JPH10262511A - Member for guide - Google Patents

Member for guide

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JPH10262511A
JPH10262511A JP20096597A JP20096597A JPH10262511A JP H10262511 A JPH10262511 A JP H10262511A JP 20096597 A JP20096597 A JP 20096597A JP 20096597 A JP20096597 A JP 20096597A JP H10262511 A JPH10262511 A JP H10262511A
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JP
Japan
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carbon film
guide member
thickness
diamond
titanium
Prior art date
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Pending
Application number
JP20096597A
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Japanese (ja)
Inventor
Takao Yamaguchi
孝夫 山口
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Daido Steel Co Ltd
Original Assignee
Daido Steel Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the subject member capable of simultaneously satisfying abrasion resistance, sliding properties and manufacturability and especially sufficiently improving the sliding properties by regulating the surface roughness of a substrate formed into a specific shape so as to afford specific conditions and forming a diamondlike carbon film having a specified thickness on the surface thereof. SOLUTION: This member for guide is obtained by forming a diamondlike carbon film 13 having 0.5-10 μm thickness through a bonding middle film having preferably <=0.3 μm thickness (silicon or silicone carbide or titanium carbide) on the surface of a substrate 11, formed into a prescribed shape and having <=3.0 μm center line average height (Ra ) (e.g. titanium or a titanium alloy). A sandblasting method, a barrel polishing method, an electropolishing method, etc., can be applied to the polishing of the surface of the substrate 11 into the above state. A plasma chemical vapor deposition(CVD) method, an ionic vapor deposition method, a sputtering method, etc., can be applied to the formation of the diamondlike carbon film 13.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はガイド用部材に関す
る。繊維機械には糸或は布を誘導するための各種のガイ
ドが使用されている。また釣り具には釣り糸を誘導する
ための各種のガイドが使用されている。更に電気或は電
子機器にはテープを誘導するための各種のガイドが使用
されている。これらのガイドには、糸、布、或はテープ
と直接に接触してこれらを誘導する各種のガイド用部材
が用いられている。その性質上、ガイド用部材には、耐
摩耗性を有し、またこれと直接に接触して走行する糸、
布或はテープ(以下、これらを走行材という)に悪影響
を及ぼさないものであることが要求されるが、糸の極細
化或は布やテープの極薄化が図られ、またこれらの高速
化が図られる近年においては、上記の要求が更に一層強
くなっている。本発明はかかる近年の強い要求に応える
ガイド用部材に関するものである。
[0001] The present invention relates to a guide member. Various guides for guiding a yarn or a cloth are used in a textile machine. Various guides for guiding a fishing line are used for fishing gear. Further, various guides for guiding the tape are used in electric or electronic equipment. These guides use various types of guide members that come into direct contact with and guide the thread, cloth, or tape. By its nature, the guide member has abrasion resistance, and a yarn that runs in direct contact with it,
It is required that the cloth or tape (hereinafter, referred to as a running material) be not adversely affected, but the thread or the cloth or tape are made extremely thin, and the speed of these is increased. In recent years, such demands have been further strengthened. The present invention relates to a guide member meeting such recent strong demands.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、上記のようなガイド用部材として
一般に、所定形状に成形した金属製品或はセラミックス
製品が使用されている(特公昭52−48647、特開
昭57−102472、特開平4−271739)。と
ころが、かかるガイド用部材には、耐摩耗性が劣り、ま
た摺動性が低いという欠点がある。耐摩耗性が劣ると、
ガイド用部材の取り替え頻度が多くなり、また摺動性が
低いと、発生する摩擦熱により走行材の品質を損い、場
合によっては走行材を切断してしまう。
2. Description of the Related Art Conventionally, a metal product or a ceramic product molded into a predetermined shape has been generally used as a guide member as described above (JP-B-52-48647, JP-A-57-102472, JP-A-57-102472; -271739). However, such a guide member has disadvantages such as poor wear resistance and low slidability. If the wear resistance is poor,
If the frequency of replacement of the guide member increases and the sliding property is low, the generated frictional heat impairs the quality of the traveling material, and in some cases, cuts the traveling material.

【0003】そこで従来、改良されたガイド用部材とし
て、所定形状に成形した金属製品或はセラミックス製品
を基材とし、これらの基材の表面にダイヤモンド皮膜を
形成したものが提案されている(特開平7−32279
6)。ところが、このガイド用部材には、基材をそのま
ま用いる場合に比べれば相応に耐摩耗性が良いという利
点があるものの、基材の表面にCVD法等でダイヤモン
ド皮膜を形成すると、その皮膜表面が軸結晶化したダイ
ヤモンドの鋭い突起で覆われ、このままでは走行材が短
時間に切断してしまうので、実際にはダイヤモンド皮膜
を形成した後にその皮膜を滑らかにするような表面処理
をしなければならず、製作に手間がかかるという欠点が
ある。
[0003] Therefore, as an improved guide member, there has been conventionally proposed a metal member or ceramics product formed into a predetermined shape as a base material, and a diamond film formed on the surface of the base material (particularly). Kaihei 7-32279
6). However, although this guide member has an advantage that the wear resistance is correspondingly better than the case where the base material is used as it is, when a diamond film is formed on the surface of the base material by a CVD method or the like, the surface of the film is reduced. Since the running material is cut in a short time if it is covered with sharp projections of axially crystallized diamond, it is necessary to apply a surface treatment to smooth the diamond film after it is actually formed. However, there is a disadvantage that it takes time to manufacture.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、従来のガイド用部材では、耐摩耗性、摺動
性及び製作性の向上を同時に充足できず、とりわけ摺動
性の向上が不充分であり、結果として走行材に悪影響を
及ぼすという点である。
The problem to be solved by the present invention is that the conventional guide member cannot simultaneously improve the wear resistance, the slidability and the manufacturability, and especially the slidability. Is insufficient, and as a result, the running material is adversely affected.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】しかして本発明者は、上
記課題を解決するべく研究した結果、所定形状に成形し
た金属製品或はセラミックス製品等を基材とし、これら
の基材の表面を所定値以下に表面粗さ調整して、かかる
表面にダイヤモンドライクカーボン皮膜を所定範囲の厚
さで形成したものが正しく好適であることを知見した。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have studied to solve the above-mentioned problems, and as a result, a metal product or a ceramic product molded into a predetermined shape is used as a base material. It has been found that a surface roughness adjusted to a predetermined value or less and a diamond-like carbon film formed on the surface with a thickness in a predetermined range is correct and suitable.

【0006】すなわち本発明は、所定形状に成形された
中心線平均粗さ(Ra)3.0μm以下の基材表面に厚
さ0.5〜10μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜
が形成されて成ることを特徴とするガイド用部材に係
る。
That is, the present invention provides that a diamond-like carbon film having a thickness of 0.5 to 10 μm is formed on a surface of a base material having a center line average roughness (Ra) of 3.0 μm or less formed into a predetermined shape. The present invention relates to a characteristic guide member.

【0007】所定形状に成形した基材は、金属材料或は
セラミックス材料を用いて、成形及び引き続いての焼結
或は焼成、鍛造、機械加工等により得ることができる。
基材表面を中心線平均粗さ(Ra)3.0μm以下、好
ましくは0.3μm以下とするには、サンドブラスト
法、バレル研磨法、電解研磨法等を適用できる。中心線
平均粗さ(Ra)3.0μm以下、好ましくは0.3μm
以下の基材表面に厚さ0.5〜10μm、好ましくは1
〜8μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成する
には、プラズマCVD法、イオン化蒸着法、スパッタリ
ング法等を適用できる。
The base material formed into a predetermined shape can be obtained by forming and subsequently sintering or firing, forging, machining, or the like using a metal material or a ceramic material.
To make the surface of the base material have a center line average roughness (Ra) of 3.0 μm or less, preferably 0.3 μm or less, a sand blast method, a barrel polishing method, an electrolytic polishing method, or the like can be applied. Center line average roughness (Ra) 3.0 μm or less, preferably 0.3 μm
On the following substrate surface, a thickness of 0.5 to 10 μm, preferably 1
In order to form a diamond-like carbon film having a thickness of about 8 μm, a plasma CVD method, an ionization vapor deposition method, a sputtering method, or the like can be applied.

【0008】本発明において肝要な点は、中心線平均粗
さ(Ra)3.0μm以下の基材表面に厚さ0.5〜1
0μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜を形成した処
にある。基材表面の中心線平均粗さ(Ra)及びダイヤ
モンドライクカーボン皮膜の厚さを上記のように設定す
ることにより初めて、ガイド用部材の表面皮膜としての
ダイヤモンドライクカーボンの特性が生きてくる。ダイ
ヤモンドライクカーボンはダイヤモンドのような8面
体、12面体及び6面体の軸結晶化と異なり、グラファ
イトとダイヤモンドとが共存するアモルファスであるか
ら、その皮膜表面に結晶粒界がなく、滑らかなので、皮
膜形成後の表面処理が不要である。また耐摩耗性及び熱
伝達性はダイヤモンド皮膜とほぼ同等になる。
An important point in the present invention is that a center line average roughness (Ra) of not more than 3.0 μm and a thickness of 0.5 to 1
It is where a diamond-like carbon film of 0 μm is formed. Only when the center line average roughness (Ra) of the substrate surface and the thickness of the diamond-like carbon film are set as described above, the characteristics of diamond-like carbon as the surface film of the guide member come to life. Unlike diamond-like octahedral, dodecahedral, and hexahedral axial crystallization, diamond-like carbon is amorphous in which graphite and diamond coexist. Therefore, there is no grain boundary on the film surface and the film is smooth. No subsequent surface treatment is required. Further, the wear resistance and the heat transfer property are almost equal to those of the diamond film.

【0009】基材はチタン又はチタン合金にすると、得
られるガイド用部材は軽量になり、これを例えば釣り糸
用とする場合には釣り竿の先を軽くすることができるの
で、特に細い竿先等に使うことができる。更にチタンは
耐食性に優れているから錆びないし、加工がセラミック
スよりし易い。
When the base material is made of titanium or a titanium alloy, the obtained guide member becomes lighter. When this is used for fishing line, for example, the tip of a fishing rod can be made lighter. Can be used. Further, titanium is excellent in corrosion resistance, so it does not rust and is easier to process than ceramics.

【0010】基材とダイヤモンドライクカーボン皮膜と
の間には双方の密着性を良くするために接着用中間皮膜
を形成するのが好ましく、特にチタン又はチタン合金製
の基材とダイヤモンドライクカーボン皮膜との間にはシ
リコン、シリコンカーバイト(SiC)又はチタンカー
バイト(TiC)を接着用中間皮膜として形成するのが
好ましい。シリコンカーバイトやチタンカーバイトはチ
タン又はチタン合金製の基材と馴染み易く、ダイヤモン
ドライクカーボン皮膜とも馴染み易いので、双方の密着
性を更に良くし、またシリコンも、基材表面にダイヤモ
ンドライクカーボン皮膜を形成する際に結果としてシリ
コンカーバイトを形成し易いので、同様である。接着用
中間皮膜を形成する場合には、その厚さを0.3μm以
下、好ましくは0.1μm程度とする。得られるガイド
用部材の走行材に対する摺動性を向上するためである。
It is preferable to form an adhesion intermediate film between the substrate and the diamond-like carbon film in order to improve the adhesion between the two. Particularly, a titanium or titanium alloy substrate and the diamond-like carbon film are preferably used. It is preferable to form silicon, silicon carbide (SiC) or titanium carbide (TiC) as an intermediate film between the layers. Silicon carbide and titanium carbide are easily compatible with titanium or titanium alloy substrates, and are also compatible with diamond-like carbon coatings. This is the same because silicon carbide is easily formed as a result when forming the silicon carbide. When forming an intermediate film for bonding, the thickness is set to 0.3 μm or less, preferably about 0.1 μm. This is because the slidability of the obtained guide member with respect to the traveling material is improved.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係るガイド用部材
を例示する斜視図、図2は図1のガイド用部材を用いた
ガイドを例示する斜視図、図3は図1のガイド用部材を
示す断面図である。図1及び図3のガイド用部材は釣り
糸用ガイドに使用される釣り糸用ガイドリング1であ
り、図2のようにその外周に取付金具3を固定し、この
取付金具3を釣り竿に取付けるようになっている。実際
の使用状態では、釣り糸5はガイドリング1の内側を通
り、この内側に摺動して走行する。ガイドリング1はリ
ング状に成形した基材11の表面にダイヤモンドライク
カーボン皮膜13を形成したものである。基材11はチ
タン合金を金属射出成形して焼結し、その表面を中心線
平均粗さ(Ra)が1.0μmとなるように電解研磨法
で表面粗さ調整したものであり、またダイヤモンドライ
クカーボン皮膜13はその厚さが2μmとなるようにプ
ラズマCVD法で形成したものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a perspective view illustrating a guide member according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view illustrating a guide using the guide member of FIG. 1, and FIG. It is sectional drawing which shows a member. The guide member shown in FIGS. 1 and 3 is a fishing line guide ring 1 used for a fishing line guide, and as shown in FIG. Has become. In an actual use state, the fishing line 5 passes through the inside of the guide ring 1 and slides inside the guide ring 1 to travel. The guide ring 1 is obtained by forming a diamond-like carbon film 13 on the surface of a base material 11 formed in a ring shape. The base material 11 is obtained by sintering a titanium alloy by metal injection molding and sintering the surface of the base material by electrolytic polishing so that the center line average roughness (Ra) becomes 1.0 μm. Like carbon film 13 is formed by a plasma CVD method so as to have a thickness of 2 μm.

【0012】表1は図1及び図3について前述したよう
なガイドリングにおいて、ダイヤモンドライクカーボン
皮膜の厚さを2μmとし、基材表面の中心線平均粗さ
(Ra)を変えたときの、釣り糸に対する摺動性指標と
してのヒーティングテストの結果を例示するものであ
る。また表2は同様のガイドリングにおいて、基材表面
の中心線平均粗さ(Ra)を1.0μmとし、ダイヤモ
ンドライクカーボン皮膜の厚さを変えたときの、同様の
ヒーティングテストの結果を例示するものである。表1
及び表2において、試験例1〜6,9〜12が本発明に
相当するものであるが、これらの表からも、基材表面の
中心線平均粗さ(Ra)を3.0μm以下とし、またダ
イヤモンドライクカーボン皮膜の厚さを0.5〜10μ
mとすることが、ガイドリングの摺動性を向上する上で
肝要であることが解る。
Table 1 shows a fishing line when the thickness of the diamond-like carbon film is 2 μm and the center line average roughness (Ra) of the substrate surface is changed in the guide ring as described above with reference to FIGS. 7 illustrates the results of a heating test as an index of slidability for. Table 2 shows the results of the same heating test when the center line average roughness (Ra) of the base material surface was set to 1.0 μm and the thickness of the diamond-like carbon film was changed in the same guide ring. Is what you do. Table 1
And, in Table 2, Test Examples 1 to 6 and 9 to 12 correspond to the present invention. From these tables, the center line average roughness (Ra) of the substrate surface is set to 3.0 μm or less, In addition, the thickness of the diamond-like carbon film is 0.5 to 10 μm.
It is understood that the value of m is important for improving the slidability of the guide ring.

【0013】[0013]

【表1】 [Table 1]

【0014】[0014]

【表2】 [Table 2]

【0015】表1及び表2において、ヒーティングテス
ト及びその条件:特開平4−271739号公報記載の
方法にしたがい、釣り糸=東レ社製の道糸「銀鱗PX
5.0号」、荷重=3kg、ストローク長=300mm、ス
トローク時間=1往復/3秒
In Tables 1 and 2, the heating test and its conditions were carried out according to the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-271739.
No.5.0 ", load = 3kg, stroke length = 300mm, stroke time = 1 reciprocation / 3 seconds

【0016】図4は本発明に係る他のガイド用部材を例
示する断面図である。図4のガイド用部材も図1及び図
3と同様に釣り糸用ガイドリングであるが、図4のガイ
ドリング1aはリング状に成形した基材11aの表面に
接着用中間皮膜としてのシリコン皮膜12aを介してダ
イヤモンドライクカーボン皮膜13aを形成したもので
ある。基材11aはチタンを鍛造し、その表面を中心線
平均粗さ(Ra)が0.5μmとなるように電解研磨法
で表面粗さ調整したものであり、またシリコン皮膜12
aはその厚さが0.1μmとなるようにスパッタリング
法で形成したものであって、更にダイヤモンドライクカ
ーボン皮膜13aはその厚さが1.5μmとなるように
プラズマCVD法で形成したものである。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating another guide member according to the present invention. The guide member of FIG. 4 is also a fishing line guide ring as in FIGS. 1 and 3, but the guide ring 1a of FIG. A diamond-like carbon film 13a is formed through the film. The base material 11a is obtained by forging titanium, and adjusting the surface roughness of the surface by electrolytic polishing so that the center line average roughness (Ra) becomes 0.5 μm.
a is formed by a sputtering method so as to have a thickness of 0.1 μm, and the diamond-like carbon film 13a is formed by a plasma CVD method so as to have a thickness of 1.5 μm. .

【0017】図5は本発明に係る他のガイド用部材を例
示する断面図である。図5のガイド用部材は紡績工場に
おける繊維糸条用ガイドピン1bであり、外側周面が括
れ面の全体として筒状に成形した基材11bの表面にダ
イヤモンドライクカーボン皮膜13bを形成したもので
ある。基材11bはチタン合金を鋳造し、その表面を中
心線平均粗さ(Ra)が1.0μmとなるように電解研
磨法で表面粗さ調整したものであり、またダイヤモンド
ライクカーボン皮膜13bはその厚さが1μmとなるよ
うにプラズマCVD法で形成したものである。図示した
ガイドピン1bは機枠に軸支され、繊維糸条は表面にダ
イヤモンドライクカーボン皮膜13bが形成された外側
周面の括れ面を摺動する。
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating another guide member according to the present invention. The guide member in FIG. 5 is a guide pin 1b for a fiber yarn in a spinning factory, and has a diamond-like carbon film 13b formed on the surface of a base material 11b whose outer peripheral surface is formed into a cylindrical shape as a whole constricted surface. is there. The base material 11b is obtained by casting a titanium alloy, and adjusting the surface roughness of the surface by electrolytic polishing so that the center line average roughness (Ra) is 1.0 μm. The diamond-like carbon film 13b is It is formed by a plasma CVD method so as to have a thickness of 1 μm. The illustrated guide pin 1b is axially supported by the machine frame, and the fiber thread slides on the constricted surface of the outer peripheral surface on which the diamond-like carbon film 13b is formed.

【0018】図6は本発明に係る他のガイド用部材を例
示する断面図である。図6のガイド用部材は紡績工場に
おける繊維糸条用ガイド筒1cであり、入口側がラッパ
状の全体として筒状に成形した基材11cの表面にダイ
ヤモンドライクカーボン皮膜13cを形成したものであ
る。基材11cはチタン合金を研削し、その表面を中心
線平均粗さ(Ra)が1.5μmとなるように電解研磨
法で表面粗さ調整したものであり、またダイヤモンドラ
イクカーボン皮膜13cはその厚さが2.0μmとなる
ようにプラズマCVD法で形成したものである。図示し
たガイド筒1cは機枠に取付けられ、繊維糸条は表面に
ダイヤモンドライクカーボン皮膜13cが形成された内
側周面を摺動する。
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating another guide member according to the present invention. The guide member shown in FIG. 6 is a fiber yarn guide tube 1c in a spinning factory, and has a diamond-like carbon film 13c formed on the surface of a base material 11c formed into a tubular shape as a whole with a trumpet on the inlet side. The base material 11c is obtained by grinding a titanium alloy, and adjusting the surface roughness of the surface by electrolytic polishing so that the center line average roughness (Ra) becomes 1.5 μm. The diamond-like carbon film 13c is It is formed by a plasma CVD method so as to have a thickness of 2.0 μm. The illustrated guide cylinder 1c is attached to a machine frame, and the fiber thread slides on the inner peripheral surface on which the diamond-like carbon film 13c is formed.

【0019】本発明は本発明の趣旨の範囲を越えない限
り種々の実施ができる。例えば接着用中間皮膜として
は、シリコンの他にSiC等のように、基材とダイヤモ
ンドライクカーボン皮膜との密着性を向上させるもので
あればどんなものでもよい。また基材は、チタン又はチ
タン合金の他にステンレス、セラミックス等を用いても
よい。図面に基づいて説明したガイド用部材と同様のも
のが、釣り竿の穂先に取付けられる釣り糸のガイド用部
材として、また製糸、製織、製編等の各種の繊維機械に
おける糸或は布のガイド用部材として、更に電気、電子
機器におけるテープのガイド用部材として使用できるこ
とはいうまでもない。
The present invention can be implemented in various ways without departing from the scope of the present invention. For example, the intermediate film for adhesion may be any material such as SiC other than silicon, as long as it improves the adhesion between the substrate and the diamond-like carbon film. The substrate may be made of stainless steel, ceramics, or the like in addition to titanium or a titanium alloy. A guide member similar to the guide member described with reference to the drawings is used as a guide member for a fishing line attached to a tip of a fishing rod, and a guide member for a line or a cloth in various textile machines such as a liner, weaving, and knitting. Needless to say, it can be further used as a tape guide member in electric and electronic devices.

【0020】[0020]

【発明の効果】既に明らかなように、以上説明した本発
明には、耐摩耗性、摺動性及び製作性の向上を同時に充
足でき、とりわけ摺動性を著しく向上できるという効果
がある。
As is clear from the above, the present invention described above has an effect that the improvement of wear resistance, slidability and manufacturability can be simultaneously satisfied, and especially the slidability can be remarkably improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るガイド用部材を例示する斜視図。FIG. 1 is a perspective view illustrating a guide member according to the present invention.

【図2】図1のガイド用部材を用いたガイドを例示する
斜視図。
FIG. 2 is a perspective view illustrating a guide using the guide member of FIG. 1;

【図3】図1のガイド用部材を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing the guide member of FIG. 1;

【図4】本発明に係る他のガイド用部材を例示する断面
図。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating another guide member according to the present invention.

【図5】本発明に係る他のガイド用部材を例示する断面
図。
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating another guide member according to the present invention.

【図6】本発明に係る他のガイド用部材を例示する断面
図。
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating another guide member according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1a・・・ガイドリング、1b・・・ガイドピン、
1c・・・ガイド筒、11,11a〜11c・・・基
材、12a・・・シリコン皮膜、13,13a〜13c
・・・ダイヤモンドライクカーボン皮膜
1, 1a: guide ring, 1b: guide pin,
1c: guide cylinder, 11, 11a to 11c: base material, 12a: silicon film, 13, 13a to 13c
... Diamond-like carbon film

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定形状に成形された中心線平均粗さ
(Ra)3.0μm以下の基材表面に厚さ0.5〜10
μmのダイヤモンドライクカーボン皮膜が形成されて成
ることを特徴とするガイド用部材。
1. A substrate having a center line average roughness (Ra) of 3.0 μm or less and having a thickness of 0.5 to 10
A guide member having a μm diamond-like carbon film formed thereon.
【請求項2】 基材表面に厚さ0.3μm以下の接着用
中間皮膜を介して厚さ0.5〜10μmのダイヤモンド
ライクカーボン皮膜が形成された請求項1記載のガイド
用部材。
2. The guide member according to claim 1, wherein a diamond-like carbon film having a thickness of 0.5 to 10 μm is formed on the surface of the base material via an adhesive intermediate film having a thickness of 0.3 μm or less.
【請求項3】 基材がチタン又はチタン合金である請求
項1又は2記載のガイド用部材。
3. The guide member according to claim 1, wherein the base material is titanium or a titanium alloy.
【請求項4】 基材がチタン又はチタン合金であり、接
着用中間皮膜がシリコン、シリコンカーバイト又はチタ
ンカーバイトである請求項2記載のガイド用部材。
4. The guide member according to claim 2, wherein the base material is titanium or a titanium alloy, and the bonding intermediate film is silicon, silicon carbide or titanium carbide.
JP20096597A 1997-01-24 1997-07-09 Member for guide Pending JPH10262511A (en)

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JP20096597A JPH10262511A (en) 1997-01-24 1997-07-09 Member for guide

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JP9-26004 1997-01-24
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JP20096597A Pending JPH10262511A (en) 1997-01-24 1997-07-09 Member for guide

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JP (1) JPH10262511A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002134548A (en) * 2000-10-24 2002-05-10 Tanaka Electronics Ind Co Ltd Rewinding guide of bonding wire and rewinding method using the same

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