JP3374706B2 - Black photosensitive resin composition, color filter using the same, and method for producing the same - Google Patents

Black photosensitive resin composition, color filter using the same, and method for producing the same

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JP3374706B2
JP3374706B2 JP17395097A JP17395097A JP3374706B2 JP 3374706 B2 JP3374706 B2 JP 3374706B2 JP 17395097 A JP17395097 A JP 17395097A JP 17395097 A JP17395097 A JP 17395097A JP 3374706 B2 JP3374706 B2 JP 3374706B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】液晶ディスプレイ等に用いる
カラーフィルタを製造するための材料に関するものであ
り、特にブラックマトリックスの形成方法とそれに用い
る黒色感光性樹脂組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a material for producing a color filter used for a liquid crystal display or the like, and more particularly to a method for forming a black matrix and a black photosensitive resin composition used therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、カラーフィルタは液晶ディス
プレイ装置の分野にて広く用いられるようになってきて
いる。このカラーフィルタは通常赤、緑、青等の複数色
画素を透明基板上に配列したものである。さらにコント
ラストの良好な画像を得るために、これらの画素間に黒
色のブラックマトリックスを形成する。さらに、TFT
駆動方式の液晶表示に用いられるトランジスターの誤動
作を防ぐ目的でも使用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, color filters have been widely used in the field of liquid crystal display devices. This color filter usually has a plurality of color pixels of red, green, blue, etc. arranged on a transparent substrate. To obtain an image with better contrast, a black black matrix is formed between these pixels. In addition, TFT
It is also used for the purpose of preventing malfunction of the transistors used in the driving type liquid crystal display.

【0003】上記記載のブラックマトリクスは通常ガラ
ス基板上に微細パターンからなる金属薄膜で形成される
場合が多い。その具体例としては、クロム、ニッケル等
の金属あるいは金属化合物を蒸着法、スパッタ法などの
真空成膜法等で薄膜を形成し、これをフォトリソグラフ
ィ法で、微細パターンを形成する方法が一般的である。
具体的には、金属等の薄膜上にフォトレジストを塗布、
乾燥し、フォトマスクを介して紫外線を照射し、現像す
ることによりレジストパターンを形成する。その後、エ
ッチング工程、レジスト剥離工程を経て、ブラックマト
リクスを形成する。しかしながら、上記工程にて製造さ
れたブラックマトリクスはその工程の煩雑さから製造コ
ストが非常に高く、また、これを用いるカラーフィルタ
のコストも高くなるという問題がある。
The black matrix described above is usually formed on a glass substrate by a metal thin film having a fine pattern in many cases. As a specific example, a method in which a metal or metal compound such as chromium or nickel is formed into a thin film by a vacuum film forming method such as a vapor deposition method or a sputtering method, and a fine pattern is formed by a photolithography method is generally used. Is.
Specifically, apply a photoresist on a thin film such as metal,
A resist pattern is formed by drying, irradiating ultraviolet rays through a photomask, and developing. Then, a black matrix is formed through an etching process and a resist stripping process. However, the black matrix manufactured in the above process has a problem that the manufacturing cost is very high due to the complexity of the process, and the cost of the color filter using the black matrix is also high.

【0004】透過型の液晶ディスプレイに、この金属薄
膜を用いたカラーフィルタを搭載した場合、金属薄膜と
して一般的に使用されている金属表面の反射率が高く、
強い外光がカラーフィルタに入射した場合、例えばクロ
ム薄膜の場合は反射光が強く表示品位を著しく低下する
問題がある。一方、上記の様な金属薄膜を用いたブラッ
クマトリクスの問題点を改善すべく、種々の方法が検討
されている。例えば、感光性樹脂組成物にカーボンブラ
ックと必要に応じて有機顔料を分散し、これを用いてブ
ラックマトリクスを形成する方法が提案されている。し
かしカーボンブラックで十分な遮光性を得るためには、
約1μmの膜厚を必要とする。このため、位置合わせの
マージンである複数色画素との重なりの部分が、つの状
の突起となり、表示ムラの原因になっていた。
When a color filter using this metal thin film is mounted on a transmissive liquid crystal display, the reflectance of the metal surface generally used as the metal thin film is high,
When strong external light enters the color filter, for example, in the case of a chrome thin film, there is a problem that the reflected light is strong and the display quality is remarkably deteriorated. On the other hand, various methods have been studied in order to improve the problems of the black matrix using the metal thin film as described above. For example, a method has been proposed in which carbon black and, if necessary, an organic pigment are dispersed in a photosensitive resin composition, and a black matrix is formed using this. However, in order to obtain sufficient light shielding properties with carbon black,
A film thickness of about 1 μm is required. For this reason, the overlapping portion with the pixels of a plurality of colors, which is the alignment margin, becomes a single protrusion, which causes display unevenness.

【0005】特開平6−59119明細書において、黒
色の感光性の樹脂層を複数色画素上及び間に設けた後、
複数色画素をマスクとして、基板側から全面露光するこ
とにより複数色画素の隙間にのみ選択的に黒色ブラック
マトリックスを設ける方法および材料が提案されてい
る。この所謂裏露光法を用いると、ブラックマトリック
スと着色画素との重なりがなくなり、平坦性の高いカラ
ーフィルタが得られる。しかし黒色ブラックマトリック
スの膜厚を十分に取り、かつ、複数色画素上の黒色層が
現像液等によって完全に除去され残らないようにするた
めには、複数色画素の黒色感光性樹脂組成物の感光波長
域での遮光性が十分に高くなければならなかった。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-59119, after a black photosensitive resin layer is provided on and between pixels of a plurality of colors,
A method and material have been proposed in which a black-black matrix is selectively provided only in gaps between pixels of a plurality of colors by exposing the entire surface from the substrate side using the pixels of a plurality of colors as a mask. When this so-called back exposure method is used, the black matrix and the colored pixels do not overlap each other, and a color filter having high flatness can be obtained. However, in order to obtain a sufficient thickness of the black-black matrix and prevent the black layer on the multi-color pixels from being completely removed by the developing solution or the like, the black photosensitive resin composition of the multi-color pixels should be formed. The light-shielding property in the photosensitive wavelength range had to be sufficiently high.

【0006】特に一般的に用いられているラジカル重合
系感光性樹脂においては、感光特性曲線が比較的なだら
かでγ値が小さいために、着色画素においては非常に高
い紫外線の遮光能力が要求される。そのため、マスクと
なる着色画素中に酸化チタン、酸化亜鉛、ベンゾトリア
ゾール系化合物、クマリン系化合物等の紫外線吸収剤を
添加しなければならなかった。これによりカラーフィル
ターとしての光学特性、即ち透明性およびコントラスト
比を著しく損ねてしまうという問題があった。さらに、
カーボンブラックが、紫外線照射により光重合系感光樹
脂にて用いる光重合開始剤から発生したラジカルを捕捉
してしまう性質を有するため、ラジカル重合を阻害し、
経済的な露光量においては充分な画素形成が困難であ
り、現像時にパターンが剥離する等の問題点があった。
Particularly in the radical polymerization type photosensitive resin which is generally used, since the photosensitive characteristic curve is comparatively gentle and the γ value is small, a very high ultraviolet ray shielding ability is required in the colored pixel. . Therefore, it has been necessary to add an ultraviolet absorber such as titanium oxide, zinc oxide, a benzotriazole-based compound, or a coumarin-based compound to the colored pixels serving as a mask. As a result, there is a problem that the optical characteristics of the color filter, that is, the transparency and the contrast ratio are significantly impaired. further,
Carbon black has a property of capturing radicals generated from the photopolymerization initiator used in the photopolymerization photosensitive resin by irradiation of ultraviolet rays, and thus inhibits radical polymerization,
It was difficult to form sufficient pixels at an economical exposure amount, and there was a problem that the pattern peeled off during development.

【0007】特開平4−177202には、バインダー
ポリマー、光酸発生剤、架橋剤および黒色顔料からなる
ブラックマトリックス用材料が提示されているが、この
反応系は従来のラジカル重合反応を利用したものとは異
なり、酸触媒反応を利用しており、感度が高く、γ値も
高いという利点がある。このため、着色画素においては
高い遮光性が不要であり、紫外線吸収剤の添加剤は必要
でなくなり、また感度が高いため生産性も向上する。し
かしながら、このレジスト反応系を裏露光法に適用した
場合、感度と膜厚は十分得られるものの、通常のカーボ
ンを分散させただけでは、形成されたブラックマトリッ
クスの表面近辺は樹脂成分が現像中に溶出しているた
め、膜強度は非常に弱く、密着力がほとんど得られない
という問題があった。しかし、高分子化合物がグラフト
化されたカーボンブラックを用いることにより、バイン
ダー樹脂の溶出は抑制され、密着性は大幅に向上する。
しかしながら、プレッシャークッカーによる耐湿試験で
は、十分な密着力が得られなかった。また、バインダー
樹脂樹脂にポリヒドロキシスチレン単独重合体あるい
は、ポリヒドロキシスチレン/(メタ)アクリル酸エス
テルとの共重合体をベース樹脂として用いた場合、アル
カリ現像液に対する溶解性が十分でないため、着色画素
上に残留してしまうという問題点があった。
Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 4-177202 discloses a material for a black matrix comprising a binder polymer, a photo-acid generator, a cross-linking agent and a black pigment. This reaction system uses a conventional radical polymerization reaction. Unlike the above, it utilizes an acid-catalyzed reaction, and has the advantages of high sensitivity and high γ value. Therefore, the colored pixel does not need to have a high light-shielding property, an additive for an ultraviolet absorber is not necessary, and the sensitivity is high, so that the productivity is improved. However, when this resist reaction system is applied to the back exposure method, although sufficient sensitivity and film thickness can be obtained, just dispersing ordinary carbon causes the resin component to develop near the surface of the formed black matrix during development. Since it was eluted, the film strength was very weak, and there was the problem that almost no adhesion was obtained. However, by using the carbon black grafted with the polymer compound, the elution of the binder resin is suppressed and the adhesiveness is significantly improved.
However, in the moisture resistance test with the pressure cooker, sufficient adhesion could not be obtained. Further, when a polyhydroxystyrene homopolymer or a copolymer of polyhydroxystyrene / (meth) acrylic acid ester is used as a base resin for the binder resin, the solubility in an alkali developing solution is not sufficient, so that the colored pixel There was a problem that it remained on top.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、耐湿試験後の密着性の向上と現像時の着色画素
上での残渣を低減するためになされたものであり、光を
遮断するのに充分な濃度を持ち、反射率が低いブラック
マトリックスが形成でき、かつ平滑性が高く、膜強度の
高いカラーフィルタを作製することのできる黒色感光性
樹脂組成物およびそれを用いたカラーフィルタとその製
造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above problems of the prior art. The problem is to improve the adhesiveness after a moisture resistance test and to improve the adhesion of colored pixels on a developing pixel. It was made to reduce the residue, and it has a sufficient density to block light, can form a black matrix with low reflectance, and has high smoothness and high film strength. A black photosensitive resin composition that can be used, a color filter using the same, and a method for producing the same.

【0009】本発明において、上記課題を達成するため
には、まず請求項1の発明では、ヒドロキシスチレンを
主成分とする共重合体、架橋剤、光酸発生剤およびカー
ボンブラックが高分子化合物によりグラフト化されてい
るグラフト化カーボンからなる黒色感光性樹脂組成物
おいて、前記ヒドロキシスチレンを主成分とする共重合
体が、構造単位として一般式化1で表される単位を50
モル%以上、さらに一般式化2で表される単位を5〜3
0モル%を含む共重合体であり、前記架橋剤の添加量
は、該共重合体に対し10〜80重量%、前記光酸発生
剤の添加量は、前記共重合体と架橋剤の合計量に対し1
〜30重量%の範囲であることを特徴とする黒色感光性
樹脂組成物としたものである。
In order to achieve the above object in the present invention, first, in the invention of claim 1, the copolymer containing hydroxystyrene as a main component, the cross-linking agent, the photo-acid generator and the carbon black are made of a polymer compound. In the black photosensitive resin composition composed of grafted carbon which is grafted, the copolymer containing hydroxystyrene as a main component has a unit represented by the general formula 1 as a structural unit. Fifty
Mol% or more, 5 to 3 units represented by the general formula 2
Ri copolymer der containing 0 mol%, the addition amount of the crosslinking agent
Is 10 to 80% by weight with respect to the copolymer,
The addition amount of the agent is 1 with respect to the total amount of the copolymer and the crosslinking agent.
To 30% by weight in the range of black photosensitivity
It is a resin composition .

【0010】また、請求項2の発明では、前記カーボン
ブラックが高分子化合物によりグラフト化されているグ
ラフト化カーボンブラックにおいて、該高分子化合物
アジリジン基、オキサゾリン基、N−ヒドロキシアルキ
ルアミド基、エポキシ基、チオエポキシ基、イソシアネ
ート基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基、珪素系
加水分解性基、アミノ基から選ばれる一種あるいは二種
以上の基を分子内に有するもので、その量は前記カーボ
ンブラックに対し10〜100重量%の範囲であること
を特徴とする請求項1記載の黒色感光性樹脂組成物とし
たものである。
Further, in the invention of claim 2, in the grafted carbon black in which the carbon black is grafted with a polymer compound, the polymer compound is an aziridine group, an oxazoline group or an N-hydroxyalkyl group. An amide group, an epoxy group, a thioepoxy group, an isocyanate group, a vinyl group, an acrylic group, a methacrylic group, a silicon-based hydrolyzable group, a group having one or more groups selected from the amino group in the molecule , the amount thereof Is the carbo
The black photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content of the black photosensitive resin composition is in the range of 10 to 100% by weight .

【0011】また、請求項3の発明では、前記カーボン
ブラックがpHが7以下である請求項1または2の発明
に記載のカラーフィルタ用黒色感光性樹脂組成物とした
ものである。
Further, in the invention of claim 3, the carbon black has a pH of 7 or less, and the black photosensitive resin composition for a color filter according to the invention of claim 1 or 2.

【0012】また、請求項4の発明では、上記請求項
1、2または3の発明に記載の黒色感光性樹脂組成物か
らなるブラックマトリックスを有し、かつ該ブラックマ
トリックスと複数の着色画素との重なりによる突起がな
いカラーフィルタとしたものである。
According to a fourth aspect of the invention, there is provided a black matrix comprising the black photosensitive resin composition according to the first, second or third invention, and the black matrix and a plurality of colored pixels are provided. The color filter has no protrusions due to overlap.

【0013】また、請求項5の発明では、少なくとも、 1)透明基板上に複数色の画素を設ける工程、 2)請求項1、2または3に記載の黒色感光性樹脂組成
物を複数色画素上及び間に設ける工程、 3)透明基板側から露光する工程、 4)加熱する工程、 5)着色画素上の黒色感光性樹脂組成物を溶解させうる
液体を、黒色感光性樹脂組成物に接触させることにより
複数色画素上の黒色感光性樹脂組成物を溶解除去する工
程を含むことを特徴とする請求項4に記載のカラーフィ
ルタの製造方法としたものである。
Further, in the invention of claim 5, at least 1) a step of providing pixels of a plurality of colors on a transparent substrate, and 2) a pixel of the black photosensitive resin composition according to claim 1, 2 or 3 is a pixel of a plurality of colors. Steps provided above and between, 3) Step of exposing from transparent substrate side, 4) Step of heating, 5) Contact of liquid capable of dissolving black photosensitive resin composition on colored pixels with black photosensitive resin composition The method for producing a color filter according to claim 4, further comprising a step of dissolving and removing the black photosensitive resin composition on the pixels of a plurality of colors by performing the above.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態につき説明
する。ブラックマトリックスであるブラックマトリック
スとなる黒色感光性樹脂組成物は、樹脂系材料と架橋剤
と光酸発生剤とポリマーグラフト化されたカーボンブラ
ックとからなる黒色感光性樹脂組成物を用いる。本発明
において用いられる、ヒドロキシスチレン/アクリル酸
またはヒドロキシスチレン/メタクリル酸系共重合体
は、一般式化3で表される、ヒドロキシスチレンまたは
ヒドロキシスチレン誘導体と、一般式化4で表されるア
クリル酸またはメタクリル酸とを共重合することにより
得ることができる。本発明の共重合体は通常のラジカル
重合法により、容易に製造することができる。共重合体
組成における化3のヒドロキシスチレンまたはヒドロキ
シスチレン誘導体の含有率は、50モル%以上が好まし
く、50%より少ないと十分な感度が得られない。また
化4のアクリル酸またはメタクリル酸の含有率は5〜3
0モル%が好ましく、5モル%より少ないと、耐湿試験
後の密着性が十分でなく、反対に30%より多いと、溶
解性が高すぎて、現像時に剥離してしまうという問題点
がある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below. As the black photosensitive resin composition which becomes the black matrix, which is the black matrix, a black photosensitive resin composition comprising a resin material, a cross-linking agent, a photo-acid generator and polymer-grafted carbon black is used. The hydroxystyrene / acrylic acid or hydroxystyrene / methacrylic acid-based copolymer used in the present invention is a hydroxystyrene or hydroxystyrene derivative represented by the general formula 3 and an acrylic acid represented by the general formula 4. Alternatively, it can be obtained by copolymerizing with methacrylic acid. The copolymer of the present invention can be easily produced by an ordinary radical polymerization method. The content of the hydroxystyrene or hydroxystyrene derivative of Chemical formula 3 in the copolymer composition is preferably 50 mol% or more, and if it is less than 50%, sufficient sensitivity cannot be obtained. Further, the content of acrylic acid or methacrylic acid in Chemical formula 4 is 5 to 3
0 mol% is preferable, and if it is less than 5 mol%, the adhesion after the moisture resistance test is not sufficient. On the contrary, if it is more than 30%, the solubility is too high and peeling occurs during development. .

【0015】[0015]

【化3】 (式中Rはメチル基または水素を表す)[Chemical 3] (In the formula, R represents a methyl group or hydrogen)

【0016】[0016]

【化4】 (式中R’はメチル基または水素を表す)[Chemical 4] (In the formula, R'represents a methyl group or hydrogen)

【0017】なお、上記一般式化3で表されるモノマー
としては、具体的には、p−ヒドロキシスチレン、m−
ヒドロキシスチレン、ο−ヒドロキシスチレン、α−メ
チル−4−ヒドロキシスチレン等が挙げられる。
Specific examples of the monomer represented by the above general formula 3 are p-hydroxystyrene and m-.
Examples thereof include hydroxystyrene, o-hydroxystyrene, α-methyl-4-hydroxystyrene and the like.

【0018】また、第三成分として他のモノマーを共重
合させることも可能である。第三成分のモノマーとし
て、具体的にはメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチ
ル、メタクリル酸n−プロピル、メタクリル酸イソプロ
ピル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸イソブチ
ル、メタクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸t−ブ
チル、メタクリル酸n−ペンチル、メタクリル酸イソペ
ンチル、メタクリル酸n−ヘキシル、メタクリル酸シク
ロヘキシル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタク
リル酸2−ヒドロキシエチル、メタクリル酸フェニル、
メタクリル酸ベンジル、アクリル酸メチル、アクリル酸
エチル、アクリル酸n−プロピル、アクリル酸イソプロ
ピル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸イソブチル、
アクリル酸sec−ブチル、アクリル酸t−ブチル、ア
クリル酸n−ペンチル、アクリル酸イソペンチル、アク
リル酸n−ヘキシル、アクリル酸シクロヘキシル、アク
リル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸2−ヒドロキシ
エチル、アクリル酸フェニル、アクリル酸ベンジル、ア
クリル酸2−ヒドロキシエチル、スチレン等が挙げられ
る。
It is also possible to copolymerize another monomer as the third component. Specific examples of the third component monomer include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate. , N-pentyl methacrylate, isopentyl methacrylate, n-hexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, phenyl methacrylate,
Benzyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate,
Sec-Butyl acrylate, t-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, isopentyl acrylate, n-hexyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, phenyl acrylate, acrylic Examples thereof include benzyl acid salt, 2-hydroxyethyl acrylate, and styrene.

【0019】本発明における架橋剤としては、N−アル
コキシメチル化合物が使用でき、具体的にはN−メトキ
シメチル尿素、N−ブトキシメチル尿素、N−メトキシ
メチルメラミン、N−ブトキシメチルメラミン、N−メ
トキシメチルグアナミン、N−ブトキシメチルグアナミ
ン等が挙げられ、解像度や安定性の点からN−アルコキ
シメチルの導入率はできるだけ高い方が好ましい。ま
た、架橋剤の添加量は樹脂に対して10〜80重量%が
好ましい。添加量が10重量%より少ないと、架橋不足
のために十分な感度が得られず、反対に80重量%より
多いと、未反応の架橋剤が多く残っているため、露光部
の溶解性が高く、やはり感度が低下し、またカーボン以
外の割合が増加し、十分な遮光性が得られなくなる。
As the cross-linking agent in the present invention, an N-alkoxymethyl compound can be used, and specifically, N-methoxymethylurea, N-butoxymethylurea, N-methoxymethylmelamine, N-butoxymethylmelamine, N- Methoxymethylguanamine, N-butoxymethylguanamine and the like can be mentioned. From the viewpoint of resolution and stability, it is preferable that the introduction rate of N-alkoxymethyl is as high as possible. Further, the addition amount of the crosslinking agent is preferably 10 to 80% by weight with respect to the resin. If the addition amount is less than 10% by weight, sufficient sensitivity cannot be obtained due to insufficient crosslinking, and if it is more than 80% by weight, a large amount of unreacted crosslinking agent remains, so that the solubility of the exposed area becomes poor. It is high, the sensitivity is also lowered, and the proportion other than carbon is increased, so that sufficient light shielding properties cannot be obtained.

【0020】本発明における光酸発生剤としては、40
0nm以下に吸収波長域を有するものが好ましく、40
0nm以上に感光域があるものは、着色画素上に黒色樹
脂が残留してしまい本発明に適さない。光酸発生剤とし
ては、トリハロメチル基含有トリアジン誘導体およびオ
ニウム塩があり、具体的にはトリハロメチル基含有トリ
アジン誘導体としては、2,4,6−トリス(トリクロ
ロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチ
リル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、2−(4’−メトキ
シ−1’−ナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(p−メチルチオフェニ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジンなどを用いることができる。また、オニウム塩とし
てはジアリールヨードニウムまたはトリアリールスルホ
ニウムのBF4−、PF6−、SbF6−、CF3SO
3−塩等が挙げられる。これらの光酸発生剤は、単独
で、あるいは、混合して使用しても良く、その添加量は
樹脂と架橋剤の合計量に対して1〜30重量%が好まし
い。これは、30重量%を越えて添加した場合は、酸発
生量が多すぎパターン露光後の加熱によって未露光部に
も酸が拡散し架橋反応を起こし、解像性が低下してしま
う。また、1重量%より少ない添加では、酸発生量が乏
しく、架橋反応が十分進まず、パターンが形成できな
い。
As the photo-acid generator in the present invention, 40
Those having an absorption wavelength range of 0 nm or less are preferable, and 40
Those having a photosensitive region of 0 nm or more are not suitable for the present invention because the black resin remains on the colored pixels. Examples of the photoacid generator include trihalomethyl group-containing triazine derivatives and onium salts, and specific examples of trihalomethyl group-containing triazine derivatives include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine and 2- (P-Methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl)
-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'-methoxy-1'-naphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methylthiophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and the like can be used. As the onium salt, BF4-, PF6-, SbF6-, CF3SO of diaryliodonium or triarylsulfonium is used.
3-salt etc. are mentioned. These photoacid generators may be used alone or as a mixture, and the addition amount thereof is preferably 1 to 30% by weight based on the total amount of the resin and the crosslinking agent. This is because, if added in excess of 30% by weight, the amount of acid generated is too large and the acid diffuses into the unexposed area due to heating after the pattern exposure to cause a crosslinking reaction, resulting in a decrease in resolution. On the other hand, if the amount added is less than 1% by weight, the amount of acid generated is poor, the crosslinking reaction does not proceed sufficiently, and a pattern cannot be formed.

【0021】また、本発明における前記カーボンブラッ
クをグラフト化するのに用いる高分子化合物は、カーボ
ンブラック表面に存在する官能基と容易に反応しうる基
を有するものである。この基の具体例としては、アジリ
ジン基、オキサゾリン基、N−ヒドロキシアルキルアミ
ド基、エポキシ基、チオエポキシ基、イソシアネート
基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基、珪素系加水
分解性基、アミノ基等が挙げられ、高分子化合物には、
これらの基が分子内に1種又は2種以上有する必要があ
る。特にカーボンブラック表面の官能基との反応性の面
で、アジリジン基、オキサゾリン基、N−ヒドロキシア
ルキルアミド基、エポキシ基、チオエポキシ基、イソシ
アネート基から選ばれる1種又は2種以上の基を有する
高分子化合物が好ましい。より好ましくはアジリジン
基、オキサゾリン基、N−ヒドロキシアルキルアミド基
から選ばれる1種又は2種以上の基を有する高分子化合
物である。カーボンブラックと高分子化合物を反応させ
る場合には、反応を阻害しない限りにおいて、反応系に
該高分子化合物以外のポリマー成分、モノマー、有機溶
剤等の物質が存在してもよい。高分子化合物はカーボン
ブラックの10〜100重量%、好ましくは20〜60
重量%含有することが必要である。10重量%以下では
グラフトの効果即ち膜強度の向上がなく、100重量%
以上では感光性に障害がでたり、光学濃度が不足する。
The polymer compound used for grafting the carbon black in the present invention has a group capable of easily reacting with a functional group present on the surface of carbon black. Specific examples of this group include an aziridine group, an oxazoline group, an N-hydroxyalkylamide group, an epoxy group, a thioepoxy group, an isocyanate group, a vinyl group, an acryl group, a methacryl group, a silicon-based hydrolyzable group, and an amino group. Examples of the polymer compound include
It is necessary that these groups have one kind or two or more kinds in the molecule. Particularly, in terms of reactivity with the functional group on the surface of carbon black, it is preferable to have one or more kinds of groups selected from aziridine group, oxazoline group, N-hydroxyalkylamide group, epoxy group, thioepoxy group and isocyanate group. Molecular compounds are preferred. More preferred is a polymer compound having one or more groups selected from an aziridine group, an oxazoline group and an N-hydroxyalkylamide group. When carbon black is reacted with a polymer compound, substances other than the polymer compound, such as polymer components, monomers and organic solvents, may be present in the reaction system as long as the reaction is not hindered. The polymer compound is 10 to 100% by weight of carbon black, preferably 20 to 60.
It is necessary to contain it by weight%. If it is less than 10% by weight, the effect of grafting, that is, the improvement of the film strength does not occur.
In the above case, the photosensitivity is impaired and the optical density is insufficient.

【0022】また、上記のカーボンブラックとしてはp
Hが7以下としたものであり、好ましくは5以下が望ま
しい。pHが7以上であると、グラフトの効果、即ち膜
強度の向上が認められない。
Further, as the above carbon black, p
H is 7 or less, and preferably 5 or less. If the pH is 7 or more, the effect of grafting, that is, the improvement of the film strength is not recognized.

【0023】以上の材料を、2本ロールミル、3本ロー
ルミル、サンドミル、ペイントコンディショナー等の分
散機を用いて混練し、黒色感光性樹脂組成物とする。更
に分散時の作業性を向上させるため希釈溶剤として、エ
チルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ブチル
セロソルブ、ブチルセロソルブアセテート、エチルカル
ビトール、エチルカルビトールアセテート、ジグライ
ム、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、乳酸エステル類等の有機溶剤を用いてもよ
い。
The above materials are kneaded using a disperser such as a two-roll mill, a three-roll mill, a sand mill and a paint conditioner to obtain a black photosensitive resin composition. Further as a diluting solvent to improve workability during dispersion, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, ethyl carbitol, ethyl carbitol acetate, diglyme, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, You may use organic solvents, such as a lactate ester.

【0024】以下、上記の黒色感光性樹脂組成物を用い
た本発明のカラーフィルタおよびその製造方法を図1
(a)〜(e)に示す工程の一例に基づき説明する。図
1(a)に示すように、透明基板(1)上に複数の着色
画素(2)を設け、図1(b)に示すように、この上及
び間に本発明の黒色感光性樹脂組成物を複数の着色画素
(2)上にスピンナー法、バーコート法、ロールコート
法、カーテンコート法等を用いて均一に塗布し黒色樹脂
層(3)を形成する。
A color filter of the present invention using the above black photosensitive resin composition and a method for producing the same will be described below with reference to FIG.
It demonstrates based on an example of the process shown to (a)-(e). As shown in FIG. 1 (a), a plurality of colored pixels (2) are provided on a transparent substrate (1), and as shown in FIG. 1 (b), the black photosensitive resin composition of the present invention is provided therebetween. The product is uniformly applied onto the plurality of colored pixels (2) by a spinner method, a bar coating method, a roll coating method, a curtain coating method or the like to form a black resin layer (3).

【0025】上記複数の着色画素(2)の形成方法とし
ては、従来技術である染色法、顔料分散法、印刷法、電
着法等の現在実用化されている、いずれの方法を用いて
も良い。
As the method of forming the plurality of colored pixels (2), any of the currently practiced methods such as the conventional dyeing method, pigment dispersion method, printing method and electrodeposition method may be used. good.

【0026】次に、図1(c)に示すように、透明基板
(1)の裏面から紫外光(4)を照射し露光を行い、複
数着色画素(2)間隙部の黒色樹脂層(3)にのみ酸を
発生させる。この露光に用いる光源としては、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯等を用いる。黒色感光性樹脂組成物
感光波長域が400nm以上にも伸びている場合には、
可視光カットフィルターを通して露光することが好まし
い。
Next, as shown in FIG. 1 (c), the back surface of the transparent substrate (1) is irradiated with ultraviolet light (4) for exposure to expose the black resin layer (3) in the gaps between the plural colored pixels (2). ) Only generate acid. As a light source used for this exposure, a high pressure mercury lamp, an ultra high pressure mercury lamp, or the like is used. When the photosensitive wavelength range of the black photosensitive resin composition extends to 400 nm or more,
It is preferable to expose through a visible light cut filter.

【0027】次に、図1(d)に示すように、上記で得
られた複数着色画素(2)と黒色樹脂層(3)を含む透
明基板(1)を70℃〜130℃の温度で加熱し、酸の
触媒反応を利用して、黒色樹脂層(3)の複数着色画素
(2)間隙部のみを架橋反応を起こさせる。温度が70
℃より低いと反応が進行せず、十分な感度が得られない
が、また反対に130℃以上では着色画素(2)上の黒
色樹脂層(3)も硬化してしまう。
Next, as shown in FIG. 1D, the transparent substrate (1) containing the plurality of colored pixels (2) and the black resin layer (3) obtained above is heated at a temperature of 70 ° C to 130 ° C. By heating, the catalyst reaction of acid is used to cause a crosslinking reaction only in the gaps between the colored pixels (2) of the black resin layer (3). Temperature is 70
If the temperature is lower than ° C, the reaction does not proceed and sufficient sensitivity cannot be obtained. On the contrary, at 130 ° C or higher, the black resin layer (3) on the colored pixel (2) is also cured.

【0028】次に、図1(d)に示すように、アルカリ
現像液を用いて、着色画素(2)上の未架橋部の黒色樹
脂層(3)を除去して、着色画素(2)間にブラックマ
トリックスを有するカラーフィルタ(A)を得る。この
アルカリ現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウムなどの無
機アルカリ、またはトリエチルアミン、トリエタノール
アミン、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイドな
どの有機アルカリを用いることができる。さらに、上記
アルカリ現像液に、必要に応じて他の添加剤、例えば、
界面活性剤、湿潤剤、有機溶剤などを添加しても良い。
Next, as shown in FIG. 1 (d), the black resin layer (3) in the uncrosslinked portion on the colored pixel (2) is removed by using an alkaline developer, and the colored pixel (2) is removed. A color filter (A) having a black matrix between them is obtained. As the alkaline developer, an inorganic alkali such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate or the like, or an organic alkali such as triethylamine, triethanolamine or tetramethylammonium hydroxide can be used. Further, in the alkaline developer, if necessary, other additives, for example,
You may add surfactant, a wetting agent, an organic solvent, etc.

【0029】[0029]

【実施例】以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明
する。 <実施例1> 〔バインダー樹脂の合成〕p−ヒドロキシスチレン9
0.0g(0.749モル)、アクリル酸10.0g
(0.139モル)を、トルエン100ml、ジオキサ
ン250mlに溶解させ、アゾイソブチロニトリル0.
5g加え、70℃にて、3時間反応させた後、反応液を
ヘキサン中に注ぎ、得らた沈殿物を、減圧乾燥して8
0.2gの固体を得た。NMR分析の結果より、この樹
脂の共重合比はp−ヒドロキシスチレン/アククリル酸
=79/21であった。また、分子量は、ゲルパーミエ
ーションクロマトグラフィ分析より、ポリスチレン換算
で、重量平均分子量10200、数平均分子量4400
であった。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. <Example 1> [Synthesis of binder resin] p-hydroxystyrene 9
0.0 g (0.749 mol), acrylic acid 10.0 g
(0.139 mol) was dissolved in 100 ml of toluene and 250 ml of dioxane to prepare azoisobutyronitrile (0.1 ml).
After adding 5 g and reacting at 70 ° C. for 3 hours, the reaction solution was poured into hexane, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure to 8
0.2 g of solid was obtained. From the result of NMR analysis, the copolymerization ratio of this resin was p-hydroxystyrene / acrylic acid = 79/21. In addition, the molecular weight is 10200 in terms of polystyrene and 4400 in number average molecular weight in terms of polystyrene by gel permeation chromatography analysis.
Met.

【0030】〔グラフトカーボンの合成〕撹拌羽根、不
活性ガス導入管、還流冷却管、温度計、および滴下漏斗
を備え付けたセパラブルフラスコに溶剤として、トルエ
ン80g、メチルエチルケトン20gを仕込み、メチル
メタクリレート(MMA)85g、2ーヒドロキチエチ
ルメタクリレート(HEMA)15g、チオグリコール
酸4.3g、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)
2gの混合溶液を4時間かかって連続的に滴下して重合
を行った。その後同温度で3時間かかって加熱したの
ち、95℃で2時間熟成を行い、重合を終了した。この
反応液200gに対してグリシジルメタクリレート(G
MA)を8.5g(1.3倍当量/COOH)触媒とし
てテトラブチルアンモニウムブロマイド1.3g及び重
合禁止剤としてハイドロキノンモノメチルエーテル0.
04gを加え、反応温度85〜90℃にて10時間反応
させた。これをn−ヘキサンに再沈後、50℃にて2日
間減圧乾燥させ片末端メタクリレート型のMMA−HE
MA共重合体マクロモノマーを得た。ここで得られたマ
クロモノマー50g、スチレン(St)25g、HEM
A20g、イソプロペニルオキサゾリン(IPO)5
g、開始剤としてAIBN3gを、溶剤としてプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGM−
Ac)100gに溶解させ、重合性単量体組成物を得
た。さらに、PGM−Ac50g仕込み、80℃に昇温
した。滴下漏斗に上記重合性単量体組成物を仕込み温度
を80℃に保持させながら、3時間にわたり滴下を行っ
たのち、さらに同温度にて2時間重合反応を続けた。そ
の後、110℃に昇温し2時間熟成反応を行い、反応性
の基としてオキサゾリン基を有する高分子化合物(不揮
発分40%)の溶液を得た。ここで得られた高分子溶液
22.5g、pHが3のカーボンブラックを30g、P
GM−Ac97.5g、及び、ジルコニアビーズ800
gを回転数600rpmで撹拌しながら、100℃で3
時間反応させた。冷却した後、ビーズとの分離を行いカ
ーボンブラック含有量20%のカーボンブラックグラフ
トポリマー(GCB)分散体を得た。ここで得られたG
CB分散体150gに対して、無水トリメリット酸(M
w192.13)3.59g、触媒として1,8−ジア
ザビシクロ[5,4,0]−ウンデセン(DBU)0.
09g、を添加し80℃の温度にて1時間反応を行い、
カルボキシル基を含有したGCB分散体を得た。
[Synthesis of Grafted Carbon] To a separable flask equipped with a stirring blade, an inert gas introduction tube, a reflux condenser, a thermometer, and a dropping funnel, 80 g of toluene and 20 g of methyl ethyl ketone were charged as a solvent, and methyl methacrylate (MMA) was added. ) 85 g, 2-hydrochiethylethyl methacrylate (HEMA) 15 g, thioglycolic acid 4.3 g, azobisisobutyronitrile (AIBN)
Polymerization was carried out by continuously dropping 2 g of the mixed solution over 4 hours. After heating at the same temperature for 3 hours, aging was carried out at 95 ° C. for 2 hours to complete the polymerization. Glycidyl methacrylate (G
MA) 8.5 g (1.3 times equivalent / COOH) as a catalyst, 1.3 g of tetrabutylammonium bromide, and as a polymerization inhibitor, hydroquinone monomethyl ether 0.1.
04g was added and it was made to react at reaction temperature 85-90 degreeC for 10 hours. This was reprecipitated in n-hexane, dried under reduced pressure at 50 ° C. for 2 days, and then one-end methacrylate type MMA-HE was used.
An MA copolymer macromonomer was obtained. 50 g of the macromonomer obtained here, 25 g of styrene (St), HEM
A 20 g, isopropenyl oxazoline (IPO) 5
g, AIBN 3 g as an initiator, and propylene glycol monomethyl ether acetate (PGM-
Ac) was dissolved in 100 g to obtain a polymerizable monomer composition. Further, 50 g of PGM-Ac was charged and the temperature was raised to 80 ° C. The above polymerizable monomer composition was charged into the dropping funnel and added dropwise for 3 hours while maintaining the temperature at 80 ° C., and then the polymerization reaction was continued at the same temperature for 2 hours. Then, the temperature was raised to 110 ° C. and the aging reaction was performed for 2 hours to obtain a solution of a polymer compound (nonvolatile content 40%) having an oxazoline group as a reactive group. 22.5 g of the polymer solution obtained here, 30 g of carbon black having a pH of 3, P
GM-Ac 97.5g and zirconia beads 800
3g at 100 ° C with stirring at 600 rpm.
Reacted for hours. After cooling, it was separated from the beads to obtain a carbon black graft polymer (GCB) dispersion having a carbon black content of 20%. G obtained here
To 150 g of CB dispersion, trimellitic anhydride (M
w192.13) 3.59 g, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -undecene (DBU) 0.
09 g, and reacted at a temperature of 80 ° C. for 1 hour,
A GCB dispersion containing carboxyl groups was obtained.

【0031】〔黒色感光性樹脂組成物の作製〕 GCB分散体を300g、バインダー樹脂としてp−ヒ
ドロキシスチレン/メタクリル酸共重合体(共重合比7
9/21)を12g、架橋剤としてヘキサ(N−メトキ
シメチル)−メラミン(三和ケミカル社製:ニッカラッ
クMW−30M)を5g、光酸発生剤として、みどり化
学社製TAZ−104を5g、溶剤としてPGM−Ac
を172g、さらにガラスビーズを500gをガラス瓶
に入れ、ペイントシェーカーにより2時間分散し黒色感
光性樹脂分散液を作製した。
[Preparation of Black Photosensitive Resin Composition ] 300 g of GCB dispersion, p-hydroxystyrene / methacrylic acid copolymer as a binder resin (copolymerization ratio 7
9/21), 5 g of hexa (N-methoxymethyl) -melamine (manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd .: Nikkalac MW-30M) as a cross-linking agent, and 5 g of TAZ-104 manufactured by Midori Kagaku Co. as a photoacid generator. , PGM-Ac as solvent
172 g and 500 g of glass beads were put in a glass bottle and dispersed for 2 hours by a paint shaker to prepare a black photosensitive resin dispersion liquid.

【0032】〔黒色樹脂層の形成〕図1(a)に示す透
明基板(1)としてコーニング社製:「7059」を基
板として、この上にフジハント社製:「カラーモザイク
CRY7000、CGY7000、CBV7000」を
用いて常法によりRGBの着色パターンを形成した。こ
れらの複数着色画素(2)の膜厚は1.5μmであっ
た。この黒色感光性樹脂分散液を複数着色画素(2)の
形成で得られたRGBの着色パターン上に、スピンナー
により760rpm、5秒で塗布し、乾燥し、図1
(b)に示すような黒色樹脂層(3)を形成した。続い
て図1(c)に示すように、3kW超高圧水銀灯により
160mJ/cm2 の露光量で、前記複数着色画素
(2)をマスクとして透明基板(1)側より全面露光し
た。露光後、ホットプレートを用いて90℃で1分間加
熱した。1.25%水酸化ナトリウム水溶液を用いて、
基板を回転させながらシャワーを噴霧する方式で30秒
間現像し、RGBの着色パターン上の非露光部の黒色樹
脂層(3)を除去した。最後にオーブン中にて230℃
で1時間加熱し、図1(e)に示すように、RGBの着
色画素(2)間にブラックマトリックスとしての黒色樹
脂層(3)を有するカラーフィルタ(A)を得た。
[Formation of Black Resin Layer] As a transparent substrate (1) shown in FIG. 1 (a), Corning's "7059" is used as a substrate, and Fuji Hunt's "Color Mosaic CRY7000, CGY7000, CBV7000" is provided thereon. Was used to form RGB color patterns by a conventional method. The film thickness of these plural colored pixels (2) was 1.5 μm. This black photosensitive resin dispersion liquid was applied onto an RGB colored pattern obtained by forming a plurality of colored pixels (2) by a spinner at 760 rpm for 5 seconds and dried,
A black resin layer (3) as shown in (b) was formed. Subsequently, as shown in FIG. 1 (c), the entire surface was exposed from the transparent substrate (1) side with a 3 kW ultra-high pressure mercury lamp at an exposure dose of 160 mJ / cm 2 using the plurality of colored pixels (2) as a mask. After exposure, it was heated at 90 ° C. for 1 minute using a hot plate. Using a 1.25% aqueous sodium hydroxide solution,
Development was performed for 30 seconds by a method of spraying a shower while rotating the substrate, and the black resin layer (3) in the non-exposed portion on the RGB colored pattern was removed. Finally 230 ° C in the oven
Then, as shown in FIG. 1 (e), a color filter (A) having a black resin layer (3) as a black matrix between the colored pixels (2) of RGB was obtained.

【0033】このようにして作製したカラーフィルタ
(A)は、そのRGBの着色画素(2)パターン上には
黒色樹脂層(3)の残留は全く見られず、ブラックマト
リックスとしての黒色樹脂層(3)とRGBの着色画素
(2)との重なりによる突起のないものであった。ま
た、このカラーフィルタ(A)をプレッシャークッカー
試験器に入れ、120℃、100%RH、2気圧の条件
にて50時間放置後、「JIS K 5400」記載の
碁盤目付着性試験法にて密着性の評価を行った結果、黒
色樹脂層(3)の剥離個数は0/100であり、密着性
に全く問題ないものであった。
In the color filter (A) thus produced, no black resin layer (3) remained on the RGB colored pixel (2) pattern, and the black resin layer (black matrix ( 3) and the colored pixel (2) of RGB did not have a protrusion. Also, this color filter (A) was put in a pressure cooker tester, left for 50 hours under the conditions of 120 ° C, 100% RH and 2 atm, and then adhered by the cross-cut adhesion test method described in "JIS K 5400". As a result of evaluating the properties, the number of peeled black resin layers (3) was 0/100, and there was no problem in adhesion.

【0034】<実施例2> p−ヒドロキシスチレン95.0g(0.791モ
ル)、アクリル酸5.0g(0.0694モル)を、ト
ルエン100ml、ジオキサン250mlに溶解させ、
アゾイソブチロニトリル0.5g加え、70℃にて、3
時間反応させた後、反応液をヘキサン中に注ぎ、得らた
沈殿物を、減圧乾燥して72.5gの固体を得た。NM
R分析の結果より、この樹脂の共重合比はp−ヒドロキ
シスチレン/アククリル酸=88/12であった。ま
た、分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ
分析より、ポリスチレン換算で、重量平均分子量923
00、数平均分子量4670であった。このようにし
て、合成したp−ヒドロキシスチレン/アククリル酸
(共重合比90/10)をバインダー樹脂として用い
て、実施例1と同様に、GCB、架橋剤、酸発生剤、溶
剤を混合して、黒色感光性樹脂組成物を作製した。さら
にRGBの画素パターンを有するガラス基板上に、塗布
して、ガラス基板の背面より全面露光を行い、90℃で
1分加熱した後、現像を行い、最後に230℃で1時間
加熱して、RGBの着色画素(2)間にブラックマトリ
ックスとしての黒色樹脂層(3)を有するカラーフィル
タ(A)を得た。
<Example 2> 95.0 g (0.791 mol) of p-hydroxystyrene and 5.0 g (0.0694 mol) of acrylic acid were dissolved in 100 ml of toluene and 250 ml of dioxane,
Add 0.5 g of azoisobutyronitrile and add 3 at 70 ℃
After reacting for a time, the reaction solution was poured into hexane, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure to obtain 72.5 g of a solid. NM
From the result of R analysis, the copolymerization ratio of this resin was p-hydroxystyrene / acrylic acid = 88/12. Further, the molecular weight is 923 in terms of polystyrene by gel permeation chromatography analysis.
The number average molecular weight was 00 and the number average molecular weight was 4670. Using the thus synthesized p-hydroxystyrene / acrylic acid (copolymerization ratio 90/10) as a binder resin, GCB, a crosslinking agent, an acid generator and a solvent were mixed in the same manner as in Example 1. A black photosensitive resin composition was prepared. Further, it is applied on a glass substrate having an RGB pixel pattern, the entire surface is exposed from the back surface of the glass substrate, heated at 90 ° C. for 1 minute, developed, and finally heated at 230 ° C. for 1 hour, A color filter (A) having a black resin layer (3) as a black matrix between RGB colored pixels (2) was obtained.

【0035】このようにして得られたカラーフィルタ
(A)は、そのRGBの着色画素(2)上には黒色樹脂
層(3)の残留は全く認められず、ブラックマトリック
スとなる黒色樹脂層(3)とRGBの着色画素(2)と
の重なりによる突起のないものであった。また、このカ
ラーフィルタ(A)のプレッシャークッカー試験器によ
る密着性の評価では、黒色樹脂層(3)の剥離個数は0
/100であり、密着性に全く問題ないものであった。
In the color filter (A) thus obtained, no black resin layer (3) remains on the RGB colored pixels (2), and a black resin layer (black matrix) ( 3) and the colored pixel (2) of RGB did not have a protrusion. Further, in the evaluation of the adhesion of the color filter (A) by the pressure cooker tester, the number of peeled black resin layers (3) was 0.
It was / 100, and there was no problem in adhesion.

【0036】<実施例3> p−ヒドロキシスチレン80.0g(0.666モ
ル)、メタクリル酸20.0g(0.232モル)を、
トルエン100ml、ジオキサン250mlに溶解さ
せ、アゾイソブチロニトリル0.5g加え、70℃に
て、3時間反応させた後、反応液をヘキサン中に注ぎ、
得らた沈殿物を、減圧乾燥して76.7gの固体を得
た。NMR分析の結果より、この樹脂の共重合比はp−
ヒドロキシスチレン/メタクリル酸=75/25であっ
た。また、分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグ
ラフィ分析より、ポリスチレン換算で、重量平均分子量
8590、数平均分子量4450であった。このように
して得られたp−ヒドロキシスチレン/メタクリル酸共
重合体をバインダー樹脂に用いて、実施例1と同様に、
黒色感光性樹脂組成物を作製し、この黒色感光性樹脂組
成物を用いて、RGBの着色画素(2)間にブラックマ
トリックスとしての黒色樹脂層(3)を有するカラーフ
ィルタ(A)を作製した。
<Example 3> 80.0 g (0.666 mol) of p-hydroxystyrene and 20.0 g (0.232 mol) of methacrylic acid were added,
Dissolve in 100 ml of toluene and 250 ml of dioxane, add 0.5 g of azoisobutyronitrile, react at 70 ° C. for 3 hours, and then pour the reaction solution into hexane,
The obtained precipitate was dried under reduced pressure to obtain 76.7 g of solid. From the result of NMR analysis, the copolymerization ratio of this resin was p-
Hydroxystyrene / methacrylic acid = 75/25. The molecular weight was 8590 and the number average molecular weight was 4450 in terms of polystyrene by gel permeation chromatography analysis. Using the p-hydroxystyrene / methacrylic acid copolymer thus obtained as a binder resin, the same procedure as in Example 1 was repeated.
To prepare a black photosensitive resin composition, the black photosensitive resin sets
Using the product , a color filter (A) having a black resin layer (3) as a black matrix between the RGB colored pixels (2) was produced.

【0037】このようにして得られたカラーフィルタ
は、そのRGBの着色画素(2)上には黒色樹脂層
(3)の残留は全く認められず、ブラックマトリックス
となる黒色樹脂層(3)とRGBの着色画素(2)との
重なりによる突起のないものであった。また、このカラ
ーフィルタ(A)のプレッシャークッカー試験器による
密着性の評価においても、黒色樹脂層(3)の剥離個数
は0/100であり、密着性に全く問題ないものであっ
た。
In the color filter thus obtained, no black resin layer (3) remained on the colored pixels (2) of RGB, and the black resin layer (3) forming the black matrix was obtained. There was no protrusion due to overlapping with the RGB colored pixel (2). Also in the evaluation of the adhesiveness of this color filter (A) using a pressure cooker tester, the number of peeled black resin layers (3) was 0/100, and there was no problem in the adhesiveness.

【0038】<実施例4> p−ヒドロキシスチレン70.0g(0.583モ
ル)、メタクリル酸15.0g(0.174モル)、メ
タクリル酸n−ブチル15.0g(0.105モル)
を、トルエン100ml、ジオキサン250mlに溶解
させ、アゾイソブチロニトリル0.5g加え、70℃に
て、3時間反応させた後、反応液をヘキサン中に注ぎ、
得らた沈殿物を、減圧乾燥して68.5gの固体を得
た。NMR分析の結果より、この樹脂の共重合比はp−
ヒドロキシスチレン/アクリル酸/メタクリル酸n−ブ
チル=72/18/10であった。また、分子量は、ゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィ分析より、ポリス
チレン換算で、重量平均分子量11800、数平均分子
量5100であった。このようにして得られたp−ヒド
ロキシスチレン/メタクリル酸共重合体をバインダー樹
脂に用いて、実施例1と同様に、黒色感光性樹脂組成物
を作製し、この黒色感光性樹脂組成物を用いて、RGB
の着色画素(2)間にブラックマトリックスとしての黒
色樹脂層(3)を有するカラーフィルタ(A)を作製し
た。
Example 4 p-Hydroxystyrene 70.0 g (0.583 mol), methacrylic acid 15.0 g (0.174 mol), n-butyl methacrylate 15.0 g (0.105 mol)
Was dissolved in 100 ml of toluene and 250 ml of dioxane, 0.5 g of azoisobutyronitrile was added, the mixture was reacted at 70 ° C. for 3 hours, and the reaction solution was poured into hexane.
The obtained precipitate was dried under reduced pressure to obtain 68.5 g of solid. From the result of NMR analysis, the copolymerization ratio of this resin was p-
Hydroxystyrene / acrylic acid / n-butyl methacrylate = 72/18/10. In addition, the molecular weight was 1800 in terms of polystyrene and 5100 in terms of number average molecular weight in terms of polystyrene by gel permeation chromatography analysis. The thus obtained p- hydroxystyrene / methacrylic acid copolymer used in the binder resin in the same manner as in Example 1, to prepare a black photosensitive resin composition <br/>, the black photosensitive resin Using the composition , RGB
A color filter (A) having a black resin layer (3) as a black matrix between the colored pixels (2) was prepared.

【0039】このようにして得られたカラーフィルタ
は、そのRGBの着色画素(2)上には黒色樹脂層
(3)の残留は全く認められず、ブラックマトリックス
となる黒色樹脂層(3)とRGBの着色画素(2)との
重なりによる突起のないものであった。また、このカラ
ーフィルタのプレッシャークッカー試験器による密着性
の評価においても、黒色樹脂層(3)の剥離個数は0/
100であり、密着性に全く問題ないものであった。
In the color filter thus obtained, no black resin layer (3) remained on the colored pixels (2) of RGB, and the black resin layer (3) forming the black matrix was obtained. There was no protrusion due to overlapping with the RGB colored pixel (2). Also, in the evaluation of the adhesion of this color filter by the pressure cooker tester, the number of peeled black resin layers (3) was 0 /.
It was 100, and there was no problem in adhesion.

【0040】<比較例1> p−ヒドロキシスチレン100g(0.832モル)
を、トルエン100ml、ジオキサン250mlに溶解
させ、アゾイソブチロニトリル0.5g加え、70℃に
て、3時間反応させた後、反応液をヘキサン中に注ぎ、
得らた沈殿物を、減圧乾燥してp−ヒドロキシスチレン
重合体を70.6g得た。また、分子量は、ゲルパーミ
エーションクロマトグラフィ分析より、ポリスチレン換
算で、重量平均分子量13100、数平均分子量490
0であった。このようにして得られたp−ヒドロキシス
チレン重合体をバインダー樹脂に用いて、実施例1と同
様に、黒色感光性樹脂組成物を作製した。次にRGBの
画素パターンを有するガラス基板上に、この黒色感光性
樹脂組成物を塗布して、ガラス基板の背面より全面露光
を行い、90℃で1分加熱した後、現像処理を行い、最
後に230℃にて1時間加熱してカラーフィルタを得
た。
<Comparative Example 1> 100 g (0.832 mol) of p-hydroxystyrene
Was dissolved in 100 ml of toluene and 250 ml of dioxane, 0.5 g of azoisobutyronitrile was added, the mixture was reacted at 70 ° C. for 3 hours, and the reaction solution was poured into hexane.
The obtained precipitate was dried under reduced pressure to obtain 70.6 g of p-hydroxystyrene polymer. In addition, the molecular weight is 13100 in terms of polystyrene and 490 in number average in terms of polystyrene by gel permeation chromatography analysis.
It was 0. Using the p-hydroxystyrene polymer thus obtained as a binder resin, a black photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1. Next, on the glass substrate having the RGB pixel pattern, the black photosensitive
The resin composition was applied, the entire surface was exposed from the back surface of the glass substrate, heated at 90 ° C. for 1 minute, developed, and finally heated at 230 ° C. for 1 hour to obtain a color filter.

【0041】しかし、ここで得られたカラーフィルタ
は、そのRGBの着色画素(2)パターン上に、黒色樹
脂層(3)が残留し、完全に溶解除去することができな
かった。したがって、ブラックマトリックスとなる黒色
樹脂層(3)とRGBの着色画素(2)との重なりによ
る突起のあるものであった。これはバインダー樹脂の組
成がp−ヒドロキシスチレン単独重合体であるため、ア
ルカリ溶解が不十分であるもと考えられる。またプレッ
シャークッカー試験器による密着性の評価においても、
黒色樹脂層(3)の剥離個数は8/100であり、密着
性が不完全なものであった。
However, in the color filter obtained here, the black resin layer (3) remained on the RGB colored pixel (2) pattern and could not be completely dissolved and removed. Therefore, there was a protrusion due to the overlapping of the black resin layer (3) serving as the black matrix and the RGB colored pixel (2). It is considered that this is because the composition of the binder resin is a p-hydroxystyrene homopolymer and therefore the alkali dissolution is insufficient. Also in the evaluation of adhesion with a pressure cooker tester,
The number of peeled black resin layers (3) was 8/100, and the adhesion was incomplete.

【0042】<比較例2> p−ヒドロキシスチレン70g(0.583モル)、ア
クリル酸30g(0.278モル)を、トルエン100
ml、ジオキサン250mlに溶解させ、アゾイソブチ
ロニトリル0.5g加え、70℃にて、3時間反応させ
た後、反応液をヘキサン中に注ぎ、得らた沈殿物を、減
圧乾燥して80.2gの固体を得た。NMR分析の結果
より、この樹脂の共重合比はp−ヒドロキシスチレン/
アククリル酸=60/40であった。また、分子量は、
ゲルパーミエーションクロマトグラフィ分析より、ポリ
スチレン換算で、重量平均分子量18200、数平均分
子量7400であった。このようにして得られたp−ヒ
ドロキシスチレン/アクリル酸共重合体(共重合比62
/38)をバインダー樹脂に用いて、実施例1と同様
に、黒色感光性樹脂組成物を作製した。次にRGBの画
素パターンを有するガラス基板上に、この黒色感光性樹
脂組成物を塗布して、ガラス基板の背面より全面露光を
行い、90℃で1分加熱した後、現像処理を行った。し
かし、この段階でアルカリ溶解性が高すぎるために現像
中に黒色樹脂層(3)が剥離してしまい、ブラックマト
リックスを形成することができなかった。
Comparative Example 2 p-Hydroxystyrene 70 g (0.583 mol), acrylic acid 30 g (0.278 mol) and toluene 100
ml, dissolved in 250 ml of dioxane, added with 0.5 g of azoisobutyronitrile, reacted at 70 ° C. for 3 hours, poured into hexane, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure to 80 Obtained 0.2 g of solid. From the result of NMR analysis, the copolymerization ratio of this resin was p-hydroxystyrene /
Acrylic acid = 60/40. Also, the molecular weight is
By gel permeation chromatography analysis, the weight average molecular weight was 18,200 and the number average molecular weight was 7,400 in terms of polystyrene. The p-hydroxystyrene / acrylic acid copolymer thus obtained (copolymerization ratio 62
/ 38) was used as the binder resin to prepare a black photosensitive resin composition in the same manner as in Example 1. Next, on the glass substrate having the RGB pixel pattern, the black photosensitive resin
The resin composition was applied, the entire surface of the glass substrate was exposed to light from the back surface, heated at 90 ° C. for 1 minute, and then developed. However, since the alkali solubility was too high at this stage, the black resin layer (3) was peeled off during the development, and the black matrix could not be formed.

【0043】<比較例3> p−ヒドロキシスチレン40g(0.333モル)、メ
タクリル酸20g(0.232モル)、メタクリル酸n
−ブチル40g(0.281モル)を、トルエン100
ml、ジオキサン250mlに溶解させ、アゾイソブチ
ロニトリル0.5g加え、70℃にて、3時間反応させ
た後、反応液をヘキサン中に注ぎ、得らた沈殿物を、減
圧乾燥して62.8gの固体を得た。NMR分析の結果
より、この樹脂の共重合比はp−ヒドロキシスチレン/
メタクリル酸/メタクリル酸n−ブチル共重合体=43
/25/32であった。また、分子量は、ゲルパーミエ
ーションクロマトグラフィ分析より、ポリスチレン換算
で、重量平均分子量10700、数平均分子量4500
であった。このようにして得られたp−ヒドロキシスチ
レン/メタクリル酸/メタクリル酸n−ブチル共重合体
(共重合比43/25/32)をバインダー樹脂に用い
て、実施例1と同様に、黒色感光性樹脂組成物を作製し
た。次にRGBの画素パターンを有するガラス基板上
に、この黒色感光性樹脂組成物を塗布して、ガラス基板
の背面より全面露光を行い、90℃で1分加熱した後、
現像処理を行った。しかし、露光量150mJ/cm2
では、光架橋成分であるp−ヒドロキシスチレンの含
有率が低いため、架橋反応が十分に起こらず、現像中に
溶解してしまった。露光量を500mJ/cm2 に上
げることにより、ブラックマトリックスを形成すること
が出来るが、感度が大幅に低下して生産性が低くなると
いう問題が生じた。
<Comparative Example 3> 40 g (0.333 mol) of p-hydroxystyrene, 20 g (0.232 mol) of methacrylic acid, and n of methacrylic acid.
-Butyl 40 g (0.281 mol), toluene 100
ml, dioxane (250 ml), azoisobutyronitrile (0.5 g) was added, and the mixture was reacted at 70 ° C. for 3 hours, poured into hexane, and the obtained precipitate was dried under reduced pressure to obtain 62 Obtained 0.8 g of solid. From the result of NMR analysis, the copolymerization ratio of this resin was p-hydroxystyrene /
Methacrylic acid / n-butyl methacrylate copolymer = 43
It was / 25/32. In addition, the molecular weight is 10700 in terms of polystyrene and 4500 in terms of number average molecular weight in terms of polystyrene by gel permeation chromatography analysis.
Met. Using the thus obtained p-hydroxystyrene / methacrylic acid / n-butyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio 43/25/32) as the binder resin, black sensitivity was obtained in the same manner as in Example 1 . A resin composition was prepared. Next, this black photosensitive resin composition was applied onto a glass substrate having an RGB pixel pattern, the entire surface was exposed from the back surface of the glass substrate, and after heating at 90 ° C. for 1 minute,
Development processing was performed. However, the exposure dose is 150 mJ / cm2
However, since the content of p-hydroxystyrene, which is a photo-crosslinking component, was low, the crosslinking reaction did not sufficiently occur, and it was dissolved during development. Although the black matrix can be formed by increasing the exposure amount to 500 mJ / cm 2, there is a problem that the sensitivity is significantly lowered and the productivity is lowered.

【0044】[0044]

【発明の効果】本発明は、以上の構成であるから、下記
の如き効果がある。即ち、ヒドロキシスチレンを主成分
とする共重合体と、該共重合体に対し添加量が10〜8
0重量%の範囲の架橋剤と、該架橋剤と前記共重合体の
合計量に対し添加量が1〜30重量%の範囲の光酸発生
剤およびpHが7以下のカーボンブラックがこのカーボ
ンブラックに対し10〜100重量%の範囲で含有する
高分子化合物によりグラフト化されているグラフト化カ
ーボンからなる黒色感光性樹脂組成物は、感度およびγ
値が高く、カラーフィルタの裏露光用ブラックマトリッ
クス材料として優れた性能を有しているが、カルボン酸
を有するモノマーを共重合させたバインダー樹脂を用い
ることにより、架橋構造が強くなり、耐湿試験後の密着
性が向上し、さらにアルカリ溶解性が高くなるため、着
色画素上における現像残渣を大幅に低減できる。
The present invention, having the above-mentioned constitution, has the following effects. That is, a copolymer containing hydroxystyrene as a main component and an addition amount of 10 to 8 with respect to the copolymer.
The cross-linking agent in the range of 0% by weight , and the cross-linking agent and the copolymer
The photo-acid generator in an amount of 1 to 30% by weight based on the total amount and carbon black having a pH of 7 or less are contained in this carbon.
The black photosensitive resin composition composed of grafted carbon grafted with a polymer compound in an amount of 10 to 100% by weight based on the amount of black and black.
It has a high value and has excellent performance as a black matrix material for back exposure of color filters. However, by using a binder resin in which a monomer having a carboxylic acid is copolymerized, the cross-linking structure becomes strong and after a moisture resistance test. Since the adhesiveness is improved and the alkali solubility is further increased, the development residue on the colored pixel can be significantly reduced.

【0045】さらに、本発明のカラーフィルタ製造法に
よれば、着色画素と上記発明の黒色感光性樹脂組成物
らなるブラックマトリックスとの重なりがないカラーフ
ィルタを形成することが可能であり、液晶表示装置の表
示品質を大幅に向上させることが可能である。
Further, according to the color filter manufacturing method of the present invention, it is possible to form a color filter in which the colored pixels and the black matrix made of the black photosensitive resin composition of the present invention do not overlap each other. Therefore, it is possible to significantly improve the display quality of the liquid crystal display device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施の形態を示すカラーフィルタの
製造工程を側断面で表す説明図であり、(a)は、着色
画素形成工程を示す側断面である。(b)は、黒色感光
性組成物塗布工程を示す側断面である。(c)は、背面
露光工程を示す側断面である。(d)は、加熱処理工程
を示す側断面である。(e)は、現像処理工程を示す側
断面である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a side cross section of a manufacturing process of a color filter showing an embodiment of the invention, and FIG. 1A is a side cross section showing a colored pixel forming process. (B) is a side section showing a black photosensitive composition coating step. (C) is a side cross section showing a back surface exposure step. (D) is a side cross section showing a heat treatment process. (E) is a side cross section showing a development processing step.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A・・・カラーフィルタ 1・・・透明基板 2・・・着色画素 3・・・黒色樹脂層 4・・・紫外光 A: Color filter 1 ... Transparent substrate 2 ... Colored pixels 3 ... Black resin layer 4 ... UV light

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G02B 5/22 G02B 5/22 G03F 7/004 503 G03F 7/004 503Z 505 505 7/033 7/033 (56)参考文献 特開 平4−177202(JP,A) 特開 平9−124954(JP,A) 特開 平6−67421(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 7/038 G03F 7/004 G03F 7/033 C08F 212/14 C08L 25/18 C08L 51/10 G02B 5/20 101 G02B 5/22 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI G02B 5/22 G02B 5/22 G03F 7/004 503 G03F 7/004 503Z 505 505 7/033 7/033 (56) References Kaihei 4-177202 (JP, A) JP 9-124954 (JP, A) JP 6-67421 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G03F 7 / 038 G03F 7/004 G03F 7/033 C08F 212/14 C08L 25/18 C08L 51/10 G02B 5/20 101 G02B 5/22

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ヒドロキシスチレンを主成分とする共重合
体、架橋剤、光酸発生剤およびカーボンブラックが高分
子化合物によりグラフト化されているグラフト化カーボ
ンからなる黒色感光性樹脂組成物において、前記ヒドロ
キシスチレンを主成分とする共重合体が、構造単位とし
て一般式、 【化1】 (式中Rはメチル基または水素を表す)で表される単位
を50モル%以上、さらに一般式、 【化2】 (式中R’はメチル基または水素を表す)で表される単
位を5〜30モル%を含む共重合体であり、前記架橋剤
の添加量は、該共重合体に対し10〜80重量%、前記
光酸発生剤の添加量は、前記共重合 体と架橋剤の合計量
に対し1〜30重量%の範囲であることを特徴とする
色感光性樹脂組成物
1. A black photosensitive resin composition comprising a copolymer having hydroxystyrene as a main component, a cross-linking agent, a photo-acid generator, and grafted carbon in which carbon black is grafted with a polymer compound. A copolymer containing hydroxystyrene as a main component has a structure represented by the general formula: The unit represented by the formula (wherein R represents a methyl group or hydrogen) is 50 mol% or more, and a unit represented by the general formula: (Wherein R 'represents a methyl group or hydrogen) Ri copolymer der containing 5-30 mol% of units represented by the cross-linking agent
The addition amount of 10 to 80% by weight with respect to the copolymer,
The addition amount of the photo-acid generator is the total amount of the copolymer and the cross-linking agent.
To 1 to 30% by weight in the range of black
Color photosensitive resin composition .
【請求項2】前記カーボンブラックが高分子化合物によ
りグラフト化されているグラフト化カーボンブラックに
おいて、該高分子化合物アジリジン基、オキサゾリン
基、N−ヒドロキシアルキルアミド基、エポキシ基、チ
オエポキシ基、イソシアネート基、ビニル基、アクリル
基、メタクリル基、珪素系加水分解性基、アミノ基から
選ばれる一種あるいは二種以上の基を分子内に有する
ので、その量は前記カーボンブラックに対し10〜10
0重量%の範囲であることを特徴とする請求項1記載の
黒色感光性樹脂組成物
2. A grafted carbon black obtained by grafting the carbon black with a polymer compound, wherein the polymer compound is an aziridine group, an oxazoline group, an N-hydroxyalkylamide group, an epoxy group, a thioepoxy group, an isocyanate group. , vinyl group, acryl group, methacryl group, a silicon-based hydrolyzable group, also have one or two or more groups selected from amino groups in the molecule
Therefore, the amount is 10 to 10 with respect to the carbon black.
The range of 0% by weight according to claim 1.
Black photosensitive resin composition .
【請求項3】前記カーボンブラックがpHが7以下であ
ることを特徴とする請求項1または2記載の黒色感光性
樹脂組成物。
3. The black photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the carbon black has a pH of 7 or less.
【請求項4】請求項1、2または3に記載の黒色感光性
樹脂組成物からなるブラックマトリックスを有し、かつ
該ブラックマトリックスと複数の着色画素との重なりに
よる突起がないことを特徴とするカラーフィルタ。
4. A black matrix comprising the black photosensitive resin composition according to claim 1, 2 or 3, and having no protrusions due to overlapping of the black matrix and a plurality of colored pixels. Color filter.
【請求項5】少なくとも、 1)透明基板上に複数色の画素を設ける工程、 2)請求項1、2または3に記載の黒色感光性樹脂組成
物を複数色画素上及び間に設ける工程、 3)透明基板側から露光する工程、 4)加熱する工程、 5)着色画素上の黒色感光性樹脂組成物を溶解させうる
液体を、黒色感光性樹脂組成物に接触させることにより
複数色画素上の黒色感光性樹脂組成物を溶解除去する工
程を含むことを特徴とする請求項4に記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
5. At least 1) a step of providing pixels of a plurality of colors on a transparent substrate, 2) a step of providing the black photosensitive resin composition according to claim 1, 2 or 3 on and between the pixels of a plurality of colors. 3) a step of exposing from the transparent substrate side, 4) a step of heating, 5) a liquid capable of dissolving the black photosensitive resin composition on the colored pixels is brought into contact with the black photosensitive resin composition, and thus on the multi-color pixels. The method for producing a color filter according to claim 4, further comprising a step of dissolving and removing the black photosensitive resin composition.
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