JPH10239266A - 絶縁被覆金属体の非接触による欠陥検査方法 - Google Patents
絶縁被覆金属体の非接触による欠陥検査方法Info
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- JPH10239266A JPH10239266A JP3767897A JP3767897A JPH10239266A JP H10239266 A JPH10239266 A JP H10239266A JP 3767897 A JP3767897 A JP 3767897A JP 3767897 A JP3767897 A JP 3767897A JP H10239266 A JPH10239266 A JP H10239266A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明はライン上を走行する絶縁被覆金属体
を対象として、絶縁被覆金属体の金属体本体と絶縁被覆
層との間の隙間の有無を的確に判定することのできる非
接触による欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】 金属体本体３とその表面に絶縁被覆層４
を有する絶縁被覆金属体２が走行するライン上に距離計
Ａ、距離計Ｂそして静電容量計Ｃの各センサーを進行方
向に順次配置し、走行する絶縁被覆金属体２の同地点に
ついて、距離計Ａでは金属体本体３の表面までの距離を
測定し、距離計Ｂでは絶縁被覆層４の表面までの距離を
測定し、そして静電容量計では金属体本体３の表面まで
のキャパシタンスを測定して、それらの測定値から、前
記絶縁被覆金属体２の金属体本体３と絶縁被覆層４の隙
間の有無を判定する。
を対象として、絶縁被覆金属体の金属体本体と絶縁被覆
層との間の隙間の有無を的確に判定することのできる非
接触による欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】 金属体本体３とその表面に絶縁被覆層４
を有する絶縁被覆金属体２が走行するライン上に距離計
Ａ、距離計Ｂそして静電容量計Ｃの各センサーを進行方
向に順次配置し、走行する絶縁被覆金属体２の同地点に
ついて、距離計Ａでは金属体本体３の表面までの距離を
測定し、距離計Ｂでは絶縁被覆層４の表面までの距離を
測定し、そして静電容量計では金属体本体３の表面まで
のキャパシタンスを測定して、それらの測定値から、前
記絶縁被覆金属体２の金属体本体３と絶縁被覆層４の隙
間の有無を判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ライン上を走行す
る絶縁被覆金属体の金属体本体と絶縁被覆層の隙間の有
無を判定する非接触による欠陥検査方法に関する。
る絶縁被覆金属体の金属体本体と絶縁被覆層の隙間の有
無を判定する非接触による欠陥検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】鋼矢板、鋼管等の金属体は護岸等の矢板
壁、ガス、水道等の配管等として広く採用されている。
一般に、この種の金属体は防食等の観点からその表面に
ポリエチレン等による絶縁被覆装層を有している。
壁、ガス、水道等の配管等として広く採用されている。
一般に、この種の金属体は防食等の観点からその表面に
ポリエチレン等による絶縁被覆装層を有している。
【０００３】しかし、その絶縁被覆金属体は金属体本体
と絶縁被覆層との間にうき、ふくれ、エアボイド等の隙
間を生じる場合がある。
と絶縁被覆層との間にうき、ふくれ、エアボイド等の隙
間を生じる場合がある。
【０００４】このような隙間は絶縁被覆金属体の単位面
積当たりの接着力を減少させたり、耐衝撃性を減少させ
る。また、隙間に水が浸透すると防食性能が大幅に減少
する。
積当たりの接着力を減少させたり、耐衝撃性を減少させ
る。また、隙間に水が浸透すると防食性能が大幅に減少
する。
【０００５】そのために、絶縁被覆金属体は使用に先立
って、隙間有無の欠陥検査方法が行われているが、一般
に、指触検査によるものであった。
って、隙間有無の欠陥検査方法が行われているが、一般
に、指触検査によるものであった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た指触検査による隙間有無の欠陥検査方法では以下の問
題がある。
た指触検査による隙間有無の欠陥検査方法では以下の問
題がある。
【０００７】指触検査では隙間が大きい場合は発見でき
るが、隙間が小さい場合は、厳密な隙間有無の指触検査
でも判断が困難なため、経験等により危険と思われる個
所の絶縁被覆層を剥離して検査して確認するしか無かっ
た。
るが、隙間が小さい場合は、厳密な隙間有無の指触検査
でも判断が困難なため、経験等により危険と思われる個
所の絶縁被覆層を剥離して検査して確認するしか無かっ
た。
【０００８】このため、絶縁被覆層を剥離した部分につ
いては補修する必要があり、その補修作業に時間を要
し、コスト高となっていた。
いては補修する必要があり、その補修作業に時間を要
し、コスト高となっていた。
【０００９】一方、絶縁被覆金属体については、防食等
の観点から絶縁被覆層の厚さを測定することが行われて
いる。
の観点から絶縁被覆層の厚さを測定することが行われて
いる。
【００１０】例えば特開昭６０−１７１４０３号公報に
は、以下に述べる金属体上の絶縁被覆層の厚さ測定装置
が開示されている。
は、以下に述べる金属体上の絶縁被覆層の厚さ測定装置
が開示されている。
【００１１】この測定装置は、走行する絶縁被覆金属体
（金属体本体：鋼ストリップ）を囲繞するシールドケー
スを設けて、シールドケース内に絶縁被覆金属体と対向
させて渦流コイル検出器と静電容量検出器を設けたもの
であり、渦流コイル検出器では渦流コイル検出器から金
属体の表面までの距離に対応する電気信号を出力させ、
静電容量検出器では静電容量検出器から絶縁被覆層の表
面までの距離に対応する電気信号を出力させて、これら
の２っの電気信号を演算処理して、金属体本体上の絶縁
被覆層の厚さに比例した電気信号を出力して、絶縁被覆
層の厚さを測定する。
（金属体本体：鋼ストリップ）を囲繞するシールドケー
スを設けて、シールドケース内に絶縁被覆金属体と対向
させて渦流コイル検出器と静電容量検出器を設けたもの
であり、渦流コイル検出器では渦流コイル検出器から金
属体の表面までの距離に対応する電気信号を出力させ、
静電容量検出器では静電容量検出器から絶縁被覆層の表
面までの距離に対応する電気信号を出力させて、これら
の２っの電気信号を演算処理して、金属体本体上の絶縁
被覆層の厚さに比例した電気信号を出力して、絶縁被覆
層の厚さを測定する。
【００１２】また、実開平５−０３０７１７号公報に
は、以下に述べる膜厚測定装置が開示されている。
は、以下に述べる膜厚測定装置が開示されている。
【００１３】この膜厚測定装置は、絶縁被覆金属体（金
属体本体：自動車や家電製品等の金属成形品）の表面に
絶縁被覆金属体と対向させて渦電流式距離センサ（渦流
コイル検出器）と光波式距離センサを設けたものであ
り、渦電流式距離センサで測った定点から金属成形品の
表面までの距離と、光波式距離センサで測った定点から
絶縁被覆層の表面までの距離とを比較してその差値によ
りコンパレータで絶縁被覆層の厚さを測定する。
属体本体：自動車や家電製品等の金属成形品）の表面に
絶縁被覆金属体と対向させて渦電流式距離センサ（渦流
コイル検出器）と光波式距離センサを設けたものであ
り、渦電流式距離センサで測った定点から金属成形品の
表面までの距離と、光波式距離センサで測った定点から
絶縁被覆層の表面までの距離とを比較してその差値によ
りコンパレータで絶縁被覆層の厚さを測定する。
【００１４】しかしながら、特開昭６０−１７１４０３
号公報、実開平５−０３０７１７号公報の技術は絶縁被
覆金属体の絶縁被覆層の厚さの測定には優れているが、
前述した絶縁被覆金属体による金属体本体と絶縁被覆層
との間に発生する隙間の有無を判定するのにそのまま利
用することは困難である。
号公報、実開平５−０３０７１７号公報の技術は絶縁被
覆金属体の絶縁被覆層の厚さの測定には優れているが、
前述した絶縁被覆金属体による金属体本体と絶縁被覆層
との間に発生する隙間の有無を判定するのにそのまま利
用することは困難である。
【００１５】本発明はライン上を走行する絶縁被覆金属
体を対象として、絶縁被覆金属体の金属体と絶縁被覆層
との間の隙間の有無を的確に判定することのできる非接
触による欠陥検査方法を提供することを目的とする。
体を対象として、絶縁被覆金属体の金属体と絶縁被覆層
との間の隙間の有無を的確に判定することのできる非接
触による欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は金属体本体の表
面に絶縁被覆層を有する絶縁被覆金属体が走行するライ
ン上に、距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容量計の各セン
サーを進行方向に配置し、走行する絶縁被覆金属体の同
一個所について、距離計Ａでは定点から金属体表面まで
の距離を測定し、距離計Ｂでは定点から絶縁体表面まで
の距離を測定し、そして静電容量計では定点から金属体
表面までのキャパシタンスを測定して、それらの測定値
から、前記絶縁被覆金属体の金属体本体と絶縁被覆層の
隙間の有無を判定することを特徴とする絶縁被覆金属体
の非接触による欠陥検査方法である。
面に絶縁被覆層を有する絶縁被覆金属体が走行するライ
ン上に、距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容量計の各セン
サーを進行方向に配置し、走行する絶縁被覆金属体の同
一個所について、距離計Ａでは定点から金属体表面まで
の距離を測定し、距離計Ｂでは定点から絶縁体表面まで
の距離を測定し、そして静電容量計では定点から金属体
表面までのキャパシタンスを測定して、それらの測定値
から、前記絶縁被覆金属体の金属体本体と絶縁被覆層の
隙間の有無を判定することを特徴とする絶縁被覆金属体
の非接触による欠陥検査方法である。
【００１７】本発明によれば、距離計Ａ、距離計Ｂ、静
電容量計をライン上に配置して、走行する絶縁被覆金属
体の同一個所の測定が順次できるようにしているので、
距離計Ａ、距離計Ｂの測定値の差値から絶縁被覆層の厚
さと絶縁被覆層と金属体の隙間との合計した値を求め、
静電容量計の測定値から絶縁被覆層の厚さを求めて、こ
れらの値から絶縁被覆層と金属体の隙間の有無を判定す
ることができる。
電容量計をライン上に配置して、走行する絶縁被覆金属
体の同一個所の測定が順次できるようにしているので、
距離計Ａ、距離計Ｂの測定値の差値から絶縁被覆層の厚
さと絶縁被覆層と金属体の隙間との合計した値を求め、
静電容量計の測定値から絶縁被覆層の厚さを求めて、こ
れらの値から絶縁被覆層と金属体の隙間の有無を判定す
ることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施の形態を
示す説明図である。
示す説明図である。
【００１９】図１において、２はライン１のローラ７上
を走行する絶縁被覆金属体で、金属体本体３と、その表
面に形成した絶縁被覆層４からなる。
を走行する絶縁被覆金属体で、金属体本体３と、その表
面に形成した絶縁被覆層４からなる。
【００２０】ここでは金属体本体３は鋼矢板で、その表
面にポリエチレン等の絶縁被覆用のシート３ａを被覆し
て絶縁被覆層４を形成している。尚、符号９は加熱炉、
１０は押さえローラ、１１は水冷器である。
面にポリエチレン等の絶縁被覆用のシート３ａを被覆し
て絶縁被覆層４を形成している。尚、符号９は加熱炉、
１０は押さえローラ、１１は水冷器である。
【００２１】ライン１上には、距離計Ａ、距離計Ｂそし
て静電容量計Ｃの各センサーが進行方向に順次配置され
ている。定点Ｐはライン上の各センサーの測定面の高さ
位置を示す。
て静電容量計Ｃの各センサーが進行方向に順次配置され
ている。定点Ｐはライン上の各センサーの測定面の高さ
位置を示す。
【００２２】距離計Ａは渦流式、電磁式等の距離計で定
点から金属体表面までの距離（Ｌ1）を測定できるもの
である。
点から金属体表面までの距離（Ｌ1）を測定できるもの
である。
【００２３】距離計Ｂはシーザ、超音波式等の距離計で
定点Ｐから金属体表面までの距離（Ｌ2 ）を測定できる
ものである。
定点Ｐから金属体表面までの距離（Ｌ2 ）を測定できる
ものである。
【００２４】そして静電容量計Ｃは定点Ｐから金属体表
面までのキャパシタンスを測定するものである。
面までのキャパシタンスを測定するものである。
【００２５】距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容量計Ｃか
らの出力による電気信号は演算器５で演算処理されて、
絶縁被覆層４の厚さと、絶縁被覆層と金属体の隙間の値
がモニタ６に表示される。
らの出力による電気信号は演算器５で演算処理されて、
絶縁被覆層４の厚さと、絶縁被覆層と金属体の隙間の値
がモニタ６に表示される。
【００２６】本発明では、走行する絶縁被覆金属体２を
対象とし、絶縁被覆層と金属体本体の隙間の有無を判定
するために、距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容量計Ｃに
よる各測定値が絶縁被覆金属体２の同一個所のものでな
ければならない。
対象とし、絶縁被覆層と金属体本体の隙間の有無を判定
するために、距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容量計Ｃに
よる各測定値が絶縁被覆金属体２の同一個所のものでな
ければならない。
【００２７】そのために、ライン上に距離計Ａ、距離計
Ｂそして静電容量計Ｃの各センサーを進行方向に順次配
置する。図１では距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容量計
Ｃの順に配置したが、これに限定されない。
Ｂそして静電容量計Ｃの各センサーを進行方向に順次配
置する。図１では距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容量計
Ｃの順に配置したが、これに限定されない。
【００２８】配置された距離計Ａ、距離計Ｂそして静電
容量計Ｃの測定値は、ライン速度計８の出力による電気
信号で、演算器５で各々の測定タイミングをずらして演
算処理され、絶縁被覆金属体２の同一個所の各測定値が
出力される。
容量計Ｃの測定値は、ライン速度計８の出力による電気
信号で、演算器５で各々の測定タイミングをずらして演
算処理され、絶縁被覆金属体２の同一個所の各測定値が
出力される。
【００２９】図２は距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容量
計Ｃで絶縁被覆金属体２の同一個所を測定した場合の説
明図である。
計Ｃで絶縁被覆金属体２の同一個所を測定した場合の説
明図である。
【００３０】図２では距離計Ａ、距離計Ｂそして静電容
量計Ｃにより定点Ｐから絶縁被覆金属体２の同一個所を
測定する場合、方向と測定する範囲を示すそれぞれの矢
印を分かりやすくするためにずらして示している。
量計Ｃにより定点Ｐから絶縁被覆金属体２の同一個所を
測定する場合、方向と測定する範囲を示すそれぞれの矢
印を分かりやすくするためにずらして示している。
【００３１】図１と同じ個所は同じ符号を用いた。な
お、符号１２は隙間である。隙間１２は前述したように
うき、ふくれ、エアボイド等によって発生する。
お、符号１２は隙間である。隙間１２は前述したように
うき、ふくれ、エアボイド等によって発生する。
【００３２】図２から明らかなように、絶縁被覆金属体
２の同一個所の各測定値の間には以下の関係が成立す
る。 Ｌ1 −Ｌ2 ＝ｔ1 ＋ｔ2 −−−（１） Ｃa ＝ε0 ×εa ×Ｓ／Ｌ1 −−−（２） Ｃ1 ＝ε0 ×ε1 ×Ｓ／ｔ1 −−−（３） Ｃ2 ＝ε0 ×ε2 ×Ｓ／ｔ2 −−−（４） １／Ｃ＝１／Ｃa ＋１／Ｃ1 ＋１／Ｃ2 −−−（５） ここで、 ｔ1 は、絶縁被覆層の厚さ ｔ2 は、絶縁被覆層と金属体本体の隙間の値 Ｃa は、空気層のキャパシタンス Ｃ1 は、絶縁被覆層のキャパシタンス Ｃ2 は、絶縁被覆層と金属体の隙間のキャパシタンス ε0 は、真空の誘電率（＝８．８５５×１０-12 Ｆ／
ｍ） εa は、空気の比誘電率（＝１．０） ε1 は、絶縁被覆層の被覆材の比誘電率 ε2 は、絶縁被覆層と金属体本体の隙間を満たしている
物質の比誘電率 Ｓは、静電容量計の有効電極面積 である。
２の同一個所の各測定値の間には以下の関係が成立す
る。 Ｌ1 −Ｌ2 ＝ｔ1 ＋ｔ2 −−−（１） Ｃa ＝ε0 ×εa ×Ｓ／Ｌ1 −−−（２） Ｃ1 ＝ε0 ×ε1 ×Ｓ／ｔ1 −−−（３） Ｃ2 ＝ε0 ×ε2 ×Ｓ／ｔ2 −−−（４） １／Ｃ＝１／Ｃa ＋１／Ｃ1 ＋１／Ｃ2 −−−（５） ここで、 ｔ1 は、絶縁被覆層の厚さ ｔ2 は、絶縁被覆層と金属体本体の隙間の値 Ｃa は、空気層のキャパシタンス Ｃ1 は、絶縁被覆層のキャパシタンス Ｃ2 は、絶縁被覆層と金属体の隙間のキャパシタンス ε0 は、真空の誘電率（＝８．８５５×１０-12 Ｆ／
ｍ） εa は、空気の比誘電率（＝１．０） ε1 は、絶縁被覆層の被覆材の比誘電率 ε2 は、絶縁被覆層と金属体本体の隙間を満たしている
物質の比誘電率 Ｓは、静電容量計の有効電極面積 である。
【００３３】そこで、上記（１）〜（５）式を整理する
と、以下のようになる。 Ｌ1 −Ｌ2 ＝ｔ1 ＋ｔ2 −−−（１） １／Ｃ＝（Ｌ1 ／εa ＋ｔ1 ／ε1 ＋ｔ2 ／ε2 ）／（ε0 ×Ｓ） −−−（６）
と、以下のようになる。 Ｌ1 −Ｌ2 ＝ｔ1 ＋ｔ2 −−−（１） １／Ｃ＝（Ｌ1 ／εa ＋ｔ1 ／ε1 ＋ｔ2 ／ε2 ）／（ε0 ×Ｓ） −−−（６）
【００３４】さて、上式において、Ｌ1 、Ｌ2 、Ｃは測
定値であり、ε0 、εa 、Ｓは既知の値である。また、
被覆材の比誘電率ε1 はあらかじめテストピース等によ
り求められる。さらに、絶縁被覆層を構成する物質が予
め判るので、その比誘電率ε 2 もあらかじめ求められ
る。
定値であり、ε0 、εa 、Ｓは既知の値である。また、
被覆材の比誘電率ε1 はあらかじめテストピース等によ
り求められる。さらに、絶縁被覆層を構成する物質が予
め判るので、その比誘電率ε 2 もあらかじめ求められ
る。
【００３５】その結果、（１）、（６）からｔ2 を求め
て、ｔ2 ＝０であれば、絶縁被覆層と金属体本体の間に
隙間がないと判定し、ｔ2 ≠０であれば、絶縁体と金属
体本体との間に隙間が有ると判定する。
て、ｔ2 ＝０であれば、絶縁被覆層と金属体本体の間に
隙間がないと判定し、ｔ2 ≠０であれば、絶縁体と金属
体本体との間に隙間が有ると判定する。
【００３６】
【実施例】本発明と従来例について、以下の比較試験を
行った。なお、以下の表１において、〇印は判定良好で
あり、×印は判定不可を示す。
行った。なお、以下の表１において、〇印は判定良好で
あり、×印は判定不可を示す。
【００３７】試験体 ３００×３００×８ｔ （ｍｍ）
の鋼板をグラインダ処理し、その上に粘着層１．５ｍｍ
を形成し、外層をポリエチレン層１．５ｍｍの塗覆装で
施工した。施工の際に、故意にボイドを付けた試験体を
作成した。ボイドの大きさは、幅２０ｍｍ、１０ｍｍ、
５ｍｍの三種類で、長さ２００ｍｍ、高さ０．６ｍｍの
帯状のボイドとした。ボイドには空気が入っている。
の鋼板をグラインダ処理し、その上に粘着層１．５ｍｍ
を形成し、外層をポリエチレン層１．５ｍｍの塗覆装で
施工した。施工の際に、故意にボイドを付けた試験体を
作成した。ボイドの大きさは、幅２０ｍｍ、１０ｍｍ、
５ｍｍの三種類で、長さ２００ｍｍ、高さ０．６ｍｍの
帯状のボイドとした。ボイドには空気が入っている。
【００３８】これらの試験体を１ｍ／分のライン速度で
直線上に配置した各センサーの下を通過させて測定し
た。
直線上に配置した各センサーの下を通過させて測定し
た。
【００３９】本発明との比較例として、目視、指触と比
較した結果を表１に示す。
較した結果を表１に示す。
【００４０】
【表１】
【００４１】表１から明らかなように、小さなエアボイ
ド等の欠陥を略１００％検出することが可能であり、し
かも、その位置の特定が容易である。
ド等の欠陥を略１００％検出することが可能であり、し
かも、その位置の特定が容易である。
【００４２】
【発明の効果】本発明によれば、ライン上を走行する絶
縁被覆金属体の絶縁被覆層と金属体との間の隙間の有無
を的確に判定することができるので、隙間が有った場合
に、その補修に時間を要することがなく、容易に欠陥部
の補修ができる等の利点があり、また、絶縁被覆金属体
の防食に対する信頼性が一層高められる。
縁被覆金属体の絶縁被覆層と金属体との間の隙間の有無
を的確に判定することができるので、隙間が有った場合
に、その補修に時間を要することがなく、容易に欠陥部
の補修ができる等の利点があり、また、絶縁被覆金属体
の防食に対する信頼性が一層高められる。
【図１】本発明の一実施の形態を示す説明図である。
【図２】本発明の絶縁被覆金属体の同一個所を距離計
Ａ、距離計Ｂそして静電容量計Ｃで測定した場合の説明
図である。
Ａ、距離計Ｂそして静電容量計Ｃで測定した場合の説明
図である。
１ ライン ２ 絶縁被覆金属体 ３ 金属体本体 ４ 絶縁被覆層 ４ａ 絶縁被覆用シート ５ 演算器 ６ モニタ ７ ローラ ８ ライン速度計 ９ 加熱炉 １０ 押さえローラ １１ 水冷器 １２ 隙間 Ａ、Ｂ 距離計 Ｃ 静電容量計 Ｐ 定点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川村 正 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 岡野 嘉広 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 金属体本体の表面に絶縁被覆層を有する
絶縁被覆金属体が走行するライン上に、距離計Ａ、距離
計Ｂそして静電容量計の各センサーを進行方向に配置
し、走行する絶縁被覆金属体の同一個所について、距離
計Ａでは定点から金属体表面までの距離を測定し、距離
計Ｂでは定点から絶縁体表面までの距離を測定し、そし
て静電容量計では定点から金属体表面までのキャパシタ
ンスを測定して、それらの測定値から、前記絶縁被覆金
属体の金属体本体と絶縁被覆層の隙間の有無を判定する
ことを特徴とする絶縁被覆金属体の非接触による欠陥検
査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3767897A JPH10239266A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 絶縁被覆金属体の非接触による欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3767897A JPH10239266A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 絶縁被覆金属体の非接触による欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239266A true JPH10239266A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12504284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3767897A Pending JPH10239266A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 絶縁被覆金属体の非接触による欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10239266A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075387A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-12 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 多層フィルムの欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
| JP2006208370A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-08-10 | Non-Destructive Inspection Co Ltd | 表面変位測定方法及びこれに用いる表面変位測定装置 |
| WO2012029223A1 (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置および検査方法 |
| JP2019536641A (ja) * | 2016-10-27 | 2019-12-19 | コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジーＫｏｒｅａ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｏｆ Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ | 工具位置のセット装置及びそれを用いた工具位置のセット方法 |
-
1997
- 1997-02-21 JP JP3767897A patent/JPH10239266A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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