JPH10229096A - ワーク供給方法およびワーク供給用具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ソフトトレーからハードトレーにワークを一
つずつ移し替える作業を必要とせずに、ワークをソフト
トレーに収納した状態で、自動処理装置に供給すること
ができ、安定性および生産性に優れたワーク供給方法お
よびワーク供給用具を提供する。 【解決手段】 複数個のワーク２はソフトトレー３に収
納される。ソフトトレー３は、ソフトトレー保持具４に
位置決めして保持される。その際、ソフトトレー３の枠
部３ａが、ソフトトレー保持具４のガイド４ｂに係合し
て、位置決め、保持される。このようにして組み立てら
れたワーク供給用具１は、複数、積み重ねることができ
る。この場合、ソフトトレー保持具４の係合凹部４ｃ、
係合凸部４ｄに、それぞれ、他のソフトトレー保持具４
の係合凸部４ｄ、係合凹部４ｃが挿入されるので、各ワ
ーク供給用具１が互いに位置決めされ、且つ係合し、安
定して積み重ねることができる。このワーク供給用具１
を利用すれば、ワーク２をソフトトレー３に収納させた
状態で、自動処理装置に安定して供給できるので、生産
性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造分野等
において、例えば、インライン工程でＣＣＤ（電荷結合
素子）パッケージなどのワークを自動処理装置に供給す
るために使用されるワーク供給方法およびワーク供給用
具に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造分野におけるインラ
イン工程において、ワークを収納する手段の一つとし
て、ソフトトレーと呼ばれている柔軟な塩化ビニール等
の樹脂製トレーが使用されている。従来、このソフトト
レーは、後述するような問題があったため、ワークのセ
ットを人手で行うマニュアル設備のみで使用されてい
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】自動設備においても、
このソフトトレーの使用が可能であれば生産性が向上す
るが、ソフトトレーにワークが収納された状態で、自動
処理装置にワークを供給すると、ソフトトレーに衝撃が
加わった場合、ワークが飛散してしまうため、自動処理
装置において衝撃を受けることの少ない機構を採用しな
ければならず、また、自動処理装置の搬送速度にも制限
が生じる。さらに、ソフトトレーを積み重ねて置くと、
ソフトトレーの枠部分でソフトトレー同士噛み合ってし
まう。噛み合ったソフトトレーの分離は、ソフトトレー
を変形させたり、ワークを飛散させたりするため、困難
であった。そのため、従来、ソフトトレーは、ワークの
セットを人手で行うマニュアル設備のみで使用され、ワ
ークを自動処理装置に供給する際は、ソフトトレーから
剛性を有するハードトレーにワークを一つずつ移し替え
る作業が必要であった。このようなことから従来の技術
では、安定性および生産性が悪いという問題があった。

【０００４】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、ソフトトレーからハードトレーにワ
ークを一つずつ移し替える作業を必要とせずに、ワーク
をソフトトレーに収納した状態で、自動処理装置に供給
することができ、安定性および生産性に優れたワーク供
給方法およびワーク供給用具を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明に係るワーク供給
方法は、ワークを柔軟な材質で形成されたソフトトレー
に収納し、このソフトトレーを剛性を有する材質で形成
されたソフトトレー保持具に位置決めして保持させ、そ
の状態でソフトトレーとソフトトレー保持具とを介し
て、ワークを自動処理装置に供給するものである。

【０００６】本発明に係るワーク供給用具は、ワークを
収納するためのソフトトレーと、このソフトトレーを位
置決めして保持し、ワークを自動処理装置に供給するた
めのソフトトレー保持具とを備えたものである。

【０００７】本発明に係るワーク供給方法では、ワーク
は、柔軟な材質で形成されたソフトトレーに収納され、
このソフトトレーは、剛性を有する材質で形成されたソ
フトトレー保持具に位置決めして保持される。その状態
で、ワークは、ソフトトレーとソフトトレー保持具とを
介して、自動処理装置に供給される。

【０００８】本発明に係るワーク供給用具では、ワーク
を収納したソフトトレーを自動処理装置に供給するため
に、ソフトトレーはソフトトレー保持具によって位置決
めして保持される。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の一実
施の形態に係るワーク供給用具の構成を表す斜視図であ
る。本実施の形態に係るワーク供給用具１は、ワーク２
を収納するための柔軟な材質で形成されたソフトトレー
３と、このソフトトレー３を位置決めして保持するため
のアルミニウム等の金属製のソフトトレー保持具４とを
備えている。図２は、このソフトトレー保持具４にソフ
トトレー３を位置決めして保持させた状態を表す断面図
である。

【００１０】ソフトトレー３は、外形形状が矩形に形成
され、下側に向けて開口する周回状の凹部からなる枠部
３ａと、ワーク２を収納するために枠部３ａの内側に形
成されたワーク収納部３ｂとを有している。ワーク２
は、例えば、１０×１０ｍｍ〜１０×５０ｍｍ程度の寸
法を有するＣＣＤパッケージであり、ソフトトレー３
は、例えば、２７５×２３０×１７ｍｍ程度の寸法を有
する塩化ビニール等の樹脂製トレーである。一つのソフ
トトレー３には、ワーク２が、例えば、３０〜１２０個
程度収納される。

【００１１】ソフトトレー保持具４は、内部に四角い穴
が開けられた角板形状を有するプレート４ａと、プレー
ト４ａに開けられた四角い穴を挟み、プレート４ａ上で
平行に対向配置され、その断面は矩形で凸型の形状を有
する二つのガイド４ｂと、プレート４ａの上面におい
て、プレート４ａの四つの角部に配設され、円柱形状の
穴からなる係合凹部４ｃと、プレート４ａの下面におい
て、係合凹部４ｃに対応した位置に配設され、係合凹部
４ｃに対応する大きさの円柱形状を有する係合凸部４ｄ
とを有している。

【００１２】ガイド４ｂは、図２に示したように、ソフ
トトレー３を位置決めして保持するために、ソフトトレ
ー３の枠部３ａが係合される部分である。また、係合凹
部４ｃは、ソフトトレー保持具４を積み重ねる際に、上
側に配設される他のソフトトレー保持具４の係合凸部４
ｄが挿入されて、位置決めおよび係合される部分であ
る。同様に、係合凸部４ｄは、ソフトトレー保持具４を
積み重ねる際に、下側に配設される他のソフトトレー保
持具４の係合凹部４ｃに挿入されて、位置決めおよび係
合される部分である。このように、各ワーク供給用具１
が互いに位置決めされ、且つ係合して、積み重ねられる
ようになっている。

【００１３】次に、本実施の形態に係るワーク供給用具
１の作用について説明する。複数個のワーク２は、ソフ
トトレー３のワーク収納部３ｂに収納される。このよう
に、複数個のワーク２が収納されたソフトトレー３は、
ソフトトレー保持具４に位置決めして保持される。その
際、ソフトトレー３の枠部３ａが、ソフトトレー保持具
４のガイド４ｂに係合して、位置決めして保持される。
このようにして組み立てられたワーク供給用具１は、複
数、積み重ねることができる。この場合、ソフトトレー
保持具４の係合凹部４ｃ、係合凸部４ｄに、それぞれ、
他のソフトトレー保持具４の係合凸部４ｄ、係合凹部４
ｃが挿入され、これにより、各ワーク供給用具１が互い
に位置決めされ、且つ係合して積み重ねられる。

【００１４】次に、本実施の形態に係るワーク供給方法
について説明する。この方法では、ワーク２をソフトト
レー３に収納し、ソフトトレー３をソフトトレー保持具
４に位置決めして保持させ、その状態でソフトトレー３
とソフトトレー保持具４とを介して、ワーク２を自動処
理装置に供給する。

【００１５】ここで、図３を参照して本実施の形態に係
るワーク供給用具１が利用される自動処理装置における
ワーク供給方法の概略を説明する。この自動処理装置
は、ワーク供給用具１に収納されたワーク２を所定の位
置に供給する機構を有するローダ５と、所定の位置から
取り出す機構を有するアンローダ６とを備えている。ロ
ーダ５は図示しない自動処理部にワーク２を供給するも
ので、ワーク２はこの自動処理部で所定の処理がなされ
る。処理がなされたワーク２はアンローダ６によって自
動処理部から取り出されるようになっている。

【００１６】次に、本実施の形態に係るワーク供給用具
１が利用される自動処理装置において、図３におけるロ
ーダ５に対応するワーク供給装置の一例について、図４
を参照して説明する。本実施の形態に係るワーク供給用
具１が利用されるワーク供給装置７は、装置を支持する
架台８と、架台８の上において、ワーク供給用具１を供
給するトレー供給部９と、図示しない自動処理部にワー
ク２を移載して供給するワーク移載部１０と、ワーク供
給用具１をトレー供給部９からワーク移載部１０へ搬送
するトレー搬送部１１とを備えている。ワーク供給装置
７は、更に架台８の内部において、自動処理部にワーク
２が供給されて空になったワーク供給用具１をワーク移
載部１０から搬送するための昇降台１２と、この昇降台
１２により搬送されるワーク供給用具１を取り出すため
の引き出し１３とを備えている。

【００１７】トレー供給部９およびワーク移載部１０
は、図示しないチャックを有しており、このチャック
は、トレー供給部９およびワーク移載部１０において、
ワーク供給用具１を保持もしくは開放する機能を有して
いる。トレー搬送部１１は、トレー供給部９およびワー
ク移載部１０の真下で鉛直方向に昇降可能な構造になっ
ている。また、昇降台１２は、ワーク移載部１０の真下
に設置されており、鉛直方向に昇降可能な構造になって
いる。また、引き出し１３は、昇降台１２により搬送さ
れて積み重ねられたワーク供給用具１を取り出すことが
可能な構造になっている。

【００１８】次に、図４に示したワーク供給装置７の動
作について詳しく説明する。まず、図１を用いて説明し
たようにワーク２が収納されたワーク供給用具１が、ト
レー供給部９に装填される。次に、トレー供給部９の真
下で待機していたトレー搬送部１１がトレー供給部９の
位置まで上昇する。その際、トレー供給部９のチャック
が開かれ、ワーク供給用具１は、トレー搬送部１１に載
せられる。ワーク供給用具１を載せたトレー搬送部１１
は、トレー供給部９の真下に下降する。次に、トレー搬
送部１１は、水平方向に移動し、ワーク移載部１０の真
下で止まる。その後、ワーク移載部１０のチャックが開
かれ、ワーク移載部１０の真下からトレー搬送部１１が
上昇する。次に、ワーク移載部１０のチャックがワーク
供給用具１を保持し、トレー搬送部１１のみが下降す
る。ワーク移載部１０のチャックによって保持されたワ
ーク供給用具１内のワーク２は、図示しないＸＹロボッ
トによって、ワーク供給用具１から取り出され、自動処
理部に供給される。

【００１９】ワーク供給用具１に収納されていたすべて
のワーク２が自動処理部に供給され、ワーク供給用具１
内のワーク２が空になると、ワーク移載部１０の真下に
設置されている昇降台１２が、ワーク移載部１０まで上
昇する。続いて、ワーク移載部１０のチャックが開か
れ、空になったワーク供給用具１は昇降台１２に載せら
れて下降する。昇降台１２は、架台８の内部に設置され
た引き出し１３にワーク供給用具１を受け渡して、さら
に下降して止まる。以上が、一つのワーク供給用具１に
収納されたワーク２を自動処理部に供給するための動作
である。この一連の動作を繰り返して、引き出し１３に
所定の個数の空のワーク供給用具１が収納されると、ワ
ーク供給用具１は、引き出し１３によって取り出され
る。

【００２０】以上説明したように、本実施の形態にかか
るワーク供給方法によれば、ワークを収納したソフトト
レー３をソフトトレー保持具４に位置決めして保持さ
せ、ワーク２をソフトトレー３に収納した状態で、ワー
ク供給装置７などを含む自動処理装置に使用することが
できる。このため、ソフトトレー３からハードトレーに
ワーク２を一つずつ移し替える作業を必要とせずに、自
動処理装置に供給することが可能となり、生産性が向上
する。

【００２１】また、本実施の形態にかかるワーク供給用
具１によれば、ソフトトレー保持具４に配設されたガイ
ド４ｂとソフトトレー３に備えられた枠部３ａとが係合
される。従って、複数個のワーク２を収納したソフトト
レー３を安定して位置決めし、保持することができ、ワ
ーク２が飛散することを防止することができる。また、
ソフトトレー保持具４に配設された係合凹部４ｃおよび
係合凸部４ｄにより、ワーク供給用具１を積み重ねたと
き、複数個のワーク供給用具１を位置決めおよび係合さ
せることができるので、ワーク供給用具１を安定して積
み重ねることができ、ワーク供給動作の安定性が向上す
る。

【００２２】更に、ワーク供給用具１のプレート４ａの
上面に配設されるガイド４ｂの配設位置を変更すること
により、同一設備で、異なる寸法のソフトトレーを使用
することも可能になる。

【００２３】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
ず、例えば、ワーク供給用具１の材質は、アルミニウム
等の金属に限らず、剛性を有する材料であれば、硬質プ
ラスチックもしくは、セラミック、石英等の材料を使用
してもよい。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載のワ
ーク供給方法によれば、ワークを柔軟な材質で形成され
たソフトトレーに収納し、このソフトトレーを剛性を有
する材質で形成されたソフトトレー保持具に位置決めし
て保持させ、その状態でソフトトレーとソフトトレー保
持具とを介して、ワークを自動処理装置に供給する。そ
のため、ソフトトレーからハードトレーにワークを一つ
ずつ移し替える作業を必要とせずに、ワークを安定して
自動処理装置に供給することができる。従って、自動処
理装置へのワーク供給動作の安定性および生産性が向上
するという効果を奏する。

【００２５】請求項２ないし４いずれかに記載のワーク
供給用具によれば、ワークを収納するための柔軟な材質
で形成されたソフトトレーと、このソフトトレーを位置
決めして保持し、ワークを自動処理装置に供給するため
の剛性を有する材質で形成されたソフトトレー保持具と
を備えているので、複数個のワークを収納したソフトト
レーを安定して位置決めし、保持することができる。そ
のため、ワークが飛散することを防止することができ
る。従って、自動処理装置へのワーク供給動作の安定性
および生産性が向上するという効果を奏する。

【００２６】請求項３記載のワーク供給用具によれば、
ソフトトレー保持具にガイドを設けるようにしたので、
請求項２記載のワーク供給用具の効果に加え、ソフトト
レーを確実に位置決めして保持することができる。

【００２７】請求項４記載のワーク供給用具によれば、
ソフトトレー保持具に係合部を設けるようにしたので、
請求項２記載のワーク供給用具の効果に加え、ワーク供
給用具を安定して、複数、積み重ねることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係るワーク供給用具の
構成を表す斜視図である。

【図２】図１に示したワーク供給用具におけるソフトト
レー保持具にソフトトレーを位置決めして保持させた状
態を表す断面図である。

【図３】図１に示したワーク供給用具が利用される自動
処理装置におけるワーク供給方法の概略説明図である。

【図４】図１に示したワーク供給用具が利用されるワー
ク供給装置の一例を表す正面図である。

【符号の説明】

１…ワーク供給用具、２…ワーク、３…ソフトトレー、
３ａ…枠部、３ｂ…ワーク収納部、４…ソフトトレー保
持具、４ａ…プレート、４ｂ…ガイド、４ｃ…係合凹
部、４ｄ…係合凸部、５…ローダ、６…アンローダ、７
…ワーク供給装置、８…架台、９…トレー供給部、１０
…ワーク移載部、１１…トレー搬送部、１２…昇降台、
１３…引き出し

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを柔軟な材質で形成されたソフト
   トレーに収納し、 このソフトトレーを剛性を有する材質で形成されたソフ
   トトレー保持具に位置決めして保持させ、その状態でソ
   フトトレーとソフトトレー保持具とを介して、ワークを
   自動処理装置に供給することを特徴とするワーク供給方
   法。
2. 【請求項２】 ワークを収納するための柔軟な材質で形
   成されたソフトトレーと、 このソフトトレーを位置決めして保持し、ワークを自動
   処理装置に供給するための剛性を有する材質で形成され
   たソフトトレー保持具とを備えたことを特徴とするワー
   ク供給用具。
3. 【請求項３】 前記ソフトトレー保持具は、前記ソフト
   トレーを位置決めして保持するためのガイドを有するこ
   とを特徴とする請求項２記載のワーク供給用具。
4. 【請求項４】 前記ソフトトレー保持具は、他のソフト
   トレー保持具を積み重ねたときに、他のソフトトレー保
   持具との間を位置決めするための係合部を有することを
   特徴とする請求項２記載のワーク供給用具。