JPH10274506A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

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JPH10274506A
JPH10274506A JP8100097A JP8100097A JPH10274506A JP H10274506 A JPH10274506 A JP H10274506A JP 8100097 A JP8100097 A JP 8100097A JP 8100097 A JP8100097 A JP 8100097A JP H10274506 A JPH10274506 A JP H10274506A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 センサビームが反射面の境界部分を通過する
際の出力変動を無くし、検出分解能を向上させること。
反射面の配列を工夫することにより、検出可能な移動距
離を確保すると共に、設計の簡易化及び生産性の向上を
計ること。 【解決手段】 一軸方向に沿って対向状態を維持しなが
ら相対移動する反射型フォトセンサ及び反射板を備え、
反射板には、相対移動方向に沿って短冊状の反射面1と
無反射面とを交互に設けると共に、当該反射面1の割合
が相対移動方向の一方に向かって漸増するように設定さ
れ、反射型フォトセンサの受光量に基づく出力から当該
反射型フォトセンサと反射板との相対位置を検出する。
特に、隣接する反射面1と無反射面(斜線部)とを一組
として反射面の割合が等しい組を2組以上並べて配置し
たこと。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、位置検出装置に係
り、特に、光反射型の位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の位置検出装置は、例え
ば、図12のように一定間隔で配置した反射面81をそ
のX方向幅(図の左右方向)が一定の割合で増加するよ
うに並べ、この反射パターンを施した反射板82を図1
3のように可動体83に取り付けた反射手段と、この反
射板82に対向するように固定体84に取り付けられた
反射型フォトセンサ85とから構成されている。
【0003】そして、可動体83がX方向に移動したと
きには、反射板82上においてフォトセンサ85の出射
ビーム86が照射されるX方向位置が変わり、そのため
反射面81によってフォトセンサ85の受光部に返って
くるビーム量も変化する。ここに、センサの最終出力は
センサへの戻りビーム量に比例するので、センサの最終
出力により、可動体83の変位量を求められる。そのと
きの可動体83の変位量Xとフォトセンサ85の出力と
の関係を表すと図10のようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例には以下の不都合があった。
【0005】第1には、検出分解能を高め難いことであ
る。その理由は、センサビームが反射面と反射しない面
(以下、無反射面ともいう)の境界部分を通過する際に
大きな出力変動が顕れ、これにより変位量Xとフォトセ
ンサ出力とのリニアリティ(線形性)が保てなくなる為
である。
【0006】第2には、検出可能な移動量を長くするの
が困難なことである。その理由は、検出可能な移動距離
を長くとるためには反射面幅の変化率を少なく設定する
必要があるが、そのために微細な幅の違いを高精度で実
現するのは製作上難しい為である。
【0007】第3には、検出距離の設定が不適切の場
合、反射面パターンの設計が困難になることである。そ
の理由は、検出する移動距離に対して反射面設置ピッチ
を均等に配分すると、反射面のピッチや幅に端数が出て
しまい、反射面幅の変化率を一定に保てなくなる場合が
あるからである。
【0008】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、特に、センサビームが反射面の境界部分を通
過する際の出力変動を無くし、検出分解能を向上させる
ことを第1の目的とする。また、反射面の配列を工夫す
ることにより、検出可能な移動距離を確保すると共に、
設計の簡易化及び生産性の向上を計ることを、第2の目
的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の反射パターンで
は、反射面の設置ピッチをより細かくし、なおかつ反射
面の幅が段階的に変化するように配列を工夫した。具体
的には、反射面の設置ピッチを従来の1/2にし、幅の
同じ反射面2つを1組として組ごとに反射面の幅を変化
させるという配列にした。
【0010】即ち、請求項1記載の発明では、一軸方向
に沿って対向状態を維持しながら相対移動する反射型フ
ォトセンサ及び反射板を備えている。このうち、反射板
には、相対移動方向に沿って短冊状の反射面と無反射面
とを交互に設けると共に、当該反射面の割合が相対移動
方向の一方に向かって漸増するように設定されている。
そして、反射型フォトセンサの受光量に基づく出力から
当該反射型フォトセンサと反射板との相対位置を検出す
るようになっている。特に、隣接する反射面と無反射面
とを一組として反射面の割合が等しい組を2組以上並べ
て配置した、という構成を採っている。
【0011】ここで、反射型フォトセンサ及び反射板
は、いずれか一方が固定されていても良い。また、「一
軸」は直線軸に限られず円周に沿った軸等でも良い。従
って、「反射板」には、平面状のものだけでなく曲面状
乃至環状のものも含まれる。また、「無反射面」には、
反射面に対し光の反射を抑制することを目的として設け
られた面が含まれる。
【0012】請求項2記載の発明では、隣接する反射面
と無反射面とから構成される組の相対移動方向の幅を、
各組について同一に設定した、という構成を採ってい
る。
【0013】請求項3記載の発明では、2組以上並べて
配置する組の数が、反射面の割合毎に同一数である、と
いう構成を採っている。
【0014】これらにより、上述した目的を達成しよう
とするものである。
【0015】本発明では、反射板に対向した位置に設置
してあるフォトセンサより出射されたビームは、反射板
上の反射パターンに照射される。フォトセンサ又は反射
板の両方又はいずれか一方が変位すると、ビームが照射
する反射パターン位置も変わる。
【0016】ビームが反射面の境界部分にさしかかった
とき、センサ出力は落ち始めるが、この部分以外のビー
ム照射面積が十分大きいことと、すぐに次の反射面にビ
ームがかかり始めることからセンサ出力の落ち込みは殆
ど無く、スムーズな出力変化となる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0018】図1に本実施形態の反射パターンの一例、
図2に本実施形態の反射パターンを用いた位置検出装置
の一例を示す。図中の斜線部は無反射面を示す(以下、
同じ)。
【0019】図1を参照すると、まず反射パターンを形
成する領域を、幅aのブロックに分割する。さらに、幅
aのブロック内を1/2aのブロックに分け、この中に
1つの反射面1を配置する。つまり幅aのブロック1つ
の中には2つの反射面1が配置される。ここで、1ブロ
ック内の2つの反射面は同じ幅を持つ。そして、この幅
aのブロックごとに反射面の幅を変化させて反射パター
ン全体として一定の割合で反射面が増減していくように
する。
【0020】例えば、図1の例では、ブロック2、3、
4内の反射面1の1つ辺りの幅は図の左から(5/2
4)a、(6/24)a、(7/24)aというように
(1/24)aずつ増えるようにする。つまり、反射パ
ターン全体でみると幅aのブロックごとに反射面の幅を
(5/12)a、(6/12)a、(7/12)aと
(1/12)aずつ増やす場合と変化の割合が同等に保
たれる。
【0021】次に、この反射パターンの使用例を図2を
用いて説明する。
【0022】図1の反射パターンが施された反射板5は
可動体6に固定される。一方反射型フォトセンサ7は、
反射板5に対向する位置で固定部8に設置される。可動
体6は、図のX方向に可動し、それによりフォトセンサ
7の出射ビーム9が反射板5に照射される位置が変化す
る。反射板に照射された出射ビーム9の内、パターンの
反射面10に当たったもののみが反射されフォトセンサ
7の受光部に入射する。
【0023】次に、本発明の実施の形態の動作につい
て、図3、図4を参照して詳細に説明する。可動体21
がX−側に移動したときの反射パターン上のビーム照射
エリアを図3に、X+側に移動した場合を図4に示す。
【0024】図3(a)では、固定部22から見た場
合、反射パターンが図の右から左方向へ変位しているこ
とになる。このとき、図3(b)に示すように、照射エ
リア23の右端は反射面24にかかり始めているが、同
時に左端では反射面25から外れかかっている。これに
より、反射ビーム26の極端な増加を打ち消し合い、安
定したセンサ出力を得られる。仮に、このとき左端で反
射面の無い部分27が外れかかっていたとしても、反射
面の設置ピッチ自体が照射エリア23に対して十分細か
いためその影響は殆ど現れない。
【0025】次に、可動体がX+側に移動すると、反射
パターン上の照射エリアは図4(a)(b)の様にな
る。図3(b)の照射エリア23に比べ、照射エリア2
8では、エリア内に占める反射面の割合が減少している
のが分かる。これにより、図4(b)では図3(b)よ
りも小さいセンサ出力を得られ、X方向の変位を認識す
ることが出来る。また、この間の出力変動は、前述の様
に不要な出力変動の無い滑らかな変化となることからリ
ニアリティの高いセンサ出力特性が得られる。
【0026】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。図5に本発明の反射パターンの実施
例、図6に本発明の反射パターンを用いた位置検出装置
の実施例を示す。
【0027】図5を参照すると、まず反射パターンを形
成する領域を、幅0.12mmのブロックに分割する。
さらに、幅0.12mmのブロック内を0.06mmの
ブロックに分け、この中に1つの反射面31を配置す
る。つまり、幅0.12mmのブロック1つの中には2
つの反射面31が配置される。ここで、1ブロック内の
2つの反射面は同じ幅を持つ。そして、この幅0.12
mmのブロックごとに反射面の幅を変化させ、反射パタ
ーン全体として一定の割合で反射面が増減していくよう
にする。
【0028】例えば、図5の例では、ブロック32、3
3、34内の反射面31の1つ辺りの幅は図の左から
0.025mm、0.03mm、0.035mmという
ように0.005mmずつ増えるようにする。つまり、
反射パターン全体でみると幅0.12mmのブロックご
とに反射面の幅を0.05mm、0.06mm、0.0
7mmと0.01mmずつ増やす場合と変化の割合が同
等に保たれる。
【0029】次に、この反射パターンの使用例を図6を
用いて説明する。
【0030】図5の反射パターンが施された反射板35
は可動体36に固定される。一方、反射型フォトセンサ
37は、反射板35に対向する位置で固定部38に設置
される。可動体36は、図のX方向に可動し、それによ
りフォトセンサ37の出射ビーム39の反射板35に照
射される位置が変化する。反射板35に照射された出射
ビーム39の内、パターンの反射面30に当たったもの
のみが反射されフォトセンサ37の受光部に入射する。
【0031】次に、本発明の実施例の動作について、図
7,8を参照して詳細に説明する。
【0032】可動体41がX−側に移動したときの反射
パターン上のビーム照射エリアを図7に、X+側に移動
した場合を図8に示す。
【0033】図7では、固定部42から見た場合、反射
パターンが図の右から左方向へ変位していることにな
る。
【0034】このとき照射エリア43の右端は反射面4
4にかかり始めているが、同時に左端では反射面45か
ら外れかかっている。これにより、反射ビーム46の極
端な増加を打ち消し合い、安定したセンサ出力を得られ
る。仮に、このとき左端で反射面の無い部分47が外れ
かかっていたとしても、反射面の設置ピッチ自体が照射
エリア43に対して十分細かいためその影響は殆ど現れ
ない。
【0035】次に可動体がX+側に移動すると、反射パ
ターン上の照射エリアは図8の様になる。図7(b)の
照射エリア43に比べ照射エリア48では、エリア内に
占める反射面の割合が減少しているのが分かる。これに
より、従来例と比較して不要な出力の変動が無くなり、
リニアリティの高いセンサ出力特性が得られる。
【0036】以上の動作を可動体の変位とセンサの出力
でまとめると図11のグラフとなる。従来例に比べ、不
要な出力の変動が無くなり、リニアリティが向上してい
るのが分かる。
【0037】
【発明の他の実施の形態】次に、本発明の他の実施の形
態について図9を参照して説明する。
【0038】図5に挙げた実施例に対して、X方向の検
出距離を長くする場合の例を図9に示す。
【0039】まず、上記実施例と同様、反射パターンを
形成する領域を、幅0.12mmのブロックに分割す
る。さらに、幅0.12mmのブロック内を0.06m
mのブロックに分け、この中に1つの反射面51を配置
する。つまり、幅0.12mmのブロック1つの中には
2つの反射面51が配置される。ここで、1ブロック内
の2つの反射面は基本的に同じ幅を持つ。そして、この
幅0.12mmのブロックごとに反射面の幅を変化させ
て反射パターン全体として一定の割合で反射面が増減し
ていくようにする。
【0040】この際、X方向の検出距離を長くするため
に例えばブロック52、54、56内の反射面51の1
つ辺りの幅をそれぞれ0.025mm、0.03mm、
0.035mmと0.005mmずつ増えるように設定
する。つまり、反射パターン全体でみると幅0.12m
mのブロック52、54、56について反射面の幅を
0.05mm、0.06mm、0.07mmと0.01
mmずつ増やすことになる。
【0041】ここで、間にはさまれたブロック53とブ
ロック55では、ブロック当たりの反射面幅がそれぞれ
0.055mm、0.065mmとなり、さらにこれを
2つに分割すると0.0275mm、0.0325mm
となる。ところが、0.5μm単位のパターン製作は、
反射面の素材によっては不可能である場合も多い。そこ
で、この例ではブロック53の場合は0.055mmの
反射面を0.025mmと0.03mm、ブロック55
では0.03mmと0.035mmに不等分割すること
で簡略化を計っている。
【0042】各反射面の配置は、全体の反射パターンの
配置に沿って図のX+側に広いほうの反射面57、58
を配置する。このパターンでも実施例同様、センサのビ
ーム照射エリア59に対して反射面の設置ピッチが十分
に小さいので、リニアリティの高いセンサ出力特性が得
られる。
【0043】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、隣接する反射面と無反射面とを
一組として反射面の割合が等しい組を2組以上並べて配
置するので、位置検出可能範囲の一端から他端までにお
ける反射率の変動幅を変えずに、反射面の配置間隔を従
来より短くすることができる。このため、位置検出の分
解能を高め、より線形性の高い検出信号を得ることがで
きるところ、高精度の位置検出を実現することができ
る。また、同じ幅の反射面を複数配置することで、反射
面幅の変化量を少なく出来るから、検出可能な移動距離
を従来より長く設定することもできる。更に、各反射面
及び無反射面の幅寸法について、端数や桁数の多いもの
を簡略化できるから、反射パターンの設計・製作が容易
になる。特に、請求項2,3に記載の発明では、位置検
出可能範囲の全体に渡って高い線形性を確保することが
できる、という従来にない優れた位置検出装置を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態における反射板の構成図で
ある。
【図2】図1の反射板を取り入れた位置検出装置の構成
を示す概略斜視図である。
【図3】図2の実施形態の動作を説明する図であって、
図3(a)は反射型フォトセンサと反射板との位置関係
を示し、図3(b)は反射板に投射された光スポットの
位置関係を示す。
【図4】図2の実施形態の動作を説明する図であって、
図4(a)は反射型フォトセンサと反射板との位置関係
を示し、図4(b)は反射板に投射された光スポットの
位置関係を示す。
【図5】図1の実施形態に基づく実施例における反射板
の構成図である。
【図6】図5の反射板を取り入れた位置検出装置の構成
を示す概略斜視図である。
【図7】図6の実施例の動作を説明する図であって、図
7(a)は反射型フォトセンサと反射板との位置関係を
示し、図7(b)は反射板に投射された光スポットの位
置関係を示す。
【図8】図6の実施例の動作を説明する図であって、図
8(a)は反射型フォトセンサと反射板との位置関係を
示し、図8(b)は反射板に投射された光スポットの位
置関係を示す。
【図9】本発明の他の実施形態における反射板の構成図
である。
【図10】従来例により得られる出力特性のグラフであ
る。
【図11】本発明により得られる出力特性のグラフであ
る。
【図12】従来例における反射板の構成図である。
【図13】従来例の位置検出装置の構成を示す概略斜視
図である。
【符号の説明】
1,24,25,30,31,44,45,51,5
7,58 反射面 2,3,4,32,33,34,52〜56 ブロック 5,35 反射板 6,21,36,41 可動体 7,37 反射型フォトセンサ 8,22,38,42 固定部 9,39 フォトセンサ出力ビーム 23,28 フォトセンサビーム照射エリア 26,46 反射ビーム 27,47 反射面の無いエリア(無反射面) 43,48,59 センサビーム照射エリア

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一軸方向に沿って対向状態を維持しなが
    ら相対移動する反射型フォトセンサ及び反射板を備え、 前記反射板には、前記相対移動方向に沿って短冊状の反
    射面と無反射面とを交互に設けると共に、当該反射面の
    割合が前記相対移動方向の一方に向かって漸増するよう
    に設定され、 前記反射型フォトセンサの受光量に基づく出力から当該
    反射型フォトセンサと前記反射板との相対位置を検出す
    る位置検出装置において、 隣接する反射面と無反射面とを一組として反射面の割合
    が等しい組を2組以上並べて配置したことを特徴とする
    位置検出装置。
  2. 【請求項2】 前記隣接する反射面と無反射面とから構
    成される組の前記相対移動方向の幅が、各組について同
    一に設定されていることを特徴とした請求項1記載の位
    置検出装置。
  3. 【請求項3】 前記2組以上並べて配置する組の数が、
    前記反射面の割合毎に同一数であることを特徴とした請
    求項1記載の位置検出装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005314897A (ja) * 2004-04-27 2005-11-10 Optex Co Ltd シャッター移動検出装置及び防犯シャッターシステム
JP2022520272A (ja) * 2019-02-18 2022-03-29 エルエス、エレクトリック、カンパニー、リミテッド 真空遮断器用接点監視装置、及びこれを含む真空遮断器

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