JPH10258375A - レーザ加工機およびその加工機を用いた真円度測定方法並びに駆動系検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工された穴のワークを、真円度測定機へ移
し変えることなく、真円度を正確に測定でき、しかも測
定された真円度を確認しながら加工速度を必要最大限に
あげ、また、駆動系の検査を行い得るようにする。 【解決手段】 Ｙ軸方向へ移動自在なＹ軸キャレッジ１
５に、ワークＷにレーザ加工を行うレーザ加工ヘッド１
７と、レーザ加工されたワークＷの穴Ｗ_H を撮像する撮
像装置ユニット２１とを設け、この撮像装置ユニット２
１に画像取り込み用カメラ２５，リング照明３５，ワー
ク押え４１を備えると共に、前記画像取り込み用カメラ
２５で撮像された画像を処理する画像処理装置４９を設
け、この画像処理装置４９で処理されたデータを基にし
て真円度を求める演算処理装置６３を設け、前記リング
照明３５とワーク押さえ４１とを一体的に上下動自在に
設けてなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワークにレーザ
加工ヘッドからレーザビームを照射せしめて丸穴又はス
リットなどの加工を行うレーザ加工機およびその加工機
を用いた真円度測定方法並びに駆動系検査方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザ加工機およびその複合機に
おいて、その加工機の精度表現方法としてその加工機で
加工した丸穴の真円度を用いている。レーザ加工で丸穴
を加工した場合、その真円度にはレーザ加工ヘッドの追
従性等駆動系に起因するすべての要因の結果が影響して
くるためである。

【０００３】したがって、モータの調整がずれたり、バ
ックラッシュ等の駆動系のトラブルが発生すると真円度
にその影響が必ず発生する。

【０００４】大半の作業者は真円度を目視で確認する程
度であるため、納入先からのクレーム等で初めて真円度
劣化に気付く。また測定部門等持っている企業でも製品
加工が終了してから真円度の測定を行っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のレーザ加工機およびその複合機において、真円度を
定期的に測定することで駆動系の劣化状態が診断できる
が、通常の工場には真円度測定機がないため、作業者の
目視による判断でしか真円度を見ることができない。つ
まり、真円度の劣化が大きくなり作業者が気付くか、納
入先からのクレームでしか駆動系の劣化を知ることがで
きず、精度不良の製品を多量に加工してしまう可能性が
あり問題である。

【０００６】また、専用の真円度測定機を持っていて
も、測定するためには製品加工を実施し測定機に製品を
移し変えて測定するため、時間の無駄が大量に発生し問
題である。さらには、真円度測定機がないために必要以
上に低速の加工条件で切断している場合もあり問題であ
る。

【０００７】また、レーザ加工機にＣＣＤカメラを備え
たものとして、例えば特開昭６２−２９６９８８号公報
などが知られているが、これらのＣＣＤカメラでは撮像
時にワークが振動などで動くため、丸穴の真円度を正確
にかつ確実に測定することができなかった。

【０００８】この発明の目的は、加工された穴のワーク
を、真円度測定機へ移し変えることなく、真円度を正確
に測定でき、しかも測定された真円度を確認しながら加
工速度を必要最大限にあげ、また、駆動系の検査を行い
得るようにしたレーザ加工機およびその加工機を用いた
真円度測定方法並びに駆動系検査方法を提供することに
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明のレーザ加工機は、Ｙ軸方向
へ移動自在なＹ軸キャレッジに、ワークにレーザ加工を
行うレーザ加工ヘッドと、レーザ加工されたワークの丸
穴又はスリットを撮像する撮像装置ユニットとを設け、
この撮像装置ユニットに画像取り込み用カメラ，リング
照明，ワーク押さえを備えると共に、前記画像取り込み
用カメラで撮像された画像を処理する画像処理装置を設
け、この画像処理装置で処理されたデータを基にして真
円度を求める演算処理装置を設け、前記リング照明とワ
ーク押さえとを一体的に上下動自在に設けてなることを
特徴とするものである。

【００１０】したがって、レーザ加工ヘッドを設けたＹ
軸キャレッジをＹ軸方向へ移動せしめてレーザ加工ヘッ
ドをワークの所望位置に位置決めし、レーザ加工ヘッド
からレーザビームをワークへ向けて照射せしめることに
より、ワークに例えば丸穴又はスリットなどのレーザ加
工が行われる。

【００１１】ワークにレーザ加工を行った後、Ｙ軸キャ
レッジに設けられた撮像装置ユニットの直下に加工され
た丸穴の位置を位置決めする。この状態でリング照明を
点灯すると共にワーク押さえを下降せしめてワーク押さ
えでワークを押える。次いで、画像取り込み用カメラで
丸穴の画像データを取り込むと共に画像処理装置で画像
処理し、さらに演算処理装置で真円度が測定される。

【００１２】画像取り込み用カメラで丸穴の画像データ
を取り込む際、ワークはワーク押さえで押えられている
から、振動などで動かないので、正確に画像データが取
り込まれる。

【００１３】請求項２によるこの発明のレーザ加工機
は、請求項１によるレーザ加工機において、前記ワーク
押さえにエアパージ用穴を設けてなることを特徴とする
ものである。

【００１４】したがって、ワーク押えでワークを押える
際、ワーク押さえに設けられたエアパージ用穴からクリ
ーンなエアを例えばワークの表面から吸引したり、ある
いはワークへ向けて噴射せしめて加工された丸穴近傍が
清掃され粉塵などが除去されるから、画像取り込み用カ
メラで画像データがより正確に取り込まれる。

【００１５】請求項３によるこの発明の真円度測定方法
は、Ｙ軸キャレッジに設けられたレーザ加工ヘッドから
ワークへレーザビームを照射せしめてワークに丸穴加工
を行った後、この加工された丸穴の位置を前記Ｙ軸キャ
レッジに設けられた撮像装置ユニットの直下に位置決め
し、撮像装置ユニット内のリング照明を点灯すると共に
撮像装置ユニット内のワーク押さえを下降せしめてワー
クを押さえ、次いで、撮像装置ユニット内の画像取り込
み用カメラで前記丸穴の画像データを取り込むと共に画
像処理装置に画像データが送られ、この画像データから
丸穴の重心位置を計算し、この計算された重心位置から
丸穴外周までの半径を各方向に付いて画像データを基に
演算処理装置で演算し、その最大値と最小値の差を計算
し真円度を求めることを特徴とするものである。

【００１６】したがって、Ｙ軸キャレッジに設けられた
レーザ加工ヘッドからワークへレーザビームを照射せし
めてワークに丸穴加工が行われる。この丸穴加工後、丸
穴の位置を撮像装置ユニットの直下に位置決めし、リン
グ照射を点灯すると共にワーク押さえを下降せしめてワ
ークを押える。次いで、画像取り込み用カメラで前記穴
の画像データを取り込むと共に画像処理装置に画像デー
タが送られて、この画像データの丸穴の重心位置が計算
される。この計算された重心位置から丸穴外周までの半
径を各方向に付いて画像データを基に演算処理装置で演
算される。この演算された半径の最大値と最小値の差を
計算し真円度が測定される。

【００１７】このように真円度が、丸穴を真円度測定機
へ移し変ることなく、自動でかつ短時間で、かつ正確に
測定される。

【００１８】請求項４によるこの発明の駆動系検査方法
は、請求項３による真円度測定方法で測定された真円度
を自動で制御装置のメモリに登録すると共に調整後の良
好時データ又は予め設定した真円度の劣化許容値と比較
し、駆動系の状態を検査することを特徴とするものであ
る。

【００１９】したがって、請求項３による真円度測定方
法で測定された真円度が自動で制御装置のメモリに登録
される。この登録された真円度と、調整後の良好時デー
タ又は予め設定された真円度の劣化許容値とを比較する
ことにより、駆動系の状態が検査される。また、登録さ
れた真円度を確認しながら加工速度を最大限まで上げて
加工される。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１を参照するに、レーザ加工機
１は図示省略のＸ軸方向（図１において紙面に対して直
交する方向）へ移動自在な加工テーブルを備えており、
この加工テーブル上にワーククランプ３でクランプされ
た加工すべきワークＷが載置されている。前記加工テー
ブルの上方には加工テーブルを跨いで門型形状のうちの
上部フレーム５が設けられている。

【００２１】この上部フレーム５の前面にはＹ軸方向
（図１において左右方向）へ延伸した平行な複数のガイ
ドレール７が敷設されている。このガイドレール７間に
はＹ軸方向へ延伸したボールねじ９が設けられており、
このボールねじ９の一端例えば図１において右端には駆
動モータ１１が連結されていると共にボールねじ９の他
端例えば図１において左端は軸受１３で回転自在に支持
されている。

【００２２】前記ボールねじ９に螺合した図示省略のナ
ット部材を介してＹ軸キャレッジ１５が設けられている
と共に、このＹ軸キャレッジ１５には図示省略の複数の
ガイド部材が設けられ、この各ガイド部材が前記ガイド
レール７に沿って案内されるようになっている。また、
前記Ｙ軸キャレッジ１５にはレーザ加工ヘッド１７が設
けられていると共にこのレーザ加工ヘッド１７の下部に
はノズル１９が備えられている。

【００２３】上記構成により、駆動モータ１１を駆動せ
しめると、ボールねじ９が回転されるから、Ｙ軸キャレ
ッジ１５がＹ軸方向へ移動される。Ｙ軸キャレッジ１５
が移動される際、Ｙ軸キャレッジ１５はガイド部材を介
してガイドレール７に案内されてスムーズに移動される
ことになる。

【００２４】したがって、ワーククランプ３にクランプ
されたワークＷがＸ軸方向へ，レーザ加工ヘッド１７が
Ｙ軸方向へ移動されることにより、ワークＷの所望位置
にレーザ加工ヘッド１７が位置決めされ、レーザ加工ヘ
ッド１７の下部に備えられたノズル１９からレーザビー
ムがワークＷへ向けて照射されてワークＷに丸穴などの
レーザ加工が行われることとなる。

【００２５】前記Ｙ軸キャレッジ１５には例えばレーザ
加工ヘッド１７の右側近傍に撮像装置ユニット２１が設
けられている。この撮像装置ユニット２１としては、前
記Ｙ軸キャレッジ１５に撮像装置ユニットケース２３が
設けられ、この撮像装置ユニットケース２３内には画像
取り込み用カメラとしてのＣＣＤカメラ２５が設けら
れ、このＣＣＤカメラ２５の下部には下方へ順にレンズ
ユニット２７，ＵＶフィルタ２９が設けられている。

【００２６】前記ＣＣＤカメラ２５は例えば丸穴などを
撮像するカメラで、レンズユニット２７は絞りとピント
を調整し、またＵＶフィルタ２９はレンズユニット２７
とＣＣＤカメラ２５を保護するものである。

【００２７】前記撮像装置ユニットケース２３内にはエ
アシリンダ３１が設けられており、このエアシリンダ３
１の下部にはピストンロッド３３が装着されている。こ
のピストンロッド３３の下端にはリング照明３５を備え
た支持部材３７が取り付けられている。この支持部材３
７の下端にはスプリング３９を介してワーク押さえ４１
が設けられている。また、撮像装置ユニットケース２３
内には中継端子台４３が設けられ、前記エアシリンダ３
１のＬＳ（リミットスイッチ），リング照明３５の中継
端子台である。また、前記上部フレーム５の右側上部に
はパージ用ソレノイド４５，エアシリンダ用ソレノイド
４７が設けられている。

【００２８】前記撮像装置ユニット２１をコントロール
せしめる画像処理装置としてのコントローラ４９が図２
（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）に示されている。図２
（Ａ）〜（Ｄ）において、コントローラ４９には電源ス
イッチ５１，電源表示用ＬＥＤ５３，ＣＣＤカメラ接続
用ケーブル５５，ＮＣ接続ケーブル５７，電源ケーブル
５９および吸気ファン６１が備えられている。

【００２９】また、図３には撮像装置ユニット２１の電
気系統のシステム構成図が示されている。図３におい
て、前記コントローラ４９とＮＣ装置としてのＮＣ強電
盤６３とはコントローラ動力ケーブル６５で接続されて
いる。また、前記中継端子台４３とＮＣ強電盤６３とは
中継ケーブル６７で接続されている。前記パージ用ソレ
ノイド４５，エアシリンダ用ソレノイド４７とＮＣ強電
盤６３とはそれぞれソレノイドケーブル６９，７１とで
接続されている。ＮＣ強電盤６３と前記コントローラ４
９とは前記ＮＣ接続用ケーブル５７で接続されている。
しかも、ＮＣ操作盤７３とＮＣ強電盤６３とは接続され
ている。

【００３０】前記中継端子台４３とリング照明３５とは
照明ケーブル７５で接続されている。前記エアシリンダ
３１の上，下リミットスイッチ７７，７９と前記中継端
子台４３とはスイッチケーブル８１，８３で接続されて
いる。また、モニタテレビ８５と前記コントローラ４９
とはモニタケーブル８７で接続されている。さらに前記
コントローラ４９とＣＣＤカメラ２５とはＣＣＤカメラ
接続用ケーブル５５で接続されている。

【００３１】図４には撮像装置ユニット２１のエア系統
のシステム構成図が示されている。図４において、前記
エアシリンダ３１の上部，下部シリンダ室には例えばφ
６からなる配管８９，９１の一端が接続されていると共
に、配管８９，９１の他端は前記エアシリンダソレノイ
ド４７の裏に接続されている。また、エアシリンダソレ
ノイド４７の表には例えばφ８からなる配管９３の一端
が接続されていると共に配管９３の他端は、エア３点セ
ット９５のユニオンティ９７に接続されている。さら
に、パージ用ソレノイド４５の表には配管９９の一端が
接続されていると共に配管９９の他端はエア３点セット
９５のブランチエルボ１０１に接続されている。パージ
用ソレノイド４５の裏には例えばφ６からなる配管１０
３の一端が接続されていると共に配管１０３の他端は、
前記ワーク押さえ４１に形成されたパージエア用穴とし
てのリング穴１０５に接続されている。

【００３２】上記構成により、図３を基にＮＣ操作盤７
３を操作し、ＮＣ強電盤６３を介してコントローラ４９
を制御することにより、ＣＣＤカメラ２５で加工された
ワークの丸穴が撮像される。また、ＮＣ強電盤６３，中
継端子台４３を経てリング照明３５が点灯し、ワークＷ
の表面が照らされるとともに、エアシリンダ３９の上，
下リミットスイッチ７７，７９がＯＮ，ＯＦＦされる。
また、ＮＣ強電盤６３を介してパージ用ソレノイド４
５，エアシリンダ用ソレノイド４７がＯＮ，ＯＦＦされ
る。

【００３３】図４を基にして、３点エアセット９５のユ
ニオンティ９７を経て圧縮エアが配管９３を介してエア
シリンダ用ソレノイド４７，配管８９を経てエアシリン
ダ３１の上部シリンダ室に供給されると、ピストンロッ
ド３３が下降するので、ワーク押さえ４１も下降してワ
ークＷが上方からワーク押さえ４１で押えられる。ま
た、３点エアセット９５のユニオンティ９７を経て圧縮
エアが配管９３を介してエアシリンダ用ソレノイド４
７，配管９１を経てエアシリンダ３１の下部シリンダ室
に供給されると、ピストンロッド３３が上昇し、ワーク
押さえ４１も上昇されることになる。

【００３４】また、ワーク押さえ４１でワークＷを上方
から押さえ得た状態で、図示省略の集塵機を作動せしめ
ると、ワーク押え４１に形成されたリング穴１０５から
ワークＷ上にある粉塵などが吸引されて配管１０１，パ
ージ用ソレノイド４５，配管９９およびエア３点セット
９５を経て集塵機に集塵され、ワークＷ上がきれいに清
掃されることになる。または、リング穴１０５からエア
を噴射せしめてワークＷ上をきれいに清掃することもで
きる。

【００３５】次に、図５のフローチャートを基にしてワ
ークＷに形成された穴Ｗ_H を撮像する動作を説明する
と、まず、ステップＳ１で検出スタート指令を出すと、
ステップＳ２で検出位置である加工された穴Ｗ_H をＣＣ
Ｄカメラ２５の位置に移動せしめ位置決めする。ステッ
プＳ３でリング照明３５を点灯せしめた後、ステップＳ
４で撮像装置ユニット２１内のエアシリンダ３１が下降
し、ワーク押さえ４１がワークＷを押さえつける。

【００３６】ステップＳ５でＣＣＤカメラ２５から画像
データを取り込み、画像処理装置であるコントローラ４
９にて処理し、ＮＣ装置のＮＣ強電盤６３に送信され
る。ステップＳ６でリング照明３５を消灯し、ステップ
Ｓ７でエアシリンダ３１を上昇せしめる。次いで、ステ
ップＳ８で製品加工を行うか判断し、製品加工を行う場
合にはステップＳ９で製品加工を行った後、ステップＳ
１の手前に戻り、製品加工を行わない場合にはその時点
で終了する。

【００３７】次に、ワークＷに形成された丸穴Ｗ_H の真
円度測定方法を説明すると、丸穴Ｗ_H の中心をプログラ
ムで指示する。例えばＧ１４１ Ａ２ Ｉ−−Ｊ−−；
（但し、Ｇ１４１ Ａ２ 真円度測定モード，Ｉ…検出
穴Ｘ座標，Ｊ…検出穴Ｙ座標）で丸穴Ｗ_H の中心を指示
せしめる。

【００３８】そして、ＣＣＤカメラ２５で丸穴Ｗ_H の画
像データがコントローラ４９に取り込まれる。そして中
心位置を計算した後、中心からの半径を、その穴の周長
のかかる画素分を測定する。例えば丸穴Ｗ_H がφ５の場
合、周長は５×π≒１５ｍｍあるから、０．０３ｍｍの
画素は１５／０．０３＝５００個、したがって、半径も
約５００本測定する。測定された半径から最大値と最小
値が計算され、その差を真円度として表示される。

【００３９】このように、真円度をレーザ加工機に取り
付けた撮像装置ユニット２１を用いて測定するので、自
動で正確な真円度データを加工直後にワークＷを加工テ
ーブルから外すことなく得ることができる。そして、上
記測定を定期的に同じ条件で実施し調整後等の良好時デ
ータと比較することにより、真円度の状態変化，駆動系
の劣化の進み具合が分る。

【００４０】また、上記定期測定値をメーカもしくはユ
ーザが設定した真円度と比較することで、加工製品が精
度不良となる前に駆動系の保守を行うことができる。

【００４１】真円度測定を行う際、エアシリンダ３１を
用いてワーク押さえ４１を下降せしめてワークＷを上下
から押さえ付けた状態でＣＣＤカメラ２５で丸穴Ｗ_H を
正確に撮像することができる。しかも、ワーク押さえ４
１でワークＷを押さえ付けた状態でワークＷ上の丸穴Ｗ
_H の周囲部分に付着している粉塵などがワーク押さえ４
１に形成された穴１０３から吸引されるか又はエアが噴
射されるから、きれいに清掃されるので、正確な画像デ
ータをコントローラ４９に取り込ませることができる。

【００４２】なお、この発明は、前述した実施の形態の
例に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。レーザ加工
機の複合加工機でも対応可能である。

【００４３】

【発明の効果】以上のごとき実施の形態の例より理解さ
れるように、請求項１の発明によれば、レーザ加工ヘッ
ドを設けたＹ軸キャレッジをＹ軸方向へ移動せしめてレ
ーザ加工ヘッドをワークの所望位置に位置決めし、レー
ザ加工ヘッドからレーザビームをワークへ向けて照射せ
しめることにより、ワークに例えば丸穴又はスリットな
どのレーザ加工が行われる。

【００４４】ワークにレーザ加工を行った後、Ｙ軸キャ
レッジに設けられた撮像装置ユニットの直下に加工され
た丸穴の位置を位置決めする。この状態でリング照明を
点灯すると共にワーク押さえを下降せしめてワーク押さ
えでワークを押さえる。次いで、画像取り込み用カメラ
で丸穴の画像データを取り込むと共に画像処理装置で画
像処理し、さらに演算処理装置で真円度が測定される。

【００４５】画像取り込み用カメラで丸穴の画像データ
を取り込む際、ワークはワーク押さえで押さえられてい
るから、振動などで動かないので、正確に画像データを
取り込ませることができる。

【００４６】請求項２の発明によれば、ワーク押さえで
ワークを押さえる際、ワーク押さえに設けられたエアパ
ージ用穴から吸引されたり、又はクリーンなエアがワー
クへ向けて噴射されて加工された丸穴近傍が清掃され粉
塵などが除去されるから、画像取り込み用カメラで画像
データがより正確に取り込ませることができる。

【００４７】請求項３の発明によれば、Ｙ軸キャレッジ
に設けられたレーザ加工ヘッドからワークへレーザビー
ムを照射せしめてワークに丸穴加工が行われる。この丸
穴加工後、丸穴の位置を撮像装置ユニットの直下に位置
決めし、リング照射を点灯すると共にワーク押さえを下
降せしめてワークを押さえる。次いで、画像取り込み用
カメラで前記穴の画像データを取り込むと共に画像処理
装置に画像データが送られて、この画像データの穴の重
心位置が計算される。この計算された重心位置から穴外
周までの半径を各方向に付いて画像データを基に演算処
理装置で演算される。この演算された半径の最大値と最
小値の差を計算し真円度を測定することができる。

【００４８】このように真円度を、丸穴を真円度測定機
へ移し変ることなく、自動でかつ短時間で、かつ正確に
測定することができる。

【００４９】請求項４の発明によれば、請求項３による
真円度測定方法で測定された真円度が自動で制御装置の
メモリに登録される。この登録された真円度と、調整後
の良好時データ又は予め設定された真円度の劣化許容値
とを比較することにより、駆動系の状態を検査すること
ができる。また、登録された真円度を確認しながら加工
速度を最大限まで上げて加工せしめることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のレーザ加工機を説明する説明図であ
る。

【図２】（Ａ）はコントローラの平面図、（Ｂ）は
（Ａ）における正面図、（Ｃ）は（Ａ）における右側面
図、（Ｄ）は（Ａ）における左側面図である。

【図３】電気系統のシステム構成図である。

【図４】エア系統のシステム構成図である。

【図５】ワークに形成された丸穴を撮像する動作のフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

１ レーザ加工機 ３ ワーククランプ １５ Ｙ軸キャレッジ １７ レーザ加工ヘッド ２１ 撮像装置ユニット ２３ 撮像装置ユニットケース ２５ ＣＣＤカメラ（画像取り込み用カメラ） ３１ エアシリンダ ３５ リング照明 ４１ ワーク押え ４９ コントローラ（画像処理装置） ６３ ＮＣ強電盤（演算処理装置） ７３ ＮＣ操作盤

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｙ軸方向へ移動自在なＹ軸キャレッジ
   に、ワークにレーザ加工を行うレーザ加工ヘッドと、レ
   ーザ加工されたワークの穴又はスリットを撮像する撮像
   装置ユニットとを設け、この撮像装置ユニットに画像取
   り込み用カメラ，リング照明，ワーク押さえを備えると
   共に、前記画像取り込み用カメラで撮像された画像を処
   理する画像処理装置を設け、この画像処理装置で処理さ
   れたデータを基にして真円度を求める演算処理装置を設
   け、前記リング照明とワーク押さえとを一体的に上下動
   自在に設けてなることを特徴とするレーザ加工機。
2. 【請求項２】 前記ワーク押さえにエアパージ用穴を設
   けてなることを特徴とする請求項１記載のレーザ加工
   機。
3. 【請求項３】 Ｙ軸キャレッジに設けられたレーザ加工
   ヘッドからワークへレーザビームを照射せしめてワーク
   に丸穴加工を行った後、この加工された丸穴の位置を前
   記Ｙ軸キャレッジに設けられた撮像装置ユニットの直下
   に位置決めし、撮像装置ユニット内のリング照明を点灯
   すると共に撮像装置ユニット内のワーク押さえを下降せ
   しめてワークを押さえ、次いで、撮像装置ユニット内の
   画像取り込み用カメラで前記丸穴の画像データを取り込
   むと共に画像処理装置に画像データが送られ、この画像
   データで丸穴の重心位置を計算し、この計算された重心
   位置から丸穴外周までの半径を各方向に付いて画像デー
   タを基に演算処理装置で演算し、その最大値と最小値の
   差を計算し真円度を求めることを特徴とする真円度測定
   方法。
4. 【請求項４】 請求項３による真円度測定方法で測定さ
   れた真円度を自動で制御装置のメモリに登録すると共に
   調整後の良好時データ又は予め設定した真円度の劣化許
   容値と比較し、駆動系の状態を検査することを特徴とす
   る駆動系検査方法。