JPH10231136A - インゴットの延伸装置 - Google Patents
インゴットの延伸装置Info
- Publication number
- JPH10231136A JPH10231136A JP3940097A JP3940097A JPH10231136A JP H10231136 A JPH10231136 A JP H10231136A JP 3940097 A JP3940097 A JP 3940097A JP 3940097 A JP3940097 A JP 3940097A JP H10231136 A JPH10231136 A JP H10231136A
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- Japan
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- outer diameter
- stretching
- rotating
- rod
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インゴットを延伸して得られるロッドに曲が
りが生じることが無く、ロッドの修正加工を行う必要が
ないインゴットの延伸装置を提供する。 【解決手段】 インゴット１の延伸装置は、断面が円形
のインゴット１を加熱延伸し、円形ロッド３を曳き出す
装置において、インゴット１の加熱炉８と、インゴット
１の回転手段１０と、インゴット１の加熱炉８への挿入
手段５、６、７と、円形ロッド３をインゴット１と同期
回転して把持する把持手段１３、１４と、該円形ロッド
を曳き出す延伸手段１２ａ、１２ｂ、１５ａ、１５ｂ、
１６、１７とを有し、加熱炉８にインゴット１の外径を
測定する外径センサ１１が取り付けられ、外径センサ１
１で測定した外径値を基準円の外径値と比較して信号を
出力する制御回路と、該信号によって駆動するインゴッ
ト１の偏心調節装置１０を有する。
りが生じることが無く、ロッドの修正加工を行う必要が
ないインゴットの延伸装置を提供する。 【解決手段】 インゴット１の延伸装置は、断面が円形
のインゴット１を加熱延伸し、円形ロッド３を曳き出す
装置において、インゴット１の加熱炉８と、インゴット
１の回転手段１０と、インゴット１の加熱炉８への挿入
手段５、６、７と、円形ロッド３をインゴット１と同期
回転して把持する把持手段１３、１４と、該円形ロッド
を曳き出す延伸手段１２ａ、１２ｂ、１５ａ、１５ｂ、
１６、１７とを有し、加熱炉８にインゴット１の外径を
測定する外径センサ１１が取り付けられ、外径センサ１
１で測定した外径値を基準円の外径値と比較して信号を
出力する制御回路と、該信号によって駆動するインゴッ
ト１の偏心調節装置１０を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば合成石英か
らなるインゴットを延伸する装置に関するものである。
らなるインゴットを延伸する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】通信分野などで多く使用される光ファイ
バは、合成石英などのインゴットを線曳きして製造され
る。大型の合成石英インゴットは、取り扱い上不便であ
るため、延伸装置で延伸して小型の合成石英ロッドにし
た後に線曳きされることがある。
バは、合成石英などのインゴットを線曳きして製造され
る。大型の合成石英インゴットは、取り扱い上不便であ
るため、延伸装置で延伸して小型の合成石英ロッドにし
た後に線曳きされることがある。
【０００３】従来の延伸装置の例を図５に示す。同図に
示すように、支柱４にはモータ７に連結したボールネジ
５が固定され、ボールネジ５に螺合した走査具６に合成
石英インゴット１が吊り下げられている。支柱４に取り
付けられた加熱炉８の内部には発熱体９があり、側部に
はテーパー部２の外径を測定する外径センサ１１が取り
付けられ、下方にはガイドローラ２２とピンチローラ２
１が配置されている。この延伸装置は、モータ７を駆動
してインゴット１を下降して加熱炉８に挿入し、加熱炉
８内でインゴット１を軟化点以上に加熱し、軟化したイ
ンゴット１をその下降速度よりも速い速度でピンチロー
ラ２１で曳き出すことにより、インゴット１を延伸した
ロッド３を得るものである。
示すように、支柱４にはモータ７に連結したボールネジ
５が固定され、ボールネジ５に螺合した走査具６に合成
石英インゴット１が吊り下げられている。支柱４に取り
付けられた加熱炉８の内部には発熱体９があり、側部に
はテーパー部２の外径を測定する外径センサ１１が取り
付けられ、下方にはガイドローラ２２とピンチローラ２
１が配置されている。この延伸装置は、モータ７を駆動
してインゴット１を下降して加熱炉８に挿入し、加熱炉
８内でインゴット１を軟化点以上に加熱し、軟化したイ
ンゴット１をその下降速度よりも速い速度でピンチロー
ラ２１で曳き出すことにより、インゴット１を延伸した
ロッド３を得るものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この延伸装置でインゴ
ット１を延伸すると、軟化したインゴット１のテーパー
部２に水平方向に力が作用したり、温度分布が不均一に
なることがあるため、加熱炉８の外に出て再度固化する
際に微妙な傾きを生じ、延伸されたロッド３に曲がりを
生じることがある。また延伸前のインゴット１に、もと
もと曲がりがあることも多い。このため通常は、インゴ
ット１を延伸した後に得られたロッド３をガラス旋盤に
より修正加工するという作業を行う必要があった。
ット１を延伸すると、軟化したインゴット１のテーパー
部２に水平方向に力が作用したり、温度分布が不均一に
なることがあるため、加熱炉８の外に出て再度固化する
際に微妙な傾きを生じ、延伸されたロッド３に曲がりを
生じることがある。また延伸前のインゴット１に、もと
もと曲がりがあることも多い。このため通常は、インゴ
ット１を延伸した後に得られたロッド３をガラス旋盤に
より修正加工するという作業を行う必要があった。
【０００５】本発明は前記の課題を解決するためなされ
たもので、インゴットを延伸して得られるロッドに曲が
りが生じることが無く、ロッドの修正加工を行う必要が
ないインゴットの延伸装置を提供することを目的とす
る。
たもので、インゴットを延伸して得られるロッドに曲が
りが生じることが無く、ロッドの修正加工を行う必要が
ないインゴットの延伸装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めになされた本発明のインゴット１の延伸装置は、図１
に示すように、断面が円形のインゴット１を加熱延伸
し、円形ロッド３を曳き出す装置において、インゴット
１の加熱炉８と、インゴット１の回転手段１０と、イン
ゴット１の加熱炉８への挿入手段５、６、７と、円形ロ
ッド３をインゴット１と同期回転して把持する把持手段
１３、１４と、該円形ロッドを曳き出す延伸手段１２
ａ、１２ｂ、１５ａ、１５ｂ、１６、１７とを有し、加
熱炉８にインゴット１の外径を測定する外径センサ１１
が取り付けられ、外径センサ１１で測定した外径値を基
準円の外径値と比較して信号を出力する制御回路１８、
１９、３０（図４参照）と、該信号によって駆動するイ
ンゴット１の偏心調節装置１０を有する。
めになされた本発明のインゴット１の延伸装置は、図１
に示すように、断面が円形のインゴット１を加熱延伸
し、円形ロッド３を曳き出す装置において、インゴット
１の加熱炉８と、インゴット１の回転手段１０と、イン
ゴット１の加熱炉８への挿入手段５、６、７と、円形ロ
ッド３をインゴット１と同期回転して把持する把持手段
１３、１４と、該円形ロッドを曳き出す延伸手段１２
ａ、１２ｂ、１５ａ、１５ｂ、１６、１７とを有し、加
熱炉８にインゴット１の外径を測定する外径センサ１１
が取り付けられ、外径センサ１１で測定した外径値を基
準円の外径値と比較して信号を出力する制御回路１８、
１９、３０（図４参照）と、該信号によって駆動するイ
ンゴット１の偏心調節装置１０を有する。
【０００７】把持手段１３、１４が、把持と開放を交互
に繰り返す複数の回転チャック１３、１４からなること
が好ましい。
に繰り返す複数の回転チャック１３、１４からなること
が好ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を詳細に説
明する。
明する。
【０００９】図１は、本発明を適用するインゴット１の
延伸装置の実施例を示す側面図である。同図に示すよう
に、支柱４にはモータ７に連結したボールネジ５が固定
され、ボールネジ５に螺合した走査具６にはインゴット
１を回転させると同時に、曲がりのあるインゴット１が
回転することによって生じる振れ回りを調節する偏心調
節回転装置１０が取り付けられている。偏心調節回転装
置１０には合成石英インゴット１の上端が連結して吊り
下げられている。支柱４に取り付けられた加熱炉８の下
方には、２個のモータ１５ａおよび１５ｂ（図面上付
加）にそれぞれ連結したボールネジ１２ａおよび１２ｂ
（図面上付加）が支柱４に固定され、ボールネジ１２ａ
には走査具１６、ボールネジ１２ｂには走査具１７が螺
合し、走査具１６、１７にはインゴット１と同期して回
転しながら円形ロッド３を把持する回転チャック１３、
１４が取り付けられている。加熱炉８の内部には発熱体
９があり、その側部にはインゴット１のテーパー部２の
外径センサ１１が取り付けられている。
延伸装置の実施例を示す側面図である。同図に示すよう
に、支柱４にはモータ７に連結したボールネジ５が固定
され、ボールネジ５に螺合した走査具６にはインゴット
１を回転させると同時に、曲がりのあるインゴット１が
回転することによって生じる振れ回りを調節する偏心調
節回転装置１０が取り付けられている。偏心調節回転装
置１０には合成石英インゴット１の上端が連結して吊り
下げられている。支柱４に取り付けられた加熱炉８の下
方には、２個のモータ１５ａおよび１５ｂ（図面上付
加）にそれぞれ連結したボールネジ１２ａおよび１２ｂ
（図面上付加）が支柱４に固定され、ボールネジ１２ａ
には走査具１６、ボールネジ１２ｂには走査具１７が螺
合し、走査具１６、１７にはインゴット１と同期して回
転しながら円形ロッド３を把持する回転チャック１３、
１４が取り付けられている。加熱炉８の内部には発熱体
９があり、その側部にはインゴット１のテーパー部２の
外径センサ１１が取り付けられている。
【００１０】図２は、偏心調節回転装置１０の構造を示
す断面図である。同図に示すように、固定テーブル３１
には、ガイドレール３８およびＸモータ３４が固定さ
れ、Ｘモータ３４にはボールネジ３５が連結されてい
る。Ｘ軸方向に移動するＸ移動テーブル３３の下面には
直動軸受３７およびボールナット３６が取り付けられ、
直動軸受３７はガイドレール３８に摺動可能に載置さ
れ、ボールナット３６はボールネジ３５に螺合してい
る。またＸ移動テーブル３３の上面にはガイドレール２
８が固定されている。Ｙ軸方向に移動するＹ移動テーブ
ル２３の下面には直動軸受２７およびボールナット２６
が取り付けられ、直動軸受２７はガイドレール２８に摺
動可能に載置され、ボールナット２６はボールネジ２５
に螺合し、ボールネジ２５はＹモータ５５（図４参照）
に連結されている。さらにＸ移動テーブル３３、固定テ
ーブル３１はそれぞれ孔３９、３２を有し、Ｙ移動テー
ブル２３の下面には、インゴット１を把持するチャック
２９が取り付けられ、チャック２９はモータ２４に連結
されて回転するようになっている。
す断面図である。同図に示すように、固定テーブル３１
には、ガイドレール３８およびＸモータ３４が固定さ
れ、Ｘモータ３４にはボールネジ３５が連結されてい
る。Ｘ軸方向に移動するＸ移動テーブル３３の下面には
直動軸受３７およびボールナット３６が取り付けられ、
直動軸受３７はガイドレール３８に摺動可能に載置さ
れ、ボールナット３６はボールネジ３５に螺合してい
る。またＸ移動テーブル３３の上面にはガイドレール２
８が固定されている。Ｙ軸方向に移動するＹ移動テーブ
ル２３の下面には直動軸受２７およびボールナット２６
が取り付けられ、直動軸受２７はガイドレール２８に摺
動可能に載置され、ボールナット２６はボールネジ２５
に螺合し、ボールネジ２５はＹモータ５５（図４参照）
に連結されている。さらにＸ移動テーブル３３、固定テ
ーブル３１はそれぞれ孔３９、３２を有し、Ｙ移動テー
ブル２３の下面には、インゴット１を把持するチャック
２９が取り付けられ、チャック２９はモータ２４に連結
されて回転するようになっている。
【００１１】図３は、回転チャック１３・１４の構造を
示す一部断面図である。同図に示すように、固定ベース
４４には転がり軸受４６を介して回転ベース４３が連結
され、固定ベース４１には転がり軸受４５を介して回転
ベース４２が連結されている。固定ベース４１にはエア
シリンダ５２が取り付けられ、エアシリンダ５２には固
定ベース４４に取り付けられたピストン５３が挿入され
ている。回転ベース４２は内面の一部に溝６０が形成さ
れ、回転ベース４３は外面の一部に突起５０が形成さ
れ、回転ベース４３上昇時に溝６０に沿って突起５０が
嵌まってゆく。さらに固定ベース４１にはモータ５９、
歯車５６が取り付けられ、歯車５６は傘歯車５７および
傘歯車５８を介してモータ５９に連結されている。回転
ベース４２には歯車５４が固定され、歯車５４には、把
持部５１を水平方向に移動させる支持台４０が固定され
ている。歯車５４と歯車５６は噛み合っている。回転ベ
ース４３には細長孔４８を有するカム板４７が固定さ
れ、細長孔４８には把持部５１に固定された軸４９が挿
入されている。
示す一部断面図である。同図に示すように、固定ベース
４４には転がり軸受４６を介して回転ベース４３が連結
され、固定ベース４１には転がり軸受４５を介して回転
ベース４２が連結されている。固定ベース４１にはエア
シリンダ５２が取り付けられ、エアシリンダ５２には固
定ベース４４に取り付けられたピストン５３が挿入され
ている。回転ベース４２は内面の一部に溝６０が形成さ
れ、回転ベース４３は外面の一部に突起５０が形成さ
れ、回転ベース４３上昇時に溝６０に沿って突起５０が
嵌まってゆく。さらに固定ベース４１にはモータ５９、
歯車５６が取り付けられ、歯車５６は傘歯車５７および
傘歯車５８を介してモータ５９に連結されている。回転
ベース４２には歯車５４が固定され、歯車５４には、把
持部５１を水平方向に移動させる支持台４０が固定され
ている。歯車５４と歯車５６は噛み合っている。回転ベ
ース４３には細長孔４８を有するカム板４７が固定さ
れ、細長孔４８には把持部５１に固定された軸４９が挿
入されている。
【００１２】図４は、本発明を適用するインゴット１の
延伸装置の実施例のブロック図である。同図に示すよう
に、ボールネジ５・１２ａ・１２ｂを駆動させるモータ
７・１５ａ・１５ｂ、インゴット１を回転させる偏心調
節回転装置１０のモータ２４が制御回路２０に接続され
ている。さらに制御回路２０には、回転チャック１３・
１４の把持部５１を作動させるエアシリンダ５２、回転
チャック１３・１４の回転ベース４２をインゴット１と
同期回転させるモータ５９が接続されている。
延伸装置の実施例のブロック図である。同図に示すよう
に、ボールネジ５・１２ａ・１２ｂを駆動させるモータ
７・１５ａ・１５ｂ、インゴット１を回転させる偏心調
節回転装置１０のモータ２４が制御回路２０に接続され
ている。さらに制御回路２０には、回転チャック１３・
１４の把持部５１を作動させるエアシリンダ５２、回転
チャック１３・１４の回転ベース４２をインゴット１と
同期回転させるモータ５９が接続されている。
【００１３】外径センサ１１は、外径センサ１１で測定
されたインゴット１の外径値とインゴット１に振れ回り
がないときの外径値と比較し、振れ回りを検知したとき
に測定値を出力する比較回路１８が接続され、比較回路
１８はその測定値からＸ方向とＹ方向の振れ回り量を算
出する演算回路１９に接続され、演算回路１９は偏心制
御回路３０に接続されている。偏心制御回路３０には、
演算回路１９で算出した値から偏心調節回転装置１０の
Ｘ移動テーブル３３・Ｙ移動テーブル２３をインゴット
１の振れ回りを補正するように駆動させるＸモータ３４
・Ｙモータ５５が接続されている。また外径センサ１１
の出力は制御回路２０にも接続され、モータ７・１５ａ
・１５ｂの回転速度の演算のため参照される。
されたインゴット１の外径値とインゴット１に振れ回り
がないときの外径値と比較し、振れ回りを検知したとき
に測定値を出力する比較回路１８が接続され、比較回路
１８はその測定値からＸ方向とＹ方向の振れ回り量を算
出する演算回路１９に接続され、演算回路１９は偏心制
御回路３０に接続されている。偏心制御回路３０には、
演算回路１９で算出した値から偏心調節回転装置１０の
Ｘ移動テーブル３３・Ｙ移動テーブル２３をインゴット
１の振れ回りを補正するように駆動させるＸモータ３４
・Ｙモータ５５が接続されている。また外径センサ１１
の出力は制御回路２０にも接続され、モータ７・１５ａ
・１５ｂの回転速度の演算のため参照される。
【００１４】インゴットの延伸装置は、以下のように動
作する。
作する。
【００１５】図１に示すように、モータ７および偏心調
節回転装置１０のモータ２４（図２参照）を作動し、合
成石英インゴット１を回転させながら走査具６を徐々に
下降して加熱炉８内に挿入するとインゴット１のテーパ
ー部２は加熱されて軟化する。外径センサ１１は回転す
るテーパー部２の外径を測定する。その測定値を比較回
路１８（図４参照）で振れ回りがないときのインゴット
１の外径と比較し、振れ回りを検知すると、演算回路１
９がＸ方向とＹ方向の振れ回り量を算出する。その算出
値により、偏心制御回路３０が偏心調節回転装置１０に
信号を出力し、Ｘ移動テーブル３３およびＹ移動テーブ
ル２３を駆動して、インゴット１に振れ回りを補正する
偏心運動をさせる。
節回転装置１０のモータ２４（図２参照）を作動し、合
成石英インゴット１を回転させながら走査具６を徐々に
下降して加熱炉８内に挿入するとインゴット１のテーパ
ー部２は加熱されて軟化する。外径センサ１１は回転す
るテーパー部２の外径を測定する。その測定値を比較回
路１８（図４参照）で振れ回りがないときのインゴット
１の外径と比較し、振れ回りを検知すると、演算回路１
９がＸ方向とＹ方向の振れ回り量を算出する。その算出
値により、偏心制御回路３０が偏心調節回転装置１０に
信号を出力し、Ｘ移動テーブル３３およびＹ移動テーブ
ル２３を駆動して、インゴット１に振れ回りを補正する
偏心運動をさせる。
【００１６】さらに制御回路２０は、回転チャック１３
のモータ５９（図３参照）を駆動して回転ベース４２を
インゴット１と同期回転させながら、エアシリンダ５２
を作動させてカム板４７を上昇させ、把持部５１を閉じ
てロッド３を把持し、モータ１５ａを駆動して走査具６
の下降速度よりも速い速度で走査具１６を下降させてイ
ンゴット１を曳き出して延伸した後、回転チャック１３
の把持を開放する。次にモータ１５ｂが適切なタイミン
グで逆回転して走査具１７を上昇させ回転チャック１４
を上部に戻し、回転チャック１４のモータ５９を駆動し
て回転ベース４２をインゴット１と同期回転させなが
ら、把持部５１を閉じて曳き出されたロッド３を把持し
てさらにインゴット１を曳き出して延伸する。このよう
に回転チャック１３、１４でロッド３を交互に掴み変え
て曳き出すことにより、インゴット１を連続的に延伸す
る。
のモータ５９（図３参照）を駆動して回転ベース４２を
インゴット１と同期回転させながら、エアシリンダ５２
を作動させてカム板４７を上昇させ、把持部５１を閉じ
てロッド３を把持し、モータ１５ａを駆動して走査具６
の下降速度よりも速い速度で走査具１６を下降させてイ
ンゴット１を曳き出して延伸した後、回転チャック１３
の把持を開放する。次にモータ１５ｂが適切なタイミン
グで逆回転して走査具１７を上昇させ回転チャック１４
を上部に戻し、回転チャック１４のモータ５９を駆動し
て回転ベース４２をインゴット１と同期回転させなが
ら、把持部５１を閉じて曳き出されたロッド３を把持し
てさらにインゴット１を曳き出して延伸する。このよう
に回転チャック１３、１４でロッド３を交互に掴み変え
て曳き出すことにより、インゴット１を連続的に延伸す
る。
【００１７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の装
置を使用してインゴットを回転延伸すると、インゴット
にかかっていた力や熱的な偏りが分散されるので、延伸
後のロッドに曲がりが生じることが無く、もともと曲が
っていたインゴットはその曲がりが修正され、延伸後に
は曲がりのないロッドになる。このため、インゴット延
伸後に修正加工を行う必要がなく、インゴットの延伸工
程を大幅に簡略化できる。
置を使用してインゴットを回転延伸すると、インゴット
にかかっていた力や熱的な偏りが分散されるので、延伸
後のロッドに曲がりが生じることが無く、もともと曲が
っていたインゴットはその曲がりが修正され、延伸後に
は曲がりのないロッドになる。このため、インゴット延
伸後に修正加工を行う必要がなく、インゴットの延伸工
程を大幅に簡略化できる。
【図１】本発明を適用するインゴットの延伸装置の実施
例を示す側面図である。
例を示す側面図である。
【図２】本発明を適用するインゴットの延伸装置の一部
品である偏心調節回転装置の構造を示す断面図である。
品である偏心調節回転装置の構造を示す断面図である。
【図３】本発明を適用するインゴットの延伸装置の一部
品である回転チャックの構造を示す一部断面図である。
品である回転チャックの構造を示す一部断面図である。
【図４】本発明を適用するインゴットの延伸装置の実施
例のブロック図である。
例のブロック図である。
【図５】従来のインゴットの延伸装置の例を示す側面図
である。
である。
１は合成石英インゴット、２はテーパー部、３は合成石
英ロッド、４は支柱、５・１２ａ・１２ｂ・２５・３５
はボールネジ、６・１６・１７は走査具、７・１５ａ・
１５ｂ・２４・５９はモータ、８は加熱炉、９は発熱
体、１０は偏心調節回転装置、１１は外径センサ、１３
・１４は回転チャック、１８は比較回路、１９は演算回
路、２０は制御回路、２１はピンチローラ、２２はガイ
ドローラ、２３はＹ移動テーブル、２６・３６はボール
ナット、２７・３７は直動軸受、２８・３８はガイドレ
ール、２９はチャック、３０は偏心制御回路、３１は固
定テーブル、３２・３９は孔、３３はＸ移動テーブル、
３４はＸモータ、４０は支持台、４１・４４は固定ベー
ス、４２・４３は回転ベース、４５・４６は転がり軸
受、４７はカム板、４８は細長孔、４９は軸、５０は突
起、５１は把持部、５２はエアシリンダ、５３はピスト
ン、５４・５６はギア、５５はＹモータ、５７・５８は
傘歯車、６０は溝である。
英ロッド、４は支柱、５・１２ａ・１２ｂ・２５・３５
はボールネジ、６・１６・１７は走査具、７・１５ａ・
１５ｂ・２４・５９はモータ、８は加熱炉、９は発熱
体、１０は偏心調節回転装置、１１は外径センサ、１３
・１４は回転チャック、１８は比較回路、１９は演算回
路、２０は制御回路、２１はピンチローラ、２２はガイ
ドローラ、２３はＹ移動テーブル、２６・３６はボール
ナット、２７・３７は直動軸受、２８・３８はガイドレ
ール、２９はチャック、３０は偏心制御回路、３１は固
定テーブル、３２・３９は孔、３３はＸ移動テーブル、
３４はＸモータ、４０は支持台、４１・４４は固定ベー
ス、４２・４３は回転ベース、４５・４６は転がり軸
受、４７はカム板、４８は細長孔、４９は軸、５０は突
起、５１は把持部、５２はエアシリンダ、５３はピスト
ン、５４・５６はギア、５５はＹモータ、５７・５８は
傘歯車、６０は溝である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 晃彦 東京都千代田区大手町２丁目６番１号 信 越化学工業株式会社内 (72)発明者 山村 和市 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 清水 佳昌 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 断面が円形のインゴットを加熱延伸し、
円形ロッドを曳き出す装置において、該インゴットの加
熱炉と、該インゴットの回転手段と、該インゴットの該
加熱炉への挿入手段と、該円形ロッドを該インゴットと
同期回転して把持する把持手段と、該円形ロッドを曳き
出す延伸手段とを有し、該加熱炉に該インゴットの外径
を測定する外径センサが取り付けられ、該外径センサで
測定した外径値を基準円の外径値と比較して信号を出力
する制御回路と、該信号によって駆動する該インゴット
の偏心調節装置を有することを特徴とするインゴットの
延伸装置。 - 【請求項２】 前記把持手段が、把持と開放を交互に繰
り返す複数の回転チャックからなることを特徴とする請
求項１に記載のインゴットの延伸装置。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|---|
| KR100350479B1 (ko) * | 2000-02-02 | 2002-08-28 | 삼성전자 주식회사 | 컬랩스/클로즈 기기의 배기 회전 유니트 수직 지지 장치 |
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1997
- 1997-02-24 JP JP3940097A patent/JP3515870B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR100350479B1 (ko) * | 2000-02-02 | 2002-08-28 | 삼성전자 주식회사 | 컬랩스/클로즈 기기의 배기 회전 유니트 수직 지지 장치 |
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