JPH10275307A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッドのサイドイレーズ域をなくして、
トラックエッジ部の磁束の漏れによる隣接トラックのイ
レーズを低減することができる磁気ヘッドの製造方法を
提供すること。 【解決手段】 第１磁気コア１２と第２磁気コア１４の
摺動する摺動面１６，１８には傾斜アジマス角θが設定
された磁気ギャップＧＰを有し、この磁気ギャップＧＰ
には金属薄膜２４が形成され、第１磁気コア１２のトラ
ックと第２磁気コア１４のトラックには、磁気ギャップ
ＧＰに対応して情報記録媒体の記録トラックに対応する
実トラック幅ＴＷが設定される磁気ヘッド１０の製造方
法である。この実トラック幅は、金属薄膜２４に集束イ
オンビームＩＢを当ててトラックエッジ部ａを加工する
ことにより規制する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばビデオテー
プレコーダ（ＶＴＲ）のような磁気記録装置に搭載され
て、磁気記録／再生に用いられる磁気ヘッドを製造する
ための製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の情報記録装置は高記録密度化が
進んでいる。ビデオテープレコーダ等に搭載される磁気
記録装置では、例えば誘導型の磁気ヘッドが用いられて
いる。この誘導型の磁気ヘッドは、磁気テープが摺動す
る摺動面やその摺動面のほぼ中央に位置された磁気記録
及び／または再生用の磁気ギャップ等を有している。こ
の磁気ギャップの幅は、磁気テープに形成される記録ト
ラックのトラック幅に対応した寸法である。

【０００３】図４は通常用いられている磁気ヘッド１を
示している。この磁気ヘッド１は、上述した磁気テープ
が摺動する摺動面２と、磁気ギャップ３を有している。
この磁気ギャップ３は、所定のアジマス角θが設定され
ている。このアジマス角θが磁気ギャップ３に対して設
定されるのは次の理由からである。磁気テープに対して
高密度記録を達成するために、磁気ヘッド１において
は、磁気ギャップ３がそれぞれのフォーマットによって
異なるアジマス角度を設定されている。一つの磁気記録
パターンに対して所定のアジマス角度＋θで磁気記録
し、隣の磁気記録パターンにおいては、別の角度のアジ
マス角度−θで磁気記録することにより、隣接する磁気
記録パターン間におけるクロストークを回避する。

【０００４】図４の磁気ヘッド１の第１コア４と第２コ
ア５のトラック６とトラック７が合わせることで、実ト
ラック幅ＴＷを形成するのであるが、その場合に、トラ
ック６，７の形状が不一致である場合には、突出部がで
きてしまい、所謂サイドイレーズ域８，８が発生してし
まう。このサイドイレーズ域８，８は、例えば０〜２μ
ｍ程度であり、実トラック幅ＴＷは例えば１０μｍであ
る。このようなサイドイレーズ域８，８は、特にトラッ
クピッチが小さくなってきている例えば民生用のデジタ
ルビデオカメラ（ＤＶＣ）のあるモード（例えば実トラ
ック幅ＴＷが６．７μｍ）では、金属薄膜９，９を有す
る磁気ヘッド１では、上述したサイドイレーズ域８，８
の大きさが問題となってくる。このサイドイレーズ域８
とは、トラックエッジ部の磁束の漏れによる隣接のトラ
ックのイレーズ（消去）を行う領域のことであり、この
ようなサイドイレーズ域８，８を除去しないと、磁気テ
ープ上の記録情報が減少し、磁気記録効率が低下してし
まう問題がある。

【０００５】そこで、特開平８−１８５６０６号公報で
は、図５に示すようにこのようなサイドイレーズ域８，
８を機械的に追加工により除去する方法が提案されてい
る。つまり砥石等の機械的な追加工により、サイドイレ
ーズ域８，８（トラックエッジ部の形状修正部分）９
ａ，９ａを除去することにより、実トラック幅ＴＷを得
るようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
砥石等による機械的な追加工で実トラック幅ＴＷを得る
方法では次のような問題がある。図４の磁気ヘッド１の
第１コア４と第２コア５のトラック６，７に対応して、
機械的な追加工を行うために、金属薄膜９，９やフェラ
イトコア製の第１コア４及び第２コア５に対して加工歪
を残してしまい、この加工歪が磁気記録効率あるいは磁
気再生効率を低下させてしまう。またこのような機械的
な追加工では、その加工精度が数μｍオーダー程度であ
るので、磁気ヘッド１の形状の最適化が難しいという問
題がある。

【０００７】また特開平６−２７４８１３号公報には、
磁気ヘッドのコア材を機械加工して、その機械加工によ
り生じる加工歪及び変質層を、イオンビームエッチング
法により除去することが記載されている。しかしこの方
法では、コア材を機械加工した部分に誘発される加工歪
及び変質層を除去するために、このイオンビームは拡散
して複数個のコア材に対して当てることで、各コア材の
加工歪及び変質層を取り除いているに過ぎない。

【０００８】また特開平５−１２８４６１号公報では、
ハードディスク用のスライダのトラック部の側壁の加工
例を示しており、その加工にはイオンエッチングを用い
ている。しかしこの場合ハードディスク用のスライダに
おいて、トラック部の側壁の磁気ギャップがオフトラッ
ク特性に与える影響を低減する目的であり、隣接トラッ
クからの信号の影響を受けないようにしている。そこで
本発明は上記課題を解消し、磁気ヘッドの磁路の不要部
分であるサイドイレーズ域をなくして、トラックエッジ
部の磁束の漏れによる隣接トラックのイレーズを低減し
て、オフトラック特性を改善することができる磁気ヘッ
ドの製造方法を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、第１磁気コアのトラックと第２磁気コアのトラ
ックを突き合わせることで、第１磁気コアと第２磁気コ
アにおけるテープ状の情報記録媒体が摺動する摺動面に
は傾斜アジマス角が設定された磁気ギャップを有し、こ
の磁気ギャップには金属薄膜が形成され、第１磁気コア
のトラックと第２磁気コアのトラックには、磁気ギャッ
プに対応して情報記録媒体の記録トラックに対応する実
トラック幅が設定される磁気ヘッドの製造方法におい
て、この実トラック幅は、金属薄膜内に集束イオンビー
ムを当ててトラックエッジ部を加工することにより規制
する磁気ヘッドの製造方法により、達成される。

【００１０】本発明では、第１磁気コアのトラックと第
２磁気コアのトラックに対して実トラック幅を設定する
際に、この実トラック幅は、金属薄膜内に集束イオンビ
ームを当ててトラックエッジ部を加工することにより規
制する。この場合、金属薄膜内に集束イオンビームを当
ててトラックエッジ部を加工するので、第１磁気コアと
第２磁気コアには影響を与えない。これにより、トラッ
クエッジ部における磁束の漏れによる隣接トラックのイ
レーズを低減することができ、かつ磁気記録効率あるい
は磁気再生効率を劣化させずに、最適化されたオフトラ
ック形状を設定することができる。これによって、トラ
ックピッチの小さい記録が可能となり、記録密度の向上
が図れる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。

【００１２】図１は、本発明の磁気ヘッドの製造方法に
より作られる磁気ヘッドの好ましい実施の形態を示して
いる。この磁気ヘッド１０は、例えばビデオテープレコ
ーダの回転ヘッド装置の回転ドラムに搭載されて、ビデ
オテープに対して信号を磁気記録したり、すでにビデオ
テープに記録されている信号を再生するのに用いること
ができる。磁気ヘッド１０は、第１磁気コア１２と第２
磁気コア１４や、巻線材（図示せず）を有している。こ
の磁気ヘッド１０は、誘導型の磁気ヘッドであり、第１
磁気コア１２と第２磁気コア１４にはそれぞれ摺動面１
６，１８が形成されている。これらの摺動面１６と１８
の中央部分には、磁気ギャップＧＰが形成されている。

【００１３】図２は、図１の磁気ギャップＧＰの付近を
拡大して示しており、第１磁気コア１２のトラック２０
と、第２磁気コア１４のトラック２２は、例えばＦｅ−
Ａｌ−Ｓｉ合金等からなる金属薄膜（金属磁性膜）２４
により形成されている。第１磁気コア１２と第２磁気コ
ア１４は、例えばＭｎ−Ｚｎフェライト等の磁性体材料
で作られており、これらの第１磁気コア１２と第２磁気
コア１４は、融着ガラス２６により固定されている。磁
気ギャップＧＰは、第１磁気コア１２と第２磁気コア１
４の面２８，２８に対して所定の傾斜アジマス角θで傾
斜して形成されている。

【００１４】次に、図２に示す集束イオンビーム発生装
置３０について説明する。この集束イオンビーム発生装
置３０は、イオン源３２と、円筒レンズを有する集束部
３４を備えている。この集束イオンビームは、図２と図
３に示す上からみてほぼ台形状の加工部４０，４０を加
工するために用いられ、所謂イオンミリング法を用い
て、高真空中で細く絞ったイオンビームを金属薄膜２４
内に対して照射するようになっている。このイオン源３
２から出るイオンビームは、円筒レンズのような集束部
３４で集束されて、集束イオンビームＩＢとして金属薄
膜２４中の加工部４０，４０に照射される。イオン源３
２におけるイオン源用物質としては、例えばＧａを採用
することができる。このような集束イオンビームＩＢを
用いることで、サブミクロン以下の寸法、例えば０．１
μｍの微細加工ができる。

【００１５】次に、上述した磁気ヘッド１０において、
図１と図３に示す正確な実トラック幅ＴＷを形成するた
めの方法について説明する。第１磁気コア１２のトラッ
ク２０と第２磁気コア１４のトラック２２は、磁気ギャ
ップＧＰを形成するようにして対峙しており、第１磁気
コア１２と第２磁気コア１４は融着ガラス２６，２６に
より予め接合されている。この状態では磁気ギャップＧ
Ｐは図２に示すように所定の傾斜アジマス角θの方向に
向いている。

【００１６】図２の集束イオンビーム３０を作動して、
イオン源３２からイオンビームを出力し、そのイオンビ
ームが集束部３４により集束されて集束イオンビームＩ
Ｂとなって加工部４０，４０に照射される。この場合
に、２つの集束イオンビーム発生装置３０，３０を用意
して、それぞれの加工部４０，４０に対して集束イオン
ビームＩＢ，ＩＢを同時に照射するようにしてもよい
し、１つの集束イオンビーム発生装置３０を用意して、
一方の加工部４０に対して集束イオンビームＩＢを照射
してから、もう一方の加工部４０に対して集束イオンビ
ームＩＢを照射するようにしても勿論構わない。

【００１７】加工部４０は、集束イオンビームＩＢによ
り次のようにして加工される。集束イオンビームＩＢ
は、金属薄膜（メタル薄膜部）２４の領域内においての
み照射される。この加工部４０の部分ａは、新たにイオ
ンビーム加工により形成されたトラックエッジ部分であ
り、図３に示すこのトラックエッジ部分ａ，ａは、磁気
ギャップＧＰとの形成方向Ｘと直交する方向Ｙに沿って
形成されている。一方の加工部４０のトラックエッジ部
分ａと他方の加工部４０のトラックエッジ部分ａは、実
トラック幅ＴＷを規制している。またそのトラックエッ
ジ部分ａのＹ方向の幅ｔは、金属薄膜２４のＹ方向の幅
ｔ１の１／２以下である。この理由としては、通常金属
薄膜の厚みは、両サイド合わせて６μｍ〜１６μｍ程度
で、最小でも３μｍ（６μｍの１／２）除去すれば、０
〜２μｍのサイドイレーズ域を除去するのに十分である
と考えるからである。従って、このトラックエッジ部分
ａ，ａは、フェライト製の第１磁気コア１２と第２磁気
コア１４に対しては絶対に交差しないようにしなければ
ならない。この理由としては、第１磁気コア１２と第２
磁気コア１４に新たな加工をすることによる磁気的な影
響を残さないためである。

【００１８】またトラックエッジ部分ａと部分ｂ１，部
分ｂ２は金属薄膜２４において、磁気記録パターンの＋
アジマスと−アジマスと異なる角度で交差することとす
る。つまりこの部分ｂ１，部分ｂ２は、傾斜アジマス角
θの方向とは一致しない方向に向いている。更にトラッ
クエッジ部分ａと加工部４０の部分ｂ１，ｂ２の奥行
（図３における図面垂直方向）は、ギャップディプス
（磁気ギャップの深さ）まで加工することとし、その他
の部分は可能な限り小さくすることとする。

【００１９】集束イオンビーム法による加工部４０，４
０の加工は、電子レベルで行う加工法なので、金属薄膜
２４に対して加工歪を残すことがなく、磁気効率の低下
を生じさせない上に、例えば０．１μｍオーダーの加工
ができるので、特にトラックエッジ部分ａ，ａの形状の
最適化が容易に行える。また加工部４０，４０は第１磁
気コア１２と第２磁気コア１４にはかからないように形
成するので、これらの第１磁気コア１２と第２磁気コア
１４には影響を全く与えない。以上のように、本発明の
磁気ヘッドの製造方法を用いることにより、トラックエ
ッジ部の磁束の漏れによる隣接トラックのイレーズ（サ
イドイレーズと呼ばれている）を低減することができ
る。そして従来問題となっていたサイドイレーズ域を除
去できるので、磁気ヘッドのオフトラック特性を改善す
ることが可能である。

【００２０】本発明の磁気ヘッドの製造方法では、すで
に機械加工により作られた図１に示す磁気ヘッドに対し
て、集束イオンビームによるスパッタリングのみで微細
加工をしてトラックエッジ部分ａ，ａを新たに形成し、
それにより磁気ギャップＧＰの実トラック幅ＴＷを正し
く設けることができる。なお、実トラック幅ＴＷを形成
する場合に、第１磁気コア１２と第２磁気コア１４のそ
れぞれのトラック２０，２２の一方端において、すでに
加工部４０を形成する必要がない場合には、一つの加工
部４０だけを形成することによっても実トラック幅ＴＷ
を形成することも可能である。

【００２１】上述した磁気ヘッドの加工方法では、用い
られている磁気ヘッドが例えばビデオテープレコーダ用
の磁気ヘッドであるが、ビデオテープレコーダ用の磁気
ヘッドとしては、例えばＶＨＳ方式、β（βｅｔａ）方
式、あるいは８ｍｍビデオテープレコーダに用いてもよ
い。またこの種の磁気ヘッドは、ＤＶＣ（デジタルビデ
オカメラ）やＲＤＡＴ（デジタルオーディテープレコー
ダ）用の磁気ヘッドとしても用いることができる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁気ヘッドの磁路の不要部分であるサイドイレーズ域を
なくして、トラックエッジ部の磁束の漏れによる隣接ト
ラックのイレーズを低減して、オフトラック特性を改善
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドの製造方法により作られた
磁気ヘッドを示す斜視図。

【図２】図１の磁気ヘッドの磁気ギャップの付近及び集
束イオンビーム発生装置を示す斜視図。

【図３】図２の磁気ヘッドの磁気ギャップ及び集束イオ
ンビームにより加工された加工部を示す平面図。

【図４】従来の磁気ヘッドを示す斜視図。

【図５】図４の従来の磁気ヘッドに機械的な追加工をし
て実トラック幅を形成した状態を示す図。

【符号の説明】

１０・・・磁気ヘッド、１２・・・第１磁気コア、１４
・・・第２磁気コア、１６，１８・・・摺動面、２０，
２２・・・トラック、２４・・・金属薄膜、３０・・・
集束イオンビーム発生装置、４０・・・加工部、ａ・・
・トラックエッジ部分、ＩＢ・・・集束イオンビーム、
ＧＰ・・・磁気ギャップ、ＴＷ・・・実トラック幅、ａ
・・・トラックエッジ部分（トラックエッジ部）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１磁気コアのトラックと第２磁気コア
   のトラックを突き合わせることで、第１磁気コアと第２
   磁気コアにおけるテープ状の情報記録媒体が摺動する摺
   動面には傾斜アジマス角が設定された磁気ギャップを有
   し、この磁気ギャップには金属薄膜が形成され、第１磁
   気コアのトラックと第２磁気コアのトラックには、磁気
   ギャップに対応して情報記録媒体の記録トラックに対応
   する実トラック幅が設定される磁気ヘッドの製造方法に
   おいて、 この実トラック幅は、金属薄膜内に集束イオンビームを
   当ててトラックエッジ部を加工することにより規制する
   ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 実トラック幅は、集束イオンビームを当
   てて一方のトラックエッジ部と他方のトラックエッジ部
   を加工することにより規制する請求項１に記載の磁気ヘ
   ッドの製造方法。
3. 【請求項３】 集束イオンビームを当てて新たに形成さ
   れた一方のトラックエッジ部と他方のトラックエッジ部
   は、磁気ギャップの形成方向と直交し、集束イオンビー
   ムを当てて新たに形成された一方のトラックエッジ部と
   他方のトラックエッジ部は、第１磁気コアと第２磁気コ
   アの間の金属薄膜内に位置されている請求項２に記載の
   磁気ヘッドの製造方法。