JPH10221716A - Electrode substrate for liquid crystal display element, and liquid crystal display element - Google Patents

Electrode substrate for liquid crystal display element, and liquid crystal display element

Info

Publication number
JPH10221716A
JPH10221716A JP2649197A JP2649197A JPH10221716A JP H10221716 A JPH10221716 A JP H10221716A JP 2649197 A JP2649197 A JP 2649197A JP 2649197 A JP2649197 A JP 2649197A JP H10221716 A JPH10221716 A JP H10221716A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
switching element
pixel
liquid crystal
transparent substrate
insulating layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2649197A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Teruyuki Midorikawa
川 輝 行 緑
Makoto Hasegawa
誠 長谷川
Yasuharu Tanaka
中 康 晴 田
Masumi Okamoto
本 ますみ 岡
Daisuke Miyazaki
崎 大 輔 宮
Hitoshi Hado
藤 仁 羽
Koichi Monma
馬 公 一 門
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba Development and Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Electronic Engineering Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2649197A priority Critical patent/JPH10221716A/en
Publication of JPH10221716A publication Critical patent/JPH10221716A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an image display of high quality with high reliability and a high yield through a small number of manufacturing processes without any decrease in pixel rate by forming a colored insulating layer at each pixel operture part of a pixel area, providing a cut part above a switching element, and forming an electric connection part between the pixel electrode and switching element at the cut part. SOLUTION: On a transparent substrate 1 where a gate line 2 is formed, a gate insulating film 3 is formed and on the gate insulating film 3, a semiconductor layer 14 which constitutes a TFT 4 is formed. Further, a signal line 5.and a source electrode 6 are formed so that the semiconductor layer 14 is overlaid with each of them partially, and the TFT 4 is arranged in every pixel area. In respective pixel areas on the gate insulating film 3, colored insulating layers 27R, 27G... of red, green, and blue are formed by patterning photosensitive resin by photolithography. Then the respective colored insulating layers 27R, 27G... have cut parts 28 formed where electric connection parts between source electrodes 6 and pixel electrodes 8 are formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子用電
極基板及び液晶表示素子に関する。
The present invention relates to an electrode substrate for a liquid crystal display device and a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶を用いた表示素子は、軽量化及び薄
型化が可能で、かつ低駆動電圧、低消費電力という発光
型ディスプレイにはない特徴を有することから、ラップ
トップやポータブルタイプのパーソナル・コンピュータ
やワードプロセッサのディスプレイとして広く用いられ
ている。特に近年は、アクティブマトリクス型液晶表示
素子がカラーブラウン管に変わる表示装置となりつつあ
る。
2. Description of the Related Art A display element using a liquid crystal can be reduced in weight and thickness, and has characteristics such as a low driving voltage and a low power consumption, which are not available in a light-emitting display. -Widely used as displays for computers and word processors. In particular, in recent years, active matrix type liquid crystal display devices are becoming display devices which are replaced with color cathode ray tubes.

【0003】図6は、従来のアクティブマトリクス型液
晶表示素子の概略断面構造図である。
FIG. 6 is a schematic sectional structural view of a conventional active matrix type liquid crystal display device.

【0004】図6に示した従来のアクティブマトリクス
型液晶表示素子は、以下のように構成されている。即
ち、液晶表示素子用電極基板であるアレイ基板32を構
成する側の透明基板1上には走査線2が配設され、その
上から全面に絶縁膜3が形成されている。絶縁膜3上の
走査線2に対応する所定位置には半導体層14、信号線
5、ソース電極6が配設され、スイッチング素子(TF
T(Thin FilmTransister))4を
構成している。スイッチング素子4、電極配線等が配設
されている部分上には黒色樹脂を所定の形状にパターニ
ングした遮光膜9が形成されており、遮光膜9の開口部
には顔料分散法、電着法、印刷法、染色法等により赤
色、緑色、青色の着色絶縁層7R、7G、7Bが形成さ
れている。各色の着色絶縁層7R、7G、7B上にはI
TO(Indium Tin Oxide)からなる画
素電極8が形成されているが、この画素電極8への電圧
印加は、スイッチング素子4によって行われるため、画
素電極は遮光膜9の一部を貫通してソース電極6に接続
されている。さらに、最上層としてポリイミドからなる
配向膜24が形成されている。
[0006] The conventional active matrix type liquid crystal display device shown in FIG. 6 is configured as follows. That is, the scanning lines 2 are arranged on the transparent substrate 1 on the side forming the array substrate 32 which is an electrode substrate for a liquid crystal display element, and the insulating film 3 is formed over the entire surface. A semiconductor layer 14, a signal line 5, and a source electrode 6 are provided at predetermined positions on the insulating film 3 corresponding to the scanning lines 2, and a switching element (TF
T (Thin Film Transistor) 4. A light-shielding film 9 formed by patterning a black resin into a predetermined shape is formed on a portion where the switching element 4, the electrode wiring, and the like are provided, and a pigment dispersion method, an electrodeposition method Red, green, and blue colored insulating layers 7R, 7G, and 7B are formed by a printing method, a dyeing method, or the like. On the colored insulating layers 7R, 7G, 7B of each color, I
A pixel electrode 8 made of TO (Indium Tin Oxide) is formed. However, since a voltage is applied to the pixel electrode 8 by the switching element 4, the pixel electrode penetrates a part of the light shielding film 9 and has a source. It is connected to the electrode 6. Further, an alignment film 24 made of polyimide is formed as an uppermost layer.

【0005】一方、対向基板31を構成する側の透明電
極1上には、ITOからなる対向電極22、ポリイミド
からなる配向膜24が順次全面に形成されている。
On the other hand, on the transparent electrode 1 on the side constituting the counter substrate 31, a counter electrode 22 made of ITO and an alignment film 24 made of polyimide are sequentially formed on the entire surface.

【0006】さらに、対向基板31及びアレイ基板32
の配線電極等が形成された対向面を相互に対向させて、
基板間隔をスペーサ(図示せず)により所定の間隔に設
定し保持して組み立てられた液晶セルに液晶層23が封
入されて液晶表示素子30が構成されている。対向基板
31及びアレイ基板32の外部側の面上にそれぞれ貼り
付けられた偏光板(図示せず)とから、図6のアクティ
ブマトリクス型液晶表示素子は構成されている。
Further, a counter substrate 31 and an array substrate 32
The opposing surfaces on which the wiring electrodes and the like are formed face each other,
The liquid crystal layer 23 is sealed in a liquid crystal cell assembled by setting and holding a substrate interval at a predetermined interval by a spacer (not shown), thereby forming a liquid crystal display element 30. The active matrix type liquid crystal display device of FIG. 6 is composed of a polarizing plate (not shown) attached on the outer surface of the counter substrate 31 and the array substrate 32, respectively.

【0007】この液晶表示素子は、TFT4をスイッチ
ングし、画素電極8に映像用信号を印加して液晶層23
中の液晶組成物の配向を制御し、着色絶縁層7R、7
G、7Bを透過する光を変調させることにより表示素子
として用いることができる。
In this liquid crystal display device, the TFT 4 is switched, and a video signal is applied to the pixel electrode 8 so that the liquid crystal layer 23 is switched.
Controlling the orientation of the liquid crystal composition in the colored insulating layers 7R and 7R.
It can be used as a display element by modulating light passing through G and 7B.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、画素電極8と
TFT4との接続を、分光特性を有する絶縁層のスルー
ホール部11で行う構造とした場合、スルーホール部1
1を高い歩留りで形成するにはスルーホール部11の大
きさを、例えば一辺15μm程度の正方形あるいは直径
15μm程度の円形等の形状としなければならず、画素
開口率が小さくなるという問題があった。
However, in the case where the pixel electrode 8 and the TFT 4 are connected to each other through the through hole 11 of the insulating layer having spectral characteristics, the through hole 1
In order to form 1 at a high yield, the size of the through-hole portion 11 must be, for example, a square having a side of about 15 μm or a circle having a diameter of about 15 μm, and there is a problem that a pixel aperture ratio becomes small. .

【0009】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、画素開口率を低下させることなく、信
頼性及び歩留りが高く、製造工程数が少なく、かつ、高
品質な画像表示を実現することが可能な構成の液晶表示
素子用電極基板及び液晶表示素子を安価に提供すること
である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to reduce the pixel aperture ratio, increase reliability and yield, reduce the number of manufacturing steps, and provide high quality image display. It is intended to provide an inexpensive electrode substrate for a liquid crystal display element and a liquid crystal display element having a configuration capable of realizing the above.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明に係る液晶表示素
子用電極基板によれば、透明基板と、透明基板上に相互
に交差するように形成された複数の信号線及び複数の走
査線と、信号線と走査線との各交差部に配設されたスイ
ッチング素子と、スイッチング素子が配設された画素領
域の各画素開口部に形成され、スイッチング素子上の部
分に切欠き部を有する着色絶縁層と、各画素開口部の各
着色絶縁層上に形成され、切欠き部においてスイッチン
グ素子の所定の電極に電気的に接続された画素電極と、
信号線、走査線、スイッチング素子、着色絶縁層及び画
素電極を覆って、透明基板上全面に形成された配向膜と
を備えたことを特徴とし、この構成により、画素電極と
スイッチング素子の所定の電極との電気的接続部が、着
色絶縁層の切欠き部において形成されるので、当該電気
的接続部が確実に形成されて維持され、そのサイズを縮
小化しても当該電気的接続部の形成不良が発生すること
がなく、その結果、画素開口率を低下させることなく、
信頼性及び歩留りが高く、製造工程数が少なく、かつ、
高品質な画像表示を実現することが可能な構成の液晶表
示素子用電極基板を安価に提供することができる。
According to an electrode substrate for a liquid crystal display device according to the present invention, a transparent substrate and a plurality of signal lines and a plurality of scanning lines formed on a transparent substrate so as to intersect each other are provided. A switching element disposed at each intersection of the signal line and the scanning line; and a coloring formed in each pixel opening of the pixel region in which the switching element is disposed, and having a cutout portion on the switching element. An insulating layer, a pixel electrode formed on each colored insulating layer in each pixel opening, and electrically connected to a predetermined electrode of the switching element in a cutout portion;
A signal line, a scanning line, a switching element, a colored insulating layer, and an alignment film formed over the entire surface of the transparent substrate so as to cover the pixel electrode. Since the electrical connection with the electrode is formed in the cutout portion of the colored insulating layer, the electrical connection is reliably formed and maintained, and the electrical connection is formed even if the size is reduced. No defect occurs, and as a result, without lowering the pixel aperture ratio,
High reliability and yield, small number of manufacturing steps, and
An electrode substrate for a liquid crystal display element having a configuration capable of realizing high-quality image display can be provided at low cost.

【0011】着色絶縁層のうち、パターニング工程にお
ける必要十分なパターニング精度が得られる着色絶縁層
については、切欠き部ではなくスルーホール部を有する
ものとして、スルーホール部を有する着色絶縁層を形成
した画素領域におけるスイッチング素子周辺部からの光
漏れを効果的に防止することができる。
Among the colored insulating layers, the colored insulating layer having a sufficient and sufficient patterning accuracy in the patterning step has a through hole instead of a notch, and the colored insulating layer having a through hole is formed. Light leakage from the periphery of the switching element in the pixel region can be effectively prevented.

【0012】また、本発明に係る液晶表示素子によれ
ば、上記液晶表示素子用電極基板をアレイ基板として使
用し構成されていることを特徴とし、この構成により、
画素電極とスイッチング素子の所定の電極との電気的接
続部が、着色絶縁層の切欠き部において形成されるの
で、当該電気的接続部が確実に形成されて維持され、そ
のサイズを縮小化しても当該電気的接続部の形成不良が
発生することがなく、その結果、画素開口率を低下させ
ることなく、信頼性及び歩留りが高く、製造工程数が少
なく、かつ、高品質な画像表示を実現することが可能な
構成の液晶表示素子を安価に提供することができる。
According to the liquid crystal display device of the present invention, the electrode substrate for a liquid crystal display device is used as an array substrate.
Since the electrical connection between the pixel electrode and the predetermined electrode of the switching element is formed in the cutout of the colored insulating layer, the electrical connection is reliably formed and maintained, and the size is reduced. Also, no defective formation of the electrical connection portion occurs, and as a result, high reliability and yield, high number of manufacturing steps, and high quality image display are realized without lowering the pixel aperture ratio. It is possible to provide a liquid crystal display element having a configuration capable of performing the operation at low cost.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る液晶表示素子
用電極基板及び液晶表示素子の実施の形態について、図
面を参照しながら説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of an electrode substrate for a liquid crystal display device and a liquid crystal display device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0014】図1は、本発明の第1の実施の形態に係る
液晶表示素子用電極基板(アレイ基板)の平面図であ
り、図2は、図1におけるX−X’線に沿った断面図で
ある。本発明の第1の実施の形態に係る液晶表示素子用
電極基板は、製造プロセス自体は従来のアクティブマト
リクス型液晶表示素子を作製する場合と同様のプロセス
により、以下のように作製され、構成されている。
FIG. 1 is a plan view of an electrode substrate (array substrate) for a liquid crystal display element according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross section taken along line XX 'in FIG. FIG. The electrode substrate for a liquid crystal display element according to the first embodiment of the present invention is manufactured and configured as follows by a process similar to that for manufacturing a conventional active matrix liquid crystal display element. ing.

【0015】透明基板1上のスイッチング素子であるT
FT4は、成膜及びパターニングを繰り返して以下のよ
うに形成される。先ず、透明基板1上にゲート線2を、
モリブデンで約0.3μmの膜厚となるようにスパッタ
リングにより成膜し、フォトリソグラフィにより所定の
形状にパターン形成する。ゲート線2が形成された透明
基板1上に二酸化珪素又は窒化珪素からなるゲート絶縁
膜3を0.15μmの膜厚に形成し、ゲート線2の一部
であるゲート電極に対応するゲート絶縁膜3上の位置に
TFT4を構成する半導体層14を形成する。さらに、
信号線5及びソース電極6をそれぞれ一部が半導体層1
4上に重なるように形成して、TFT4を各画素領域ご
とに配設する。また、ゲート絶縁膜3上の各画素領域に
は、それぞれ所定の分光特性を有する絶縁層として、感
光性樹脂をフォトリソグラフィでパターン形成した赤
色、緑色、青色の着色絶縁層27R、27G、27Bが
それぞれ形成されており、各着色絶縁層27R、27
G、27B上には膜厚0.1μmのITOからなる画素
電極8が形成されている。
The switching element T on the transparent substrate 1
The FT 4 is formed as follows by repeating film formation and patterning. First, a gate line 2 is formed on a transparent substrate 1,
A film is formed by sputtering to a thickness of about 0.3 μm using molybdenum, and a pattern is formed in a predetermined shape by photolithography. A gate insulating film 3 made of silicon dioxide or silicon nitride is formed to a thickness of 0.15 μm on the transparent substrate 1 on which the gate line 2 is formed, and a gate insulating film corresponding to a gate electrode which is a part of the gate line 2 A semiconductor layer 14 forming the TFT 4 is formed at a position above the TFT 3. further,
Part of each of the signal line 5 and the source electrode 6 is a semiconductor layer 1
The TFTs 4 are formed so as to overlap with each other, and the TFTs 4 are provided for each pixel region. In each pixel region on the gate insulating film 3, red, green, and blue colored insulating layers 27R, 27G, and 27B in which a photosensitive resin is patterned by photolithography are formed as insulating layers having predetermined spectral characteristics. The colored insulating layers 27R, 27R
A pixel electrode 8 made of ITO having a thickness of 0.1 μm is formed on G and 27B.

【0016】そして、図1及び図2に示されるように、
各着色絶縁層27R、27G、27Bには、ソース電極
6と画素電極8との電気的接続部が形成される部分に、
切欠き部28が形成されており、後述するように、この
点が本発明に係る液晶表示素子の最大の特徴である。ソ
ース電極6と画素電極8とは、各着色絶縁層27R、2
7G、27Bの切欠き部28において電気的に接続され
ている。
Then, as shown in FIGS. 1 and 2,
Each of the colored insulating layers 27R, 27G, and 27B has a portion where an electrical connection between the source electrode 6 and the pixel electrode 8 is formed.
The notch 28 is formed, and this is the most significant feature of the liquid crystal display device according to the present invention, as described later. The source electrode 6 and the pixel electrode 8 are connected to each colored insulating layer 27R,
7G and 27B are electrically connected at cutouts 28.

【0017】赤色絶縁層27Rの形成は、例えば、以下
のように行う。即ち、アルカリ現像可能な光硬化型アク
リル系レジスト液に有機赤色顔料を20wt%分散させ
たものを信号線5及びソース電極6形成後のゲート絶縁
膜3上にスピンナで塗布して90℃の温度で5分間プリ
ベークし、150mJ/cm2 の紫外線を用いて画素電
極8とソース電極6との電気的接続部が赤色絶縁層27
Rの切欠き部28において形成されるような所定の形状
のフォトマスクを用いて露光し、0.1wt%のTMA
H(テトラメチルアンモニウムハイドライド)水溶液で
60秒間現像し、水洗後、200℃の温度で1時間ポス
トベークすることにより赤色絶縁層27Rを形成する。
緑色、青色の絶縁層27G、27Bも同様の方法により
形成する。画素開口部上における各着色絶縁層27R、
27G、27Bの厚さは、4μm程度とした。
The formation of the red insulating layer 27R is performed, for example, as follows. That is, a 20 wt% organic red pigment dispersed in a photocurable acrylic resist solution that can be developed with alkali is applied on the gate insulating film 3 after the formation of the signal line 5 and the source electrode 6 by a spinner, and the temperature is 90 ° C. For 5 minutes, and using an ultraviolet ray of 150 mJ / cm 2 , the electrical connection between the pixel electrode 8 and the source electrode 6 is changed to a red insulating layer 27.
Exposure is performed using a photomask having a predetermined shape such as that formed in the notch 28 of R, and 0.1 wt% of TMA is exposed.
After developing with an H (tetramethylammonium hydride) aqueous solution for 60 seconds, washing with water, and post-baking at a temperature of 200 ° C. for 1 hour, a red insulating layer 27R is formed.
The green and blue insulating layers 27G and 27B are formed by the same method. Each colored insulating layer 27R on the pixel opening,
The thickness of 27G and 27B was about 4 μm.

【0018】本発明の第1の実施の形態に係る液晶表示
素子用電極基板においては、画素電極8とソース電極6
との電気的接続部が、赤色、緑色、青色の絶縁層27
R、27G、27Bの切欠き部28において形成される
ようにしたことにより、当該電気的接続部が確実に形成
されて維持され、そのサイズを例えば7μm×10μm
の長方形に縮小化しても、切欠き部28における電気的
接続部の形成不良が発生することがなく、信頼性の高い
液晶表示素子を高い歩留りで作製することができた。
In the electrode substrate for a liquid crystal display element according to the first embodiment of the present invention, the pixel electrode 8 and the source electrode 6
Electrical connection with the red, green and blue insulating layers 27
R, 27G, and 27B are formed in the cutout portions 28, so that the electrical connection portions are reliably formed and maintained, and have a size of, for example, 7 μm × 10 μm.
Even when the size of the rectangular shape is reduced, no defective formation of the electrical connection portion in the notch portion 28 does not occur, and a highly reliable liquid crystal display element can be manufactured with a high yield.

【0019】尚、透過型液晶表示装置としたとき、アレ
イ基板側をバックライト側に配置したとき、切欠き部2
8からのバックライトからの光漏れはTFT4を配設す
ることにより遮蔽され、また、画素電極8の形状を画素
電極8とソース電極6との電気的接続部を除いて各着色
絶縁層27R、27G、27Bの形状と同一とすること
により、画素開口率を低下させることなく、信号線5と
画素電極8、ゲート線2と画素電極8が相互に接近する
ことが防止されている。
When the transmission type liquid crystal display device is used, when the array substrate side is arranged on the backlight side, the notch 2
The leakage of light from the backlight 8 from the backlight is shielded by disposing the TFT 4, and the shape of the pixel electrode 8 is changed except for the electrical connection between the pixel electrode 8 and the source electrode 6 by the colored insulating layers 27R, By making the shapes 27G and 27B the same, the signal line 5 and the pixel electrode 8 and the gate line 2 and the pixel electrode 8 are prevented from approaching each other without lowering the pixel aperture ratio.

【0020】図3は、本発明に係る液晶表示素子用電極
基板における切欠き部28を形成した着色絶縁層27
R、27G、27Bと、従来の構成と同様のスルーホー
ル部29を形成した着色絶縁層27R’、27G’、2
7B’とを比較対照した説明図であり、具体的には、図
3(1a)及び(1b)が切欠き部28を形成した着色
絶縁層27R、27G、27Bの平面図及び断面図、図
3(2a)及び(2b)がスルーホール部29を形成し
た着色絶縁層27R’、27G’、27B’の平面図及
び断面図である。
FIG. 3 shows a colored insulating layer 27 having a cutout 28 in the electrode substrate for a liquid crystal display element according to the present invention.
R, 27G, 27B and the colored insulating layers 27R ', 27G', 2
FIG. 3B is an explanatory view comparing and contrasting with FIG. 7B ′, and specifically, FIGS. 3A and 3B are a plan view and a cross-sectional view of the colored insulating layers 27R, 27G, and 27B in which the cutout portions 28 are formed. 3 (2a) and (2b) are a plan view and a cross-sectional view of the colored insulating layers 27R ', 27G', and 27B 'in which the through-hole portions 29 are formed.

【0021】図3(2a)及び(2b)に示されるよう
なスルーホール部29を形成する場合には、着色絶縁層
27R’、27G’、27B’のパターニングの際、ス
ルーホール部29内にレジスト残渣が生じ易いため、画
素電極とソース電極との電気的接続部に形成不良が発生
し易くなり、その結果、液晶表示素子の信頼性及び歩留
りを低下させることとなる。
When forming the through-hole portions 29 as shown in FIGS. 3 (2a) and 3 (2b), when patterning the colored insulating layers 27R ', 27G' and 27B ', the through-hole portions 29 are formed. Since a resist residue is likely to be generated, defective formation is likely to occur at an electrical connection between the pixel electrode and the source electrode, and as a result, the reliability and the yield of the liquid crystal display element are reduced.

【0022】一方、図3(1a)及び(1b)に示され
るような切欠き部28を形成する場合には、着色絶縁層
27R、27G、27Bのパターニングの際、切欠き部
28内にレジスト残渣が生ずることがなく、画素電極と
ソース電極との電気的接続部が確実に形成されて維持さ
れ、その結果、液晶表示素子の信頼性及び歩留りを向上
させることができる。
On the other hand, when forming the notches 28 as shown in FIGS. 3A and 3B, when patterning the colored insulating layers 27R, 27G and 27B, a resist is formed in the notches 28. No residue is generated, and the electrical connection between the pixel electrode and the source electrode is reliably formed and maintained. As a result, the reliability and yield of the liquid crystal display device can be improved.

【0023】次に、本発明の第2の実施の形態に係る液
晶表示素子用電極基板について説明する。
Next, an electrode substrate for a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention will be described.

【0024】図4は、本発明の第2の実施の形態に係る
液晶表示素子用電極基板(アレイ基板)の平面図であ
り、図5は、図4におけるY−Y’線に沿った断面図で
ある。本発明の第2の実施の形態に係る液晶表示素子用
電極基板は、第1の着色絶縁層である赤色及び青色着色
絶縁層27R、27Bには第1の実施の形態と同様の切
欠き部28が形成されているが、第2の着色絶縁層であ
る緑色着色絶縁層27Gには従来構成と同様のスルーホ
ール部29が形成されている点で、第1の実施の形態と
異なる。
FIG. 4 is a plan view of a liquid crystal display element electrode substrate (array substrate) according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line YY 'in FIG. FIG. The electrode substrate for a liquid crystal display element according to the second embodiment of the present invention has the same cutouts as the first embodiment in the red and blue colored insulating layers 27R and 27B, which are the first colored insulating layers. 28, but differs from the first embodiment in that a through-hole portion 29 similar to the conventional configuration is formed in the green colored insulating layer 27G as the second colored insulating layer.

【0025】本発明の第2の実施の形態に係る液晶表示
素子用電極基板も、製造プロセス自体は従来のアクティ
ブマトリクス型液晶表示素子を作製する場合と同様のプ
ロセスにより、以下のように作製され、構成されてい
る。
The electrode substrate for a liquid crystal display element according to the second embodiment of the present invention is also manufactured by the same process as that for manufacturing a conventional active matrix type liquid crystal display element as follows. ,It is configured.

【0026】透明基板1上のスイッチング素子であるT
FT4は、成膜及びパターニングを繰り返して以下のよ
うに形成される。先ず、透明基板1上にゲート線2を、
アルミニウムで約0.3μmの膜厚となるようにスパッ
タリングにより成膜し、フォトリソグラフィにより所定
の形状にパターン形成する。ゲート線2が形成された透
明基板1上に二酸化珪素又は窒化珪素からなるゲート絶
縁膜3を0.15μmの膜厚に形成し、ゲート線2の一
部であるゲート電極に対応するゲート絶縁膜3上の位置
にTFT4を構成する半導体層を形成する。さらに、信
号線5及びソース電極6をそれぞれ一部が半導体層上に
重なるように形成して、TFT4を各画素領域ごとに配
設する。また、ゲート絶縁膜3上の各画素領域には、そ
れぞれ所定の分光特性を有する絶縁層として、赤色、緑
色、青色の顔料含有のネガ型レジストをフォトリソグラ
フィでパターン形成した赤色、緑色、青色の着色絶縁層
27R、27G’、27Bがそれぞれ形成されており、
各着色絶縁層27R、27G’、27B上には、膜厚
0.1μmのITOからなる画素電極23が形成されて
いる。
The switching element T on the transparent substrate 1
The FT 4 is formed as follows by repeating film formation and patterning. First, a gate line 2 is formed on a transparent substrate 1,
A film is formed by sputtering to a thickness of about 0.3 μm using aluminum, and a pattern is formed in a predetermined shape by photolithography. A gate insulating film 3 made of silicon dioxide or silicon nitride is formed to a thickness of 0.15 μm on the transparent substrate 1 on which the gate line 2 is formed, and a gate insulating film corresponding to a gate electrode which is a part of the gate line 2 A semiconductor layer forming the TFT 4 is formed at a position above the TFT 3. Further, the signal line 5 and the source electrode 6 are formed so as to partially overlap the semiconductor layer, and the TFT 4 is provided for each pixel region. Further, in each pixel region on the gate insulating film 3, as an insulating layer having a predetermined spectral characteristic, a red-, green-, and blue-colored negative resist containing a pigment of red, green, and blue is patterned by photolithography. Colored insulating layers 27R, 27G ', and 27B are formed, respectively.
A pixel electrode 23 made of ITO having a thickness of 0.1 μm is formed on each of the colored insulating layers 27R, 27G ′, and 27B.

【0027】そして、図4及び図5に示されるように、
赤色及び青色絶縁層27R、27Bには、ソース電極6
と画素電極8との電気的接続部が形成される部分に、切
欠き部28が形成されている一方、緑色絶縁層27G’
には、後述する理由により、当該部分に従来構成と同様
のスルーホール部29が形成されている。ソース電極6
と画素電極8とは、着色絶縁層27R、27G’、27
Bの切欠き部28又はスルーホール部29において電気
的に接続されている。
Then, as shown in FIGS. 4 and 5,
The red and blue insulating layers 27R and 27B have a source electrode 6
The notch 28 is formed in the portion where the electrical connection between the pixel electrode 8 and the green insulating layer 27G 'is formed.
Has a through-hole portion 29 formed in the same portion as in the conventional configuration for the reason described later. Source electrode 6
And the pixel electrode 8 are connected to the colored insulating layers 27R, 27G ′, 27
B is electrically connected at the cutout portion 28 or through hole portion 29.

【0028】緑色絶縁層27G’の形成は、例えば、以
下のように行う。即ち、アルカリ現像可能な光硬化型ア
クリル系レジスト液に有機緑色顔料を20wt%分散さ
せたものを信号線5及びソース電極6形成後のゲート絶
縁膜3上にスピンナで塗布して90℃の温度で5分間プ
リベークし、150mJ/cm2 の紫外線を用いて、画
素領域の非開口部で赤色、緑色、青色の各着色絶縁層2
7R、27G、27Bが重なり合い、かつ、画素電極8
とソース電極6との電気的接続部が緑色絶縁層27G’
のスルーホール部29において形成されるような所定の
形状のフォトマスクを用いて露光し、0.1wt%のT
MAH(テトラメチルアンモニウムハイドライド)水溶
液で60秒間現像し、水洗後、200℃の温度で1時間
ポストベークすることにより緑色絶縁層27G’を形成
する。赤色、青色の絶縁層27R、27Bも同様の方法
により形成するが、赤色、青色の絶縁層27R、27B
の場合は、画素電極8とソース電極6との電気的接続部
が切欠き部28において形成されるような形状に形成
し、かつ、切欠き部28内のソース電極6と画素電極8
とが重なり合わない部分においては赤色、青色の絶縁層
27R、27Bが重なり合って形成されるような形状と
することにより、信号線5と画素電極8、ゲート線2と
画素電極8が接近して電気的な影響を及ぼし合う電気的
カップリングが生ずることと、光漏れとを防止した。画
素開口部上における各着色絶縁層27R、27G、27
Bの厚さは、3.5μm程度とした。また、3色の絶縁
層27R、27G、27Bが重なり合った部分は、一層
のみの絶縁層表面上からの高さが約5μmであり、対向
基板とアレイ基板(透明基板21)との基板間距離を設
定し保持するスペーサとして機能するものである(図示
せず)。
The green insulating layer 27G 'is formed, for example, as follows. That is, a 20 wt% organic green pigment dispersed in a photo-curable acrylic resist solution that can be alkali-developed is applied on the gate insulating film 3 after the formation of the signal line 5 and the source electrode 6 by a spinner, and the temperature of 90 ° C. Pre-baking for 5 minutes, and using 150 mJ / cm 2 of ultraviolet light, red, green, and blue colored insulating layers 2 in the non-opening portions of the pixel region.
7R, 27G, and 27B overlap, and the pixel electrode 8
The electrical connection between the electrode and the source electrode 6 is a green insulating layer 27G '.
Exposure is performed using a photomask having a predetermined shape as formed in the through hole portion 29 of FIG.
After developing with an aqueous solution of MAH (tetramethylammonium hydride) for 60 seconds, washing with water, and post-baking at a temperature of 200 ° C. for 1 hour, a green insulating layer 27G ′ is formed. The red and blue insulating layers 27R and 27B are formed by the same method, but the red and blue insulating layers 27R and 27B are formed.
In the case of, the electrical connection between the pixel electrode 8 and the source electrode 6 is formed in such a shape as to be formed in the notch 28, and the source electrode 6 and the pixel electrode 8 in the notch 28 are formed.
In a portion where does not overlap, the signal lines 5 and the pixel electrodes 8 and the gate lines 2 and the pixel electrodes 8 approach each other by forming the red and blue insulating layers 27R and 27B so as to overlap each other. The occurrence of electrical coupling which has an electrical effect and light leakage are prevented. Each colored insulating layer 27R, 27G, 27 on the pixel opening
The thickness of B was about 3.5 μm. The portion where the three color insulating layers 27R, 27G and 27B overlap has a height of about 5 μm from the surface of only one insulating layer, and the distance between the opposing substrate and the array substrate (transparent substrate 21). (Not shown).

【0029】本発明の第2の実施の形態に係る液晶表示
素子用電極基板においては、この場合に必要十分なパタ
ーニング精度が得られる緑色絶縁層27G’上の画素電
極8とソース電極6との電気的接続部をスルーホール部
29で形成する一方、必要十分なパターニング精度が得
られない赤色及び緑色絶縁層27R及び27B上の画素
電極8とソース電極6との電気的接続部を切欠き部28
で形成しているため、電気的接続部のサイズを例えば一
辺が7μmの正方形と縮小化しても画素電極8とソース
電極6との電気的接続不良が発生することがなく、従っ
て、信頼性及び歩留りが高く、高品質の液晶表示素子を
作製することができた。
In the electrode substrate for a liquid crystal display element according to the second embodiment of the present invention, in this case, the pixel electrode 8 and the source electrode 6 on the green insulating layer 27G 'on which the necessary and sufficient patterning accuracy is obtained can be obtained. While the electrical connection portion is formed by the through-hole portion 29, the electrical connection portion between the pixel electrode 8 and the source electrode 6 on the red and green insulating layers 27R and 27B where the necessary and sufficient patterning accuracy cannot be obtained is cut out. 28
Therefore, even if the size of the electric connection portion is reduced to, for example, a square having a side of 7 μm, a poor electric connection between the pixel electrode 8 and the source electrode 6 does not occur. A high-yield, high-quality liquid crystal display device could be manufactured.

【0030】尚、赤色及び青色絶縁層27R、27Bの
切欠き部28からの光漏れはTFT4を配設することに
より大部分が遮蔽され、また、画素電極8の形状を画素
電極8とソース電極6との電気的接続部を除いて各着色
絶縁層27R、27G、27Bの形状と同一とすること
により、画素開口率を低下させることなく、信号線5と
画素電極8、ゲート線2と画素電極8が相互に接近する
ことが防止されている。一方、必要十分なパターニング
精度が得られる緑色絶縁層27G’については切欠き部
ではなくスルーホール部を形成しているため、緑色絶縁
層27G’を形成した画素領域におけるTFT4周辺部
からの光漏れが防止されている。
Most of the light leakage from the cutouts 28 of the red and blue insulating layers 27R and 27B is shielded by disposing the TFT 4, and the shape of the pixel electrode 8 is changed to the pixel electrode 8 and the source electrode. The shape of each of the colored insulating layers 27R, 27G, and 27B is the same except for the electrical connection with the pixel line 6, so that the signal line 5 and the pixel electrode 8, and the gate line 2 and the pixel The electrodes 8 are prevented from approaching each other. On the other hand, since the green insulating layer 27G 'having sufficient and sufficient patterning accuracy is formed with a through hole instead of a notch, light leakage from the peripheral portion of the TFT 4 in the pixel region where the green insulating layer 27G' is formed. Has been prevented.

【0031】本発明に係る液晶表示素子は、以上説明し
た本発明に係る液晶表示素子用電極基板をアレイ基板と
して使用し構成されたものであり、対向基板その他の構
成は図6に示した従来のアクティブマトリクス型液晶表
示素子と同様の構成のものである。
The liquid crystal display element according to the present invention is constructed by using the above-described electrode substrate for a liquid crystal display element according to the present invention as an array substrate. Has the same configuration as the active matrix type liquid crystal display element.

【0032】以上、本発明に係る液晶表示素子用電極基
板及び液晶表示素子の実施の形態について説明したが、
以下、上記各実施の形態において変更可能な構成部分に
ついてそれぞれ説明する。 (1) 上記各実施の形態では、スイッチング素子とし
てTFTを用いたが、TFD(Thin Film D
iode)等を用いてもよい。 (2) 上記各実施の形態はアクティブマトリクス型液
晶表示素子の構成例として説明したが、単純マトリクス
型液晶表示素子等、その他のマトリクス型表示素子にも
本発明の構成は適用することができる。 (3) 上記各実施の形態におけるTFTを構成する半
導体層は、アモルファスシリコンでもポリシリコンでも
よく、ポリシリコンを用いた場合、アレイ基板上に駆動
回路を搭載する構成としてもよい。 (4) 上記各実施の形態は透過型液晶表示素子の構成
例として説明したが、反射型液晶表示素子にも本発明の
構成は適用することができる。 (5) 上記各実施の形態では、着色絶縁層の材料とし
て感光性の有機材料を用いたが、非感光性の材料を用い
てもよい。 (6) 上記各実施の形態では、着色絶縁層は顔料を分
散させたものとしたが、その他、染料を分散させたもの
等、必要とされる分光特性が得られるものであればよ
い。 (7) 上記各実施の形態では、着色絶縁層は顔料を分
散させた光吸収型着色層としたが、干渉型、選択反射型
等、非光吸収型のもの等でもよく、必要とされる分光特
性が得られるものであればよい。 (8) 上記第2の実施の形態では、画素電極とソース
電極との電気的接続部を形成する部分の絶縁層には、緑
色絶縁層にあってはスルーホール部を、赤色及び青色絶
縁層にあっては切欠き部を形成したが、当該部分をスル
ーホール部とする絶縁層は緑色絶縁層に限られず、十分
なパターニング精度が得られる1色又は2色の絶縁層を
適宜選択してよい。
The embodiments of the electrode substrate for a liquid crystal display element and the liquid crystal display element according to the present invention have been described above.
Hereinafter, components that can be changed in each of the above embodiments will be described. (1) In each of the above embodiments, a TFT is used as a switching element, but a TFD (Thin Film D) is used.
iode) may be used. (2) Each of the above embodiments has been described as a configuration example of an active matrix type liquid crystal display element, but the configuration of the present invention can be applied to other matrix type display elements such as a simple matrix type liquid crystal display element. (3) The semiconductor layer forming the TFT in each of the above embodiments may be made of amorphous silicon or polysilicon. When polysilicon is used, a driving circuit may be mounted on an array substrate. (4) Although each of the embodiments has been described as a configuration example of the transmission type liquid crystal display element, the configuration of the present invention can be applied to a reflection type liquid crystal display element. (5) In each of the above embodiments, a photosensitive organic material is used as a material of the colored insulating layer, but a non-photosensitive material may be used. (6) In each of the above embodiments, the colored insulating layer has the pigment dispersed therein. However, any other material may be used as long as the required spectral characteristics can be obtained, such as a dispersed pigment. (7) In each of the above embodiments, the colored insulating layer is a light-absorbing colored layer in which a pigment is dispersed. However, a non-light-absorbing type such as an interference type, a selective reflection type, or the like may be used, which is required. What is necessary is just to obtain a spectral characteristic. (8) In the second embodiment, the insulating layer at the portion where the electrical connection between the pixel electrode and the source electrode is formed is provided with a through-hole portion in a green insulating layer and a red and blue insulating layer. In the above, a notch portion was formed, but the insulating layer having that portion as a through-hole portion is not limited to a green insulating layer, and a one-color or two-color insulating layer capable of obtaining sufficient patterning accuracy is appropriately selected. Good.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明に係る液晶表示素子用電極基板に
よれば、着色絶縁層は、スイッチング素子が配設された
画素領域の各画素開口部に形成され、スイッチング素子
上の部分に切欠き部を有するものとし、画素電極とスイ
ッチング素子との電気的接続部は、上記切欠き部におい
て形成されるものとしたので、当該電気的接続部が確実
に形成されて維持され、そのサイズを縮小化しても当該
電気的接続部の形成不良が発生することがなく、その結
果、画素開口率を低下させることなく、信頼性及び歩留
りが高く、製造工程数が少なく、かつ、高品質な画像表
示を実現することが可能な構成の液晶表示素子用電極基
板を安価に提供することができる。
According to the electrode substrate for a liquid crystal display element according to the present invention, the colored insulating layer is formed in each pixel opening of the pixel region where the switching element is provided, and a notch is formed in a portion on the switching element. Since the electrical connection between the pixel electrode and the switching element is formed in the notch, the electrical connection is securely formed and maintained, and the size is reduced. Therefore, the formation of the electrical connection portion does not occur even if the process is performed, and as a result, the reliability and the yield are high, the number of manufacturing steps is small, and the high quality image display is performed without lowering the pixel aperture ratio. Can be provided at a low cost.

【0034】着色絶縁層のうち、パターニング工程にお
ける必要十分なパターニング精度が得られる着色絶縁層
については、切欠き部ではなくスルーホール部を有する
ものとしたので、スルーホール部を有する着色絶縁層を
形成した画素領域におけるスイッチング素子周辺部から
の光漏れを効果的に防止することができる。
Among the colored insulating layers, the colored insulating layer having a sufficient and sufficient patterning accuracy in the patterning step has a through-hole instead of a notched portion. Light leakage from the periphery of the switching element in the formed pixel region can be effectively prevented.

【0035】また、本発明に係る液晶表示素子によれ
ば、上記液晶表示素子用電極基板をアレイ基板として使
用し構成されたものとしたので、画素電極とスイッチン
グ素子の所定の電極との電気的接続部が、着色絶縁層の
切欠き部において形成されることとなり、その結果、当
該電気的接続部が確実に形成されて維持され、そのサイ
ズを縮小化しても当該電気的接続部の形成不良が発生す
ることがなく、その結果、画素開口率を低下させること
なく、信頼性及び歩留りが高く、製造工程数が少なく、
かつ、高品質な画像表示を実現することが可能な構成の
液晶表示素子を安価に提供することができる。
Further, according to the liquid crystal display device of the present invention, since the above-mentioned electrode substrate for a liquid crystal display device is used as an array substrate, the electric connection between the pixel electrode and the predetermined electrode of the switching element is established. The connection portion is formed in the cutout portion of the colored insulating layer. As a result, the electrical connection portion is reliably formed and maintained, and even if the size is reduced, the formation of the electrical connection portion is defective. Does not occur, and as a result, without lowering the pixel aperture ratio, reliability and yield are high, the number of manufacturing steps is small,
In addition, a liquid crystal display device having a configuration capable of realizing high-quality image display can be provided at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係る液晶表示素子
用電極基板の平面図。
FIG. 1 is a plan view of a liquid crystal display element electrode substrate according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1におけるX−X’線に沿った断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along the line X-X 'in FIG.

【図3】本発明に係る液晶表示素子用電極基板における
切欠き部を形成した着色絶縁層と、従来の構成と同様の
スルーホール部を形成した着色絶縁層とを比較対照した
説明図。
FIG. 3 is an explanatory diagram comparing and contrasting a colored insulating layer in which a cutout portion is formed and a colored insulating layer in which a through-hole portion is formed as in the conventional configuration, in the liquid crystal display element electrode substrate according to the present invention.

【図4】本発明の第2の実施の形態に係る液晶表示素子
用電極基板の平面図。
FIG. 4 is a plan view of an electrode substrate for a liquid crystal display element according to a second embodiment of the present invention.

【図5】図4におけるY−Y’線に沿った断面図。FIG. 5 is a sectional view taken along the line Y-Y ′ in FIG. 4;

【図6】従来のアクティブマトリクス型液晶表示素子の
概略断面構造図。
FIG. 6 is a schematic sectional structural view of a conventional active matrix type liquid crystal display element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明基板 2 走査線 3 絶縁膜 4 スイッチング素子(TFT) 5 信号線 6 ソース電極 7R、7G、7B、27R、27G、27B、27
R’、27G’、27B’着色絶縁層 8 画素電極 9 遮光膜 11、29 スルーホール部 14 半導体層 22 対向電極(共通電極) 23 液晶層 24 配向膜 28 切欠き部 30 液晶表示素子 31 対向基板 32 アレイ基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent substrate 2 Scanning line 3 Insulating film 4 Switching element (TFT) 5 Signal line 6 Source electrode 7R, 7G, 7B, 27R, 27G, 27B, 27
R ', 27G', 27B 'colored insulating layer 8 pixel electrode 9 light-shielding film 11, 29 through-hole portion 14 semiconductor layer 22 counter electrode (common electrode) 23 liquid crystal layer 24 alignment film 28 cutout portion 30 liquid crystal display element 31 counter substrate 32 array board

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田 中 康 晴 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 岡 本 ますみ 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 宮 崎 大 輔 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 羽 藤 仁 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 門 馬 公 一 神奈川県川崎市川崎区日進町7番地1 東 芝電子エンジニアリング株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yasuharu Tanaka 8 Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Toshiba Yokohama office (72) Inventor Masumi Okamoto Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa No. 8 In the Toshiba Yokohama office of the Company Limited (72) Inventor Daisuke Miyazaki 8 in Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Toshiba Yokohama office of the Company Limited (72) 8 Tochiba Corporation Toshiba Yokohama Office (72) Inventor Koichi Mon Ma 7-1 Nisshincho, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Toshiba Electronic Engineering Co., Ltd.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】透明基板と、 前記透明基板上に相互に交差するように形成された複数
の信号線及び複数の走査線と、 前記信号線と前記走査線との各交差部に配設されたスイ
ッチング素子と、 前記スイッチング素子が配設された画素領域の各画素開
口部に形成され、前記スイッチング素子上の部分に切欠
き部を有する着色絶縁層と、 前記各画素開口部の前記各着色絶縁層上に形成され、前
記切欠き部において前記スイッチング素子の所定の電極
に電気的に接続された画素電極と、 前記信号線、前記走査線、前記スイッチング素子、前記
着色絶縁層及び前記画素電極を覆って、前記透明基板上
全面に形成された配向膜とを備えたことを特徴とする液
晶表示素子用電極基板。
A transparent substrate; a plurality of signal lines and a plurality of scanning lines formed on the transparent substrate so as to intersect with each other; and a plurality of signal lines and a plurality of scanning lines provided at intersections of the signal lines and the scanning lines. A switching element, a colored insulating layer formed in each pixel opening of a pixel region in which the switching element is provided, and having a cutout in a portion on the switching element; and the coloring of each pixel opening. A pixel electrode formed on an insulating layer and electrically connected to a predetermined electrode of the switching element at the notch; and the signal line, the scanning line, the switching element, the colored insulating layer, and the pixel electrode. And an alignment film formed on the entire surface of the transparent substrate.
【請求項2】透明基板と、 前記透明基板上に相互に交差するように形成された複数
の信号線及び複数の走査線と、 前記信号線と前記走査線との各交差部に配設されたスイ
ッチング素子と、 前記スイッチング素子が配設された画素領域の各画素開
口部のいずれかに形成され、前記スイッチング素子上の
部分に切欠き部を有する少なくとも1色の第1の着色絶
縁層と、 前記スイッチング素子が配設された画素領域の各画素開
口部のいずれかに形成され、前記スイッチング素子上の
部分にスルーホール部を有する少なくとも1色の第2の
着色絶縁層と、 前記各画素開口部の前記各着色絶縁層上に形成され、前
記切欠き部又は前記スルーホール部において前記スイッ
チング素子の所定の電極に電気的に接続された画素電極
と、 前記信号線、前記走査線、前記スイッチング素子、前記
第1及び第2の着色絶縁層及び前記画素電極を覆って、
前記透明基板上全面に形成された配向膜とを備えたこと
を特徴とする液晶表示素子用電極基板。
2. A transparent substrate; a plurality of signal lines and a plurality of scanning lines formed on the transparent substrate so as to intersect each other; and a plurality of signal lines and a plurality of scanning lines provided at respective intersections of the signal lines and the scanning lines. A first colored insulating layer of at least one color, which is formed in any one of the pixel openings of the pixel region in which the switching element is provided, and has a cutout in a portion on the switching element. A second colored insulating layer of at least one color formed in any one of the pixel openings of the pixel region in which the switching element is provided, and having a through hole in a portion on the switching element; A pixel electrode formed on each of the colored insulating layers in the opening and electrically connected to a predetermined electrode of the switching element at the cutout or the through hole; Covering the line, the switching element, the first and second colored insulating layer and the pixel electrode,
An electrode substrate for a liquid crystal display device, comprising: an alignment film formed on the entire surface of the transparent substrate.
【請求項3】請求項2に記載の液晶表示素子用電極基板
において、 前記第2の着色絶縁層は、パターニング工程における必
要十分なパターニング精度が得られる着色絶縁層である
ことを特徴とする液晶表示素子用電極基板。
3. The liquid crystal display device electrode substrate according to claim 2, wherein the second colored insulating layer is a colored insulating layer capable of obtaining a necessary and sufficient patterning accuracy in a patterning step. Electrode substrate for display element.
【請求項4】請求項1乃至3のいずれかに記載の液晶表
示素子用電極基板において、 前記着色絶縁層は、分光特性を有する感光性樹脂からな
るものであることを特徴とする液晶表示素子用電極基
板。
4. The liquid crystal display element according to claim 1, wherein the colored insulating layer is made of a photosensitive resin having a spectral characteristic. Electrode substrate.
【請求項5】第1の透明基板と、 前記第1の透明基板上に相互に交差するように形成され
た複数の信号線及び複数の走査線と、 前記信号線と前記走査線との各交差部に配設されたスイ
ッチング素子と、 前記スイッチング素子が配設された画素領域の各画素開
口部に形成され、前記スイッチング素子上の部分に切欠
き部を有する着色絶縁層と、 前記各画素開口部の前記各着色絶縁層上に形成され、前
記切欠き部において前記スイッチング素子の所定の電極
に電気的に接続された画素電極と、 前記信号線、前記走査線、前記スイッチング素子、前記
着色絶縁層及び前記画素電極を覆って、前記第1の透明
基板上全面に形成された第1の配向膜と、 第2の透明基板と、 前記第2の透明基板上全面に形成された共通電極と、 前記共通電極上全面に形成された第2の配向膜と、 前記第1の配向膜と前記第2の配向膜とを対向させ、前
記第1の透明基板と前記第2の透明基板とを貼り合わせ
て組み立てられた液晶セルの基板間に封入され挟持され
た液晶層とを備えたことを特徴とする液晶表示素子。
5. A first transparent substrate, a plurality of signal lines and a plurality of scanning lines formed on the first transparent substrate so as to intersect each other, and each of the signal lines and the scanning lines A switching element disposed at the intersection, a colored insulating layer formed in each pixel opening of the pixel region in which the switching element is disposed, and having a cutout in a portion on the switching element; A pixel electrode formed on each of the colored insulating layers in the opening and electrically connected to a predetermined electrode of the switching element in the cutout; and the signal line, the scanning line, the switching element, and the coloring. A first alignment film formed on the entire surface of the first transparent substrate so as to cover an insulating layer and the pixel electrode; a second transparent substrate; and a common electrode formed on the entire surface of the second transparent substrate. And the entire surface on the common electrode A liquid crystal assembled by bonding the formed second alignment film, the first alignment film and the second alignment film, and bonding the first transparent substrate and the second transparent substrate together A liquid crystal display element comprising: a liquid crystal layer sealed and sandwiched between cell substrates.
【請求項6】第1の透明基板と、 前記第1の透明基板上に相互に交差するように形成され
た複数の信号線及び複数の走査線と、 前記信号線と前記走査線との各交差部に配設されたスイ
ッチング素子と、 前記スイッチング素子が配設された画素領域の各画素開
口部のいずれかに形成され、前記スイッチング素子上の
部分に切欠き部を有する少なくとも1色の第1の着色絶
縁層と、 前記スイッチング素子が配設された画素領域の各画素開
口部のいずれかに形成され、前記スイッチング素子上の
部分にスルーホール部を有する少なくとも1色の第2の
着色絶縁層と、 前記各画素開口部の前記各着色絶縁層上に形成され、前
記切欠き部又は前記スルーホール部において前記スイッ
チング素子の所定の電極に電気的に接続された画素電極
と、 前記信号線、前記走査線、前記スイッチング素子、前記
着色絶縁層及び前記画素電極を覆って、前記第1の透明
基板上全面に形成された第1の配向膜と、 第2の透明基板と、 前記第2の透明基板上全面に形成された共通電極と、 前記共通電極上全面に形成された第2の配向膜と、 前記第1の配向膜と前記第2の配向膜とを対向させ、前
記第1の透明基板と前記第2の透明基板とを貼り合わせ
て組み立てられた液晶セルの基板間に封入され挟持され
た液晶層とを備えたことを特徴とする液晶表示素子。
6. A first transparent substrate, a plurality of signal lines and a plurality of scanning lines formed on the first transparent substrate so as to intersect each other, and each of the signal lines and the scanning lines A switching element disposed at the intersection, and at least one of a first color formed at one of the pixel openings of the pixel region in which the switching element is disposed and having a cutout portion on the switching element; A second colored insulating layer of at least one color formed in any one of the pixel openings of the pixel region in which the switching element is disposed, and having a through hole in a portion on the switching element. A pixel electrode formed on each of the colored insulating layers in each of the pixel openings, and electrically connected to a predetermined electrode of the switching element in the cutout portion or the through hole portion; A first alignment film formed on the entire surface of the first transparent substrate, covering a line, the scanning line, the switching element, the colored insulating layer, and the pixel electrode; a second transparent substrate; 2, a common electrode formed on the entire surface of the transparent substrate, a second alignment film formed on the entire surface of the common electrode, and the first alignment film and the second alignment film facing each other. A liquid crystal display device, comprising: a liquid crystal layer sealed and sandwiched between substrates of a liquid crystal cell assembled by laminating the first transparent substrate and the second transparent substrate.
【請求項7】請求項6に記載の液晶表示素子において、 前記第2の着色絶縁層は、パターニング工程における必
要十分なパターニング精度が得られる着色絶縁層である
ことを特徴とする液晶表示素子。
7. The liquid crystal display device according to claim 6, wherein said second colored insulating layer is a colored insulating layer capable of obtaining a necessary and sufficient patterning accuracy in a patterning step.
【請求項8】請求項5乃至7のいずれかに記載の液晶表
示素子において、 前記着色絶縁層は、分光特性を有する感光性樹脂からな
るものであることを特徴とする液晶表示素子。
8. The liquid crystal display device according to claim 5, wherein said colored insulating layer is made of a photosensitive resin having spectral characteristics.
JP2649197A 1997-02-10 1997-02-10 Electrode substrate for liquid crystal display element, and liquid crystal display element Pending JPH10221716A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2649197A JPH10221716A (en) 1997-02-10 1997-02-10 Electrode substrate for liquid crystal display element, and liquid crystal display element

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2649197A JPH10221716A (en) 1997-02-10 1997-02-10 Electrode substrate for liquid crystal display element, and liquid crystal display element

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10221716A true JPH10221716A (en) 1998-08-21

Family

ID=12194980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2649197A Pending JPH10221716A (en) 1997-02-10 1997-02-10 Electrode substrate for liquid crystal display element, and liquid crystal display element

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10221716A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002148657A (en) * 2000-11-14 2002-05-22 Toshiba Corp Liquid crystal display device
JP2015099201A (en) * 2013-11-18 2015-05-28 株式会社ジャパンディスプレイ Liquid crystal display device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002148657A (en) * 2000-11-14 2002-05-22 Toshiba Corp Liquid crystal display device
JP2015099201A (en) * 2013-11-18 2015-05-28 株式会社ジャパンディスプレイ Liquid crystal display device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6038003A (en) Liquid crystal display and method of manufacturing the same
JP4775836B2 (en) Display device and manufacturing method thereof
KR100262227B1 (en) Lcd device
KR101547855B1 (en) Thin film transistor substrate and fabricating method thereof
US20010040665A1 (en) Liquid crystal display panel
US20030090601A1 (en) Array panel for liquid crystal display device and method of manufacturing the same
US6104462A (en) LCD and fabrication method thereof having a pedestal and overlying organic film at a periphery of the display
JPH1096949A (en) Active matrix liquid crystal display device
KR101483024B1 (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
JPH112810A (en) Liquid crystal display device and its manufacture
KR20070082090A (en) Display substrate and method for manufacturing the same
JP2000098367A (en) Liquid crystal display device and its manufacture
JP2000122074A (en) Liquid crystal display device
KR20180010655A (en) Method of manufacturing thin film transistor and method of manufacturing flat panel display device
US7696027B2 (en) Method of fabricating display substrate and method of fabricating display panel using the same
KR20000066397A (en) Method of manufacturing a TFT LCD pannel
KR100648422B1 (en) array panel of liquid crystal display and manufacturing method thereof
KR100413512B1 (en) an array panel for liquid crystal display and manufacturing method thereof
JPH10221716A (en) Electrode substrate for liquid crystal display element, and liquid crystal display element
US20080149933A1 (en) Display panel
JP2000162643A (en) Liquid crystal display device and its manufacture
JP2000098128A (en) Color filter
KR20070075159A (en) Display apparatus and method of fabricating the same
JPH1195202A (en) Active matrix type liquid crystal display device
JPH0784277A (en) Liquid crystal display panel substrate