JPH10260526A - Black photosensitive resin composition - Google Patents

Black photosensitive resin composition

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JPH10260526A
JPH10260526A JP6501297A JP6501297A JPH10260526A JP H10260526 A JPH10260526 A JP H10260526A JP 6501297 A JP6501297 A JP 6501297A JP 6501297 A JP6501297 A JP 6501297A JP H10260526 A JPH10260526 A JP H10260526A
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black
weight
photosensitive resin
resin composition
black photosensitive
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Yasuhiro Shima
康裕 島
Takao Taguchi
貴雄 田口
Akira Tamura
章 田村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a black photosensitive resin composition having sufficient density for shielding light, capable of forming a black matrix low in reflectance and enhanced in adhesion between the black matrix and a glass plate by adding a polymer compound having specified alkyl groups on the side chains to a resin type material. SOLUTION: This black photosensitive resin composition comprises the 20-45 weight% resin type material, a 5-20 weight% cross-linking agent, 2-15 weight% acid-photo-generator, an a 20-60 weight% black pigment. The polymer compound having the 3-12C alkyl groups on the side chains is added to the resin type material in an amount of 5-80 weight%. As the resin type material, a polymer material having OH groups capable of becoming cross-linking points and soluble in an aqueous solution of alkali is preferable, and if the C number of the alkyl groups on the side chains is <=2, adhesion is made insufficient and undesirable and if >=13, flexibility is made unfavorably low.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は黒色の感光性樹脂組
成物に関するもので、特に、液晶ディスプレイ等に用い
るカラーフィルタのブラックマトリクスに用いられるも
のに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a black photosensitive resin composition, and more particularly to a black resin composition used for a black matrix of a color filter used for a liquid crystal display or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、カラーフィルタを液晶パネル
化した際に、パネル外周部からのバックライト光の漏れ
を防止するのに、カラーフィルタパターンの外周部に黒
色感光性樹脂を用いて2〜5mm程度の額縁状のパター
ンを形成している。さらに、この額縁状のパターンにエ
ポキシ系接着剤を塗布し対向基板との接着を行ってい
る。しかし、この黒色樹脂とガラス基板との密着性が弱
いために、ガラス界面から黒色樹脂が剥離してしまうこ
とがあった。
2. Description of the Related Art Conventionally, when a color filter is formed into a liquid crystal panel, a black photosensitive resin is used on the outer periphery of the color filter pattern to prevent leakage of backlight light from the outer periphery of the panel. A frame-like pattern of about 5 mm is formed. Further, an epoxy-based adhesive is applied to the frame-shaped pattern to bond it to the counter substrate. However, since the adhesion between the black resin and the glass substrate is weak, the black resin may be separated from the glass interface.

【0003】また、液晶ディスプレイ装置等において広
く用いられているカラーフィルタは赤、緑、青等の複数
色画素を透明基板上に配列したものであるが、そのコン
トラストを高めるために、これらの画素間に黒色のブラ
ックマトリクスを形成することが行なわれている。ま
た、このブラックマトリクスは、TFT駆動方式の液晶
表示に用いられるトランジスターの誤動作を防ぐ目的で
も使用される。
A color filter widely used in a liquid crystal display device or the like has a plurality of pixels of a plurality of colors such as red, green, and blue arranged on a transparent substrate. A black matrix is formed therebetween. The black matrix is also used for the purpose of preventing a malfunction of a transistor used for a TFT-driven liquid crystal display.

【0004】通常、上記ブラックマトリクスはガラス基
板上に微細パターンからなる金属薄膜で形成される場合
が多い。例えば、クロム、ニッケル、アルミニウム等の
金属あるいは金属化合物を蒸着法、スパッタ法等の真空
成膜法等で薄膜を形成し、これをフォトリソグラフィ法
で、微細パターンを形成する方法が一般的である。より
具体的には、金属等の薄膜上にフォトレジストを塗布、
乾燥し、フォトマスクを介して紫外線を照射し、現像す
ることによりレジストパターンを形成後、エッチング工
程、レジスト剥離工程を経て、ブラックマトリクスを形
成する。しかしながら、上記工程にて製造されたブラッ
クマトリクスはその工程の複雑さから製造コストが非常
に高く、また、これを用いるカラーフィルタのコストも
高くなるという問題点がある。また、金属薄膜として一
般的に使用されている金属(例えば、クロム薄膜)の表
面は反射率が高いので、透過型の液晶ディスプレイに、
この金属薄膜を用いたカラーフィルタを搭載した場合、
強い外光がカラーフィルタに入射したときに、表示品位
が著しく低下する問題点がある。
Usually, the above-mentioned black matrix is often formed of a metal thin film having a fine pattern on a glass substrate. For example, a general method is to form a thin film of a metal or a metal compound such as chromium, nickel, or aluminum by a vacuum film forming method such as an evaporation method or a sputtering method, and then form a fine pattern by a photolithography method. . More specifically, a photoresist is applied on a thin film of metal or the like,
After drying, irradiation with ultraviolet rays through a photomask and development are performed to form a resist pattern, and then a black matrix is formed through an etching step and a resist peeling step. However, the manufacturing cost of the black matrix manufactured in the above process is very high due to the complexity of the process, and the cost of the color filter using the black matrix is also high. In addition, since the surface of a metal generally used as a metal thin film (for example, a chromium thin film) has a high reflectance, a liquid crystal display of a transmission type has
When a color filter using this metal thin film is mounted,
When strong external light is incident on the color filter, there is a problem that the display quality is significantly reduced.

【0005】そこで、このような金属薄膜を用いたブラ
ックマトリクスの問題点を改善すべく、種々の方法が検
討されている。例えば、感光性樹脂組成物に黒色顔料と
必要に応じて有機顔料を分散し、これを用いてブラック
マトリクスを形成する方法が提案されている。この黒色
感光性樹脂組成物を使用するものであれば、表面の反射
率は低いので、表示品位が著しく低下することはなく、
また製造プロセスの簡略化を図ることができるので、コ
ストを削減することができる。しかし、黒色顔料のみで
十分な遮光性を得るためには、約1μm以上の厚い膜厚
を必要とし、その為、位置合わせのマージンである複数
色画素との重なりの部分に、所謂つの状の突起が生じ、
表示ムラの原因になっていた。
Therefore, various methods have been studied in order to improve the problem of the black matrix using such a metal thin film. For example, there has been proposed a method of dispersing a black pigment and an organic pigment as needed in a photosensitive resin composition, and forming a black matrix using the dispersion. If the black photosensitive resin composition is used, since the reflectance of the surface is low, the display quality is not significantly reduced,
In addition, since the manufacturing process can be simplified, costs can be reduced. However, in order to obtain a sufficient light-shielding property only with a black pigment, a thick film thickness of about 1 μm or more is required. Therefore, a so-called one-shape is formed in an overlapping portion with a plurality of color pixels which is a margin for alignment. Protrusions occur,
This caused display unevenness.

【0006】そこで、特開平6−59119号公報に
は、黒色感光性の樹脂層を複数色画素上及び間隙に設け
た後、複数色画素をマスクとして、基板側から全面露光
することにより複数色画素の間隙にのみ選択的にブラッ
クマトリクスを設ける方法および材料が提案されてい
る。このいわゆる裏露光法を用いると、つの状の突起が
生じないという利点がある。
Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 6-59119 discloses a method in which a black photosensitive resin layer is provided on a plurality of color pixels and in a gap, and then the entire color is exposed from the substrate side using the plurality of color pixels as a mask. Methods and materials for selectively providing a black matrix only in the gap between pixels have been proposed. When this so-called back exposure method is used, there is an advantage that a single protrusion does not occur.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、黒色ブ
ラックマトリクスの膜厚を十分なものとし、かつ、複数
色画素上に黒色層が残らないようにするためには、マス
クとして用いる複数色画素に、黒色感光性樹脂組成物の
感光波長域での十分に高い遮光性が必要であった。特
に、黒色感光性樹脂においては、その感光特性曲線が比
較的なだらかでγ値が小さいために、十分な膜厚を得る
ためには十分に大きな露光量(約150〜200mJ/
cm2)が必要であり、その分、複数色画素にはより高い
遮光性が必要とされる。そのため、マスクとなる複数色
画素中に酸化チタン、酸化亜鉛、ベンゾトリアゾール系
化合物、クマリン系化合物等の紫外線吸収剤や蛍光増白
剤を添加しなければならなかった。しかし、このような
紫外線吸収剤の添加は、複数色画素のカラーフィルタと
しての光学特性、即ち透明性およびコントラスト比を損
ねてしまうという問題があった。
However, in order to make the thickness of the black black matrix sufficient and to prevent the black layer from remaining on the multi-color pixels, the multi-color pixels used as the mask must be A sufficiently high light-shielding property in the photosensitive wavelength region of the black photosensitive resin composition was required. In particular, in the case of a black photosensitive resin, the photosensitive characteristic curve is relatively gentle and the γ value is small, so that a sufficiently large exposure amount (about 150 to 200 mJ /
cm 2 ), and accordingly, a higher light-shielding property is required for the multi-color pixels. Therefore, an ultraviolet absorber or a fluorescent whitening agent such as titanium oxide, zinc oxide, a benzotriazole-based compound, or a coumarin-based compound must be added to the multi-color pixels serving as a mask. However, there is a problem that the addition of such an ultraviolet absorber impairs the optical characteristics of the color filter of the plurality of color pixels, that is, the transparency and the contrast ratio.

【0008】また、黒色感光性樹脂組成物は、その中に
含有されている光重合開始剤が紫外線照射によって発生
するラジカルに起因して架橋するものであるが、黒色顔
料がそのラジカルを捕捉してしまう性質を有するため、
光重合が阻害され、経済的な露光量では架橋反応が不十
分となりやすく、現像時にパターンが剥離することがあ
り、良好な画素形成が困難である等の問題点があった。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
ので、光を遮断するのに充分な濃度をもち、反射率が低
いブラックマトリクスを形成でき、且つ、ブラックマト
リクスとガラス基板との密着性を向上させ膜強度の高い
カラーフィルタを作製することのできる黒色感光性樹脂
組成物を提供することにある。
Further, in the black photosensitive resin composition, the photopolymerization initiator contained therein crosslinks due to radicals generated by ultraviolet irradiation, and the black pigment captures the radicals. Has the property of
Photopolymerization is hindered, and the crosslinking reaction tends to be insufficient at an economical exposure dose, and the pattern may peel off during development, making it difficult to form a good pixel.
The present invention has been made to solve such a problem, and has a sufficient density to block light, can form a black matrix having a low reflectance, and can adhere to a black matrix and a glass substrate. An object of the present invention is to provide a black photosensitive resin composition capable of producing a color filter having high film strength and improved film strength.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の黒色感光性樹脂
組成物は、樹脂系材料20〜45重量%、架橋剤5〜2
0重量%、光酸発生剤2〜15重量%、黒色顔料20〜
60重量%を含有する黒色感光性樹脂組成物において、
前記樹脂系材料に対して、炭素数が3〜12のアルキル
基を側鎖に持つ高分子化合物が5〜80重量%添加され
ていることを特徴とするものである。さらに、その樹脂
系材料としては、架橋点となり得るOH基を含有し、か
つ、アルカリ水溶液可溶性である高分子化合物が好まし
い。
The black photosensitive resin composition of the present invention comprises 20 to 45% by weight of a resinous material and 5 to 2% of a crosslinking agent.
0% by weight, 2 to 15% by weight of photoacid generator, 20 to black pigment
In a black photosensitive resin composition containing 60% by weight,
A polymer compound having an alkyl group having 3 to 12 carbon atoms in a side chain is added to the resin-based material in an amount of 5 to 80% by weight. Further, as the resin-based material, a polymer compound containing an OH group that can be a cross-linking point and soluble in an aqueous alkali solution is preferable.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】ブラックマトリクスに使用され得
る本発明の黒色感光性樹脂組成物は、樹脂系材料と、炭
素数3〜12のアルキル基を側鎖に持つ高分子化合物
と、架橋剤と、光酸発生剤と、黒色顔料とを含有して構
成される。樹脂系材料については、架橋点となりうるO
H基を含有しかつアルカリ性水溶液可溶性である高分子
化合物が適用される。樹脂系材料としては、フェノール
ノボラック、p−ヒドロキシスチレンに代表されるフェ
ノール類、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリ
ル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸、メタクリル
酸、マレイン酸、フマル酸等のOH基を含むモノマーの
ホモポリマーあるいは共重合体が用いられる。共重合に
使用できる他のモノマーとしては、スチレン、フェニル
マレイミド、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、ア
クリル酸ブチル、アクリル酸ベンジル、メタクリル酸メ
チル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタ
クリル酸ベンジルなどが挙げられる。露光により発生し
た酸の存在下での加熱処理において、架橋剤のN−メチ
ロール構造の部分と、OH基構造の部分とが脱水架橋反
応を起こす。その結果、樹脂どうしの架橋により架橋密
度が向上し、形成されたパターンの耐薬品性が大幅に向
上する。これらの樹脂系材料は20〜45重量%、より
好ましくは25〜35重量%の範囲内で使用される。少
なすぎると、感光機能が劣化すること、カーボンの凝集
によりパターン形状が劣化すること、膜強度や密着性が
不足するなどの問題が生じ、多過ぎると遮光性が不足す
るからである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The black photosensitive resin composition of the present invention which can be used for a black matrix comprises a resin material, a polymer compound having an alkyl group having 3 to 12 carbon atoms in a side chain, and a crosslinking agent. , A photoacid generator and a black pigment. For resin-based materials, O
A polymer compound containing an H group and soluble in an aqueous alkaline solution is applied. As the resin-based material, phenols such as phenol novolak and p-hydroxystyrene, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, OH groups such as acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, and fumaric acid are used. A homopolymer or a copolymer of the contained monomers is used. Other monomers that can be used for copolymerization include styrene, phenylmaleimide, methyl acrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate, benzyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, benzyl methacrylate, and the like. Can be In the heat treatment in the presence of the acid generated by the exposure, a dehydration crosslinking reaction occurs between the portion of the crosslinking agent having the N-methylol structure and the portion having the OH group structure. As a result, the crosslink density between the resins is increased by the crosslinking between the resins, and the chemical resistance of the formed pattern is significantly improved. These resin materials are used in the range of 20 to 45% by weight, more preferably 25 to 35% by weight. If the amount is too small, problems such as deterioration of the photosensitive function, deterioration of the pattern shape due to the aggregation of carbon, and insufficient film strength and adhesion may occur.

【0011】本発明においては、炭素数3〜12のアル
キル基を側鎖に持つ高分子化合物が必須である。そのよ
うな高分子化合物としては、イソブチルアクリレート、
t−ブチルアクリレート、ラウリルアクリレート、シク
ロヘキシルアクリレート、ベンジルアクリレート、2−
エチルヘキシルアクリレート、ブトキシトリエチレング
リコールアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレ
ートなどが挙げられる。側鎖のアルキル基の炭素数は3
〜12であり、より好ましくは炭素数4〜8である。炭
素数が2以下であると密着性が不十分となって好ましく
なく、13以上であると、柔軟性が低下して好ましくな
い。また、このアルキル基を側鎖に持つ高分子化合物
は、上述した樹脂系材料に対して、5〜80重量%より
好ましくは10〜30重量%の範囲内で使用される。少
なすぎると、ブラックマトリクス自体の柔軟性が得られ
ず密着性が不十分となり、多すぎると柔軟性が増大しす
ぎてアルカリ現像時に剥離してしまうからである。
In the present invention, a high molecular compound having an alkyl group having 3 to 12 carbon atoms in a side chain is essential. Such high molecular compounds include isobutyl acrylate,
t-butyl acrylate, lauryl acrylate, cyclohexyl acrylate, benzyl acrylate, 2-
Examples include ethylhexyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, and 2-ethylhexyl methacrylate. The carbon number of the side chain alkyl group is 3
To 12, more preferably 4 to 8 carbon atoms. When the number of carbon atoms is 2 or less, the adhesion becomes insufficient, which is not preferable. When it is 13 or more, the flexibility is lowered, which is not preferable. The polymer compound having the alkyl group in the side chain is used in an amount of 5 to 80% by weight, preferably 10 to 30% by weight, based on the resin material described above. If the amount is too small, the flexibility of the black matrix itself cannot be obtained and the adhesion becomes insufficient. If the amount is too large, the flexibility increases too much and peels off during alkali development.

【0012】架橋剤としては、メチロール化尿素、尿素
樹脂、メチロール化メラミン、ブチロール化メラミン、
メチロール化グアナミンあるいはこれらの化合物のアル
キルエーテルを用いることが可能である。熱安定性が優
れている点からアルキルエーテル化物がより好ましい。
このアルキルエーテルのアルキル基としては炭素数1〜
5のアルキル基が好ましい。特に、このアルキルエーテ
ル化合物としては感度の点で優れているヘキサメチロー
ルメラミンのアルキルエーテル化物がより好ましい。ま
た、エポキシ基を2つ以上持つ化合物も用いることがで
きる。これらの架橋剤は5〜20重量%の範囲内で使用
される。少ないと感光特性に支障をきたし、多すぎると
遮光性が不足する。
Examples of the crosslinking agent include methylolated urea, urea resin, methylolated melamine, butyrolated melamine,
It is possible to use methylolated guanamine or an alkyl ether of these compounds. Alkyl ethers are more preferred because of their excellent thermal stability.
The alkyl group of the alkyl ether has 1 to 1 carbon atoms.
5 alkyl groups are preferred. In particular, as this alkyl ether compound, an alkyl ether compound of hexamethylolmelamine, which is excellent in sensitivity, is more preferable. Further, a compound having two or more epoxy groups can also be used. These crosslinking agents are used in the range of 5 to 20% by weight. If the amount is too small, the photosensitive characteristics are hindered. If the amount is too large, the light-shielding properties are insufficient.

【0013】光酸発生剤としては、光源の発光に含まれ
る波長域において吸収がありかつ、光吸収により酸を発
生するトリハロメチル基含有トリアジン誘導体またはオ
ニウム塩類が使用できる。特に高感度にする点から、ト
リハロメチル基含有トリアジン誘導体が好ましい。トリ
ハロメチル基含有トリアジン誘導体としては、2,4,6
−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−
(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビ
ス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペロ
ニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−ク
ロロフェニル)−4,6ビス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2−(4'−メトキシ−1'−ナフチル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2−(p−メチルチオフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどを挙げるこ
とができる。
As the photoacid generator, there can be used a trihalomethyl group-containing triazine derivative or an onium salt which has an absorption in a wavelength range included in light emission of a light source and generates an acid by light absorption. In particular, a trihalomethyl group-containing triazine derivative is preferable in terms of increasing sensitivity. Trihalomethyl group-containing triazine derivatives include 2,4,6
-Tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-
(P-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6bis (trichloromethyl) -s
-Triazine, 2- (4'-methoxy-1'-naphthyl)
Examples thereof include -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and 2- (p-methylthiophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine.

【0014】オニウム塩類としては、ジフェニルヨード
ニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウ
ムヘキサフルオロホスホネート、ジフェニルヨードニウ
ムヘキサフルオロアルセネート、ジフェニルヨードニウ
ムトリフルオロメタンスルホナート、ジフェニルヨード
ニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨードニウ
ム−p−トルエンスルホナート、4−メトキシフェニル
フェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、4−メ
トキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロホ
スホネート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウ
ムヘキサフルオロアルセネート、4−メトキシフェニル
フェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナー
ト、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフ
ルオロアセテート、4−メトキシフェニルヨードニウム
−p−トルエンスルホナート、ビス(4−tert−ブチル
フェニル)ヨードニウムテトラフルオロボレート、ビス
(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフル
オロホスホネート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)
ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(4−
tert−ブチルフェニル)ヨードニウムトリフルオロメタ
ンスルホナート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨ
ードニウムトリフルオロアセテート、ビス(4−tert−
ブチルフェニル)ヨードニウム−p−トルエンスルホナ
ート等のジアリールヨードニウム塩、トリフェニルスル
ホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホ
ニウムヘキサフルオロホスホネート、トリフェニルスル
ホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルス
ルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェ
ニルスルホニウムトリフルオロアセテート、トリフェニ
ルスルホニウム−p−トルエンスルホナート、4−メト
キシフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボ
レート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム
ヘキサフルオロホスホネート、4−メトキシフェニルジ
フェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、4
−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオ
ロメタンスルホナート、4−メトキシフェニルジフェニ
ルスルホニウムトリフルオロアセテート、4−メトキシ
フェニルジフェニルスルホニウム−p−トリエンスルホ
ナート、4−フェニルチオフェニルジフェニルテトラフ
ルオロボレート、4−フェニルチオフェニルジフェニル
ヘキサフルオロホスホネート、4−フェニルチオフェニ
ルジフェニルヘキサフルオロアルセネート、4−フェニ
ルチオフェニルジフェニルトリフルオロメタンスルホナ
ート、4−フェニルチオフェニルジフェニルトリフルオ
ロアセテート、4−フェニルチオフェニルジフェニル−
p−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシナフチルス
ルホニウムトリフルオロメタンスルホナート等のトリア
ールスルホニウム塩等が挙げられる。
Examples of the onium salts include diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium hexafluorophosphonate, diphenyliodonium hexafluoroarsenate, diphenyliodonium trifluoromethanesulfonate, diphenyliodonium trifluoroacetate, diphenyliodonium-p-toluenesulfonate, -Methoxyphenylphenyliodonium tetrafluoroborate, 4-methoxyphenylphenyliodonium hexafluorophosphonate, 4-methoxyphenylphenyliodonium hexafluoroarsenate, 4-methoxyphenylphenyliodonium trifluoromethanesulfonate, 4-methoxyphenylphenyliodonium trifluoroacetate , - methoxyphenyl iodonium -p- toluenesulfonate, bis (4-tert- butylphenyl) iodonium tetrafluoroborate, bis (4-tert- butylphenyl) iodonium hexafluorophosphonate, bis (4-tert- butylphenyl)
Iodonium hexafluoroarsenate, bis (4-
tert-butylphenyl) iodonium trifluoromethanesulfonate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium trifluoroacetate, bis (4-tert-
Butylphenyl) diaryliodonium salts such as iodonium-p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium hexafluorophosphonate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate, triphenylsulfonium triphenyl Fluoroacetate, triphenylsulfonium-p-toluenesulfonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium tetrafluoroborate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium hexafluorophosphonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium hexafluoroarsenate, 4
-Methoxyphenyldiphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium trifluoroacetate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium-p-trienesulfonate, 4-phenylthiophenyldiphenyltetrafluoroborate, 4-phenylthiophenyldiphenylhexa Fluorophosphonate, 4-phenylthiophenyldiphenylhexafluoroarsenate, 4-phenylthiophenyldiphenyltrifluoromethanesulfonate, 4-phenylthiophenyldiphenyltrifluoroacetate, 4-phenylthiophenyldiphenyl-
Trial sulfonium salts such as p-toluene sulfonate and 4-hydroxynaphthyl sulfonium trifluoromethane sulfonate are exemplified.

【0015】これらの光酸発生剤は2〜15重量%の範
囲内で使用される。15重量%を越えて添加した場合
は、酸発生量が多すぎパターン露光後の加熱によって未
露光部にも酸が拡散し架橋反応を起こし、解像性が低下
してしまう原因となる。また、添加量が2重量%より少
ない場合においては、酸発生量が乏しく、架橋反応が十
分進行せず、パターンが形成できない。
These photoacid generators are used in the range of 2 to 15% by weight. If added in excess of 15% by weight, the amount of acid generated is too large and the acid diffuses into unexposed areas due to heating after pattern exposure, causing a cross-linking reaction and causing a reduction in resolution. On the other hand, when the amount is less than 2% by weight, the amount of generated acid is insufficient, the crosslinking reaction does not proceed sufficiently, and a pattern cannot be formed.

【0016】黒色顔料としては、カーボンブラック、酸
化チタン、鉄黒、アニリンブラック、有機顔料の混合品
が使用可能であり、必要に応じて顔料の分散性を向上さ
せるため分散媒としてアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂
等を加えることも可能である。また、分散剤として高分
子系分散剤や有機色素の誘導体等を加えてもよい。更に
高分子化合物によりグラフト化されたポリマーグラフト
化カーボンブラックを用いてもよい。これらの黒色顔料
は20〜60重量%、好ましくは40〜50重量%の範
囲内で使用される。少なすぎると充分な遮光性を得るこ
とが出来ず、多すぎると感光性樹脂としての機能を保持
することが出来ない。
As the black pigment, a mixture of carbon black, titanium oxide, iron black, aniline black and an organic pigment can be used. If necessary, an acrylic resin as a dispersion medium for improving the dispersibility of the pigment, It is also possible to add an epoxy resin or the like. Further, a polymer dispersant, a derivative of an organic dye, or the like may be added as a dispersant. Further, a polymer-grafted carbon black grafted with a polymer compound may be used. These black pigments are used in the range of 20 to 60% by weight, preferably 40 to 50% by weight. If the amount is too small, sufficient light-shielding properties cannot be obtained, and if it is too large, the function as a photosensitive resin cannot be maintained.

【0017】本発明の黒色感光性樹脂組成物は、これら
の材料を、2本ロールミル、3本ロールミル、サンドミ
ル、ペイントコンディショナー等の分散機を用いて混練
することで得られる。更に分散時の作業性を向上させる
ため希釈溶剤として、エチルセロソルブ、エチルセロソ
ルブアセテート、ブチルセロソルブ、ブチルセロソルブ
アセテート、エチルカルビトール、エチルカルビトール
アセテート、ジエチレングリコール、シクロヘキサノ
ン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エ
ステル類等の有機溶剤を用いてもよい。
The black photosensitive resin composition of the present invention can be obtained by kneading these materials using a disperser such as a two-roll mill, a three-roll mill, a sand mill, and a paint conditioner. As a diluting solvent to further improve the workability at the time of dispersion, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, ethyl carbitol, ethyl carbitol acetate, diethylene glycol, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, Organic solvents such as lactic acid esters may be used.

【0018】本発明の黒色感光性樹脂組成物を用いてカ
ラーフィルタのブラックマトリクスを形成する一例を説
明する。まず、図2に示すように、所定位置に所定の複
数色画素2,2,・・・の形成された透明な基板1に対し
て、その上方からスピンナー法、バーコート法、ロール
コート法、カーテンコート法等を用いて黒色感光性樹脂
組成物を均一に塗布し、各複数色画素2の間隙部4なら
びに各複数色画素2上に黒色感光性樹脂組成物からなる
黒色樹脂層3を形成する。複数色画素2の形成方法とし
ては、周知の染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等の
現在実用化されている方法を用いればよい。また、黒色
樹脂層3と透明基板1をより密着させる為に、70℃〜
100℃程度の熱を加えてもかまわない。
An example of forming a black matrix of a color filter using the black photosensitive resin composition of the present invention will be described. First, as shown in FIG. 2, a spinner method, a bar coat method, a roll coat method, The black photosensitive resin composition is uniformly applied using a curtain coating method or the like, and the black resin layer 3 made of the black photosensitive resin composition is formed on the gaps 4 between the plurality of color pixels 2 and on the plurality of color pixels 2. I do. As a method for forming the multi-color pixels 2, a method currently in practical use, such as a well-known dyeing method, a pigment dispersion method, a printing method, and an electrodeposition method may be used. Further, in order to make the black resin layer 3 and the transparent substrate 1 more closely contact each other, 70 ° C.
Heat of about 100 ° C. may be applied.

【0019】次に、透明基板1の裏面(図2の下方)か
ら紫外線を照射し露光を行い、黒色樹脂層の各複数色画
素2の間隙部4に位置する部分にのみ酸を発生させる。
露光に用いる光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯
等を用いる。黒色感光性組成物の感光波長域が400n
m以上にもある場合には、複数色画素中を通過した光に
より複数色画素上に黒色感光性樹脂が残渣として形成さ
れるので、可視光カットフィルターを通して露光するこ
とが好ましい。そして、90℃〜150℃、時間15秒
〜5分の加熱処理にて酸の触媒反応を利用して、黒色樹
脂層3の、複数色画素2の間隙部4のみに架橋反応を起
こさせる。次に、現像液を用いて、複数色画素2上の未
架橋部の黒色樹脂を除去し、図1に示すように、各複数
色画素2の間隙に黒色樹脂からなるブラックマトリクス
5が形成されたカラーフィルタが作成される。尚、ブラ
ックマトリクス5が複数色画素2よりも厚い場合には研
削処理を施せばよい。現像液には、水酸化ナトリウム、
水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無
機アルカリ溶液、トリエチルアミン等のアルキルアミン
類、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類、テ
トラメチルアンモニウムヒドロキサイド等の第4級アン
モニウム塩等が使用できる。
Next, ultraviolet light is irradiated from the back surface of the transparent substrate 1 (the lower part in FIG. 2) to perform exposure, so that acid is generated only in the portions of the black resin layer located in the gaps 4 between the plurality of color pixels 2.
As a light source used for exposure, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, or the like is used. The photosensitive wavelength range of the black photosensitive composition is 400 n
When the number is more than m, a black photosensitive resin is formed as a residue on the plurality of color pixels by light passing through the plurality of color pixels. Therefore, it is preferable to perform exposure through a visible light cut filter. Then, a crosslinking reaction is caused only in the gap portions 4 of the multi-color pixels 2 of the black resin layer 3 by using a catalytic reaction of an acid by a heat treatment at 90 ° C. to 150 ° C. for a time period of 15 seconds to 5 minutes. Next, using a developing solution, the black resin in the uncrosslinked portions on the multi-color pixels 2 is removed, and a black matrix 5 made of the black resin is formed between the multi-color pixels 2 as shown in FIG. A color filter is created. When the black matrix 5 is thicker than the multi-color pixels 2, a grinding process may be performed. Sodium hydroxide,
Inorganic alkali solutions such as potassium hydroxide, sodium carbonate and potassium carbonate, alkylamines such as triethylamine, alcoholamines such as triethanolamine, and quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide can be used.

【0020】従来の透明基板裏側からの露光方法である
と、多量の紫外線で黒色樹脂層の内部まで硬化させる必
要があったが、本発明の黒色感光性樹脂組成物である
と、感度が高く、少量の露光量によって酸が発生し架橋
硬化反応が生じるので、複数色画素の紫外域の吸収や黒
色樹脂層の光学濃度に依存することなく、少ない露光量
でブラックマトリクスを形成することが可能となる。そ
の結果、光を遮断するのに十分な黒色濃度とすることが
できる上、複数色画素に紫外線吸収剤などを添加する必
要がないので光学特性が劣化することなく、複数色画素
上の黒色樹脂を除去することができる。また、本発明の
黒色感光性樹脂組成物であると、炭素数3〜12のアル
キル基を側鎖に持つ高分子化合物が添加されていること
から、ブラックマトリクス自体の柔軟性が向上し、ガラ
ス基板との密着性が高まる。
With the conventional method of exposing from the back side of a transparent substrate, it was necessary to cure the inside of the black resin layer with a large amount of ultraviolet rays, but with the black photosensitive resin composition of the present invention, high sensitivity was obtained. Since a small amount of exposure generates an acid and a cross-linking curing reaction occurs, it is possible to form a black matrix with a small amount of exposure without depending on the absorption in the ultraviolet region of multiple color pixels and the optical density of the black resin layer. Becomes As a result, it is possible to obtain a black density sufficient to block light, and it is not necessary to add an ultraviolet absorber or the like to the multi-color pixels, so that the optical characteristics are not degraded, and the black resin on the multi-color pixels is not deteriorated. Can be removed. Further, in the case of the black photosensitive resin composition of the present invention, since the polymer compound having an alkyl group having 3 to 12 carbon atoms in the side chain is added, the flexibility of the black matrix itself is improved, and The adhesion to the substrate is increased.

【0021】[0021]

【実施例】図2に示すように、透明なガラス基板(コー
ニング社製:「7059」)1上に、常法により赤、
緑、青の各画素の着色パターンを形成した。各色の画素
にはそれぞれ「カラーモザイクCRY7000」、「カ
ラーモザイクCGY7000」、「カラーモザイクCB
V7000」フジハント社製を用いた。これらの複数色
画素の膜厚は1.5μmであった。表1に示す各成分
と、ガラスビーズを100gをガラス瓶に入れ、ペイン
トシェーカーを用いて2時間分散し、黒色感光性樹脂組
成物の分散液を調製した。
As shown in FIG. 2, on a transparent glass substrate (Corning Co., Ltd .: "7059") 1, red,
Colored patterns of green and blue pixels were formed. The pixels of each color include “color mosaic CRY7000”, “color mosaic CGY7000”, and “color mosaic CB”, respectively.
V7000 "manufactured by Fuji Hunt. The film thickness of these multi-color pixels was 1.5 μm. 100 g of each component shown in Table 1 and glass beads were put into a glass bottle, and dispersed for 2 hours using a paint shaker to prepare a dispersion of a black photosensitive resin composition.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】この黒色感光性樹脂分散液を複数色画素に
て形成された赤、緑、青の着色パターン上にスピンナー
により760rpm、5秒で塗布し、乾燥して図2に示
すような黒色樹脂層3を形成した。3kW超高圧水銀灯
により60mJ/cm2の露光量で、複数色画素2をマス
クとして透明基板1側より全面露光を行った。その後、
ホットプレートを用いて、90℃で1分間加熱を行っ
た。1.25%の水酸化ナトリウム水溶液を用いて、基
板を回転させながらシャワー噴霧する方式を用いて30
秒間現像を行い、黒色樹脂層3の、複数色画素上の未露
光部を除去した。最後にクリーンオーブン中にて230
℃で1時間加熱しカラーフィルタを得た。
This black photosensitive resin dispersion is applied on a red, green, and blue colored pattern formed of a plurality of color pixels by a spinner at 760 rpm for 5 seconds, dried, and dried to form a black resin as shown in FIG. Layer 3 was formed. The entire surface was exposed from the transparent substrate 1 side with a multi-color pixel 2 as a mask at an exposure amount of 60 mJ / cm 2 by a 3 kW ultra-high pressure mercury lamp. afterwards,
Heating was performed at 90 ° C. for 1 minute using a hot plate. Using a 1.25% aqueous solution of sodium hydroxide, the spraying is performed while rotating the substrate, and the spraying is performed.
The development was performed for seconds, and the unexposed portions on the multi-color pixels of the black resin layer 3 were removed. Finally 230 in a clean oven
C. for 1 hour to obtain a color filter.

【0024】(密着性評価)上記実施例にて作製したカ
ラーフィルタについて、120℃、100%RH、2気
圧の条件で50時間放置後、ブラックマトリクスをプレ
シャークッカー試験器を用いてJIS K5400に準じた基盤
目付着性試験方法にて密着性の評価を行った。 その結
果、ブラックマトリクスにおける剥離個数は、0/10
0であった。 〔比較例〕ポリ(2−エチルヘキシルアクリレート)を
添加しないこと以外は上記実施例と同様にして黒色感光
性樹脂組成物ないしブラックマトリクスの形成されたカ
ラーフィルタを作製し、上記同様に、密着性評価を行な
った。その結果、ブラックマトリクスにおける剥離個数
は、100/100であり、密着性を得ることが出来な
かった。
(Evaluation of Adhesion) The color filter prepared in the above example was allowed to stand at 120 ° C., 100% RH and 2 atm for 50 hours, and the black matrix was measured using a pre-shake cooker according to JIS K5400. The adhesiveness was evaluated by the test method for adhesion to a substrate. As a result, the number of strips in the black matrix is 0/10
It was 0. [Comparative Example] A color filter having a black photosensitive resin composition or a black matrix formed thereon was prepared in the same manner as in the above example except that poly (2-ethylhexyl acrylate) was not added. Was performed. As a result, the number of peelings in the black matrix was 100/100, and it was not possible to obtain adhesion.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明の黒色感光性樹脂組成物は、表面
の光反射率が高い樹脂組成物である上に、それ自体が高
感度レジストで、γ値が高いので、実用的かつ経済的レ
ベルであって複数色画素上にカブリを生じない露光量で
十分に所定パターン状のブラックマトリクスを形成でき
る。また、マスクとなる各複数色画素中に紫外線吸収剤
や蛍光増白剤等の添加剤を添加することなく、裏露光法
を適用できるので、つの状の突起を生じさせることな
く、また、透明性やコントラスト比等の光学特性の劣化
を伴うこともない。さらに、本発明の黒色感光性樹脂組
成物は柔軟性に優れているので、ガラス基板との密着性
が高く、黒色樹脂が基板から剥離しにくい。
The black photosensitive resin composition of the present invention is not only a resin composition having a high light reflectance on the surface, but also a highly sensitive resist itself and a high γ value, so that it is practical and economical. A black matrix having a predetermined pattern can be sufficiently formed at an exposure amount which is level and does not cause fogging on a plurality of color pixels. In addition, since the back exposure method can be applied without adding an additive such as an ultraviolet absorber or a fluorescent whitening agent to each of the multi-color pixels serving as a mask, no projections are formed, and There is no accompanying deterioration in optical characteristics such as performance and contrast ratio. Furthermore, since the black photosensitive resin composition of the present invention is excellent in flexibility, it has high adhesion to a glass substrate, and the black resin does not easily peel off from the substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 カラーフィルタの一例の断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of an example of a color filter.

【図2】 カラーフィルタの製造例の一過程を説明する
断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating one process of a manufacturing example of a color filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 複数色画素 3 黒色樹脂層 5 ブラックマトリクス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Multi-color pixel 3 Black resin layer 5 Black matrix

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 樹脂系材料20〜45重量%、架橋剤5
〜20重量%、光酸発生剤2〜15重量%、黒色顔料2
0〜60重量%を含有する黒色感光性樹脂組成物におい
て、前記樹脂系材料に対して、炭素数が3〜12のアル
キル基を側鎖に持つ高分子化合物が5〜80重量%添加
されていることを特徴とする黒色感光性樹脂組成物。
1. A resinous material of 20 to 45% by weight, a crosslinking agent 5
-20% by weight, photoacid generator 2-15% by weight, black pigment 2
In a black photosensitive resin composition containing 0 to 60% by weight, a polymer compound having an alkyl group having 3 to 12 carbon atoms in a side chain is added in an amount of 5 to 80% by weight based on the resin material. A black photosensitive resin composition comprising:
【請求項2】 前記樹脂系材料が、架橋点となり得るO
H基を含有し、かつ、アルカリ水溶液可溶性である高分
子化合物であることを特徴とする請求項1記載の黒色感
光性樹脂組成物。
2. The method according to claim 1, wherein said resin-based material is capable of forming a crosslinking point.
The black photosensitive resin composition according to claim 1, which is a polymer compound containing an H group and soluble in an aqueous alkali solution.
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