JP3055928B2 - Color filter image formation method - Google Patents

Color filter image formation method

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JP3055928B2
JP3055928B2 JP30376490A JP30376490A JP3055928B2 JP 3055928 B2 JP3055928 B2 JP 3055928B2 JP 30376490 A JP30376490 A JP 30376490A JP 30376490 A JP30376490 A JP 30376490A JP 3055928 B2 JP3055928 B2 JP 3055928B2
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明はカラーフィルターの着色画像形成方法に関
し、特に液晶表示パネル用途に適しカラーフィルターの
製造に用いて好適なものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for forming a color image of a color filter, and particularly to a method suitable for use in a liquid crystal display panel and for manufacturing a color filter.

<従来の技術> 近年、カラーフィルターは、液晶カラーディスプレイ
装置の分野で広く用いられるようになってきている。こ
のカラーフィルターは、通常、青(B),赤(R)及び
緑(G)を色要素として、これらの色素を透明基板の表
面に、例えばモザイク状,ストライプ状あるいはトライ
アングル状の色要素を配列してなるものである。
<Related Art> In recent years, color filters have been widely used in the field of liquid crystal color display devices. This color filter usually has blue (B), red (R) and green (G) as color elements, and arranges these dyes on the surface of a transparent substrate, for example, in a mosaic, stripe or triangle color element. It is made.

現在これらのカラーフィルターに用いられる着色画像
は、主として染色法によって製造されている。
Currently, colored images used for these color filters are mainly produced by a dyeing method.

該染色法は、例えばゼラチン,フィッシュグルー,カ
ゼイン,ポリアクリルアミドなどの可溶性の水溶性高分
子に、重クロム酸塩や水溶性アジド化合物などを加えて
感光性を付与し、次にフォトマスクを通して露光し、水
で現像を行なってレリーフ・パターンを得た後、このレ
リーフ・パターンを染色して着色画像を形成するもので
ある。このような工程を3回繰り返すことによって、
青,赤,緑のフィルターを形成するのである。そして、
各色の工程間においては、例えばタンニン酸により防染
処理を行ったり、あるいはウレタン系樹脂やアクリル系
樹脂の中間層を設けるなどを行うことで混色を防止して
いる。
The dyeing method is to impart photosensitivity to soluble water-soluble polymers such as gelatin, fish glue, casein, and polyacrylamide by adding a dichromate or a water-soluble azide compound, and then exposing through a photomask. Then, after developing with water to obtain a relief pattern, the relief pattern is dyed to form a colored image. By repeating such a process three times,
It forms blue, red and green filters. And
Between the steps of each color, color mixing is prevented by, for example, performing an anti-dyeing treatment with tannic acid or providing an intermediate layer of a urethane resin or an acrylic resin.

ところで、このような従来の染色法は、工程が複雑
である、染色浴の管理が難かしい、染色媒体(水溶
性高分子)の耐熱性が悪い、染料の耐熱性及び耐候性
が悪いなどの欠点がある。
By the way, such conventional dyeing methods involve complicated processes, difficult control of the dyeing bath, poor heat resistance of the dyeing medium (water-soluble polymer), poor heat resistance and poor weather resistance of the dye, and the like. There are drawbacks.

そこで、上記欠点を克服するため、最近、例えば印刷
法や顔料分散法等によるカラーフィルターの開発が盛ん
におこなわれている。
Therefore, in order to overcome the above drawbacks, recently, for example, color filters have been actively developed by a printing method, a pigment dispersion method, or the like.

この印刷法は、有機ビヒクルに顔料を分散させたイン
キを用い透明基板に逐次印刷して、着色画像を形成する
方法である。この印刷法は成膜とパターニングが同時に
行なえるなどと共に、プロセスが簡単でコスト,耐久性
の点に優れているが、パターンにフリンジができる
寸法精度が悪い表面平滑性が悪いなどの新しい問題が
ある。
This printing method is a method in which a colored image is formed by sequentially printing on a transparent substrate using an ink in which a pigment is dispersed in an organic vehicle. Although this printing method can perform film formation and patterning simultaneously, it is simple in process and excellent in cost and durability. However, new problems such as poor dimensional accuracy in which patterns can be fringed and poor surface smoothness are found. is there.

一方の顔料分散法は、上述のような問題点を改善した
方法である。この方法は感光性樹脂に顔料を分散して、
透明基板に塗布,乾燥し、露光,現像を行うことにより
着色画像を形成するもので、染色法と比較して単純なプ
ロセスでカラーフィルター着色画像を形成することがで
きるという利点を有している。この顔料分散法に用いら
れる感光性樹脂としては、例えば特開昭60−124738号公
報に開示されているスチルバゾリウム基ペンダントポリ
ビニルアルコール、特開昭60−237403号公報や特開昭62
−212603号公報などに開示されている感光性ポリイミド
やポリアミド、特開平1−200353号公報に開示されてい
るアクリル系ポリマーとビスジアジド化合物からなる感
光性樹脂、特開平1−152449号公報などに開示されてい
る多官能アクリレートモノマー、有機重合体結合剤及び
光重合開始剤からなるラジカル重合型感光性樹脂などが
種々提案されている。
On the other hand, the pigment dispersion method is a method in which the above-mentioned problems are improved. In this method, a pigment is dispersed in a photosensitive resin,
A colored image is formed by coating, drying, exposing and developing on a transparent substrate, and has the advantage that a color filter colored image can be formed by a simple process as compared with the dyeing method. . Examples of the photosensitive resin used in the pigment dispersion method include stilbazolium-based pendant polyvinyl alcohol disclosed in JP-A-60-124736, JP-A-60-237403 and
Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-152449, photosensitive polyimides and polyamides disclosed in JP-A-212603, photosensitive resins comprising an acrylic polymer and a bisdiazide compound disclosed in JP-A-1-200353, and the like. Various radical polymerization type photosensitive resins comprising a polyfunctional acrylate monomer, an organic polymer binder and a photopolymerization initiator have been proposed.

<発明が解決しようとする課題> しかしながら、上記顔料分散法に係る感光性樹脂を用
いる着色画像形成方法は用いる感光性樹脂により、以下
のような問題点がある。
<Problem to be Solved by the Invention> However, the colored image forming method using a photosensitive resin according to the above-described pigment dispersion method has the following problems depending on the photosensitive resin used.

スチルバゾリウム基ペンダントポリビニルアルコー
ルは、耐熱性が低いという欠点がある。これを改良する
ものとして、特開平2−160807号公報に開示されている
ベタイン構造を持つスチルバゾリウム基ペンダントポリ
ビニルアルコールが提案されているが、耐熱性はまだ不
充分である。
Stilbazolium-based pendant polyvinyl alcohol has a drawback of low heat resistance. To improve this, a stilbazolium-based pendant polyvinyl alcohol having a betaine structure disclosed in JP-A-2-160807 has been proposed, but the heat resistance is still insufficient.

感光性ポリイミドあるいはポリアミドを用いたもの
は、高い耐熱性を有するものの樹脂が着色している
感度が低い有機溶媒での現像となるなどの問題があ
る。
Those using photosensitive polyimide or polyamide have high heat resistance, but have problems such as development with an organic solvent having low sensitivity in which the resin is colored.

ビスアジド化合物を感光剤とする系は、感度が低
い露光時に酸素の影響を受けるなどの問題点がある。
A system using a bisazide compound as a photosensitive agent has problems such as being affected by oxygen at the time of low-sensitivity exposure.

ラジカル重合を用いた系は、高感度ではあるが、露
光時に酸素の影響を受けてしまうという問題点がある。
A system using radical polymerization has high sensitivity, but has a problem that it is affected by oxygen during exposure.

また、これらの影響をを避けるため、不活性ガス雰囲
気中で露光するか、酸素遮断膜を設けるなどのことが必
要となり、そのため装置が高価になるか、あるいはプロ
セスが複雑になるなどの問題がある。
Further, in order to avoid these effects, it is necessary to perform exposure in an inert gas atmosphere or to provide an oxygen barrier film, which leads to problems such as an increase in the cost of an apparatus or a complicated process. is there.

本発明は以上述べた事情に鑑み、高感度であり、
酸素の影響によっても感度変化せず且つ現像が水系で
あることなどの諸特性を有する感光性着色樹脂組成物を
用いて、逐次パターンを形成して、カラーフィルターの
着色画像を形成するカラーフィルターの着色画像形成方
法を提供することを目的とする。
The present invention is highly sensitive in view of the circumstances described above,
Using a photosensitive colored resin composition having various characteristics such that the sensitivity does not change even under the influence of oxygen and development is aqueous, a pattern is sequentially formed, and a color filter for forming a color image of a color filter is formed. An object of the present invention is to provide a colored image forming method.

<課題を解決するための手段> 前記目的を達成する本発明に係るカラーフィルターの
着色画像形成方法は、 透明基板上に、 (イ)フェノールを含む樹脂とN−メチロール構造を持
つ架橋剤とから成る酸により硬化し得る樹脂系材料と、 (ロ)ハロメチル−S−トリアジン化合物又はハロメチ
ルオキサジアゾール化合物のいずれかからなる光酸発生
剤と、 (ハ)顔料とを の比率で含有してなる感光性着色樹脂組成物を塗布,乾
燥し、着色樹脂層を形成する工程と、 該着色樹脂層を酸素雰囲気下でパターン露光する工程
と、 該露光済みの着色樹脂層を加熱する工程と、 該露光,加熱済みの着色樹脂層を、アルカリ現像液で
現像して、上記透明基板上に着色画像を形成する工程と
を、 含む一連の工程を繰り返し同一基板上に複数色の着色画
像を形成することを特徴とする。
<Means for Solving the Problems> A method for forming a colored image of a color filter according to the present invention, which achieves the above object, comprises: (a) forming a resin containing phenol and a crosslinking agent having an N-methylol structure on a transparent substrate; A resin-based material curable by an acid, (b) a photoacid generator comprising either a halomethyl-S-triazine compound or a halomethyloxadiazole compound, and (c) a pigment. Coating and drying a photosensitive colored resin composition containing the photosensitive resin composition at a ratio of: a pattern exposure of the colored resin layer in an oxygen atmosphere; and an exposed colored resin layer. And a step of developing the exposed and heated colored resin layer with an alkali developer to form a colored image on the transparent substrate. It is characterized in that a colored image is formed.

以下、本発明の内容を詳細に説明する。 Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail.

本発明で用いられる感光性着色樹脂層組成物とは、
(イ)酸により硬化し得る樹脂系材料と、(ロ)光酸発
生剤と、(ハ)顔料とを必須成分として含有してなるも
のをいう。
The photosensitive colored resin layer composition used in the present invention,
A material containing (a) a resin-based material curable by an acid, (b) a photoacid generator, and (c) a pigment as essential components.

ここで本発明に於ける(イ)の酸により硬化し得る樹
脂系材料とは、例えばユリヤ樹脂,メラミン樹脂などの
アミノ樹脂のようなN−メチロール構造を有する架橋剤
とフェノール性水酸基若しくはカルボキシル基を有する
樹脂との樹脂系材料、エポキシ樹脂とフェノール樹脂と
の樹脂系材料、あるいはJ.Photopolym.Sci.Technol.Vol
3 No.3(1990)p235〜247に発表されているようなP−
ヒドロキシスチレンとp−アセトキシメチルスチレンと
のヒドロキシスチレン構造を含む共重合体などを挙げる
ことができ、酸によって硬化する性質を有するものをい
う。
Here, the resin material curable by the acid (a) in the present invention includes, for example, a crosslinking agent having an N-methylol structure such as an amino resin such as a urea resin or a melamine resin and a phenolic hydroxyl group or a carboxyl group. Resin-based material with resin, resin-based material with epoxy resin and phenolic resin, or J.Photopolym.Sci.Technol.Vol.
3 No. 3 (1990) P235-247
Copolymers having a hydroxystyrene structure of hydroxystyrene and p-acetoxymethylstyrene can be exemplified, and those having a property of being cured by an acid.

上記樹脂系材料において、N−メチロール構造を有す
る架橋剤としては、例えばメチロール化尿素,尿素樹
脂,メチロール化メラミン,メチロール化グアナミン,
メチロール化グリオキザールジウレイン,メチロール化
ウロン,メチロール化テトラヒドロピリミドン誘導体,
メチロール化トリアゾンあるいはこれらのアルキルエー
テルを挙げることができる。これらのうちで保存安定性
が高い点でアルキルエーテルを用いることが好ましい。
このアルキルエーテルのアルキル基としては、炭素数1
〜5のアルキル基が特に好ましい。
In the above resin-based material, examples of the crosslinking agent having an N-methylol structure include methylolated urea, urea resin, methylolated melamine, methylolated guanamine,
Methylolated glyoxal diurein, methylolated uron, methylolated tetrahydropyrimidone derivative,
Methylolated triazones or their alkyl ethers can be mentioned. Among them, it is preferable to use an alkyl ether because of high storage stability.
The alkyl group of this alkyl ether has 1 carbon atom.
Particularly preferred are alkyl groups of 5 to 5.

また、上記樹脂系材料において、フェノール性水酸基
を有する樹脂としては、例えばアルカリ可溶性のフェノ
ール樹脂,ノボラック樹脂,ヒドロキシスチレン構造を
含む重合体,下記一般式(I)で表わされる構造を含む
重合体,フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性ポ
リイミドなどを挙げることができる。
In the resin-based material, as the resin having a phenolic hydroxyl group, for example, an alkali-soluble phenol resin, a novolak resin, a polymer having a hydroxystyrene structure, a polymer having a structure represented by the following general formula (I), Examples thereof include alkali-soluble polyimides having a phenolic hydroxyl group.

(式中、R1は水素,アルキル基又はアリール基を表わ
し、R2は水素,ハロゲン,アルキル基又はアルコキシ基
を表わし、nは0〜6の整数を表わす。) 上記ノボラック樹脂は、フェノール類とケトン類とを
酸触媒の存在下に縮合して得られるものをいう。この際
用いられるフェノール類としては、例えばフェノール,
クレゾール,エチルフェノール,ブチルフェノール,キ
シレノール,フェニルフェノール,ヒドロキノン,カテ
コール,レゾルシノール,ピロガロール,ナフトール,
ビスフェノールAなどが挙げられる。これらのフェノー
ル類は単独又は2種以上組合せて用いられる。また、ケ
トン類としては、例えばホルムアルデヒド,パラホルム
アルデヒド,アセトアルデヒド,プロピオンアルデヒ
ド,ベンズアルデヒド,アセトン,メチルエチルケトン
などが挙げられる。
(Wherein, R 1 represents a hydrogen, an alkyl group or an aryl group, R 2 represents a hydrogen, a halogen, an alkyl group or an alkoxy group, and n represents an integer of 0 to 6). And a ketone in the presence of an acid catalyst. Phenols used at this time include, for example, phenol,
Cresol, ethylphenol, butylphenol, xylenol, phenylphenol, hydroquinone, catechol, resorcinol, pyrogallol, naphthol,
Bisphenol A and the like can be mentioned. These phenols are used alone or in combination of two or more. Examples of the ketones include formaldehyde, paraformaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde, benzaldehyde, acetone, and methyl ethyl ketone.

上記樹脂系材料において、ヒドロキシスチレン構造を
含む重合体としては、例えばヒドロキシスチレン若しく
はα−メチル−ヒドロキシスチレンの単独、2種以上若
しくはスチレンあるいはアクリル系モノマーとの共重合
により得られる。この共重合成分としてのアクリル系モ
ノマーとしては、例えばアクリル酸エステル,メタクリ
ル酸エステル,アクリル酸アミド、メタクリル酸アミ
ド,アクリロニトリルなどを挙げることができる。
In the above resin-based material, the polymer having a hydroxystyrene structure can be obtained, for example, by copolymerizing hydroxystyrene or α-methyl-hydroxystyrene alone, two or more kinds, or styrene or an acrylic monomer. Examples of the acrylic monomer as the copolymerization component include acrylic ester, methacrylic ester, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, and the like.

また、上記一般式(I)で表わされるマレイミド誘導
体構造を含む重合体としては、例えば特開昭61−162039
号公報,特開昭62−151408号公報,特開昭62−151409号
公報などに開示されている。
Examples of the polymer containing the maleimide derivative structure represented by the above general formula (I) include, for example, JP-A-61-162039.
And Japanese Patent Application Laid-Open Nos. Sho 62-151408 and 62-151409.

フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性ポリイミ
ドとしては、例えばJ.Photopolym.Sci.Technol.Vol3 N
o.3(1990)p275〜280に記載されているポリイミドを挙
げることができる。
As an alkali-soluble polyimide having a phenolic hydroxyl group, for example, J. Photopolym.Sci.Technol.Vol3N
o.3 (1990) pp. 275-280.

上記樹脂系材料において、カルボキシル基を有する樹
脂としては、例えばアクリル酸,メタクリル酸,ビニル
安息香酸などの不飽和有機酸化合物と、アクリル酸エス
テル,メタクリル酸エステル,アクリロニトリルなどの
不飽和化合物とをモノマーとした共重合物などを挙げる
ことができる。
In the above resin-based material, the resin having a carboxyl group may be, for example, an unsaturated organic acid compound such as acrylic acid, methacrylic acid, or vinylbenzoic acid, and an unsaturated compound such as acrylic acid ester, methacrylic acid ester, or acrylonitrile. And the like.

上記樹脂系材料において、エポキシ樹脂としては、ノ
ボラック型エポキシ樹脂,ビスフェノールA型エポキシ
樹脂,臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂,脂環式
エポキシ樹脂などを挙げることができる。
In the resin-based material, examples of the epoxy resin include a novolak type epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, a brominated bisphenol A type epoxy resin, and an alicyclic epoxy resin.

一方、本発明に於ける(ロ)の光酸発生剤とは、光の
照射により酸を発生する化合物をいい、多くの公知化合
物及びそれらの混合物を用いればよく、例えば(i)オ
ニウムのハロゲン-,BF4 -,PF6 -,AsF6 -,SbF6 -,SiF6 -,ClO4
-,CF3SO4 -などの塩;(ii)有機ハロゲン化合物;(ii
i)ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物及び(iv)
光スルホン酸発生化合物などが適当である。
On the other hand, the photoacid generator (b) in the present invention refers to a compound that generates an acid upon irradiation with light, and many known compounds and mixtures thereof may be used. -, BF 4 -, PF 6 -, AsF 6 -, SbF 6 -, SiF 6 -, ClO 4
-, CF 3 SO 4 - salts such as; (ii) organic halogen compounds; (ii
i) naphthoquinonediazidesulfonic acid compound and (iv)
Light sulfonic acid generating compounds and the like are suitable.

更に詳述すると、(i)オニウム塩としてのアンモ
ニウム塩の例としては、米国特許第4,069,055号明細書
及び同第4,069,056号明細書に;ジアゾニウム塩の例
としては、Photogr.Sci.Eng.,18,387(1974),J.Macrom
ol.Sci.,Chem.,A21,1695(1984),及びPolymer.21,423
(1980)に;ヨードニウム塩の例としては、Macromol
ecules,10,1307(1977).Chem.,& Eng.News,Nov.28,P3
1(1988),及びヨーロッパ特許第0,104,143号明細書
に;スルホニウム塩の例としては、Polymer J.,17,73
(1985),Polymer Bull.,14,279(1985),J.Polymer Sc
i.,17,977(1979),J.Org.Chem.,43,3055(1978).J.Or
g.Chem.,50,4360(1985),特開昭57−18723号公報,特
開昭56−8428号公報,米国特許第4,760,013号公報,米
国特許第4,139,655号公報、米国特許第4,734,444号公報
及びヨーロッパ特許第0297,433号公報に;ホスホニウ
ム塩の例としては、米国特許第4,069,055号公報,同第
4,069,056号公報及びMacromolecules,17,2469(1984)
に;セレノニウム塩の例としてはMacromolecules,10,
1307(1977)及びJ.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,1
7,1047(1979)に;アルソニウム塩の例としては、Pr
oc.Conf.Rad.Curing ASIA p478 Tokyo.Oct.(1988)に
それぞれ開示されている。
More specifically, (i) examples of ammonium salts as onium salts are described in U.S. Pat. Nos. 4,069,055 and 4,069,056; examples of diazonium salts include Photogr. Sci. Eng., 18 , 387 (1974), J.Macrom
ol.Sci., Chem., A 21 , 1695 (1984), and Polymer. 21, 423
(1980); Examples of iodonium salts include Macromol
ecules, 10 , 1307 (1977). Chem., & Eng. News, Nov. 28, P3
1 (1988), and EP 0,104,143; examples of sulfonium salts include Polymer J., 17 , 73.
(1985), Polymer Bull., 14 , 279 (1985), J. Polymer Sc
i., 17 , 977 (1979), J. Org. Chem., 43 , 3055 (1978).
g. Chem., 50 , 4360 (1985), JP-A-57-18723, JP-A-56-8428, U.S. Patent No. 4,760,013, U.S. Patent No. 4,139,655, U.S. Patent No. 4,734,444 And EP 0297,433; examples of phosphonium salts include US Pat. Nos. 4,069,055,
4,069,056 and Macromolecules, 17 , 2469 (1984)
Examples of selenonium salts include Macromolecules, 10 ,
1307 (1977) and J. Polymer Sci., Polymer Chem. Ed., 1
7, 1047 (1979); examples of arsonium salts include Pr.
oc. Conf. Rad. Curing ASIA p478 Tokyo. Oct. (1988).

また、(ii)光の照射により酸を発生し得る有機ハロ
ゲン化合物の例としては、四臭化炭素,ヨードホル
ム,トリブロモアセトフェノン、特公昭46−4605号公報
に記載のフェニルトリハロメチルスルホン化合物,特公
昭48−36281号公報,特開昭53−133428号公報,特開昭6
0−105667号公報,特開昭60−239736号公報に記載のハ
ロメチル−S−トリアジン化合物,Angew.Physik.Chem.,
24,381(1918).J.Phys.Chem.,66.2449(1962),特開
昭54−74728号公報,特開昭55−77742号公報,特開昭59
−148784号公報,特開昭60−3626号公報,特開昭60−13
8539号公報,特開昭60−239473号公報に記載のハロメチ
ルオキサジアゾール化合物などを挙げることができる。
Examples of (ii) organic halogen compounds capable of generating an acid upon irradiation with light include carbon tetrabromide, iodoform, tribromoacetophenone, a phenyltrihalomethylsulfone compound described in JP-B-46-4605, and the like. JP-B-48-36281, JP-A-53-133428, JP-A-Sho-6
No. 0-105667, JP-A-60-239736, halomethyl-S-triazine compounds, Angew. Physik.
24, 381 (1918) .J.Phys.Chem. , 66 .2449 (1962), JP 54-74728, JP-Sho 55-77742, JP-Sho 59
JP-148784, JP-A-60-3626, JP-A-60-13
And halomethyloxadiazole compounds described in JP-A-8539 and JP-A-60-239473.

(iii)ナフトキノンジアジド化合物としては例え
ば、1,2−ナフトキノン−(2)−ジアジド−4−スル
ホニルクロリドを挙げることができる。
(Iii) Examples of the naphthoquinonediazide compound include 1,2-naphthoquinone- (2) -diazido-4-sulfonyl chloride.

(iv)光スルホン酸発生化合物としては、例えば1,2
−ナフトキノン−(2)−ジアジド−4−スルホン酸の
エステルもしくはアミド化合物、Polymer Preprints.Ja
pan 35,2406(1986)に記載のβ−ケトスルホン系化合
物、Macromolecules.21,2001(1988),特開昭64−1814
3号公報に記載のニトロベンジルアルコールとアリール
スルホン酸とのエステル化合物、ヨーロッパ特許第0,04
4,155号公報、同第0,199,672号公報記載のオキシムとア
リールスルホン酸とのエステル化合物、米国特許第4,25
8,121号公報、同第4,371,605号公報、同第4,618,564号
公報に記載のN−ヒドロキシアミドまたはイミドとスル
ホン酸とのエステル化合物、ヨーロッパ特許第84515号
公報、同第199,672号公報に記載のベンゾインとスルホ
ン酸とのエステル化合物などを挙げることができる。
(Iv) Examples of the photosulfonic acid generating compound include 1,2
-Naphthoquinone- (2) -diazide-4-sulfonic acid ester or amide compound, Polymer Preprints. Ja
β-ketosulfone compounds described in Pan 35 , 2406 (1986), Macromolecules. 21 , 2001 (1988), JP-A 64-1814.
No. 3, an ester compound of nitrobenzyl alcohol and an arylsulfonic acid, described in European Patent No. 0,04
No. 4,155, an ester compound of an oxime and an arylsulfonic acid described in No. 0,199,672, U.S. Pat.
No. 8,121, No. 4,371,605, ester compounds of N-hydroxyamide or imide and sulfonic acid described in No. 4,618,564, European Patent No. 84515, benzoin and sulfone described in No. 199,672. Examples thereof include an ester compound with an acid.

これらの光酸発生剤のうち、(ii)の有機ハロゲン化
合物、特にハロメチル−S−トリアジン化合物、ハロメ
チルオキサジアゾール化合物及び(iv)の光スルホン酸
発生化合物が架橋効率が良く好適である。
Among these photoacid generators, the organic halogen compound (ii), particularly the halomethyl-S-triazine compound, the halomethyloxadiazole compound and the photosulfonic acid generating compound (iv) are preferred because of their good crosslinking efficiency.

これらの光酸発生剤は、単独で、あるいは混合して使
用しても良く、その添加量は(イ)の酸により硬化し得
る樹脂系材料の固形分に対して、0.1〜50重量%が好ま
しく、より好ましくは0.5〜30重量%である。これは0.1
重量%未満では酸発生量が乏しく架橋反応が起こりにく
く、また50重量%を超えて添加しても、更なる増量効果
が期待できなく、現像性が悪くなり、共に好ましくない
からである。
These photoacid generators may be used alone or as a mixture. The amount of the photoacid generator is 0.1 to 50% by weight based on the solid content of the resin-based material curable by the acid (a). Preferably, it is 0.5 to 30% by weight. This is 0.1
If the amount is less than 50% by weight, the amount of generated acid is so small that a crosslinking reaction hardly occurs. Also, if the amount exceeds 50% by weight, a further effect of increasing the amount cannot be expected, and the developability deteriorates, and both are not preferred.

光酸発生剤は必要に応じて酸発生効率を高める増感剤
と組み合わせて用いることができる。
The photoacid generator can be used in combination with a sensitizer for increasing the acid generation efficiency as required.

かかる増感剤としては公知の増感剤が使用できるが、
例えば、アントラセン、フェナンスレン、ペリレン、ピ
レン、クリセン、1,2−ベンゾアントラセン、コロネ
ン、1,6−ジフェニル−1,3,5−ヘキサトリエン、1,1,4,
4−テトラフェニル−1,3−ブタジエン、2,3,4,5−テト
ラフェニルフラン、2,5−ジフェニルチオフェン、チオ
キサントン、2−クロロチオキサントン、フェノチアジ
ン、1,3−ジフェニルピラゾリン、1,3−ジフェニルイソ
ベンゾフラン、キサントン、ベンゾフェノン、4−ヒド
ロキシベンゾフェノン、アンスロン、ニンヒドリン、9
−フルオレノン、ニトロピレン、2,4,7−トリニトロフ
ルオレノン、インダノン、フェナンスラキノン、テトラ
ロン、7−メトキシ−4−メチルクマリン、3−ケト−
ビス(7−ジエチルアミノクマリン)、フルオロセン、
エオシン、ローダミンS及びトリフェニルピリリウムパ
ークロレート等の増感剤を挙げることができる。
Known sensitizers can be used as such a sensitizer,
For example, anthracene, phenanthrene, perylene, pyrene, chrysene, 1,2-benzoanthracene, coronene, 1,6-diphenyl-1,3,5-hexatriene, 1,1,4,
4-tetraphenyl-1,3-butadiene, 2,3,4,5-tetraphenylfuran, 2,5-diphenylthiophene, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, phenothiazine, 1,3-diphenylpyrazoline, 1,3 -Diphenylisobenzofuran, xanthone, benzophenone, 4-hydroxybenzophenone, anthrone, ninhydrin, 9
-Fluorenone, nitropyrene, 2,4,7-trinitrofluorenone, indanone, phenanthraquinone, tetralone, 7-methoxy-4-methylcoumarin, 3-keto-
Bis (7-diethylaminocoumarin), fluorocene,
Sensitizers such as eosin, rhodamine S and triphenylpyrylium perchlorate can be mentioned.

これらの増感剤と、前記(ロ)の光酸発生剤との割合
は、モル比で0.01/1〜10/1であり、好ましくは0.1/1〜5
/1である。
The molar ratio of these sensitizers to the photoacid generator (b) is 0.01 / 1 to 10/1, preferably 0.1 / 1 to 5/1.
/ 1.

また、使用する顔料に応じて、このような増感剤の種
類を選択することにより、本発明の組成物の感度を高め
ることができる。
The sensitivity of the composition of the present invention can be enhanced by selecting the type of such a sensitizer according to the pigment used.

本発明に於ける(ハ)の顔料とは、水あるいは有機溶
媒に難溶性である着色粉末を意味し、耐熱性,耐光性及
び耐溶剤性に優れたものが好ましい。かかる顔料として
は、例えばアゾ系,アントラキノン系,イソインドリノ
ン系,インジゴ系,インダスロン系,キサンテン系,キ
ナクリドン系,キノフタロン系,ジオキサジン系,チオ
インジゴ系,ピランスロン系,フタロシアニン系,ペリ
ノン系,ペリレン系,ベンゾインダゾロン系の有機顔料
や、ミロリブルー,群青,コバルトブルー,エメラルド
グリーン,カーボン,チタンカーボン,酸化鉄などの無
機顔料を挙げることができ、これらから一種又は二種以
上を適宜選択して用いられる。
The pigment (c) in the present invention means a colored powder that is hardly soluble in water or an organic solvent, and is preferably one having excellent heat resistance, light resistance and solvent resistance. Such pigments include, for example, azo, anthraquinone, isoindolinone, indigo, indathrone, xanthene, quinacridone, quinophthalone, dioxazine, thioindigo, pyranthrone, phthalocyanine, perinone, perylene-based pigments. , Benzoindazolone-based organic pigments and inorganic pigments such as Miroli blue, ultramarine blue, cobalt blue, emerald green, carbon, titanium carbon, iron oxide, and the like. Can be

上記顔料は、カラーフィルターなどに用いる場合は、
光透過性や、形成される膜の均一性等の観点から、その
粒径は、1μm以下のものが好ましい。
When the above pigment is used for a color filter or the like,
From the viewpoints of light transmittance, uniformity of the formed film, and the like, the particle size is preferably 1 μm or less.

本発明に於ける下記(1)式の重量比は、 95/5から10/90、好ましくは90/10から40/60とするのが
よい。これは該重量比が95/5未満以下となると、望まし
い色濃度を得るための膜厚が厚くなりすぎるし、また10
/90を超えた場合には、顔料の分散安定性,膜形成能が
損われ、共に好ましくないからである。
The weight ratio of the following formula (1) in the present invention is: 95/5 to 10/90, preferably 90/10 to 40/60. This is because when the weight ratio is less than 95/5, the film thickness for obtaining a desired color density becomes too thick, and
If the ratio exceeds / 90, the dispersion stability of the pigment and the ability to form a film are impaired, which are both undesirable.

本発明の感光性着色樹脂組成物は、上記(イ)の酸に
より硬化し得る樹脂系材料の成分と、(ロ)光酸発生剤
との成分を、溶解する溶媒に溶かし、該顔料を分散させ
た溶液として用いられる。
In the photosensitive colored resin composition of the present invention, the component (a) of the resin-based material curable by the acid and the component (b) of the photoacid generator are dissolved in a solvent capable of dissolving, and the pigment is dispersed. It is used as a solution that has been made to fall.

このような溶媒の例としては、ジオキサン、ジエトキ
シエタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、メ
チルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコー
ルモノイソプロピルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエ
ーテルなどのエーテル類、アセトン、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シク
ロヘキサノンなどのケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチ
ル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブア
セテート、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジ
メチルオギザレート、乳酸メチル、乳酸エチルなどのエ
ステル類、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチル
アセトアミドなどのアミド類、N−メチルピロリドンな
どのピロリドン類、γ−ブチロラクトンなどのラクトン
類、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類などを
挙げることができる。これらの溶媒はそれぞれ単独で用
いてもよいし、2種類以上組み合わせて用いても良い。
そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は、
2〜70重量%、より好ましくは5〜50重量%が適当であ
る。
Examples of such solvents include dioxane, diethoxyethane, diethylene glycol dimethyl ether, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, ethylene glycol monoisopropyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethers such as propylene glycol monoethyl ether, acetone, methyl ethyl ketone, methyl Ketones such as isobutyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, ethyl acetate, butyl acetate, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, dimethyl oxalate, methyl lactate, ethyl lactate Esters, such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, etc. S, pyrrolidones such as N- methylpyrrolidone, lactones such as γ- butyrolactone, and the like sulfoxides such as dimethyl sulfoxide. These solvents may be used alone or in combination of two or more.
And the concentration in the above components (total solids including additives)
It is suitably from 2 to 70% by weight, more preferably from 5 to 50% by weight.

本発明の感光性着色樹脂組成物には更に必要に応じ
て、組成物の粘度の調整,顔料の分散安定性改善,塗布
性の改善,塗膜の基板に対する密着性改善,塗膜の平坦
化性改善,現像特性の改善などの目的に、その他の添加
物を配合することができる。
In the photosensitive colored resin composition of the present invention, if necessary, the viscosity of the composition is adjusted, the dispersion stability of the pigment is improved, the coating property is improved, the adhesion of the coating film to the substrate is improved, and the coating film is flattened. Other additives can be added for the purpose of improving the developing property and the developing characteristics.

上記感光性樹脂組成物を塗布する透明基板としては、
例えばガラス板,プラスチック板又はプラスチックフィ
ルム等を挙げることができる。
As a transparent substrate for applying the photosensitive resin composition,
For example, a glass plate, a plastic plate or a plastic film can be used.

以上説明したような感光性着色樹脂組成物を用いた着
色画像の形成方法の一例を述べる。
An example of a method for forming a colored image using the photosensitive colored resin composition described above will be described.

本発明に係るカラーフィルターの着色画像形成方法
は、上記構成の感光性着色樹脂組成物を、上記透明基
板上に塗布,乾燥して、着色樹脂層を形成した後、所
定のパターンに従って光を照射して露光し、この層を
約50〜200℃の範囲で加熱し、次いで現像液で現像し
て透明基板上に着色画像を形成するという上記〜の
一連の工程を繰り返すことにより、同一基板上に青
(B),赤(R),緑(G)等の複数色のカラーフィル
ターの着色画像を形成することとなる。
In the method for forming a colored image of a color filter according to the present invention, the photosensitive colored resin composition having the above configuration is applied on the transparent substrate and dried to form a colored resin layer, and then irradiated with light according to a predetermined pattern. The layer is heated in the range of about 50 to 200 ° C., and then developed with a developer to form a colored image on a transparent substrate. Thus, a colored image of a color filter of a plurality of colors such as blue (B), red (R), and green (G) is formed.

上記の塗布方法としては、従来公知の方法、例えば
回転塗布,ワイヤーバー塗布,ディップ塗布,エアーナ
イフ塗布,ロール塗布,ブレード塗布,カーテン塗布,
スクリーン印刷塗布などを挙げることができる。
As the above-mentioned coating method, conventionally known methods, for example, spin coating, wire bar coating, dip coating, air knife coating, roll coating, blade coating, curtain coating,
Screen printing application and the like can be mentioned.

また、上記の着色樹脂層を形成する際の乾燥は、約
50〜150℃で30秒〜30分程度である。
The drying when forming the above colored resin layer is about
It is about 30 seconds to 30 minutes at 50 to 150 ° C.

の照射する光は、例えば可視光線,紫外線,X線及び
電子線などが使用できる。
Can be used, for example, visible light, ultraviolet light, X-rays, and electron beams.

次いでの上記樹脂層を加熱する加熱処理であるが、
この露光後の加熱処理により露光部の樹脂を架橋,硬化
させて現像液に溶けなくなるようにしている。この加熱
処理は、約50〜200℃、好ましくは70〜160℃の範囲とす
るのがよい。
Next is a heat treatment for heating the resin layer,
The heat treatment after the exposure crosslinks and cures the resin in the exposed portion so that it does not dissolve in the developer. This heat treatment is carried out at a temperature in the range of about 50 to 200 ° C, preferably 70 to 160 ° C.

またの現像液としては、アルカリ性水溶液、例え
ば、水酸化ナトリウム,水酸化カリウム,炭酸ナトリウ
ム,炭酸カリウム,メタケイ酸ナトリウム,メタケイ酸
カリウム,第二リン酸ナトリウム,第三リン酸ナトリウ
ム,アンモニア等の無機アルカリ,エチルアミン,n−プ
ロピルアミン,ジエチルアミン,ジ−n−プロピルアミ
ン,トリエチルアミン,メチルジエチルアミン等のアル
キルアミン類、ジエタノールアミン,トリエタノールア
ミン等のアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウ
ムヒドロキサイド,テトラエチルアンモニウムヒドロキ
サイド,トリメチル(2−ヒドロキシエチル)アンモニ
ウムヒドロキサイド等の第四級アンモニウム塩、または
ピロール,ピペリジン等の環状アミン類などの水溶液を
挙げることができる。
Examples of the developer include alkaline aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium metasilicate, potassium metasilicate, dibasic sodium phosphate, tribasic sodium phosphate, and ammonia. Alkylamines such as alkali, ethylamine, n-propylamine, diethylamine, di-n-propylamine, triethylamine and methyldiethylamine; alcoholamines such as diethanolamine and triethanolamine; tetramethylammonium hydroxide; tetraethylammonium hydroxide; An aqueous solution of a quaternary ammonium salt such as trimethyl (2-hydroxyethyl) ammonium hydroxide or a cyclic amine such as pyrrole or piperidine can be used.

また現像液中に必要に応じて他の添加剤、例えば界面
活性剤,湿潤剤,安定剤,少量の有機溶剤等の添加剤を
添加することができる。
If necessary, other additives such as a surfactant, a wetting agent, a stabilizer and a small amount of an organic solvent can be added to the developer.

上記のような現像液を用いて現像して第1のパターン
を形成する。次に、この第1のパターンの間の空間部
に、第2,第3のパターンを上記〜の一連の工程を繰
り返すことにより順次形成して、BRGのカラーフィルタ
ー着色画像を得ることができる。
The first pattern is formed by developing using the developing solution as described above. Next, in the space between the first patterns, the second and third patterns are sequentially formed by repeating the above-described series of steps to obtain a BRG color filter colored image.

尚、上記着色画像の各色間には遮光膜が設けられてい
ても本発明の着色画像形成方法に影響を与えるものでは
ない。
It should be noted that the provision of a light-shielding film between the colors of the colored image does not affect the colored image forming method of the present invention.

<実 施 例> 次に、実施例により本発明を更に詳細に説明する。<Example> Next, the present invention will be described in more detail with reference to an example.

実施例1 下記組成1の(イ)の酸により硬化し得る樹脂系材料
及び(ロ)の光酸発生剤を溶媒に溶かし、これに(ハ)
の顔料からなる感光性着色樹脂組成物を用い、表面にSi
O2膜を形成したソーダガラス基板に、スピナーで膜厚が
1μmになるように塗布し、80℃で10分間乾燥させた。
Example 1 A resin-based material curable by an acid (a) having the following composition 1 and a photoacid generator (b) were dissolved in a solvent.
Using a photosensitive colored resin composition consisting of
The film was applied to a soda glass substrate on which an O 2 film was formed by a spinner so as to have a film thickness of 1 μm, and dried at 80 ° C. for 10 minutes.

該着色感光性樹脂層を所定形状のマスクを介してメタ
ルハライドランプで空気雰囲気下露光した。
The colored photosensitive resin layer was exposed to an air atmosphere with a metal halide lamp through a mask having a predetermined shape.

次いで、パターン露光された着色感光性樹脂層を、14
0℃で10分間オーブン中で加熱した。その後2.38%水酸
化テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド水溶液で現
像して着色パターンを得た。
Subsequently, the colored photosensitive resin layer subjected to pattern exposure was
Heated in oven at 0 ° C. for 10 minutes. Thereafter, development was performed with a 2.38% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide to obtain a colored pattern.

このようにして得られた着色パターンは均一であり、
厚みムラが見られずまたそのエッジはシャープであっ
た。
The coloring pattern thus obtained is uniform,
No thickness unevenness was observed, and the edge was sharp.

実施例2 実施例1で得た着色パターンが形成されたガラス基板
上に、下記組成2の感光性着色樹脂組成物をスピナーで
塗布し、90℃で10分間乾燥した。
Example 2 A photosensitive colored resin composition of the following composition 2 was applied on a glass substrate on which the colored pattern obtained in Example 1 was formed by a spinner, and dried at 90 ° C. for 10 minutes.

ホトマスクを通してメタルハライドランプで露光した
後、140℃で10分間オーブン中で加熱した。
After exposing with a metal halide lamp through a photomask, it was heated in an oven at 140 ° C. for 10 minutes.

次いで、2.38%の水酸化テトラメチルアンモニウム水
溶液で現像した結果、RとGの着色画像が形成されてい
た。
Subsequently, as a result of development with a 2.38% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide, R and G colored images were formed.

実施例3 実施例2で得た着色パターンが形成されたガラス基板
上に、下記組成3の感光性着色樹脂組成物をスピナーで
塗布し、80℃で10分間乾燥した。
Example 3 A photosensitive colored resin composition of the following composition 3 was applied on a glass substrate on which a colored pattern obtained in Example 2 was formed by a spinner and dried at 80 ° C. for 10 minutes.

ホトマスクを通してメタルハライドランプで露光した
後、140℃で10分間オーブン中で加熱した。
After exposing with a metal halide lamp through a photomask, it was heated in an oven at 140 ° C. for 10 minutes.

次いで2.38%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液
で現像した結果、RGBの着色現像が形成されていた。
Subsequently, development with a 2.38% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide revealed that RGB color development was formed.

この得られた着色画像の各色要素のパターンはむらも
なく鮮明であり、色濃度及び色相も充分満足出来るもの
であった。
The pattern of each color element of the obtained colored image was uniform and clear, and the color density and hue were sufficiently satisfactory.

また、上記着色画像を230℃で1時間加熱しても、そ
の分光透過特性はほとんど変化しなかった。
Further, even when the colored image was heated at 230 ° C. for 1 hour, its spectral transmission characteristics hardly changed.

<発明の効果> 以上実施例と共に詳しく述べたように、本発明の方法
によれば、高感度を有し、露光時に酸素の影響を受けな
く、耐熱性が優れていて、且つ水系現像液で現像できる
感光性着色組成物を用い、一連の画像形成工程を繰り返
し行うことにより、色むらがなく耐熱性の良いカラーフ
ィルターの着色画像を簡単な工程で容易に形成すること
ができる。
<Effects of the Invention> As described in detail with the examples above, according to the method of the present invention, it has high sensitivity, is not affected by oxygen at the time of exposure, has excellent heat resistance, and can be used in an aqueous developer. By repeating a series of image forming steps using a developable photosensitive coloring composition, a colored image of a color filter having good heat resistance without color unevenness can be easily formed in a simple step.

従って、本発明の方法によって、高品位で高信頼性の
液晶カラーディスプレイ,液晶カラーテレビ,カラーイ
メージセンサなどが容易に製造することができる。
Therefore, according to the method of the present invention, a high-quality and high-reliability liquid crystal color display, a liquid crystal color television, a color image sensor, and the like can be easily manufactured.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊地 英夫 千葉県船橋市米ケ崎町563番地 東洋合 成工業株式会社感光材研究所内 (56)参考文献 特開 平1−80905(JP,A) 特開 昭61−180202(JP,A) 特開 昭60−263143(JP,A) 特開 昭62−164045(JP,A) 特開 平2−38411(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 5/20 101 G02F 1/1335 505 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Hideo Kikuchi 563 Yonegasaki-cho, Funabashi-shi, Chiba Pref. Photographic Materials Research Laboratories, Toyo Kasei Kogyo Co., Ltd. (56) References JP-A-1-80905 (JP, A) JP-A-61-180202 (JP, A) JP-A-60-263143 (JP, A) JP-A-62-164045 (JP, A) JP-A-2-38411 (JP, A) (58) Fields investigated (Int) .Cl. 7 , DB name) G02B 5/20 101 G02F 1/1335 505

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】透明基板上に、 (イ)フェノールを含む樹脂とN−メチロール構造を持
つ架橋剤とから成る酸により硬化し得る樹脂系材料と、 (ロ)ハロメチル−S−トリアジン化合物又はハロメチ
ルオキサジアゾール化合物のいずれかからなる光酸発生
剤と、 (ハ)顔料とを の比率で含有してなる感光性着色樹脂組成物を塗布,乾
燥し、着色樹脂層を形成する工程と、 該着色樹脂層を酸素雰囲気下でパターン露光する工程
と、 該露光済みの着色樹脂層を加熱する工程と、 該露光,加熱済みの着色樹脂層を、アルカリ現像液で
現像して、上記透明基板上に着色画像を形成する工程と
を、 含む一連の工程を繰り返し同一基板上に複数色の着色画
像を形成することを特徴とするカラーフィルターの着色
画像形成方法。
1. A resin material curable by an acid comprising a resin containing phenol and a crosslinking agent having an N-methylol structure, and (b) a halomethyl-S-triazine compound or halo. A photoacid generator comprising any one of a methyloxadiazole compound; and (c) a pigment. Coating and drying a photosensitive colored resin composition containing the photosensitive resin composition at a ratio of: a pattern exposure of the colored resin layer in an oxygen atmosphere; and an exposed colored resin layer. And a step of developing the exposed and heated colored resin layer with an alkali developer to form a colored image on the transparent substrate. A method for forming a colored image of a color filter, comprising forming a colored image of a color.
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