JPH10261937A

JPH10261937A - 弾性表面波フィルタ及び多段弾性表面波フィルタ

Info

Publication number: JPH10261937A
Application number: JP13151197A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Nakamura; 弘幸中村; Toru Yamada; 徹山田; Kazunori Nishimura; 和紀西村; Toshio Ishizaki; 俊雄石崎
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-05-23
Filing date: 1997-05-21
Publication date: 1998-09-29
Anticipated expiration: 2017-05-21
Also published as: JP3180055B2

Abstract

(57)【要約】【課題】挿入損失の少ない弾性表面波共振器が実現出来
ないと言う課題。【解決手段】弾性表面波共振器は、圧電基板１１上に、
ＩＤＴ電極１２ａ、１３ａとその両側に配置される反射
器電極１２ｂ，１２ｃ等とにより構成されている。その
弾性表面波共振器を２個、それぞれの弾性表面波の伝搬
方向が互いに平行となる様に近接配置して、音響結合さ
せることにより、伝搬周波数の異なる複数の励起モード
を有する弾性表面波フィルタが構成できる。２個のＩＤ
Ｔ電極１２ａ，１３ａの内側の第１、第２バスバー電極
１４，１５が互いに電気的に分離されており、それら各
バスバー電極１４，１５上の少なくとも２箇所から引き
出されている引出し電極１６ａ，１６ｂ等が、互いに電
気的に接続されることにより平衡型入出力端子の一方を
形成する。その結果、ＩＤＴ電極の電極抵抗が軽減され
て、挿入損失がより一層少なくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、無線通信
機器における高周波回路などに使用可能な弾性表面波フ
ィルタ及び多段弾性表面波フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波（ＳＡＷ）を用いたエレクト
ロメカニカル機能部品は、波の音速が数ｋｍ／ｓであ
り、波のエネルギーが伝搬媒体の表面に集中する性質を
有することからハードウェアの高密度化の流れの中で注
目され、インタディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ電
極）電極の開発と、その変形展開を可能にした薄膜作成
技術、表面加工技術の進歩によって、レーダ用遅延線、
テレビジョン受像機用帯域フィルタなどに実用化され、
現在では、無線通信機器送受信回路のＲＦ、ＩＦ段のフ
ィルタとして広く使用されている。

【０００３】近年、移動体通信機器のディジタル化に伴
い、ディジタル携帯電話やディジタルコードレス電話な
どの開発が強力に進められている。これらの機器に用い
られる通信方式は、信号の振幅および位相に情報を持つ
ため、ＩＦ段に用いられるフィルタには振幅特性および
群遅延偏差特性が平坦であることが要求される。また、
隣接チャネルの信号と所望する信号とを区別する選択度
にも優れた特性が要求されているので、遷移帯域幅の狭
い急峻な遮断特性も必要条件である。また、最近はＩＦ
フィルタ前後段のＩＣ素子の平衡入出力化が進み、ＩＦ
フィルタにも平衡入出力型が求められている。

【０００４】従来から、ＩＦ段に適する弾性表面波フィ
ルタとして、トランスバーサル型弾性表面波フィルタ、
および縦モード結合型と横モード結合型の２種類のモー
ド結合型弾性表面波フィルタが知られている。トランス
バーサル型弾性表面波フィルタは優れた群遅延偏差特性
を持つが、挿入損失が大きく、遮断特性も劣り、そして
素子サイズが大である。一方、モード結合型弾性表面波
フィルタは急峻な遮断特性を呈し、挿入損失が小さく、
素子サイズも小型であるが、群遅延偏差特性がトランス
バーサル型弾性表面波フィルタに比べ劣る。また、縦モ
ード型弾性表面波フィルタは、通過帯域の近傍高域側に
比較的大きいスプリアスが存在すること、横モード型弾
性表面波フィルタは非常に狭帯域な通過特性を有するこ
とを特徴としている。上記の特徴から、移動体通信機器
用のＩＦフィルタとしては、小型で遮断特性の優れた横
モード結合型の弾性表面波フィルタが広く用いられてき
た。

【０００５】以下、従来の横モード結合型弾性表面波フ
ィルタについて説明する。

【０００６】図２４は従来技術による横モード結合共振
器型弾性表面波フィルタを示す構成図である。図２４に
おいて、２４１は単結晶圧電基板であり、この圧電基板
２４１の上に電極パターンを形成することによって、弾
性表面波を励起させることができる。２４２ａは圧電基
板２４１の上に形成されたＩＤＴ電極であり、その両側
に反射器電極２４２ｂ，２４２ｃを配置することによっ
て、エネルギー閉じ込め型の弾性表面波共振器が形成さ
れている。また、圧電基板２４１の上には、ＩＤＴ電極
２４３ａと反射器電極２４３ｂ，２４３ｃとによって同
様の弾性表面波共振器が形成されている。そして、これ
ら２個の共振器は近接して配置されており、その間に音
響結合が生じることによって、弾性表面波フィルタが構
成される。

【０００７】以上のように構成された弾性表面波フィル
タは、ＩＤＴ電極の電極指交差幅と近接配置された２個
の弾性表面波共振器間の距離とによって圧電基板上に励
起する２種類の弾性表面波のモード周波数が決定され、
フィルタの通過帯域幅が定められる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
構成された弾性表面波フィルタにおいては、実現可能な
帯域幅が非常に狭く、実現されるフィルタの比帯域幅
（フィルタの中心周波数で正規化した帯域幅）は高々
０．１％程度である。最近のディジタル化に対応するた
めには、フィルタの通過特性をより広帯域化して、群遅
延偏差特性の平坦な帯域を広くすることが要求される。

【０００９】また、最近では、ＩＦフィルタ前後段にお
けるＩＣ素子の平衡入出力化が進み、したがって、ＩＦ
フィルタにも平衡入出力型が強く要望されている。しか
し、図２４に示されているように、従来の弾性表面波フ
ィルタにおいては、入出力段のＩＤＴ電極２４２ａ，２
４３ａの電極指の片側は接地されているので、平衡入出
力型にすることはできないという課題が有った。

【００１０】さらには、ＩＦフィルタとその前後段にお
けるＩＣ素子とのインピーダンス整合が要望されてお
り、前記従来のフィルタの入出力インピーダンスはフィ
ルタ特性に密接に関連するＩＤＴ電極に含まれる電極指
の対数に依存するため、所望のフィルタ特性を得ると同
時に所望のインピーダンス値を得ることは困難であると
言う課題があった。

【００１１】本発明は、従来技術における上記課題を解
決するもので、（１）平衡型入出力構成の実現、及び入
出力端子における平衡型端子のバランス度向上、挿入損
失の低減が図れる、（２）通過帯域の広帯域化、及び位
相、振幅特性の平坦化が図れる、（３）所望の入出力イ
ンピーダンスを有する弾性表面波フィルタの提供を目的
とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の本発明は、インタディジタルトラン
スデューサ電極としてのＩＤＴ電極の両側に反射器電極
を具備した第１及び第２の弾性表面波共振器が、それぞ
れの弾性表面波の伝搬方向が互いに平行となる位置に近
接配置され音響結合された、圧電基板上の弾性表面波フ
ィルターであって、前記第１の弾性表面波共振器の第１
のＩＤＴ電極に含まれる内側のバスバー電極と、前記第
２の弾性表面波共振器の第２のＩＤＴ電極に含まれる内
側のバスバー電極とが互いに電気的に分離されており、
前記第１のＩＤＴ電極は平衡型入力端子と接続されてお
り、又、前記第２のＩＤＴ電極は平衡型出力端子と接続
されており、前記平衡型入力端子の一方の端子は、前記
第１のＩＤＴ電極の内側のバスバー電極の少なくとも２
箇所から直接又は間接的に引出された引き出し電極と電
気的に接続されており、又、前記平衡型出力端子の一方
の端子は、前記第２のＩＤＴ電極の内側のバスバー電極
の少なくとも２箇所から直接又は間接的に引出された引
き出し電極と電気的に接続されてバランス動作する弾性
表面波フィルタである。

【００１３】この構成によって、例えば、低挿入損失か
つ良好なバランス度である平衡型入出力端子を有する弾
性表面波フィルタの基本的電極パターンが得られる。

【００１４】また、請求項２２記載の本発明は、インタ
ディジタルトランスデューサ電極としてのＩＤＴ電極の
両側に反射器電極を具備した第１及び第３の弾性表面波
共振器が、圧電基板上に、それぞれの弾性表面波の伝搬
方向が互いに平行となる位置に形成されており、前記第
１及び第３の弾性表面波共振器の間に、複数本のストリ
ップライン電極が前記第１及び第３の弾性表面波共振器
と同一の電極周期で並行に配置され、前記複数本のスト
リップライン電極がバスバー電極によって互いに接続さ
れた周期構造状電極列を有する第２の弾性表面波共振器
が形成されており、前記第１及び第３の弾性表面波共振
器と前記第２の弾性表面波共振器とは近接配置されて音
響結合されており、前記弾性表面波共振器間の隣接する
バスバー電極は電気的に分離されていると共に、前記第
２の弾性表面波共振器の周期構造電極を全て接地した弾
性表面波フィルタであって、前記第１及び第３の弾性表
面波共振器を構成する前記ＩＤＴ電極の電極指交差幅を
Ｗ１とし、前記第２の弾性表面波共振器を構成する前記
周期構造状電極列のストリップライン長をＷ２とした場
合、前記Ｗ１とＷ２の相対寸法が１≦Ｗ２／Ｗ１に設定
されている弾性表面波フィルタである。

【００１５】この構成によって、３つの共振周波数の間
隔が等しくなると共に、入出力の整合をとった場合に通
過帯域内のリップルが減少し、優れた通過特性が得られ
る。その結果、広帯域でかつ平坦な通過特性と、急峻な
遮断特性有する弾性表面波フィルタが得られる。

【００１６】さらに、請求項２８記載の本発明は、イン
タディジタルトランスデューサ電極としてのＩＤＴ電極
の両側に反射器電極を具備した弾性表面波共振器を、そ
れぞれの弾性表面波の伝搬方向が互いに平行となる位置
に少なくとも２個近接配置して音響結合させた、圧電基
板上の弾性表面波フィルタであって、少なくとも１個の
前記ＩＤＴ電極に含まれる複数の電極指の内、隣接する
少なくとも一対の電極指が逆相関係にあり、かつ前記複
数の電極指は、それぞれの電荷が互いに打ち消し合わな
いように接続されている弾性表面波フィルタである。

【００１７】この構成によって、例えば、所望の入出力
インピーダンスを有する弾性表面波フィルタが得られる
ものである。

【００１８】以上説明したように、本発明によれば、例
えば、挿入損失が従来に比べより一層少なく、平衡型入
出力端子におけるバランス度が向上し、あるいは、フィ
ルタ通過特性の平坦化と良好な帯域外減衰特性が実現出
来、あるいは、所望の入出力インピーダンスを有するコ
ンパクトな弾性表面波フィルタが提供できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。

【００２０】（実施の形態１）図１は本発明による弾性
表面波フィルタの第１の実施の形態を示す電極パターン
構成図である。

【００２１】図１に示す単結晶圧電基板１１の上に、周
期構造ストリップライン状の電極パターンを形成するこ
とによって、弾性表面波を励起させることができる。圧
電基板１１の上には、ＩＤＴ電極１２ａと反射器電極１
２ｂ，１２ｃとによって構成されるエネルギー閉じ込め
型の第１の弾性表面波共振器が形成されている。また、
圧電基板１１の上には、ＩＤＴ電極１３ａと反射器電極
１３ｂ，１３ｃとによって構成される第２の弾性表面波
共振器が構成されている。そして、これら２個の弾性表
面波共振器は近接して配置されており、その間に音響結
合が生じることによって、弾性表面波フィルタが構成さ
れる。

【００２２】図１に示す本発明第１の実施形態と、図２
４に示す従来技術の弾性表面波フィルタとの電極パター
ン構成上の顕著な相違点は、図２４の従来例における近
接配置された２個の共振器に共通のバスバー電極２４４
が、図１の本発明実施の形態においては、ＩＤＴ電極部
において内側にある第１のバスバー１４と第２のバスバ
ー１５に電気的に分離されている点である。第１のバス
バー１４は第１の弾性表面波共振器に属し、第２のバス
バー１５は第２の弾性表面波共振器に属する。このバス
バー分離構成によって、第１と第２の弾性表面波共振器
は、完全に電気的に独立した入力また出力ステージを持
つことができる。すなわち、第１の弾性表面波共振器の
平衡入力ステージは、第１のバスバー電極１４で結ばれ
て形成された電極指と、その電極指と対をなす電極指と
からなるＩＤＴ電極１２ａで構成される。同様に、第２
の弾性表面波共振器の平衡出力ステージは、第２のバス
バー電極１５で結ばれて形成された電極指と、その電極
指と対をなす電極指とからなるＩＤＴ電極１３ａで構成
される。ここで、本発明の第１のＩＤＴ電極は、ＩＤＴ
電極１２ａと対応する。又、本発明の第２のＩＤＴ電極
は、ＩＤＴ電極１３ａと対応する。

【００２３】このようにして構成された平衡回路への信
号線の接続は、第１のバスバー電極１４と、これと対を
なす、ＩＤＴ電極の外側に位置する第３のバスバー電極
１４ａの間に入力信号を印加するように接続し、第２の
バスバー電極１５と、これと対をなすＩＤＴ電極の外側
に位置する第４のバスバー電極１５ａの間から出力信号
を取出すように接続すればよい。これで、入出力端子平
衡化の目的は達成されたのであるが、挿入損失の面から
みると、上記接続の場合、約３．２ｄＢであった。

【００２４】上述した平衡型入力端子における一つの端
子については、第１のバスバー電極１４の１箇所から接
続線が出されており、又、平衡型出力端子における一つ
の端子については、第２のバスバー電極１５の１箇所か
ら接続線が出されている場合について説明した。これに
対して、次に、第１及び第２のバスバー電極１４，１５
の２個所から接続線を出した構成の場合について述べ
る。

【００２５】この挿入損失は、第１のバスバー電極１４
の２個所から接続線（引き出し電極指１６ａ，１６ｂ）
を出して入力側の一つの端子とし、第２のバスバー電極
１５の２個所から接続線（引き出し電極指１７ａ，１７
ｂ）を出して出力側の一つの端子とすることによって、
平衡型入出力端子におけるバランス度の向上が実現する
と同時に、各端子に生じる損失の差が低減し、上記した
挿入損失は大幅に減少し、約２．８ｄＢとなった。この
ことは、微小損失、及び平衡型入出力端子におけるバラ
ンス度を問題とする小型携帯用通信機器においては、重
要な価値を持つ効果である。即ち、図１において、第１
のバスバー電極１４の両端から、ＩＤＴ電極１２ａと反
射器電極１２ｂ，１２ｃの間隙に、外側に向う引出し電
極指１６ａ，１６ｂが形成され、これらの電極指の端部
を図示のように結線することによって上記効果が得られ
る。第２のバスバー電極１５の両端の引出し電極指１７
ａ，１７ｂも同様の効果を呈する。尚、引出し電極指１
６ａ，１６ｂは、第１のバスバー電極１４の両端部に接
続された、他の電極指と同じ長さの電極指と、更にそれ
ら双方の電極指の先端部に接続された長さの短い引き出
し電極とから構成されているとみることが出来る。又、
引出し電極指１７ａ，１７ｂについてもこれと同様のこ
とが言える。

【００２６】図２は、図１に示した本発明の第１の実施
形態のバリエーションの一例を示す。図１と同一機能を
果す部分には同一符号を付し説明を省略する。

【００２７】引出し電極指１６ａと１６ｂの間を接続す
る配線パターン２１は、圧電基板１１上に形成され、共
振器電極幅よりも幅広の線路幅を持つ。その一部は、図
２に示すように、さらに拡張されて、平衡型入力端子と
外部配線体２５ａとの接続用の、一方の接続ランド２１
ａを形成する。

【００２８】又、引出し電極指１７ａと１７ｂの間を接
続する配線パターン２２は、圧電基板１１上に形成さ
れ、共振器電極幅よりも幅広の線路幅を持つ。その一部
は、同図に示すように、さらに拡張されて、平衡型出力
端子と外部配線体２６ａとの接続用の、一方の接続ラン
ド２２ａを形成する。

【００２９】バスバー電極１４ａは外方へ拡張されてお
り、平衡型入力端子と外部配線体２５ｂとの接続用の、
他方の接続ランド２３を形成する。また、バスバー電極
１５ａも外方へ拡張されており、平衡型出力端子と外部
配線体２６ｂとの接続用の、他方の接続ランド２４を形
成する。

【００３０】上記構成は、前述の低挿入損失の平衡型入
出力端子をもつ弾性表面波フィルタの低挿入損失、及び
良好なバランス度の特長を確実にし、フィルタ特性の安
定化に有効である。

【００３１】図１および図２を参照して、一段構成の弾
性表面波フィルタを例に挙げて説明してきた。このよう
な弾性表面波フィルタは多段構成で使用することができ
る。

【００３２】図３はその一例であって、同一圧電基板３
１の上で複数個の弾性表面波フィルタを縦続し、多段接
続の弾性表面波フィルタを構成すると、挿入損失の若干
の増加はあるが阻止域および遷移域の特性の大幅な改善
が得られる。図３における２段縦続フィルタは、図１に
おいて説明したＩＤＴ電極１２ａと反射器電極１２ｂ，
１２ｃで構成された第１の弾性表面波共振器と、ＩＤＴ
電極１３ａと反射器電極１３ｂ，１３ｃで構成された第
２の弾性表面波共振器とを近接して配置した弾性表面波
フィルタ３２と、それと同一の構成の弾性表面波フィル
タ３３を圧電基板３１上に形成し、両者を接続線でもっ
て接続したものである。

【００３３】図３において、第１段の弾性表面波フィル
タ３２の出力側の引出し電極１７ａおよび１７ｂは、次
段の弾性表面波フィルタ３３の入力側の引出し電極１６
ａおよび１６ｂにそれぞれ接続線３９ａおよび３９ｂに
よって接続されている。また、第１段目の今一つの出力
であるＩＤＴ電極のバスバー電極１５ａは、次段の今一
つの入力であるＩＤＴ電極１４ａに接続線４０でもって
接続されている。

【００３４】このようにフィルタ段間においても、ＩＤ
Ｔ電極の一方を３９ａと３９ｂの２カ所にて接続するこ
とによって多段縦続時の挿入損失の増加の低減、及び平
衡型入出力端子のバランス度の向上が実現できる。

【００３５】図３に示した多段フィルタの入力側および
出力側の結線は、図１の場合と同様であって、同等の作
用効果を呈する。

【００３６】図４は、段間および入出力配線を基板４１
上に形成した配線パターンによって行った例を示す。

【００３７】圧電基板４１上には図１、図２、そして図
３に示されている弾性表面波フィルタと同一の構成の第
１の弾性表面波フィルタ４２と第２の弾性表面波フィル
タ４３が形成されている。

【００３８】第１の弾性表面波フィルタ４２の出力側の
引出し電極１７ａと１７ｂは、第２のフィルタ４３の入
力側の引出し電極１６ａと１６ｂに、共振器の電極幅よ
りも幅広の第１の段間接続電極４４ａ，４４ｂを圧電基
板４１上に形成することにより接続されている。また、
第１のフィルタ４２の今一つの出力１５ａと、第２のフ
ィルタ４３の今一つの入力１４ａとは、共振器の電極幅
よりも幅広の第２の段間接続電極４５を圧電基板４１上
に形成することにより接続されている。

【００３９】また、第１のフィルタ４２の入力側の引出
し電極１６ａと１６ｂとは、圧電基板４１上に形成した
共振器電極幅よりも幅広の線路幅の配線パターン４６に
よって接続されている。また、その配線パターン４６の
一部をさらに拡張して平衡型入力端子の外部配線体４７
ａとの一方の接続ランド４６ａを形成し、外側のＩＤＴ
電極のバスバー電極１４ａを外方に拡張して平衡型入力
端子の外部配線体４７ｂとの接続ランド４８ａを形成す
る。

【００４０】一方、第２のフィルタ出力側の引出し電極
１７ａと１７ｂとの間は、圧電基板４１上に形成した共
振器電極幅よりも幅広の線路幅の配線パターン４６ｂに
よって接続している。また、その配線パターンの一部を
さらに拡張して平衡型出力端子の外部配線体４７ｃとの
接続ランド４６ｃを形成し、バスバー電極１５ａを外方
に拡張して平衡型出力端子の外部配線体４７ｄとの接続
ランド４８ａを形成する。

【００４１】このようなパターン構成によって、低挿入
損失で良好なバランス度を有する平衡型多段弾性表面波
フィルタが提供できる。

【００４２】図３の段間接続電極４４ｂ，４５に設けた
外部配線用ランド４４ｃ，４５ａは、フィルタ特性調整
用外部回路素子の接続において有用である。

【００４３】ところで、弾性表面波フィルタを単純に縦
続しただけでは、各段の入出力インピーダンスの不整合
によって、目的とする良好な伝送特性を得ることができ
ない場合もある。

【００４４】その場合には、段間接続電極にインダクタ
等のリアクタンス素子を整合素子として接続し調整すれ
ばよい。外部配線用ランド４４ｃ，４５ａは、そのため
に役立つ。また、同一圧電基板４１の上または別の基板
上にスパイラル状インダクタを始めとするリアクタンス
素子を形成し、それを段間接続電極に接続する構成を採
れば、余分なスペースを必要とせず、フィルタ回路の小
型化が容易にできる。調整用リアクタンス素子は第１の
段間接続ランド４４ｃ，４５ａのいずれかに接続し、他
のランドを接地すればよいが、実験によるとリアクタン
ス素子を第１の接続ランド４４ｃに接続した方がフィル
タ伝送特性の対称性の改善が得られた。

【００４５】（実施の形態２）図５は本発明による弾性
表面波フィルタの第２の実施の形態を示す電極パターン
構成図である。

【００４６】図５において、圧電基板５１の上に周期構
造ストリップライン状の電極パターンを形成することに
よって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基
板５１の上には、ＩＤＴ電極５２ａと反射器電極５２
ｂ，５２ｃとによって構成されるエネルギー閉じ込め型
の第１の弾性表面波共振器が形成されている。また、圧
電基板５１の上には、ＩＤＴ電極５４ａと反射器電極５
４ｂ，５４ｃとによって構成される第３の弾性表面波共
振器が形成されている。

【００４７】ここで注目すべき点は、反射器電極５３
ｂ，５３ｃを伴い、第１の弾性表面波共振器と第３の弾
性表面波共振器との間に形成される第２の弾性表面波共
振器のＩＤＴ電極部分が反射器電極と同様の構造を有
し、第１および第３の弾性表面波共振器におけるＩＤＴ
電極５２ａ，５４ａの電極指交差幅と同程度の長さを有
する周期構造ストリップライン電極列５３ａによって構
成されている点である。

【００４８】即ち、このように第２の弾性表面波共振器
の電極部分の構造が、上述したＩＤＴ電極５２ａ，５４
ａと同じ様な構造ではなく、周期構造ストリップライン
電極列５３ａに変わっても、電極周期が同じであれば、
弾性表面波は全く同様に伝搬することができるので、中
央部の第２の弾性表面波共振器の音響的振舞いはＩＤＴ
電極構造の場合と変わらない。

【００４９】上記３個の弾性表面波共振器は近接配置さ
れ音響結合されており、互いに隣接する部分のバスバー
電極は電気的に独立している。第１の弾性表面波共振器
におけるＩＤＴ電極の第２の弾性表面波共振器に隣接す
るバスバー電極５５の両端から、ＩＤＴ電極５２ａと反
射器電極５２ｂ，５２ｃとの間隙に平衡型入力端子の一
部を構成する第１と第２の電極指５７ａと５７ｂが外側
へ向って形成されている。また、第３の弾性表面波共振
器におけるＩＤＴ電極の第２の弾性表面波共振器に隣接
するバスバー電極５６の両端から、ＩＤＴ電極５４ａと
反射器電極５４ｂ，５４ｃとの間隙に平衡型出力端子の
一部を構成する第３と第４の電極指５８ａと５８ｂが外
側に向って形成されている。上記した電極構成は、本発
明による低挿入損失の平衡型入出力端子を有する三重モ
ード弾性表面波フィルタの基本的な構成である。

【００５０】図６に、図５において説明した三重モード
弾性表面波フィルタの、本発明における平衡型入出力端
子の接続の一例を示す。

【００５１】同図に示すように、第１の弾性表面波共振
器の第１の電極指５７ａと第２の電極指５７ｂとを接続
線６１ａ，６１ｂによって接続して平衡型入力端子の一
方の入力端子とし、外側ＩＤＴ電極のバスバー電極５５
ａから接続線６２を引出して平衡型入力端子の他方の入
力端子とする。そして、第３の弾性表面波共振器の第３
の電極指５８ａと第４の電極指５８ｂとを接続線６３
ａ，６３ｂによって接続して平衡型入力端子の一方の出
力端子とし、外側ＩＤＴ電極のバスバー電極５６ａから
接続線６４を引出して平衡型出力端子の他方の出力端子
を構成している。

【００５２】図７は、三重モード弾性表面波フィルタの
平衡型入出力端子構成の今一つの例を示すものである。

【００５３】同図に示すように、第１の弾性表面波共振
器の第１の電極指５７ａと第２の電極指５７ｂの間を圧
電基板５１上に形成した共振器電極幅よりも幅広の線路
幅の配線パターン７１でもって接続し、パターン７１を
さらに拡張して外部配線体７５ａとの接続ランド７１ａ
を形成し、ＩＤＴ電極のバスバー電極５５ａを外方に拡
張して外部配線体７５との接続ランド７３を形成し、第
３の弾性表面波共振器の第３と第４の電極指５８ａと５
８ｂ間を圧電基板５１の上に形成した共振器電極幅より
も幅広の線路幅の配線パターン７２で接続し、パターン
７２をさらに拡張して外部配線体７６ａとの接続ランド
７２ａを形成し、ＩＤＴ電極のバスバー電極５６ａを外
方に拡張して外部配線体７６と接続ランド７４を形成し
てある。この構成によると、第１の実施の形態で述べた
と同様挿入損失がさらに低減され、外部回路との接続の
容易な三重モード弾性表面波フィルタが提供可能とな
る。

【００５４】図８は、図５において説明した三重モード
弾性表面波フィルタを複数段縦続した場合の一例を示
す。

【００５５】同図に示すように、圧電基板８１の上には
第１の三重モード弾性表面波フィルタ８２と第２の三重
モード弾性表面波フィルタ８３とが形成されており、第
１のフィルタ８２の出力側第３、第４の電極指５８ａ，
５８ｂおよび出力側バスバー電極５６ａは、第２のフィ
ルタ８３の入力側第１、第２の電極指５７ａ，５７ｂお
よび入力側バスバー電極５５ａに接続線８３ａ，８３
ｂ、および８４によって段間接続されている。入力回
路、出力回路の平衡型結線は図６に示した単一段のフィ
ルタにおける結線構成と全く同一である。

【００５６】図９は、図８に示されている縦続三重モー
ド弾性表面波フィルタの入出力構成と段間構成の今一つ
の例を示すものである。

【００５７】同図に示すように、圧電基板９１の上に
は、第１の三重モード弾性表面波フィルタ９２と第２の
三重モード弾性表面波フィルタ９３とが形成されてい
る。両フィルタは、第１のフィルタ９２の出力側第３、
第４の電極指５８ａ，５８ｂ、および出力側バスバー電
極５６ａと、第２のフィルタ９３の入力側第１、第２の
電極指５７ａ，５７ｂ、および入力側バスバー電極５５
ａとを圧電基板９１の上に形成した共振器電極幅よりも
幅広の段間接続電極９４ａ，９４ｂ、そして９５でもっ
て段間接続されている。各接続電極の一部に形成されて
いるランド９４ｃ，９５ａは、フィルタ特性調整用外付
素子の接続に用いて便利である。入力回路、出力回路の
結線パターンは、図７に示されている単一段のフィルタ
における構成と全く同一である。

【００５８】以上のように、本実施形態１及び２によれ
ば、ＩＤＴ電極のバスバー電極が電気的に独立している
ので、平衡入出力化が実現でき、したがって、フィルタ
特性が電極の接地状態による浮遊容量などの影響を受け
なくなるので、阻止域および遷移域の特性が改善され、
さらに本発明の特徴とする引出し電極構造によって、挿
入損失の大幅な改善、及び平衡型入出力端子におけるバ
ランス度の向上が実現できる。

【００５９】なお、本実施の形態３では平衡型三重モー
ドフィルタとして、図５に示すような中央部共振器のＩ
ＤＴ電極が反射器電極と同一の周期構造状の電極構成と
なっている例を用いたが、この部分は従来通りのＩＤＴ
電極構造としても、本発明における平衡結線によるフィ
ルタ特性改善の効果はまったく同様に得られる。

【００６０】（実施の形態３）図１０は本発明による弾
性表面波フィルタの第３の実施の形態を示す構成図であ
る。

【００６１】図１０において、１０１は単結晶圧電基板
であり、この圧電基板１０１の上に電極パターンを形成
することにより、弾性表面波を励起させることができ
る。圧電基板１０１の上には、ＩＤＴ電極１０２ａと反
射器電極１０２ｂ、１０２ｃにより構成されるエネルギ
ー閉じ込め型の第１の弾性表面波共振器が形成されてい
る。また、圧電基板１０１の上には、ＩＤＴ電極１０４
ａと反射器電極１０４ｂ、１０４ｃとにより構成される
第３の弾性表面波共振器が形成されている。反射器電極
１０３ｂ、１０３ｃを伴い、第１の弾性表面波共振器と
第３の弾性表面波共振器との間に形成される第２の弾性
表面波共振器の電極部分１０３ａは反射器電極と同様の
構造を有する。

【００６２】このように、第２の弾性表面波共振器の電
極部分１０３ａの構造が、上述したＩＤＴ電極と同じ様
な構造ではなく、周期構造ストリップライン電極列であ
っても、電極周期が同じであれば、弾性表面波は全く同
様に伝搬することができるので、中央部に配置された第
２の弾性表面波共振器の音響的振舞いはＩＤＴ電極構造
の場合と変わらない。

【００６３】さらに、第１及び第３の弾性表面波共振器
におけるＩＤＴ電極１０２ａ、１０４ａの電極指交差幅
をＷ１、第２の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極部１０３
ａを構成するストリップラインの長さをＷ２としたと
き、Ｗ１とＷ２の相対寸法がＷ１≦Ｗ２となるように設
定されている。

【００６４】上記３個の弾性表面波共振器は近接して配
置され、互に隣接する部分のバスバー電極は電気的に独
立している。第１の弾性表面波共振器におけるＩＤＴ電
極１０２ａの電極指は平衡型入力端子ＩＮに接続され、
第３の弾性表面波共振器におけるＩＤＴ電極１０４ａの
電極指は平衡型出力端子ＯＵＴに接続されている。ま
た、第２の弾性表面波共振器における周期構造ストリッ
プライン電極列１０３ａは接地されている。

【００６５】以下、上記のように構成された弾性表面波
フィルタについて、その動作を説明する。

【００６６】図１１は本実施の形態における弾性表面波
フィルタのの励起モード分布図であり、図１０と対応す
る部分には同じ符号が付されている。図１１において、
（ａ）は図１０に示した弾性表面波フィルタの電極構成
図である。第１〜第３の弾性表面波共振器が近接して配
置されることによって、その間に音響結合が生じ、図１
１（ｂ）に示すようなポテンシャル分布を有する１次、
２次、３次のモードが励起される。ここで、中央に配置
された第３の弾性表面波共振器の電極部分１０３ａが電
気的に全て接地されていることにより、２次モードのポ
テンシャル分布の極性が中央で反転可能となるので、１
次及び３次モードと同レベルの強い励振強度が得られ
る。このため、３つの励起モードを効果的に利用した多
重モードフィルタが構成できるので、広帯域でかつ急峻
な遮断特性を有する弾性表面波フィルタが実現される。

【００６７】図１２はＷ１＝Ｗ２＝Ｗとした時の、弾性
表面波の波長λで規格化したＷの値に対する各モードの
共振周波数の変化を導波路モード解析によって求めたも
のである。曲線１２１、１２２、１２３は各々１次、２
次、３次モードの共振周波数の変化を示している。図１
２に示すように、ある与えられたＷに対し、１次モード
と２次モードの周波数差Δ１と、２次モードと３次モー
ドの周波数差Δ２は異なる値となる。すなわち、５０Ω
系で見た場合、図１３に示すように、弾性表面波フィル
タの通過特性は、曲線１３１のように３つの共振モード
のピークが等間隔とならない。従って、入出力の整合を
とっても曲線１３２のように帯域内にリップルが残り、
フィルタ特性が悪化する。

【００６８】ここで、第１及び第３の弾性表面波共振器
におけるＩＤＴ電極１０２ａ、１０４ａの電極指交差幅
Ｗ１に対する第２の弾性表面波共振器の電極部分１０３
ａを構成するストリップラインの長さＷ２の比率（Ｗ２
／Ｗ１）を変えた場合の効果を図１４に示す。図１４
に、図１０の構成を有する本発明による弾性表面波フィ
ルタにおけるＷ２／Ｗ１に対する共振モードの周波数差
（図１３におけるΔ１、Δ２）の実測値を規格化した値
を示す。図１４は、第１及び第３の弾性表面波共振器の
ＩＤＴ電極指交差幅Ｗ１が６．５波長、結合ギャップ長
Ｇが１波長の場合に、第２の弾性表面波共振器の電極部
分１０３ａを構成するストリップラインの長さＷ２を変
化させたときの値を示す。図１４に示すように、Ｗ２／
Ｗ１の値が約１．１３のとき、Δ１＝Δ２となる。すな
わち、３つの共振周波数の間隔が等しくなる。許容範囲
としては、１≦Ｗ２／Ｗ１≦１．３の範囲内に入る様
に、Ｗ１、Ｗ２の相対寸法を定めればよい。実際には、
製作バラツキを考慮すると１≦Ｗ２／Ｗ１≦１．１６の
範囲にＷ１、Ｗ２の値を定めるのが望ましい。

【００６９】図１５に、Ｗ１＝６．５波長、Ｗ２＝７．
５波長、すなわちＷ２／Ｗ１＝１．１５の場合の弾性表
面波フィルタの通過特性を示す。図１５において、１５
１が５０Ω系で見た場合の特性を示し、１５２は整合を
とった場合の特性を示す。図１３の場合と比較して、明
らかに通過帯域内のリップルが減少し、優れた通過特性
が得られていることが分かる。

【００７０】以上のように本実施の形態３によれば、３
個の弾性表面波共振器を近接して配置し、中央の弾性表
面波共振器の電極部を、反射器電極と同様の構造で、第
１及び第３の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極指交差幅よ
りもわずかに長い周期構造のストリップライン電極列で
構成し、それをすべて接地することにより、広帯域でか
つ平坦な通過特性と、急峻な遮断特性を有する弾性表面
波フィルタが得られる。

【００７１】さらにＩＤＴ電極中央部のバスバーが電気
的に独立していることにより、第１の弾性表面波共振器
のＩＤＴ電極１０２ａと第３の弾性表面波共振器の１０
４ａを全て独立して配線することができるので、弾性表
面波フィルタの平衡入出力化が可能となる。従って、フ
ィルタ特性が電極の接地状態による浮遊容量等の影響を
受けることがなくなるので、阻止域及び遷移域の特性が
さらに改善される。また、バラン等の外付回路を用いる
ことなくフィルタの前段及び後段にＩＣ等の平衡型素子
を接続することが可能となるので、回路全体のノイズ特
性も改善される。

【００７２】なお、図１０においては、第２の弾性表面
波共振器の電極部１０３ａは、第３の弾性表面波共振器
のＩＤＴ電極１０４ａと反射器電極１０４ｃとの間隙に
存在する電極パターンを介して接地されているが、必ず
しもこの構成に限定されるものではなく、電極部１０３
ａの両側の反射器電極１０３ｂ、１０３ｃを介して接地
されていてもよい。

【００７３】また、本実施の形態３においては、一段構
成の弾性表面波フィルタを例に挙げて説明しているが、
図１６に示すように、同一圧電基板１６１の上で複数の
弾性表面波フィルタ１６２、１６３を縦続に接続し、多
段接続の弾性表面波フィルタを構成すれば、挿入損失は
若干増えるものの、阻止域および遷移域の特性が大幅に
改善され、さらに良好なフィルタ特性が得られる。この
場合には、前段の弾性表面波フィルタの第１の弾性表面
波共振器電極が平衡型入力端子に接続され、後段の弾性
表面波共振器の第３の弾性表面波共振器電極が平衡型出
力端子に接続されているのが好ましい。なぜなら、平衡
型フロントエンドＩＣなどの周辺回路に容易に接続する
ことができ、配線にグランドを確保する必要がなくなる
ために、浮遊容量の影響も少なく、安定したフィルタ特
性が得られるからである。

【００７４】ところで、弾性表面波フィルタを単純に縦
続に接続しただけでは、各段の入出力インピーダンスの
不整合により、良好な伝送特性を得ることができない場
合がある。この場合には、段間の接続電極パターン１６
４、１６５にインダクタ等のリアクタンス素子を整合素
子として接続すればよい。この場合、完全に平衡型入出
力回路に対応させるには、電極パターン１６４、１６５
間に整合素子を接続する必要がある。しかし、実際には
段間部分は入出力端子とは電気的なつながりが無く、音
響的な結合のみであるため、一方の電極パターン（例え
ば電極パターン１６５）は直接接地し、もう一方の電極
パターン（例えば電極パターン１６４）をリアクタンス
素子１６６を介して接地すれば、両者間にリアクタンス
素子を接続した場合と同様の動作を行わせることができ
る。そして、このような構成を採用すれば、接地の配線
を電極パターン上で行うことができるので、ボンディン
グワイヤを減らすことができる。その結果、単純な構造
で特性の改善を図ることができる。

【００７５】（実施の形態４）図１７は本発明による弾
性表面波フィルタの第４の実施の形態を示す構成図であ
る。

【００７６】図１７において、１７１は単結晶圧電基板
であり、この圧電基板１７１の上に電極パターンを形成
することにより、第３の実施の形態と同様に弾性表面波
を励起させることができる。圧電基板１７１上には、Ｉ
ＤＴ電極１７２ａと反射器電極１７２ｂ、１７２ｃとに
より構成されるエネルギー閉じ込め型の第１の弾性表面
波共振器が形成されている。また、圧電基板１７１の上
には、ＩＤＴ電極１７３ａと反射器電極１７３ｂ、１７
３ｃとにより構成されるエネルギー閉じ込め型の第２の
弾性表面波共振器と、ＩＤＴ電極１７４ａと反射器電極
１７４ｂ、１７４ｃとにより構成されるエネルギー閉じ
込め型の第３の弾性表面波共振器とが形成されている。
そして、これら３個の弾性表面波共振器は近接して配置
され、互いに隣接するＩＤＴ電極のバスバー電極は電気
的に独立している。また、反射器電極は共通のバスバー
によって接続されている。第１の弾性表面波共振器にお
けるＩＤＴ電極１７２ａの電極指は平衡型入力端子ＩＮ
に接続され、第３の弾性表面波共振器におけるＩＤＴ電
極１７４ａの電極指は平衡型出力端子ＯＵＴに接続され
ている。また、第２の弾性表面波共振器におけるＩＤＴ
電極１７３ａの電極指はすべて接地されている。さら
に、第１及び第３の弾性表面波共振器におけるＩＤＴ電
極１７２ａ、１７４ａの電極指交差幅をＷ１、第２の弾
性表面波共振器のＩＤＴ電極１７３ａの電極指交差幅を
Ｗ２としたとき、Ｗ１とＷ２の相対寸法はＷ１≦Ｗ２と
なるように設定されている。

【００７７】以上の構成を有する弾性表面波フィルタ
は、中央部の第２の弾性表面波共振器の電極構造が上記
第３の実施の形態おける周期構造ストリップライン電極
列からＩＤＴ電極１７３ａに変わっているが、弾性表面
波の伝搬は全く同様に行われるので、基本動作は図１０
に示す第３の実施の形態の場合と同様である。従って、
弾性表面波フィルタの通過特性の平坦化と阻止域のスプ
リアスの抑圧が第３の実施の形態と同様に実現される。

【００７８】本実施の形態４によれば、３個の弾性表面
波共振器を近接して配置し、中央の第２の弾性表面波共
振器を構成するＩＤＴ電極１７３ａを全て接地し、その
交差幅を第１及び第３の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極
指交差幅よりもわずかに長くすることにより、広帯域で
かつ平坦な通過特性と、急峻な遮断特性を有する弾性表
面波フィルタが得られる。また、ＩＤＴ電極中央部のバ
スバーが電気的に独立しているので、第１の弾性表面波
共振器のＩＤＴ電極１７２ａと第２の弾性表面波共振器
のＩＤＴ電極１７４ａを全て独立して配線することによ
り、弾性表面波フィルタの平衡入出力化を実現すること
ができる。その結果、フィルタの特性が電極の接地状態
による浮遊容量等の影響を受けることがなくなるので、
阻止域および遷移域の特性が改善される。また、バラン
等の外付回路を用いることなくフィルタの前段および後
段にＩＣ等の平衡型素子を接続することが可能となるの
で、回路全体のノイズ特性も改善される。

【００７９】さらに、本実施の形態４においても、弾性
表面波フィルタを複数個縦続に接続し、多段接続の弾性
表面波フィルタを構成すれば、遷移域および阻止域の特
性が大幅に改善される。この場合の縦続接続方法及びリ
アクタンス素子（整合素子）の段間への接続方法は、図
１６に示した第３の実施の形態の場合と全く同様であ
り、フィルタ特性への影響も上記第３の実施の形態で述
べたのと同様である。

【００８０】なお、上記第３の実施の形態においては、
図１０に示したように、第１の弾性表面波共振器のＩＤ
Ｔ電極１０２ａと第２の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極
１０４ａを互いに逆相の電極配置としているが、必ずし
もこの構成に限定されるものではなく、互いに同相の電
極配置としてもよい。この場合でも、帯域外スプリアス
の現れ方が若干異なるだけで、その作用効果は変わらな
い。この点は、第４の実施の形態についても同様であ
る。

【００８１】また、上記第３および第４の実施の形態に
おいては、入出力端子を平衡型にしているが、必ずしも
この構成に限定されるものではなく、入出力端子のそれ
ぞれ片側を接地して、不平衡型にすることも可能であ
る。また、入出力端子のどちらか一方を接地した場合に
は、平衡−不平衡端子を有する弾性表面波フィルタが構
成できる。（第５の実施形態）図１８は本発明による弾性表面波フ
ィルタの実施の形態５の電極パターン構成図を示すもの
である。

【００８２】図１８において、１８１は単結晶圧電基板
であり、この圧電基板１８１の上に、周期構造ストリッ
プライン状の電極パターンを構成することによって、弾
性表面波を励起させることができる。圧電基板１８１の
上には、ＩＤＴ電極１８２ａと反射器電極１８２ｂ、１
８２ｃとによって構成されるエネルギー閉じこめ型の第
１の弾性表面波共振器が形成されている。また、圧電基
板１８１の上には、ＩＤＴ電極１８３ａと反射器電極１
８３ｂ、１８３ｃとによって構成されるエネルギー閉じ
こめ型の第２の弾性表面波共振器が形成されている。

【００８３】図１８に示す通り、第２の弾性表面波共振
器を構成するＩＤＴ電極１８３ａは、第１、第２および
第３の分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ及び１８４ｃ
の３つのグループの接続により構成されている。ここ
で、第１の分割ＩＤＴ電極１８４ａと第２の分割ＩＤＴ
電極１８４ｂは逆相に配置され、第２の分割ＩＤＴ電極
１８４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極１８４ｃは同相に配置
されている。同相及び逆相については、後述する。

【００８４】又、これら３つのグループの接続の仕方
は、次の通りである。

【００８５】即ち、第１の分割ＩＤＴ電極１８４ａの下
部電極（外側のバスバー電極）１８４１ｏと第２の分割
ＩＤＴ電極１８４ｂの上部電極（内側のバスバー電極）
１８４２ｉとが、第１の分割ＩＤＴ電極１８４ａに含ま
れる第５電極指１８４ａ５と短い接続電極１８４ａｂと
を介して、互いに接続されている。又、第２の分割ＩＤ
Ｔ電極１８４ｂの下部電極（外側のバスバー電極）１８
４２ｏと第３の分割ＩＤＴ電極１８４ｃの下部電極（外
側のバスバー電極）１８４３ｏとが接続されている。

【００８６】これにより、第２の弾性表面波共振器を構
成するＩＤＴ電極１８３ａが形成されている。

【００８７】尚、上記グループの分けたかは、内側のバ
スバー電極の分割状況、及び外側のバスバー電極の分割
状況に基づくものである。

【００８８】即ち、上部電極１８４３ｉと上部電極１８
４２ｉとが分割されていることにより、第３の分割ＩＤ
Ｔ電極１８４ｃと第２の分割ＩＤＴ電極１８４ｂとに分
けられている。又、下部電極１８４２ｏと下部電極１８
４１ｏとが分割されていることにより第２の分割ＩＤＴ
電極１８４ｂと第１の分割ＩＤＴ電極１８４ａとに分け
られている。

【００８９】そして、これら２個の第１及び第２の弾性
表面波共振器は近接して配置されており、その間に音響
結合が生じることによって弾性表面波フィルタが構成さ
れる。

【００９０】さらに、ＩＤＴ電極１８２ａの上部電極お
よび下部電極はそれぞれ平衡型入力端子ＩＮに接続され
ている。また、ＩＤＴ電極１８３ａを構成する第１の分
割ＩＤＴ電極１８４ａの下部電極および第２の分割ＩＤ
Ｔ電極１８４ｂの上部電極は平衡型出力端子ＯＵＴの一
方に接続され、第２の分割ＩＤＴ電極１８４ｂの下部電
極および第３の分割ＩＤＴ電極１８４ｃの下部電極は平
衡型出力端子ＯＵＴの他方に接続され、第１の分割ＩＤ
Ｔ電極１８４ａの上部電極および第３の分割ＩＤＴ電極
１８４ｃの上部電極は接地されることにより平衡型入出
力端子を形成する。

【００９１】ここで、上述した同相及び逆相について説
明する。

【００９２】先ず、隣接する２つの電極指（即ち、隣接
する一対の電極指）の構造的な配置関係について述べ
る。

【００９３】即ち、隣接する２つの電極指が同相関係に
あるとは、それら２つの電極指の一方が、内側のバスバ
ー電極と接続されて内側から外側へ向けて伸びており、
他方が外側のバスバー電極に接続されて外側から内側に
向けて伸びている接続関係の状態にあることを言う。
又、隣接する２つの電極指が逆相関係にあるとは、それ
ら２つの電極指のいずれもが、内側のバスバー電極と接
続されて内側から外側へ向けて伸びているか、又は、外
側のバスバー電極と接続されて外側から内側へ向けて伸
びている接続関係を言う。ここで、内側と外側のバスバ
ー電極の電荷は異なるものとする。又、隣接する２つの
電極指間のピッチ（中心間距離）は、１／２ｘλである
とする。尚、上記電極指間のピッチは、（ｍ＋１／２）
ｘλでもよい。その場合、もしも、そのピッチが（ｍ＋
１）ｘλであれば、上記同相関係と逆相関係は、その意
味内容が上記説明と完全に逆転する。ここで、λは励起
された弾性表面波の波長であり、ｍ＝０，１，２，３，
・・・であるとする。

【００９４】具体的には、第１の分割ＩＤＴ電極１８４
ａについて見ると、図１８に示すように、例えば、第１
電極指１８４ａ１と第２電極指１８４ａ２は、同相関係
にあり、又、第４電極指１８４ａ４と第５電極指１８４
ａ５も、同相関係にある。従って、第１の分割ＩＤＴ電
極１８４ａに含まれる第１〜第５の全ての電極指は、同
相関係にある。又、同様にして、第２及び第３の分割Ｉ
ＤＴ電極１８４ｂ，１８４ｃに含まれる全ての電極指に
ついても、各分割ＩＤＴ電極内において同相関係にあ
る。

【００９５】次に、隣接する２つの電極指１８４ａ５と
１８４ｂ１について見ると、同図に示す様に、電極指１
８４ａ５が外側のバスバー電極１８４１ｏに、又、電極
指１８４ｂ１が外側のバスバー電極１８４２ｏに接続さ
れているので、それらは逆相関係にある。又、これら２
つの電極指は、第１の分割ＩＤＴ電極１８４ａと第２の
ＩＤＴ電極１８４ｂとの分かれ目に配置されている。

【００９６】以上のことから、上記３つのグループの配
置関係において述べている、逆相又は、同相の意味も、
隣接した２つの電極指の上述した関係に基づいているこ
とは言うまでもない。他の実施の形態においても、この
点は同じである。

【００９７】尚、第５電極指１８４ａ５の短手方向の幅
について更に述べる。図１８では、第５電極指１８４ａ
５の幅が、他の電極指の幅と同じである構成のものを示
しているが、これに限らず例えば、他の電極指の幅に比
べて幅広にしても勿論良い。この様にすることにより、
電極指の抵抗値が小さくなり、従って、それを含むＩＤ
Ｔ電極の抵抗値が小さくなり、挿入損失が低減されると
言う効果がある。このことは、他の実施の形態の場合に
も当てはまる。

【００９８】以上のように構成される第５の実施形態に
おける弾性表面波フィルタについて、以下、その動作を
説明する。

【００９９】図１９は第５の実施形態の容量等価回路図
であり、Ｃ₁は第１の弾性表面波共振器を構成するＩＤ
Ｔ電極１８２ａの容量である。また、Ｃａ、Ｃｂおよび
Ｃｃはそれぞれ第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極
１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃの容量であり、Ｃａ、Ｃ
ｂおよびＣｃの合成容量が第２の弾性表面波共振器ＩＤ
Ｔ電極１８３ａの総容量Ｃ２となる。ここで、ＩＤＴ電
極１８３ａに含まれる電極指の対数をｎとし、第１、第
２、及び第３の分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１
８４ｃのそれぞれの対数をｎａ、ｎｂ、ｎｃとすると、
次式が成り立つ。ｎ＝ｎａ＋ｎｂ＋ｎｃ前記記載の弾
性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴ電極１８２ａ、１８
３ａの容量は電極の対数に支配される。ＩＤＴ電極１８
２ａの対数をｎとし、一対のＩＤＴ電極指の電極容量を
Ｃとすると、Ｃ₁、Ｃａ、ＣｂおよびＣｃはそれぞれ以
下のように表せる。

【０１００】Ｃ₁＝ｎ×ＣＣａ＝ｎａ×Ｃ＝Ｃ₁×ｎａ／ｎ＝Ｃ₁×ｎａ／（ｎａ＋
ｎｂ＋ｎｃ）Ｃｂ＝ｎｂ×Ｃ＝Ｃ₁×ｎｂ／ｎ＝Ｃ₁×ｎｂ／（ｎａ＋
ｎｂ＋ｎｃ）Ｃｃ＝ｎｃ×Ｃ＝Ｃ₁×ｎｃ／ｎ＝Ｃ₁×ｎｃ／（ｎａ＋
ｎｂ＋ｎｃ）したがって、図１９の容量等価回路図より、総容量Ｃ₂
はＣａ、Ｃｂ、Ｃｃを用いると（数１）で表される。

【０１０１】

【数１】

【０１０２】例えば、分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４
ｂ，１８４ｃの対数が等しいとした場合、すなわちｎａ
＝ｎｂ＝ｎｃ＝ｎ／３としたとき、Ｃ₂＝Ｃ₁×１／２と
なり、Ｃ₂の容量はＣ₁の半分となる。分割ＩＤＴ電極１
８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃの対数ｎａ、ｎｂ、ｎｃを
変えることにより、ＩＤＴ電極１８３ａの総容量Ｃ２は
（数１）に応じてＣ₁×１／４＜Ｃ₂＜Ｃ₁の範囲で変化
する。すなわち、ＩＤＴ電極１８３ａの総容量は分割Ｉ
ＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃの分割比により
制御できる。

【０１０３】また、このとき第１、第２、及び第３の分
割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃの電極上の
電荷は互いに打ち消されることなく、第１、第２、及び
第３の分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃに
よって生じる弾性表面波は同相となるため、第２の弾性
表面波共振器は第１の弾性表面波共振器と同等の共振特
性を持つ。したがって、第１の弾性表面波共振器と第２
の弾性表面波共振器とを近接配置することにより、従来
と同様の横モード結合共振器型フィルタとして動作す
る。

【０１０４】以上のように、本実施形態５によれば、平
衡型入出力をもつ弾性表面波フィルタは、狭帯域で帯域
外選択度に優れた特性を持つとともに、本発明の特徴と
する分割ＩＤＴ電極により形成されるＩＤＴ電極の電極
構造によって、弾性表面波フィルタの出力インピーダン
スも制御できるものである。

【０１０５】なお、第５の実施形態では、第２の弾性表
面波共振器を構成するＩＤＴ電極１８３ａにおいて、Ｉ
ＤＴ電極１８３ａを構成する第１、第２及び第３の分割
ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃを、図中にお
いて左側から右側へ順次並べた場合について述べたが、
これに限らず、右側から左側へ順次１８４ａ、１８４
ｂ、１８４ｃと並べてもかまわない。また、ＩＤＴ電極
１８３ａの電極パターンが上下反転してもよい。この場
合には、図２０に示すように、圧電基板２０１の上の第
２の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極２０３ａ
は、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２０４ａ、
２０４ｂおよび２０４ｃの３つのグループの接続により
構成されている。第１の分割ＩＤＴ電極２０４ａと第２
の分割ＩＤＴ電極２０４ｂは逆相に配置され、第２の分
割ＩＤＴ電極２０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２０４ｃ
は同相に配置されるとともに、第１の分割ＩＤＴ電極２
０４ａの上部電極と第２の分割ＩＤＴ電極２０４ｂの下
部電極が接続され、第２の分割ＩＤＴ電極２０４ｂの上
部電極と第３の分割ＩＤＴ電極２０４ｃの上部電極が接
続され、第２の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極
２０３ａが形成される。また、図２０においても、分割
ＩＤＴ電極２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃを左側から２
０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃとしたが、これは右側から
でもかまわない。これらの場合においてはＩＤＴ電極は
電極構造のみが異なるだけであり、弾性表面波フィルタ
の特性は図１８の場合と同様の効果が得られる。

【０１０６】また、本実施の形態５においては、ＩＤＴ
電極１８２ａの対数と第１、第２及び第３の分割ＩＤＴ
電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃのそれぞれの対数の
和が等しいとしたが、全く同じ対数である必要はなく、
また、第１、第２及び第３の分割ＩＤＴ電極１８４ａ、
１８４ｂ、１８４ｃ対数比も任意に設定できるものであ
る。また、ＩＤＴ電極１８３ａの分割数を３としたがそ
れ以外であってもかまわない。また、ＩＤＴ電極１８２
ａの電気端子は平衡型としたが、上部電極あるいは下部
電極のどちらか一方を接地して不平衡型電気端子として
もかまわない。その場合には、平衡−不平衡端子を有す
る弾性表面波フィルタが構成できる。反射器電極１８２
ｂと１８３ｂ、１８２ｃと１８３ｃを電気的に分離した
構成としたが、両方を接続するとともに接地してもよ
い。さらに、分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ及び１
８４ｃによって構成されるＩＤＴ電極１８３ａは第２の
弾性表面波共振器を構成するものとしたが、これは、第
１の弾性表面波共振器を構成してもかまわないし、ある
いはその両方であってもよく、その場合には入出力両方
のインピーダンスの制御が可能である弾性表面波フィル
タが実現できる。（第６の実施形態）図２１は本発明による弾性表面波フ
ィルタの実施の形態６の電極パターン構成図を示すもの
である。

【０１０７】図２１において、２１１は単結晶圧電基板
であり、この圧電基板２１１の上に、周期構造ストリッ
プライン状の電極パターンを構成することによって、弾
性表面波を励起させることができる。圧電基板２１１の
上には、ＩＤＴ電極２１２ａと反射器電極２１２ｂ、２
１２ｃとによって構成されるエネルギー閉じこめ型の第
１の弾性表面波共振器が形成されている。また、圧電基
板２１１の上には、ＩＤＴ電極２１３ａと反射器電極２
１３ｂ、２１３ｃとによって構成されるエネルギー閉じ
こめ型の第２の弾性表面波共振器が形成されている。第
２の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極２１３ａ
は、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２１４ａ、
２１４ｂ及び２１４ｃの３つのグループの接続により構
成されている。第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極
２１４ａ、２１４ｂ及び２１４ｃは、すべて同相に配置
されるとともに、第１の分割ＩＤＴ電極２１４ａの上部
電極と第２の分割ＩＤＴ電極２１４ｂの上部電極が接続
され、第２の分割ＩＤＴ電極２１４ｂの下部電極と第３
の分割ＩＤＴ電極２１４ｃの下部電極が接続されること
により、第２の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極
２１３ａが形成される。そして、これら２個の第１及
び第２の弾性表面波共振器は近接して配置されており、
その間に音響結合が生じることによって、弾性表面波フ
ィルタが構成される。

【０１０８】さらに、ＩＤＴ電極２１２ａの上部電極お
よび下部電極はそれぞれ平衡型入力端子ＩＮに接続され
ている。また、ＩＤＴ電極２１３ａを構成する第１の分
割ＩＤＴ電極２１４ａの上部電極および第２の分割ＩＤ
Ｔ電極２１４ｂの上部電極は平衡型出力端子ＯＵＴの一
方に接続され、第２の分割ＩＤＴ電極２１４ｂの下部電
極および第３の分割ＩＤＴ電極２１４ｃの下部電極は平
衡型出力端子ＯＵＴの他方に接続され、第１の分割ＩＤ
Ｔ電極２１４ａの下部電極および第３の分割ＩＤＴ電極
２１４ｃの上部電極は接地されることにより平衡型入出
力端子を形成する。

【０１０９】以上のように構成された弾性表面波フィル
タにおいて、第１の弾性表面波共振器は、第５の実施形
態の弾性表面波共振器と同様の構造であり、第２の弾性
表面波共振器は、ＩＤＴ電極２１３ａが第５の実施形態
のＩＤＴ１８３ａと電極パターン及びその接続方法のみ
が異なる。この場合も、分割ＩＤＴ電極２１４ａ、２１
４ｂ、２１４ｃの電極上の電荷は互いに打ち消されるこ
となく、分割ＩＤＴ電極２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ
によって生じる弾性表面波は同相となるため、第２の弾
性表面波共振器は第１の弾性表面波共振器と同等の共振
特性を持ち、第１の弾性表面波共振器と第２の弾性表面
波共振器とを近接配置することにより、本実施の形態６
における弾性表面波フィルタは第５の実施形態と同様に
従来の横モード結合共振器型フィルタとして動作する。
さらに、平衡型入出力をもつ弾性表面波フィルタは、狭
帯域で帯域外選択度に優れた特性を持つとともに、弾性
表面波フィルタの入出力インピーダンスも制御できると
いう、第５の実施形態の弾性表面波フィルタと同様の効
果が得られる。

【０１１０】なお、第６の実施形態では、分割ＩＤＴ電
極２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃを左側から２１４ａ、
２１４ｂ、２１４ｃとしたが、これは右側からでもかま
わないし、ＩＤＴ電極２１３ａの分割数を３としたがそ
れ以外であってもかまわない。また、ＩＤＴ電極２１２
ａの電気端子を平衡型としたが、上部電極あるいは下部
電極のどちらか一方を接地して不平衡型電気端子として
もかまわない。その場合には、平衡−不平衡端子を有す
る弾性表面波フィルタが構成できる。また、反射器電極
２１２ｂと２１３ｂ、及び２１２ｃと２１３ｃは電気的
に分離した構成としたが、両方を接続するとともに接地
してもよい。さらに、分割ＩＤＴ電極２１４ａ、２１４
ｂ及び２１４ｃによって構成されるＩＤＴ電極２１３ａ
は第２の弾性表面波共振器を構成するものとしたが、こ
れは、第１の弾性表面波共振器を構成してもかまわない
し、あるいはその両方であってもよく、その場合には入
出力両方のインピーダンスの制御が可能である弾性表面
波フィルタが実現できる。（第７の実施形態）実施の形
態５及び６において、一段構成の弾性表面波フィルタを
例に挙げて説明してきた。このような弾性表面波フィル
タは多段構成で使用することができる。

【０１１１】図２２はその一例であって、本発明による
弾性表面波フィルタの実施の形態７の電極パターン構成
図を示すものである。図２２において、２２１は単結晶
圧電基板であり、この圧電基板２２１の上で、複数個の
弾性表面波フィルタを縦続し、多段接続の弾性表面波フ
ィルタを構成すると、挿入損失の若干の増加はあるが阻
止域および遷移域の特性の大幅な改善が得られる。

【０１１２】図２２における２段縦続フィルタは、ＩＤ
Ｔ電極２２２ａと反射器電極２２２ｂ，２２２ｃで構成
された第１の弾性表面波共振器と、ＩＤＴ電極２２３ａ
と反射器電極２２３ｂ，２２３ｃで構成された第２の弾
性表面波共振器とを近接して配置した第１の弾性表面波
フィルタと、ＩＤＴ電極２２４ａと反射器電極２２４
ｂ，２２４ｃで構成された第３の弾性表面波共振器と、
ＩＤＴ電極２２５ａと反射器電極２２５ｂ，２２５ｃで
構成された第４の弾性表面波共振器とを近接して配置し
た第２の弾性表面波フィルタを圧電基板２２１上に形成
されている。第２の弾性表面波フィルタにおける第４の
弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極２２５ａは、第
１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２２６ａ、２２６
ｂ及び２２６ｃの３つのグループの接続により構成され
ている。第１の分割ＩＤＴ電極２２６ａと第２の分割Ｉ
ＤＴ電極２２６ｂは逆相に配置され、第２の分割ＩＤＴ
電極２２６ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２２６ｃは同相に
配置されるとともに、第１の分割ＩＤＴ電極２２６ａの
下部電極と第２の分割ＩＤＴ電極２２６ｂの上部電極が
接続され、第２の分割ＩＤＴ電極２２６ｂの下部電極と
第３の分割ＩＤＴ電極２２６ｃの下部電極が接続される
ことにより、第４の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ
電極２２５ａが形成される。第１段の弾性表面波フィ
ルタの出力側の引出し電極の一方は相対する次段の弾性
表面波フィルタの入力側の相対する引出し電極に段間接
続電極パターン２２７ａによって接続されており、第１
段目の今一つの出力側のＩＤＴ電極は次段の今一つの入
力側のＩＤＴ電極に段間接続電極パターン２２７ｂによ
って接続されることにより、２段の弾性表面波フィルタ
が形成される。

【０１１３】さらに、第１の弾性表面波フィルタにおけ
る第１の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極２２２
ａの上部電極および下部電極はそれぞれ平衡型入力端子
ＩＮに接続されている。また、第２の弾性表面波フィル
タにおける第４の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電
極２２５ａにおいて、ＩＤＴ電極２２５ａ構成する第１
の分割ＩＤＴ電極２２６ａの下部電極および第２の分割
ＩＤＴ電極２２６ｂの上部電極は平衡型出力端子ＯＵＴ
の一方に接続され、第２の分割ＩＤＴ電極２２６ｂの下
部電極および第３の分割ＩＤＴ電極２２５ｃの下部電極
は平衡型出力端子ＯＵＴの他方に接続され、第１の分割
ＩＤＴ電極２２６ａの上部電極および第３の分割ＩＤＴ
電極２２６ｃの上部電極は接地されることにより平衡型
入出力端子を形成する。

【０１１４】しかし、弾性表面波フィルタを単純に縦続
しただけでは、各段の入出力インピーダンスの不整合に
よって、目的とする良好な伝送特性を得ることができな
い場合もある。その場合には、段間接続電極にインダク
タ等のリアクタンス素子を整合素子として接続し調整す
ればよい。また、同一圧電基板２２１の上または別の基
板上にスパイラル状インダクタを始めとするリアクタン
ス素子を形成し、それを段間接続電極に接続する構成を
採れば、余分なスペースを必要とせず、フィルタ回路の
小型化が容易にできる。調整用リアクタンス素子は第１
の段間接続電極パターン２２７ａ，２２７ｂのいずれか
に接続し、他の段間電極接続パターンを接地すればよい
が、実験によると、図２２に示すように、リアクタンス
素子２２８を段間接続電極パターン２２７ａに接続した
方がフィルタ伝送特性の対称性の改善が得られた。

【０１１５】以上の構成によって、本実施形態７におけ
る平衡型入出力を有する弾性表面波フィルタは、狭帯域
な特性を有するとともに、２個の弾性表面波フィルタを
段間接続電極パターン２２７ａ、２２７ｂにより接続す
ることにより、１段の場合よりも帯域外選択度がより急
峻な特性となるとともに、弾性表面波フィルタの出力イ
ンピーダンスも制御できるものである。

【０１１６】なお、第７の実施形態では、第２の弾性表
面波フィルタにおける第４の弾性表面波共振器を構成す
るＩＤＴ電極２２５ａにおいて、ＩＤＴ電極２２５ａを
構成する第１、第２及び第３の分割ＩＤＴ電極２２６
ａ、２２６ｂ、２２６ｃを図面に向かって左側から２２
６ａ、２２６ｂ、２２６ｃとしたが、これは右側からで
もかまわない。また、ＩＤＴ電極２２５ａの電極パター
ンが上下反転してもよい。

【０１１７】また、本実施の形態７においては、ＩＤ
Ｔ電極２２５ａの分割数を３としたがそれ以外であって
もかまわない。ＩＤＴ電極２２２ａの電気端子は平衡型
としたが、上部電極あるいは下部電極のどちらか一方を
接地して不平衡型電気端子としてもかまわない。その場
合には、平衡−不平衡端子を有する弾性表面波フィルタ
が構成できる。ＩＤＴ電極２２５ａは第６の実施形態
で示した構成のＩＤＴ電極２１３ａでもよい。これらの
場合においてはＩＤＴ電極２３４ａは電極構造のみが異
なるだけであり、弾性表面波フィルタの特性は図２２と
同様の効果が得られる。反射器電極２２２ｂと２２３
ｂ、及び２２２ｃと２２３ｃを電気的に分離した構成と
したが、両方を接続するとともに接地してもよい。さら
に、分割ＩＤＴ電極２２６ａ、２２６ｂ及び２２６ｃに
よって構成されるＩＤＴ電極２２５ａは、第４の弾性表
面波共振器を構成するものとしたが、これは、第１の弾
性表面波共振器を構成してもかまわないし、あるいはそ
の両方であってもよく、その場合には入出力両方のイン
ピーダンスの制御が可能である弾性表面波フィルタが実
現できる。また、弾性表面波の段数を２段としたが、そ
れ以上であってもよく、その場合は、帯域外選択度がよ
り優れた急峻なフィルタ特性となるものである。（第８
の実施形態）図２３は、本発明による弾性表面波フィル
タの実施の形態８の電極パターン構成図を示すものであ
る。図２３において、２３１は単結晶圧電基板であり、
この圧電基板２３１の上に電極パターンを形成すること
により、弾性表面波を励起させることができる。圧電基
板２３１の上には、ＩＤＴ電極２３２ａと反射器電極２
３２ｂ、２３２ｃにより構成されるエネルギー閉じ込め
型の第１の弾性表面波共振器が形成されている。また、
圧電基板２３１の上には、ＩＤＴ電極２３４ａと反射器
電極２３４ｂ、２３４ｃとにより構成される第３の弾性
表面波共振器が形成されている。反射器電極２３３ｂ、
２３３ｃを伴い、第１の弾性表面波共振器と第３の弾性
表面波共振器との間に形成される第２の弾性表面波共振
器の電極部分２３３ａは反射器電極と同様の構造を有す
る。このように、第２の弾性表面波共振器の電極部分２
２３ａの構造がＩＤＴ電極構造ではなく周期構造ストリ
ップライン電極列であっても、電極周期が同じであれ
ば、弾性表面波は全く同様に伝搬することができるの
で、中央部に配置された第２の弾性表面波共振器の音響
的振舞いはＩＤＴ電極構造の場合と変わらない。

【０１１８】さらに、第３の弾性表面波共振器を構成す
るＩＤＴ電極２３４ａは、第１、第２および第３の分割
ＩＤＴ電極２３５ａ、２３５ｂ及び２３５ｃの３つのグ
ループの接続により構成されている。第１の分割ＩＤＴ
電極２３５ａと第２の分割ＩＤＴ電極２３５ｂは逆相に
配置され、第２の分割ＩＤＴ電極２３５ｂと第３の分割
ＩＤＴ電極２３５ｃは同相に配置されるとともに、第１
の分割ＩＤＴ電極２３５ａの下部電極と第２の分割ＩＤ
Ｔ電極２３５ｂの上部電極が接続され、第２の分割ＩＤ
Ｔ電極２３５ｂの下部電極と第３の分割ＩＤＴ電極２３
５ａの下部電極が接続されることにより、第３の弾性表
面波共振器を構成するＩＤＴ電極２３４ａが形成され
る。

【０１１９】上記３個の弾性表面波共振器は近接して配
置され、互いに隣接する部分のバスバー電極は電気的に
独立している。第１の弾性表面波フィルタにおける第１
の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極２３２ａの上
部電極および下部電極はそれぞれ平衡型入力端子ＩＮに
接続されている。また、第３の弾性表面波共振器を構成
するＩＤＴ電極２３４ａにおいて、ＩＤＴ電極２３４ａ
構成する第１の分割ＩＤＴ電極２３５ａの下部電極およ
び第２の分割ＩＤＴ電極２３５ｂの上部電極は平衡型出
力端子ＯＵＴの一方に接続され、第２の分割ＩＤＴ電極
２３５ｂの下部電極および第３の分割ＩＤＴ電極２３５
ｃの下部電極は平衡型出力端子ＯＵＴの他方に接続さ
れ、第１の分割ＩＤＴ電極２３５ａの上部電極および第
３の分割ＩＤＴ電極２３５ｃの上部電極は接地されるこ
とにより平衡型入出力端子を形成し、第２の弾性表面波
共振器における周期構造ストリップライン電極列２３３
ａは接地されている。

【０１２０】以上のように、本実施の形態８による弾性
表面波フィルタは、３個の弾性表面波共振器を弾性表面
波の伝搬方向と平行に近接配置し、音響結合させること
により、フィルタ特性を実現することを特徴とする。

【０１２１】この時、弾性表面波フィルタは、本願発明
者らが公開した特開平８−５１３３４の弾性表面波多重
モードフィルタにおけるＩＤＴ電極を、本発明の弾性表
面波フィルタにおける第２の弾性表面波共振器を構成す
るＩＤＴ電極２３３ａに置き換えたものであり、特開平
８−５１３３４で述べられているのと同様の動作をし、
即ち、弾性表面波共振器を３段とすることにより、広帯
域、かつ帯域外選択度に優れた特性を持つとともに、弾
性表面波フィルタの出力インピーダンスも制御できるも
のである。

【０１２２】なお、第８の実施形態では、第３の弾性表
面波共振器を構成するＩＤＴ電極２３４ａにおいて、Ｉ
ＤＴ電極２３４ａを構成する第１、第２及び第３の分割
ＩＤＴ電極２３５ａ、２３５ｂ、２３５ｃを図面に向か
って左側から２３５ａ、２３５ｂ、２３５ｃとしたが、
これは右側からでもかまわない。また、ＩＤＴ電極２３
４ａの電極パターンが上下反転してもよい。ＩＤＴ電
極２３４ａは第６の実施形態で示した構成のＩＤＴ電極
２１３ａでもよい。これらの場合においてはＩＤＴ電極
２３４ａは電極構造のみが異なるだけであり、弾性表面
波フィルタの特性は図２３と同様の効果が得られる。

【０１２３】また、ＩＤＴ電極２３４ａの分割数を３と
したがそれ以外であってもかまわない。ＩＤＴ電極２３
２ａの電気端子は平衡型としたが、上部電極あるいは下
部電極のどちらか一方を接地して不平衡型電気端子とし
てもかまわない。その場合には、平衡−不平衡端子を有
する弾性表面波フィルタが構成できる。反射器電極２３
２ｂと２３３ｂ、２３２ｃと２３３ｃを電気的に分離し
た構成としたが、両方を接続するとともに接地してもよ
い。さらに、分割ＩＤＴ電極２３５ａ、２３５ｂ及び２
３５ｃによって構成されるＩＤＴ電極２３４ａは、第３
の弾性表面波共振器を構成するものとしたが、これは、
第１の弾性表面波共振器を構成してもかまわないし、あ
るいはその両方であってもよく、その場合には入出力両
方のインピーダンスの制御が可能である弾性表面波フィ
ルタが実現できる。

【０１２４】本実施の形態８において、ＩＤＴ電極２３
３ａはＩＤＴ電極２３２ａとその右側の反射器電極２３
３ｃの間隙に設けた電極パターンを介して接地されてい
るとしたが、ＩＤＴ電極２３３ａとその左側の反射器電
極２３３ａの間隙に設けた電極パターンを介して接地さ
れてもよく、また、ＩＤＴ電極２３４ａと反射器電極２
３４ｂあるいは２３４ｃのどちらか一方の間隙に設けた
電極パターンを介して接地されてもよい。反射器電極２
３２ｂと２３３ｂと２３３ｃ、及び２３２ｃと２３３ｃ
と２３４ｃを弾性表面波共振器ごとに電気的に分離した
構成としたが、それぞれを接続するとともに接地しても
よく、さらに、ＩＤＴ電極２３３ａは、それぞれ反射器
電極２３２ｂ、２３２ｃ、２３３ｂ、２３３ｃ、２３４
ｂ、２３４ｃのいずれかを介して接地してもよい。ま
た、ＩＤＴ電極２３３ａをＩＤＴ電極２３２ａと同じ構
成の電極構造としてもよく、この場合も、弾性表面波の
伝搬は同様に行われるので、本実施の形態８の弾性表面
波フィルタと同様の特性が得られる。さらに、分割ＩＤ
Ｔ電極２３４ａは第３の弾性表面波共振器を構成すると
したが、これは、第１の弾性表面波共振器構成してもよ
く、あるいはその両方であってもよく、その場合は入力
側あるいは入出力両方のインピーダンスの制御が可能と
なるものである。また、第１から第３の弾性表面波共振
器は同様の構成としたが、必ずしも同じである必要はな
い。また、本実施の形態８の弾性表面波フィルタを２段
縦続に接続する構成にしてもよく、この場合は帯域外選
択度特性がさらに急峻となる。

【０１２５】また、本発明における圧電基板としては、
温度特性に優れたＳＴカット水晶を用いることが好まし
いが、ＬｉＴａＯ₃，ＬｉＮｂＯ₃，Ｌｉ₂Ｂ₄Ｏ₇,Ｌａ₃
Ｇａ₃ＳｉＯ₁₄等を基板として使用することができる。
また、電極材料としては、膜厚制御の容易な比較的密度
の小さいアルミニウムを用いるのが好ましいが、金電極
の使用も可能である。

【０１２６】さらに、本発明は、上述した様な弾性表面
波のみでなく、弾性表面波の一種である、すべり波（Ｓ
ｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉｎｇＢａｌｋＷａｖ
ｅ）や擬似表面波（Ｐｓｅｕｄｏｓｕｆａｃｅｗａ
ｖｅｓ）等を利用した共振器にも適用できる。

【０１２７】

【発明の効果】以上述べたところから明らかなように本
発明は、平衡型入出力構成の実現、及び入出力端子にお
ける平衡型端子のバランス度向上、挿入損失の低減が出
来得ると言う長所を有する。

【０１２８】又、本発明は、通過帯域の広帯域化、及び
位相、振幅特性の平坦化が出来得ると言う長所を有す
る。

【０１２９】又、本発明は、所望の入出力インピーダン
スを実現し得ると言う長所を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態における弾性表面波
フィルタを示す構成図。

【図２】本発明の第１の実施の形態における弾性表面波
フィルタの他の例を示す構成図。

【図３】本発明の第１の実施の形態における多段弾性表
面波フィルタを示す構成図。

【図４】本発明の第１の実施の形態における多段弾性表
面波フィルタの他の例を示す構成図。

【図５】本発明の第２の実施の形態における弾性表面波
フィルタを示す構成図。

【図６】本発明の第２の実施の形態における弾性表面波
フィルタの他の例を示す構成図。

【図７】本発明の第２の実施の形態における弾性表面波
フィルタの他の例を示す構成図。

【図８】本発明の第２の実施の形態における多段弾性表
面波フィルタを示す構成図。

【図９】本発明の第２の実施の形態における多段弾性表
面波フィルタの他の例を示す構成図。

【図１０】本発明の第３の実施の形態における弾性表面
波フィルタを示す構成図。

【図１１】（ａ）、（ｂ）：本発明の第３の実施の形態
における弾性表面波フィルタの動作を説明するための弾
性表面波フィルタの図と励起モード分布図。

【図１２】本発明の第３の実施の形態においてＷ１＝Ｗ
２＝Ｗとしたときの、弾性表面波の波長λで規格化した
Ｗの値に対する各モードの共振周波数の特性図。

【図１３】本発明の第３の実施の形態における弾性表面
波フィルタの通過特性の比較例を示す代表的実測図。

【図１４】本発明の第３の実施の形態におけるＷ２／Ｗ
１に対する共振モード周波数差の実測図。

【図１５】本発明の第３の実施の形態における弾性表面
波フィルタの通過特性を示す実測図。

【図１６】本発明の第３の実施の形態における弾性表面
波フィルタの他の例を示す構成図。

【図１７】本発明の第４の実施の形態における弾性表面
波フィルタを示す構成図。

【図１８】本発明の第５の実施の形態における弾性表面
波フィルタを示す構成図。

【図１９】本発明の第５の実施の形態における弾性表面
波フィルタの容量等価回路図。

【図２０】本発明の第５の実施の形態における弾性表面
波フィルタの他の例を示す構成図。

【図２１】本発明の第６の実施の形態における弾性表面
波フィルタを示す構成図。

【図２２】本発明の第７の実施の形態における弾性表面
波フィルタを示す構成図。

【図２３】本発明の第８の実施の形態における弾性表面
波フィルタを示す構成図。

【図２４】従来の弾性表面波フィルタの電極パターン
図。

【符号の説明】

１１，３１，４１，５１，１０１単結晶圧電基板１２ａ，１３ａ，５２ａ，５４ａＩＤＴ電極１２ｂ，１２ｃ，１３ｂ，１３ｃ反射器１４第１のバスバー電
極１４ａ第３のバスバー電
極１５第２のバスバー電
極１５ａ第４のバスバー電
極１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ引き出し電極指１０３ａ周期構造ストリッ
プライン電極列１６６，２２８リアクタンス素子１８４ａ第１の分割ＩＤＴ
電極１８４ｂ第２の分割ＩＤＴ
電極１８４ｃ第３の分割ＩＤＴ
電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者石崎俊雄大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インタディジタルトランスデューサ電極
としてのＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備した第１
及び第２の弾性表面波共振器が、それぞれの弾性表面波
の伝搬方向が互いに平行となる位置に近接配置され音響
結合された、圧電基板上の弾性表面波フィルターであっ
て、前記第１の弾性表面波共振器の第１のＩＤＴ電極に含ま
れる内側のバスバー電極と、前記第２の弾性表面波共振
器の第２のＩＤＴ電極に含まれる内側のバスバー電極と
が互いに電気的に分離されており、前記第１のＩＤＴ電極は平衡型入力端子と接続されてお
り、又、前記第２のＩＤＴ電極は平衡型出力端子と接続
されており、前記平衡型入力端子の一方の端子は、前記第１のＩＤＴ
電極の内側のバスバー電極の少なくとも２箇所から直接
又は間接的に引出された引き出し電極と電気的に接続さ
れており、又、前記平衡型出力端子の一方の端子は、前
記第２のＩＤＴ電極の内側のバスバー電極の少なくとも
２箇所から直接又は間接的に引出された引き出し電極と
電気的に接続されてバランス動作することを特徴とする
弾性表面波フィルタ。
【請求項２】前記引出し電極が、前記ＩＤＴ電極と前
記反射器電極との間隙に形成されていることを特徴とす
る請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】前記ＩＤＴ電極と前記反射器電極との間
隙に形成された２本の前記引出し電極を接続して、前記
平衡型入力端子の一方の端子または前記平衡型出力端子
の一方の端子とし、前記ＩＤＴ電極に含まれる外側のバ
スバー電極を、前記平衡型入力端子または前記平衡型出
力端子の他方の端子とすることを特徴とする請求項１ま
たは２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４】前記ＩＤＴ電極と前記反射器電極との間
隙に形成された２本の引出し電極の間は、前記圧電基板
上に形成した前記引き出し電極の幅よりも幅広の線路幅
を有する配線パターンによって接続されており、前記配線パターンにおいて更に拡張された部位が、前記
平衡型入力端子の一方の端子又は前記平衡型出力端子の
一方の端子としての接続ランドであり、前記ＩＤＴ電極に含まれる外側のバスバー電極が外方向
に拡張された部位が、前記平衡型入力端子の他方の端子
又は前記平衡型出力端子の他方の端子として接続ランド
であることを特徴とする請求項１、２、または３のいず
れか一つに記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項５】請求項２記載の弾性表面波フィルタを同
一圧電基板上に複数段形成し、前段の前記弾性表面波フィルタの出力側の引出し電極の
一方を相対する次段の前記弾性表面波フィルタの入力側
の相対する引出し電極に接続し、前記前段の弾性表面波
フィルタの出力側の引出し電極の他方を前記次段の弾性
表面波フィルタの入力側の相対する引出し電極に接続
し、前記前段の弾性表面波フィルタの残る一つの出力側
電極と前記次段の弾性表面波フィルタの残る一つの入力
側電極とが接続されていることを特徴とする多段弾性表
面波フィルタ。
【請求項６】請求項２記載の弾性表面波フィルタを同
一圧電基板上に複数段形成し、前段の前記弾性表面波フィルタの出力側の引出し電極の
一方と相対する次段の前記弾性表面波フィルタの入力側
の相対する引出し電極とを、又、前記出力側の引出し電
極の他方と前記次段の弾性表面波フィルタの入力側の相
対する引出し電極とを、前記引き出し電極の幅よりも幅
広の第１の段間接続電極によりそれぞれ接続し、前記前段の弾性表面波フィルタの残る一つの出力電極と
前記次段の弾性表面波フィルタの残る一つの入力側電極
とを、前記引き出し電極の幅よりも幅広の第２の段間接
続電極によりそれぞれ接続し、初段の弾性表面波フィルタの入力側の２本の引出し電極
の間は、前記圧電基板上に形成した前記引き出し電極の
幅よりも幅広の線路幅をもつ配線パターンによって接続
されており、その配線パターンにおいて更に拡張された
部位が、前記平衡型入力端子の一方の端子としての接続
ランドであり、前記初段の弾性表面波フィルタのＩＤＴ
電極に含まれる外側のバスバー電極が外方向に拡張され
た部位が、前記平衡型入力端子の他方の端子としての接
続ランドであり、終段の弾性表面波フィルタの出力側の２本の引出し電極
の間は、前記圧電基板上に形成した前記引き出し電極幅
よりも幅広の線路幅をもつ配線パターンによって接続さ
れており、その配線パターンにおいて更に拡張された部
位が、前記平衡型出力端子の一方の端子としての接続ラ
ンドであり、前記終段の弾性表面波フィルタのＩＤＴ電
極に含まれる外側のバスバー電極が外方向に拡張された
部位が、前記平衡型出力端子の他方の端子として接続ラ
ンドであることを特徴とする多段弾性表面波フィルタ。
【請求項７】前記第１と第２の段間接続電極間をリア
クタンス素子を介して接続したことを特徴とする請求項
６記載の多段弾性表面波フィルタ。
【請求項８】前記第１と第２の段間接続電極の内、一
方を接地し、他方をリアクタンス素子を介して接地した
ことを特徴とする請求項６記載の多段弾性表面波フィル
タ。
【請求項９】前記第１の段間接続電極をリアクタンス
素子を介して接地し、第２の段間接続電極を接地したこ
とを特徴とする請求項６記載の多段弾性表面波フィル
タ。
【請求項１０】弾性表面波を励起させるための第１の
ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を有する第１の弾性表面
波共振器と第２のＩＤＴ電極の両側に反射器電極を有す
る第２の弾性表面波共振器とが、それぞれの前記弾性表
面波の伝搬方向が互いに平行となる位置に近接配置され
音響的に結合された、圧電基板上の弾性表面波フィルタ
であって、前記第１のＩＤＴ電極に含まれる内側の第１バスバー電
極と、前記第２のＩＤＴ電極に含まれる内側の第２バス
バー電極とは、互いに分離され対向配置されており、前記内側の第１バスバー電極上の少なくとも２箇所から
引き出された引出し電極同士の電気的接続を利用して構
成された、平衡型入力端子の内の一方の入力端子と、前記内側の第２バスバー電極上の少なくとも２箇所から
引き出された引出し電極同士の電気的接続を利用して構
成された、平衡型出力端子の内の一方の出力端子とを備
えてバランス動作することを特徴とする弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項１１】インタディジタルトランスデューサ電
極としてのＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備した第
１及び第３の弾性表面波共振器が、それぞれの弾性表面
波の伝搬方向が平行となる位置に形成されており、前記第１及び第３の弾性表面波共振器の間に、前記ＩＤ
Ｔ電極の電極指交差幅と実質上同一の長さを有する複数
本のストリップライン電極を前記第１及び第３の弾性表
面波共振器と同一の電極周期で並行に配置し、それら複
数本のストリップライン電極の両端部をバスバー電極に
よって互いに接続した周期構造状電極列からなる第２の
弾性表面波共振器が形成されており、前記第１、第２、第３の弾性表面波共振器を近接配置し
て音響結合させ、前記第１の弾性表面波共振器のＩＤＴ
電極の内側のバスバー電極の両端から外側方向へ向っ
て、前記両側の反射器電極との間隙に平衡型入力端子の
一部を構成する第１と第２の引出し電極が形成されてお
り、前記第３の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極の内側のバス
バー電極の両端から外側方向へ向って、前記両側の反射
器電極との間隙に平衡型出力端子の一部を構成する第３
と第４の引出し電極が形成されており、バランス動作す
ることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項１２】前記第１の弾性表面波共振器の前記第
１と第２の引出し電極を接続して平衡型入力端子の一方
の入力端子とし、前記第１の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極の外側のバス
バー電極を平衡型入力端子の他方の入力端子とし、前記第３の弾性表面波共振器の前記第３と第４の引出し
電極を接続して平衡型出力端子の一方の出力端子とし、第３の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極の外側のバスバー
電極を平衡型出力端子の他方の出力端子としたことを特
徴とする請求項１１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１３】前記第１の弾性表面波共振器の第１と第
２の引出し電極間を、圧電基板上に形成した前記引き出
し電極の幅よりも幅広の線路幅を有する配線パターンに
よって接続し、前記配線パターンの一部をさらに拡張し
て平衡型入力端子の一方の接続ランドを形成し、前記第
１の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極の外側のバスバー電
極を外方向に拡張して平衡型入力端子の他方の接続ラン
ドを形成し、前記第３の弾性表面波共振器の第３と第４の引出し電極
間を、圧電基板上に形成した前記引き出し電極の幅より
も幅広の線路幅を有する配線パターンによって接続し、
前記配線パターンの一部をさらに拡張して平衡型出力端
子の一方の接続ランドを形成し、前記第３の弾性表面波
共振器のＩＤＴ電極の外側のバスバー電極を外方向に拡
張して平衡型出力端子の他方の接続ランドが形成されて
いることを特徴とする請求項１１または１２記載の弾性
表面波フィルタ。
【請求項１４】請求項１２記載の弾性表面波フィルタ
を同一圧電基板上に複数段形成し、前段の前記弾性表面
波フィルタの前記第３及び第４の引出し電極を相対する
次段の前記弾性表面波フィルタの前記第１及び第２の引
出し電極にそれぞれ接続し、前記前段の弾性表面波フィ
ルタの残りの出力側電極と前記次段の弾性表面波フィル
タの残りの入力側電極とが接続されていることを特徴と
する多段弾性表面波フィルタ。
【請求項１５】請求項１２記載の弾性表面波フィルタ
を同一圧電基板上に複数段形成し、前段の前記弾性表面波フィルタの第３及び第４の引出し
電極と相対する次段の前記弾性表面波フィルタの第１及
び第２の引出し電極とを、前記引き出し電極の幅よりも
幅広の、前記圧電基板上の第１の段間接続電極により接
続し、前記前段と次段の今一つの出力側電極と入力側電極と
を、前記引き出し電極の幅よりも幅広の、前記圧電基板
上の第２の段間接続電極により接続し、初段の弾性表面波フィルタの第１と第２の引出し電極間
を、前記圧電基板上に形成した前記引き出し電極の幅よ
りも幅広の線路幅をもつ配線パターンによって接続し、
その配線パターンの一部をさらに拡張して平衡型入力端
子の一方の接続ランドを形成し、前記初段の弾性表面波
フィルタのＩＤＴ電極の外側のバスバー電極を外方向に
拡張することにより平衡型入力端子の他方の接続ランド
を形成し、終段の弾性表面波フィルタの第３と第４の引出し電極間
を、前記圧電基板上に形成した前記引き出し電極の幅よ
りも幅広の線路幅をもつ配線パターンによって接続し、
その配線パターンの一部をさらに拡張して平衡型出力端
子の一方の接続ランドを形成し、前記終段の弾性表面波
フィルタのＩＤＴ電極の外側のバスバー電極を外方向に
拡張することにより平衡型出力端子の他方の接続ランド
が形成されていることを特徴とする多段弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項１６】前記第１と第２の段間接続電極間をリ
アクタンス素子を介して接続したことを特徴とする請求
項１５記載の多段弾性表面波フィルタ。
【請求項１７】前記第１と第２の段間接続電極の内、
一方を接地し、他方をリアクタンス素子を介して接地し
たことを特徴とする請求項１５記載の多段弾性表面波フ
ィルタ。
【請求項１８】前記第１の段間接続電極をリアクタン
ス素子を介して接地し、第２の段間接続電極を接地した
ことを特徴とする請求項１５記載の多段弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項１９】前記第２の弾性表面波共振器は、前記
第１及び第３の弾性表面波共振器と実質上同一形状の、
ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備した構造であり、
前記ＩＤＴ電極が接地されていることを特徴とする請求
項１１から１３の何れか一つに記載の弾性表面波フィル
タ。
【請求項２０】前記第２の弾性表面波共振器は、前記
第１及び第３の弾性表面波共振器と実質上同一形状の、
ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備した構造であり、
前記ＩＤＴ電極が接地されていることを特徴とする請求
項１４から１８の何れか一つに記載の多段弾性表面波フ
ィルタ。
【請求項２１】弾性表面波を励起させるための第１の
電極の両側に反射器電極を有する第１の弾性表面波共振
器と第３の電極の両側に反射器電極を有する第３の弾性
表面波共振器とが、それぞれの前記弾性表面波の伝搬方
向が互いに平行となる位置に配置された、圧電基板上の
弾性表面波フィルタであって、前記第１の電極に含まれる第１のバスバー電極と、前記
第３の電極に含まれる第３のバスバー電極とは、互いに
分離され対向配置されており、前記対向する第１のバスバー電極と第３のバスバー電極
との間に、複数のストリップライン電極と、それら複数
のストリップライン電極の両端部の内、一方の端部同士
を接続する電極と、他方の端部同士を接続する電極とを
有する第２の弾性表面波共振器が形成されており、前記第２の弾性表面波共振器に対して、前記第１の弾性
表面波共振器、及び前記第３の弾性表面波共振器が、そ
れぞれ近接配置され、音響結合されており、前記第１のバスバー電極上の少なくとも２箇所から引き
出された引出し電極同士の電気的接続を利用して構成さ
れた、平衡型入力端子の内の一方の入力端子と、前記第３のバスバー電極上の少なくとも２箇所から引き
出された引出し電極同士の電気的接続を利用して構成さ
れた、平衡型出力端子の内の一方の出力端子とを備えて
バランス動作をすることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。
【請求項２２】インタディジタルトランスデューサ電
極としてのＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備した第
１及び第３の弾性表面波共振器が、圧電基板上に、それ
ぞれの弾性表面波の伝搬方向が互いに平行となる位置に
形成されており、前記第１及び第３の弾性表面波共振器
の間に、複数本のストリップライン電極が前記第１及び
第３の弾性表面波共振器と同一の電極周期で並行に配置
され、前記複数本のストリップライン電極がバスバー電
極によって互いに接続された周期構造状電極列を有する
第２の弾性表面波共振器が形成されており、前記第１及
び第３の弾性表面波共振器と前記第２の弾性表面波共振
器とは近接配置されて音響結合されており、前記弾性表
面波共振器間の隣接するバスバー電極は電気的に分離さ
れていると共に、前記第２の弾性表面波共振器の周期構
造電極を全て接地した弾性表面波フィルタであって、前記第１及び第３の弾性表面波共振器を構成する前記Ｉ
ＤＴ電極の電極指交差幅をＷ１とし、前記第２の弾性表
面波共振器を構成する前記周期構造状電極列のストリッ
プライン長をＷ２とした場合、前記Ｗ１とＷ２の相対寸
法が１≦Ｗ２／Ｗ１に設定されていることを特徴とする
弾性表面波フィルタ。
【請求項２３】インタディジタルトランスデューサ電
極としてのＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備した第
１、第２及び第３の弾性表面波共振器が、圧電基板上
に、それぞれの弾性表面波の伝搬方向が互いに平行とな
る位置に近接配置して音響結合させ、前記弾性表面波共
振器間の隣接するバスバー電極は電気的に分離されてい
ると共に、前記第１及び第３の間に設けられた前記第２
の弾性表面波共振器の前記ＩＤＴ電極を全て接地した弾
性表面波フィルタであって、前記第１及び第３の弾性表面波共振器を構成する前記Ｉ
ＤＴ電極の電極指交差幅をＷ１とし、前記第２の弾性表
面波共振器の前記ＩＤＴ電極の電極指交差幅をＷ２とし
た場合、前記Ｗ１とＷ２の相対寸法が１≦Ｗ２／Ｗ１に
設定されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項２４】Ｗ１とＷ２の相対寸法が１≦Ｗ２／Ｗ
１≦１．３に設定されたことを特徴とする請求項２２ま
たは２３記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２５】請求項２２または２３記載の弾性表面
波フィルタが、圧電基板上に形成された第１及び第２の
段間接続電極パターンによって複数個縦続接続されたこ
とを特徴とする多段弾性表面波フィルタ。
【請求項２６】第１及び第２の段間接続電極パターン
のうち、一方が直接接地され、他方がリアクタンス素子
を介して接地されたことを特徴とする請求項２５記載の
多段弾性表面波フィルタ。
【請求項２７】前段の前記弾性表面波フィルタの第１
の弾性表面波共振器電極が平衡型入力端子に接続され、
後段の前記弾性表面波フィルタの第３の弾性表面波共振
器電極が平衡型出力端子に接続されていることを特徴と
する請求項２５記載の多段弾性表面波フィルタ。
【請求項２８】インタディジタルトランスデューサ電
極としてのＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備した弾
性表面波共振器を、それぞれの弾性表面波の伝搬方向が
互いに平行となる位置に少なくとも２個近接配置して音
響結合させた、圧電基板上の弾性表面波フィルタであっ
て、少なくとも１個の前記ＩＤＴ電極に含まれる複数の電極
指の内、隣接する少なくとも一対の電極指が逆相関係に
あり、かつ前記複数の電極指は、それぞれの電荷が互い
に打ち消し合わないように接続されていることを特徴と
する弾性表面波フィルタ。
【請求項２９】前記ＩＤＴ電極は、内側のバスバー電
極と外側のバスバー電極を有し、前記一対の電極指が逆相関係にあるとは、（１）その一
対の電極指間のピッチが（ｍ＋１／２）ｘλであり（こ
こで、ｍ＝０，１，２，３，・・・、λは励起された弾
性表面波の波長である）、且つ、それらの電極指の何れ
もが、前記内側のバスバー電極と接続されているか、又
は、（２）その一対の電極指間のピッチが（ｍ＋１／
２）ｘλであり、且つ、前記外側のバスバー電極と接続
されているか、又は、（３）その一対の電極指間のピッ
チが（ｍ＋１）ｘλであり、且つ、それらの電極指の
内、一方の電極指が前記内側のバスバー電極と接続され
ており、且つ、他方の電極指が前記外側のバスバー電極
と接続されている関係にあることであることを特徴とす
る請求項２８記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３０】前記少なくとも１個のＩＤＴ電極は、
第１、第２、および第３の分割ＩＤＴ電極により構成さ
れており、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第２の分割ＩＤＴ電極
とが隣接する部位の一対の電極指は前記逆相関係にあ
り、且つ、前記第２の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割
ＩＤＴ電極とが隣接する部位の一対の電極指は同相関係
にあり、更に、前記第１の分割ＩＤＴ電極の外側のバス
バー電極と前記第２の分割ＩＤＴ電極の内側のバスバー
電極とが接続され、且つ前記第２の分割ＩＤＴ電極の外
側のバスバー電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の外側の
バスバー電極とが接続されていることを特徴とする請求
項２８記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３１】前記第１、第２及び第３の分割ＩＤＴ
電極は、前記少なくとも１個のＩＤＴ電極が有するバス
バー電極の分かれ目を基準としてグループ分けされてお
り、前記一対の電極指が同相関係にあるとは、（１）その一
対の電極指間のピッチが（ｍ＋１／２）ｘλであり（こ
こで、ｍ＝０，１，２，３，・・・、λは励起された弾
性表面波の波長である）、且つ、それらの電極指の内、
一方の電極指が前記内側のバスバー電極と接続されてお
り、且つ、他方の電極指が前記外側のバスバー電極と接
続されている関係にあるか、又は、（２）その一対の電
極指間のピッチが（ｍ＋１）ｘλであり、且つ、それら
の電極指の何れもが、前記内側のバスバー電極と接続さ
れているか、又は、（３）その一対の電極指間のピッチ
が（ｍ＋１）ｘλであり、且つ、前記外側のバスバー電
極と接続されている関係にあることであることを特徴と
する請求項３０記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３２】前記少なくとも１個のＩＤＴ電極は、
第１、第２、および第３の分割ＩＤＴ電極により構成さ
れており、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第２の分割ＩＤＴ電極
とが隣接する部位の一対の電極指は前記逆相関係にあ
り、且つ、前記第２の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割
ＩＤＴ電極とが隣接する部位の一対の電極指は同相関係
にあり、更に、前記第１の分割ＩＤＴ電極の内側のバス
バー電極と前記第２の分割ＩＤＴ電極の外側のバスバー
電極とが接続され、且つ前記第２の分割ＩＤＴ電極の内
側のバスバー電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の内側の
バスバー電極とが接続されていることを特徴とする請求
項２８記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３３】インタディジタルトランスデューサ電
極としてのＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備した弾
性表面波共振器を、それぞれの弾性表面波の伝搬方向が
互いに平行となる位置に少なくとも２個近接配置して音
響結合させた、圧電基板上の弾性表面波フィルタであっ
て、少なくとも１個の前記ＩＤＴ電極に含まれる複数の電極
指における、何れの隣接する一対の電極指も同相関係に
あり、かつ前記複数の電極指は、それぞれの電荷が互い
に打ち消し合わないように接続されており、前記少なくとも１個のＩＤＴ電極は、第１、第２、およ
び第３の分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記第１の分割ＩＤＴ電極の内側のバスバー電極と前記
第２の分割ＩＤＴ電極の内側のバスバー電極とが接続さ
れ、且つ前記第２の分割ＩＤＴ電極の外側のバスバー電
極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の外側のバスバー電極と
が接続されていることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。
【請求項３４】前記一対の電極指が同相関係にあると
は、（１）その一対の電極指間のピッチが（ｍ＋１／
２）ｘλであり（ここで、ｍ＝０，１，２，３，・・
・、λは励起された弾性表面波の波長である）、且つ、
それらの電極指の内、一方の電極指が前記内側のバスバ
ー電極と接続されており、且つ、他方の電極指が前記外
側のバスバー電極と接続されている関係にあるか、又
は、（２）その一対の電極指間のピッチが（ｍ＋１）ｘ
λであり、且つ、それらの電極指の何れもが、前記内側
のバスバー電極と接続されているか、又は、（３）その
一対の電極指間のピッチが（ｍ＋１）ｘλであり、且
つ、前記外側のバスバー電極と接続されている関係にあ
ることであることを特徴とする請求項３３記載の弾性表
面波フィルタ。
【請求項３５】前記分割ＩＤＴ電極により構成される
ＩＤＴ電極の電気端子が平衡型となっていることを特徴
とする請求項３０〜３３の何れか一つに記載の弾性表面
波フィルタ。
【請求項３６】前記第２の分割ＩＤＴ電極の前記内側
の電極と前記外側の電極をそれぞれ平衡型の正と負の電
気端子に接続し、前記第１および前記第３の分割ＩＤＴ
電極における、前記正と負の電気端子のいずれにも接続
されていない方の電極を接地することを特徴とする請求
項３０〜３３の何れか一つに記載の弾性表面波フィル
タ。
【請求項３７】前記分割ＩＤＴ電極の分割比を変える
ことにより、前記ＩＤＴ電極の総容量を可変とし、入出
力のインピーダンスを制御することを特徴とする請求項
２８記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３８】ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備
した弾性表面波共振器を、それぞれの弾性表面波の伝搬
方向が互いに平行となる位置に２個近接配置して音響結
合させた弾性表面波フィルタが複数段、段間接続電極パ
ターンによって縦続接続された、圧電基板上の多段弾性
表面波フィルタであって、前記多段弾性表面波フィルタの最上段と最下段のＩＤＴ
電極の少なくとも一方のＩＤＴ電極に含まれる複数の電
極指の内、隣接する少なくとも一対の電極指が逆相関係
にあり、かつ前記複数の電極指は、それぞれの電荷が互
いに打ち消し合わないように接続されていることを特徴
とする多段弾性表面波フィルタ。
【請求項３９】前記少なくとも一方のＩＤＴ電極は、
第１、第２、および第３の分割ＩＤＴ電極により構成さ
れており、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第２の分割ＩＤＴ電極
とが隣接する部位の一対の電極指は前記逆相関係にあ
り、且つ、前記第２の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割
ＩＤＴ電極とが隣接する部位の一対の電極指は同相関係
にあり、更に、前記第１の分割ＩＤＴ電極の外側のバス
バー電極と前記第２の分割ＩＤＴ電極の内側のバスバー
電極とが接続され、且つ前記第２の分割ＩＤＴ電極の外
側のバスバー電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の外側の
バスバー電極とが接続されていることを特徴とする請求
項３８記載の多段弾性表面波フィルタ。
【請求項４０】前記少なくとも一方のＩＤＴ電極は、
第１、第２、および第３の分割ＩＤＴ電極により構成さ
れており、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第２の分割ＩＤＴ電極
とが隣接する部位の一対の電極指は前記逆相関係にあ
り、且つ、前記第２の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割
ＩＤＴ電極とが隣接する部位の一対の電極指は同相関係
にあり、更に、前記第１の分割ＩＤＴ電極の内側のバス
バー電極と前記第２の分割ＩＤＴ電極の外側のバスバー
電極とが接続され、且つ前記第２の分割ＩＤＴ電極の内
側のバスバー電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の内側の
バスバー電極とが接続されていることを特徴とする請求
項３８記載の多段弾性表面波フィルタ。
【請求項４１】ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備
した弾性表面波共振器を、それぞれの弾性表面波の伝搬
方向が互いに平行となる位置に２個近接配置して音響結
合させた弾性表面波フィルタが複数段、段間接続電極パ
ターンによって縦続接続された、圧電基板上の多段弾性
表面波フィルタであって、前記多段弾性表面波フィルタの最上段と最下段のＩＤＴ
電極の少なくとも一方のＩＤＴ電極に含まれる複数の複
数の電極指における、何れの隣接する一対の電極指も同
相関係にあり、かつ前記複数の電極指は、それぞれの電
荷が互いに打ち消し合わないように接続されており、前記少なくとも一方のＩＤＴ電極は、第１、第２、およ
び第３の分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記第１の分割ＩＤＴ電極の内側のバスバー電極と前記
第２の分割ＩＤＴ電極の内側のバスバー電極とが接続さ
れ、且つ前記第２の分割ＩＤＴ電極の外側のバスバー電
極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の外側のバスバー電極と
が接続されていることを特徴とする多段弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項４２】前記分割ＩＤＴ電極により構成される
ＩＤＴ電極の電気端子が平衡型となっていることを特徴
とする請求項３９〜４１の何れか一つに記載の多段弾性
表面波フィルタ。
【請求項４３】前記第２の分割ＩＤＴ電極の前記内側
の電極と前記外側の電極をそれぞれ平衡型の正と負の電
気端子に接続し、前記第１および前記第３の分割ＩＤＴ
電極における、前記正と負の電気端子のいずれにも接続
されていない方の電極を接地することを特徴とする請求
項３９〜４１の何れか一つに記載の多段弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項４４】前記段間接続電極パターンが複数設け
られており、それらの一方を接地し、他方をリアクタン
ス素子を介して接地したことを特徴とする請求項４２又
は４３に記載の多段弾性表面波フィルタ。
【請求項４５】圧電基板上に、ＩＤＴ電極の両側に反
射器電極を具備した弾性表面波共振器を、それぞれの弾
性表面波の伝搬方向が互いに平行となる位置に３個近接
配置して音響結合させた弾性表面波フィルタであって、前記３個の弾性表面波共振器の内、中央に配置された前
記弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極を全て電気的
に接地すると共に、外側に配置された前記弾性表面波共
振器を構成するＩＤＴ電極を電気的に独立させ、更に、
前記外側に配置された弾性表面波共振器の少なくとも一
方の弾性表面波共振器のＩＤＴ電極に含まれる複数の電
極指の内、隣接する少なくとも一対の電極指が逆相関係
にあり、かつ前記複数の電極指は、それぞれの電荷が互
いに打ち消し合わないように接続されていることを特徴
とする弾性表面波フィルタ。
【請求項４６】請求項４５に記載の弾性表面波フィル
タが複数段、圧電基板上に形成された複数の段間接続電
極パターンによって縦続接続されていることを特徴とす
る多段弾性表面波フィルタ。