JPH10262515A - Production of member for guide - Google Patents
Production of member for guideInfo
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- JPH10262515A JPH10262515A JP21404297A JP21404297A JPH10262515A JP H10262515 A JPH10262515 A JP H10262515A JP 21404297 A JP21404297 A JP 21404297A JP 21404297 A JP21404297 A JP 21404297A JP H10262515 A JPH10262515 A JP H10262515A
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- Fishing Rods (AREA)
- Guides For Winding Or Rewinding, Or Guides For Filamentary Materials (AREA)
- Spinning Or Twisting Of Yarns (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はガイド用部材の製造
方法に関する。繊維機械には糸或は布を誘導するための
各種のガイドが使用されている。また釣り具には釣り糸
を誘導するための各種のガイドが使用されている。更に
電気或は電子機器にはテープを誘導するための各種のガ
イドが使用されている。これらのガイドには、糸、布、
或はテープと直接に接触してこれらを誘導する各種のガ
イド用部材が用いられている。その性質上、ガイド用部
材には、耐摩耗性を有し、またこれと直接に接触して走
行する糸、布或はテープ(以下、これらを走行材とい
う)に悪影響を及ぼさないものであることが要求される
が、糸の極細化或は布やテープの極薄化が図られ、また
これらの高速化が図られる近年においては、上記の要求
が更に一層強くなっている。本発明はかかる近年の強い
要求に応えるガイド用部材の製造方法に関するものであ
る。The present invention relates to a method for manufacturing a guide member. Various guides for guiding a yarn or a cloth are used in a textile machine. Various guides for guiding a fishing line are used for fishing gear. Further, various guides for guiding the tape are used in electric or electronic equipment. These guides include thread, cloth,
Alternatively, various guide members are used which are in direct contact with the tape to guide them. Due to its nature, the guide member has abrasion resistance and does not adversely affect yarns, cloths or tapes (hereinafter referred to as running materials) that run in direct contact with the guide member. However, in recent years in which ultra-thin yarns or ultra-thin cloths and tapes have been achieved, and these speeds have been increased, the above requirements have become even stronger. The present invention relates to a method for manufacturing a guide member that meets such recent strong demands.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、上記のようなガイド用部材の製造
方法として一般に、金属材料或はセラミックス材料を用
いて所定形状に成形することが行なわれている(特公昭
52−48647、特開昭57−102472、特開平
4−271739)。ところが、かかる従来法には、得
られるガイド用部材の耐摩耗性が劣り、また摺動性が低
いという欠点がある。耐摩耗性が劣ると、ガイド用部材
の取り替え頻度が多くなり、また摺動性が低いと、発生
する摩擦熱により走行材の品質を損い、場合によっては
走行材を切断してしまう。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of manufacturing such a guide member, a metal material or a ceramic material is generally used to form the guide member into a predetermined shape (Japanese Patent Publication No. 52-48647; 57-102472, JP-A-4-271739). However, such a conventional method has disadvantages in that the resulting guide member has poor wear resistance and low slidability. If the abrasion resistance is inferior, the frequency of replacement of the guide member increases, and if the slidability is low, the generated frictional heat impairs the quality of the traveling material, and in some cases, cuts the traveling material.
【0003】そこで従来、ガイド用部材の改良された製
造方法として、金属材料或はセラミックス材料を用いて
所定形状に成形した後、その成形品の表面にダイヤモン
ド皮膜を形成する方法が提案されている(特開平7−3
22796)。ところが、この従来法には、得られるガ
イド用部材の耐摩耗性が成形品をそのまま用いる場合に
比べれば相応に良いという利点があるものの、成形品の
表面にCVD法等でダイヤモンド皮膜を形成すると、そ
の皮膜表面が軸結晶化したダイヤモンドの鋭い突起で覆
われ、このままでは走行材が短時間に切断してしまうの
で、実際にはダイヤモンド皮膜を形成した後にその皮膜
表面を滑らかにするような表面処理をしなければなら
ず、結果としてガイド用部材の製作に手間がかかるとい
う欠点がある。Therefore, as an improved method of manufacturing a guide member, a method has been proposed in which a metal material or a ceramic material is used to form a predetermined shape and then a diamond film is formed on the surface of the formed product. (JP-A-7-3
22796). However, although this conventional method has an advantage that the wear resistance of the obtained guide member is correspondingly better than the case where the molded article is used as it is, when a diamond film is formed on the surface of the molded article by a CVD method or the like. However, the surface of the film is covered with sharp projections of axially crystallized diamond, and the running material will be cut in a short time in this state. Processing has to be performed, and as a result, there is a disadvantage in that the production of the guide member is troublesome.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、従来法では、得られるガイド用部材の耐摩
耗性、摺動性及び製作性の向上を同時に充足できず、と
りわけ摺動性の向上が不充分であり、結果として走行材
に悪影響を及ぼすという点である。The problem to be solved by the present invention is that the conventional method cannot simultaneously improve the wear resistance, slidability and manufacturability of the guide member obtained, and This is because the improvement of the performance is insufficient, and as a result, the running material is adversely affected.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】しかして本発明者は、上
記課題を解決するべく研究した結果、セラミックス粉末
を型成形し、その成形物を焼結して焼結物を得た後、該
焼結物の表面を所定値以下に表面粗さ調整し、かかる表
面にダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜を所定
範囲の厚さで形成する方法が正しく好適であることを知
見した。Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have studied to solve the above problems, and as a result, have formed a ceramic powder by molding, sintered the molded product, and obtained a sintered product. It has been found that a method of adjusting the surface roughness of the surface of the sintered product to a predetermined value or less and forming a diamond-like carbon (DLC) film on the surface with a thickness in a predetermined range is correct and suitable.
【0006】すなわち本発明は、下記の第1工程及び第
2工程を経ることを特徴とするガイド用部材の製造方法
に係る。 第1工程:セラミックス粉末を型成形し、その成形物を
焼結して焼結物を得た後、該焼結物表面を中心線平均粗
さ(Ra)3.0μm以下に表面粗さ調整する工程。 第2工程:表面粗さ調整した焼結物の表面に厚さ0.5
〜10μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成す
る工程。That is, the present invention relates to a method for manufacturing a guide member, which includes the following first step and second step. First step: After molding a ceramic powder by molding and sintering the molded product to obtain a sintered product, the surface roughness of the sintered product is adjusted to a center line average roughness (Ra) of 3.0 μm or less. Process. Second step: thickness 0.5 on the surface of the sintered material whose surface roughness has been adjusted
A step of forming a diamond-like carbon film of 10 to 10 μm.
【0007】本発明において、セラミックス粉末として
は公知のものを適用でき、このようなセラミックス粉末
としては例えばAl2O3、ZrO2、TiO2、SiC、
Si3N4等又はこれらの混合物が挙げられるが、SiC
及び/又はSi3N4を主材とするものが好ましい。本発
明では、上記のようなセラミックス粉末を、要すればバ
インダと共に型成形し、所定形状の成形物を得る。そし
てこの成形物を焼結して焼結物を得る。例えばSiC粉
末を所定形状の金型に充填して所定形状に成形した後、
その成形物を1200℃程度で加熱して焼結する。得ら
れる焼結物は通常、その表面に付着する油類や塵埃等を
除去するため、洗浄する。例えば焼結物の表面をアルコ
ールやアセトン等の有機溶媒で洗浄した後、残留する有
機溶媒を乾燥により蒸発する。In the present invention, known ceramic powders can be used. Examples of such ceramic powders include Al 2 O 3 , ZrO 2 , TiO 2 , SiC,
Si 3 N 4 and the like or a mixture thereof, but SiC
And / or a material mainly composed of Si 3 N 4 is preferable. In the present invention, the above-mentioned ceramic powder is molded together with a binder, if necessary, to obtain a molded product having a predetermined shape. Then, this molded product is sintered to obtain a sintered product. For example, after filling SiC powder into a mold having a predetermined shape and molding it into a predetermined shape,
The molded product is heated at about 1200 ° C. and sintered. The obtained sintered product is usually washed in order to remove oils, dust and the like adhering to its surface. For example, after the surface of the sintered product is washed with an organic solvent such as alcohol or acetone, the remaining organic solvent is evaporated by drying.
【0008】焼結物はその表面を表面粗さ調整する。焼
結物の表面粗さ調整には、サンドブラスト法、バレル研
磨法、バフ研磨法等、公知の方法を適用できるが、バフ
研磨法が好ましい。焼結物の表面粗さ調整は、中心線平
均粗さ(Ra)が3.0μm以下、好ましくは0.3μm
以下となるように行なう。表面粗さ調整した焼結物は通
常、その表面に付着する研磨残留物や塵埃等を除去する
ため、洗浄する。例えば焼結物をバフ研磨法で表面粗さ
調整した場合には、表面粗さ調整した焼結物の表面を水
で洗浄し、更にアルコールやアセトン等の有機溶媒で洗
浄した後、残留する有機溶媒を乾燥により蒸発する。The surface of the sintered product is adjusted for its surface roughness. For adjusting the surface roughness of the sintered product, a known method such as a sand blast method, a barrel polishing method, and a buff polishing method can be applied, but the buff polishing method is preferable. The surface roughness of the sintered product is adjusted so that the center line average roughness (Ra) is 3.0 μm or less, preferably 0.3 μm or less.
Perform as follows. The sintered product whose surface roughness has been adjusted is usually washed to remove polishing residues, dust, and the like attached to the surface. For example, when the surface roughness of the sintered material is adjusted by a buffing method, the surface of the sintered material having the adjusted surface roughness is washed with water, further washed with an organic solvent such as alcohol or acetone, and then the remaining organic material is washed. The solvent is evaporated by drying.
【0009】表面粗さ調整した焼結物はその表面に直接
ダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成することもでき
るが、これに先立ってその表面に接着用中間皮膜を形成
するのが好ましい。接着用中間皮膜の形成にはスパッタ
リング法を適用するのが好ましく、なかでもアルゴンス
パッタリング法が好ましい。例えば真空状態のアルゴン
ガス雰囲気下で表面粗さ調整した焼結物とターゲットと
の間に高周波電圧を印加して、表面粗さ調整した焼結物
の表面にターゲットの接着用中間皮膜を形成する。接着
用中間皮膜は表面粗さ調整した焼結物とダイヤモンドラ
イクカーボン皮膜との密着性を向上させるためのもの
で、したがって合目的的にかかる接着用中間皮膜はシリ
コン及び/又はシリコンカーバイトとするのが好まし
く、その厚さが0.3μm以下、好ましくは0.1μm程
度となるように形成する。シリコンは結果としてシリコ
ンカーバイトを形成し易く、シリコンカーバイトは表面
粗さ調整した焼結物及びダイヤモンドライクカーボン皮
膜の双方に馴染み易いので、かかる接着用中間皮膜は表
面粗さ調整した焼結物とダイヤモンドライクカーボン皮
膜との密着性をより良くする。表面粗さ調整した焼結物
はその表面に接着用中間皮膜を形成する場合に通常、こ
れに先立ってその表面に付着する微細な水分やハイドロ
カーボン等を除去するため、表面処理する。例えば真空
状態のアルゴンガス雰囲気下で表面粗さ調整した焼結物
にターゲットを介することなく高周波電圧を印加してア
ルゴンプラズマクリーニングする。[0009] The sintered product having the adjusted surface roughness can directly form a diamond-like carbon film on its surface, but it is preferable to form an adhesive intermediate film on its surface prior to this. It is preferable to apply a sputtering method to the formation of the bonding intermediate film, and an argon sputtering method is particularly preferable. For example, a high-frequency voltage is applied between the target whose surface roughness has been adjusted and the target under an argon gas atmosphere in a vacuum state to form an intermediate film for bonding the target on the surface of the target whose surface roughness has been adjusted. . The bonding intermediate film is for improving the adhesion between the sintered material whose surface roughness has been adjusted and the diamond-like carbon film. Therefore, the bonding intermediate film is suitably made of silicon and / or silicon carbide. The thickness is preferably 0.3 μm or less, and more preferably about 0.1 μm. Silicon is easy to form silicon carbide as a result, and silicon carbide is easy to adapt to both the sintered material whose surface roughness has been adjusted and the diamond-like carbon film. And diamond-like carbon film to improve adhesion. When forming a bonding intermediate film on the surface of the sintered product whose surface roughness has been adjusted, usually, prior to this, a surface treatment is performed to remove fine water, hydrocarbons and the like adhering to the surface. For example, an argon plasma cleaning is performed by applying a high-frequency voltage to a sintered material whose surface roughness has been adjusted without passing through a target under an argon gas atmosphere in a vacuum state.
【0010】表面粗さ調整した焼結物又はその表面に接
着用中間皮膜を形成したものについてこれらの表面にダ
イヤモンドライクカーボン皮膜を形成する。ダイヤモン
ドライクカーボン皮膜の形成にはプラズマエンハンスド
CVD法(プラズマ発揚型化学蒸着法)やECRプラズ
マCVD法(電子サイクロトン共鳴プラズマ化学蒸着
法)等のプラズマCVD法、イオン化蒸着法又はスパッ
タリング法を適用するのが好ましい。例えば真空状態の
炭化水素系ガス雰囲気下で表面粗さ調整した焼結物に高
周波電圧を印加して、表面粗さ調整した焼結物の表面に
ダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成する。この場
合、ガス組成、ガス圧、電圧強度及び処理時間等を調節
することにより、ダイヤモンドライクカーボン皮膜の硬
度や厚さ等を制御でき、例えばガス組成については、炭
化水素系ガスと共に窒素ガス、シランガス及び/又は金
属成分を導入すると、より耐摩耗性を有する或は焼結物
に対してより密着性の良いダイヤモンドライクカーボン
皮膜を形成できる。ダイヤモンドライクカーボン皮膜は
得られるガイド用部材に耐摩耗性及び摺動性の向上をも
たらすもので、合目的的にその厚さが0.5〜10μ
m、好ましくは1〜8μmとなるように形成する。焼結物
をその中心線平均粗さ(Ra)が3.0μm以下、好ま
しくは0.3μm以下となるように表面粗さ調整し、ま
たダイヤモンドライクカーボン皮膜をその厚さが0.5
〜10μm、好ましくは1〜8μmとなるように形成する
ことにより初めて、更に接着用中間皮膜を形成する場合
にはその厚さが0.3μm以下、好ましくは0.1μm程
度となるように形成することにより初めて、ガイド用部
材の表面皮膜としてのダイヤモンドライクカーボンの特
性が生きてくる。ダイヤモンドライクカーボン皮膜を形
成するに先立って通常、表面粗さ調整した焼結物又はそ
の表面に接着用中間皮膜を形成したものを表面処理す
る。この表面処理は接着用中間皮膜を形成するに先立っ
て行なう前述した表面処理とほぼ同様である。A diamond-like carbon film is formed on the surface of a sintered product whose surface roughness has been adjusted or an intermediate film for adhesion formed on the surface thereof. For the formation of the diamond-like carbon film, a plasma enhanced CVD method (plasma elevating chemical vapor deposition), an ECR plasma CVD method (electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition), or the like, an ionized vapor deposition method or a sputtering method is applied. Is preferred. For example, a high-frequency voltage is applied to the sintered body whose surface roughness has been adjusted in a hydrocarbon gas atmosphere in a vacuum state, and a diamond-like carbon film is formed on the surface of the sintered body whose surface roughness has been adjusted. In this case, the hardness and thickness of the diamond-like carbon film can be controlled by adjusting the gas composition, the gas pressure, the voltage intensity, the treatment time, and the like. When a metal component is introduced, a diamond-like carbon film having more wear resistance or better adhesion to a sintered product can be formed. The diamond-like carbon film is intended to improve the wear resistance and slidability of the obtained guide member, and has a thickness of 0.5 to 10 μm.
m, preferably 1 to 8 μm. The surface roughness of the sintered product is adjusted so that the center line average roughness (Ra) is 3.0 μm or less, preferably 0.3 μm or less.
For the first time, when forming an intermediate film for bonding, it is formed so as to have a thickness of 0.3 μm or less, preferably about 0.1 μm. For the first time, the characteristics of diamond-like carbon as a surface film of a guide member come to life. Prior to the formation of a diamond-like carbon film, a surface-treated sintered product or a product obtained by forming an intermediate film for adhesion on the surface thereof is usually subjected to a surface treatment. This surface treatment is substantially the same as the above-mentioned surface treatment performed prior to forming the adhesive intermediate film.
【0011】本発明によって得られるその表面がダイヤ
モンドライクカーボン皮膜で覆われたガイド用部材は通
常、ビッカース硬度が3000〜10000kg/mm2程度
となる。しかもダイヤモンドライクカーボン皮膜はグラ
ファイトとダイヤモンドとが共存するアモルファスであ
り、結晶粒界がないため、滑らかであって、中心線平均
粗さ(Ra)が表面粗さ調整した焼結物と同程度に仕上
がるので、ダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成した
後の厄介な表面処理が不要である。したがって本発明に
よると、得られるガイド用部材の耐摩耗性、摺動性及び
製作性の向上を同時に図ることができ、とりわけ摺動性
を著しく向上できる。The guide member obtained by the present invention and whose surface is covered with a diamond-like carbon film usually has a Vickers hardness of about 3,000 to 10,000 kg / mm 2 . In addition, the diamond-like carbon film is amorphous, in which graphite and diamond coexist, and has no crystal grain boundaries. Since it is finished, troublesome surface treatment after forming the diamond-like carbon film is unnecessary. Therefore, according to the present invention, the wear resistance, slidability and manufacturability of the obtained guide member can be simultaneously improved, and especially the slidability can be significantly improved.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】図1は本発明に係るガイド用部材
の製造方法を例示する工程図である。SiC粉末にバイ
ンダを混ぜ込み、これを離型剤を塗布した所定形状の金
型で成形して、成形物を得る。この成形物を1200℃
程度で加熱して焼結し、焼結物を得る。この焼結物をエ
チルアルコールで洗浄し、温風乾燥する。温風乾燥した
焼結物をバフ研磨法で中心線平均粗さ(Ra)が0.5
μmとなるように表面粗さ調整する。表面粗さ調整した
焼結物を水で洗浄し、更にエチルアルコールで洗浄し
て、温風乾燥した後、アルゴンプラズマクリーニング法
で表面処理する。表面処理した焼結物の表面に、ターゲ
ットとしてシリコンを用い、スパッタリング法で厚さが
0.1μm程度の接着用中間皮膜を形成する。表面に接
着用中間皮膜を形成したものを再びアルゴンプラズマク
リーニング法で表面処理する。表面処理した接着用中間
皮膜の表面に、真空状態のメタンガス及び窒素ガス雰囲
気下に、プラズマCVD法で厚さが5μm程度のダイヤ
モンドライクカーボン皮膜を形成する。かくして、表面
粗さ調整した焼結物の表面に接着用中間皮膜を介してダ
イヤモンドライクカーボン皮膜を形成したガイド用部材
を得る。ガイド用部材に求められる物性に応じて、接着
用中間皮膜形成は省略することができ、接着用中間皮膜
形成を省略する場合にはその直前の表面処理も省略す
る。FIG. 1 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a guide member according to the present invention. A binder is mixed with the SiC powder, and the mixture is molded using a mold having a predetermined shape coated with a release agent, to obtain a molded product. This molded product is 1200 ° C
Sintering is performed by heating to a degree to obtain a sintered product. The sintered product is washed with ethyl alcohol and dried with warm air. The hot-air dried sintered product is subjected to buff polishing to have a center line average roughness (Ra) of 0.5.
Adjust the surface roughness so that it becomes μm. The sintered material whose surface roughness has been adjusted is washed with water, further washed with ethyl alcohol, dried with hot air, and then subjected to a surface treatment by an argon plasma cleaning method. An adhesive intermediate film having a thickness of about 0.1 μm is formed on the surface of the surface-treated sintered product by sputtering using silicon as a target. The surface on which the adhesive intermediate film is formed is subjected to the surface treatment again by the argon plasma cleaning method. A diamond-like carbon film having a thickness of about 5 μm is formed on the surface of the surface-treated bonding intermediate film by a plasma CVD method in a vacuum methane gas and nitrogen gas atmosphere. Thus, a guide member is obtained in which a diamond-like carbon film is formed on the surface of the sintered product whose surface roughness has been adjusted via the bonding intermediate film. Depending on the physical properties required for the guide member, the formation of the bonding intermediate film can be omitted, and when the formation of the bonding intermediate film is omitted, the surface treatment immediately before that is also omitted.
【0013】図2は本発明によって製造されるガイド用
部材を例示する断面図である。図2は釣り竿に取付けら
れる釣り糸用のガイドリングを示しており、このガイド
リングは、表面粗さ調整した全体としてリング状の焼結
物11の表面に接着用中間皮膜21を介してダイヤモン
ドライクカーボン皮膜31を形成したものである。図3
は本発明によって製造される他のガイド用部材を例図す
る断面図である。図3は紡績機械に取付けられる繊維糸
条用のガイドピンを示しており、このガイドピンは、表
面粗さ調整した外周に括れ面を有する全体として筒状の
焼結物12の表面に接着用中間皮膜22を介してダイヤ
モンドライクカーボン皮膜32を形成したものである。FIG. 2 is a sectional view illustrating a guide member manufactured according to the present invention. FIG. 2 shows a guide line for a fishing line attached to a fishing rod. The guide ring is formed on a surface of a ring-shaped sintered product 11 whose surface roughness is adjusted as a whole through a bonding intermediate film 21 through diamond-like carbon. The film 31 is formed. FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating another guide member manufactured according to the present invention. FIG. 3 shows a guide pin for a fiber yarn attached to a spinning machine. The guide pin is used for bonding to the surface of a generally cylindrical sintered product 12 having a constricted surface on the outer periphery whose surface roughness is adjusted. A diamond-like carbon film 32 is formed via an intermediate film 22.
【0014】[0014]
実施例1 次のようにして、釣り糸用のガイドリング(外径:10
mm,内径:6mm)を製造した。先ず、SiC粉末を所定
形状の金型で成形して、成形物を得た。この成形物を1
200℃で加熱して焼結し、焼結物を得た。この焼結物
をエチルアルコールで洗浄し、温風乾燥した。温風乾燥
した焼結物をバフ研磨法(0.03μmのアルミナ粉末
の水懸濁液を使用)で表面粗さ調整して、その表面を中
心線平均粗さ(Ra)0.03μmに仕上げた。表面粗
さ調整した焼結物を水で洗浄し、更にエチルアルコール
で洗浄して、温風乾燥した後、アルゴンプラズマクリー
ニング法(圧力:10Pa,雰囲気ガス:アルゴンガ
ス,供給電力:2W/表面cm2,処理時間:10分)で
表面処理した。表面処理した焼結物の表面にプラズマC
VD法(圧力:10Pa,雰囲気ガス:メタンガス,供
給電力:2W/表面cm2,形成時間:10分)で厚さが
2μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成した。
かくして、表面粗さ調整した焼結物の表面にダイヤモン
ドライクカーボン皮膜を形成したガイドリングを得た。Example 1 A guide ring for fishing line (outer diameter: 10
mm, inner diameter: 6 mm). First, SiC powder was molded with a mold having a predetermined shape to obtain a molded product. This molded product is
It was heated at 200 ° C. and sintered to obtain a sintered product. This sintered product was washed with ethyl alcohol and dried with warm air. The surface roughness of the hot air dried sintered product is adjusted by buffing (using an aqueous suspension of 0.03 μm alumina powder), and the surface is finished to a center line average roughness (Ra) of 0.03 μm. Was. The sintered product whose surface roughness has been adjusted is washed with water, further washed with ethyl alcohol, dried with hot air, and then subjected to an argon plasma cleaning method (pressure: 10 Pa, atmosphere gas: argon gas, supply power: 2 W / surface cm). 2 , treatment time: 10 minutes). Plasma C on the surface of the surface-treated sintered product
A diamond-like carbon film having a thickness of 2 μm was formed by the VD method (pressure: 10 Pa, atmosphere gas: methane gas, supply power: 2 W / surface cm 2 , formation time: 10 minutes).
Thus, a guide ring having a diamond-like carbon film formed on the surface of the sintered product whose surface roughness was adjusted was obtained.
【0015】実施例2〜6及び比較例1 表面粗さ調整による焼結物の中心線平均粗さ(Ra)を
表1記載のように変えて、実施例1と同様にガイドリン
グを得た。Examples 2 to 6 and Comparative Example 1 A guide ring was obtained in the same manner as in Example 1 except that the center line average roughness (Ra) of the sintered product was adjusted as shown in Table 1 by adjusting the surface roughness. .
【0016】実施例1〜6及び比較例1の各例で得たガ
イドリングについて、下記の条件下で釣り糸に対する摺
動性指標としてのヒーティングテストを行なった。結果
を表1に示した。 ヒーティングテスト及びその条件:特開平4−2717
39号公報記載の方法にしたがい、釣り糸=東レ社製の
道糸「銀鱗PX5.0号」、荷重=3kg、ストローク長
=300mm、ストローク時間=1往復/3秒The guide ring obtained in each of Examples 1 to 6 and Comparative Example 1 was subjected to a heating test as an index of slidability with respect to a fishing line under the following conditions. The results are shown in Table 1. Heating test and its conditions: JP-A-4-2717
According to the method described in Japanese Patent Publication No. 39, fishing line = Toray Co., Ltd. road yarn "Ginscale PX5.0", load = 3 kg, stroke length = 300 mm, stroke time = 1 round trip / 3 seconds
【0017】[0017]
【表1】 [Table 1]
【0018】実施例7〜10及び比較例2,3 表面粗さ調整による焼結物の中心線平均粗さ(Ra)を
1.0μmとし、プラズマCVD法によるダイヤモンド
ライクカーボン皮膜の厚さ(DLCの厚さ)を表2記載
のように変えて、実施例1と同様にガイドリングを得
た。各例で得たガイドリングについて、前記と同じ条件
下でヒーティングテストを行なった。結果を表2に示し
た。Examples 7 to 10 and Comparative Examples 2 and 3 The center line average roughness (Ra) of the sintered product was adjusted to 1.0 μm by adjusting the surface roughness, and the thickness (DLC) of the diamond-like carbon film formed by the plasma CVD method was adjusted. Was changed as shown in Table 2 to obtain a guide ring in the same manner as in Example 1. With respect to the guide ring obtained in each example, a heating test was performed under the same conditions as described above. The results are shown in Table 2.
【0019】[0019]
【表2】 [Table 2]
【0020】実施例11 次のようにして、釣り糸用のガイドリング(外径:10
mm,内径:6mm)を製造した。先ず、SiC及びSi3
N4の等量混合粉末を所定形状の金型で成形して、成形
物を得た。この成形物を1200℃で加熱して焼結し、
焼結物を得た。この焼結物をエチルアルコールで洗浄
し、温風乾燥した。温風乾燥した焼結物をバフ研磨法
(0.3μmのアルミナ粉末の水懸濁液を使用)で表面
粗さ調整して、その表面を中心線平均粗さ(Ra)0.
5μmに仕上げた。表面粗さ調整した焼結物を水で洗浄
し、更にエチルアルコールで洗浄して、温風乾燥した
後、アルゴンプラズマクリーニング法(圧力:0.1P
a,雰囲気ガス:アルゴンガス,供給電力:1W/表面
cm2,処理時間:10分)で表面処理した。表面処理し
た焼結物の表面にスパッタリング法(圧力:0.1P
a,雰囲気ガス:アルゴンガス,供給電力:1W/表面
cm2,形成時間:3分,ターゲット:シリコン)で厚さ
が0.1μmの接着用中間皮膜を形成した。表面に接着
用中間皮膜を形成したものを再びアルゴンプラズマクリ
ーニング法(圧力:10Pa,雰囲気ガス:アルゴンガ
ス,供給電力:2W/表面cm2,処理時間:10分)で
表面処理した。表面処理した接着用中間皮膜の表面にプ
ラズマCVD法(圧力:10Pa,雰囲気ガス:メタン
ガス,供給電力:2W/表面cm2,形成時間:20分)
で厚さが5μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜を形
成した。かくして、表面粗さ調整した焼結物の表面にシ
リコン(結果として一部はシリコンカーバイト)の接着
用中間皮膜を介してダイヤモンドライクカーボン皮膜を
形成したガイドリングを得た。このガイドリングについ
て、前記と同じ条件下でヒーティングテストを行なった
ところ、ヒーティングテスト(回)は89であった。Embodiment 11 A guide line for a fishing line (outer diameter: 10
mm, inner diameter: 6 mm). First, SiC and Si 3
By molding a mixture of equal amounts powder N 4 in a mold of a predetermined shape to obtain a molded product. This molded product is heated at 1200 ° C. and sintered,
A sintered product was obtained. This sintered product was washed with ethyl alcohol and dried with warm air. The sintered product dried with hot air is subjected to buff polishing (using a 0.3 μm aqueous suspension of alumina powder) to adjust the surface roughness, and the surface is adjusted to have a center line average roughness (Ra) of 0.
Finished to 5 μm. The sintered material whose surface roughness has been adjusted is washed with water, further washed with ethyl alcohol, dried with hot air, and then subjected to an argon plasma cleaning method (pressure: 0.1 P).
a, atmosphere gas: argon gas, supply power: 1 W / surface
cm 2 , treatment time: 10 minutes). Sputtering method (pressure: 0.1P) on the surface of the surface-treated sintered product
a, atmosphere gas: argon gas, supply power: 1 W / surface
cm 2 , formation time: 3 minutes, target: silicon) and a 0.1 μm thick intermediate film for adhesion was formed. The surface on which the adhesive intermediate film was formed was again subjected to a surface treatment by an argon plasma cleaning method (pressure: 10 Pa, atmosphere gas: argon gas, supply power: 2 W / surface cm 2 , treatment time: 10 minutes). Plasma CVD method (pressure: 10 Pa, atmosphere gas: methane gas, supply power: 2 W / surface cm 2 , formation time: 20 minutes) on the surface of the surface of the bonding intermediate film after the surface treatment.
To form a diamond-like carbon film having a thickness of 5 μm. Thus, a guide ring was obtained in which a diamond-like carbon film was formed on the surface of the sintered product whose surface roughness was adjusted via an intermediate film for adhesion of silicon (partly silicon carbide). When a heating test was performed on this guide ring under the same conditions as described above, the heating test (times) was 89.
【0021】実施例12 表面処理した接着用中間皮膜の表面に、メタンガス/窒
素ガス=95/5(容量比)の雰囲気ガス下でダイヤモ
ンドライクカーボン皮膜を形成したこと以外は実施例9
と同様にして、表面粗さ調整した焼結物の表面にシリコ
ン(結果として一部はシリコンカーバイト)の接着用中
間皮膜を介してダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成
したガイドリングを得た。このガイドリングについて、
前記と同じ条件下でヒーティングテストを行なったとこ
ろ、ヒーティングテスト(回)は97であった。Example 12 Example 9 except that a diamond-like carbon film was formed on the surface of the surface-treated bonding intermediate film under an atmosphere gas of methane gas / nitrogen gas = 95/5 (volume ratio).
In the same manner as described above, a guide ring was obtained in which a diamond-like carbon film was formed on the surface of the sintered product whose surface roughness was adjusted via an intermediate film for adhesion of silicon (partly silicon carbide). About this guide ring,
A heating test was performed under the same conditions as described above, and the number of heating tests (times) was 97.
【0022】[0022]
【発明の効果】既に明らかなように、以上説明した本発
明には、得られるガイド用部材の耐摩耗性、摺動性及び
製作性の向上を同時に充足でき、とりわけ摺動性を著し
く向上できるという効果がある。As is apparent from the above description, the present invention described above can simultaneously improve the wear resistance, slidability and manufacturability of the obtained guide member, and can significantly improve the slidability in particular. This has the effect.
【図1】本発明に係るガイド用部材の製造方法を例示す
る工程図。FIG. 1 is a process chart illustrating a method for manufacturing a guide member according to the present invention.
【図2】本発明によって製造されるガイド用部材を例示
する断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a guide member manufactured according to the present invention.
【図3】本発明によって製造される他のガイド用部材を
例示する断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating another guide member manufactured according to the present invention.
11,12・・・焼結物、21,22・・・接着用中間
皮膜、31,32・・・ダイヤモンドライクカーボン皮
膜11, 12: sintered product, 21, 22, ... intermediate film for bonding, 31, 32: diamond-like carbon film
Claims (6)
を特徴とするガイド用部材の製造方法。 第1工程:セラミックス粉末を型成形し、その成形物を
焼結して焼結物を得た後、該焼結物表面を中心線平均粗
さ(Ra)3.0μm以下に表面粗さ調整する工程。 第2工程:表面粗さ調整した焼結物の表面に厚さ0.5
〜10μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成す
る工程。1. A method for manufacturing a guide member, comprising the following first step and second step. First step: After molding a ceramic powder by molding and sintering the molded product to obtain a sintered product, the surface roughness of the sintered product is adjusted to a center line average roughness (Ra) of 3.0 μm or less. Process. Second step: thickness 0.5 on the surface of the sintered material whose surface roughness has been adjusted
A step of forming a diamond-like carbon film of 10 to 10 μm.
結物の表面に厚さ0.3μm以下の接着用中間皮膜を形
成した後、該接着用中間皮膜の表面に厚さ0.5〜10
μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成する請求
項1記載のガイド用部材の製造方法。2. In a second step, after forming an adhesion intermediate film having a thickness of 0.3 μm or less on the surface of the sintered product whose surface roughness has been adjusted, a thickness of 0.5 μm is formed on the surface of the adhesion intermediate film. -10
2. The method for producing a guide member according to claim 1, wherein a diamond-like carbon film having a thickness of μm is formed.
ン及び/又はシリコンカーバイトの接着用中間皮膜を形
成する請求項2記載のガイド用部材の製造方法。3. The method for producing a guide member according to claim 2, wherein an intermediate film for bonding silicon and / or silicon carbide is formed on the surface of the sintered body whose surface roughness has been adjusted.
スパッタリング法でダイヤモンドライクカーボン皮膜を
形成する請求項1、2又は3記載のガイド用部材の製造
方法。4. The method for producing a guide member according to claim 1, wherein the diamond-like carbon film is formed by a plasma CVD method, an ionization vapor deposition method or a sputtering method.
ガス及び/又は金属成分を導入した雰囲気ガス下でダイ
ヤモンドライクカーボン皮膜を形成する請求項1、2、
3又は4記載のガイド用部材の製造方法。5. A diamond-like carbon film is formed under an atmosphere gas into which a nitrogen gas, a silane gas and / or a metal component is introduced together with a hydrocarbon-based gas.
5. The method for producing a guide member according to 3 or 4.
窒化珪素を主材とするものである請求項1、2、3、4
又は5記載のガイド用部材の製造方法。6. The ceramic powder according to claim 1, wherein the main component is silicon carbide and / or silicon nitride.
Or the manufacturing method of the member for guides of 5.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21404297A JPH10262515A (en) | 1997-01-27 | 1997-07-23 | Production of member for guide |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9-28461 | 1997-01-27 | ||
JP2846197 | 1997-01-27 | ||
JP21404297A JPH10262515A (en) | 1997-01-27 | 1997-07-23 | Production of member for guide |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10262515A true JPH10262515A (en) | 1998-10-06 |
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ID=26366577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21404297A Pending JPH10262515A (en) | 1997-01-27 | 1997-07-23 | Production of member for guide |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10262515A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002335814A (en) * | 2001-05-18 | 2002-11-26 | Citizen Watch Co Ltd | Fishhook and method for forming hard coating onto the fishhook |
JP2014039532A (en) * | 2012-07-25 | 2014-03-06 | Kyocera Corp | Ring member, ring member for fishing line, guide for fishing line, fishing rod and ring member for fiber machine |
WO2016136819A1 (en) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 京セラ株式会社 | Fiber guide |
-
1997
- 1997-07-23 JP JP21404297A patent/JPH10262515A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6027298B1 (en) * | 2015-02-25 | 2016-11-16 | 京セラ株式会社 | Fiber guide |
CN107250015A (en) * | 2015-02-25 | 2017-10-13 | 京瓷株式会社 | Fiber guide |
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