JPH10221548A

JPH10221548A - 光ファイバジャイロ

Info

Publication number: JPH10221548A
Application number: JP2788197A
Authority: JP
Inventors: Kuniyoshi Watanabe; 邦芳渡邉; Takeshi Hojo; 武北條; Michio Fukano; 道雄深野; Shigeru Nakamura; 茂中村; Yoshiyuki Inasawa; 佳幸稲沢
Original assignee: Tokimec Inc
Current assignee: Tokimec Inc
Priority date: 1997-02-12
Filing date: 1997-02-12
Publication date: 1998-08-21

Abstract

(57)【要約】【課題】製造及び組立が簡単な光遮蔽装置を備えた光
ファイバジャイロを提供することを目的とする。【解決手段】光遮蔽装置は光集積回路の前端部に装着
するように略Ｌ字形の直角スリット形をなしており、光
集積回路の上面に接触する第１の面と光集積回路の前端
面に係合する第２の面とを有し、光集積回路の導波路に
整合して配置される窓を有する。光集積回路の前端面の
上縁の角部に係合するための第１の面と第２の面の接続
部には逃げ部が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はサニャック効果を利
用して角速度を測定するための光ファイバジャイロに関
する。

【０００２】

【従来の技術】図８を参照して従来の光ファイバジャイ
ロの例を説明する。この例は、本願出願人と同一の出願
人によって平成８年３月２９日付で出願された特願平８
−７７５０４号に記載されたものであり、詳細について
は同出願を参照されたい。

【０００３】この光ファイバジャイロは光源１０１と受
光器１０２とビームスプリッタ１０と光集積回路２０と
光ファイバループ１０３とを有し、光ファイバループ１
０３は接続装置３５を介して光集積回路２０の導波路に
接続されている。また光集積回路２０の前面２０Ａには
光遮蔽装置５０が装着されている。光遮蔽装置５０の構
造及び機能については後に説明する。

【０００４】光ファイバループ１０３としてシングルモ
ード光ファイバ又は偏波保持光ファイバが使用される。
シングルモード光ファイバループが使用される場合に
は、図示のように、光集積回路２０と光ファイバループ
１０３の間にデポラライザ３１、３２が挿入される。偏
波保持光ファイバが使用される場合にはデポラライザ３
１、３２は不要である。

【０００５】デポラライザ３１、３２はそれぞれ２つの
偏波保持光ファイバ３１Ａ、３１Ｂ及び３２Ａ、３２Ｂ
を含む光ファイバ型であってよい。２つの偏波保持光フ
ァイバ３１Ａ、３１Ｂ及び３２Ａ、３２Ｂは、図示のよ
うに光軸に対して４５°傾斜した融着面によって互いに
接続され、その両端は光軸に対して任意の角度に傾斜し
た融着面によって接続装置３５及び光ファイバループ１
０３からの光ファイバ端（ピッグテイル）に接続され
る。

【０００６】ビームスプリッタ１０は、光源１０１と光
遮蔽装置５０の間の光路に配置され、光路に対して４５
°傾斜したハーフミラー１１と、光路に沿って配置され
た第１及び第２の集光レンズ１２、１３を有する。ハー
フミラー１１は直角プリズムによって形成されてよい。
光源１０１と第１の集光レンズ１２の間の間隔及び第２
の集光レンズ１３と光遮蔽装置５０の間の間隔は、実際
には約数１０μｍ〜数ｍｍである。

【０００７】光集積回路２０の上面には導波路２３と導
波路よりなるＹ分岐２６が形成され、Ｙ分岐２６の各分
岐２６Ａ、２６Ｂの両側には位相変調器２７、２８が形
成されている。

【０００８】光源１０１からの光はビームスプリッタ１
０に達し、第１の集光レンズ１２によって集光され、ハ
ーフミラー１１を透過し、光遮蔽装置５０を経由して光
集積回路２０の導波路２３に導かれる。導波路２３を伝
播した光は、Ｙ分岐２６にて２つの伝播光に分岐され
る。一方の伝播光は第１の分岐２６Ａ及びデポラライザ
３１を経由して光ファイバループ１０３を右周りに伝播
し、他方の光は第２の分岐２６Ｂ及びデポラライザ３２
を経由して光ファイバループ１０３を左周りに伝播す
る。

【０００９】光ファイバループ１０３に角速度Ωが加わ
ると、サグナック効果によって、光ファイバループ１０
３内を互いに反対方向に伝播する光の間に位相差Δφが
発生する。この位相差Δφは角速度Ωに比例し、次の式
で表される。

【００１０】

【数１】Δφ＝（２πＬＤ／λＣ）Ω

【００１１】ここに、Ωは光ファイバループ１０３の中
心軸線周りの角速度、Ｄは光ファイバループ１０３のル
ープ径、Ｌは光ファイバループ１０３の長さ、λは光源
１０１から出力される光の波長、Ｃは光速を表す。

【００１２】光ファイバループ１０３を右周りに伝播す
る光と左周りに伝播する光はそれぞれ、Ｙ分岐２６の各
分岐２６Ａ、２６Ｂに沿って配置された位相変調器２
７、２８によって位相変調される。第２の位相変調器２
８はセロダイン位相変調器であってよい。

【００１３】２つの分岐２６Ａ、２６Ｂを伝播した光
は、Ｙ分岐２６によって合成され、干渉光が生成され
る。干渉光は、導波路２３及び光遮蔽装置５０を経由し
て、ビームスプリッタ１０に達する。ビームスプリッタ
１０に達した干渉光は第２の集光レンズ１３によって集
光され、ハーフミラー１１を反射し受光器１０２によっ
て検出される。受光器１０２の出力信号は数１の式によ
って表される位相差Δφを含む。

【００１４】受光器１０２より出力された電流信号は図
示しない電流・電圧変換器によって電圧信号に変換され
る。電圧信号は、同期検波器に供給される。そこで、位
相変調器２７に供給された信号と同一の周波数にて同期
検波され、位相差Δφを含む成分が検出される。こうし
て位相差Δφが求められると、数１の式より角速度Ωが
求められる。

【００１５】光集積回路２０はフォトリソグラフィ技術
を使用して基板の上面に導波路２３、Ｙ分岐２６及び位
相変調器２７、２８を形成することによって製造され
る。基板として例えばニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ
Ｏ₃）又はタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）が使用
される。導波路の形成方法には熱拡散法、プロトン交換
法等がある。

【００１６】光源１０１より出力された光は互いに直交
する偏光面を有し強度が等しい２つの偏光ＴＥ及びＴＭ
偏光を含む。光ファイバジャイロでは、高い測定精度を
得るために、単一の偏光面を有する偏光が使用される。
従って、通常、光ファイバジャイロには光源１０１から
の光より偏光を得るための偏光分離機能が備えられてい
る。

【００１７】偏光分離機能は光集積回路２０に備えられ
ている。プロトン交換型の光集積回路では導波路が偏光
子の機能を果たす。しかしながら、チタン拡散型の光集
積回路では導波路は偏光子の機能を有さないから、光集
積回路に偏光子を形成する必要がある。斯かる偏光子は
金属装荷型に形成されてよい。

【００１８】次に図９を参照して光遮蔽装置５０の機能
を説明する。図９は図８の光ファイバジャイロの斜視図
である。但し、説明の便宜上、光集積回路２０の前端面
２０Ａに装着された光遮蔽装置５０は除去されて描かれ
ている。上述のように、光集積回路２０のＹ分岐構造２
６、２６Ａ、２６Ｂは導波路よりなる。光はこの導波路
に沿って伝播するが実際には導波路に完全に閉じ込めら
れることはなく、図９の参照符号Ａ、Ｂ、Ｃにて示すよ
うに、基板に洩れ又は拡散する。

【００１９】導波路に閉じ込められて伝播する光を導波
モード、導波路より基板に洩れ又は拡散する光を放射モ
ードと称し、この放射モードの光が受光器１０２によっ
て検出されると誤差が生ずる。従ってこの放射モードの
光を遮断するために光遮蔽装置５０が使用される。

【００２０】放射モード光ＡはＹ分岐２６に起因して生
じ、放射モード光ＢはＹ分岐２６が完全な強度結合構造
でないことに起因して生ずる。また、放射モード光Ｃは
光ファイバループ１０３としてシングルモード光ファイ
バを使用する場合に生ずる。光集積回路２０がプロトン
交換型の場合、２つの偏光成分であるＴＭ偏光及びＴＥ
偏光のうち光集積回路２０の上面に垂直な偏光面を有す
るＴＭ偏光は、放射モード光Ｃとして、導波路より外側
に拡散し、ＴＥ偏光のみが導波路を伝播する。導波路よ
り外側に拡散したＴＭ偏光は、光集積回路２０の前端面
２０Ａにて干渉縞Ｄを生成する。

【００２１】図１０を参照して説明する。図１０は光集
積回路２０のＹ分岐２６からの放射モード光Ａ、Ｂが光
集積回路２０の前端面２０Ａに達した状態を示す。例え
ば、Ｙ分岐２６から光集積回路２０の前端面２０Ａまで
の距離が６ｍｍの場合、放射モード光Ａ、Ｂの前端面２
０Ａに現れる領域２０Ｃ、２０Ｄの中心位置は、基板の
上面２０Ｂより深さ１００〜２００μｍ且つ導波路２３
の両側に約１００μｍの位置である。

【００２２】図１１を参照して従来の光遮蔽装置５０の
例を説明する。図１１は図８に示した光ファイバジャイ
ロの光集積回路２０の前端面２０Ａの部分を示す。図１
１Ａに示す例では、光集積回路２０の前端面２０Ａに、
光遮蔽膜５１が塗布されている。斯かる光遮蔽膜５１に
は、導波路２３を伝播した光を通過させるための小さな
窓５１Ａが形成されている。

【００２３】図１１Ｂ及び図１１Ｃに示す例では、光集
積回路２０の前端面２０Ａに、光遮蔽板５２が配置され
ている。図１１Ｂに示す光遮蔽板５２は透明なガラスの
表面に光遮蔽膜を塗布し斯かる光遮蔽膜には導波路２３
を伝播した光を通過させるための小さな窓５２Ａが形成
されている。図１１Ｃに示す光遮蔽板５２は光遮蔽材よ
りなる板によって構成され、斯かる光遮蔽板５２には導
波路２３を伝播した光を通過させるための小さな切り欠
き窓５２Ｂが形成されている。

【００２４】光集積回路２０のＹ分岐２６にて放射モー
ド光Ａ、Ｂが発生しても、光集積回路２０の前端面２０
Ａにて光遮蔽膜５１又は光遮蔽板５２によって遮蔽され
除去される。従って、導波路２３を伝播した干渉光のみ
が窓５１Ａ、５２Ａ、５２Ｂを通過してビームスプリッ
タ１０に導かれる。

【００２５】次に光遮蔽膜５１又は光遮蔽板５２及びそ
の窓５１Ａ、５２Ａ、５２Ｂの寸法について説明する。
これらの寸法は、放射モード光Ａ、Ｂが光集積回路２０
の前端面２０Ａに到達した領域２０Ｃ、２０Ｄの寸法に
対応して決まる。上述のように、Ｙ分岐２６から光集積
回路２０の前端面２０Ａまでの距離が約６ｍｍの場合、
光遮蔽膜５１又は光遮蔽板５２の寸法は縦が約４００μ
ｍ、横が約４００μｍであってよい。また窓５１Ａ、５
２Ａ、５２Ｂの径は、導波路２３の断面寸法が直径約５
μｍであると仮定して、約２０μｍであってよい。

【００２６】

【発明が解決しようとする課題】図１１を参照して説明
した従来の光遮蔽装置５０は、製造、組み立て及びアラ
インメント作業に時間と技術を要する。図１１Ａの例で
は、光集積回路２０の前端面２０Ａに窓５１Ａのみを残
して遮蔽膜５１を形成するが、小さな窓５１Ａを導波路
２３の周囲に正確に形成するのは困難である。また、図
１１Ｂ及び図１１Ｃに示す例では、遮蔽板５２を光集積
回路２０の前端面２０Ａに装着するが、窓５２Ａ、５２
Ｂを光集積回路２０の導波路２３に整合するように正確
に配置するのは困難である。

【００２７】遮蔽膜５１の窓５１Ａ及び遮蔽板５２の窓
５２Ａ、５２Ｂと光集積回路２０の導波路２３との間の
アラインメントには、例えば、数μｍ〜数１０μｍの精
度が要求される。

【００２８】本発明は、斯かる点に鑑み、光集積回路２
０の導波路からの放射モード光Ａ、Ｂ、Ｃ及び光集積回
路２０の前端面２０Ａに生ずる干渉縞Ｄに起因した誤差
を除去するために光集積回路２０の前端面２０Ａに設け
る光遮蔽装置を提供することを目的とする。

【００２９】本発明は、斯かる点に鑑み、光集積回路２
０の前端面２０Ａに設けるための簡単な構造のしかもア
ラインメントが容易な光遮蔽装置を提供することを目的
とする。

【００３０】

【課題を解決するための手段】本発明によると、光源と
光を分岐し又は合成するためのＹ分岐を有する光集積回
路と光ファイバループと光集積回路から出た干渉光を偏
向させるビームスプリッタと該ビームスプリッタからの
光を検出する受光器と光集積回路とビームスプリッタの
間に設けられた光遮蔽装置とを有する光ファイバジャイ
ロにおいて、光遮蔽装置は、光集積回路の上面に接触す
るための第１の面と光集積回路の前端面に対応した第２
の面と光集積回路の導波路に対応して設けられた窓とを
有する。

【００３１】本発明によると、光ファイバジャイロにお
いて、光遮蔽装置の第１の面と第２の面の間の接続部に
逃げ部が形成されている。光遮蔽装置の第１の面と第２
の面の間の成す角は９０°より僅かに大きい。窓は円形
孔又は正方形孔である。窓は長円形孔又は長方形孔であ
る。窓はエキシマレーザによって形成される。

【００３２】本発明によると、光ファイバジャイロにお
いて、光遮蔽装置は直方体のブロック部と該ブロック部
の前端面より下方に延在する突出部とを有し、ブロック
部の下面が第１の面を構成し突出部の裏面が第２の面を
構成する。光遮蔽装置は一枚の板状部材よりなる。

【００３３】本発明によると、光遮蔽装置は、光集積回
路の上面に接触するための第１の面と光集積回路の前端
面に対応した第２の面と光集積回路の導波路に対応して
設けられた窓とを有する。第１の面と第２の面の間の接
続部に逃げ部が形成されている。第１の面と第２の面の
間の成す角は９０°より僅かに大きい。

【００３４】

【発明の実施の形態】図１を参照して本発明の第１の例
を説明する。図示のように本例の光ファイバジャイロ
は、光集積回路２０の前端部に装着された光遮蔽装置６
０を有する。本例の光ファイバジャイロは、図８〜図１
１を参照して説明した従来の光ファイバジャイロと比較
して、従来の光遮蔽装置５０の代わりに本例の光遮蔽装
置６０が装着されている点が異なり、それ以外の部分は
同様であってよい。従って、光遮蔽装置６０以外の部分
の説明は省略する。

【００３５】本例の光遮蔽装置６０は、略Ｌ字形の直角
スリット形に構成されている。光遮蔽装置６０は、光集
積回路２０の前端部にて上面２０Ｂ上に配置されてお
り、その前面に窓６１を有し、光集積回路２０の前端面
の上縁の角部に対応する部分に逃げ部６２を有する。

【００３６】図２を参照して光遮蔽装置６０の第１の例
を詳細に説明する。この光遮蔽装置６０は、直方体のブ
ロック部６０−１と突起部６０−２とを有する。ブロッ
ク部６０−１は前面及び後面６０Ａ、６０Ｂと上面及び
下面６０Ｃ、６０Ｄと両側の側面６０Ｅ、６０Ｆとを有
する。突起部６０−２はブロック部６０−１の前端より
下方に延在する。

【００３７】ブロック部６０−１の前面６０Ａには窓６
１が設けられている。この窓６１はブロック部６０−１
の下面６０Ｄに対応した位置に設けられる。尚、この窓
６１の寸法及び形状の詳細については後に説明する。

【００３８】ブロック部６０−１の下面６０Ｄと突起部
６０−２の接する角部に溝状の逃げ部６２が設けられて
いる。ブロック部６０−１の下面６０Ｄと突起部６０−
２の裏面の成す角θは９０°であってよい。しかしなが
ら、この角度θは、厳密には９０°より僅かに大きい角
度、即ち、θ＝９０°＋Δθであってよい。ここにΔθ
は０〜２°である。

【００３９】これは、光集積回路２０の前端面２０Ａが
上面２０Ｂに対して９０°よりずれた場合に、光遮蔽装
置６０を光集積回路２０に取り付けるとき、突起部６０
−２と光集積回路２０の前端面２０Ａが干渉して、窓６
１が光集積回路２０の前端面２０Ａから浮き上がるのを
防止するためである。

【００４０】光遮蔽装置６０の前面６０Ａの幅をＷ、高
さをＨとする。また、ブロック部６０−１の寸法を図示
のように、幅をＷ、長さをＤ、高さをＨ₁とする。突起
部６０−２の高さをＨ₂とすると、Ｈ₂＝Ｈ−Ｈ₁とな
る。前面６０Ａの幅Ｗ及び高さＨは、光集積回路２０の
前端面２０Ａに現れる放射モード光Ａ、Ｂ、Ｃを遮断す
るために十分な大きさに設定される。また、ブロック部
６０−１の寸法は、光遮蔽装置６０を光集積回路２０の
上面２０Ｂに安定的に装着することができるために十分
な大きさに設定される。

【００４１】これらの寸法は例えば、Ｗ＝１．２ｍｍ、
Ｈ＝２．８ｍｍ、Ｄ＝５．０ｍｍ、Ｈ₁＝２．０ｍｍ、
Ｈ₂＝０．８ｍｍであってよい。突起部６０−２の厚さ
ｔはｔ＝０．０５ｍｍであってよい。

【００４２】図３を参照して光遮蔽装置６０の第１の例
を複数の部材より組み立て又は形成する方法の例を説明
する。図３Ａに示すように、板状部材６０ａとブロック
状部材６０ｂとを用意する。ブロック状部材６０ｂの下
面が基準面となる。

【００４３】板状部材６０ａには予め窓６１を設ける。
ブロック状部材６０ｂの前端面の下縁の角部に逃げ部の
ための面取り６２を設ける。次に図３Ｂに示すように、
板状部材６０ａをブロック状部材６０ｂの前端面に接着
することによって光遮蔽装置６０が完成する。このと
き、窓６１が基準面、即ち、ブロック状部材６０ｂの下
面に整合して配置されていることを確認する。尚、この
例では光遮蔽装置６０を２つの部材６０ａ、６０ｂより
組み立てたが、勿論、１つの部材を加工して形成しても
よい。

【００４４】光遮蔽装置６０、特に板状部材６０ａは、
光を遮断する材料より構成される。材料として例えば金
属が使用されてよい。板状部材６０ａは小さな寸法なの
で、例えば電鋳法又は微細放電加工法によって製造され
てよい。窓６１はエキシマレーザ法によって形成されて
よい。

【００４５】次にこの光遮蔽装置６０を光集積回路２０
の上面２０Ｂに装着する。先ず位置決めをする。光集積
回路２０の上面２０Ｂとブロック状部材６０ｂの下面が
基準面となる。光集積回路２０の上面２０Ｂにブロック
状部材６０ｂの下面が接触するように光遮蔽装置６０を
配置する。図示のように下方への力Ｆ_Xをブロック状部
材６０ｂに印加することによって、ブロック状部材６０
ｂの下面（基準面）が光集積回路２０の上面２０Ｂ（基
準面）に完全に接触する。

【００４６】次に図示のように後方への力Ｆ_Zを板状部
材６０ａに印加することによって、板状部材６０ａの裏
面を光集積回路２０の前端面２０Ａに当接させる。上述
のように、板状部材６０ａの裏面とブロック状部材６０
ｂの下面の成す角θは９０°より僅かに大きい角度であ
ってよい。従って、板状部材６０ａの裏面と光集積回路
２０の前端面２０Ａは全面的に接触する必要はなく、縁
部のみが接触してもよい。

【００４７】下方への力Ｆ_X及び後方への力Ｆ_Zは人為
的な力によって生成してもよいが、光遮蔽装置６０の自
重を利用して生成してもよい。例えば、光集積回路２０
を前端が上昇するように傾斜させ、その上面２０Ｂに光
遮蔽装置６０を置く。すると光遮蔽装置６０の自重によ
って図示の如き力Ｆ_X及びＦ_Zが生成される。この自重
に起因した力Ｆ_X及びＦ_Zを利用して光遮蔽装置６０を
所定の位置に配置してもよい。

【００４８】最後に横方向の位置決めをする。図示のよ
うに光遮蔽装置６０を横方向Ｖ_Yに移動させ、窓６１が
光集積回路２０の導波路２３に整合するように配置す
る。横方向の位置決めは受光器１０２の出力を観測する
ことによって行われてよい。受光器１０２の出力が最大
となったとき、窓６１は光集積回路２０の導波路２３に
整合した位置に配置されている。こうして、光遮蔽装置
６０の位置決めが終了すると、光遮蔽装置６０を適当な
方法によって光集積回路２０に対して固定する。例え
ば、ブロック状部材６０ｂの周囲に接着剤を塗布しても
よい。

【００４９】図４を参照して光遮蔽装置６０の第２の例
を説明する。この例では、光遮蔽装置６０は１枚の板状
部材７０を折り曲げて形成されている。光遮蔽装置６０
は前側部７０Ａと水平部７０Ｂとよりなり、両者の成す
角θは上述のようにθ＝９０°＋Δθ（但しΔθ＝０〜
２°）である。前側部７０Ａには窓７１が形成され、前
側部７０Ａと水平部７０Ｂの接続部は図示のように逃げ
部７２が形成されている。水平部７０Ｂの下面が基準面
である。

【００５０】図５を参照して光遮蔽装置６０の第３の例
を説明する。この例では、光遮蔽装置６０は、１枚の板
状部材８０にコの字形の切り込みを形成しそれを折り曲
げることによって形成されている。光遮蔽装置６０は略
Ｔ字形の前側部８０Ａと水平部８０Ｂとよりなり、両者
の成す角θは上述のようにθ＝９０°＋Δθ（但しΔθ
＝０〜２°）である。前側部８０Ａには窓８１が形成さ
れ、前側部８０Ａと水平部８０Ｂの接続部には図示のよ
うに逃げ部８２が形成されている。水平部８０Ｂの下面
が基準面である。

【００５１】図４及び図５を参照して説明した光遮蔽装
置の第２及び第３の例を製造する場合、曲げ加工と切断
加工が必要となる。それ以外の点、例えば寸法、材料等
は、図３を参照して説明した第１の例の場合と同様であ
る。例えば、窓７１、８１はエキシマレーザ法によって
形成してよい。この場合、窓７１、８１の位置は、水平
部７０Ｂ、８０Ｂを基準面として形成される。

【００５２】図６を参照して光遮蔽装置６０の窓６１、
７１、８１及び逃げ部６２、７２、８２について説明す
る。図６Ａは図１及び図２に示した光遮蔽装置６０の第
１の例の一部拡大断面図であり、図６Ｂは図４に示した
光遮蔽装置６０の第２の例の一部拡大断面図であり、図
６Ｃは図５に示した光遮蔽装置６０の第３の例の一部拡
大断面図である。

【００５３】光遮蔽装置６０の窓６１、７１、８１は、
光集積回路２０の上面２０Ｂに形成された導波路２３
（図８〜図１１）に整合するように配置される。導波路
２３は光集積回路２０の上面２０Ｂに沿って配置されて
いる。従って、光集積回路２０の上面２０Ｂを含む平面
が、光遮蔽装置６０の窓６１、７１、８１を横切るよう
に、構成される。

【００５４】図示のように、光集積回路２０の上面２０
Ｂの前縁の角部に空間又は間隙が形成されている。この
空間又は間隙は、光遮蔽装置６０の逃げ部６２、７２、
８２によって形成されたものである。従って、光遮蔽装
置６０を光集積回路２０に装着する場合、光集積回路２
０の前端の上縁の角部では、前端面２０Ａのみが光遮蔽
装置６０の突起部６０−２の裏面、前側部７０Ａ、８０
Ａの裏面に接触するが、上面２０Ｂのうち上縁の角部近
くの部分は、光遮蔽装置６０のブロック部６０−１の裏
面、水平部７０Ｂ、８０Ｂの下面に接触しない。従っ
て、組立作業が容易化される。

【００５５】図７を参照して光遮蔽装置６０の窓６１、
７１、８１の形状及び寸法について説明する。窓６１、
７１、８１は円形、正方形、長円、長方形等であってよ
い。円形又は正方形の場合、内径は光集積回路２０の導
波路２３の断面の外径の１〜数倍であってよい。通常、
導波路の断面の外径寸法は約数μｍである。従って、円
形孔又は正方形孔の内径は数μｍ〜十数μｍである。

【００５６】長円又は長方形の場合、窓６１、７１、８
１は縦長に形成される。即ち、長円孔又は長方形孔の場
合、横方向の内径Ｗ_Cは導波路２３の断面の外径の１〜
数倍であるが、縦方向の内径Ｈ_Cは横方向の内径の数倍
である。

【００５７】上述のように、光集積回路２０の上面２０
Ｂを含む平面が窓６１、７１、８１を横切るように、窓
６１は配置される。光集積回路２０の上面２０Ｂはブロ
ック部６０−１の下面６０Ｄ、水平部７０Ｂ、８０Ｂの
下面に一致する。ブロック部６０−１の下面６０Ｄ又は
水平部７０Ｂ、８０Ｂの下面と窓６１、７１、８１の下
端との間の距離Ｄ_Cは窓６１、７１、８１の縦方向の内
径Ｈ_Cに略等しいか又はそれより小さい。例として次の
寸法が採用されてよい。

【００５８】

【数２】Ｈ_C＝０．０５ｍｍＷ_C＝０．０１ｍｍＤ_C＝０．０１〜０．０１５ｍｍＨ_C≧Ｄ_C

【００５９】以上本発明の実施例について詳細に説明し
てきたが、本発明は上述の実施例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく他の種々の構成が採り得るこ
とは当業者にとって容易に理解されよう。

【００６０】

【発明の効果】本発明によると、光遮蔽装置を光集積回
路の前端部に装着するとき、アラインメント作業が極め
て容易であり且つ短時間でなすことができるから光ファ
イバジャイロの製造工程を短縮化することができる利点
を有する。

【００６１】本発明によると、光遮蔽装置を別個に製造
しそれを光集積回路に装着するように構成されているた
め、光ファイバジャイロの製造工程が簡単化される利点
を有する。

【００６２】本発明によると、光遮蔽装置を窓をエキシ
マレーザによって穿孔することによって形成されるか
ら、小さな孔を正確に形成することができる利点を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光ファイバジャイロの第１の例の光集
積回路の前端部を示す説明図である。

【図２】本発明の光遮蔽装置の第１の例の構造を説明す
るための説明図である。

【図３】本発明の光遮蔽装置の第１の例を複数の部材を
用いて形成する場合の製造方法を説明するための説明図
である。

【図４】本発明の光遮蔽装置の第２の例を説明するため
の説明図である。

【図５】本発明の光遮蔽装置の第３の例を説明するため
の説明図である。

【図６】本発明の光遮蔽装置の窓及び逃げ部の構造を説
明するための説明図である。

【図７】本発明の光遮蔽装置の窓の形状及び寸法を説明
するための説明図である。

【図８】従来の光ファイバジャイロの例を説明するため
の説明図である。

【図９】従来の光ファイバジャイロにおいて光集積回路
の放射モード光を説明するための説明図である。

【図１０】従来の光ファイバジャイロにおいて放射モー
ド光が光集積回路の前端面に現れた状態を説明するため
の説明図である。

【図１１】従来の光ファイバジャイロに使用されている
光遮蔽装置の例を説明するための説明図である。

【符号の説明】

１０ビームスプリッタ１１ハーフミラー１２、１３集光レンズ２０光集積回路２０Ａ前端面２０Ｂ上面２３導波路２６Ｙ分岐２７、２８位相変調器３１、３２デポラライザ３５接続装置５０光遮蔽装置５１光遮蔽膜５２光遮蔽板５２Ａ、５２Ｂ窓６０光遮蔽装置６１窓６２逃げ部７１窓７２逃げ部８１窓８２逃げ部１０１光源１０２受光器１０３光ファイバループ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中村茂東京都大田区南蒲田２丁目16番46号株式会社トキメック内 (72)発明者稲沢佳幸東京都大田区南蒲田２丁目16番46号株式会社トキメック内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源と光を分岐し又は合成するためのＹ
分岐を有する光集積回路と光ファイバループと上記光集
積回路から出た干渉光を偏向させるビームスプリッタと
該ビームスプリッタからの光を検出する受光器と上記光
集積回路と上記ビームスプリッタの間に設けられた光遮
蔽装置とを有する光ファイバジャイロにおいて、上記光遮蔽装置は、上記光集積回路の上面に接触するた
めの第１の面と上記光集積回路の前端面に対応した第２
の面と上記光集積回路の導波路に対応して設けられた窓
とを有することを特徴とする光ファイバジャイロ。
【請求項２】請求項１記載の光ファイバジャイロにお
いて、上記光遮蔽装置の第１の面と第２の面の間の接続部に逃
げ部が形成されていることを特徴とする光ファイバジャ
イロ。
【請求項３】請求項１又は２記載の光ファイバジャイ
ロにおいて、上記光遮蔽装置の第１の面と第２の面の間の成す角は９
０°より僅かに大きいことを特徴とする光ファイバジャ
イロ。
【請求項４】請求項１、２又は３記載の光ファイバジ
ャイロにおいて、上記窓は円形孔又は正方形孔であることを特徴とする光
ファイバジャイロ。
【請求項５】請求項１、２又は３記載の光ファイバジ
ャイロにおいて、上記窓は長円形孔又は長方形孔であることを特徴とする
光ファイバジャイロ。
【請求項６】請求項１、２、３、４又は５記載の光フ
ァイバジャイロにおいて、上記窓はエキシマレーザによって形成されたことを特徴
とする光ファイバジャイロ。
【請求項７】請求項１、２、３、４、５又は６記載の
光ファイバジャイロにおいて、上記光遮蔽装置は直方体のブロック部と該ブロック部の
前端面より下方に延在する突出部とを有し、上記ブロッ
ク部の下面が上記第１の面を構成し上記突出部の裏面が
上記第２の面を構成することを特徴とする光ファイバジ
ャイロ。
【請求項８】請求項１、２、３、４、５、６又は７記
載の光ファイバジャイロにおいて、上記光遮蔽装置は一枚の板状部材よりなることを特徴と
する光ファイバジャイロ。
【請求項９】光集積回路の上面に接触するための第１
の面と上記光集積回路の前端面に対応した第２の面と上
記光集積回路の導波路に対応して設けられた窓とを有す
る光遮蔽装置。
【請求項１０】請求項９記載の光遮蔽装置において、上記第１の面と第２の面の間の接続部に逃げ部が形成さ
れていることを特徴とする光遮蔽装置。
【請求項１１】請求項９又は１０記載の光遮蔽装置に
おいて、上記第１の面と第２の面の間の成す角は９０°より僅か
に大きいことを特徴とする光遮蔽装置。