JPH10251383A - Hardening promoter - Google Patents

Hardening promoter

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Publication number
JPH10251383A
JPH10251383A JP5358897A JP5358897A JPH10251383A JP H10251383 A JPH10251383 A JP H10251383A JP 5358897 A JP5358897 A JP 5358897A JP 5358897 A JP5358897 A JP 5358897A JP H10251383 A JPH10251383 A JP H10251383A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
epoxy resin
tetra
hydroxyl group
group
divalent
Prior art date
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Pending
Application number
JP5358897A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuhiro Niwa
勝弘 丹羽
Masayuki Tanaka
正幸 田中
Atsuto Tokunaga
淳人 徳永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP5358897A priority Critical patent/JPH10251383A/en
Publication of JPH10251383A publication Critical patent/JPH10251383A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a hardening promoter for an epoxy resin capable of imparting excellent fluidity, hardenability, preservation stability after hardening and crack resistance when soldering to a resin composition and useful for sealing of soldered material by mixing a phenolic resin with a specific phosphorus- containing boron compound. SOLUTION: This hardening promoter is obtained by homogeneously mixing (A) a phenolic resin e.g. the one containing <=70wt.% resin of the formula [R<1> is a divalent aromatic group having no OH; R<2> is a divalent aromatic group having OH; R<3> is a monovalent aromatic group having OH; (n) is >=0]}, (B) a tetrasubstituted phosphonium tetrasubstituted borate such as tetraphenylphosphonium tetraphenylborate. Preferably, the hardening promoter comprises 3-30 pts.wt. component B based on 100 pts.wt. component A.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、エポキシ樹脂用硬
化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置ならび
にそれらの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a curing accelerator for epoxy resin, an epoxy resin composition, a semiconductor device, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】エポキシ樹脂は耐熱性、耐湿性、電気特
性、接着性などに優れており、さらに配合処方により種
々の特性が付与できるため、塗料、接着剤、電気絶縁材
料など工業材料として利用されている。
2. Description of the Related Art Epoxy resins are excellent in heat resistance, moisture resistance, electrical properties, adhesiveness, etc., and can be imparted with various properties by blending and prescription, so that they are used as industrial materials such as paints, adhesives, and electrical insulating materials. Have been.

【0003】たとえば、半導体装置などの電子回路部品
の封止方法として従来より金属やセラミックスによるハ
ーメチックシールとフェノール樹脂、シリコーン樹脂、
エポキシ樹脂などによる樹脂封止が提案されている。そ
の中でも、経済性、生産性、物性のバランスの点からエ
ポキシ樹脂による樹脂封止が最も盛んに行われている。
For example, as a method for sealing electronic circuit components such as semiconductor devices, a hermetic seal made of metal or ceramic and a phenol resin, silicone resin,
Resin sealing using an epoxy resin or the like has been proposed. Among them, resin sealing with an epoxy resin is most actively performed in terms of balance between economy, productivity and physical properties.

【0004】一方、最近はプリント基板への半導体装置
パッケージの実装において高密度化、自動化が進められ
ており、従来のリードピンを基板の穴に挿入する“挿入
実装方式”に代り、基板表面にパッケージを半田付けす
る“表面実装方式”が盛んになってきた。
On the other hand, in recent years, the density and automation of mounting a semiconductor device package on a printed circuit board have been advanced, and instead of the conventional “insert mounting method” in which lead pins are inserted into holes of the board, the package is mounted on the surface of the board. "Surface mounting method" for soldering has become popular.

【0005】それに伴い、パッケージも従来のDIP
(デュアル・インライン・パッケージ)から、高密度実
装、表面実装に適した薄型のFPP(フラット・プラス
チック・パッケージ)に移行しつつある。
[0005] Along with this, the package is also a conventional DIP
(Dual in-line package) to thin FPP (flat plastic package) suitable for high-density mounting and surface mounting.

【0006】さらに、微細加工技術の進歩によりICチ
ップの集積度は向上しているがそれ以上に集積数を上げ
るために、パッケージ中のICチップの占有面積が増加
し、さらにパッケージが大型、多ピン化してきている。
Although the degree of integration of IC chips has been improved due to advances in microfabrication technology, the area occupied by IC chips in a package has been increased in order to further increase the number of integrated circuits. It is becoming pinned.

【0007】これらのパッケージを封止するには封止樹
脂の流動性を高レベルで保持しなければパッケージの未
充填や、ボイドが発生し、生産不良となる。これらの点
で流動性、保存安定性は今後ますます重要になってく
る。
In order to seal these packages, if the fluidity of the sealing resin is not maintained at a high level, the packages will not be filled or voids will occur, resulting in defective production. In these respects, fluidity and storage stability will become increasingly important in the future.

【0008】半導体装置の封止は、最近ではタブレット
形状のエポキシ樹脂組成物を使用し、低圧トランスファ
ー成形機を用いて、150℃以上に加熱した金型にエポ
キシ樹脂組成物を流し込み、硬化させることで行われて
いる。成形は通常180秒以内の短時間で行われるた
め、硬化性も重要な物性となっている。また硬化性が悪
いと金型汚れなどの問題も発生し易い。
[0008] In recent years, a semiconductor device is encapsulated by using a tablet-shaped epoxy resin composition, pouring the epoxy resin composition into a mold heated to 150 ° C. or higher using a low-pressure transfer molding machine, and curing the epoxy resin composition. It is done in. Since molding is usually performed in a short time of 180 seconds or less, curability is also an important physical property. If the curability is poor, problems such as mold stains are likely to occur.

【0009】また表面実装においては、通常半田リフロ
ーによる実装が行われる。この方法では、パッケージを
200℃以上の高温にさらし、半田を溶融させチップと
フレームを接着させる。この際樹脂の吸水性が高いと、
パッケージ中の水分の急激な膨張によりパッケージにク
ラックが入るという現象が起こる。従って半田リフロー
時の耐クラック性は非常に重要となる。
In surface mounting, mounting is usually performed by solder reflow. In this method, the package is exposed to a high temperature of 200 ° C. or more to melt the solder and bond the chip and the frame. At this time, if the water absorption of the resin is high,
A phenomenon occurs in which the package is cracked due to rapid expansion of moisture in the package. Therefore, crack resistance during solder reflow is very important.

【0010】従来、エポキシ封止樹脂組成物を硬化させ
るための硬化剤としては、アミン系、酸無水物系、フェ
ノール系など硬化剤が用いられてきた。また通常、硬化
剤のみでは硬化反応が進みにくいので、硬化促進剤の添
加が行われる。この硬化促進剤としては、三級アミン化
合物、二級アミン化合物、フッ化ホウ素、ピペリジン、
イミダゾール類、三級ホスフィン化合物などが用いられ
てきた。これらの硬化剤、硬化促進剤に加え、エポキシ
樹脂、無機充填剤などを配合することによりエポキシ封
止樹脂組成物となる。
Conventionally, as a curing agent for curing the epoxy sealing resin composition, an amine-based, acid anhydride-based, phenol-based curing agent has been used. Usually, the curing reaction is difficult to proceed only with the curing agent, and therefore, a curing accelerator is added. As the curing accelerator, tertiary amine compounds, secondary amine compounds, boron fluoride, piperidine,
Imidazoles, tertiary phosphine compounds and the like have been used. An epoxy sealing resin composition is obtained by blending an epoxy resin, an inorganic filler, and the like in addition to these curing agents and curing accelerators.

【0011】しかしながら従来の配合方法では、流動
性、硬化性、半田リフロー時の耐クラック性、保存安定
性などの特性を同時に満足させるような硬化物が得られ
るエポキシ封止樹脂組成物を得ることはできなかった。
However, according to the conventional compounding method, it is necessary to obtain an epoxy sealing resin composition which can obtain a cured product which simultaneously satisfies characteristics such as fluidity, curability, crack resistance during solder reflow, and storage stability. Could not.

【0012】一方特公昭51−24399号公報におい
てエポキシ樹脂、フェノールノボラック樹脂硬化剤及び
テトラ置換ボレートとの組み合わせにより、硬化性及び
保存安定性の優れたエポキシ封止樹脂組成物が得られる
ことが記載されている。また特公昭56−45491号
公報において、硬化剤としてフェノールノボラック樹
脂、硬化促進剤としてテトラフェニルホスホニウム・テ
トラフェニルボレート、エポキシ樹脂として、クレゾー
ルノボラックエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂などを
併用した系について記載されている。しかしながらこれ
らのエポキシ封止樹脂組成物は、半田リフロー時におけ
る耐クラック性が充分ではないという問題があった。
On the other hand, JP-B-51-24399 describes that an epoxy sealing resin composition having excellent curability and storage stability can be obtained by combining an epoxy resin, a phenol novolak resin curing agent and a tetra-substituted borate. Have been. JP-B-56-45491 describes a system in which a phenol novolak resin is used as a curing agent, tetraphenylphosphonium / tetraphenyl borate is used as a curing accelerator, and a cresol novolak epoxy resin, an alicyclic epoxy resin is used as an epoxy resin. Have been. However, these epoxy sealing resin compositions have a problem that crack resistance during solder reflow is not sufficient.

【0013】ところでテトラフェニルホスホニウム・テ
トラフェニルボレートは、室温付近では極めて安定で、
高温で触媒としての能力を発揮する潜在性触媒として、
注目されている。この化合物を用いることによりエポキ
シ封止樹脂組成物の流動性の向上が期待できる。しかし
ながら、ただ単にテトラフェニルホスホニウム・テトラ
フェニルボレートを添加混合しただけでは、硬化促進剤
としての効果が十分得られないのが現状であった。
By the way, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate is extremely stable around room temperature.
As a potential catalyst that demonstrates its ability as a catalyst at high temperatures,
Attention has been paid. Use of this compound can be expected to improve the fluidity of the epoxy sealing resin composition. However, at present, a sufficient effect as a curing accelerator cannot be obtained simply by adding and mixing tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】従って本発明の課題
は、半導体封止に好適で、成形時の流動性、硬化性に優
れ、かつ半田リフロー時の耐クラック性、保存安定性に
優れた硬化物を与えるエポキシ樹脂組成物およびそえを
影響するできるエポキシ樹脂用硬化促進剤を提供するこ
とである。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a cured material which is suitable for semiconductor encapsulation, has excellent fluidity and curability during molding, and has excellent crack resistance and storage stability during solder reflow. It is an object of the present invention to provide an epoxy resin composition which gives a product and a curing accelerator for an epoxy resin which can influence the warp.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は上述した従来技
術における問題点の解決を課題として検討した結果達成
されたものである。 すなわち本発明は、 1.「フェノール系樹脂(A)とテトラ置換ホスホニウ
ム・テトラ置換ボレート(B)とが実質的に均一に混合
されているエポキシ樹脂硬化促進剤。」 2.「フェノール系樹脂(A)100重量部に対して、
テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート(B)が
3〜30重量部の範囲である前記のエポキシ樹脂硬化促
進剤。」 3.「フェノール系樹脂(A)が化学式(I)で表され
るフェノール系樹脂(A1)を70重量%以上含有する
ものである前記いずれかのエポキシ樹脂硬化促進剤。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been achieved as a result of studying to solve the above-mentioned problems in the prior art. That is, the present invention provides: 1. An epoxy resin curing accelerator in which the phenolic resin (A) and the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B) are substantially uniformly mixed. "For 100 parts by weight of the phenolic resin (A),
The epoxy resin curing accelerator described above, wherein the content of the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B) is in the range of 3 to 30 parts by weight. "3. "The epoxy resin curing accelerator according to any one of the above, wherein the phenolic resin (A) contains 70% by weight or more of the phenolic resin (A1) represented by the chemical formula (I).

【化3】 R3-(-CH2-R1-CH2-R2-)n-CH2-R1-CH2-R3 (I) (ただし、式中のR1は水酸基を有しない2価の芳香族
基、R2は水酸基を有する2価の芳香族基、R3は水酸基
を有する1価の芳香族基、nは0または1以上の整数を
示す。R1、R2、R3はそれぞれ同一でも異なっていて
もよい。)」 4.「化合物(A1)が化学式(I)において、R1が2価
のフェニル基、R2は水酸基を有する2価のフェニル基
およびR3が水酸基を有する1価のフェニル基であるも
の、またはR1が2価のビフェニル基、R2は水酸基を
有する2価のフェニル基、R3が水酸基を有する1価の
フェニル基であるものである前記いずれかのエポキシ樹
脂硬化剤。」 5.「テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート
(B)がテトラフェニルホスホニウム・テトラフェニル
ボレートである前記いずれかのエポキシ樹脂硬化促進
剤。」 6.「いずれかに記載のエポキシ樹脂硬化剤、エポキシ
樹脂、および無機充填剤ならびに任意成分としてフェノ
ール硬化剤を配合してなるエポキシ樹脂組成物。」 7.「全体に対して、テトラ置換ホスホニウム・テトラ
置換ボレートが0.01〜10重量%、エポキシ樹脂が1〜
15重量%、フェノール系樹脂およびフェノール硬化剤
の総量が1〜15重量%ならびに無機充填剤が50〜9
3重量%である前記のエポキシ樹脂組成物。」 8.「半導体封止用である前記いずれかのエポキシ樹脂
組成物。」 9.「前記エポキシ樹脂によって、半導体素子が封止さ
れた半導体装置。」 10.「フェノール系樹脂(A)とテトラ置換ホスホニ
ウム・テトラ置換ボレート(B)とを190〜250℃
の範囲で加熱混合することを特徴とするエポキシ樹脂硬
化促進剤の製造方法。」 11.「フェノール系樹脂(A)100重量部に対し
て、テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート
(B)が3〜30重量部の範囲である前記いずれかのエ
ポキシ樹脂硬化促進剤の製造方法。」 12.「フェノール系樹脂(A)が化学式(I)で表さ
れるフェノール系樹脂(A1)を70重量%以上含有す
るものである前記いずれかのエポキシ樹脂硬化促進剤の
製造方法。」
Embedded image R 3 — (— CH 2 —R 1 —CH 2 —R 2 —) n —CH 2 —R 1 —CH 2 —R 3 (I) (where R 1 has a hydroxyl group) .R 1, R 2 a divalent aromatic group not, R 2 is showing a divalent aromatic group having a hydroxyl group, R 3 is a monovalent aromatic group having a hydroxyl group, n represents 0 or an integer of 1 or more , R 3 may have respectively the same or different.) "4. "In the compound (A1), in the chemical formula (I), R1 is a divalent phenyl group, R2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group and R3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group, or R1 is a divalent phenyl group. Any one of the above epoxy resin curing agents, wherein R is a divalent phenyl group having a hydroxyl group and R2 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group. " 5. The epoxy resin curing accelerator according to any one of the above, wherein the tetra-substituted phosphonium tetra-substituted borate (B) is tetraphenyl phosphonium tetraphenyl borate. 6. An epoxy resin composition comprising any one of the epoxy resin curing agent, epoxy resin, inorganic filler, and phenol curing agent as an optional component. "To the whole, the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate is 0.01 to 10% by weight, and the epoxy resin is 1 to 10% by weight.
15% by weight, the total amount of the phenolic resin and the phenolic curing agent is 1 to 15% by weight, and the inorganic filler is 50 to 9%.
The aforementioned epoxy resin composition that is 3% by weight. 8. 8. "Either of the above epoxy resin compositions for semiconductor encapsulation.""A semiconductor device in which a semiconductor element is sealed with the epoxy resin.""The phenolic resin (A) and the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B) are heated at 190 to 250 ° C.
A method for producing an epoxy resin curing accelerator, which comprises heating and mixing in the range described above. 11. 11. The method for producing any one of the epoxy resin curing accelerators described above, wherein the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B) is in a range of 3 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the phenolic resin (A). "A method for producing any one of the epoxy resin curing accelerators described above, wherein the phenolic resin (A) contains 70% by weight or more of the phenolic resin (A1) represented by the chemical formula (I)."

【化4】 R3-(-CH2-R1-CH2-R2-)n-CH2-R1-CH2-R3 (I) (ただし、式中のR1は水酸基を有しない2価の芳香族
基、R2は水酸基を有する2価の芳香族基、R3は水酸基
を有する1価の芳香族基、nは0または1以上の整数を
示す。R1、R2、R3はそれぞれ同一でも異なっていて
もよい。) 13.「化合物(A1)が化学式(I)において、R1が2
価のフェニル基、R2は水酸基を有する2価のフェニル
基およびR3が水酸基を有する1価のフェニル基である
もの、またはR1が2価のビフェニル基、R2は水酸基を
有する2価のフェニル基、R3が水酸基を有する1価の
フェニル基であるものである前記いずれかのエポキシ樹
脂硬化剤の製造方法。」 14.「前記いずれかの方法でエポキシ樹脂硬化促進剤
を製造した後、該エポキシ樹脂硬化剤、エポキシ樹脂、
および無機充填剤ならびに任意成分としてフェノール硬
化剤を加熱混合することを特徴とするエポキシ樹脂組成
物の製造方法。」を提供するものである。
Embedded image R 3 — (— CH 2 —R 1 —CH 2 —R 2 —) n —CH 2 —R 1 —CH 2 —R 3 (I) (where R 1 in the formula has a hydroxyl group) .R 1, R 2 a divalent aromatic group not, R 2 is showing a divalent aromatic group having a hydroxyl group, R 3 is a monovalent aromatic group having a hydroxyl group, n represents 0 or an integer of 1 or more , R 3 may be the same or different.) 13. "Compound (A1) is a compound represented by the formula (I) wherein R 1 is 2
R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group and R 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group, or R 1 is a divalent biphenyl group having a hydroxyl group, and R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group. The method for producing an epoxy resin curing agent according to any one of the above, wherein the phenyl group and R 3 are a monovalent phenyl group having a hydroxyl group. 14. "After producing an epoxy resin curing accelerator by any of the above methods, the epoxy resin curing agent, epoxy resin,
And heating and mixing an inorganic filler and a phenol curing agent as an optional component. ”.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を詳述する。
本発明において「重量」とは「質量」を意味する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The configuration of the present invention will be described below in detail.
In the present invention, “weight” means “mass”.

【0017】本発明の硬化促進剤に配合されるフェノー
ル系樹脂(A)の化学構造としては、任意であるが、一
般式(I)で表されるものを50重量%以上、さらに7
0重量%以上含有するのが好ましい。
The chemical structure of the phenolic resin (A) to be added to the curing accelerator of the present invention is arbitrary.
It is preferably contained at 0% by weight or more.

【化5】 R3-(-CH2-R1-CH2-R2-)n-CH2-R1-CH2-R3 (I) (ただし、式中のR1は水酸基を有しない2価の芳香族
基、R2は水酸基を有する2価の芳香族基、R3は水酸基
を有する1価の芳香族基、nは0または1以上の整数を
示す。R1、R2、R3はそれぞれ同一でも異なっていて
もよい。)
Embedded image R 3 — (— CH 2 —R 1 —CH 2 —R 2 —) n —CH 2 —R 1 —CH 2 —R 3 (I) (where R 1 has a hydroxyl group) .R 1, R 2 a divalent aromatic group not, R 2 is showing a divalent aromatic group having a hydroxyl group, R 3 is a monovalent aromatic group having a hydroxyl group, n represents 0 or an integer of 1 or more , R 3 may be the same or different.)

【0018】本発明におけるフェノール系樹脂として
は、その他にノボラック樹脂系フェノール樹脂、パラキ
シリレンメトキシドとフェノール類とを縮合させて得ら
れるもの、ジフェニルエーテルとフェノール類との反応
生成物などを挙げることができる。
Other examples of the phenolic resin in the present invention include a novolak resin-based phenolic resin, a resin obtained by condensing paraxylylene methoxide and phenols, and a reaction product of diphenyl ether and phenols. Can be.

【0019】一般式(I)で表される化合物の混合割合
は(A)成分量の70〜100重量%が好ましく、より
好ましくは80〜100重量%であり、さらに好ましく
は90〜100重量%である。
The mixing ratio of the compound represented by formula (I) is preferably from 70 to 100% by weight, more preferably from 80 to 100% by weight, even more preferably from 90 to 100% by weight of the component (A). It is.

【0020】本発明の硬化触媒は、フェノール系樹脂
(A)とテトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート
(B)とが実質的に均一に混合されていることが好まし
い。
In the curing catalyst of the present invention, it is preferable that the phenolic resin (A) and the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B) are substantially uniformly mixed.

【0021】本発明では、フェノール系樹脂(A)とテ
トラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート(B)と加
熱混合することによってエポキシ樹脂硬化剤を得ること
ができる。加熱混合する際の温度としては、190〜2
50℃が好ましく、さらに好ましくは195〜240℃
であり、より好ましくは205〜235℃である。19
0℃より温度が低いと、硬化促進剤を含有するエポキシ
樹脂組成物が、硬化し難く、また250℃より高い温度
で加熱した場合、熱分解が活発になり適当ではない。加
熱混合時間としては特に限定はしないが、例えば1分〜
1時間の範囲が好適である。
In the present invention, an epoxy resin curing agent can be obtained by heating and mixing the phenolic resin (A) and the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B). The temperature at the time of heating and mixing is 190 to 2
50 ° C. is preferred, and more preferably 195 to 240 ° C.
And more preferably from 205 to 235 ° C. 19
When the temperature is lower than 0 ° C., the epoxy resin composition containing a curing accelerator is hardly cured, and when heated at a temperature higher than 250 ° C., thermal decomposition becomes active and is not suitable. The heating and mixing time is not particularly limited, but is, for example, 1 minute to
A one hour range is preferred.

【0022】硬化触媒の製造方法にあたって、これらの
成分の添加方法としては特に限定はしないが、例えばテ
トラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレートおよびフェ
ノール系樹脂(A)とを容器に入れ撹拌混合した後に、
加熱及び撹拌し混合する方法、フェノール系樹脂(A)
を加熱溶融しておき、溶融した化合物を撹拌しながらト
ラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレートを徐々に添加
し加熱混合する方法などを挙げられる。加熱装置として
は特に限定しないが、例えばオイルバス、電気ヒータ
ー、オーブンなどを用いることができる。また加熱雰囲
気としては、特に限定はしないが、たとえば空気雰囲
気、窒素雰囲気、アルゴン雰囲気などを挙げることがで
きる。好ましくは窒素雰囲気である。
In the method of producing the curing catalyst, the method of adding these components is not particularly limited. For example, after the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate and the phenolic resin (A) are put into a vessel and mixed with stirring,
Heating, stirring and mixing method, phenolic resin (A)
Is heated and melted, and while the molten compound is agitated, the tra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate is gradually added, followed by heating and mixing. Although the heating device is not particularly limited, for example, an oil bath, an electric heater, an oven, or the like can be used. The heating atmosphere is not particularly limited, and examples thereof include an air atmosphere, a nitrogen atmosphere, and an argon atmosphere. Preferably, it is a nitrogen atmosphere.

【0023】硬化促進剤におけるテトラ置換ホスホニウ
ム・テトラ置換ボレートおよびフェノール樹脂との混合
割合としては特に限定はしないが、フェノール系樹脂1
00重量部に対してテトラフェニルホスホニウム・テト
ラフェニルボレートが3〜30重量部であることが好ま
しく、より好ましくは5〜20重量部であり、さらに好
ましくは7〜15重量部である。
The mixing ratio of the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate and the phenol resin in the curing accelerator is not particularly limited.
The amount of tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate is preferably 3 to 30 parts by weight, more preferably 5 to 20 parts by weight, and still more preferably 7 to 15 parts by weight with respect to 00 parts by weight.

【0024】本発明によって得らるエポキシ樹脂用硬化
促進剤は、エポキシ樹脂組成物に配合されて使用され
る。
The epoxy resin curing accelerator obtained by the present invention is used by being blended into an epoxy resin composition.

【0025】エポキシ樹脂組成物としては、前記エポキ
シ樹脂硬化剤、エポキシ樹脂、および無機充填剤ならび
に任意成分としてフェノール硬化剤を含有する。本発明
の硬化促進剤はフェノール基を複数有する化合物を含有
するものであるから、硬化促進剤のみでもエポキシ樹脂
の硬化に寄与できるが、任意成分としてさらにフェノー
ル系硬化剤を添加することもできる。
The epoxy resin composition contains the epoxy resin curing agent, epoxy resin, inorganic filler, and phenol curing agent as an optional component. Since the curing accelerator of the present invention contains a compound having a plurality of phenol groups, the curing accelerator alone can contribute to the curing of the epoxy resin, but a phenolic curing agent can be further added as an optional component.

【0026】エポキシ樹脂としてはクレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、線状脂
肪族エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポ
キシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂およびハロゲン化
エポキシ樹脂などが挙げられる。
As the epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, alicyclic epoxy resin, complex resin Examples thereof include a cyclic epoxy resin, a spiro ring-containing epoxy resin, and a halogenated epoxy resin.

【0027】また任意成分であるフェノール系硬化剤と
しては、公知のものが利用でき、フェノ−ルノボラック
樹脂、クレゾ−ルノボラック樹脂、ビスフェノ−ルAや
レゾルシンから合成される各種ノボラック樹脂、トリス
(ヒドロキシフェニル)メタン、ジヒドロキシビフェニ
ル、前記(I)で示された化合物などの多種多価フェノ
−ル化合物などがあげられる。
As the optional phenolic curing agent, known phenolic curing agents can be used, and phenol-novolak resins, cresol-novolak resins, various novolak resins synthesized from bisphenol A and resorcinol, tris (hydroxyphenyl) ) Various polyvalent phenol compounds such as methane, dihydroxybiphenyl and the compounds shown in the above (I).

【0028】さらに本発明の樹脂組成物に配合される無
機充填剤としては、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグ
ネシウム、アルミナ、マグネシア、酸化マグネシウムア
ルミニウム、ジルコニア、ジルコン、クレー、タルク、
ケイ酸カルシウム、酸化チタン、酸化アンチモン、アス
ベスト、ガラス繊維などが挙げられる。
The inorganic filler to be added to the resin composition of the present invention includes silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, alumina, magnesia, magnesium aluminum oxide, zirconia, zircon, clay, talc,
Examples include calcium silicate, titanium oxide, antimony oxide, asbestos, and glass fibers.

【0029】エポキシ樹脂組成物において、各成分の配
合量としては、全体に対して、テトラ置換ホスホニウム
・テトラ置換ボレートが0.01〜10重量%、さらに
0.1〜1重量%、エポキシ樹脂が1〜15重量%、さ
らに2〜10%、フェノール系樹脂およびフェノール硬
化剤の総量が1〜15重量%さらに2〜10重量%、な
らびに無機充填剤が50〜93重量%さらに86〜92
重量%の範囲が好ましい。また上記化合物におけるエポ
キシ樹脂のエポキシ基とフェノール系樹脂おYびフェノ
ール硬化剤におけるフェノール基の和の化学当量比(エ
ポキシ/フェノール)が0.5〜2、さらに0.8〜
1.3の範囲であることが好ましい。
In the epoxy resin composition, the amount of each component is 0.01 to 10% by weight of tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate, 0.1 to 1% by weight, and epoxy resin is 1 to 15% by weight, further 2 to 10%, the total amount of the phenolic resin and the phenol curing agent is 1 to 15% by weight, further 2 to 10% by weight, and the inorganic filler is 50 to 93% by weight, and further 86 to 92%.
A range of weight% is preferred. In addition, the chemical equivalent ratio (epoxy / phenol) of the sum of the epoxy group of the epoxy resin and the phenol group in the phenolic resin and the phenol curing agent in the above compound is 0.5 to 2, and more preferably 0.8 to 0.8.
It is preferably in the range of 1.3.

【0030】さらにエポキシ樹脂組成物は次に挙げる難
燃剤も含有できる。難燃剤の例としては、ブロム化ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂などのブロム化エポキシ樹脂、ブ
ロム化ポリカーボネート樹脂、ブロム化ポリスチレン樹
脂、ブロム化ポリフェニレンオキサイド樹脂、テトラブ
ロモビスフェノールA、デカブロモジフェニルエーテル
などがあげられる。また次に挙げる難燃助剤の存在下で
も使用できる。難燃助剤の例としては、三酸化アンチモ
ン、四酸化アンチモン、五酸化アンチモンがあげられ
る。また次のような化合物の存在下においても使用でき
る。カーボンブラック、酸化鉄などの着色剤、ハイドロ
タルサイトなどのイオン捕捉剤、シリコ−ンゴム、オレ
フィン系共重合体、変性ニトリルゴム、変性ポリブタジ
エンゴム、変性シリコ−ンオイルなどのエラストマ−、
ポリエチレンなどの熱可塑性樹脂、長鎖脂肪酸、長鎖脂
肪酸の金属塩、長鎖脂肪酸のエステル、長鎖脂肪酸のア
ミド、パラフィンワックスなどの離型剤および有機過酸
化物などの架橋剤などである。
Further, the epoxy resin composition may also contain the following flame retardants. Examples of the flame retardant include brominated bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin such as brominated phenol novolak type epoxy resin, brominated polycarbonate resin, brominated polystyrene resin, brominated polyphenylene oxide resin, tetrabromobisphenol A, Decabromodiphenyl ether and the like. It can also be used in the presence of the following flame retardant aids. Examples of the flame retardant aid include antimony trioxide, antimony tetroxide, and antimony pentoxide. It can also be used in the presence of the following compounds. Coloring agents such as carbon black and iron oxide; ion scavengers such as hydrotalcite; elastomers such as silicone rubber, olefin copolymer, modified nitrile rubber, modified polybutadiene rubber, and modified silicone oil;
Examples include thermoplastic resins such as polyethylene, long-chain fatty acids, metal salts of long-chain fatty acids, esters of long-chain fatty acids, amides of long-chain fatty acids, release agents such as paraffin wax, and crosslinking agents such as organic peroxides.

【0031】本発明のエポキシ樹脂組成物の製造方法と
しては、硬化促進剤をはじめ上記各化合物を加熱混練、
例えば50〜170℃で混練する方法が好ましく、たと
えばバンバリーミキサー、ニーダー、ロール、単軸もし
くは二軸の押出機およびコニーダーなどの公知の混練方
法を用いて溶融混練、固化、必要に応じてタブレット化
することにより得ることができる。さらに本発明のエポ
キシ樹脂組成物を加熱流動化させて、半導体素子を封止
成形し、硬化することによって半導体装置が得られる。
As a method for producing the epoxy resin composition of the present invention, the above compounds including a curing accelerator are kneaded by heating,
For example, a method of kneading at 50 to 170 ° C. is preferred. For example, melt kneading, solidifying, and, if necessary, tableting using a known kneading method such as a Banbury mixer, a kneader, a roll, a single or twin screw extruder and a co-kneader. Can be obtained. Further, the semiconductor device is obtained by heating and fluidizing the epoxy resin composition of the present invention, sealingly molding and curing the semiconductor element.

【0032】[0032]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。なお、表2、3中の組成表の数字は、重量%を示
す。
The present invention will be described below in detail with reference to examples. The numbers in the composition tables in Tables 2 and 3 indicate% by weight.

【0033】実施例を表2に、比較例を表2、3に示し
た。
Examples are shown in Table 2 and comparative examples are shown in Tables 2 and 3.

【0034】表1に示した成分を準備した。ここで加熱
混練した硬化促進剤は表2または表3に記載した原料の
組成比で、かつ表2または表3に記載した温度で加熱混
練したものである。実施例1〜4に使用した加熱混練し
た後の硬化促進剤を目視で観察したところ原料同士が均
一に混合されていた。
The components shown in Table 1 were prepared. The curing accelerators heated and kneaded here are those which are heated and kneaded at the composition ratios of the raw materials shown in Table 2 or Table 3 and at the temperatures shown in Table 2 or Table 3. When the curing accelerator used in Examples 1 to 4 after heating and kneading was visually observed, the raw materials were uniformly mixed.

【0035】さらに表2、3に示した組成比でミキサー
によりドライブレンドした。これを、ロール表面温度9
0℃のミキシングロールを用いて5分間加熱混練後、冷
却・粉砕して半導体封止用エポキシ樹脂組成物を製造し
た。
Further, dry blending was performed by a mixer at the composition ratios shown in Tables 2 and 3. The roll surface temperature 9
After heating and kneading for 5 minutes using a mixing roll at 0 ° C., the mixture was cooled and pulverized to produce an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation.

【0036】[0036]

【表1】 [Table 1]

【0037】各種物性は以下の方法で行い、結果を表
2、3に示した。
Various physical properties were measured by the following methods, and the results are shown in Tables 2 and 3.

【0038】流動性:EMMI型評価用金型を用いて1
75℃で成形速度25m/secでスパイラルフローを測定
した。 硬化性:成形温度175℃、成形時間60秒の条件で直
径4インチ、厚さ3mmの円板を成形し、成形直後のバー
コル硬度を求めた。70以上あれば十分な硬化性をもつ
といえる。 耐クラック性および耐剥離性:実施例および比較例にお
いて、各10個の160ピンQFP(外形:28×28
×3.3mm、模擬半導体素子:10×10×0.5mm、
フレーム材料:42アロイ、チップ表面:ポリイミド
膜)を成形し、175℃で4時間硬化させたものを用い
85℃、85%RHの条件で168時間加湿後、IRリ
フロー炉を用いて260℃10秒間加熱処理した。その
後外部クラックの有無個数を調べクラックの入ったパッ
ケージを不良パッケージとし、その個数をnとしたとき
(1- n/10)×100の値を耐クラック性を示す数値とした。
値が100%に近いほど耐クラック性に優れことを意味
する。一方IRリフロー炉を用いて260℃10秒間加
熱処理したサンプルを超音波探傷器でリードフレームか
らの剥離を観察し、剥離したパッケージを不良パッケー
ジとし、その個数をnとしたとき(1- n/10)×100の値を
耐クラック性を示す数値とした。値が100%に近いほ
ど耐剥離性に優れることを意味する。
Fluidity: 1 using an EMMI mold evaluation mold
Spiral flow was measured at 75 ° C. at a molding speed of 25 m / sec. Curability: A disk having a diameter of 4 inches and a thickness of 3 mm was molded at a molding temperature of 175 ° C. and a molding time of 60 seconds, and Barcol hardness immediately after molding was determined. If it is 70 or more, it can be said that it has sufficient curability. Crack resistance and peel resistance: In Examples and Comparative Examples, 10 pieces each of 160 pins QFP (outer size: 28 × 28
× 3.3 mm, simulated semiconductor device: 10 × 10 × 0.5 mm,
(Frame material: 42 alloy, chip surface: polyimide film) molded and cured at 175 ° C. for 4 hours, humidified at 85 ° C. and 85% RH for 168 hours, and then 260 ° C. 10 using an IR reflow furnace. Heat treatment was performed for seconds. Then, the number of external cracks is checked and the package containing the crack is determined to be a defective package, and the number is defined as n.
A value of (1-n / 10) × 100 was set as a numerical value indicating crack resistance.
The closer the value is to 100%, the better the crack resistance. On the other hand, when the sample heat-treated at 260 ° C. for 10 seconds using an IR reflow furnace was observed for peeling from the lead frame with an ultrasonic flaw detector, the peeled packages were regarded as defective packages, and the number of the packages was n (1-n / 10) The value of × 100 was used as a numerical value indicating crack resistance. The closer the value is to 100%, the better the peel resistance.

【0039】保存安定性:保存前のスパイラルフローの
値を基準とし、別に組成物を28℃50%RHで96時
間保存した後に成形し、そのスパイラルフローの値の低
下率を表わした。値が小さいほど保存安定性に優れるこ
とを意味する。
Storage stability: Based on the value of the spiral flow before storage, the composition was separately stored at 28 ° C. and 50% RH for 96 hours and then molded, and the reduction rate of the spiral flow value was expressed. The smaller the value, the better the storage stability.

【0040】[0040]

【表2】 [Table 2]

【0041】表2にみられるように、実施例1〜4のエ
ポキシ樹脂組成物は、流動性、硬化性、耐クラック性、
耐剥離性、保存安定性、金型汚れなどすべての物性にお
いて優れている。これに対して比較例は耐クラック性、
耐剥離性、硬化性、耐クラック性、耐剥離性、金型汚れ
のいずれかにおいておいて劣っていることがわかる。
As can be seen from Table 2, the epoxy resin compositions of Examples 1 to 4 have fluidity, curability, crack resistance,
Excellent in all physical properties such as peel resistance, storage stability, and mold stain. In contrast, the comparative example has crack resistance,
It turns out that it is inferior in any of peeling resistance, hardening property, crack resistance, peeling resistance, and mold contamination.

【0042】[0042]

【表3】 [Table 3]

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明のエポキシ樹脂用硬化促進剤は、
成形時の流動性、硬化性に優れ、かつ半田リフロー時の
耐クラック性、保存安定性に優れた硬化物を与えるエポ
キシ樹脂組成物を得ることができるのでトランスファ成
形が主に使用される半導体装置の封止に好適である。
The curing accelerator for epoxy resin of the present invention comprises:
A semiconductor device mainly used for transfer molding because it can obtain an epoxy resin composition which is excellent in fluidity and curability during molding, and provides a cured product having excellent crack resistance and storage stability during solder reflow. It is suitable for sealing.

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】フェノール系樹脂(A)とテトラ置換ホス
ホニウム・テトラ置換ボレート(B)とが実質的に均一
に混合されているエポキシ樹脂硬化促進剤。
An epoxy resin curing accelerator in which a phenolic resin (A) and a tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B) are substantially uniformly mixed.
【請求項2】フェノール系樹脂(A)100重量部に対
して、テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート
(B)が3〜30重量部の範囲である請求項1記載のエ
ポキシ樹脂硬化促進剤。
2. The epoxy resin curing accelerator according to claim 1, wherein the amount of the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B) is in the range of 3 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the phenolic resin (A).
【請求項3】フェノール系樹脂(A)が化学式(I)で
表されるフェノール系樹脂(A1)を70重量%以上含
有するものである請求項1または2記載のエポキシ樹脂
硬化促進剤。 【化1】 R3-(-CH2-R1-CH2-R2-)n-CH2-R1-CH2-R3 (I) (ただし、式中のR1は水酸基を有しない2価の芳香族
基、R2は水酸基を有する2価の芳香族基、R3は水酸基
を有する1価の芳香族基、nは0または1以上の整数を
示す。R1、R2、R3はそれぞれ同一でも異なっていて
もよい。)
3. The epoxy resin curing accelerator according to claim 1, wherein the phenolic resin (A) contains at least 70% by weight of the phenolic resin (A1) represented by the chemical formula (I). Embedded image R 3 — (— CH 2 —R 1 —CH 2 —R 2 —) n —CH 2 —R 1 —CH 2 —R 3 (I) (where R 1 has a hydroxyl group) .R 1, R 2 a divalent aromatic group not, R 2 is showing a divalent aromatic group having a hydroxyl group, R 3 is a monovalent aromatic group having a hydroxyl group, n represents 0 or an integer of 1 or more , R 3 may be the same or different.)
【請求項4】化合物(A1)が化学式(I)において、R1
が2価のフェニル基、R2は水酸基を有する2価のフェ
ニル基およびR3が水酸基を有する1価のフェニル基で
ある請求項3記載のエポキシ樹脂硬化促進剤。
4. A compound (A1) is in the formula (I), R 1
The epoxy resin curing accelerator according to claim 3, wherein is a divalent phenyl group, R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group, and R 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group.
【請求項5】化合物(A1)が化学式(I)において、R1
が2価のビフェニル基、R2が水酸基を有する2価のフ
ェニル基、R3が水酸基を有する1価のフェニル基であ
るものである請求項3記載のエポキシ樹脂硬化剤。
5. The compound (A1) is in the formula (I), R 1
Is a divalent biphenyl group, R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group, and R 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group.
【請求項6】テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレ
ート(B)がテトラフェニルホスホニウム・テトラフェ
ニルボレートである請求項1〜5いずれかに記載のエポ
キシ樹脂硬化促進剤。
6. The epoxy resin curing accelerator according to claim 1, wherein the tetra-substituted phosphonium tetra-substituted borate (B) is tetraphenyl phosphonium tetraphenyl borate.
【請求項7】請求項1〜5いずれかに記載のエポキシ樹
脂硬化剤、エポキシ樹脂、および無機充填剤ならびに任
意成分としてフェノール系硬化剤を配合してなるエポキ
シ樹脂組成物。
7. An epoxy resin composition comprising the epoxy resin curing agent according to claim 1, an epoxy resin, an inorganic filler and a phenolic curing agent as an optional component.
【請求項8】全体に対して、テトラ置換ホスホニウム・
テトラ置換ボレートが0.01〜10重量%、エポキシ樹脂が
1〜15%、フェノール系樹脂およびフェノール系硬化
剤の総量が1〜15%ならびに無機充填剤が50〜93
重量%である請求項7記載のエポキシ樹脂組成物。
8. A tetra-substituted phosphonium.
0.01 to 10% by weight of tetra-substituted borate, 1 to 15% of epoxy resin, 1 to 15% of total amount of phenolic resin and phenolic curing agent, and 50 to 93 of inorganic filler
The epoxy resin composition according to claim 7, which is in terms of% by weight.
【請求項9】半導体封止用である請求項7または8記載
のエポキシ樹脂組成物。
9. The epoxy resin composition according to claim 7, which is used for encapsulating a semiconductor.
【請求項10】請求項9記載のエポキシ樹脂によって、
半導体素子が封止された半導体装置。
10. The epoxy resin according to claim 9,
A semiconductor device in which a semiconductor element is sealed.
【請求項11】フェノール系樹脂(A)とテトラ置換ホ
スホニウム・テトラ置換ボレート(B)とを190〜2
50℃の範囲で加熱混合することを特徴とするエポキシ
樹脂硬化促進剤の製造方法。
11. A phenolic resin (A) and a tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B),
A method for producing an epoxy resin curing accelerator, comprising heating and mixing at a temperature of 50 ° C.
【請求項12】フェノール系樹脂(A)100重量部に
対して、テトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート
(B)が3〜30重量部の範囲である請求項10記載の
エポキシ樹脂硬化促進剤の製造方法。
12. The epoxy resin curing accelerator according to claim 10, wherein the amount of the tetra-substituted phosphonium / tetra-substituted borate (B) is in the range of 3 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the phenolic resin (A). Method.
【請求項13】フェノール系樹脂(A)が化学式(I)
で表されるフェノール系樹脂(A1)を70重量%以上
含有するものである請求項11または12記載のエポキ
シ樹脂硬化促進剤の製造方法。 【化2】 R3-(-CH2-R1-CH2-R2-)n-CH2-R1-CH2-R3 (I) (ただし、式中のR1は水酸基を有しない2価の芳香族
基、R2は水酸基を有する2価の芳香族基、R3は水酸基
を有する1価の芳香族基、nは0または1以上の整数を
示す。R1、R2、R3はそれぞれ同一でも異なっていて
もよい。)
13. The phenolic resin (A) has a chemical formula (I)
The method for producing an epoxy resin curing accelerator according to claim 11 or 12, which comprises at least 70% by weight of a phenolic resin (A1) represented by the formula: Embedded image R 3 — (— CH 2 —R 1 —CH 2 —R 2 —) n —CH 2 —R 1 —CH 2 —R 3 (I) (where R 1 has a hydroxyl group) .R 1, R 2 a divalent aromatic group not, R 2 is showing a divalent aromatic group having a hydroxyl group, R 3 is a monovalent aromatic group having a hydroxyl group, n represents 0 or an integer of 1 or more , R 3 may be the same or different.)
【請求項14】化合物(A1)が化学式(I)において、R
1が2価のフェニル基、R2は水酸基を有する2価のフェ
ニル基およびR3が水酸基を有する1価のフェニル基で
ある請求項13記載のエポキシ樹脂硬化促進剤の製造方
法。
14. A compound (A1) represented by the formula (I):
14. The method according to claim 13, wherein 1 is a divalent phenyl group, R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group, and R 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group.
【請求項15】化合物(A1)が化学式(I)において、R
1が2価のビフェニル基、R2は水酸基を有する2価のフ
ェニル基、R3が水酸基を有する1価のフェニル基であ
るものである請求項13記載のエポキシ樹脂硬化剤の製
造方法。
15. A compound (A1) represented by the formula (I):
14. The method for producing an epoxy resin curing agent according to claim 13, wherein 1 is a divalent biphenyl group, R 2 is a divalent phenyl group having a hydroxyl group, and R 3 is a monovalent phenyl group having a hydroxyl group.
【請求項16】請求項10〜14いずれかの方法でエポ
キシ樹脂硬化促進剤を製造した後、該エポキシ樹脂硬化
剤、エポキシ樹脂、および無機充填剤ならびに任意成分
としてフェノール硬化剤を加熱混合することを特徴とす
るエポキシ樹脂組成物の製造方法。
16. An epoxy resin curing accelerator produced by the method according to any one of claims 10 to 14, followed by heating and mixing said epoxy resin curing agent, epoxy resin, inorganic filler and phenol curing agent as an optional component. A method for producing an epoxy resin composition, comprising:
【請求項17】エポキシ樹脂組成物が半導体封止用であ
る請求項16記載のエポキシ樹脂組成物の製造方法。
17. The method for producing an epoxy resin composition according to claim 16, wherein the epoxy resin composition is for semiconductor encapsulation.
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