KR100934455B1 - 선형 마그네트론 발진장치 - Google Patents

선형 마그네트론 발진장치 Download PDF

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KR100934455B1
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전석기
진윤식
김근주
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한국전기연구원
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Abstract

본 발명은 시작 발진 전류를 낮추고 발진 신호의 출력 및 효율을 증가시킬 수 있도록 하는 새로운 구조의 선형 마그네트론 발진장치에 관한 것으로서, 전자빔을 방출하는 제 1 및 제 2 캐소드; 상기 제 1 및 제 2 캐소드 사이에 배치되어 상기 각 캐소드로부터 방출되는 전자빔을 집속하는 애노드; 상기 애노드로부터 상기 제 1 및 제 2 캐소드를 향하도록 각각 형성된 다수의 돌출부로 이루어지는 공진기; 및 상기 공진기의 돌출부와 돌출부 사이의 애노드를 관통하도록 형성되어 상기 제 1 캐소드와 애노드가 이루는 공간 및 상기 제 2 캐소드와 애노드가 이루는 공간이 서로 연결되도록 하는 다수의 홀을 구비하는 커플링 구조를 포함하며, 상기 커플링 구조는 상기 제 1 캐소드 및 제 2 캐소드로부터 각각 방출된 전자빔에 의해 발생된 전자기파가 상기 다수의 홀을 통해 서로 피드백되도록 함으로써, 테라헤르츠파 대역을 포함한 주파수가 높은 전자기파를 발진시키는데 있어서 필요한 시작 발진 전류를 낮출 수 있으며, 내부 피드백을 형성하는 각 회로에 전자빔 발생원을 사용함으로써 발진 출력 및 효율을 증가시킬 수 있다.
전자빔, 테라헤르츠, 커플링, 공진기, 피드백, 마그네트론, 발진기

Description

선형 마그네트론 발진장치{Linear magnetron oscillator}
본 발명은 선형 마그네트론 발진장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 테라헤르츠 주파수 대역의 신호를 발진하는 데 요구되는 시작 발진 전류를 낮추고 발진신호의 출력 및 효율을 증가시킬 수 있는 선형 마그네트론 발진장치에 관한 것이다.
테라헤르츠 (THz) 주파수 대역은 0.1-10 THz 주파수를 갖는 전자기파 대역으로서, 전파의 투과성과 광의 직진성을 모두 갖는 독특한 물리적 특성에 의해 이미징, 분광, 고속 무선통신 등의 다양한 응용분야에 활용 가능하여 많은 관심을 받고 있다.
이러한 테라헤르츠 기술을 적용하기 위한 테라헤르츠 파(wave) 신호원의 개발은 미흡한 실정인데, 이 중 진공 상태에서의 전자빔을 이용하는 THz 진공소자 신호원은 고효울, 고출력, 소형의 신호원이 될 수 있는 장점을 가지고 있다.
THz 진공소자 신호원이 THz파 발진장치로 사용되기 위해서는 진공소자의 발진회로 크기가 매우 작아야 하며, 회로 표면에서의 손실이 증가하므로 전자기파가 발진하기 위해서는 매우 큰 전자빔 전류를 필요로 한다. 그러나 높은 시작 발진 전 류는 전자빔에 있어서 전류밀도를 증가시키고 전자빔을 발생시키는 전자빔 발생원에 큰 부하를 걸리게 하는 문제점이 있으며, 이러한 높은 시작 발진 전류 문제를 해결하기 위한 방법 중 하나로서 피드백 구조가 적용될 수 있다.
도 1 은 종래 기술에 따른 클라이스트론형(Klystron type) 발진장치에 피드백 구조를 적용한 구성도이다.
종래 기술에 따른 피드백 구조를 적용한 클라이스트론형(Klystron type) 발진장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 전자빔을 방출하는 두 개의 발진회로(10, 20)를 서로 연결하여 각 발진회로(10, 20)에서 전자빔과 공진모드의 상호작용으로 생성된 전자기파가 다른 발진회로로 전달되는 피드백 구조를 형성한다.
상기 발진회로(10, 20)는 두 개의 공진기를 이용하는 클라이스트론형(Klystron type) 발진기로서, 전자빔을 방출하는 전자빔 생성부(11, 21), 방출된 전자빔을 집속하는 집전극(13, 23), 및 상기 전자빔이 집전극(13, 23)으로 이동할 수 있도록 통로를 형성하는 이동통로(17, 27)를 포함한다.
이때 각 발진회로(10, 20)에는 출력단자와 입력단자가 각각 형성되는데, 출력단자는 집전극(13, 23) 측 공진기와 연결되고, 입력단자는 전자빔 발생부(11, 21) 측 공진기와 연결된다. 또한, 어느 한 쪽의 입력단자는 커플링 회로(15, 25)을 통해 다른 쪽의 출력단자와 연결되어 발진회로의 피드백 구조를 형성하게 된다.
본 발명은 전자기장이 서로 교차하는 교차장 내에서의 전자빔 운동을 이용하여 원하는 주파수의 전자기파를 발생시키며 내부 피드백 구조를 적용하여 시작 발진 전류를 낮추고 발진 신호의 출력 및 효율을 증가시킬 수 있도록 하는 새로운 구조의 선형 마그네트론 발진장치를 제안한다.
보다 구체적으로, 본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치는 전자빔을 방출하는 제 1 및 제 2 캐소드; 상기 제 1 및 제 2 캐소드 사이에 배치되어 상기 각 캐소드로부터 방출되는 전자빔을 집속하는 애노드; 상기 애노드로부터 상기 제 1 및 제 2 캐소드를 향하도록 각각 형성된 다수의 돌출부로 이루어진 공진기; 및 상기 공진기의 돌출부와 돌출부 사이의 애노드를 관통하도록 형성되어 상기 제 1 캐소드와 애노드가 이루는 공간 및 상기 제 2 캐소드와 애노드가 이루는 공간이 서로 연결되도록 하는 다수의 홀을 구비하는 커플링 구조를 포함하며, 상기 커플링 구조는 상기 제 1 캐소드 및 제 2 캐소드로부터 각각 방출된 전자빔에 의해 발생된 전자기파가 상기 다수의 홀을 통해 서로 피드백되도록 함으로써, 테라헤르츠파 대역을 포함한 주파수가 높은 전자기파를 발진시키는데 있어서 필요한 시작 발진 전류를 낮출 수 있으며, 내부 피드백을 형성하는 각 회로에 전자빔 발생원을 사용함으로써 발진 신호의 출력 및 효율을 증가시킬 수 있다.
또한, 상용화되어 있는 저가의 전자빔 발생원을 이용할 수 있으며 설계와 제작이 용이한 장점이 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 실시예를 설명한다.
도 2 는 본 발명의 일실시예에 따라 내부 피드백 구조를 적용한 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도로서, 도 2(a)는 본 발명의 일실시예에 따른 선 형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 구성도이며, 도 2(b)는 도 2(a)에 도시된 선형 마그네트론 발진장치에 있어서, 커플링 구조를 통한 전자기파의 흐름이 도시된 구성도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치는 도 2(a)에 도시된 바와 같이 캐소드(50, 70), 애노드(100) 및 공진기를 포함하는 마그네트론 발진장치 내에 내부 피드백이 가능한 커플링 구조를 형성하고, 캐소드(50, 70)로부터 방출된 전자빔이 공진기의 공진모드와 상호작용함에 따라 발생된 전자기파의 일부가 내부 피드백을 위한 커플링 구조를 거쳐 반대쪽 공진기로 전달됨으로써 시작 발진 전류를 낮출 수 있도록 한다.
즉, 본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치는 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70)와, 상기 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70) 사이에 배치되는 애노드(100)를 포함하며, 상기 애노드(100)에는 내부 피드백 구조가 적용된 공진기가 일체 형성된다.
공진기는 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70) 각각을 향해 돌출되는 다수의 돌출부로 이루어져 요철구조를 형성하며, 이에 따라 제 1 캐소드(50) 및 제 1 캐소드(50)를 향해 형성되는 다수의 돌출부가 제 1 공간을 이루고, 제 2 캐소드(70) 및 제 2 캐소드(70)를 향해 형성되는 다수의 돌출부가 제 2 공간을 이루게 된다.
특히, 상기 공진기는 상기 애노드(100)와 일체 형성되는데, 돌출부와 돌출부 사이의 애노드 부분에 관통하는 홀(150a, 150b)을 형성하여 커플링 구조를 형성하고 이를 통해 제 1 공간 및 제 2 공간이 서로 연결될 수 있도록 한다.
따라서, 본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치에서, 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70)와 애노드(100)에 일정 크기의 전압을 인가하면, 도 2(b)에 도시된 바와 같이, 제 1 공간 및 제 2 공간에 전기장이 형성되어 상기 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70)로부터 Y방향 또는 -Y방향으로 전자빔이 방출된다. 이때, 상기 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70) 외부에 배치된 자기장 발생부(90)에 의해 상기 제 1 공간 및 제 2 공간에 -Z 방향으로 자계가 형성된다. 이에 따라 제 1 공간 및 제 2 공간에서는 전기장 및 자기장이 교차 장(crossed-field)을 형성하며, 이를 통해 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70)로부터 방출된 전자빔이 애노드(100)에 도달하지 못하고 구부러져 -X 방향 또는 X 방향으로 진행하게 된다. 이때, -X 방향 또는 X 방향으로 진행하는 전자빔의 진행속도와 돌출부로 이루어진 공진기의 공진 공간에서 형성된 특정 공진모드의 위상속도가 일치하면 상기 특정 주파수를 갖는 공진모드의 공진 조건을 만족하게 된다. 따라서 이러한 공진 조건에서 전자빔의 에너지가 전자기파의 에너지로 전환되어 원하는 주파수 대역의 전자기파 신호로 최종 출력된다.
특히, 본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치에 있어서, 상기 공진기의 일부에는 적어도 하나 이상의 홀이 형성되어 커플링 구조를 형성하고, 이를 통해 제 1 공간 또는 제 2 공간에서 발생된 전자기파 신호가 서로 이동할 수 있다.
보다 상세히 설명하면, 본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치에 동작전원을 공급하여 상기 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70)와 애노 드(100)에 전원(V)이 인가되면 상기 제 1 공간 및 제 2 공간에 전자기장이 교차 형성되며 이에 따라 전자빔이 구부러져 -X 방향 또는 X 방향으로 진행한다. 이때, 제 1 공간 내의 전자빔은 -X 방향으로 진행하며 상술한 바와 같이 전자빔과 공진기의 상호작용에 따라 전자기파가 발생하게 되는데, 그 중 일부에 해당하는 전자기파가 제 1 홀(150a)을 관통하여 제 2 공간으로 유입될 수 있다.
마찬가지 방식으로. 제 2 공간 내의 전자빔은 X 방향으로 진행하게 되는데, 전자빔이 진행하는 중 인접한 공진기와의 상호작용에 의해 전자기파를 발생하고, 그 중 일부에 해당하는 전자기파가 제 2 홀(150b)을 관통하여 제 1 공간으로 유입될 수 있다.
즉, 제 1 공간에서 발생된 전자빔은 제 1 공간의 공진기를 통해 전자기파를 발생시키고 제 2 공간에서 발생된 전자빔은 제 2 공간의 공진기를 통해 전자기파를 발생시킨다. 또한 각 공진기에서 발생된 전자기파 신호는 내부 피드백을 위한 커플링 구조를 통해 서로 다른 공간의 공진기로 전달되며, 이와 같이 전달된 신호로 인하여 시작 발진 전류가 낮아진다. 따라서, 종래에 비해 낮은 시작 발진 전류를 인가하더라도 테라헤르츠(THz) 주파수 대역의 전자기파 신호를 발진하여 출력할 수 있다.
또한, 두 개의 캐소드(50, 70)로 이루어진 공간에서 내부 피드백이 이루어지므로 발진 출력 및 효율을 크게 높일 수 있다.
이때, 상기 애노드(100) 및 각 캐소드(50, 70)에 인가되는 전압은 각 캐소드(50, 70)에 대하여 상대적으로 높은 전압이 애노드(100)에 인가될 수 있도록 하 며, 애노드(100)가 접지에 연결되는 경우 높은 (-) 전압 펄스를 캐소드(50, 70)에 인가하여 전자빔이 방출되도록 할 수 있다.
상술한 바와 같이 구성 및 동작하는 본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치는 상기 공진기 측에 형성되는 홀의 수와 구조에 따라 피드백 세기가 달라질 수 있으며 이에 따라 시작 발진 전류의 크기 또는 발진 출력을 조절할 수 있다.
도 3 은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도이며, 도 4 는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도이다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치는 도 3에 도시된 바와 같이 공진기를 이루는 다수의 돌출부 사이의 애노드 부분 중 일부에 관통하는 홀(170a 내지 170c)을 형성할 수 있다.
즉, 본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 공진기의 경우, 도 2에 도시된 바와 같이, 공진기를 이루는 다수의 돌출부 사이의 애노드(100) 중에서도 애노드(100)의 양 단 측 가까이에 배치된 돌출부 사이의 애노드에 각각 홀(150a, 150b)이 형성되어 단면상으로 2개의 홀(150a, 150b)을 포함하는 구조로 이루어질 수 있다. 이때, 전자빔은 애노드(100)와 대향하는 캐소드(50, 70) 전면에서 방출될 수 있으므로 애노드의 양단 측 외에 다른 돌출부 사이의 애노드 부분에 홀(170a 내지 170c)을 더 형성하면 그만큼 다른 공진기로 이동가능한 전자기파의 신호 세기가 증가하여 피드백의 세기가 커지며 이에 따라 각 공진기에서 전자기파 신호로 전환가능한 전자빔이 증가하여 전자기파 발진을 위한 시작 발진 전류의 크기를 더욱 낮출 수 있으며 발진 출력이 증가할 수 있다.
따라서, 도 4에 도시된 바와 같이 돌출부 사이의 애노드(100) 부분마다 모두 홀(160a 내지 160f)을 형성하는 경우, 각 홀(160a 내지 160f)을 통해 전자기파의 신호가 커플링되어 전자기파의 피드백 세기를 최대화할 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진 장치는 본 발명에 따른 다수의 공진기를 구비하고 연결함에 따라 다양한 형태를 이룰 수 있다.
도 5 는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도이다.
본 발명의 제 4 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치는, 도 5 에 도시된 바와 같이, 애노드 양 단 측 돌출부 사이에 홀이 형성되어 도 2(a)에 도시된 공진기와 유사한 구조를 갖는 공진기 구조(200a, 200b)가 두 개 이상 구비되고 서로 직렬로 배열된다. 이때 상기 공진기 구조는 다수의 돌출부로 이루어지는 공진기가 애노드와 일체 형성된 것을 나타낸다.
직렬로 배열된 다수의 공진기 구조(200a, 200b)와의 상호작용을 위하여 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70)는 일측으로 길게 형성된 공진기 구조(200a, 200b)에 대응하여 길게 연장되며, 이에 따라 공진기 구조(200a, 200b)를 이루는 다수의 각 돌출부가 제 1 또는 제 2 캐소드(50, 70)를 향할 수 있게 된다.
따라서, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치에 있어서, 각 공진기 구조(200a, 200b)에 대향하는 제 1 및 제 2 캐소드(50, 70)에서 방출된 전자빔은 전자기장의 상호작용에 따라 X 방향 또는 -X 방향으로 진행하며, 공진기에서 형성된 전자기파 신호의 일부가 각 공진기 구조(200a, 200b)에 형성된 적어도 하나 이상의 홀을 통해 다른 공간으로 피드백하여 진행된다. 또한 한 공간 내에서 생성된 전자기파 신호는 모두 공진기와 전자빔의 상호작용을 극대화시켜 전자기파로 전환하여 발진되며, 발진 출력을 더욱 높일 수 있게 된다.
또한, 상기 제 1 캐소드(50) 및 제 2 캐소드(70)를 일체 연장하지 않고, 도 2(a)에 도시된 바와 같은 발진회로 전체를 다수 구비하여 직렬로 배열하는 경우에도 도 5에 도시된 바와 같은 구조를 가질 수 있으며 상술한 바와 같은 직렬연결효과(cascade effect)에 의해 발진 출력을 더욱 높일 수 있게 된다.
이때, 도 5에 도시된 바와 같은 선형 마그네트론 발진장치에 있어서, 공진기 구조(200a, 200b)는 상술한 도 2(a)에서 도시된 공진기 뿐만 아니라 도 3 또는 도 4에 도시된 형태의 공진기도 적용될 수 있으며, 내부 피드백 구조가 형성되지 않은 공진기 역시 함께 적용될 수 있다.
도 6 은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치는, 도 6에 도시된 바와 같이, 내부 피드백 구조를 갖는 제 1 공진기 및 내부 피드백 구조를 가지지 않는 제 2 공진기를 포함하여 구성된다. 제 1 공진기 및 제 2 공진기는 발진하는 전자기파의 직렬연결 효과를 위하여 직렬로 배열되는데, 배열되는 수 및 배치형 태에 따라 다양하게 구성될 수 있다.
예를 들어 상세하게 설명하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치는, 도 6(a)에 도시된 바와 같이, 제 1 캐소드(50'), 제 2 캐소드(70'), 애노드, 제 1 공진기 구조(300) 및 제 2 공진기 구조(350)를 포함하여 구성된다. 제 1 공진기 구조(300)는 내부 피드백 구조로서 각 돌출부 사이의 애노드 부분에 관통하는 홀이 형성될 수 있다. 제 2 공진기 구조(350)는 피드백 구조가 형성되지 않은 일반적인 구조의 공진기로서 대향하는 캐소드(70')를 향하는 다수의 돌출부로 이루어져 애노드와 일체를 이룬다.
따라서, 제 2 공진기 구조(350)의 돌출부가 향하는 방향에 배치된 제 2 캐소드(70')는 상기 제 2 공진기 구조(350)가 배치된 위치로 상기 제 2 공진기의 길이만큼 연장되어 상기 제 2 공진기 구조(350)의 돌출부가 상기 제 2 캐소드(70')와 대향할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 이로 인해 제 2 공진기 구조(350)가 제 2 캐소드(70')와 상호작용하여 특정 주파수 대역의 전자기파를 발진시킬 수 있도록 한다.
이때 제 1 공진기 구조(300)의 경우에도 제 2 캐소드(70')와의 상호작용으로 일정량의 전자기파가 발진되므로 하나의 공진기 구조를 포함하는 경우보다 더 높은 출력의 전자기파 신호가 방출될 수 있다.
제 2 공진기 구조(350)의 경우에는 제 1 공진기 구조(300)에서 공진모드와의 상호작용으로 형성된 특정 공진모드의 주파수 성분을 갖는 전자빔으로 인하여 제 2 공진기 구조(350)에서 하나의 공진기 구조를 포함하는 경우보다 더 높은 출력의 전 자기파 신호가 방출될 수 있다.
제 1 공진기 구조(300)의 내부 피드백 구조는 상술한 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 다양하게 변용되어 피드백되는 전자기파의 세기를 조절할 수 있으며, 제 2 공진기의 돌출부가 제 1 캐소드(50')를 향해 배치되는 경우에는 제 1 캐소드(50')의 길이가 제 2 공진기 구조(350)의 길이만큼 연장되어 제 2 공진기의 돌출부가 제 1 캐소드(50')와 대향할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 선형 마그네트론 발진장치에 있어서, 전자빔을 방출하는 상기 캐소드는 열음극 또는 냉음극이 적용될 수 있다.
열음극(hot cathode)는 음극으로서 구비된 금속체에 직접 또는 간접적으로 열을 가하여 전자를 방출하는 방식이며,냉음극(cold cathode)는 음극으로 구비된 금속체를 가열하지 않고 이온 충격에 의한 2차 전자 방출 또는 전기장 방출 등을 통해 전자를 방출하는 방식으로 특정 방식에 한정되지 않고 본 발명의 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치에 적용가능한 방식으로 캐소드를 구성할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 선형 마그네트론 발진장치를 예시된 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 내부 피드백 구조가 형성된 공진기를 적용하여 교차 장(crossed-field) 내 서로 분리된 공간에서 형성된 전자빔과 특정 공진모드와의 상호작용에 의해 발생된 전자기파의 일부가 커플링 구조를 통해 다른 공진기로 이동함에 따라 서로 연결된 공진기가 최대한 발진할 수 있도록 함으로써 고주파수 대역에서의 신호 발진을 위한 시작 발진 전류를 크게 낮출 수 있도록 하는 본 발명의 기술사상은 보호되는 범위 이내에서 당업자에 의해 용이하게 응용될 수 있음은 자명하다.
도 1 은 종래 기술에 따른 클라이스트론형 발진장치가 도시된 구성도,
도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도,
도 3 은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도,
도 4 는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도,
도 5 는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도, 및
도 6 은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 마그네트론 발진장치의 구성이 도시된 도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
50, 50', 50”: 제 1 캐소드 70, 70', 70”: 제 2 캐소드
90: 자기장 발생부 100: 애노드

Claims (10)

  1. 전자빔을 방출하는 제 1 및 제 2 캐소드;
    상기 제 1 및 제 2 캐소드 사이에 배치되어 상기 각 캐소드로부터 방출되는 전자빔을 집속하는 애노드;
    상기 애노드로부터 상기 제 1 및 제 2 캐소드를 향하도록 각각 형성된 다수의 돌출부로 이루어진 공진기; 및
    상기 공진기의 돌출부와 돌출부 사이의 상기 애노드를 관통하도록 형성되어 상기 제 1 캐소드와 상기 애노드가 이루는 공간 및 상기 제 2 캐소드와 상기 애노드가 이루는 공간이 서로 연결되도록 하는 다수의 홀을 구비하는 커플링 구조를 포함하며,
    상기 커플링 구조는 상기 제 1 및 제 2 캐소드로부터 각각 방출된 전자빔에 의해 발생된 전자기파가 상기 다수의 홀을 통해 서로 피드백되도록 하는 것을 특징으로 하는 선형 마그네트론 발진장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 공진기는 상기 제 1 캐소드로부터 방출된 전자빔에 의해 발진된 전자기파가 상기 다수의 홀을 통해 상기 제 2 캐소드 및 상기 애노드가 이루는 공간으로 유입되며,
    상기 제 2 캐소드로부터 방출된 전자빔에 의해 발진된 전자기파가 상기 다수의 홀을 통해 상기 제 1 캐소드 및 상기 애노드가 이루는 공간으로 유입되도록 하는 선형 마그네트론 발진장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 홀은, 상기 돌출부와 돌출부 사이의 애노드 마다 형성되어 상기 전자기파가 서로 피드백되도록 하는 선형 마그네트론 발진장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐소드는 냉음극으로 이루어지는 선형 마그네트론 발진장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐소드는 열음극으로 이루어지는 선형 마그네트론 발진장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 공진기는 둘 이상으로 구비되며, 직렬로 배열되는 선형 마그네트론 발진장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    일측으로 연장된 제 1 캐소드의 연장부를 향하도록 각각 형성되는 다수의 돌 출부로 이루어진 제 2 공진기를 더 포함하며,
    상기 제 2 공진기는 상기 공진기와 직렬로 배열되는 선형 마그네트론 발진장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐소드 및 애노드에 의해 형성되는 전기장과 수직으로 상기 캐소드 및 애노드에 자기장을 형성하여 교차장(crossed-field)를 이루는 자기장 발생부를 포함하는 선형 마그네트론 발진장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자빔은 테라헤르츠(THz) 대역의 주파수를 갖는 전자기파로 방출되는 선형 마그네트론 발진장치.
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