を保持する保持手段と、前記被接着体の接着面から、一
つの辺の全体にわたって所定幅だけ引き剥がされた粘着
フィルムの引き剥がされた部位を挟む手段と、前記挟む
手段を剥離方向に一定回転させながら前記粘着フィルム
を巻き取って剥離する剥離手段とを具備した粘着フィル
ム剥離装置を構成する。

【００１５】前記粘着フィルム剥離装置の剥離手段の被
接着体および粘着フィルムと接する部位に、応力を吸収
し緩和する手段を具備し、また、その応力を吸収し緩和
する手段として、保持手段と剥離手段の、被接着体と粘
着フィルムとに接する部位に、弾性体からなる緩衝部材
を配設する。

【００１６】また、前記粘着フィルム剥離装置の被接着
体の接着面から粘着フィルムを巻き取って剥離する剥離
手段の駆動装置として、剥離手段に接続された手動によ
る回転機構、または、剥離手段に接続された外部動力に
よる回転機構を用いる。

【００１７】更に、前記粘着フィルム剥離装置の被接着
体を保持する保持手段と粘着フィルムを巻き取って剥離
する剥離手段との平行性を確保するための平行調整機構
を、前記保持手段に具備することにより上記課題を解決
する。

【００１８】本発明は、被接着体の接着面に貼り付けら
れた粘着フィルムの一辺全体を所定量引き剥がした状態
で粘着フィルム剥離装置のステージ上に置き、このステ
ージを剥離ローラーまで移動させ、前記の所定量引き剥
がした粘着フィルムの一辺全体を剥離ローラーに挟み、
強固に固定した後、剥離ローラーを回転機構で回転させ
ながら、被接着体を移動させて、剥離ローラーの外周に
粘着フィルムを巻き付けて剥離を行う方法と装置であ
る。

【００１９】従って、本発明の粘着フィルム剥離方法と
剥離装置によると、粘着フィルムの一辺を剥離ローラー
のクランプ機構により固定するので、粘着フィルムの粘
着力の強弱に左右されることなく、粘着フィルムを確実
に剥離できる。

【００２０】また、従来は４５°傾けて被接着体から粘
着フィルムを剥離したため、剥離された粘着フィルムが
剥離ローラーに巻き付き、そのために発生するローラー
の段差を被接着体に押し当てることにより被接着体の品
質を劣化させていたが、本発明は粘着フィルムの一辺全
体を剥離ローラーに巻き付けて剥離するため、この品質
劣化を防止することができる。

【００２１】更に、剥離ローラーの固定側と可動側との
少なくとも一方の接触面に、所定面積のゴム板を貼るこ
とで、粘着フィルムを挟む際の摩擦力が増大し、粘着フ
ィルムを強固に固定することができる。また、剥離ロー
ラーの外周には、剥離中に被接着体に加わる押し圧力を
軽減するため、硬度の低いゴムが張り付けられていて、
被接着体に加わる押し圧力を安定にする。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態をについて図
１ないし図１１を参照して説明する。図１は本発明に係
わる粘着フィルム剥離装置の概略図である。図２は本発
明に係わる剥離ローラーとそのクランプ機構を説明する
ための図であり、図３はそのクランプ機構の開閉動作を
説明図するための図である。図４は剥がし治具の操作を
説明するための図であり、図５は図４で使用する剥がし
治具の一例を示す図である。図６は液晶パネルの一辺全
体に偏光板が剥がされた状態を示す図であり、図７は図
６に示した状態の液晶パネルを本発明に係わる粘着フィ
ルム剥離装置に載置した図である。また、図８は剥離ロ
ーラーへ回転力を伝達する平歯車の回転状態を示す図で
ある。図９は粘着フィルム剥離装置の動作状態を示す図
であり、図１０は剥離ローラーによるパネルセットステ
ージの移動力について説明するための図である。更に、
図１１は本発明に係わる粘着フィルム剥離装置の巻き取
り駆動の他の例を示す概略図である。

【００２３】まず、本発明による粘着フィルム剥離装置
について図１に従って説明する。符号１はパネルセット
ステージであり、このパネルセットステージ１の上面に
ゴム２が張り付けられている。パネルセットステージ１
を前後方向（図１の紙面に垂直の方向）の移動を行うた
めの走行スライダ３が取り付けプレート４に取り付けら
れていて、また、パネルセットステージ１と取り付けプ
レート４との間に、パネルセットステージ１を保持し高
さを調節する連結プレート５と高さ調節プレート６が設
けられている。パネルセットステージ１の高さ調節は高
さ調節プレート６に設けられている調整ネジ７により行
う。

【００２４】更に、パネルセットステージ１の上方に、
予め所定の部位が剥がされた偏光板等の粘着フィルムを
掴むためのクランプ機構を有する円筒状の剥離ローラー
８があり、その両端はベアリング９を介して保持ブロッ
ク１０に保持されている。この剥離ローラー８に対して
パネルセットステージ１は前述した両側の調整ネジ７に
よりその高さが調整され、また平行が出される。尚、粘
着フィルムは予め所定の幅で一辺全体にわたって剥がし
てから、パネルセットステージ１上に載するものであ
り、これが本発明の大きな特徴を成していて、後段にお
いて詳述する。

【００２５】また、剥離ローラー８の一端には保持ブロ
ック１０を介して平歯車１１が設けられており、また、
シャフト１２が保持ブロック１０にベアリング１５を介
して回転自由に取り付けられていて、このシャフト１２
に平歯車１３が平歯車１１と噛み合うように配設されて
いる。シャフト１２にはハンドル１４が設けられてい
て、このハンドル１４を手動で回転させることにより平
歯車１３が回転し、その回転は平歯車１１に伝達され、
剥離ローラー８を回転させる。

【００２６】つぎに、剥離ローラー８に設けられたクラ
ンプ機構について説明すると、図２に示すように、剥離
ローラー８は断面が半円状の固定側ローラー１６と可動
側ローラー１７から構成されていて、この固定側ローラ
ー１６と可動側ローラー１７とを開閉させるための支点
となるピン１８が設けられていて、このピン１８は止め
ネジ１９によって可動側ローラー１７に固定されてい
る。また、ピン１８の反対側には固定側ローラー１６と
可動側ローラー１７とを閉じるためのロックリング２０
が設けられている。また、固定側ローラー１６と可動側
ローラー１７との外面には粘着フィルムを剥離している
最中に被接着体に加わる応力を吸収・緩和するために低
硬度ゴム２１が貼り付けられている。この低硬度ゴム２
１の硬度は２０度程度のものが好適である。

【００２７】更に、粘着フィルムを確実に挟み込み、保
持するために固定側ローラー１６と可動側ローラー１７
との挟み込み面にゴム板２２が設けられている。このゴ
ム板２２によって挟まれた粘着フィルムは剥離中にも剥
離ローラー８から抜け出ることはなく、剥離動作を確実
に行うことができる。

【００２８】また、剥離ローラー８の直径は４０ｍｍ程
度とすることが好ましく、この剥離ローラー８を用いる
と、被接着体として１２．１インチの液晶パネルで、粘
着フィルムとしての偏光板は剥離ローラー８を約２回転
することで剥離を完了することができる。

【００２９】上述した剥離ローラー８の動作は図３に示
すように、粘着フィルムを挟んだ後、可動側ローラー１
７をピン１８を支点とし矢印Ａの方向に閉じていき固定
側ローラー１６と密着した後、逃げていたロックリング
２０を矢印Ｂの方向に移動することによって可動側ロー
ラー１７は固定側ローラー１６に固着し、粘着フィルム
を確実に保持する。一方、ロックリング２０を矢印Ｃの
方向に移動して可動側ローラー１７の固着を解除するこ
とにより固定側ローラー１６と分離して巻き取った粘着
フィルムを放すことができる。

【００３０】つぎに、上述した構成の粘着フィルム剥離
装置の動作について図４ないし図８を参照して説明す
る。以下において、被接着体を液晶パネルとし、粘着フ
ィルムを偏光板とする。

【００３１】まず、図４に示すような液晶パネル２３に
おいて、液晶パネル２３に貼られている偏光板２４の一
隅の角部２５を、剥がし治具２６で破線で示されている
ように適量剥がす。図４（ａ）は剥離作業を上面から見
た状態を、また、同図（ｂ）は側面から見た状態を示し
ている。尚、剥がし治具２６は図５（ａ）の平面図、お
よび、同図（ｂ）の側面図に示すように所定の幅を有す
るカッター部２７が取手部２８に埋め込まれている構成
のものである。

【００３２】更に、偏光板２４の一隅の角部２５を剥が
した後、図６に示すように偏光板２４の一辺全体にわた
って所定の幅で引き剥がす。その後、図７に示すように
一辺全体が外面に露出する状態で、パネルセットステー
ジ１の上面に貼り付けられたゴム２の上に載置する。こ
のとき、剥離ローラー８の固定側ローラー１６と可動側
ローラー１７は開いている状態となっている。その後、
パネルセットステージ１を矢印Ｄの方向に移動させて、
剥離ローラー８に近づけていき、偏光板２４の一辺全体
にわたって剥離された部位を固定側ローラー１６と可動
側ローラー１７との間に固定し、図１に示すハンドル１
４を矢印Ｅの方向に回転させて剥離を開始する。

【００３３】ハンドル１４を矢印Ｅの方向に回転させる
ことにより、図８に示すように平歯車１３も矢印Ｅの方
向に回転し、これと噛み合っている平歯車１１は矢印Ｆ
の方向に回転するので、剥離ローラー８も矢印Ｆの方向
に回転し、偏光板２４は剥離ローラー８に巻き取られて
いく。このとき、図９に示すようにパネルセットステー
ジ１の上面に貼り付けられたゴム２の上に載置する液晶
パネル２３を剥離ローラー８で僅かに圧力を加えること
により、図１０に示すように押圧力ｆによって矢印Ｇの
方向に摩擦力が生じ、この摩擦力によって液晶パネル２
３は剥離動作をしながら、パネルセットステージ１を液
晶パネル２３の移動方向に移動させることができる。即
ち、パネルセットステージ１は他の外部駆動力なしに液
晶パネル２３と共に移動させることが可能となるもので
ある。

【００３４】また、剥離ローラー８で僅かに液晶パネル
２３を押すことにより液晶パネル２３に応力が加わる
が、その応力は固定側ローラー１６と可動側ローラー１
７との外面に貼り付けられた低硬度ゴム２１、およびパ
ネルセットステージ１上に貼り付けられたゴム２により
吸収・緩和され、液晶パネル２３にダメージを与えるこ
とを防止している。

【００３５】また、偏光板２４は一辺全体にわたって剥
離された後、剥離ローラー８に巻き取られるため、従来
例で説明したように角部２５を挟んで巻き取るときの巻
き取り段差は生じることがなく、従ってその段差による
液晶パネル２３への表示ムラを生じさせる応力の発生を
防ぐことができる。

【００３６】上述したように剥離ローラー８に巻き取ら
れた偏光板２４は、液晶パネル２３をパネルセットステ
ージ１から取り除いた後、ハンドル１４を逆回転させる
ことにより、剥離ローラー８から取り除くことができ
る。

【００３７】また、他の実施形態例として図１１に示す
ように、ハンドル１４を手動で回転させる代わりに、モ
ータ３７の回転をカップリング３８、プーリー３９、シ
ャフト１２、平歯車１３、１１を介して剥離ローラー８
に伝達する構成をとることも可能である。

【００３８】尚、本発明はその実施形態例として液晶パ
ネルから偏光板を剥離する装置について説明したが、こ
れら実施形態例に限ることなく、他の被接着体と粘着フ
ィルムに対して用いてよいことは当然である。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
接着体上に貼り付けられた粘着フィルムを剥離する場合
において、被接着体の大型化・薄型化、および粘着フィ
ルムの粘着力増大によることなく、粘着フィルムの剥離
中に被接着体に加わる応力を吸収・緩和して、被接着体
の品質を確保する粘着フィルムの剥離方法と剥離装置を
提供することができる。

【００４０】また、本発明を液晶パネルの偏光板を剥離
するために用いると、液晶パネルに不要な応力がかかる
ことを低減して液晶パネルの表示品位を確保することが
でき、歩留り向上とコストダウンを実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる粘着フィルム剥離装置の実施形
態例を示す概略図である。

【図２】本発明に係わる剥離ローラーとそのクランプ機
構を説明するための図である。

【図３】本発明に係わる剥離ローラーのクランプ機構の
開閉動作を説明するための図である。

【図４】（ａ）及び（ｂ）は、剥がし治具の操作を説明
するための図である。

【図５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明に係わる剥がし治
具の一例を示す図である。

【図６】液晶パネルの一辺全体にわたって偏光板が剥が
された状態を示す図である。

【図７】図６に示した状態の液晶パネルを本発明に係わ
る粘着フィルム剥離装置に載置した図である。

【図８】剥離ローラーに回転力を伝達する平歯車の回転
状態を示す図である。

【図９】本発明に係わる粘着フィルム剥離装置の動作状
態を示す図である。

【図１０】剥離ローラーによるパネルセットステージの
移動力について説明するための図である。

【図１１】本発明に係わる粘着フィルム剥離装置の巻き
取り駆動の他の例を示す概略図である。

【図１２】従来の剥離ローラーを用いた粘着フィルム剥
離装置の側面図である。

【図１３】図１２に示す粘着フィルム剥離装置の平面図
である。

【図１４】従来の剥がし治具の一例を示す図である。

【図１５】従来の剥がし治具による剥離方法を説明する
ための図である。

【図１６】従来の剥離ローラーを用いた粘着フィルム剥
離装置の他の例を示す図である。

【符号の説明】

１ パネルセットステージ ２ ゴム ３ 走行スライダ ４ 取り付けプレート ５ 連結プレート ６ 高さ調整プレート ７ 調整ネジ ８ 剥離ローラー ９ ベアリング １０ 保持ブロック １１ 平歯車 １２ シャフト １３ 平歯車 １４ ハンドル １５ ベアリング １６ 固定側ローラー １７ 可動側ローラー １８ ピン １９ 止めネジ ２０ ロックリング ２１ 低硬度ゴム ２２ ゴム板 ２３ 液晶パネル ２４ 偏光板 ２５ 角部 ２６ 剥がし治具 ２７ カッター部 ２８ 取手部 ２９ 台 ３０ 溝 ３１ 取手 ３２ 粘着ローラー ３３ 除電ブロー ３４ 剥がしユニット ３５ ステージ ３６ セパレーター ３７ モーター ３８ カップリング ３９ プーリー ４０ タイミングベルト ４１ 保持装置 ４２ 剥離ローラー ４３ ピニオン ４４ ラック

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被接着体に貼り付けられている粘着フィ
   ルムを剥離する粘着フィルム剥離方法において、 前記被接着体に貼り付いている前記粘着フィルムの一つ
   の辺の全幅にわたって所定幅だけ引き剥がし、その引き
   剥がされた部位を挟んで剥離方向に一定回転させながら
   前記粘着フィルムを巻き取って剥離することを特徴とす
   る粘着フィルム剥離方法。
2. 【請求項２】 被接着体に貼り付けられている粘着フィ
   ルムを剥離する粘着フィルム剥離装置において、 少なくとも、 前記粘着フィルムを外面に露出させて前記被接着体を保
   持する保持手段と、 前記被接着体の接着面から、一つの辺の全体にわたって
   所定幅だけ引き剥がされた粘着フィルムの引き剥がされ
   た部位を挟む手段と、 前記挟む手段を剥離方向に一定回転させながら前記粘着
   フィルムを巻き取って剥離する剥離手段とを具備してい
   ることを特徴とする粘着フィルム剥離装置。
3. 【請求項３】 前記剥離手段の被接着体および粘着フィ
   ルムと接する部位に、応力を吸収し緩和する手段を具備
   していることを特徴とする、請求項２に記載の粘着フィ
   ルム剥離装置。
4. 【請求項４】 前記応力を吸収し緩和する手段として、
   保持手段および剥離手段の被接着体および粘着フィルム
   と接する部位に、弾性体からなる緩衝部材を配設してい
   ることを特徴とする、請求項２に記載の粘着フィルム剥
   離装置。
5. 【請求項５】 被接着体の接着面から粘着フィルムを巻
   き取って剥離する剥離手段の駆動装置として、剥離手段
   に接続された手動による回転機構を具備していることを
   特徴とする、請求項２に記載の粘着フィルム剥離装置。
6. 【請求項６】 被接着体の接着面から粘着フィルムを巻
   き取って剥離する剥離手段の駆動装置として、剥離手段
   に接続された外部動力による回転機構を具備しているこ
   とを特徴とする、請求項２に記載の粘着フィルム剥離装
   置。
7. 【請求項７】 被接着体を保持する保持手段と粘着フィ
   ルムを巻き取って剥離する剥離手段との平行性を確保す
   るための平行調整機構を、前記保持手段に具備している
   ことを特徴とする、請求項３に記載の粘着フィルム剥離
   装置。