JPH10265550A - Epoxy resin composition and semiconductor device - Google Patents

Epoxy resin composition and semiconductor device

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Publication number
JPH10265550A
JPH10265550A JP9076099A JP7609997A JPH10265550A JP H10265550 A JPH10265550 A JP H10265550A JP 9076099 A JP9076099 A JP 9076099A JP 7609997 A JP7609997 A JP 7609997A JP H10265550 A JPH10265550 A JP H10265550A
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JP
Japan
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epoxy resin
resin composition
tetra
group
formula
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP9076099A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuhiro Niwa
勝弘 丹羽
Masayuki Tanaka
正幸 田中
Atsuto Tokunaga
淳人 徳永
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Publication date
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Publication of JPH10265550A publication Critical patent/JPH10265550A/en
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  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an epoxy resin composition causing no mold fouling, and excellent in fluidity, curability, cracking resistance and storage stability. SOLUTION: This epoxy resin composition comprises (A) an epoxy resin, (B) a phenolic curing agent consisting of a compound of the formula: R<3> -(-CH2 - R<1> -CH2 -R<2> -)n -CH2 -R<1> -CH2 -R<3> (R<1> is a hydroxyl-free divalent aromatic group; R<2> is a huydroxyl-bearing divalent aromatic group; R<3> is a hydroxyl-bearing monovalent aromatic group; R<1> to R<3> may be the same as or differ from one another; (n) is an integer of 0 or >=1), (C) a curing promoter, a combination of a tetra-substituted phosphonium/tetra-substituted borate with at least one kind of metal compound selected from metal alkoxides, organic acid metal salts and metal complexes, and (D) 86-95 wt.% of an inorganic filler.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、成形時の流動性、
硬化性に優れ、金型汚れが生じず、かつ半田リフロー時
の耐クラック性、保存安定性に優れるエポキシ樹脂組成
物、および該エポキシ樹脂組成物で封止してなる半導体
装置に関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a fluidity during molding,
The present invention relates to an epoxy resin composition which is excellent in curability, does not cause mold contamination, and has excellent crack resistance and storage stability during solder reflow, and a semiconductor device sealed with the epoxy resin composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】エポキシ樹脂は耐熱性、耐湿性、電気特
性、接着性などに優れており、さらに配合処方により種
々の特性が付与できるため、塗料、接着剤、電気絶縁材
料など工業材料として利用されている。
2. Description of the Related Art Epoxy resins are excellent in heat resistance, moisture resistance, electrical properties, adhesiveness, etc., and can be imparted with various properties by blending and prescription, so that they are used as industrial materials such as paints, adhesives, and electrical insulating materials. Have been.

【0003】たとえば、半導体装置などの電子回路部品
の封止方法として従来より金属やセラミックスによるハ
ーメチックシールとフェノール樹脂、シリコーン樹脂、
エポキシ樹脂などによる樹脂封止が提案されている。そ
の中でも、経済性、生産性、物性のバランスの点からエ
ポキシ樹脂による樹脂封止が最も盛んに行われている。
For example, as a method for sealing electronic circuit components such as semiconductor devices, a hermetic seal made of metal or ceramic and a phenol resin, silicone resin,
Resin sealing using an epoxy resin or the like has been proposed. Among them, resin sealing with an epoxy resin is most actively performed in terms of balance between economy, productivity and physical properties.

【0004】一方、最近はプリント基板への半導体装置
パッケージの実装において高密度化、自動化が進められ
ており、従来のリードピンを基板の穴に挿入する“挿入
実装方式”に代り、基板表面にパッケージを半田付けす
る“表面実装方式”が盛んになってきた。
On the other hand, in recent years, the density and automation of mounting a semiconductor device package on a printed circuit board have been advanced, and instead of the conventional “insert mounting method” in which lead pins are inserted into holes of the board, the package is mounted on the surface of the board. "Surface mounting method" for soldering has become popular.

【0005】それに伴い、パッケージも従来のDIP
(デュアル・インライン・パッケージ)から、高密度実
装、表面実装に適した薄型のFPP(フラット・プラス
チック・パッケージ)に移行しつつある。
[0005] Along with this, the package is also a conventional DIP
(Dual in-line package) to thin FPP (flat plastic package) suitable for high-density mounting and surface mounting.

【0006】さらに、微細加工技術の進歩によりICチ
ップの集積度は向上しているがそれ以上に集積数を上げ
るために、パッケージ中のICチップの占有面積が増加
し、さらにパッケージが大型、多ピン化してきている。
Although the degree of integration of IC chips has been improved due to advances in microfabrication technology, the area occupied by IC chips in a package has been increased in order to further increase the number of integrated circuits. It is becoming pinned.

【0007】これらのパッケージを封止するには封止樹
脂の流動性を高レベルで保持しなければパッケージの未
充填や、ボイドが発生し、生産不良となる。これらの点
で流動性、保存安定性は今後ますます重要になってく
る。
In order to seal these packages, if the fluidity of the sealing resin is not maintained at a high level, the packages will not be filled or voids will occur, resulting in defective production. In these respects, fluidity and storage stability will become increasingly important in the future.

【0008】半導体装置の封止は、最近ではタブレット
形状のエポキシ樹脂組成物を使用し、低圧トランスファ
ー成形機を用いて、150℃以上に加熱した金型にエポ
キシ樹脂組成物を流し込み、硬化させることで行われて
いる。成形は通常180秒以内の短時間で行われるた
め、硬化性も重要な物性となっている。
[0008] In recent years, a semiconductor device is encapsulated by using a tablet-shaped epoxy resin composition, pouring the epoxy resin composition into a mold heated to 150 ° C. or higher using a low-pressure transfer molding machine, and curing the epoxy resin composition. It is done in. Since molding is usually performed in a short time of 180 seconds or less, curability is also an important physical property.

【0009】また成形は、金型を用い連続的におこなわ
れ、しばしば金型汚れが発生する。この金型汚れは、パ
ッケージに欠陥をもたらすため、発生しないことが重要
な課題となる。
[0009] Molding is performed continuously using a mold, and mold contamination often occurs. Since this mold contamination causes a defect in the package, it is an important issue that the mold contamination does not occur.

【0010】また表面実装においては、通常半田リフロ
ーによる実装が行われる。この方法では、パッケージを
200℃以上の高温にさらし、半田を溶融させチップと
フレームを接着させる。この際樹脂の吸水性が高いと、
パッケージ中の水分の急激な膨張によりパッケージにク
ラックが入るという現象が起こる。従って半田リフロー
時の耐クラック性は非常に重要となる。
[0010] In surface mounting, mounting is usually performed by solder reflow. In this method, the package is exposed to a high temperature of 200 ° C. or more to melt the solder and bond the chip and the frame. At this time, if the water absorption of the resin is high,
A phenomenon occurs in which the package is cracked due to rapid expansion of moisture in the package. Therefore, crack resistance during solder reflow is very important.

【0011】従来、エポキシ封止樹脂組成物を硬化させ
るための硬化剤としては、アミン系、酸無水物系、フェ
ノール系など硬化剤が用いられてきた。また通常、硬化
剤のみでは硬化反応が進みにくいので、硬化促進剤の添
加が行われる。この硬化促進剤としては、三級アミン化
合物、二級アミン化合物、フッ化ホウ素、ピペリジン、
イミダゾール類、三級ホスフィン化合物などが用いられ
てきた。これらの硬化剤、硬化促進剤に加え、エポキシ
樹脂、無機充填剤などを配合することによりエポキシ封
止樹脂組成物となる。
Conventionally, as a curing agent for curing the epoxy sealing resin composition, an amine-based, acid anhydride-based, phenol-based curing agent has been used. Usually, the curing reaction is difficult to proceed only with the curing agent, and therefore, a curing accelerator is added. As the curing accelerator, tertiary amine compounds, secondary amine compounds, boron fluoride, piperidine,
Imidazoles, tertiary phosphine compounds and the like have been used. An epoxy sealing resin composition is obtained by blending an epoxy resin, an inorganic filler, and the like in addition to these curing agents and curing accelerators.

【0012】しかしながら従来の配合方法では、流動
性、硬化性、半田リフロー時の耐クラック性、保存安定
性などの特性を同時に満足させるような硬化物が得られ
るエポキシ封止樹脂組成物を得ることはできなかった。
However, according to the conventional compounding method, it is necessary to obtain an epoxy sealing resin composition capable of obtaining a cured product which simultaneously satisfies characteristics such as fluidity, curability, crack resistance during solder reflow, and storage stability. Could not.

【0013】一方特公昭51−24399号公報におい
てエポキシ樹脂、フェノールノボラック樹脂硬化剤及び
テトラ置換ボレートとの組み合わせにより、硬化性及び
保存安定性の優れたエポキシ封止樹脂組成物が得られる
ことが記載されている。また特公昭56−45491号
公報において、硬化剤としてフェノールノボラック樹
脂、硬化促進剤としてテトラフェニルホスホニウム・テ
トラフェニルボレート、エポキシ樹脂として、クレゾー
ルノボラックエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂などを
併用した系について記載されている。しかしながらこれ
らのエポキシ封止樹脂組成物は、半田リフロー時におけ
る耐クラック性が充分ではないという問題があった。
On the other hand, Japanese Patent Publication No. 51-24399 discloses that an epoxy sealing resin composition having excellent curability and storage stability can be obtained by combining an epoxy resin, a phenol novolak resin curing agent and a tetra-substituted borate. Have been. JP-B-56-45491 describes a system in which a phenol novolak resin is used as a curing agent, tetraphenylphosphonium / tetraphenyl borate is used as a curing accelerator, and a cresol novolak epoxy resin, an alicyclic epoxy resin is used as an epoxy resin. Have been. However, these epoxy sealing resin compositions have a problem that crack resistance during solder reflow is not sufficient.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】以上の状況に鑑みて、
本発明の課題は、成形時の流動性、硬化性に優れ、金型
汚れが生じず、かつ半田リフロー時の耐クラック性、耐
剥離性、保存安定性に優れるエポキシ樹脂組成物、およ
び該エポキシ樹脂組成物で封止してなる半導体装置を提
供することである。
In view of the above situation,
An object of the present invention is to provide an epoxy resin composition which is excellent in fluidity and curability during molding, does not cause mold contamination, and has excellent crack resistance during solder reflow, peel resistance and storage stability, and the epoxy resin. An object of the present invention is to provide a semiconductor device sealed with a resin composition.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、 1.「 エポキシ樹脂(A)、フェノール系硬化剤
(B)、テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート
(c1)、金属アルコキシド、金属有機酸酸塩および金属錯
体のうちから選ばれた1種以上の金属化合物(c2)、なら
びに無機充填剤(D)を含有するエポキシ樹脂組成物で
あって、前期フェノール系硬化剤(B)が化学式(I)
で表される化合物を含有し、かつ無機充填剤(D)がエ
ポキシ樹脂組成物全体の86〜95重量%含有されるこ
とを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
That is, the present invention provides: "Epoxy resin (A), phenolic curing agent (B), tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate
(c1) an epoxy resin composition containing at least one metal compound (c2) selected from metal alkoxides, metal organic acid salts and metal complexes, and an inorganic filler (D), The phenolic curing agent (B) has the chemical formula (I)
An epoxy resin composition comprising a compound represented by the formula: and an inorganic filler (D) in an amount of 86 to 95% by weight of the entire epoxy resin composition.

【化3】 R3-(-CH2-R1-CH2-R2-)n-CH2-R1-CH2-R3 (I) (ただし、式(I)中のR1は2価の芳香族基、R2は水
酸基を有する2価の芳香族基、R3は水酸基を有する1
価の芳香族基、R1〜R3は同一でも異なっていてもよ
く、nは0または1以上の整数を示す。)」、 2.「 テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート
(c1)がテトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボ
レートであることを特徴とする前記エポキシ樹脂組成
物。」、 3.「金属化合物(c2)が、金属化合物(c2)およびテトラ
置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート(c1)の合計重量
の3〜70重量%である前記いずれかのエポキシ樹脂組
成物。」、 4.「エポキシ樹脂(A)が化学式(II)であるエポキ
シ樹脂を含有することを特徴とする前記いずれかのエポ
キシ樹脂組成物。
Embedded image R 3 — (— CH 2 —R 1 —CH 2 —R 2 —) n —CH 2 —R 1 —CH 2 —R 3 (I) (where R 1 in the formula (I) is divalent aromatic group, R 2 is a divalent aromatic group having a hydroxyl group, 1 R 3 is having a hydroxyl group
The valent aromatic groups R 1 to R 3 may be the same or different, and n represents 0 or an integer of 1 or more. ) ", 2. “Tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate
(c1) The epoxy resin composition, wherein the epoxy resin composition is tetraphenylphosphonium tetraphenylborate. 2. 3. The epoxy resin composition according to any one of the above, wherein the metal compound (c2) is 3 to 70% by weight of the total weight of the metal compound (c2) and the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (c1). "The epoxy resin composition according to any one of the above, wherein the epoxy resin (A) contains an epoxy resin represented by the chemical formula (II).

【0016】[0016]

【化4】 (ただし式中のR1〜R8は水素原子、1価の有機基また
はハロゲン原子を示す。) 5.「1の化学式(I)の化合物が、R1が2価のフェ
ニル基、R2は水酸基を有する2価のフェニル基、R3
水酸基を有する1価のフェニル基であることを特徴とす
る前記いずれかのエポキシ樹脂組成物。」、 6.「1の化学式(I)の化合物が、R1が2価のビフ
ェニル基、R2は水酸基を有する2価のフェニル基、R
3が水酸基を有する1価のフェニル基であることを特徴
とする前記いずれかのエポキシ樹脂組成物。」、 7.「半導体封止用である前記いずれかのエポキシ樹脂
組成物。」、 8.「前記いずれかのエポキシ樹脂組成物によって半導
体素子が封止された半導体装置。」を提供するものであ
る。
Embedded image (However, R 1 to R 8 in the formula represent a hydrogen atom, a monovalent organic group or a halogen atom.) "The compound of formula (I) is characterized in that R 1 is a divalent phenyl group, R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group, and R 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group. 5. Any one of the above epoxy resin compositions. ""1 is a compound of the formula (I) wherein R1 is a divalent biphenyl group, R2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group,
3. The epoxy resin composition according to any one of the above, wherein 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group. ”, 7. 7. “Either of the above epoxy resin compositions for semiconductor encapsulation”; It is intended to provide "a semiconductor device in which a semiconductor element is sealed with any one of the epoxy resin compositions."

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を詳述する。
本発明において「重量」とは「質量」を意味する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The configuration of the present invention will be described below in detail.
In the present invention, “weight” means “mass”.

【0018】本発明で用いるエポキシ樹脂(A)は、1
分子中に2個以上のエポキシ基を有するものでとくに限
定されず、これらの具体例としては、例えばクレゾール
ノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エ
ポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹
脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂、線状脂肪族エポ
キシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹
脂、スピロ環含有エポキシ樹脂およびハロゲン化エポキ
シ樹脂などが挙げられる。
The epoxy resin (A) used in the present invention comprises 1
Those having two or more epoxy groups in the molecule are not particularly limited, and specific examples thereof include, for example, cresol novolak type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol Examples include F-type epoxy resins, naphthalene skeleton-containing epoxy resins, linear aliphatic epoxy resins, alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins, and halogenated epoxy resins.

【0019】本発明において、エポキシ樹脂(A)は単
独で用いても、2種類以上併用して用いてもかまわな
い。特に好まいエポキシ樹脂としては、ビフェニル骨格
を有するエポキシ樹脂、具体的には下記化学式(II)で
表される骨格を有するビフェニル型エポキシ樹脂を成分
として含有するものである。
In the present invention, the epoxy resin (A) may be used alone or in combination of two or more. Particularly preferred epoxy resin is an epoxy resin having a biphenyl skeleton, specifically, a biphenyl type epoxy resin having a skeleton represented by the following chemical formula (II) as a component.

【化5】 (ただし、式中のR1 〜R8 は、水素原子、1価の有機
基またはハロゲン原子を示す。) 化学式(II)のエポキシ樹脂をエポキシ樹脂の一成分と
して含有する場合その割合は特に限定しないが、好まし
くはエポキシ樹脂全体の50〜100重量、より好まし
くは70〜100重量%、さらに好ましくは90〜10
0重量%含有することである。
Embedded image (However, R 1 to R 8 in the formula represent a hydrogen atom, a monovalent organic group or a halogen atom.) When the epoxy resin of the chemical formula (II) is contained as one component of the epoxy resin, the ratio is particularly limited. However, it is preferably 50 to 100% by weight, more preferably 70 to 100% by weight, even more preferably 90 to 10% by weight of the whole epoxy resin.
0% by weight.

【0020】化学式(II)で表されるエポキシ樹脂骨格
の具体例としては、4,4´−ビス(2,3−エポキシ
プロポキシ)ビフェニル、4,4´−ビス(2,3−エ
ポキシプロポキシ)−3,3´,5,5´−テトラメチ
ルビフェニル、4,4´−ビス(2,3−エポキシプロ
ポキシ)−3,3´,5,5´−テトラメチル−2−ク
ロロビフェニル、4,4´−ビス(2,3−エポキシプ
ロポキシ)−3,3´,5,5´−テトラメチル−2−
ブロモビフェニル、4,4´−ビス(2,3−エポキシ
プロポキシ)−3,3´,5,5´−テトラエチルビフ
ェニル、4,4´−ビス(2,3−エポキシプロポキ
シ)−3,3´,5,5´−テトラブチルビフェニル、
4,4´−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)ビフェ
ニル、および4,4´−ビス(2,3−エポキシプロポ
キシ)−3,3´,5,5´−テトラメチルビフェニル
などが挙げられる。好ましくは4,4´−ビス(2,3
−エポキシプロポキシ)−3,3´,5,5´−テトラ
メチルビフェニル、 4,4´−ビス(2,3−エポキ
シプロポキシ)−3,3´,5,5´−テトラエチルビ
フェニルである。さらに好ましくは4,4´−ビス
(2,3−エポキシプロポキシ)−3,3´,5,5´
−テトラメチルビフェニルである。
Specific examples of the epoxy resin skeleton represented by the chemical formula (II) include 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) biphenyl and 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl, 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3', 5,5'-tetramethyl-2-chlorobiphenyl, 4, 4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3 ', 5,5'-tetramethyl-2-
Bromobiphenyl, 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3 ', 5,5'-tetraethylbiphenyl, 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3' , 5,5'-tetrabutylbiphenyl,
4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) biphenyl and 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl and the like. Preferably, 4,4'-bis (2,3
-Epoxypropoxy) -3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl and 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3', 5,5'-tetraethylbiphenyl. More preferably, 4,4'-bis (2,3-epoxypropoxy) -3,3 ', 5,5'
-Tetramethylbiphenyl.

【0021】上記のエポキシ樹脂はそれぞれ単独でも、
または混合系で用いる場合でも十分に効果を発揮する。
また上記エポキシ樹脂がエポキシ基の反応により部分的
に付加した化合物も使用できる。
Each of the above epoxy resins can be used alone or
Alternatively, even when used in a mixed system, the effect is sufficiently exhibited.
Further, a compound in which the epoxy resin is partially added by a reaction of an epoxy group can also be used.

【0022】本発明においてエポキシ樹脂の粘度として
は特に限定はしないが、成形性(流動性)がすぐれてい
る点で、150℃におけるICI溶融粘度が3ps以下
のエポキシ樹脂が好ましい。
In the present invention, the viscosity of the epoxy resin is not particularly limited, but an epoxy resin having an ICI melt viscosity at 150 ° C. of 3 ps or less is preferable in view of excellent moldability (flowability).

【0023】本発明において、上記エポキシ樹脂(A)
のエポキシ樹脂組成物全体に対する配合量は、通常1〜
12重量%、好ましくは3〜10重量%,さらに好まし
くは3〜8重量%である。エポキシ樹脂(A)の配合量
が少ないと成形性や接着性が不十分であり、また多いと
越えると線膨脹係数が大きくなり、低応力化が困難にな
る傾向がある。
In the present invention, the epoxy resin (A)
Is usually 1 to 1 in the epoxy resin composition.
It is 12% by weight, preferably 3 to 10% by weight, more preferably 3 to 8% by weight. If the amount of the epoxy resin (A) is small, the moldability and adhesiveness are insufficient. If the amount is too large, the coefficient of linear expansion tends to be large, and it tends to be difficult to reduce the stress.

【0024】本発明におけるフェノール系硬化剤(B)
は、化学式(I)で表されるものを含有する。化学式
(I)中のR1は水酸基を有しない2価の芳香族基、R2
は水酸基を有する2価の芳香族基、R3は水酸基を有す
る1価の芳香族基、R1〜R3は同一であっても、異なっ
ていてもよく、nは0または1以上の整数である。
The phenolic curing agent (B) in the present invention
Contains those represented by the chemical formula (I). R 1 in the chemical formula (I) is a divalent aromatic group having no hydroxyl group, R 2
Is a divalent aromatic group having a hydroxyl group, R 3 is a monovalent aromatic group having a hydroxyl group, R 1 to R 3 may be the same or different, and n is 0 or an integer of 1 or more It is.

【化6】 R3-(-CH2-R1-CH2-R2-)n-CH2-R1-CH2-R3 (I) 好ましくは、R1が2価のフェニル基、R2は水酸基を有
する2価のフェニル基、R3が水酸基を有する1価のフ
ェニル基であるフェノール系硬化剤、およびR1が2価
のビフェニル基、R2は水酸基を有する2価のフェニル
基、R3が水酸基を有する1価のフェニル基であるフェ
ノール系硬化剤である。
Embedded image R 3 — (— CH 2 —R 1 —CH 2 —R 2 —) n —CH 2 —R 1 —CH 2 —R 3 (I) Preferably, R 1 is a divalent phenyl group, R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group; R 3 is a phenolic curing agent having a monovalent phenyl group having a hydroxyl group; R 1 is a divalent biphenyl group; and R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group. A phenolic curing agent wherein the group, R 3, is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group.

【0025】化学式(I)で表されるフェノール系硬化
剤以外にフェノール系硬化剤を併用することができ、そ
の硬化剤は、エポキシ樹脂(A)と反応して硬化するフ
ェノール系の硬化剤であれば特に限定されず、それらの
具体例としては、たとえばフェノ−ルノボラック樹脂、
クレゾ−ルノボラック樹脂、ビスフェノ−ルAやレゾル
シンから合成される各種ノボラック樹脂、トリス(ヒド
ロキシフェニル)メタン、ジヒドロキシビフェニルなど
の多種多価フェノ−ル化合物などがあげられる。化学式
(I)テ゛表されるフェノール系硬化剤以外に硬化剤を併
用する場合、その混合割合は化学式(I)で表されるフ
ェノール系硬化剤の含有量は全フェノール硬化剤量の2
0〜100重量%、50〜100重量%、70〜100
重量%、80〜100重量%の順に好ましい。
In addition to the phenolic curing agent represented by the chemical formula (I), a phenolic curing agent can be used in combination, and the curing agent is a phenolic curing agent that cures by reacting with the epoxy resin (A). If it is not particularly limited, specific examples thereof include, for example, phenol-novolak resin,
Examples include cresol novolak resin, various novolak resins synthesized from bisphenol A and resorcin, and various polyvalent phenol compounds such as tris (hydroxyphenyl) methane and dihydroxybiphenyl. When used in combination curing agent other than the phenolic curing agent represented formula (I) De, the content of the mixing ratio of the phenol type curing agent represented by the formula (I) 2 of total phenolic curing agent amount
0-100% by weight, 50-100% by weight, 70-100
% By weight, preferably in the order of 80 to 100% by weight.

【0026】本発明において、フェノール系硬化剤
(B)の配合量は、エポキシ樹脂組成物全体の通常0.
1〜10重量%、好ましくは0.5〜7重量%さらに好
ましくは1〜6重量%である。さらには、エポキシ樹脂
(A)とフェノール系硬化剤(B)の配合比は、機械的
性質および耐湿信頼性の点から(A)に対する(B)の
化学当量比が0.5〜1.5、特に0.8〜1.2の範
囲にあることが好ましい。
In the present invention, the compounding amount of the phenolic curing agent (B) is usually 0.1% of the entire epoxy resin composition.
It is 1 to 10% by weight, preferably 0.5 to 7% by weight, more preferably 1 to 6% by weight. Furthermore, the mixing ratio of the epoxy resin (A) and the phenolic curing agent (B) is such that the chemical equivalent ratio of (B) to (A) is 0.5 to 1.5 in view of mechanical properties and moisture resistance reliability. In particular, it is preferably in the range of 0.8 to 1.2.

【0027】本発明において、テトラ置換ホスホニウム
・テトラ置換ボレ−ト(c1)及び金属アルコキシド、金属
有機酸酸塩および金属錯体のうちから選ばれた1種以上
の金属化合物(c2)が配合される。これらは通常、エポキ
シ樹脂の硬化促進剤として機能する。
In the present invention, a tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (c1) and one or more metal compounds (c2) selected from metal alkoxides, metal organic acid salts and metal complexes are blended. . These usually function as a curing accelerator for the epoxy resin.

【0028】これらの添加量としては特に限定はしない
が、好ましくはテトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボ
レ−ト(c1)及び上に説明した金属化合物(c2)合計重量
が、エポキシ樹脂組成物重量の0.05〜1.5%が好
ましい。より好ましくは0.08〜1.0%であり、さ
らに好ましくは0.1〜0.5%である。(c1)および(c
2)の間の配合割合は、特に限定はしないが、金属化合物
(c2)が、金属化合物(c1)とテトラ置換ホスホニウム・テ
トラ置換ボレート(c2)との合計重量の3〜70重量%で
あり、より好ましくは3〜50重量%であり、さらに好
ましくは3〜20重量%である。
The amount of these additives is not particularly limited, but preferably, the total weight of the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (c1) and the above-mentioned metal compound (c2) is 0% of the weight of the epoxy resin composition. 0.05-1.5% is preferable. It is more preferably 0.08 to 1.0%, and still more preferably 0.1 to 0.5%. (c1) and (c
The compounding ratio between 2) is not particularly limited, but the metal compound
(c2) is 3 to 70% by weight, more preferably 3 to 50% by weight, more preferably 3 to 70% by weight of the total weight of the metal compound (c1) and the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (c2). 20% by weight.

【0029】テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレ
−トはそのまま添加してもよいが、使用する硬化剤また
はエポキシ樹脂と加熱混合してもよい。金属化合物(c2)
はそのまま添加してもよいが、使用する硬化剤またはエ
ポキシ樹脂と加熱混合させた後添加することもできる。
The tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate may be added as it is, or may be mixed by heating with the curing agent or epoxy resin used. Metal compound (c2)
May be added as it is, or after heating and mixing with the curing agent or epoxy resin to be used.

【0030】テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレ
−ト(c2)の好ましい例としてはテトラブチルホスホニウ
ム・テトラフェニルボレ−ト、n−ブチルトリフェニル
ホスホニウム・テトラフェニルボレ−ト、テトラフェニ
ルホスホニウム・テトラフェニルボレ−ト、トリメチル
フェニルホスホニウム・テトラフェニルボレ−ト、ジエ
チルメチルフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレ
−ト、ジアリルメチルフェニルホスホニウム・テトラフ
ェニルボレ−ト、(2−ハイドロキシエチル)トリフェ
ニルホスホニウム・テトラフェニルボレ−ト、エチルト
リホスホニウム・テトラフェニルボレ−ト、p−キシレ
ンビス(トリフェニルホスホニウム・テトラフェニルボ
レ−ト)、テトラフェニルホスホニウム・テトラエチル
ボレ−ト、テトラフェニルホスホニウム・トリエチルフ
ェニルボレ−ト、テトラフェニルホスホニウム・テトラ
ブチルボレ−トなどを挙げることができる。より好まし
い例としてはテトラフェニルホスホニウム・テトラフェ
ニルボレ−トである。このテトラ置換ホスホニウム・テ
トラ置換ボレ−トは2種類以上を同時に添加することも
できる。
Preferred examples of the tetra-substituted phosphonium tetra-substituted borate (c2) include tetrabutyl phosphonium tetraphenyl borate, n-butyl triphenyl phosphonium tetraphenyl borate, and tetraphenyl phosphonium tetraphenyl borate. , Trimethylphenylphosphonium tetraphenylborate, diethylmethylphenylphosphonium tetraphenylborate, diallylmethylphenylphosphonium tetraphenylborate, (2-hydroxyethyl) triphenylphosphonium tetraphenylborate , Ethyltriphosphonium / tetraphenylborate, p-xylenebis (triphenylphosphonium / tetraphenylborate), tetraphenylphosphonium / tetraethylborate, tetraf And phenylphosphonium triethylphenyl borate and tetraphenylphosphonium tetrabutyl borate. A more preferred example is tetraphenylphosphonium tetraphenylborate. Two or more kinds of the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate can be added simultaneously.

【0031】本発明で添加される金属化合物(c2)は金属
アルコキシド、金属有機酸酸塩および金属錯体のいずれ
かである。これらは、エポキシ樹脂の硬化反応になんら
かの形で寄与する。金属錯体としてはアセチルアセトナ
ート錯体が例示される。またこれらの化合物を構成する
金属原子としては、ジルコニウム、マグネシウム、アル
ミニウム、チタン、イットリウム、銀、鉛、コバルトな
どが例示される。具体的な例としては、ジルコニウムテ
トラメトキシド、ジルコニウムテトラエトキシド、ジル
コニウムテトライソプロポキシド、ジルコニウムテトラ
-n-プロピキシド、ジルコニウムテトラブトキシド、チ
タンテトラエトキシド、チタンテトライソプロピキシ
ド、チタンテトラ-n-プロピキシド、チタンテトラブト
キシド、テトラキス(2−エチルヘキシルオキシ)チタ
ン、ジルコニウムテトラキスアセチルアセトナート、チ
タンテトラキスアセチルアセトナート、アルミニウムト
リアセチルアセトナート、テトラステアリウオキシチタ
ン、チタンジイソプロピキシビスアセチルアセトナー
ト、チタンジ-n-不土岐市ビストリエタノールアミナー
ト、アルミニウムマグネシウムイソプロポキシド、ビス
(アセチルアセトナート)ジピリジンコバルトなどを挙
げることができる。
The metal compound (c2) added in the present invention is any one of a metal alkoxide, a metal organic acid salt and a metal complex. These contribute in some way to the curing reaction of the epoxy resin. As the metal complex, an acetylacetonate complex is exemplified. Examples of metal atoms constituting these compounds include zirconium, magnesium, aluminum, titanium, yttrium, silver, lead, and cobalt. Specific examples include zirconium tetramethoxide, zirconium tetraethoxide, zirconium tetraisopropoxide, zirconium tetramethoxide.
-n-propoxide, zirconium tetrabutoxide, titanium tetraethoxide, titanium tetraisopropoxide, titanium tetra-n-propoxide, titanium tetrabutoxide, titanium tetrakis (2-ethylhexyloxy) titanium, zirconium tetrakisacetylacetonate, titanium tetrakisacetylacetonate , Aluminum triacetylacetonate, tetrastearyl oxytitanium, titanium diisopropoxybisacetylacetonate, titanium di-n-fujiki bistriethanol aminate, aluminum magnesium isopropoxide, bis (acetylacetonate) dipyridine cobalt, etc. Can be mentioned.

【0032】本発明における無機充填剤(D)として
は、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、アル
ミナ、マグネシア、酸化マグネシウムアルミニウム、ジ
ルコニア、ジルコン、クレー、タルク、ケイ酸カルシウ
ム、酸化チタン、酸化アンチモン、アスベスト、ガラス
繊維などが挙げられるが、好ましくはシリカである。こ
れらの無機充填剤は単独でも用いることができるが、二
種類以上混合して用いることもできる。シリカとしては
球状天然シリカ、破砕天然シリカ、球状合成シリカなど
を挙げることができる。これらのシリカは単独でも用い
ることができるが、二種類以上混合して用いることもで
きる。
As the inorganic filler (D) in the present invention, silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, alumina, magnesia, magnesium aluminum oxide, zirconia, zircon, clay, talc, calcium silicate, titanium oxide, antimony oxide, asbestos And glass fiber, but silica is preferred. These inorganic fillers can be used alone or in combination of two or more. Examples of the silica include spherical natural silica, crushed natural silica, and spherical synthetic silica. These silicas can be used alone or in combination of two or more.

【0033】本発明において、無機充填剤(D)のエポ
キシ樹脂組成物全体に対する割合は、金型汚れに代表さ
れる成形性および低応力性の点から全体の86〜95重
量%、好ましくは88〜93重量%である。
In the present invention, the ratio of the inorganic filler (D) to the entire epoxy resin composition is from 86 to 95% by weight, preferably 88 from the viewpoint of moldability and low stress represented by mold stains. ~ 93% by weight.

【0034】本発明のエポキシ樹脂組成物には以下の物
質も添加することができる。
The following substances can also be added to the epoxy resin composition of the present invention.

【0035】本発明の組成物では、シランカップリング
剤、チタネートカップリング剤などの配合が信頼性向上
の観点から好ましい。さらにカップリング剤無機充填剤
(D)をシランカップリング剤、チタネートカップリン
グ剤などのカップリング剤であらかじめ表面処理するこ
とも効果的である。
In the composition of the present invention, the addition of a silane coupling agent, a titanate coupling agent or the like is preferable from the viewpoint of improving reliability. Further, it is also effective to previously surface-treat the coupling agent inorganic filler (D) with a coupling agent such as a silane coupling agent or a titanate coupling agent.

【0036】カップリング剤としてエポキシシラン、ア
ミノシラン、メルカプトシランなど、これら官能基を有
する有機基とアルコキシ基等の加水分解性基とがケイ素
原子に直結したシランカップリング剤が好ましく用いら
れる。好ましくはエポキシシラン、アミノシランであ
る。好ましい添加量としてエポキシ樹脂組成物全体に対
し、1重量%以下である。
As the coupling agent, a silane coupling agent in which an organic group having such a functional group and a hydrolyzable group such as an alkoxy group are directly bonded to a silicon atom, such as epoxysilane, aminosilane, and mercaptosilane, is preferably used. Preferred are epoxysilane and aminosilane. A preferable addition amount is 1% by weight or less based on the entire epoxy resin composition.

【0037】エポキシ樹脂組成物には以下の物質も添加
することができる。
The following substances can also be added to the epoxy resin composition.

【0038】本発明の組成物では、必須成分ではないが
ブロム化合物を配合できる。また実質的に存在するブロ
ム化合物は、通常半導体封止用エポキシ樹脂組成物に難
燃剤として添加されるもので、特に限定されず、公知の
ものであってよい。 存在するブロム化合物の好ましい
具体例としては、ブロム化ビスフェノールA型エポキシ
樹脂、ブロム化フェノールノボラック型エポキシ樹脂な
どのブロム化エポキシ樹脂、ブロム化ポリカーボネート
樹脂、ブロム化ポリスチレン樹脂、ブロム化ポリフェニ
レンオキサイド樹脂、テトラブロモビスフェノールA、
デカブロモジフェニルエーテルなどがあげられ、なかで
も、ブロム化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム
化フェノールノボラック型エポキシ樹脂などのブロム化
エポキシ樹脂が、成形性の点から特に好ましい。
In the composition of the present invention, a bromo compound can be blended although it is not an essential component. The substantially existing bromo compound is usually added as a flame retardant to the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, and is not particularly limited, and may be a known one. Preferred specific examples of the bromo compound present include brominated epoxy resins such as brominated bisphenol A type epoxy resin and brominated phenol novolak type epoxy resin, brominated polycarbonate resin, brominated polystyrene resin, brominated polyphenylene oxide resin, Bromobisphenol A,
Examples thereof include decabromodiphenyl ether, and among them, brominated epoxy resins such as brominated bisphenol A type epoxy resin and brominated phenol novolak type epoxy resin are particularly preferable from the viewpoint of moldability.

【0039】本発明の組成物では、必須成分ではないが
アンチモン化合物を配合できる。これは通常半導体封止
用エポキシ樹脂組成物に難燃助剤として添加されるもの
で、特に限定されず、公知のものが使用できる。アンチ
モン化合物の好ましい具体例としては、三酸化アンチモ
ン、四酸化アンチモン、五酸化アンチモンがあげられ
る。
In the composition of the present invention, an antimony compound can be blended although it is not an essential component. This is usually added as a flame retardant aid to the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, and is not particularly limited, and a known one can be used. Preferred specific examples of the antimony compound include antimony trioxide, antimony tetroxide, and antimony pentoxide.

【0040】本発明のエポキシ樹脂組成物には、カーボ
ンブラック、酸化鉄などの着色剤、ハイドロタルサイト
などのイオン捕捉剤、シリコ−ンゴム、オレフィン系共
重合体、変性ニトリルゴム、変性ポリブタジエンゴム、
変性シリコ−ンオイルなどのエラストマ−、ポリエチレ
ンなどの熱可塑性樹脂、長鎖脂肪酸、長鎖脂肪酸の金属
塩、長鎖脂肪酸のエステル、長鎖脂肪酸のアミド、パラ
フィンワックスなどの離型剤および有機過酸化物などの
架橋剤を任意に添加することができる。
The epoxy resin composition of the present invention includes a coloring agent such as carbon black and iron oxide, an ion scavenger such as hydrotalcite, a silicone rubber, an olefin copolymer, a modified nitrile rubber, a modified polybutadiene rubber,
Elastomers such as modified silicone oil, thermoplastic resins such as polyethylene, long-chain fatty acids, metal salts of long-chain fatty acids, long-chain fatty acid esters, long-chain fatty acid amides, release agents such as paraffin wax, and organic peroxides A crosslinking agent such as a substance can be arbitrarily added.

【0041】本発明のエポキシ樹脂組成物の製造方法と
しては、上記化合物を加熱混練、例えば50〜170℃
で混練する方法が好ましく、たとえばバンバリーミキサ
ー、ニーダー、ロール、単軸もしくは二軸の押出機およ
びコニーダーなどの公知の混練方法を用いて溶融混練、
固化、必要に応じてタブレット化することにより得るこ
とができる。さらに本発明のエポキシ樹脂組成物を加熱
流動化させて、半導体素子を封止成形し、硬化すること
によって半導体装置が得られる。
As a method for producing the epoxy resin composition of the present invention, the above compound is heated and kneaded, for example, at 50 to 170 ° C.
Melting and kneading using a known kneading method such as a Banbury mixer, a kneader, a roll, a single or twin screw extruder and a co-kneader,
It can be obtained by solidification and, if necessary, tableting. Further, the semiconductor device is obtained by heating and fluidizing the epoxy resin composition of the present invention, sealingly molding and curing the semiconductor element.

【0042】[0042]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。なお、表2、表3中の数字は、重量%を示す。
The present invention will be described below in detail with reference to examples. The numbers in Tables 2 and 3 indicate% by weight.

【0043】表2に実施例1〜7を、表3に比較例1〜
9を示した。
Table 2 shows Examples 1 to 7, and Table 3 shows Comparative Examples 1 to
9 was shown.

【0044】表1に示した成分を、表2、表3に示した
組成比でミキサーによりドライブレンドした。これを、
ロール表面温度90℃のミキシングロールを用いて5分
間加熱混練後、冷却・粉砕して半導体封止用エポキシ樹
脂組成物を製造した。
The components shown in Table 1 were dry-blended by a mixer at the composition ratios shown in Tables 2 and 3. this,
After heating and kneading for 5 minutes using a mixing roll having a roll surface temperature of 90 ° C., the mixture was cooled and pulverized to produce an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation.

【0045】流動性:EMMI型評価用金型を用いて1
75℃で成形速度25m/secでスパイラルフローを測定
した。 硬化性:成形温度175℃、成形時間60秒の条件で直
径4インチ、厚さ3mmの円板を成形し、成形直後のバー
コル硬度を求めた。 耐クラック性および耐剥離性:実施例および比較例にお
いて、各10個の160ピンQFP(外形:28×28
×3.3mm、模擬半導体素子:10×10×0.5mm、
フレーム材料:42アロイ、チップ表面:ポリイミド
膜)を成形し、175℃で4時間硬化させたものを用い
85℃、85%RHの条件で168時間加湿後、IRリ
フロー炉を用いて260℃10秒間加熱処理した。その
後外部クラックの有無個数を調べクラックの入ったパッ
ケージを不良パッケージとし、その個数をnとしたとき
(1- n/10)×100の値を耐クラック性を示す数値とした。
値が100%に近いほど耐クラック性に優れことを意味
する。一方IRリフロー炉を用いて260℃10秒間加
熱処理したサンプルを超音波探傷器でリードフレームか
らの剥離を観察し、剥離したパッケージを不良パッケー
ジとし、その個数をnとしたとき(1- n/10)×100の値を
耐クラック性を示す数値とした。値が100%に近いほ
ど耐剥離性に優れることを意味する。
Fluidity: 1 using an EMMI-type evaluation mold
Spiral flow was measured at 75 ° C. at a molding speed of 25 m / sec. Curability: A disk having a diameter of 4 inches and a thickness of 3 mm was molded at a molding temperature of 175 ° C. and a molding time of 60 seconds, and Barcol hardness immediately after molding was determined. Crack resistance and peel resistance: In Examples and Comparative Examples, 10 pieces each of 160 pins QFP (outer size: 28 × 28
× 3.3 mm, simulated semiconductor device: 10 × 10 × 0.5 mm,
(Frame material: 42 alloy, chip surface: polyimide film) molded and cured at 175 ° C. for 4 hours, humidified at 85 ° C. and 85% RH for 168 hours, and then 260 ° C. 10 using an IR reflow furnace. Heat treatment was performed for seconds. Then, the number of external cracks is checked and the package containing the crack is determined to be a defective package, and the number is defined as n.
A value of (1-n / 10) × 100 was set as a numerical value indicating crack resistance.
The closer the value is to 100%, the better the crack resistance. On the other hand, when the sample heat-treated at 260 ° C. for 10 seconds using an IR reflow furnace was observed for peeling from the lead frame with an ultrasonic flaw detector, the peeled packages were regarded as defective packages, and the number of the packages was n (1-n / 10) The value of × 100 was used as a numerical value indicating crack resistance. The closer the value is to 100%, the better the peel resistance.

【0046】保存安定性:保存前のスパイラルフローの
値を基準とし、28℃50%RHで96時間保存した後
に成形し、そのスパイラルフローの値の低下率を表わし
た。値が小さいほど保存安定性に優れることを意味す
る。
Storage stability: Based on the value of the spiral flow before storage, the product was stored at 28 ° C. and 50% RH for 96 hours, then molded, and the reduction rate of the spiral flow value was expressed. The smaller the value, the better the storage stability.

【0047】金型汚れ:成形温度175℃成形時間80
秒の条件で、160ピンQFPを20個成形した。パッ
ケージの上面および下面に対応する金型部の汚れた部分
の面積を調べ、その面積をパッケージの上面および下面
に対応する金型部の面積で割りさらに100をかけ、金
型汚れの度合いを%で表示した。
Mold stain: molding temperature 175 ° C., molding time 80
Twenty 160-pin QFPs were formed under the condition of seconds. The area of the dirty part of the mold part corresponding to the upper and lower surfaces of the package is checked, the area is divided by the area of the mold part corresponding to the upper and lower surfaces of the package, and the result is multiplied by 100 to obtain the degree of mold contamination by%. Displayed with.

【0048】[0048]

【表1】 [Table 1]

【0049】各種物性の評価結果を表2及び表3に示し
た。
The evaluation results of various physical properties are shown in Tables 2 and 3.

【0050】[0050]

【表2】 [Table 2]

【0051】[0051]

【表3】 [Table 3]

【0052】表2にみられるように、実施例1〜7のエ
ポキシ樹脂組成物は、流動性、硬化性、耐クラック性、
耐剥離性、保存安定性、金型汚れなど、すべての物性に
おいて優れている。
As can be seen from Table 2, the epoxy resin compositions of Examples 1 to 7 have fluidity, curability, crack resistance,
Excellent in all physical properties such as peeling resistance, storage stability and mold stain.

【0053】これに対して表3に示した比較例1〜3、
比較例6,7は、耐クラック性および耐剥離性が劣って
いることが分かる。また比較例4では耐剥離性が完全で
はない。比較例3、5、8、9では金型汚れが生じる。
また比較例3、5、8、9では保存安定性が劣ってい
る。
On the other hand, Comparative Examples 1 to 3 shown in Table 3
It can be seen that Comparative Examples 6 and 7 are inferior in crack resistance and peeling resistance. In Comparative Example 4, the peeling resistance was not perfect. In Comparative Examples 3, 5, 8, and 9, mold contamination occurs.
In Comparative Examples 3, 5, 8, and 9, storage stability was poor.

【0054】[0054]

【発明の効果】本発明のエポキシ樹脂組成物は、流動
性、硬化性、耐クラック性、耐剥離性、保存安定性に優
れ、トランスファ成形が主に使用される半導体装置の封
止に好適である。
Industrial Applicability The epoxy resin composition of the present invention is excellent in fluidity, curability, crack resistance, peeling resistance and storage stability, and is suitable for encapsulating semiconductor devices mainly used in transfer molding. is there.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エポキシ樹脂(A)、フェノール系硬化
剤(B)、テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレー
ト(c1)、金属アルコキシド、金属有機酸酸塩および金属
錯体のうちから選ばれた1種以上の金属化合物(c2)、な
らびに無機充填剤(D)を含有するエポキシ樹脂組成物
であって、前期フェノール系硬化剤(B)が化学式
(I)で表される化合物を含有し、かつ無機充填剤
(D)がエポキシ樹脂組成物全体の86〜95重量%含
有されることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。 【化1】 R3-(-CH2-R1-CH2-R2-)n-CH2-R1-CH2-R3 (I) (ただし、式(I)中のR1は2価の芳香族基、R2は水
酸基を有する2価の芳香族基、R3は水酸基を有する1
価の芳香族基、R1〜R3は同一でも異なっていてもよ
く、nは0または1以上の整数を示す。)
1. One or more selected from an epoxy resin (A), a phenolic curing agent (B), a tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (c1), a metal alkoxide, a metal organic acid salt and a metal complex. An epoxy resin composition containing a metal compound (c2) of formula (I) and an inorganic filler (D), wherein the phenolic curing agent (B) contains a compound represented by the chemical formula (I), An epoxy resin composition comprising the agent (D) in an amount of 86 to 95% by weight of the entire epoxy resin composition. Embedded image R 3 — (— CH 2 —R 1 —CH 2 —R 2 —) n —CH 2 —R 1 —CH 2 —R 3 (I) (where R 1 in the formula (I) is divalent aromatic group, R 2 is a divalent aromatic group having a hydroxyl group, 1 R 3 is having a hydroxyl group
The valent aromatic groups R 1 to R 3 may be the same or different, and n represents 0 or an integer of 1 or more. )
【請求項2】 テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボ
レート(c1)がテトラフェニルホスホニウム・テトラフェ
ニルボレートであることを特徴とする請求項1記載のエ
ポキシ樹脂組成物。
2. The epoxy resin composition according to claim 1, wherein the tetra-substituted phosphonium tetra-substituted borate (c1) is tetraphenyl phosphonium tetraphenyl borate.
【請求項3】金属化合物(c2)が、金属化合物(c2)および
テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート(c1)の合
計重量の3〜70重量%である請求項1または2記載の
エポキシ樹脂組成物。
3. The epoxy resin composition according to claim 1, wherein the metal compound (c2) is 3 to 70% by weight of the total weight of the metal compound (c2) and the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (c1). .
【請求項4】エポキシ樹脂(A)が化学式(II)である
エポキシ樹脂を含有することを特徴とする請求項1〜5
のエポキシ樹脂組成物。 【化2】 (ただし式中のR1〜R8は水素原子、1価の有機基また
はハロゲン原子を示す。)
4. The epoxy resin (A) contains an epoxy resin represented by the chemical formula (II).
Epoxy resin composition. Embedded image (However, R 1 to R 8 in the formula represent a hydrogen atom, a monovalent organic group or a halogen atom.)
【請求項5】請求項1の化学式(I)の化合物が、R1
が2価のフェニル基、R2は水酸基を有する2価のフェ
ニル基、R3が水酸基を有する1価のフェニル基である
ことを特徴とする請求項1〜4いずれかのエポキシ樹脂
組成物。
5. The compound of formula (I) according to claim 1, wherein
Is a divalent phenyl group, R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group, and R 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group. The epoxy resin composition according to claim 1, wherein
【請求項6】請求項1の化学式(I)の化合物が、R1
が2価のビフェニル基、R2は水酸基を有する2価のフ
ェニル基、R3が水酸基を有する1価のフェニル基であ
ることを特徴とする請求項1〜4いずれかのエポキシ樹
脂組成物。
6. The compound of formula (I) according to claim 1, wherein
Is a divalent biphenyl group, R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group, and R 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group. The epoxy resin composition according to claim 1, wherein
【請求項7】半導体封止用である請求項1〜6いずれか
に記載のエポキシ樹脂組成物。
7. The epoxy resin composition according to claim 1, which is used for encapsulating a semiconductor.
【請求項8】請求項7記載のエポキシ樹脂組成物によっ
て半導体素子が封止された半導体装置。
8. A semiconductor device in which a semiconductor element is sealed with the epoxy resin composition according to claim 7.
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