JPH10279311A - フッ化ウラニル粉末の製造装置 - Google Patents

フッ化ウラニル粉末の製造装置

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JPH10279311A
JPH10279311A JP8425497A JP8425497A JPH10279311A JP H10279311 A JPH10279311 A JP H10279311A JP 8425497 A JP8425497 A JP 8425497A JP 8425497 A JP8425497 A JP 8425497A JP H10279311 A JPH10279311 A JP H10279311A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置から排出されるフッ化水素の含有量を迅
速にかつ正確に測定して原料の供給を的確に自動制御す
る。洗浄廃液中にウランを万一含有する場合に迅速に警
報を発する。 【解決手段】 それぞれ連続的に供給される六フッ化ウ
ランガスと水蒸気とを加熱反応させてフッ化ウラニル粉
末を連続的に生成する反応装置22から連続的に排出さ
れるオフガスを自動分析装置50により分析してオフガ
ス中のフッ素の含有量を測定し電気信号として送出し、
コントローラ60はフッ素の含有量に応じて六フッ化ウ
ランガスを供給する流量調整弁41又は水蒸気を供給す
る流量調整弁42を制御する。また自動分析装置50が
洗浄塔39の洗浄廃液中にウランを万一検出するときに
は、コントローラ60は警報装置62を作動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、六フッ化ウランと
水蒸気を反応させてフッ化ウラニル粉末を製造する装置
に関する。更に詳しくは装置からのフッ化水素の排出量
に基づいて装置を制御し、又は装置から万一ウランが排
出される場合に警報を迅速に発する装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】この種のフッ化ウラニル粉末の製造装置
として、図4に示す装置が知られている。この製造装置
では、シード粉供給管1からシード粉のUO22粉末を
反応装置2内に一定量だけ供給した後、水蒸気供給管3
より水蒸気を反応装置2内に供給することにより、流動
層4を流動状態にする。次いで流動層4を加熱して所定
の温度にした後、供給ノズル6から六フッ化ウランと窒
素ガスを流動層4に噴霧すると、噴霧された六フッ化ウ
ランを含むガスと水蒸気は装置2内で激しく撹拌され、
六フッ化ウランは水蒸気と反応して、UO22とHFを
生成する。この反応により反応装置2内のUO22粉末
の量が増加する。増加したUO22粉末は反応生成物と
して上部抜出し管7又は下部抜出し管8から定期的に抜
き出される。9はヒータ、10は分散板、11はウイン
ドボックスである。
【0003】流動層反応により生成して上昇するHFガ
ス、未反応の水蒸気、窒素ガスは、反応装置2の上部の
固気分離フィルタ12で随伴するUO22粉末と分離さ
れ、オフガス管13から排出された後、定期的に三方切
換弁14を切換えて凝縮器16へ送られる。ここで凝縮
された凝縮液は容器17に収容される。凝縮器16から
排出される窒素ガスと微量のHFガスは三方切換弁18
を介して洗浄塔19へ送られ、ここでフッ酸と窒素ガス
に分離される。オフガス管13から排出したHFガスと
窒素ガスと未反応の水蒸気は通常操業時には凝縮器16
へ送らずに三方切換弁14及び18を切換えて直接に洗
浄塔19へ送り、ここでフッ酸を含む廃液と窒素ガスに
分離される。容器17に収容された凝縮液はサンプリン
グのために手作業で採取されてフッ酸の濃度が測定され
る。測定の結果、フッ酸の濃度に応じて供給ノズル6か
らの六フッ化ウランの供給量又は水蒸気供給管3からの
水蒸気の供給量が調整される。またサンプル液にウラン
の移行が原因と思われる着色が見られた場合には運転を
停止する。
【0004】従来、この種のウランを計量する装置とし
て、特開平4−58184号公報に示されるウラン計量
管理システムが知られている。このシステムは金属ウラ
ンの原子レーザ法による分離・濃縮用気密セルの外側に
中性子検出器を備え、更にこの気密セル内においてウラ
ン原料から分離された濃縮ウランと廃品ウランを運ぶ流
路の周囲に設置されるγ線測定装置、α線スペクトル試
料製造装置とα線スペクトル測定装置、及び質量分析試
料製造装置と質量分析器、並びに気密セル内の雰囲気を
SF6ガスで入れ替えるSF6ガス置換装置の少なくとも
一種を備えたことを特徴とする。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、容器17に収
容された凝縮液をサンプリングしてそのフッ化水素やウ
ランの含有量を測定し、対処する方法では、サンプリン
グに時間がかかり迅速な測定ができない問題点がある。
また、上記ウラン計量管理システムではバックグラウン
ド計数が大きく、正確に値を測定することが困難であ
る。
【0006】本発明の目的は、装置から排出されるフッ
化水素の含有量を迅速にかつ正確に測定して原料の供給
を的確に自動制御できるフッ化ウラニル粉末の製造装置
を提供することにある。本発明の別の目的は、装置から
万一ウランが排出される場合に高精度かつ迅速に警報を
発するフッ化ウラニル粉末の製造装置を提供することに
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
図1に示すようにそれぞれ連続的に供給される六フッ化
ウランガスと水蒸気とを加熱反応させてフッ化ウラニル
粉末を連続的に生成する反応装置22と、反応装置22
から連続的に排出されるオフガスを所定量採取し分析し
てオフガス中のフッ化水素の含有量を測定し電気信号と
して送出する自動分析装置50と、自動分析装置50か
ら送出される電気信号の基づいて六フッ化ウランガスを
供給する第1流量調整弁41又は水蒸気を供給する第2
流量調整弁42を制御するコントローラ60とを備えた
フッ化ウラニル粉末の製造装置である。
【0008】この製造装置において、次の式(1)に示
す反応が反応装置22内で生じる。 UF6 + 2H2O → UO22 + 4HF …… (1) 自動分析装置50は装置22から排出されるオフガス中
のフッ化水素の含有量を迅速にかつ正確に測定して、調
整弁41又は42の開度を適切に変えることにより原料
の供給を的確に自動制御することができる。
【0009】請求項2に係る発明は、図3に示すように
それぞれ連続的に供給される六フッ化ウランガスと水蒸
気とを加熱反応させてフッ化ウラニル粉末を連続的に生
成する反応装置22と、反応装置22から連続的に排出
されるオフガスを洗浄してフッ酸を含む洗浄廃液を連続
的に排出する洗浄塔39と、洗浄塔39から連続的に排
出される洗浄廃液を所定量採取し分析して洗浄廃液中の
ウランの含有量を測定し電気信号として送出する自動分
析装置50と、自動分析装置50から送出される電気信
号に基づいてウランを検出する場合に警報装置62を作
動するコントローラ60を備えたフッ化ウラニル粉末の
製造装置である。洗浄塔39の洗浄廃液から万一ウラン
が排出された場合、自動分析装置50は高精度にウラン
を検出し、コントローラ60は警報装置62を作動させ
る。
【0010】請求項3に係る発明は、請求項1又は2に
係る発明であって、自動分析装置50が、オフガス又は
洗浄廃液を所定量連続的に採取する採取装置51と、採
取装置51により採取されたオフガス又は洗浄廃液を呈
色試薬52と連続的に混合する混合装置53と、この混
合物を連続的に反応させて発色させる反応カラム54
と、発色した反応物の吸光光度を連続的に測定する吸光
光度計56と、吸光光度計56の測定データからオフガ
ス中のフッ素含有量又は洗浄廃液中のウラン含有量を電
気信号に連続的に変換する変換装置57とを備えたフッ
化ウラニル粉末の製造装置である。吸光光度計56を使
用することにより装置から排出されるフッ素の含有量又
はウランの含有量を迅速にかつ正確に測定できる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明のフッ化ウラニル粉
末の製造装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、流動層反応装置22の側面にはシー
ド粉となるUO22粉末を供給するシード粉供給管21
が斜め上向きに、また反応生成物であるUO22粉末を
抜出す上部抜出し管27が斜め下向きにそれぞれ設けら
れる。流動層反応装置22の内底部近傍には分散板30
が反応装置22の内部を区画するように設けられる。こ
の分散板30より上の反応装置内部にはシード粉のUO
22粉末から構成される流動層24が形成される。分散
板30は多孔質のメッシュに形成され、流動用ガスは透
過するが、シード粉は抜け落ちないようになっている。
また分散板30より下の反応装置内部には流動層24へ
水蒸気を均一に送り込むウィンドボックス31が形成さ
れる。反応装置22の底部側壁にはウィンドボックス3
1内に向けて水蒸気を供給する水蒸気供給管23が設け
られる。この水蒸気供給管23への水蒸気の供給量は第
2流量調整弁42により調整される。流動層24は水蒸
気供給管23及びウィンドボックス31を通って分散板
30を透過する水蒸気により流動状態になる。水蒸気供
給管23に供給される水蒸気は水をヒータ29で加熱す
ることにより発生する。反応装置22の側壁には供給ノ
ズル26がこの側壁を貫通して設けられる。供給ノズル
26には第1流量調整弁41により供給量が調整された
六フッ化ウランと窒素ガスが圧送され、このガスが供給
ノズル26により流動層24に噴霧されるように構成さ
れる。流動層24の深部にあるUO22粉末を反応装置
22の外部に抜き出す下部出し管28が分散板30及び
反応装置22の底部を貫通して設けられる。反応装置2
2の上部には流動層反応により生成して上昇するUO2
2粉末をHFガスと未反応の水蒸気と窒素ガスとを含
むオフガスから分離する固気分離フィルタ32が設けら
れる。フィルタ32の上部にはオフガス管33が反応装
置22を貫通して設けられる。固気分離フィルタ32の
上端には逆洗用の不活性ガスを吹込む逆洗管35が接続
される。オフガス管33から排出したHFガスと窒素ガ
スと未反応の水蒸気を含むオフガスは流路43に設けら
れた三方切換弁44を介して三方切換弁34に導かれ
る。三方切換弁34の一方はオフガスを凝縮する凝縮器
36に接続され、この凝縮液は容器37に収容され、凝
縮器36から排出される窒素ガス及び微量のHFガスは
三方切換弁38を介して洗浄塔39に導かれる。オフガ
ス管33から排出したオフガスは通常操業時には凝縮器
36へ送らずに三方切換弁34及び38を切換えて直接
に洗浄塔39へ送られる。洗浄塔39ではフッ酸を含む
洗浄廃液と窒素ガスに分離される。
【0012】図2に示すように、三方切換弁44には自
動分析装置50の採取装置51が接続される。装置50
には採取装置51で採取された試料と呈色試薬52とを
混合する混合装置53及びこの混合装置53で混合され
た混合物を反応させて発色させる反応カラム54が設け
られる。反応カラム54の近傍には吸光光度計56が設
けられ、この光度計56には光度計の測定データから試
料中のフッ素含有量を電気信号に連続的に変換する変換
装置57が接続される。反応カラム54で測定された液
は廃液として装置50より排出される。この吸光光度計
56では退色法であるZr−エリオクロムシアニンR法
や、直接発色法であるアリザリンコンプレクソン(AL
C)法に基づいて吸光度が測定される。図1に示すよう
に、自動分析装置50の変換装置57の出力はコントロ
ーラ60に接続される。コントローラ60の制御出力は
第1流量調整弁41及び第2流量調整弁42に接続され
る。コントローラ60に内蔵されるメモリ61には吸光
光度計56が測定するフッ素イオンの量に応じた、流量
調整弁41及び42の適正な開度が記憶されている。
【0013】このように構成のフッ化ウラニル粉末の製
造装置の動作を説明する。まずシード粉供給管21によ
りシード粉のUO22粉末を反応装置22内に一定量だ
け供給し、次いで水蒸気供給管23より水蒸気を反応装
置22内に供給すると、流動層24が流動状態になる。
図示しない加熱装置により流動層24を加熱し、反応温
度まで昇温する。流動層24の温度が所定の温度に到達
すると、供給ノズル26から六フッ化ウランと窒素ガス
を流動層24に噴霧する。その結果、噴霧された六フッ
化ウランと窒素ガスは流動層24内で激しく撹拌され、
六フッ化ウランは水蒸気と反応して、UO22とHFを
生成する。UO22が生成すると反応装置22内のUO
22粉末の量が増加する。増加したUO22粉末は反応
生成物として上部抜出し管27から定期的に抜き出され
る。オフガス管33から排出されたHFガスを含むオフ
ガスは、その一定量が三方切換弁44から一定の周期、
例えば3分間隔で自動分析装置50の採取装置51によ
り採取される。採取された試料は混合装置53により呈
色試薬と連続的に均一に混合され、反応カラム54に送
られる。呈色試薬には、試料中のフッ素イオンと安定な
錯体をつくるZr−アリザリンS、Zr−エリオクロム
シアニンR、Zr−SPA−DNS、Zr−キシレノー
ルオレンジ、Th−ネオトリン等が用いられる。反応カ
ラム54では試薬52と試料が反応して発色する。吸光
光度計56は発色した反応物を収納する反応カラム54
にフッ素イオンの検出に適する所定の波長の単色光を照
射してその吸光度を測定する。吸光光度計54で測定さ
れた吸光度は変換装置57で電気信号に変換された後、
コントローラ60に送出される。吸光度の測定が終了す
ると、自動分析装置50内の試料は強制的に廃液として
排出され、自動分析装置50は次の測定に備える。
【0014】コントローラ60は自動分析装置50から
送出される電気信号に基づいて、メモリ61に記憶され
ている流量調整弁41及び42の開度を参照し、流量調
整弁41及び42を適正な開度に自動的に調整する。こ
れにより原料の六フッ化ウランガスの供給量又は水蒸気
の供給量が自動調整される。例えばフッ素イオンの量が
少な過ぎる場合には、第1流量調整弁41の開度を大き
くして供給ノズル26からの六フッ化ウランの供給量を
増加するか、又は第2流量調整弁42の開度を小さくし
て水蒸気供給管23からの水蒸気の供給量を少なくす
る。逆にフッ素イオンの量が多過ぎる場合には調整弁4
1の開度を小さくして六フッ化ウランの供給量を減らす
か、又は調整弁42の開度を大きくして水蒸気の供給量
を多く調整する。この結果、フッ化ウラニル粉末を高い
収率で製造することができる。
【0015】次に本発明の別の実施の形態を図3に基づ
いて説明する。図3において、前記実施の形態と同一の
構成部位は図1と同一符号で示す。この実施の形態で
は、洗浄塔39の洗浄廃液の流路46には三方切換弁4
7が設けられ、三方切換弁47には自動分析装置50の
採取装置51が接続される。この自動分析装置50の構
成は、前記実施の形態と同一であるので繰返しの説明を
省略する。自動分析装置50の出力は、コントローラ6
0に接続され、コントローラ60の制御出力には警報装
置62に接続される。コントローラ60に内蔵されるメ
モリ61には吸光光度計56が測定するウランイオンの
有無に応じた警報装置62の起動の要否が記憶されてい
る。
【0016】このように構成された装置では、洗浄塔3
9から排出された洗浄廃液は、その一定量が三方切換弁
47から一定の周期、例えば5分間隔で自動分析装置5
0の採取装置51により採取される。採取された試料は
混合装置53により呈色試薬52と連続的に均一に混合
され、反応カラム54に送られる。呈色試薬52には、
ウランイオンと安定な錯体をつくるH22、NH4SC
N、8・キリノール等が用いられる。反応カラム54で
は試薬52と試料が反応して発色する。吸光光度計56
は発色した反応物を収納する反応カラム54にウランイ
オンの検出に適する所定の波長の単色光を照射してその
吸光度を測定する。吸光光度計54で測定された吸光度
は変換装置57で電気信号に変換された後、コントロー
ラ60に送出される。吸光度の測定が終了すると、自動
分析装置50内の試料は強制的に廃液として排出され、
自動分析装置50は次の測定に備える。コントローラ6
0は自動分析装置50から送出される電気信号をメモリ
61に記憶されている洗浄廃液に含まれるウランの自主
管理上限値と比較して、この上限値を越える場合には、
警報装置62を起動する。
【0017】
【発明の効果】以上述べたように、従来のような手作業
による試料のサンプリングの代わりに、本発明の製造装
置では反応装置から連続的に排出されるオフガス中のフ
ッ素の含有量をリアルタイムで自動分析して、直ちに原
料の供給を自動制御するので、常に適切な製造条件を維
持することができ、高い収率でフッ化ウラニル粉末を製
造することができる。また本発明の別の製造装置によれ
ば、反応装置のオフガスを洗浄塔で洗浄することにより
発生した洗浄廃液中のウランの含有量をリアルタイムで
自動分析して、ウランを含有する場合に直ちに警報を発
することができるので、安全管理体制をより一層強固に
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態のフッ化ウラニル粉末の製
造装置の構成図。
【図2】その自動分析装置の構成図。
【図3】本発明の別の実施の形態のフッ化ウラニル粉末
の製造装置の構成図。
【図4】従来のフッ化ウラニル粉末の製造装置の構成
図。
【符号の説明】
22 反応装置 39 洗浄塔 41 第1流量調整弁 42 第2流量調整弁 50 自動分析装置 51 採取装置 52 呈色試薬 53 混合装置 54 反応カラム 56 吸光光度計 57 変換装置 60 コントローラ 62 警報装置

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれ連続的に供給される六フッ化ウ
    ランガスと水蒸気とを加熱反応させてフッ化ウラニル粉
    末を連続的に生成する反応装置(22)と、 前記反応装置(22)から連続的に排出されるオフガスを所
    定量採取し分析して前記オフガス中のフッ化水素の含有
    量を測定し電気信号として送出する自動分析装置(50)
    と、 前記自動分析装置(50)から送出される電気信号に基づい
    て前記六フッ化ウランガスを供給する第1流量調整弁(4
    1)又は前記水蒸気を供給する第2流量調整弁(42)を制御
    するコントローラ(60)とを備えたフッ化ウラニル粉末の
    製造装置。
  2. 【請求項2】 それぞれ連続的に供給される六フッ化ウ
    ランガスと水蒸気とを加熱反応させてフッ化ウラニル粉
    末を連続的に生成する反応装置(22)と、 前記反応装置(22)から連続的に排出されるオフガスを洗
    浄してフッ酸を含む洗浄廃液を連続的に排出する洗浄塔
    (39)と、 前記洗浄塔(39)から連続的に排出される洗浄廃液を所定
    量採取し分析して前記洗浄廃液中のウランの含有量を測
    定し電気信号として送出する自動分析装置(50)と、 前記自動分析装置(50)から送出される電気信号に基づい
    てウランを検出する場合に警報装置(62)を作動するコン
    トローラ(37)とを備えたフッ化ウラニル粉末の製造装
    置。
  3. 【請求項3】 自動分析装置(50)が、オフガス又は洗浄
    廃液を所定量連続的に採取する採取装置(51)と、前記採
    取装置(51)により採取されたオフガス又は洗浄廃液を呈
    色試薬(52)と連続的に混合する混合装置(53)と、前記混
    合物を連続的に反応させて発色させる反応カラム(54)
    と、前記発色した反応物の吸光光度を連続的に測定する
    吸光光度計(56)と、前記吸光光度計(56)の測定データか
    らオフガス中のフッ素含有量又は洗浄廃液中のウラン含
    有量を電気信号に連続的に変換する変換装置(57)とを備
    えた請求項1又は2記載のフッ化ウラニル粉末の製造装
    置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001058810A1 (fr) * 2000-02-11 2001-08-16 Societe Franco-Belge De Fabrication De Combustible - Fbfc Procede et dispositif de determination de l'evolution d'une reaction chimique dans un four et de reglage de la reaction
EP1681682A1 (en) * 2005-01-13 2006-07-19 General Electronic Company Methods and apparatus for operating vaporization systems
JP2014053308A (ja) * 2012-09-07 2014-03-20 Robert Bosch Gmbh エネルギ蓄積器、その製造方法および検出手段の使用方法
CN103886925A (zh) * 2014-03-11 2014-06-25 兰州大学 六氟化铀碱吸收液废液中铀与氟的回收方法
CN114392712A (zh) * 2022-02-22 2022-04-26 拓烯科技(衢州)有限公司 一种烯烃模试连续溶液聚合装置和工艺

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001058810A1 (fr) * 2000-02-11 2001-08-16 Societe Franco-Belge De Fabrication De Combustible - Fbfc Procede et dispositif de determination de l'evolution d'une reaction chimique dans un four et de reglage de la reaction
FR2805044A1 (fr) * 2000-02-11 2001-08-17 Franco Belge Combustibles Procede et dispositif de determination de l'evolution d'une reaction chimique dans un four et de reglage de la reaction
US7374940B2 (en) 2000-02-11 2008-05-20 Societe Franco-Belge De Fabrication De Combustible-Fbfc Method and apparatus for determining the progress of a uranium oxyfluoride conversion reaction in a furnace and for controlling the reaction
EP1681682A1 (en) * 2005-01-13 2006-07-19 General Electronic Company Methods and apparatus for operating vaporization systems
JP2014053308A (ja) * 2012-09-07 2014-03-20 Robert Bosch Gmbh エネルギ蓄積器、その製造方法および検出手段の使用方法
CN103886925A (zh) * 2014-03-11 2014-06-25 兰州大学 六氟化铀碱吸收液废液中铀与氟的回收方法
CN114392712A (zh) * 2022-02-22 2022-04-26 拓烯科技(衢州)有限公司 一种烯烃模试连续溶液聚合装置和工艺

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