JPH10260525A - Black photosensitive resin composition - Google Patents

Black photosensitive resin composition

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JPH10260525A
JPH10260525A JP6501197A JP6501197A JPH10260525A JP H10260525 A JPH10260525 A JP H10260525A JP 6501197 A JP6501197 A JP 6501197A JP 6501197 A JP6501197 A JP 6501197A JP H10260525 A JPH10260525 A JP H10260525A
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black
photoacid generating
absorption wavelength
pixels
color
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Yasuhiro Shima
康裕 島
Takao Taguchi
貴雄 田口
Akira Tamura
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a black matrix which is free from display unevenness, has good optical characteristics and excellent display grade and embodies flat color filters free from light leakage at a low cost by forming this black matrix of two kinds of photoacid generating agents having specific absorption wavelengths. SOLUTION: This compsn. contains 20 to 45 wt.% resin material, 5 to 20 wt.% crosslinking agent, 2 to 15 wt.% photoacid generating agents and 20 to 60 wt.% black pigments. The photoacid generating agent consist of the photoacid generating agent having the absorption wavelength at <=340 nm and the photoacid generating agent having the absorption wavelength at 5340 to 380 nm. The photoacid generating agent which do not have the absorption wavelength at about >=400 nm are preferable as such photoacid generating agents. The photoacid generating agents having the absorption wavelength at <=340 nm contribute mainly to the improvement in sensitivity. The photoacid generating agents having the absorption wavelength at $340 to 380 nm are sensitized by light of a wavelength region which is not completely shielded by pixels and, therefore, these agents are sensitized on the slopes of the pixels as well and acids may be generated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】液晶ディスプレイ等に用いる
カラーフィルタを製造するための材料に関するもので、
特にブラックマトリクスの形成に用いる黒色感光性樹脂
組成物に関するものである。
The present invention relates to a material for manufacturing a color filter used for a liquid crystal display or the like.
In particular, the present invention relates to a black photosensitive resin composition used for forming a black matrix.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、カラーフィルタは液晶ディス
プレイ装置を始めとする多くの分野にて広く用いられて
いる。通常、カラーフィルタは赤、緑、青等の複数色の
画素を透明基板上に配列したものである。カラーフィル
タにおいては、良好なコントラストの画像を得るため
に、各画素間に黒色のブラックマトリクスを形成するこ
とが行なわれている。このブラックマトリクスは、TF
T駆動方式の液晶表示に用いられるトランジスターの誤
動作を防ぐ効果も発揮する。
2. Description of the Related Art Hitherto, color filters have been widely used in many fields such as liquid crystal display devices. Normally, a color filter is formed by arranging pixels of a plurality of colors such as red, green, and blue on a transparent substrate. In a color filter, a black matrix is formed between pixels in order to obtain a good contrast image. This black matrix is TF
It also has an effect of preventing a malfunction of a transistor used for a T drive type liquid crystal display.

【0003】通常、ブラックマトリクスはガラス基板上
に微細パターンからなる金属薄膜で形成される。例え
ば、まず、クロム、ニッケル、アルミニウム等の金属あ
るいは金属化合物からなる薄膜を蒸着法やスパッタ法な
どの真空成膜法等で成膜する。その後、フォトリソグラ
フィ法、例えば、その薄膜上にフォトレジストを塗布、
乾燥し、フォトマスクを介して紫外線を照射し、現像す
ることによりレジストパターンを形成した後、エッチン
グ工程、レジスト剥離工程を経て、微細なパターン状の
ブラックマトリクスを形成する方法が一般的である。し
かしながら、上記工程にて製造されたブラックマトリク
スはその工程の複雑さから製造コストが非常に高く、そ
の結果、これを用いるカラーフィルタのコストも高くな
るという問題点がある。
[0003] Usually, a black matrix is formed of a metal thin film having a fine pattern on a glass substrate. For example, first, a thin film made of a metal or a metal compound such as chromium, nickel, or aluminum is formed by a vacuum film forming method such as an evaporation method or a sputtering method. After that, a photolithography method, for example, applying a photoresist on the thin film,
In general, a method of forming a resist pattern by drying, irradiating ultraviolet rays through a photomask, and developing to form a fine pattern black matrix through an etching step and a resist peeling step. However, the manufacturing cost of the black matrix manufactured in the above process is very high due to the complexity of the process, and as a result, the cost of the color filter using the black matrix is also high.

【0004】また、金属薄膜として一般的に使用されて
いる金属は、その表面の反射率が高いので、透過型の液
晶ディスプレイに、この金属薄膜を用いたカラーフィル
タを搭載した場合、強い外光がカラーフィルタに入射し
たときに、例えば、クロム薄膜の場合等は反射光が強い
ために、表示品位が著しく低下してしまうという問題が
ある。そこで、このような金属薄膜を用いたブラックマ
トリクスの問題点を改善すべく、種々の方法が検討され
ており、例えば、感光性樹脂組成物に黒色顔料と必要に
応じて有機顔料を分散し、これを用いてブラックマトリ
クスを形成する方法が提案されている。この黒色感光性
樹脂組成物を用いる方法であると、製造過程が簡略化し
てコストダウンを図れる上、反射による表示品位の低下
がないという利点がある。
Further, a metal generally used as a metal thin film has a high reflectance on its surface. Therefore, when a color filter using the metal thin film is mounted on a transmission type liquid crystal display, strong external light is required. When light is incident on a color filter, for example, in the case of a chromium thin film, there is a problem that display quality is remarkably deteriorated due to strong reflected light. Therefore, in order to improve the problem of the black matrix using such a metal thin film, various methods are being studied.For example, a black pigment and an organic pigment are dispersed in the photosensitive resin composition as needed, A method of forming a black matrix by using this has been proposed. The method using this black photosensitive resin composition has the advantages that the manufacturing process can be simplified, the cost can be reduced, and the display quality does not deteriorate due to reflection.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、黒色顔
料のみで十分な遮光性を得るためには、約1μm以上の
膜厚を必要としてしまう。その結果、位置合わせのマー
ジンである複数色画素との重なりの部分に、所謂つの状
の突起が形成されてしまい、表示ムラの原因になってい
た。
However, in order to obtain a sufficient light-shielding property using only the black pigment, a film thickness of about 1 μm or more is required. As a result, a so-called one-sided projection is formed at a portion overlapping with a plurality of color pixels, which is a margin for positioning, which causes display unevenness.

【0006】特開平6−59119号公報には、所定位
置に配置した複数色からなる各画素の間隙および上部に
黒色感光性の樹脂層を設けた後、複数色画素をマスクと
して基板の裏面側から全面露光することにより、複数色
画素の間隙にのみ選択的にブラックマトリクスを設ける
方法およびその為の材料が提案されている。この所謂、
裏露光法を用いると、つの状の突起の発生がないという
利点がある。しかし、黒色ブラックマトリクスの膜厚を
十分に確保し、かつ、複数色画素上に黒色層が残存しな
いようにする為には、黒色感光性樹脂組成物の感光波長
域における複数色画素の遮光性が十分に高くなければな
らない。そのため、マスクとなる複数色画素中に、酸化
チタン、酸化亜鉛、ベンゾトリアゾール系化合物、クマ
リン系化合物等の紫外線吸収剤や蛍光増白剤等の添加剤
を添加しなければならなかった。しかしながら、複数色
画素へのこれらの紫外線吸収剤等の添加は、カラーフィ
ルタとしての光学特性、即ち透明性およびコントラスト
比を著しく損ねてしまうという問題があった。また、光
重合系感光性樹脂においては、感光特性曲線が比較的な
だらかでγ値が小さいために、十分な膜厚を得るために
は、十分に大きな露光量(150〜200mJ/cm2
が必要とされる。しかし、十分な露光処理を施すため
に、複数色画素にさらに高い遮光性が要求される。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-59119 discloses a method in which a black photosensitive resin layer is provided on the gaps between pixels of a plurality of colors arranged at predetermined positions and on the upper portion thereof, and then the plurality of color pixels are used as a mask on the back side of the substrate. A method of selectively providing a black matrix only in a gap between a plurality of color pixels by exposing the entire surface to a material from the same and a material therefor have been proposed. This so-called,
When the back exposure method is used, there is an advantage that no ridge-like projection is generated. However, in order to ensure a sufficient thickness of the black black matrix and to prevent the black layer from remaining on the multi-color pixels, the light-shielding property of the multi-color pixels in the photosensitive wavelength region of the black photosensitive resin composition is required. Must be high enough. Therefore, an additive such as an ultraviolet absorber such as titanium oxide, zinc oxide, a benzotriazole-based compound, or a coumarin-based compound, or an optical brightener must be added to the multi-color pixels serving as a mask. However, the addition of these ultraviolet absorbers and the like to the multi-color pixels has a problem that the optical properties of the color filter, that is, the transparency and the contrast ratio are significantly impaired. Further, in the case of the photopolymerizable photosensitive resin, the photosensitive characteristic curve is comparatively gentle and the γ value is small. Therefore, in order to obtain a sufficient film thickness, a sufficiently large exposure dose (150 to 200 mJ / cm 2 ) is required.
Is required. However, in order to perform a sufficient exposure process, a higher light-shielding property is required for a plurality of color pixels.

【0007】また、黒色顔料は、紫外線照射時に光重合
系感光性樹脂が用いる光重合開始剤が発生させたラジカ
ルを捕捉してしまう性質を有する。したがって、黒色顔
料は光重合を阻害し、経済的な露光量における充分な画
素形成を困難なものとしており、現像時にパターンが剥
離する等の問題点があった。また、各複数色画素の端部
における形状は垂直形状ではなく傾斜した形状となるこ
とがあるが、そのような場合に、図3に示すように、複
数色画素12,12,・・・をマスクとして裏露光法を用
いてブラックマトリクスを形成すると、黒色樹脂層16
の、各画素12の端部の傾斜面14,14,・・・上に位
置している部分は、その傾斜面14,14,・・・を形成
する各画素12により遮光されて十分に露光されない。
その結果、現像すると、図4に示すように、各画素12
の端部の傾斜面14,14,・・・上にはブラックマトリ
クスを形成できず、平坦性を損なうという問題がある。
特に、透過型カラーフィルタの青色画素は、黒色感光性
樹脂組成物の感光波長域である365nm近辺の光吸収が
高いため、画素端部12,12,・・・の傾斜面14,1
4,・・・上にブラックマトリクスを形成することはより
いっそう困難である。
[0007] Further, the black pigment has a property of capturing radicals generated by a photopolymerization initiator used in a photopolymerizable photosensitive resin at the time of ultraviolet irradiation. Therefore, the black pigment inhibits photopolymerization and makes it difficult to form a sufficient pixel at an economical exposure amount, and has a problem that the pattern is peeled off during development. Also, the shape at the end of each multi-color pixel may be not vertical but inclined, but in such a case, as shown in FIG. 3, the multi-color pixels 12, 12,. When a black matrix is formed using a back exposure method as a mask, the black resin layer 16
Are located on the inclined surfaces 14, 14,... At the end of each pixel 12, and are shielded from light by the pixels 12 forming the inclined surfaces 14, 14,. Not done.
As a result, when developed, as shown in FIG.
.. Cannot be formed on the inclined surfaces 14, 14,...
In particular, the blue pixels of the transmission type color filter have high light absorption near 365 nm which is the photosensitive wavelength region of the black photosensitive resin composition, and therefore, the inclined surfaces 14, 1 at the pixel end portions 12, 12,.
It is even more difficult to form a black matrix on 4,.

【0008】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたものであり、低コストで、表示ムラがなく光
学特性が良好で表示品位に優れ、なおかつ、平坦で、光
漏れのないカラーフィルタを実現するブラックマトリク
スの形成を可能とする黒色感光性樹脂組成物を目的とす
るものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and is a color which is low in cost, has no display unevenness, has good optical characteristics, is excellent in display quality, is flat, and has no light leakage. It is an object of the present invention to provide a black photosensitive resin composition capable of forming a black matrix for realizing a filter.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の黒色感光性樹脂
組成物は、樹脂系材料20〜45重量%、架橋剤5〜2
0重量%、光酸発生剤2〜15重量%、黒色顔料20〜
60重量%とを含有し、光酸発生剤は、吸収波長が34
0nm以下にある光酸発生剤と吸収波長が340〜380
nmにある光酸発生剤とからなることを特徴とするもので
ある。さらには、そのような光酸発生剤としては、でき
るだけ約400nm以上に吸収波長をもたないものが好ま
しい。
The black photosensitive resin composition of the present invention comprises 20 to 45% by weight of a resinous material and 5 to 2% of a crosslinking agent.
0% by weight, 2 to 15% by weight of photoacid generator, 20 to black pigment
60% by weight, and the photoacid generator has an absorption wavelength of 34.
0 nm or less photoacid generator and absorption wavelength of 340-380
and a photo-acid generator at nm. Further, as such a photoacid generator, those having an absorption wavelength of not less than about 400 nm as much as possible are preferable.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
ブラックマトリクスとなる本発明の黒色感光性樹脂組成
物は、少なくとも樹脂系材料と架橋剤と光酸発生剤と黒
色顔料とを含有してなる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The black photosensitive resin composition of the present invention to be a black matrix contains at least a resin material, a crosslinking agent, a photoacid generator, and a black pigment.

【0011】樹脂系材料については、架橋点となりうる
OH基を含有しかつアルカリ性水溶液可溶性である高分
子化合物が適用される。そのような樹脂系材料として
は、例えば、フェノールノボラック、p−ヒドロキシス
チレンに代表されるフェノール類、メタクリル酸2−ヒ
ドロキシエチル、アクリル酸2−ヒドロキシエチル、ア
クリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸等のO
H基を含むモノマーのホモポリマーあるいは共重合体が
挙げられる。共重合に使用できる他のモノマーとして
は、スチレン、フェニルマレイミド、アクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸
ベンジル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、
メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ベンジルなどが挙げ
られる。これらの樹脂系材料は20〜45重量%、好ま
しくは25〜35重量%の範囲内で使用される。少なす
ぎると、感光機能が劣化すること、カーボンの凝集によ
りパターン形状が劣化すること、膜強度や密着性が不足
するなどの問題が生じ、多すぎると、遮光性が不足す
る。
As the resin-based material, a polymer compound containing an OH group which can be a crosslinking point and soluble in an aqueous alkaline solution is applied. Examples of such a resin-based material include phenols such as phenol novolak and p-hydroxystyrene, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, and fumaric acid. Etc. O
Examples include a homopolymer or copolymer of a monomer containing an H group. Other monomers that can be used for copolymerization include styrene, phenylmaleimide, methyl acrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate, benzyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate,
Examples thereof include butyl methacrylate and benzyl methacrylate. These resin materials are used in the range of 20 to 45% by weight, preferably 25 to 35% by weight. If the amount is too small, problems such as deterioration of the photosensitive function, deterioration of the pattern shape due to aggregation of carbon, and insufficient film strength and adhesion may occur.

【0012】架橋剤としては、メチロール化尿素、尿素
樹脂、メチロール化メラミン、ブチロール化メラミン、
メチロール化グアナミンあるいはこれらの化合物のアル
キルエーテルを用いることが可能である。熱安定性が優
れている点からアルキルエーテル化物がより好ましい。
このアルキルエーテルのアルキル基としては炭素数1〜
5のアルキル基が好ましい。特に、このアルキルエーテ
ル化合物としては感度の点で優れているヘキサメチロー
ルメラミンのアルキルエーテル化物がより好ましい。ま
た、エポキシ基を2つ以上持つ化合物も用いることがで
きる。これらの架橋剤は5〜20重量%の範囲内で使用
される。少なすぎると、感光特性に支障をきたし、多す
ぎると遮光性が不足する。
Examples of the crosslinking agent include methylolated urea, urea resin, methylolated melamine, butyrolated melamine,
It is possible to use methylolated guanamine or an alkyl ether of these compounds. Alkyl ethers are more preferred because of their excellent thermal stability.
The alkyl group of the alkyl ether has 1 to 1 carbon atoms.
5 alkyl groups are preferred. In particular, as this alkyl ether compound, an alkyl ether compound of hexamethylolmelamine, which is excellent in sensitivity, is more preferable. Further, a compound having two or more epoxy groups can also be used. These crosslinking agents are used in the range of 5 to 20% by weight. If the amount is too small, the photosensitive characteristics are hindered. If the amount is too large, the light-shielding property is insufficient.

【0013】本発明においては、光酸発生剤として、吸
収波長が340nm以下にある光酸発生剤と340〜38
0nmにある光酸発生剤とを組合せて用いる。吸収波長が
340nm以下にある光酸発生剤としては、吸収波長が2
90〜340nmであることがより望ましい。また、光酸
発生剤としては、光源の発光に含まれる波長域において
吸収がありかつ、光吸収により酸を発生するトリハロメ
チル基含有トリアジン誘導体またはオニウム塩類が望ま
しい。
In the present invention, a photoacid generator having an absorption wavelength of 340 nm or less and 340 to 38 are used as the photoacid generator.
Used in combination with a photoacid generator at 0 nm. As a photoacid generator having an absorption wavelength of 340 nm or less, an absorption wavelength of 2
More preferably, it is 90 to 340 nm. As the photoacid generator, a trihalomethyl group-containing triazine derivative or an onium salt that has an absorption in a wavelength range included in light emission of a light source and generates an acid by light absorption is preferable.

【0014】そのような吸収波長が340nm以下にある
光酸発生剤として、例えば、トリハロメチル基含有トリ
アジン誘導体としては、2,4,6−トリス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビ
ス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−
メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−
4,6ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなど
を挙げることができる。また、オニウム塩類としては、
ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフ
ェニルヨードニウムヘキサフルオロホスホネート、ジフ
ェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジフ
ェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、
ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、ジフ
ェニルヨードニウム−p−トルエンスルホナート、4−
メトキシフェニルフェニルヨードニウムテトラフルオロ
ボレート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム
ヘキサフルオロホスホネート、4−メトキシフェニルフ
ェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、4−
メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメ
タンスルホナート、4−メトキシフェニルフェニルヨー
ドニウムトリフルオロアセテート、4−メトキシフェニ
ルヨードニウム−p−トルエンスルホナート、ビス(4
−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムテトラフルオロ
ボレート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニ
ウムヘキサフルオロホスホネート、ビス(4−tert−ブ
チルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネー
ト、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムト
リフルオロメタンスルホナート、ビス(4−tert−ブチ
ルフェニル)ヨードニウムトリフルオロアセテート、ビ
ス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム−p−ト
ルエンスルホナート等のジアリールヨードニウム塩、ト
リフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリ
フェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、ト
リフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、
トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナ
ート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロアセテー
ト、トリフェニルスルホニウム−p−トルエンスルホナ
ート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムテ
トラフルオロボレート、4−メトキシフェニルジフェニ
ルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、4−メト
キシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロア
ルセネート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニ
ウムトリフルオロメタンスルホナート、4−メトキシフ
ェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテー
ト、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム−p
−トリエンスルホナート、4−フェニルチオフェニルジ
フェニルテトラフルオロボレート、4−フェニルチオフ
ェニルジフェニルヘキサフルオロホスホネート、4−フ
ェニルチオフェニルジフェニルヘキサフルオロアルセネ
ート、4−フェニルチオフェニルジフェニルトリフルオ
ロメタンスルホナート、4−フェニルチオフェニルジフ
ェニルトリフルオロアセテート、4−フェニルチオフェ
ニルジフェニル−p−トルエンスルホナート等のトリア
ールスルホニウム塩等が挙げられる。
As such photoacid generators having an absorption wavelength of 340 nm or less, for example, trihalomethyl group-containing triazine derivatives include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine and 2-phenyl- 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-
Methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl)-
4,6 bis (trichloromethyl) -s-triazine and the like can be mentioned. Also, as onium salts,
Diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium hexafluorophosphonate, diphenyliodonium hexafluoroarsenate, diphenyliodonium trifluoromethanesulfonate,
Diphenyliodonium trifluoroacetate, diphenyliodonium-p-toluenesulfonate,
Methoxyphenylphenyliodonium tetrafluoroborate, 4-methoxyphenylphenyliodonium hexafluorophosphonate, 4-methoxyphenylphenyliodonium hexafluoroarsenate,
Methoxyphenylphenyliodonium trifluoromethanesulfonate, 4-methoxyphenylphenyliodonium trifluoroacetate, 4-methoxyphenyliodonium-p-toluenesulfonate, bis (4
-Tert-butylphenyl) iodonium tetrafluoroborate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphonate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium hexafluoroarsenate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium Diaryliodonium salts such as trifluoromethanesulfonate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium trifluoroacetate, bis (4-tert-butylphenyl) iodonium-p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenyl Sulfonium hexafluorophosphonate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate,
Triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate, triphenylsulfonium trifluoroacetate, triphenylsulfonium-p-toluenesulfonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium tetrafluoroborate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium hexafluorophosphonate, 4-methoxyphenyldiphenyl Sulfonium hexafluoroarsenate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium trifluoroacetate, 4-methoxyphenyldiphenylsulfonium-p
-Trienesulfonate, 4-phenylthiophenyldiphenyltetrafluoroborate, 4-phenylthiophenyldiphenylhexafluorophosphonate, 4-phenylthiophenyldiphenylhexafluoroarsenate, 4-phenylthiophenyldiphenyltrifluoromethanesulfonate, 4-phenyl Trial sulfonium salts such as thiophenyldiphenyltrifluoroacetate and 4-phenylthiophenyldiphenyl-p-toluenesulfonate are exemplified.

【0015】また、吸収波長が340〜380nmにある
光酸発生剤として、例えば、トリハロメチル基含有トリ
アジン誘導体としては、2−(p−メトキシスチリル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2−ピペロニル−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(4’−メトキシ−1’−
ナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、2−(p−メチルチオフェニル)−4,6
−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどを挙
げることができる。また、オニウム塩類としては、4−
ヒドロキシナフチルスルホニウムトリフルオロメタンス
ルホナート等のトリアールスルホニウム塩等が挙げられ
る。
Further, as a photoacid generator having an absorption wavelength of 340 to 380 nm, for example, a trihalomethyl group-containing triazine derivative is 2- (p-methoxystyryl)
-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'-methoxy-1'-
Naphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-
Triazine, 2- (p-methylthiophenyl) -4,6
-Bis (trichloromethyl) -s-triazine and the like. Also, as onium salts,
And trial sulfonium salts such as hydroxynaphthyl sulfonium trifluoromethane sulfonate.

【0016】なかでも、吸収波長域が340nm以下であ
る4−フェニルチオフェニルジフェニルヘキサフルオロ
ホスホネート、または2−(p−メトキシフェニル)−
4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンの
いずれかと、吸収波長が340〜380nmである2−ピ
ペロニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン、または2−(p−メチルチオフェニル)−
4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンの
いずれかとを組合わせて使用することが好ましい。ま
た、青色画素は約400nm以上の波長の光をほとんど吸
収せず、透過させるので、光酸発生剤が400nm以上に
吸収波長があると、画素上の黒色感光性樹脂組成物が感
光し、残存するおそれがあるので、上記2種類の光酸発
生剤を組合わせてなる光酸発生剤は400nm以上の領域
に吸収波長域をもたないことが好ましい。そのようなも
のであれば、可視光カットフィルタを要しない。
Above all, 4-phenylthiophenyldiphenylhexafluorophosphonate having an absorption wavelength range of 340 nm or less, or 2- (p-methoxyphenyl)-
Any of 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine having an absorption wavelength of 340 to 380 nm, or 2- (p-methylthio) Phenyl)-
It is preferable to use in combination with any of 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine. Also, since the blue pixel hardly absorbs and transmits light having a wavelength of about 400 nm or more, if the photoacid generator has an absorption wavelength of 400 nm or more, the black photosensitive resin composition on the pixel is exposed and remains. Therefore, it is preferable that the photoacid generator obtained by combining the above two types of photoacid generators does not have an absorption wavelength region in a region of 400 nm or more. In such a case, a visible light cut filter is not required.

【0017】吸収波長域が340nm以下にある光酸発生
剤は、主として感度の向上に寄与する。吸収波長が34
0〜380nmにある光酸発生剤は、画素によって完全に
は遮られることのない波長域の光で感光するので、画素
の傾斜面上においても感光し、傾斜面上において酸を発
生させることができる。しかし、この吸収波長が340
〜380nmにある光酸発生剤において感度の高いもの
は、400nm以上にも感度を有してしまうので、上述し
た不具合を生じやすくなり、感度の高いものはあまり望
ましくない。その為、高感度化と、画素の傾斜面上にも
ブラックマトリクスを形成させ得ることの両作用を兼ね
備えさせるべく、本発明では少なくとも2種の特定の光
酸発生剤からなる。
A photoacid generator having an absorption wavelength range of 340 nm or less mainly contributes to improvement of sensitivity. 34 absorption wavelength
Since the photoacid generator at 0 to 380 nm is sensitive to light in a wavelength range that is not completely blocked by the pixel, it can also be exposed on the inclined surface of the pixel and generate acid on the inclined surface. it can. However, this absorption wavelength is 340
Among photoacid generators having a wavelength of 380 nm to 380 nm, a photoacid generator having a high sensitivity has a sensitivity of 400 nm or more, so that the above-described problem is likely to occur, and a photosensitizer having a high sensitivity is not so desirable. Therefore, the present invention comprises at least two types of specific photoacid generators in order to have both the function of increasing the sensitivity and the ability to form a black matrix on the inclined surface of the pixel.

【0018】光酸発生剤の組合せ比率においては、吸収
波長域が340nm以下にある光酸発生剤に対して、34
0〜380nmにある光酸発生剤を50〜150重量%、
より好ましくは75〜125重量%の範囲内で使用され
る。340〜380nmの光酸発生剤が少な過ぎると、複
数色画素端部の傾斜した形状上にブラックマトリクスを
形成することができず、多過ぎると、感度が低くなり、
必要な露光量が増大し、複数色画素上にも黒色感光性樹
脂が残ってしまうからである。これらを組合わせてなる
光酸発生剤は全体に対して2〜15重量%の範囲内で使
用される。15重量%を越えて添加した場合は、酸発生
量が多すぎてパターン露光後の加熱によって未露光部に
も酸が拡散し架橋反応を起こし、解像性が低下してしま
う原因となる。また、添加量が2重量%より少ない場合
においては、酸発生量が乏しく、架橋反応が十分進行せ
ず、パターンが形成できない。
In the combination ratio of the photoacid generator, the photoacid generator having an absorption wavelength range of 340 nm or less is compared with a photoacid generator having a wavelength of 340 nm or less.
50-150% by weight of a photoacid generator at 0-380 nm,
More preferably, it is used in the range of 75 to 125% by weight. If the photoacid generator of 340 to 380 nm is too small, a black matrix cannot be formed on the inclined shape of the end portion of the multi-color pixel, and if it is too large, the sensitivity becomes low,
This is because the required exposure amount increases, and the black photosensitive resin remains on the multi-color pixels. The photoacid generator obtained by combining these is used in the range of 2 to 15% by weight based on the whole. If it is added in excess of 15% by weight, the amount of acid generated is too large and the acid diffuses into unexposed areas due to heating after pattern exposure, causing a cross-linking reaction and causing a reduction in resolution. On the other hand, when the amount is less than 2% by weight, the amount of generated acid is insufficient, the crosslinking reaction does not proceed sufficiently, and a pattern cannot be formed.

【0019】黒色顔料としては、カーボンブラック、酸
化チタン、鉄黒、アニリンブラック、有機顔料の混合品
が使用可能であり、必要に応じて顔料の分散性を向上さ
せるため分散媒としてアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂
等を加えることも可能である。また、分散剤として高分
子系分散剤や有機色素の誘導体等を加えてもよい。更に
高分子化合物によりグラフト化されたポリマーグラフト
化カーボンブラックを用いてもよい。これらの黒色顔料
は20〜60重量%、好ましくは40〜50重量%の範
囲内で使用される。少なすぎると、充分な遮光性を得る
ことが出来ず、多すぎると感光性樹脂としての機能を保
持することが出来ない。
As the black pigment, a mixture of carbon black, titanium oxide, iron black, aniline black and an organic pigment can be used. If necessary, an acrylic resin, a dispersion medium for improving the dispersibility of the pigment, It is also possible to add an epoxy resin or the like. Further, a polymer dispersant, a derivative of an organic dye, or the like may be added as a dispersant. Further, a polymer-grafted carbon black grafted with a polymer compound may be used. These black pigments are used in the range of 20 to 60% by weight, preferably 40 to 50% by weight. If the amount is too small, sufficient light-shielding properties cannot be obtained, and if the amount is too large, the function as a photosensitive resin cannot be maintained.

【0020】本発明の黒色感光樹脂組成物は、上述した
これらの材料を、例えば2本ロールミル、3本ロールミ
ル、サンドミル、ペイントコンディショナー等の分散機
を用いて混練することにより容易に得られる。更に分散
時の作業性を向上させるため希釈溶剤として、エチルセ
ロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソ
ルブ、ブチルセロソルブアセテート、エチルカルビトー
ル、エチルカルビトールアセテート、ジエチレングリコ
ール、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメ
チルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート、乳酸エステル類等の有機溶剤を用いても
よい。
The black photosensitive resin composition of the present invention can be easily obtained by kneading these materials using a dispersing machine such as a two-roll mill, a three-roll mill, a sand mill, a paint conditioner and the like. As a diluting solvent to further improve the workability at the time of dispersion, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, ethyl carbitol, ethyl carbitol acetate, diethylene glycol, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, Organic solvents such as lactic acid esters may be used.

【0021】以下、本発明のカラーフィルタの製造方法
の工程の一例を図面に基づき説明する。まず、図3に示
すように、基板10上の所定位置に青、赤または緑色の
複数色画素12,12,・・・を設け、この各複数色画素
12,12,・・・の上方ならびに各複数色画素12,1
2,・・・の間隙に本発明の黒色感光性樹脂組成物をスピ
ンナー法、バーコート法、ロールコート法、カーテンコ
ート法等を用いて均一に塗布し黒色樹脂層16を形成す
る。複数色画素の形成方法としては、従来技術である染
色法、顔料分散法、印刷法、電着法等の現在実用化され
ているいずれの方法を用いても良く、また、黒色樹脂層
と透明基板をより密着させる場合には、70℃〜100
℃程度の熱を加えてもかまわない。
Hereinafter, an example of the steps of the method for manufacturing a color filter of the present invention will be described with reference to the drawings. First, as shown in FIG. 3, blue, red or green multi-color pixels 12, 12,... Are provided at predetermined positions on a substrate 10, and above and above the multi-color pixels 12, 12,. Each multi-color pixel 12, 1
The black photosensitive resin composition of the present invention is uniformly applied to the gaps of 2,... Using a spinner method, a bar coating method, a roll coating method, a curtain coating method, or the like to form a black resin layer 16. As the method of forming the multi-color pixels, any of the currently practiced methods such as a dyeing method, a pigment dispersion method, a printing method, and an electrodeposition method, which are conventional techniques, may be used. When the substrate is brought into close contact, 70 ° C to 100 ° C
Heat of about ° C may be applied.

【0022】次に、透明基板10の裏面から紫外線を照
射し露光を行い、複数色画素12の各間隙部18,1
8,・・・に位置する部分の黒色樹脂層16にのみ酸を発
生させる。露光に用いる光源としては、高圧水銀灯、超
高圧水銀灯等を用いる。黒色感光性樹脂組成物の感光波
長域が400nm以上にもある場合には、複数色画素1
2中を通過した光を黒色樹脂層16が吸収し、複数色画
素12上に黒色樹脂層16が残渣として形成されてしま
うので、可視光カットフィルタを通して露光することが
好ましい。次に、加熱温度90℃〜150℃、時間15
秒〜5分にて酸の触媒反応を利用して、黒色樹脂層16
の複数色画素12の間隙部18の部分のみに架橋反応を
起こさせる。次に、現像液を用いて、複数色画素12,
12,・・・上の未架橋部の黒色樹脂を除去して、図2に
示すようなカラーフィルタを得る。尚、黒色樹脂層16
が複数色画素12よりも厚い場合には研削処理を施せば
よい。現像液には、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無機アルカリ溶
液、トリエチルアミン等のアルキルアミン類、トリエタ
ノールアミン等のアルコールアミン類、テトラメチルア
ンモニウムヒドロキサイド等の第4級アンモニウム塩等
が使用できる。
Next, ultraviolet light is irradiated from the back surface of the transparent substrate 10 to perform exposure, and the gap portions 18 and 1 of the multi-color pixels 12 are exposed.
An acid is generated only in portions of the black resin layer 16 located at 8,. As a light source used for exposure, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, or the like is used. When the photosensitive wavelength range of the black photosensitive resin composition is 400 nm or more, the multi-color pixel 1
The light passing through 2 is absorbed by the black resin layer 16 and the black resin layer 16 is formed as a residue on the multi-color pixels 12. Therefore, it is preferable that the light is exposed through a visible light cut filter. Next, a heating temperature of 90 ° C. to 150 ° C. for 15 hours
In seconds to 5 minutes, utilizing the catalytic reaction of acid, the black resin layer 16
The cross-linking reaction is caused only in the gap portion 18 of the multi-color pixel 12. Next, using the developing solution, the multi-color pixels 12,
12,..., The black resin in the uncrosslinked portion is removed to obtain a color filter as shown in FIG. The black resin layer 16
If is larger than the multi-color pixel 12, grinding may be performed. Developers include inorganic alkali solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate and potassium carbonate, alkylamines such as triethylamine, alcoholamines such as triethanolamine, and quaternary such as tetramethylammonium hydroxide. Ammonium salts and the like can be used.

【0023】本発明においては、特定の光酸発生剤を用
いることにより、300〜400nm波長の光を効率よく
吸収し、高感度に酸を発生させる作用が発現する。しか
も、、各複数色画素の端部に形成される傾斜面上にも架
橋硬化させてブラックマトリクスを形成することが可能
となり、複数色画素の表面とブラックマトリクスの表面
とが平坦となる。また、透明基板の裏側からの露光方法
を用いる際にも従来のような多量の紫外線で黒色樹脂層
の内部まで硬化させる必要がなく、複数色画素の紫外域
の吸収、黒色樹脂層の光学濃度によらず、透明基板裏側
から少量の紫外線による露光によって、複数色画素上へ
の遮光膜の重なりがないカラーフィルタを形成すること
が可能となる。
In the present invention, by using a specific photoacid generator, an effect of efficiently absorbing light having a wavelength of 300 to 400 nm and generating an acid with high sensitivity is exhibited. In addition, it is possible to form a black matrix by crosslinking and curing also on the inclined surface formed at the end of each of the multi-color pixels, and the surface of the multi-color pixel and the surface of the black matrix become flat. Also, even when using the exposure method from the back side of the transparent substrate, it is not necessary to cure the inside of the black resin layer with a large amount of ultraviolet rays as in the conventional case, absorption of the ultraviolet region of the multi-color pixels, optical density of the black resin layer. Irrespective of this, it is possible to form a color filter having no light-shielding film overlapping on a plurality of color pixels by exposure with a small amount of ultraviolet light from the back side of the transparent substrate.

【0024】[0024]

【実施例】図3に示すように、透明なガラス基板(コー
ニング社製:「7059」)10上に、常法により赤、
緑、青の各画素14,14,・・・の着色パターンを形成
した。各色の画素にはそれぞれ「カラーモザイクCRY
7000」、「カラーモザイクCGY7000」、「カ
ラーモザイクCBV7000」フジハント社製を用い
た。これらの複数色画素の膜厚は1.5μmであった。
黒色感光性樹脂組成物は、表1に示す各成分と、ガラス
ビーズを100gをガラス瓶に入れ、ペイントシェーカ
ーを用いて2時間分散して調製した。
As shown in FIG. 3, on a transparent glass substrate (Corning Co., Ltd .: "7059") 10, red,
A colored pattern of green, blue pixels 14, 14,... Was formed. Each color pixel has a color mosaic CRY
7000 "," Color Mosaic CGY7000 "and" Color Mosaic CBV7000 "manufactured by Fuji Hunt. The film thickness of these multi-color pixels was 1.5 μm.
The black photosensitive resin composition was prepared by putting each component shown in Table 1 and 100 g of glass beads in a glass bottle and dispersing them for 2 hours using a paint shaker.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】尚、この実施例で用いた光酸発生剤は、図
1に示すように、「TAZ−104」は、331nmに吸
収ピークをもつものであり、「TAZ−107」は35
7nmに吸収ピークをもつものである。
As shown in FIG. 1, "TAZ-104" has an absorption peak at 331 nm, and "TAZ-107" has a photo-acid generator of 35%.
It has an absorption peak at 7 nm.

【0027】この黒色感光性樹脂分散液を形成された
赤、緑、青の着色パターンの複数色画素14,14,・・
・上にスピンナーにより760rpm、5秒で塗布し、
乾燥して図3に示すような黒色樹脂層16を形成した。
3kW超高圧水銀灯(発光波長域:300〜450nm)
により60mJ/cm2の露光量で、前記複数色画素をマ
スクとして透明基板10の下方から全面露光を行った。
その後、ホットプレートを用いて、90℃で1分間加熱
を行った。1.25%の水酸化ナトリウム水溶液を用い
て、基板を回転させながらシャワー噴霧する方式を用い
て30秒間現像を行い、複数色画素である赤、緑、青の
着色パターン上の未露光部の黒色樹脂層を除去した。最
後にクリーンオーブン中にて230℃で1時間加熱しカ
ラーフィルタを得た。得られたカラーフィルタは、図2
に示すように、各画素12,12,・・・の傾斜面14,
14,・・・上にも黒色樹脂層16が形成されて、平坦性
の優れたものであり、また、光の漏れがなく、コントラ
ストの良好なものであった。
A plurality of color pixels 14, 14,... Of a red, green, and blue coloring pattern formed with the black photosensitive resin dispersion liquid.
・ Apply at 760 rpm for 5 seconds with a spinner,
After drying, a black resin layer 16 as shown in FIG. 3 was formed.
3kW ultra-high pressure mercury lamp (emission wavelength range: 300-450nm)
The whole surface was exposed from below the transparent substrate 10 at an exposure amount of 60 mJ / cm 2 using the multicolor pixels as a mask.
Thereafter, heating was performed at 90 ° C. for 1 minute using a hot plate. Using a 1.25% aqueous solution of sodium hydroxide, developing is performed for 30 seconds using a method of spraying a shower while rotating the substrate, and the unexposed portions on the red, green, and blue colored patterns that are a plurality of color pixels are developed. The black resin layer was removed. Finally, it was heated at 230 ° C. for 1 hour in a clean oven to obtain a color filter. The obtained color filter is shown in FIG.
As shown in FIG.
14, a black resin layer 16 was also formed on the substrate, and the substrate was excellent in flatness. Further, there was no light leakage, and the contrast was good.

【0028】〔比較例〕光酸発生剤として上記「TAZ
−104」のみを用い、それ以外は実施例と同様にして
ブラックマトリクスの作成を行なった。その結果、複数
色画素の特に青画素の端部における傾斜面上にブラック
マトリクスを形成することができなかった。このため、
複数色画素以外から光が漏れ、良好なコントラストを得
ることができなかった。また、複数色画素端部における
傾斜した形状上にブラックマトリクスの形成ができない
ため、平坦性の良好なカラーフィルタを得ることができ
なかった。
[Comparative Example] The above-mentioned “TAZ” was used as a photoacid generator.
A black matrix was prepared in the same manner as in the example except that only -104 "was used. As a result, a black matrix could not be formed on the inclined surface of the multi-color pixel, particularly at the end of the blue pixel. For this reason,
Light leaked from pixels other than the multi-color pixels, and good contrast could not be obtained. Further, since a black matrix cannot be formed on the inclined shape at the end of the multi-color pixel, a color filter having good flatness cannot be obtained.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明の黒色感光性樹脂組成物は、それ
自体が高感度レジストでγ値が高いため、少ない露光量
で十分に架橋硬化することができる。したがって、裏露
光法を用いてカラーフィルタを作成する際にも、露光量
を少なくして、マスクとして用いる各色の複数色画素に
紫外線吸収剤等の添加物を添加せずとも、複数色画素上
にカブリを生じることがなく、適性な現像処理を行なう
ことができる。よって、透明性およびコントラスト比等
の光学特性に優れたカラーフィルタを得ることができ
る。また、画素に形成された傾斜面上に位置する黒色感
光性樹脂組成物に対しても十分に架橋硬化させることが
できるので、各複数色画素の間隙をブラックマトリクス
で埋め尽くすことができ、平坦で、光漏れのないカラー
フィルタを得ることができる。また、このように不都合
なく裏露光法を使用し得ることから、各複数色画素とブ
ラックマトリックスとの重なりによるつの状の突起の生
成を防ぐことができ、カラーフィルタを用いた液晶表示
ディスプレイ等における表示ムラを防止できる。したが
って、反射率の低い黒色樹脂からなる膜厚の厚いブラッ
クマトリクスの形成されたカラーフィルタを得ることが
できる。
Since the black photosensitive resin composition of the present invention is a highly sensitive resist itself and has a high γ value, it can be sufficiently crosslinked and cured with a small exposure. Therefore, even when a color filter is prepared using the back exposure method, the amount of exposure is reduced, and even if an additive such as an ultraviolet absorber is not added to the multi-color pixels of each color used as a mask, the multi-color pixels can be formed. An appropriate development process can be performed without causing fog. Therefore, a color filter having excellent optical characteristics such as transparency and contrast ratio can be obtained. Also, since the black photosensitive resin composition located on the inclined surface formed on the pixel can be sufficiently cross-linked and cured, the gap between each of the plurality of color pixels can be completely filled with the black matrix, and the flatness can be achieved. Thus, a color filter without light leakage can be obtained. In addition, since the back exposure method can be used without any inconvenience in this way, it is possible to prevent the generation of a ridge-like projection due to the overlap of each of the plurality of color pixels and the black matrix, and this is useful in a liquid crystal display using a color filter. Display unevenness can be prevented. Therefore, it is possible to obtain a color filter having a thick black matrix formed of a black resin having a low reflectance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 実施例で用いた光酸発生剤の吸収波長を示す
グラフである。
FIG. 1 is a graph showing the absorption wavelength of a photoacid generator used in Examples.

【図2】 カラーフィルタの一例を示す側断面図であ
る。
FIG. 2 is a side sectional view showing an example of a color filter.

【図3】 カラーフィルタの製造過程を示す側断面図で
ある。
FIG. 3 is a side sectional view showing a process of manufacturing a color filter.

【図4】 従来例のカラーフィルタを示す側断面図であ
る。
FIG. 4 is a side sectional view showing a conventional color filter.

【符号の説明】 10 基板 12 複数色画素 16 黒色樹脂層[Description of Signs] 10 Substrate 12 Multi-color pixels 16 Black resin layer

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 樹脂系材料20〜45重量%、架橋剤5
〜20重量%、光酸発生剤2〜15重量%、黒色顔料2
0〜60重量%とを含有し、前記光酸発生剤は、吸収波
長が340nm以下にある光酸発生剤と吸収波長が340
〜380nmにある光酸発生剤とからなることを特徴とす
る黒色感光性樹脂組成物。
1. A resinous material of 20 to 45% by weight, a crosslinking agent 5
-20% by weight, photoacid generator 2-15% by weight, black pigment 2
0 to 60% by weight, and the photoacid generator has an absorption wavelength of 340 nm or less and a photoacid generator having an absorption wavelength of 340 nm or less.
A black photosensitive resin composition comprising a photoacid generator having a wavelength of from 380 nm to 380 nm.
【請求項2】 前記光酸発生剤は、その吸収波長が40
0nm以上にないことを特徴とする請求項1記載の黒色感
光性樹脂組成物。
2. The photo-acid generator having an absorption wavelength of 40
2. The black photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the thickness is not more than 0 nm.
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