JPH10239236A - 光学材料の均質性検査装置 - Google Patents
光学材料の均質性検査装置Info
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- JPH10239236A JPH10239236A JP9056866A JP5686697A JPH10239236A JP H10239236 A JPH10239236 A JP H10239236A JP 9056866 A JP9056866 A JP 9056866A JP 5686697 A JP5686697 A JP 5686697A JP H10239236 A JPH10239236 A JP H10239236A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置側の光学系が均質性の必ずしも良くない
もの、又、被検物の厚さがことなるものでも、検査精度
が良好な光学材料の均質性検査装置を提供する。 【解決手段】 「光源」である赤外レーザ３１と、赤外
レーザ３１からの光束を平行光束に変換するコリメータ
レンズ３２と、被検物３３を載置して光軸の垂直方向に
往復可能な被検台１３と、平行光束を収束させる結像レ
ンズ３４と、結像レンズ３４の焦点位置近傍に位置する
ナイフエッジ６と、光束の光量を調整するための「光量
調整系」である可変式ＮＤフィルタ１２と、結像レンズ
１０によって得られる像の「検出系」である赤外カメラ
１１とを有する。
もの、又、被検物の厚さがことなるものでも、検査精度
が良好な光学材料の均質性検査装置を提供する。 【解決手段】 「光源」である赤外レーザ３１と、赤外
レーザ３１からの光束を平行光束に変換するコリメータ
レンズ３２と、被検物３３を載置して光軸の垂直方向に
往復可能な被検台１３と、平行光束を収束させる結像レ
ンズ３４と、結像レンズ３４の焦点位置近傍に位置する
ナイフエッジ６と、光束の光量を調整するための「光量
調整系」である可変式ＮＤフィルタ１２と、結像レンズ
１０によって得られる像の「検出系」である赤外カメラ
１１とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、脈理、泡等の含有
率や、異物の混入率等によって表される、光学材料の均
質性検査装置に関するものである。
率や、異物の混入率等によって表される、光学材料の均
質性検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種装置に使われる方法として
は、シュリーレン法と干渉計法がある。シュリーレン法
では、図６に示すような光学系の構成によって、検査が
行われる。この検査方法においては、光源１からの光束
をコリメータレンズ２に入射させる。ここで平行光束に
されて、被検物３に入射する。これを透過した平行光束
は、結像レンズ４によって、その焦点位置に収束する。
しかし、被検物３の屈折率分布が不均質の場合には、当
然のことながら、透過光束の進行方向も不均質になる。
このとき、焦点の近傍にナイフエッジ６を置く。これに
よって所望の明るさになるように視野を調整できる。ナ
イフエッジ６に近づいていく方向に屈折された部分は暗
くなり、遠ざかっていく方向に屈折された部分は明るく
なる。これにより、被検物３の屈折率分布を明暗のコン
トラストとして、スクリーン５の上に投影できる。この
投影された明暗のコントラストを調べれば、被検物３の
均質性を明確に知ることができる。
は、シュリーレン法と干渉計法がある。シュリーレン法
では、図６に示すような光学系の構成によって、検査が
行われる。この検査方法においては、光源１からの光束
をコリメータレンズ２に入射させる。ここで平行光束に
されて、被検物３に入射する。これを透過した平行光束
は、結像レンズ４によって、その焦点位置に収束する。
しかし、被検物３の屈折率分布が不均質の場合には、当
然のことながら、透過光束の進行方向も不均質になる。
このとき、焦点の近傍にナイフエッジ６を置く。これに
よって所望の明るさになるように視野を調整できる。ナ
イフエッジ６に近づいていく方向に屈折された部分は暗
くなり、遠ざかっていく方向に屈折された部分は明るく
なる。これにより、被検物３の屈折率分布を明暗のコン
トラストとして、スクリーン５の上に投影できる。この
投影された明暗のコントラストを調べれば、被検物３の
均質性を明確に知ることができる。
【０００３】次に、干渉計法の１種であるシアリング干
渉法では、図７に示すような光学系の構成によって、検
査が行われる。この検査方法においては、光源１からの
光束をコリメータレンズ２によって平行光束とし、これ
を被検物３に入射させる。これを透過した平行光束は、
ハーフミラー７の表面８及び裏面９によって反射され
る。そして、前記反射された光束はそれぞれ異なった光
路を進むため、結像レンズ４によってスクリーン５上に
投影されると、そこに干渉縞が生じる。ここで、被検物
３の屈折率分布が不均質である場合には、透過光束の波
面に位相変化が生じるため、変形した干渉縞がスクリー
ン５上に観察される。
渉法では、図７に示すような光学系の構成によって、検
査が行われる。この検査方法においては、光源１からの
光束をコリメータレンズ２によって平行光束とし、これ
を被検物３に入射させる。これを透過した平行光束は、
ハーフミラー７の表面８及び裏面９によって反射され
る。そして、前記反射された光束はそれぞれ異なった光
路を進むため、結像レンズ４によってスクリーン５上に
投影されると、そこに干渉縞が生じる。ここで、被検物
３の屈折率分布が不均質である場合には、透過光束の波
面に位相変化が生じるため、変形した干渉縞がスクリー
ン５上に観察される。
【０００４】これらの原理を応用した装置として、赤外
用光学材料の均質性検査装置がある。光源には赤外レー
ザを用い、検出系には赤外カメラを用いている。
用光学材料の均質性検査装置がある。光源には赤外レー
ザを用い、検出系には赤外カメラを用いている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の検査装置では、
装置側の光学系として、赤外用光学材料であるゲルマニ
ウムを用いるのが一般的である。しかしながら、必ずし
もゲルマニウムの均質性が良いとは限らないため、その
ようなゲルマニウムを装置側の光学系に用いた場合、光
量ムラのある平行光束で検査することになる。これによ
って、被検物の検査に悪影響を及ぼす。
装置側の光学系として、赤外用光学材料であるゲルマニ
ウムを用いるのが一般的である。しかしながら、必ずし
もゲルマニウムの均質性が良いとは限らないため、その
ようなゲルマニウムを装置側の光学系に用いた場合、光
量ムラのある平行光束で検査することになる。これによ
って、被検物の検査に悪影響を及ぼす。
【０００６】また、被検物の厚さが異なる場合、被検物
を透過してくる光量も異なるため、モニター上の画像の
明るさも変化して、作業者が検査し難くなるという問題
点があった。
を透過してくる光量も異なるため、モニター上の画像の
明るさも変化して、作業者が検査し難くなるという問題
点があった。
【０００７】そこで、本発明は、装置側の光学系が均質
性の必ずしも良くないもの、又、被検物の厚さがことな
るものでも、検査精度が良好な光学材料の均質性検査装
置を提供することを目的とする。
性の必ずしも良くないもの、又、被検物の厚さがことな
るものでも、検査精度が良好な光学材料の均質性検査装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる課題を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、光源からの光束をコリ
メータレンズにより平行光束に変換して、該平行光束を
光学材料である被検物に照射して透過させた後、結像レ
ンズで収束させて該結像レンズによって得られる像を検
出系により検査して、前記被検物の均質性を検査する均
質性検査装置において、前記被検物を載置して光軸の垂
直方向に往復可能な被検台と、前記光束の光量を調整す
る光量調整系とを有する光学材料の均質性検査装置とし
たことを特徴としている。
めに、請求項１に記載の発明は、光源からの光束をコリ
メータレンズにより平行光束に変換して、該平行光束を
光学材料である被検物に照射して透過させた後、結像レ
ンズで収束させて該結像レンズによって得られる像を検
出系により検査して、前記被検物の均質性を検査する均
質性検査装置において、前記被検物を載置して光軸の垂
直方向に往復可能な被検台と、前記光束の光量を調整す
る光量調整系とを有する光学材料の均質性検査装置とし
たことを特徴としている。
【０００９】請求項２に記載の発明は、光源と、該光源
からの光束を平行光束に変換するコリメータレンズと、
被検物を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検台
と、前記平行光束を収束させる結像レンズと、該結像レ
ンズの焦点位置近傍に位置するナイフエッジと、前記光
束の光量を調整するための光量調整系と、前記結像レン
ズによって得られる像の検出系とを有する光学材料の均
質性検査装置としたことを特徴とする。
からの光束を平行光束に変換するコリメータレンズと、
被検物を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検台
と、前記平行光束を収束させる結像レンズと、該結像レ
ンズの焦点位置近傍に位置するナイフエッジと、前記光
束の光量を調整するための光量調整系と、前記結像レン
ズによって得られる像の検出系とを有する光学材料の均
質性検査装置としたことを特徴とする。
【００１０】請求項３に記載の発明は、光源と、該光源
からの光束を平行光束に変換するコリメータレンズと、
被検物を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検台
と、前記平行光束を透過光と反射光に分割する光束分割
系と、該光束分割系を透過した平行光束を反射する反射
系と、前記光束分割系および反射系で反射された平行光
束を収束させる結像レンズと、前記光束の光量を調整す
るための光量調整系と、前記結像レンズによって得られ
る像の検出系とを有する光学材料の均質性検査装置とし
たことを特徴とする。
からの光束を平行光束に変換するコリメータレンズと、
被検物を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検台
と、前記平行光束を透過光と反射光に分割する光束分割
系と、該光束分割系を透過した平行光束を反射する反射
系と、前記光束分割系および反射系で反射された平行光
束を収束させる結像レンズと、前記光束の光量を調整す
るための光量調整系と、前記結像レンズによって得られ
る像の検出系とを有する光学材料の均質性検査装置とし
たことを特徴とする。
【００１１】請求項４に記載の発明は、光源と、該光源
からの光束を平行光束に変換するコリメータレンズと、
被検物を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検台
と、前記平行光束を透過光と反射光に分割する光束分割
系と、該光束分割系を透過した平行光束を反射する全反
射ミラーと、前記光束分割系と全反射ミラーの間に開閉
可能に設けられたシャッターと、前記光束分割系および
全反射ミラーで反射された平行光束を収束させる結像レ
ンズと、該結像レンズの焦点位置近傍に位置するナイフ
エッジと、前記結像レンズを透過した光束の光量を調整
するための光量調整系と、前記結像レンズによって得ら
れる像の検出系とを有する光学材料の均質性検査装置と
したことを特徴とする。
からの光束を平行光束に変換するコリメータレンズと、
被検物を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検台
と、前記平行光束を透過光と反射光に分割する光束分割
系と、該光束分割系を透過した平行光束を反射する全反
射ミラーと、前記光束分割系と全反射ミラーの間に開閉
可能に設けられたシャッターと、前記光束分割系および
全反射ミラーで反射された平行光束を収束させる結像レ
ンズと、該結像レンズの焦点位置近傍に位置するナイフ
エッジと、前記結像レンズを透過した光束の光量を調整
するための光量調整系と、前記結像レンズによって得ら
れる像の検出系とを有する光学材料の均質性検査装置と
したことを特徴とする。
【００１２】請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４
の何れか一つに記載の構成に加え、前記光源が赤外レー
ザであり、前記光量調整系がＮＤフィルタであり、前記
検出系が赤外カメラであることを特徴とする。
の何れか一つに記載の構成に加え、前記光源が赤外レー
ザであり、前記光量調整系がＮＤフィルタであり、前記
検出系が赤外カメラであることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１４】［発明の実施の形態１］図１乃至図３に
は、この発明の実施の形態１を示す。
は、この発明の実施の形態１を示す。
【００１５】まず構成について説明すると、この実施の
形態１は、シュリーレン法を用いた赤外用光学材料の均
質性検査装置にこの発明を適用したものであり、符号３
１は「光源」としての赤外レ−ザ、３２はコリメータレ
ンズ、３４と１０は結像レンズ、１１は「検出系」とし
ての赤外カメラ、６はナイフエッジ、３３は赤外用光学
材料である被検物、１３は被検台、１２は「光量調整
系」としての可変式ＮＤフィルタである。
形態１は、シュリーレン法を用いた赤外用光学材料の均
質性検査装置にこの発明を適用したものであり、符号３
１は「光源」としての赤外レ−ザ、３２はコリメータレ
ンズ、３４と１０は結像レンズ、１１は「検出系」とし
ての赤外カメラ、６はナイフエッジ、３３は赤外用光学
材料である被検物、１３は被検台、１２は「光量調整
系」としての可変式ＮＤフィルタである。
【００１６】そのコリメータレンズ３２と、結像レンズ
３４,１０の光学材料は、赤外領域で光が透過できるゲ
ルマニウムである。
３４,１０の光学材料は、赤外領域で光が透過できるゲ
ルマニウムである。
【００１７】また、被検物３３を載置する被検台１３
は、図２に示す機構により光軸の垂直方向に往復運動さ
れるようになっている。つまり、被検台１３は光軸の垂
直方向に配置されたガイド１４に案内され、モータ１６
に取り付けられたカム１７により、１軸方向（光軸の垂
直方向）に往復運動されるようになっている。そして、
バネ１５により、被検台１３とカム１７が離れないよう
に押し付けられている。
は、図２に示す機構により光軸の垂直方向に往復運動さ
れるようになっている。つまり、被検台１３は光軸の垂
直方向に配置されたガイド１４に案内され、モータ１６
に取り付けられたカム１７により、１軸方向（光軸の垂
直方向）に往復運動されるようになっている。そして、
バネ１５により、被検台１３とカム１７が離れないよう
に押し付けられている。
【００１８】さらに、可変式ＮＤフィルタ１２は、赤外
カメラ１１側から見ると、図３に示すように、光学濃度
の異なる４種類のＮＤフィルタ１８,１９,２０,２１が
同一円周上に配設され、これをレボルバ方式に光軸を中
心として回転させることにより、任意のＮＤフィルタ１
８，１９，２０，２１が光路に挿入されて光量調整が行
われるようになっている。
カメラ１１側から見ると、図３に示すように、光学濃度
の異なる４種類のＮＤフィルタ１８,１９,２０,２１が
同一円周上に配設され、これをレボルバ方式に光軸を中
心として回転させることにより、任意のＮＤフィルタ１
８，１９，２０，２１が光路に挿入されて光量調整が行
われるようになっている。
【００１９】次に、作用について説明する。
【００２０】図１において、赤外レーザ３１から発光し
た光束は、コリメータレンズ３２によって平行光束とな
る。平行光束は被検物３３を透過して、さらに、結像レ
ンズ３４を透過した後に、この焦点位置に収束する。こ
のとき、被検物３３の屈折率分布が不均質であれば、結
像レンズ３４の透過光束は、屈折率分布の勾配に従って
曲げられてしまう。また、焦点近傍にナイフエッジ６を
置き適当な明るさの視野まで絞ると、ナイフエッジ６の
刃に近づいていく方向に曲げられた部分は暗くなり、刃
から遠ざかっていく方向に曲げられた部分は明るくな
る。これによって、被検物３３の屈折率分布は、明暗の
コントラストとなって赤外カメラ１１で観察される。
た光束は、コリメータレンズ３２によって平行光束とな
る。平行光束は被検物３３を透過して、さらに、結像レ
ンズ３４を透過した後に、この焦点位置に収束する。こ
のとき、被検物３３の屈折率分布が不均質であれば、結
像レンズ３４の透過光束は、屈折率分布の勾配に従って
曲げられてしまう。また、焦点近傍にナイフエッジ６を
置き適当な明るさの視野まで絞ると、ナイフエッジ６の
刃に近づいていく方向に曲げられた部分は暗くなり、刃
から遠ざかっていく方向に曲げられた部分は明るくな
る。これによって、被検物３３の屈折率分布は、明暗の
コントラストとなって赤外カメラ１１で観察される。
【００２１】この際には、赤外カメラ１１の直前に可変
式ＮＤフィルタ１２を置いているので、作業者が観察し
易い明るさに光量を調整できる。
式ＮＤフィルタ１２を置いているので、作業者が観察し
易い明るさに光量を調整できる。
【００２２】また、図２のような被検台１３により、被
検物３３を光軸の垂直方向に動かすことができるため、
被検物３３に脈理等が存在すれば、それが動いて観察さ
れるのに対し、装置側の光学系の光量ムラは動かないこ
とから、この装置側の光学系の光量ムラと被検物３３の
脈理等とを区別できる。従って、必ずしも均質性が良い
とは限らないゲルマニウムを装置側の光学系に用いた場
合でも、被検物３３の検査を正確に行うことができる。
検物３３を光軸の垂直方向に動かすことができるため、
被検物３３に脈理等が存在すれば、それが動いて観察さ
れるのに対し、装置側の光学系の光量ムラは動かないこ
とから、この装置側の光学系の光量ムラと被検物３３の
脈理等とを区別できる。従って、必ずしも均質性が良い
とは限らないゲルマニウムを装置側の光学系に用いた場
合でも、被検物３３の検査を正確に行うことができる。
【００２３】［発明の実施の形態２］図４には、この発
明の実施の形態２を示す。
明の実施の形態２を示す。
【００２４】この実施の形態２は、シアリング干渉法を
用いた赤外用光学材料の均質性検査装置にこの発明を適
用したものである。
用いた赤外用光学材料の均質性検査装置にこの発明を適
用したものである。
【００２５】赤外レーザ３１から発光した光束は、コリ
メータレンズ３２によって平行光束とされる。この平行
光束は被検物３３を透過して、ハーフミラー３７の表面
３８及び裏面３９によって反射される。このハーフミラ
ー３７の材料は赤外光を透過できれば何でもよい。
メータレンズ３２によって平行光束とされる。この平行
光束は被検物３３を透過して、ハーフミラー３７の表面
３８及び裏面３９によって反射される。このハーフミラ
ー３７の材料は赤外光を透過できれば何でもよい。
【００２６】そして、この別々に反射された２つの平行
光束は、結像レンズ３４,１０を透過し、可変式ＮＤフ
ィルタ１２で減光され赤外カメラ１１に入射する。ここ
で、この２つの平行光束は、ハーフミラー３７から出射
する時、横ずれしているため、赤外カメラ１１により干
渉縞として観察される。
光束は、結像レンズ３４,１０を透過し、可変式ＮＤフ
ィルタ１２で減光され赤外カメラ１１に入射する。ここ
で、この２つの平行光束は、ハーフミラー３７から出射
する時、横ずれしているため、赤外カメラ１１により干
渉縞として観察される。
【００２７】この際、被検物３３の屈折率分布が不均質
の場合は、平行光束の波面に位相変化が起こるため、赤
外カメラ１１により変形した干渉縞が観察される。
の場合は、平行光束の波面に位相変化が起こるため、赤
外カメラ１１により変形した干渉縞が観察される。
【００２８】また、光路に可変式ＮＤフィルタ１２を置
いているので、作業者が観察し易い明るさに光量を調整
できる。
いているので、作業者が観察し易い明るさに光量を調整
できる。
【００２９】さらに、被検台１３により、被検物３３を
光軸の垂直方向に動かすことができるため、被検物３３
に脈理等が存在すれば、それが動いて観察されるので、
装置側の光学系の光量ムラと被検物３３の脈理等を区別
でき、被検物３３の脈理等の観察を適正に行うことがで
きる。
光軸の垂直方向に動かすことができるため、被検物３３
に脈理等が存在すれば、それが動いて観察されるので、
装置側の光学系の光量ムラと被検物３３の脈理等を区別
でき、被検物３３の脈理等の観察を適正に行うことがで
きる。
【００３０】［発明の実施の形態３］図５には、この発
明の実施の形態３を示す。
明の実施の形態３を示す。
【００３１】この実施の形態３は、シュリーレン法とシ
アリング干渉法とを切り換え可能な赤外用光学材料の均
質性検査装置にこの発明を適用したものである。
アリング干渉法とを切り換え可能な赤外用光学材料の均
質性検査装置にこの発明を適用したものである。
【００３２】図中符号２２は「光束分割系」としてのハ
ーフミラー、２３は全反射ミラー、２７はシャッターで
ある。このハーフミラー２２は、材料は赤外光を透過で
きれば何でもよい。また、ハーフミラー２２の表面２４
には、反射防止膜を蒸着してある。
ーフミラー、２３は全反射ミラー、２７はシャッターで
ある。このハーフミラー２２は、材料は赤外光を透過で
きれば何でもよい。また、ハーフミラー２２の表面２４
には、反射防止膜を蒸着してある。
【００３３】シュリーレン法とシアリング干渉法との切
り換えは、シャッター２７を開閉することにより行われ
る。
り換えは、シャッター２７を開閉することにより行われ
る。
【００３４】シャッター２７が開かれ、ナイフエッジ６
が光路から遠ざけられた状態では、被検物３３を透過し
た平行光束はハーフミラー２２を透過し、ハーフミラー
２２の裏面２５で反射光束と透過光束に２分割される。
この透過光束は、シャッター２７が開かれているため、
全反射ミラー２３の表面２６で反射され、再び、ハーフ
ミラー２２を逆方向から透過する。この別々に反射され
た２つの平行光束は、ハーフミラー２２から出射する
時、横ずれしているため、図４のシアリング干渉法と同
様の観察ができる。
が光路から遠ざけられた状態では、被検物３３を透過し
た平行光束はハーフミラー２２を透過し、ハーフミラー
２２の裏面２５で反射光束と透過光束に２分割される。
この透過光束は、シャッター２７が開かれているため、
全反射ミラー２３の表面２６で反射され、再び、ハーフ
ミラー２２を逆方向から透過する。この別々に反射され
た２つの平行光束は、ハーフミラー２２から出射する
時、横ずれしているため、図４のシアリング干渉法と同
様の観察ができる。
【００３５】この際には、ハーフミラー２２の裏面２５
と全反射ミラー２３の表面２６との角度を変えれば、干
渉縞の間隔を自由に変えることができるので、検査を容
易に行うことができる。
と全反射ミラー２３の表面２６との角度を変えれば、干
渉縞の間隔を自由に変えることができるので、検査を容
易に行うことができる。
【００３６】一方、シャッター２７を閉じると、ハーフ
ミラー２２の裏面２５の反射光だけしか結像レンズ３４
を透過しないため、干渉縞は生じない。つまり、図１の
シュリーレン法と同様の観察ができる。
ミラー２２の裏面２５の反射光だけしか結像レンズ３４
を透過しないため、干渉縞は生じない。つまり、図１の
シュリーレン法と同様の観察ができる。
【００３７】このシュリーレン法による検査を行う際
に、ナイフエッジ６は結像レンズ３４の焦点近傍におい
て微動させることにより、視野の明るさの調整を行う。
このナイフエッジ６は、ＸＹＺステージに保持されてお
り、手動によって、光軸方向と、それに直交する平面内
での移動が可能である。また、このナイフエッジ６は、
光軸周りの回転も可能であるため、光束を遮る方向を自
由に選ぶこともできる。
に、ナイフエッジ６は結像レンズ３４の焦点近傍におい
て微動させることにより、視野の明るさの調整を行う。
このナイフエッジ６は、ＸＹＺステージに保持されてお
り、手動によって、光軸方向と、それに直交する平面内
での移動が可能である。また、このナイフエッジ６は、
光軸周りの回転も可能であるため、光束を遮る方向を自
由に選ぶこともできる。
【００３８】そして、この実施の形態でも、光路に可変
式ＮＤフィルタ１２を置いているので、作業者が観察し
易い明るさに光量を調整できると共に、被検台１３によ
り、被検物３３を光軸の垂直方向に動かすことができる
ため、被検物３３に脈理等が存在すれば、それが動いて
観察されるので、装置側の光学系の光量ムラと被検物３
３の脈理等を区別できる。
式ＮＤフィルタ１２を置いているので、作業者が観察し
易い明るさに光量を調整できると共に、被検台１３によ
り、被検物３３を光軸の垂直方向に動かすことができる
ため、被検物３３に脈理等が存在すれば、それが動いて
観察されるので、装置側の光学系の光量ムラと被検物３
３の脈理等を区別できる。
【００３９】ここでは、シャッター２７を開閉させるこ
とにより、平行光束の透過と遮断を制御したが、虹彩絞
りのような開閉方式であっても良い。また、シャッター
２７及びナイフエッジ６の操作は手動で行っても良い
し、又、モーター等を利用して自動で行っても良い。
とにより、平行光束の透過と遮断を制御したが、虹彩絞
りのような開閉方式であっても良い。また、シャッター
２７及びナイフエッジ６の操作は手動で行っても良い
し、又、モーター等を利用して自動で行っても良い。
【００４０】なお、上記各実施の形態では、「検出系」
として赤外カメラ１１を用いて、ＴＶモニタに映し出さ
れた画像を目視によって検査したが、これに限らず、カ
メラとＴＶモニタの間に画像処理装置を設置しても良
い。
として赤外カメラ１１を用いて、ＴＶモニタに映し出さ
れた画像を目視によって検査したが、これに限らず、カ
メラとＴＶモニタの間に画像処理装置を設置しても良
い。
【００４１】また、被検台の往復運動の方向は、光軸の
垂直方向であれば上下でも左右でも良い。この往復運動
させるアクチュエータとしては、例えば、モータ、エア
シリンダ、ソレノイドなどを用いることができる。
垂直方向であれば上下でも左右でも良い。この往復運動
させるアクチュエータとしては、例えば、モータ、エア
シリンダ、ソレノイドなどを用いることができる。
【００４２】さらに、光量調整系としては、上記各実施
の形態では、濃淡の異なる数種類のＮＤフィルタ１８，
１９，２０，２１を円周上に配置して切り換えるレボル
バ方式を採用しているが、１軸上に配置して切り換える
スライド方式、濃淡が連続して変化する１枚のＮＤフィ
ルタを無段階に切り換える方式などを用いることができ
る。しかも、この光量調整系は、光路のどこに挿入して
も良い。
の形態では、濃淡の異なる数種類のＮＤフィルタ１８，
１９，２０，２１を円周上に配置して切り換えるレボル
バ方式を採用しているが、１軸上に配置して切り換える
スライド方式、濃淡が連続して変化する１枚のＮＤフィ
ルタを無段階に切り換える方式などを用いることができ
る。しかも、この光量調整系は、光路のどこに挿入して
も良い。
【００４３】さらにまた、赤外用光学材料の均質性検査
の場合、光源として、赤外レーザ以外のものでも良く、
又、光学系の材料として、ゲルマニウム、シリコン、Ｚ
ｎＳｅ、石英などを用いることができる。
の場合、光源として、赤外レーザ以外のものでも良く、
又、光学系の材料として、ゲルマニウム、シリコン、Ｚ
ｎＳｅ、石英などを用いることができる。
【００４４】
【発明の効果】以上説明してきたように、各請求項に記
載された発明によれば、被検物を載置して光軸の垂直方
向に往復可能な被検台を設けることにより、被検物を光
軸の垂直方向に動かすことができるため、被検物に脈理
等が存在すれば、それが動いて観察されるのに対し、装
置側の光学系の光量ムラは動かないことから、この装置
側の光学系の光量ムラと被検物の脈理等とを区別でき
る。従って、必ずしも均質性が良いとは限らないゲルマ
ニウムを装置側の光学系に用いた場合でも、被検物の検
査を正確に行うことができる。
載された発明によれば、被検物を載置して光軸の垂直方
向に往復可能な被検台を設けることにより、被検物を光
軸の垂直方向に動かすことができるため、被検物に脈理
等が存在すれば、それが動いて観察されるのに対し、装
置側の光学系の光量ムラは動かないことから、この装置
側の光学系の光量ムラと被検物の脈理等とを区別でき
る。従って、必ずしも均質性が良いとは限らないゲルマ
ニウムを装置側の光学系に用いた場合でも、被検物の検
査を正確に行うことができる。
【００４５】また、光束の光量を調整する光量調整系を
設けることにより、作業者が観察に適した明るさに光量
を調整できるため、被検物の厚さに関係なく検査がし易
くなる。
設けることにより、作業者が観察に適した明るさに光量
を調整できるため、被検物の厚さに関係なく検査がし易
くなる。
【００４６】請求項２に記載された発明によれば、シュ
リーレン法を用いた均質性検査装置において上記効果が
得られる。
リーレン法を用いた均質性検査装置において上記効果が
得られる。
【００４７】請求項３に記載された発明によれば、シア
リング干渉法を用いた均質性検査装置において上記効果
が得られる。
リング干渉法を用いた均質性検査装置において上記効果
が得られる。
【００４８】請求項４に記載された発明によれば、シュ
リーレン法とシアリング干渉法とを切り換えて用いるこ
とができる均質性検査装置において上記効果が得られ
る。
リーレン法とシアリング干渉法とを切り換えて用いるこ
とができる均質性検査装置において上記効果が得られ
る。
【００４９】請求項５に記載された発明によれば、赤外
用光学材料の均質性検査装置において上記効果が得られ
る。
用光学材料の均質性検査装置において上記効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る均質性検査装置
の概略図である。
の概略図である。
【図２】同実施の形態１に係る載置台等を示す平面図で
ある。
ある。
【図３】同実施の形態１に係る光量調整系を示す正面図
である。
である。
【図４】この発明の実施の形態２に係る均質性検査装置
の概略図である。
の概略図である。
【図５】この発明の実施の形態３に係る均質性検査装置
の概略図である。
の概略図である。
【図６】従来のシュリーレン法を用いた均質性検査装置
の概略図である。
の概略図である。
【図７】従来のシアリング干渉法を用いた均質性検査装
置の概略図である。
置の概略図である。
６ ナイフエッジ 10,34 結像レンズ 11 赤外カメラ（検出系） 12 可変式ＮＤフィルタ（光量調整系） 13 被検台 22 ハーフミラー（光束分割系） 23 全反射ミラー 27 シャッター 31 赤外レーザ（光源） 32 コリメータレンズ 33 被検物
Claims (5)
- 【請求項１】 光源からの光束をコリメータレンズによ
り平行光束に変換して、該平行光束を光学材料である被
検物に照射して透過させた後、結像レンズで収束させて
該結像レンズによって得られる像を検出系により検査し
て、前記被検物の均質性を検査する均質性検査装置にお
いて、 前記被検物を載置して光軸の垂直方向に往復可能な被検
台と、前記光束の光量を調整する光量調整系とを有する
ことを特徴とする光学材料の均質性検査装置。 - 【請求項２】 光源と、該光源からの光束を平行光束に
変換するコリメータレンズと、被検物を載置して光軸の
垂直方向に往復可能な被検台と、前記平行光束を収束さ
せる結像レンズと、該結像レンズの焦点位置近傍に位置
するナイフエッジと、前記光束の光量を調整するための
光量調整系と、前記結像レンズによって得られる像の検
出系とを有することを特徴とする光学材料の均質性検査
装置。 - 【請求項３】 光源と、該光源からの光束を平行光束に
変換するコリメータレンズと、被検物を載置して光軸の
垂直方向に往復可能な被検台と、前記平行光束を透過光
と反射光に分割する光束分割系と、該光束分割系を透過
した平行光束を反射する反射系と、前記光束分割系およ
び反射系で反射された平行光束を収束させる結像レンズ
と、前記光束の光量を調整するための光量調整系と、前
記結像レンズによって得られる像の検出系とを有するこ
とを特徴とする光学材料の均質性検査装置。 - 【請求項４】 光源と、該光源からの光束を平行光束に
変換するコリメータレンズと、被検物を載置して光軸の
垂直方向に往復可能な被検台と、前記平行光束を透過光
と反射光に分割する光束分割系と、該光束分割系を透過
した平行光束を反射する全反射ミラーと、前記光束分割
系と全反射ミラーの間に開閉可能に設けられたシャッタ
ーと、前記光束分割系および全反射ミラーで反射された
平行光束を収束させる結像レンズと、該結像レンズの焦
点位置近傍に位置するナイフエッジと、前記結像レンズ
を透過した光束の光量を調整するための光量調整系と、
前記結像レンズによって得られる像の検出系とを有する
ことを特徴とする光学材料の均質性検査装置。 - 【請求項５】 前記光源が赤外レーザであり、前記光量
調整系がＮＤフィルタであり、前記検出系が赤外カメラ
であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一つに
記載の光学材料の均質性検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9056866A JPH10239236A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 光学材料の均質性検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9056866A JPH10239236A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 光学材料の均質性検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239236A true JPH10239236A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=13039357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9056866A Pending JPH10239236A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 光学材料の均質性検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10239236A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009092426A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Nippon Steel Corp | 表面検査方法及び表面検査装置 |
| JP2011080960A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体検査装置 |
| TWI425202B (zh) * | 2010-07-22 | 2014-02-01 | Univ China Sci & Tech | Infrared lens penetration measurement device |
| CN110579474A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-17 | 中国科学院力学研究所 | 一种同时观测晶体形貌及测量晶体周围浓度场的装置 |
| JP2021514055A (ja) * | 2018-09-28 | 2021-06-03 | 中国兵器工業標准化研究所Ｃｈｉｎａ Ｎｏｒｔｈ Ｓｔａｎｄａｒｄｉｚａｔｉｏｎ Ｃｅｎｔｅｒ | 投影とシュリーレンとの複合型光学試験システム |
-
1997
- 1997-02-25 JP JP9056866A patent/JPH10239236A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009092426A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Nippon Steel Corp | 表面検査方法及び表面検査装置 |
| JP2011080960A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体検査装置 |
| TWI425202B (zh) * | 2010-07-22 | 2014-02-01 | Univ China Sci & Tech | Infrared lens penetration measurement device |
| JP2021514055A (ja) * | 2018-09-28 | 2021-06-03 | 中国兵器工業標准化研究所Ｃｈｉｎａ Ｎｏｒｔｈ Ｓｔａｎｄａｒｄｉｚａｔｉｏｎ Ｃｅｎｔｅｒ | 投影とシュリーレンとの複合型光学試験システム |
| CN110579474A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-17 | 中国科学院力学研究所 | 一种同时观测晶体形貌及测量晶体周围浓度场的装置 |
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