JPH10241585A - 平板型マグネトロン - Google Patents
平板型マグネトロンInfo
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- JPH10241585A JPH10241585A JP9046532A JP4653297A JPH10241585A JP H10241585 A JPH10241585 A JP H10241585A JP 9046532 A JP9046532 A JP 9046532A JP 4653297 A JP4653297 A JP 4653297A JP H10241585 A JPH10241585 A JP H10241585A
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- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/02—Electrodes; Magnetic control means; Screens
- H01J23/10—Magnet systems for directing or deflecting the discharge along a desired path, e.g. a spiral path
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- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/02—Electrodes; Magnetic control means; Screens
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J25/00—Transit-time tubes, e.g. klystrons, travelling-wave tubes, magnetrons
- H01J25/50—Magnetrons, i.e. tubes with a magnet system producing an H-field crossing the E-field
- H01J25/60—Magnetrons, i.e. tubes with a magnet system producing an H-field crossing the E-field with an electron space having a shape that prevents any electron from moving completely around the cathode or guide electrode; Linear magnetrons
Abstract
(57)【要約】
【課題】所望の出力及び周波数を持つマイクロ波を効率
良く取り出すことができる汎用性の高い平板型マグネト
ロンを提供すること。 【解決手段】電子を発生する陰極１２と、複数のベイン
を同一ピッチで設けた陽極１１とで作用空間を形成し、
該作用空間の両端に伸縮自在な蛇腹のポールピース１３
と可動できる磁石部１５を配置し、ヨーク１７の操作に
よって磁石間距離を変化させてマイクロ波の周波数を変
化させ、エンドハット１６の電位を変えることによって
マイクロ波の出力を変化させる。
良く取り出すことができる汎用性の高い平板型マグネト
ロンを提供すること。 【解決手段】電子を発生する陰極１２と、複数のベイン
を同一ピッチで設けた陽極１１とで作用空間を形成し、
該作用空間の両端に伸縮自在な蛇腹のポールピース１３
と可動できる磁石部１５を配置し、ヨーク１７の操作に
よって磁石間距離を変化させてマイクロ波の周波数を変
化させ、エンドハット１６の電位を変えることによって
マイクロ波の出力を変化させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子レンジ等の高
周波加熱機器に用いられる平板型マグネトロンに関し、
特に、所望の出力及び周波数を持つマイクロ波を効率良
く取り出すことができる汎用的な平板型マグネトロンに
関する。
周波加熱機器に用いられる平板型マグネトロンに関し、
特に、所望の出力及び周波数を持つマイクロ波を効率良
く取り出すことができる汎用的な平板型マグネトロンに
関する。
【０００２】
【従来の技術】マグネトロンは、電子管の中で作用空間
に互いに直角な直流磁界と直流電界が存在するクロスト
・フィールド・デバイスの一つであり、この発振モード
には、Ａ型発振及びＢ型発振がある。
に互いに直角な直流磁界と直流電界が存在するクロスト
・フィールド・デバイスの一つであり、この発振モード
には、Ａ型発振及びＢ型発振がある。
【０００３】Ａ型発振とは、磁界強度のみに依存し、磁
界による電子の周期的な回転運動により生ずる。また、
その発振波長は、後述するＢ型発振モードと異なり、外
部回路である空胴共振器にはあまり影響されないため、
発振波長は磁界のみで決まり、次式の関係が成立する。 λ＝α／Ｈ なお、λは発振波長、Ｈは磁界強度、αは２πｍｃ／ｅ
となる。ここで、ｍは電子の質量を示し、またｅは電子
の電荷を示すため、かかる定数αは理論的には１０６５
０となるが、実験的には、１００００〜１３０００の値
となる。また、このＡ型発振には、交流電界からエネル
ギーを奪う電子の軌道と、交流電界にエネルギーを与え
る電子の軌道が存在し、前者を軌道上から除くことが必
要となる。
界による電子の周期的な回転運動により生ずる。また、
その発振波長は、後述するＢ型発振モードと異なり、外
部回路である空胴共振器にはあまり影響されないため、
発振波長は磁界のみで決まり、次式の関係が成立する。 λ＝α／Ｈ なお、λは発振波長、Ｈは磁界強度、αは２πｍｃ／ｅ
となる。ここで、ｍは電子の質量を示し、またｅは電子
の電荷を示すため、かかる定数αは理論的には１０６５
０となるが、実験的には、１００００〜１３０００の値
となる。また、このＡ型発振には、交流電界からエネル
ギーを奪う電子の軌道と、交流電界にエネルギーを与え
る電子の軌道が存在し、前者を軌道上から除くことが必
要となる。
【０００４】次に、Ｂ型発振について図２を用いて説明
する。図２は、従来の円筒型マグネトロンの構成を示す
図である。同図に示すように、円筒状の陽極２１には複
数のベイン２２が放射状に中心に向かって形成されてお
り、これが空胴共振器を構成する。陰極２３は、円筒状
陽極の中心軸状に配置され、この陰極２３とベイン２２
の間が作用空間となる。
する。図２は、従来の円筒型マグネトロンの構成を示す
図である。同図に示すように、円筒状の陽極２１には複
数のベイン２２が放射状に中心に向かって形成されてお
り、これが空胴共振器を構成する。陰極２３は、円筒状
陽極の中心軸状に配置され、この陰極２３とベイン２２
の間が作用空間となる。
【０００５】陽極２１の上下両端には、かかる作用空間
に均一磁界を形成するためのポールピース２４がヨーク
２５を有するマグネット２６に密着して取り付けられ、
また陽極２１とヨーク２５との間には陽極損により発生
する熱を逃がすための放熱版２７が配置されている。な
お、この陽極損は、陰極２３から放出され陽極電圧で加
速された電子が陽極２１に衝突する際に発生する。
に均一磁界を形成するためのポールピース２４がヨーク
２５を有するマグネット２６に密着して取り付けられ、
また陽極２１とヨーク２５との間には陽極損により発生
する熱を逃がすための放熱版２７が配置されている。な
お、この陽極損は、陰極２３から放出され陽極電圧で加
速された電子が陽極２１に衝突する際に発生する。
【０００６】また、この作用空間をはさんで磁界方向に
垂直に電極（エンドハット）３０が存在し、このエンド
ハット３０に負の電位を印加することにより、該作用空
間に電子を閉じこめている。
垂直に電極（エンドハット）３０が存在し、このエンド
ハット３０に負の電位を印加することにより、該作用空
間に電子を閉じこめている。
【０００７】かかる構成において、陽極２１内を真空に
し、マグネット２６によって作用空間に磁界を印加する
とともに、電源入力部２８を用いて陰極２３−ベイン２
２間に高電圧を印加すると、陰極２３からベイン２２に
向かって電子が飛び出す。そして、飛び出した電子はマ
グネット２６から受ける磁界により作用空間上を螺旋を
描きながらベイン２２に向かって進むサイクロイド運動
を行う。その結果、かかるこの電子が空胴共振器に対し
てエネルギーを付与することとなり、高周波電界が発生
し、これをマイクロ波としてマイクロ波出力部２９から
取り出す。
し、マグネット２６によって作用空間に磁界を印加する
とともに、電源入力部２８を用いて陰極２３−ベイン２
２間に高電圧を印加すると、陰極２３からベイン２２に
向かって電子が飛び出す。そして、飛び出した電子はマ
グネット２６から受ける磁界により作用空間上を螺旋を
描きながらベイン２２に向かって進むサイクロイド運動
を行う。その結果、かかるこの電子が空胴共振器に対し
てエネルギーを付与することとなり、高周波電界が発生
し、これをマイクロ波としてマイクロ波出力部２９から
取り出す。
【０００８】現在、電子レンジ等の高周波加熱機器に用
いられているマグネトロンは、円筒型が主流であるが、
その他に平板型マグネトロンがある。図３、図４は、そ
れぞれ平板型マグネトロンの断面図及び斜視図である。
図３に示す平板型の陽極４１には、複数のベイン４２
が、陰極４３及びソール部５１に垂直に形成されてお
り、これが空胴共振器を構成する。また、陰極４３は、
該陽極４１の左端下部に配置され、ソール５１−ベイン
４２間が作用空間となる。陽極４１の両側面には、作用
空間に均一磁界を形成するためのポールピースがヨーク
のマグネットに密着して取り付けられており、また、こ
のヨークには、陽極損により発生する熱を逃がすための
放熱板４７が配置されている。
いられているマグネトロンは、円筒型が主流であるが、
その他に平板型マグネトロンがある。図３、図４は、そ
れぞれ平板型マグネトロンの断面図及び斜視図である。
図３に示す平板型の陽極４１には、複数のベイン４２
が、陰極４３及びソール部５１に垂直に形成されてお
り、これが空胴共振器を構成する。また、陰極４３は、
該陽極４１の左端下部に配置され、ソール５１−ベイン
４２間が作用空間となる。陽極４１の両側面には、作用
空間に均一磁界を形成するためのポールピースがヨーク
のマグネットに密着して取り付けられており、また、こ
のヨークには、陽極損により発生する熱を逃がすための
放熱板４７が配置されている。
【０００９】かかる構成において、陽極４１内を真空に
し、マグネット４６によって作用空間に磁界を印加し、
陽極４１、ソール５１−ベイン４２間に電源入力部より
電圧を印加すると、陰極４３からベイン４２に向かって
電子が飛び出す。
し、マグネット４６によって作用空間に磁界を印加し、
陽極４１、ソール５１−ベイン４２間に電源入力部より
電圧を印加すると、陰極４３からベイン４２に向かって
電子が飛び出す。
【００１０】そして、飛び出した電子は、マグネット４
６から受ける磁界により円筒型マグネトロンと同様に作
用空間をサイクロイド運動をしながら図３の右方向に進
み、かかる電子から、空胴共振器にエネルギーが付与さ
れ、高周波電界が発生し、マイクロ波としてマイクロ波
出力部４９から取り出される。
６から受ける磁界により円筒型マグネトロンと同様に作
用空間をサイクロイド運動をしながら図３の右方向に進
み、かかる電子から、空胴共振器にエネルギーが付与さ
れ、高周波電界が発生し、マイクロ波としてマイクロ波
出力部４９から取り出される。
【００１１】また、分割陽極を用いたマグネトロンの場
合には、その分割数によって様々なモードでの発振が起
こすことができるが、Ｂ型発振において主に用いられる
モードは、隣接共振器間の位相推移がπラジアンに等し
く最も相互作用が強いπモードと呼ばれるものである。
合には、その分割数によって様々なモードでの発振が起
こすことができるが、Ｂ型発振において主に用いられる
モードは、隣接共振器間の位相推移がπラジアンに等し
く最も相互作用が強いπモードと呼ばれるものである。
【００１２】しかし、マグネトロンの発振では、このπ
モードと他のモードとの発振周波数が近接していると、
動作条件のわずかな変化に応答してπモードから他のモ
ードへの飛躍（ｍｏｄｅ−ｊｕｍｐｉｎｇ）が起こる。
その結果、発振周波数や出力が急変するため、共振器間
の結合を密にして各モードの共振周波数を可能な限り離
す必要がある。
モードと他のモードとの発振周波数が近接していると、
動作条件のわずかな変化に応答してπモードから他のモ
ードへの飛躍（ｍｏｄｅ−ｊｕｍｐｉｎｇ）が起こる。
その結果、発振周波数や出力が急変するため、共振器間
の結合を密にして各モードの共振周波数を可能な限り離
す必要がある。
【００１３】従来のマグネトロンでは、陽極及びベイン
を一つおきに導体で接続した均圧環を用いてかかるモー
ドの分離を行っている。すなわち、この均圧環によっ
て、一つおきの陽極の電位は同じ位相で振動するように
強制されるため、振動可能なモードをπモード及び０モ
ード（全ての陽極及びベインが同一位相で振動する）に
限定することができる。
を一つおきに導体で接続した均圧環を用いてかかるモー
ドの分離を行っている。すなわち、この均圧環によっ
て、一つおきの陽極の電位は同じ位相で振動するように
強制されるため、振動可能なモードをπモード及び０モ
ード（全ての陽極及びベインが同一位相で振動する）に
限定することができる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のマ
グネトロンは、ヨークに接合したマグネットにより作用
空間に対して一定の磁界を印加することにより、一定の
周波数及び一定の出力を有するマイクロ波を取得するも
のであった。従って、マグネトロンから取得すべき出力
及び周波数は、使用目的に応じて変えることができなか
った。
グネトロンは、ヨークに接合したマグネットにより作用
空間に対して一定の磁界を印加することにより、一定の
周波数及び一定の出力を有するマイクロ波を取得するも
のであった。従って、マグネトロンから取得すべき出力
及び周波数は、使用目的に応じて変えることができなか
った。
【００１５】特に、このマグネトロンには、発振効率が
極めて高く、安価に大出力を取得できるという極めて有
用な特性があるため、電子レンジだけでなく広範な技術
分野への応用が望まれている。したがって、通信、レー
ダー及び電子機器等の各種分野へ広範に適用できる汎用
性のあるマグネトロンをいかに実現するかが重要な課題
となっていた。
極めて高く、安価に大出力を取得できるという極めて有
用な特性があるため、電子レンジだけでなく広範な技術
分野への応用が望まれている。したがって、通信、レー
ダー及び電子機器等の各種分野へ広範に適用できる汎用
性のあるマグネトロンをいかに実現するかが重要な課題
となっていた。
【００１６】そこで、本発明は、上記課題を解決して、
所望の出力及び周波数を持つマイクロ波を効率良く取り
出すことができる汎用性の高い平板型マグネトロンを提
供することを目的とする。
所望の出力及び周波数を持つマイクロ波を効率良く取り
出すことができる汎用性の高い平板型マグネトロンを提
供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第１の発明は、電子を発生する陰極と、複数のベイ
ンを同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に
挟まれた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記
作用空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直
に配置された電極とを有する平板型マグネトロンにおい
て、前記磁石部は前記作用空間に形成する磁界強度を可
変することを特徴とする。
め、第１の発明は、電子を発生する陰極と、複数のベイ
ンを同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に
挟まれた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記
作用空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直
に配置された電極とを有する平板型マグネトロンにおい
て、前記磁石部は前記作用空間に形成する磁界強度を可
変することを特徴とする。
【００１８】また、第２の発明は、前記磁石部が、前記
作用空間の両側に相対向して配置されたポールピース
と、該ポールピースとヨークに密着され磁気的に結合し
ている磁石とを備え、前記磁石は、移動できることを特
徴とする。
作用空間の両側に相対向して配置されたポールピース
と、該ポールピースとヨークに密着され磁気的に結合し
ている磁石とを備え、前記磁石は、移動できることを特
徴とする。
【００１９】また、第３の発明は、前記ポールピース
が、その長さを変えることができることを特徴とする。
が、その長さを変えることができることを特徴とする。
【００２０】また、第４の発明は、前記ヨークが、その
長さを変えることができることを特徴とする。
長さを変えることができることを特徴とする。
【００２１】また、第５の発明は、前記電極には、正及
び負の電位を選択的に印加できることを特徴とする平板
型マグネトロン。
び負の電位を選択的に印加できることを特徴とする平板
型マグネトロン。
【００２２】このため、電極の電位の変化に応じて出力
を可変にし、また磁石間距離の変化に応じて周波数を可
変にすることができ、さらに電極に正の電位を印加する
ことで発振の妨げとなる電子を作用空間から除外するこ
とができる。
を可変にし、また磁石間距離の変化に応じて周波数を可
変にすることができ、さらに電極に正の電位を印加する
ことで発振の妨げとなる電子を作用空間から除外するこ
とができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は、本発明に係わる平
板型マグネトロンの断面図である。図１に示すように、
この平板型マグネトロンは、陽極１１、ベイン１２、陰
極１３、ポールピース１４、ヨーク１５、磁石１６及び
エンドハット２０からなる。垂直方向に配置された該陽
極１１及び陰極１２で挟まれる空間が作用空間１８とな
る。作用空間１８の水平方向の両側端には、正、負の電
位を与える電極すなわちエンドハット１６を相対向して
配置し、両エンドハット１６のさらに側方に、作用空間
１８に必要な磁界を発生させるポールピース１３を相対
向して配置する。このホールピース１３のさらに側方に
磁石１６を配置する。磁石１６はヨーク１５を備え、ヨ
ーク１５は陽極１１と接している。作用空間１８に磁界
を形成するのは、磁石１６、ポールピース１４及びヨー
ク１５であり、これらは磁気的に結合しており、これら
をまとめて磁石部とする。
て図面を参照して説明する。図１は、本発明に係わる平
板型マグネトロンの断面図である。図１に示すように、
この平板型マグネトロンは、陽極１１、ベイン１２、陰
極１３、ポールピース１４、ヨーク１５、磁石１６及び
エンドハット２０からなる。垂直方向に配置された該陽
極１１及び陰極１２で挟まれる空間が作用空間１８とな
る。作用空間１８の水平方向の両側端には、正、負の電
位を与える電極すなわちエンドハット１６を相対向して
配置し、両エンドハット１６のさらに側方に、作用空間
１８に必要な磁界を発生させるポールピース１３を相対
向して配置する。このホールピース１３のさらに側方に
磁石１６を配置する。磁石１６はヨーク１５を備え、ヨ
ーク１５は陽極１１と接している。作用空間１８に磁界
を形成するのは、磁石１６、ポールピース１４及びヨー
ク１５であり、これらは磁気的に結合しており、これら
をまとめて磁石部とする。
【００２４】ここで、磁石１６はハウジングの側面に張
り付けられ、フェライト磁石からなる。ヨーク１４は、
陽極損により発生する熱を逃がす放熱板の役割を兼ねて
いるため、亜鉛メッキを行った鉄を材料とする。また、
この平板型マグネトロンは、作用空間１８の磁界強度に
影響を与える磁石部の隙間（磁石部間距離）を可動とす
べく、ポールピースト１４及びヨーク１５を蛇腹状にし
て、磁石部間距離を２０ｍｍの範囲で可変する。磁石１
６もそれに合わせて可動できるようにしている。なお、
陽極１１は、特願平７−１８１３６７号に示す平板型マ
グネトロン用陽極の製造方法を用いて作成したものであ
る。
り付けられ、フェライト磁石からなる。ヨーク１４は、
陽極損により発生する熱を逃がす放熱板の役割を兼ねて
いるため、亜鉛メッキを行った鉄を材料とする。また、
この平板型マグネトロンは、作用空間１８の磁界強度に
影響を与える磁石部の隙間（磁石部間距離）を可動とす
べく、ポールピースト１４及びヨーク１５を蛇腹状にし
て、磁石部間距離を２０ｍｍの範囲で可変する。磁石１
６もそれに合わせて可動できるようにしている。なお、
陽極１１は、特願平７−１８１３６７号に示す平板型マ
グネトロン用陽極の製造方法を用いて作成したものであ
る。
【００２５】次に、この平板型マグネトロンの動作概要
について説明する。まず最初に、ポールピース１３及び
ヨーク１４の蛇腹を操作して所望の磁石部間距離に設定
すると、作用空間１８上に所望の磁界が形成される。こ
こで、エンドハット２０に電圧を印加すると、陰極１３
から電子が飛び出す。
について説明する。まず最初に、ポールピース１３及び
ヨーク１４の蛇腹を操作して所望の磁石部間距離に設定
すると、作用空間１８上に所望の磁界が形成される。こ
こで、エンドハット２０に電圧を印加すると、陰極１３
から電子が飛び出す。
【００２６】そして、飛び出した電子は、この磁界の影
響を受けて作用空間１８をサイクロイド運動をしながら
進み、かかる電子から、空胴共振器にエネルギーが付与
され、高周波電界が発生する。このため、磁石間距離す
なわちポールピース１４及びヨーク１５の操作量に対応
する周波数及び出力を持つマイクロ波が取り出されるこ
とになる。
響を受けて作用空間１８をサイクロイド運動をしながら
進み、かかる電子から、空胴共振器にエネルギーが付与
され、高周波電界が発生する。このため、磁石間距離す
なわちポールピース１４及びヨーク１５の操作量に対応
する周波数及び出力を持つマイクロ波が取り出されるこ
とになる。
【００２７】図１に示す平板型マグネトロンは、エンド
ハット２０に正及び負の電位を選択的に印加できるよう
にし、また、磁石１６を可動にするとともに、ヨーク長
及びポールピース長を可変にして、所望の出力及び周波
数を得ることができるよう構成している。すなわち、こ
の平板型マグネトロンは、エンドハット２０に正の電位
を印加して発振の妨げとなる電子を作用空間から除去す
るとともに、かかる電位を変化させることによって出力
を操作している。
ハット２０に正及び負の電位を選択的に印加できるよう
にし、また、磁石１６を可動にするとともに、ヨーク長
及びポールピース長を可変にして、所望の出力及び周波
数を得ることができるよう構成している。すなわち、こ
の平板型マグネトロンは、エンドハット２０に正の電位
を印加して発振の妨げとなる電子を作用空間から除去す
るとともに、かかる電位を変化させることによって出力
を操作している。
【００２８】また、磁石１５を可動にするとともに、蛇
腹状のポールピース１４及びヨーク１５を用いてヨーク
長及びポールピース長を可変にすることにより、磁石部
間距離を変化させ、もって周波数を操作する。
腹状のポールピース１４及びヨーク１５を用いてヨーク
長及びポールピース長を可変にすることにより、磁石部
間距離を変化させ、もって周波数を操作する。
【００２９】具体的には、陽極電圧を１００Ｖ、陽極−
ソール間の距離を０．５ｍｍ、磁界強度を１３６０Ｇａ
ｕｓｓ（磁石間距離３０ｍｍ）、エンドハット電位を−
１０Ｖ、エミッション電流を２．１Ａとした場合には、
発振出力１６０Ｗ（２．５ＧＨｚ）を得ることができ
る。
ソール間の距離を０．５ｍｍ、磁界強度を１３６０Ｇａ
ｕｓｓ（磁石間距離３０ｍｍ）、エンドハット電位を−
１０Ｖ、エミッション電流を２．１Ａとした場合には、
発振出力１６０Ｗ（２．５ＧＨｚ）を得ることができ
る。
【００３０】そして、この磁界強度を１０９０Ｇａｕｓ
ｓに変化させると、３．１ＧＨｚ〜５．１ＧＨｚの周波
数で３Ｗ〜７Ｗの発振出力が得られる。また、エンドハ
ット部１６に＋１０Ｖの電位をかけると、３．１ＧＨｚ
〜５．１ＧＨｚの周波数で１０Ｗ〜２０Ｗと前者に比較
して３倍の発振出力が得られる。
ｓに変化させると、３．１ＧＨｚ〜５．１ＧＨｚの周波
数で３Ｗ〜７Ｗの発振出力が得られる。また、エンドハ
ット部１６に＋１０Ｖの電位をかけると、３．１ＧＨｚ
〜５．１ＧＨｚの周波数で１０Ｗ〜２０Ｗと前者に比較
して３倍の発振出力が得られる。
【００３１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第１〜４の
発明は、前記磁石部は前記作用空間に形成する磁界強度
を可変することができるように構成するので、磁界強度
の可変によって発振周波数を可変できる。特に、磁石、
ポールピース長あるいはヨーク長を可変して、磁石部間
の距離の変化に応じて磁界強度を可変し、周波数を可変
にすることができる。
発明は、前記磁石部は前記作用空間に形成する磁界強度
を可変することができるように構成するので、磁界強度
の可変によって発振周波数を可変できる。特に、磁石、
ポールピース長あるいはヨーク長を可変して、磁石部間
の距離の変化に応じて磁界強度を可変し、周波数を可変
にすることができる。
【００３２】また、第５の発明は、電極に正及び負の電
位を印加するよう構成したので、該電極に正の電位を印
加することで発振の妨げとなる電子を作用空間から除外
することが可能となる。
位を印加するよう構成したので、該電極に正の電位を印
加することで発振の妨げとなる電子を作用空間から除外
することが可能となる。
【図１】本発明に係わる平板型マグネトロンの断面図で
ある。
ある。
【図２】従来の円筒型マグネトロンの構成図である。
【図３】従来の平板型マグネトロンの断面図である。
【図４】従来の平板型マグネトロンの斜視図である。
１１ 陽極 １２ ベイン １３ 陰極 １４ ポールピース １５ ヨーク １６ 磁石 ２０ エンドハット
Claims (5)
- 【請求項１】 電子を発生する陰極と、複数のベインを
同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に挟ま
れた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記作用
空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直に配
置された電極とを有する平板型マグネトロンにおいて、 前記磁石部は前記作用空間に形成する磁界強度を可変す
ることを特徴とする平板型マグネトロン。 - 【請求項２】 前記磁石部は、前記作用空間の両側に相
対向して配置されたポールピースと、該ポールピースと
ヨークに密着され磁気的に結合している磁石とを備え、 前記磁石は、移動できることを特徴とする請求項１記載
の平板型マグネトロン。 - 【請求項３】 前記磁石部は、前記作用空間の両側に相
対向して配置されたポールピースと、該ポールピースと
ヨークに密着され磁気的に結合している磁石とを備え、 前記ポールピースは、その長さを変えることができるこ
とを特徴とする請求項１記載の平板型マグネトロン。 - 【請求項４】 前記磁石部は、前記作用空間の両側に相
対向して配置されたポールピースと、該ポールピースと
ヨークに密着され磁気的に結合している磁石とを備え、 前記ヨークは、その長さを変えることができることを特
徴とする請求項１記載の平板型マグネトロン。 - 【請求項５】 電子を発生する陰極と、複数のベインを
同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に挟ま
れた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記作用
空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直に配
置された電極とを有する平板型マグネトロンにおいて、 前記電極には、正及び負の電位を選択的に印加できるこ
とを特徴とする平板型マグネトロン。
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