JPH10209426A - 光送受信半導体装置 - Google Patents

光送受信半導体装置

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JPH10209426A
JPH10209426A JP9009704A JP970497A JPH10209426A JP H10209426 A JPH10209426 A JP H10209426A JP 9009704 A JP9009704 A JP 9009704A JP 970497 A JP970497 A JP 970497A JP H10209426 A JPH10209426 A JP H10209426A
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JP
Japan
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emitting element
optical
light
semiconductor device
light emitting
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JP9009704A
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Kazuhiro Shimada
和宏 島田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産性やコスト面に優れ、光素子を理想的な
環境に置け、効率良い光結合を実現できる光送受信半導
体装置を提供する。 【解決手段】 非導電性の積層基板1の上に光素子3、
光素子用半導体5を配置し、配線7を施す。光素子3の
みを囲む四角形の溝9を設け、2箇所の断続部10を持
たせる。コの字型の溝9に、同形状の透光性プラスチッ
ク製の蓋11を嵌合し、光素子3のみを中空封止する。
蓋11には光素子3と対応する位置に凸レンズ13を形
成し、蓋11と一体化する。光素子用半導体5や配線7
を樹脂14で封止すると同時に、蓋11を固定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバーの先端
と光結合する光送受信半導体装置に関し、特に光結合を
効率よく行うことができる光送受信半導体装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年のめざましい電子技術の進歩に共
い、光伝送を行う光ファイバーが必要不可欠となってい
る。光ファイバーを介して光伝送させるために、電気信
号を光信号に変えたり、逆に光信号を電気信号に変える
光送受信半導体装置が、光ファイバーの先端近傍に備え
られている。
【0003】この光送受信半導体装置には、電気信号を
光信号に変えて光ファイバーの先端に発光する発光素子
とこれを駆動する駆動用半導体が設けられている光送信
半導体装置と、逆に光ファイバーの先端から発光される
光信号を受光して電気信号に変える受光素子とこれの出
力を増幅する増幅用半導体が設けられている光受信半導
体装置とがある。
【0004】これら発光素子あるいは受光素子と、径の
小さい光ファイバーの先端(125μm、200μm、
あるいは1mm)との光結合を効率よく行わせるため、
光送受信半導体装置に凸レンズが付けられているのが一
般的である。
【0005】図5は、従来の光送受信半導体装置の一例
を示す断面図である。この光送受信半導体装置はキャン
タイプと呼ばれているものであり、発光素子あるいは受
光素子(以下、光素子と略す)3や凸レンズ13が備え
られている円筒型のキャン19と、駆動用半導体あるい
は増幅用半導体(以下、光素子用半導体と略す)5など
が備えられているプリント基板21からなっている。キ
ャン19とプリント基板21とは、配線を兼ねた3,4
本の足23で固定されている。
【0006】非導電性の基板25の上に配置された光素
子3が、基板25と接着された凸レンズ一体型の透光性
プラスチック製の蓋11によって中空封止されている。
このため、光素子3はほぼ理想的な環境に置かれてい
る。蓋11を透光性プラスチックで製造するため、凸レ
ンズ13の形状を自由に設計でき、効率の良い光結合が
可能である。また、蓋11の径xが比較的小さいため、
基板25と蓋11とのずれも小さく、凸レンズ13の中
心と光素子3の中心とを合わせやすい。
【0007】しかしながら、構造がキャン19とプリン
ト基板21の2体に分かれているため、外形が大きく、
部品数も多くなるため、生産性やコストの面で欠点があ
る。光送受信半導体装置は一体化されるのが理想的であ
る。
【0008】図6は、一体化した従来の光送受信半導体
装置の一例を示す断面図である。これは光素子3や光素
子用半導体5が配置された、配線済みのプリント基板2
7(あるいはリードフレーム)全体を透光性樹脂29で
封止し、一体化したものである。光素子3と対応した位
置に、外側だけ凸レンズ13が形成されている。樹脂2
9の封止で一体化したので、生産性やコスト面での欠点
が解消される。また、凸レンズ13の中心と光素子3の
中心とを精度良く合わせることができる。
【0009】しかしながら、光素子3に樹脂封止による
応力が掛かったり、樹脂29の内部に湿気による水分が
侵入するなど、光素子3にとっては好ましい環境ではな
い。さらに、樹脂29の種類が制限されるため、凸レン
ズ13の形状も自ずと制限され、設計自由度がないだけ
でなく、外側にしか形成できない。その分、光結合の効
率が落ちる。
【0010】図5及び図6で示した従来の光送受信半導
体装置から、光素子3や光素子用半導体5などは基板と
共に一体化され、光素子3は中空封止され、さらに凸レ
ンズ13は透光性プラスチックで形成されるのが最も理
想的である。
【0011】図7は、これらの条件が満たされるように
考えられた、従来の光送受信半導体装置を示す図であ
る。図7(A)はその平面図、図7(B)は断面図の一
例、図7(C)は断面図の他の例である。図7(B)、
(C)共に、光素子3と光素子用半導体5はガラスエポ
キシやセラミックなどの非導電性の積層基板1の上に配
置され、これらを電気的に接続する配線7が施されてい
る。
【0012】図7(B)は、凹型の積層基板1に金属の
蓋31が溶接されたタイプであり、蓋31には光素子3
と対応した位置に穴があり、透光性プラスチック製の凸
レンズ13(またはガラスレンズ)が取り付けられてい
る。図7(C)は、凸型の積層基板1に凹型の透光性プ
ラスチック製の蓋11が接着されたタイプであり、蓋1
1には光素子3と対応した位置に凸レンズ13が形成さ
れている。接着型の場合、溶接型と違い、大気中の湿気
が内部に入り、光素子用半導体5の表面のアルミニュウ
ムが腐食される恐れがあるため、樹脂14で保護する必
要がある。
【0013】なお、図7(B)及び(C)はあくまでも
一例であり、例えば図7(B)の蓋31を、図7(C)
のような凸レンズ一体型の透光性プラスチック製の蓋1
1にし、接着することも可能であるし、またその逆も可
能である。
【0014】このように、図7で示した光送受信半導体
装置であれば、光素子3、光素子用半導体5、及び配線
7が積層基板1と共に一体化できるので、生産性も良
く、低コストである。光素子3も中空封止が可能とな
り、理想的な環境に置かれている。さらに、凸レンズ1
3も透光性プラスチックで形成されているので、自由な
設計が可能である。
【0015】本来凸レンズ13は、その形状によって光
送信半導体装置用と光受信半導体装置用とで使い分ける
のが望ましく、透光性プラスチックではそれが可能であ
る。具体的には、受信用としては図7(B)のように、
外側の曲率半径をできるだけ大きくかつ高さを小さく
し、内側の曲率半径を小さくすると共に高くするのが、
光結合にとって効果的である。送信用は逆に図7(C)
のように、内側の曲率半径をできるだけ大きくしてフラ
ット状にし、外側の曲率半径を小さくすると共に高くし
たほうが、効率良く光結合させることができる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、図7で
示した光送受信半導体装置であれば、光素子3、光素子
用半導体5、及び配線7が積層基板1と共に一体化でき
るので、生産性も良く、低コストが計れる。光素子3も
中空封止が可能となり、理想的な環境に置かれている。
さらに、凸レンズ13も透光性プラスチックで形成され
ているので、自由な設計が可能である。
【0017】しかしながら、大きな欠点は積層基板1の
寸法xが大きいことである。寸法xが大きいと、積層基
板1と蓋11,31それぞれの寸法に対する許容誤差も
大きくなり、凸レンズ13の中心と光素子3の中心との
位置合わせが困難になる。実際には寸法xは10mm、
蓋11,31のそれは10.15mm程度であるので、
積層基板1の許容誤差は±0.1mm、透光性プラスチ
ック製の蓋11であれば±0.05mmとなる。
【0018】従って積層基板1は9.9〜10.1m
m、蓋11は10.1〜10.2mmの範囲で製造さ
れ、標準で0.15mm、最大で0.3mmのずれが積
層基板1と蓋11との間で生じる。凸レンズ13の中心
と光素子3の中心との間ではこれらの半分の値、すなわ
ち標準で0.075mm、最大で0.15mmのずれが
生じることになる。金属の蓋31を溶接した場合は、溶
接ずれによってさらに大きなずれが生じる。
【0019】図8は、光素子3と光ファイバーの先端3
3とが凸レンズ13を介して光結合している様子を示し
たものであるが、凸レンズ13の中心と光素子3の中心
とが精度良く位置合わせされていれば、図8(A)のよ
うに効率よく光結合させることができる。
【0020】ところが前述したように、それぞれの中心
の間に大きなずれがあると、発光素子3aから発光され
た光は、図8(B)のようにその一部が内側のレンズで
反射してしまい、光ファイバーの先端33に入射される
光が弱まってしまう。同様に、光ファイバーの先端33
から発光された光は、図8(C)のように受光素子3b
の一部でしか受光されず、電気信号への変換効率が悪く
なってしまう。
【0021】本発明は以上のような問題に鑑みて成され
たものであり、その目的は、光素子、光素子用半導体、
及び配線を積層基板と共に一体化させることにより、生
産性やコスト面に優れ、光素子を中空封止し、凸レンズ
を透光性プラスチックで自由に設計でき、さらに凸レン
ズと光素子それぞれの中心が高精度で位置合わせされる
ことにより、効率の良い光結合を実現させることができ
る光送受信半導体装置を提供することである。
【0022】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明の第1の発明の特徴は、光ファイバーの先
端と光結合する光送受信半導体装置であって、非導電性
の積層基板と、該積層基板上に配置された発光素子及び
発光素子駆動用半導体、あるいは受光素子及び受光素子
出力増幅用半導体と、前記積層基板上に施され、前記発
光素子と発光素子駆動用半導体、あるいは前記受光素子
と受光素子出力増幅用半導体とを電気的に接続する配線
と、前記積層基板上に設けられた、前記発光素子あるい
は受光素子のみを囲む溝と、該溝と嵌合することによっ
て少なくとも前記発光素子あるいは受光素子を中空封止
する蓋とを備え、前記溝は、1箇所以上の断続部を有す
る断続的な溝であり、前記蓋は、前記光ファイバーの先
端と前記発光素子あるいは受光素子との間で送受信され
る光が通過する凸レンズを有する透光性プラスチック製
の蓋であり、前記溝と嵌合することによって前記凸レン
ズと前記発光素子あるいは受光素子とが位置合わせされ
ることにある。
【0023】この第1の発明によれば、光素子、光素子
用半導体、及び配線を積層基板と共に一体化でき、低コ
ストが計れる。光素子のみを囲む溝と蓋が嵌合して光素
子を中空封止するので、光素子を理想的な環境に置くこ
とができる。溝を光素子のみを囲むように設けているた
めに溝の径が小さく、さらに1箇所以上の断続部を有し
ているために蓋の変形が可能なので、蓋と溝との位置ず
れがほとんど無い。このため、蓋に形成されている凸レ
ンズの中心と光素子の中心とを精度良く位置合わせする
ことができる。凸レンズが透光性プラスチック製である
ので、その形状を自由に設計することができ、光結合を
効率良くできる。
【0024】第2の発明の特徴は、第1の発明におい
て、前記蓋は前記発光素子あるいは受光素子のみを中空
封止し、前記発光素子駆動用半導体あるいは受光素子出
力増幅用半導体、及び前記配線は樹脂封止されることに
ある。
【0025】この第2の発明によれば、光素子のみを中
空封止する蓋であるので、生産性に優れる。光素子用半
導体や配線の樹脂封止と同時に蓋を固定することができ
る。
【0026】第3の発明の特徴は、第1の発明におい
て、前記蓋は、前記積層基板全体を中空封止することに
ある。
【0027】この第3の発明によれば、積層基板上に配
置あるいは施される全てを理想的な環境に置くことがで
きる。
【0028】第4の発明の特徴は、第1の発明におい
て、前記溝は、前記発光素子あるいは受光素子を中心と
する円形の溝であることにある。
【0029】この第4の発明によれば、溝が円形である
ために蓋も円形となるので、よりいっそう凸レンズと光
素子とを精度良く位置合わせすることができる。
【0030】第5の発明の特徴は、第1の発明におい
て、前記発光素子、発光素子駆動用半導体、及び前記配
線間、あるいは前記受光素子、受光素子出力増幅用半導
体、及び前記配線間の電気的接続を、前記積層基板の積
層間に設けられたスルーホール配線を用いて行うことに
ある。
【0031】この第5の発明によれば、光素子、光素子
用半導体、及び配線をそれぞれ異なる高さに配置あるい
は施すことができる。光素子を配置する高さを光ファイ
バー先端の径に応じて変えることができるので、焦点を
合わせ易くなる。
【0032】第6の発明の特徴は、第1の発明におい
て、前記発光素子を少なくとも中空封止する前記蓋に有
する前記凸レンズは、前記発光素子側の曲率半径が外側
の曲率半径の5倍以上であると共に、外側の高さが発光
素子側の高さの2倍以下であることにある。
【0033】この第6の発明によれば、発光素子と光フ
ァイバーの先端とを効率よく光結合させることができ
る。
【0034】第7の発明の特徴は、第1の発明におい
て、前記受光素子を少なくとも中空封止する前記蓋に有
する前記凸レンズは、外側の曲率半径が前記受光素子側
の曲率半径の5倍以上であると共に、受光素子側の高さ
が外側の高さの2倍以下であることにある。
【0035】この第7の発明によれば、受光素子と光フ
ァイバーの先端とを効率よく光結合させることができ
る。
【0036】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
【0037】図1は、本発明の第一実施形態に係わる光
送受信半導体装置の平面図(A)及び断面図(B)であ
る。この光送受信半導体装置は、非導電性の凹型積層基
板1の同一平面上に、発光素子あるいは受光素子(以
下、光素子と略す)3、発光素子駆動用半導体あるいは
受光素子出力増幅用半導体(以下、光素子用半導体と略
す)5が配置され、これら光素子3と光素子用半導体5
とを電気的に接続する配線7が施されている。
【0038】光素子3の周囲には、これのみを囲む四角
形の溝9が設けられている。この溝9には、配線7が施
されている位置に2箇所の断続部10があり、コの字型
の断続的な溝9となっている。この溝9に、透光性プラ
スチック製の蓋11が嵌合されている。
【0039】蓋11は、溝9の形状と同じ四角形であ
り、2箇所の断続部10に対応する位置に凹部があるた
め、溝9と嵌合して光素子3のみを中空封止している。
この蓋11には、光素子3に対応する位置に凸レンズ1
3が形成され、蓋11と一体化されている。
【0040】蓋11で中空封止された光素子3以外の、
光素子用半導体5や配線7は、樹脂14で封止されて大
気中の湿気から保護されている。この樹脂14による封
止は同時に蓋11の固定も兼ねている。
【0041】このように、第一実施形態による光送受信
半導体装置は、光素子3、光素子用半導体5、及び配線
7を積層基板1と共に一体化させているので、生産性や
コスト面に優れている。光素子3のみを囲む溝9に蓋1
1が嵌合して光素子3を中空封止するので、光素子3を
理想的な環境に置くことができる。また、凸レンズ13
が透光性プラスチック製であるので、その形状を自由に
設計することができ、光結合の効率を向上させることが
できる。
【0042】特に従来問題となっていた、凸レンズ13
と光素子3それぞれの中心の位置合わせについては、精
度良くこれを行うことができるようになった。溝9を、
光素子3のみを囲むように設けているので、溝9の径x
を小さくできるからである。具体的には、寸法xを3m
m、蓋11のそれも同様に3mmにできるので、溝9の
許容誤差は±0.05mm以下、蓋11のそれは±0.
025mm以下が可能となる。
【0043】従って溝9は2.95〜3.05mm、蓋
11は2.975〜3.025mmの範囲で製造され、
標準で0mm、最大でも0.075mmの僅かなずれが
溝9と蓋11との間で生じる程度である。凸レンズ13
の中心と光素子3の中心との間ではこれらの半分の値、
すなわち標準で0mm、最大でも0.0375mmとな
り、従来の1/4以下に抑えることができる。
【0044】ここで、例えば溝9の径xが3.05mm
で、蓋11のそれが2.975mmであった場合、蓋1
1の径の方が小さいので、通常では蓋11は溝9と嵌合
できない。しかし蓋11には、溝9の2箇所の断続部1
0に対応する位置に凹部があるため、図2で示すように
変形が可能である。
【0045】以上のことより、蓋11と溝9との位置ず
れをほとんど無くすことができ、この結果凸レンズ13
の中心と光素子3の中心とを精度良く位置合わせするこ
とが可能となり、効率の良い光結合を実現できる。
【0046】次に、本発明の第二実施形態を図面に基づ
いて説明する。図3は、本発明の第二実施形態に係わる
光送受信半導体装置の平面図(A)及び断面図(B)で
ある。なお、図1で示した第一実施形態と同じ要素のも
のには同一番号を付した。
【0047】この光送受信半導体装置は、非導電性の凹
型積層基板1の異なる高さに、光素子3、光素子用半導
体5、及び配線7が配置あるいは施されている。積層基
板1の積層間にはスルーホール配線15が備えられてお
り、このスルーホール配線15によって光素子3、光素
子用半導体5、及び配線7の間が電気的に接続される。
【0048】光素子3の周囲には、これを中心とする円
形の溝9が設けられている。この溝9には、図3(A)
中、上下に2箇所の断続部10があり、半円型の断続的
な溝9となっている。この溝9に、透光性プラスチック
製の蓋11が嵌合されている。
【0049】蓋11には、溝9の形状と同じ円形で、2
箇所の断続部10に対応する位置に凹部がある嵌合部1
7が設けられている。この嵌合部17が溝9と嵌合し、
積層基板1の周辺と共に接着されることによって積層基
板1全体が中空封止される。この蓋11には、光素子3
に対応する位置の内側のみに凸レンズ13が形成され、
蓋11と一体化されている。勿論、両側に形成すること
も可能である。
【0050】このように、第二実施形態による光送受信
半導体装置は、第一実施形態と同様、光素子3、光素子
用半導体5、配線7、及びスルーホール配線15を積層
基板1と共に一体化させているので、生産性やコスト面
に優れている。光素子3を中心とした円形の溝9に蓋1
1の嵌合部17が嵌合して積層基板1全体を中空封止す
るので、光素子3のみならず積層基板1の上に配置ある
いは施される全てを理想的な環境に置くことができる。
また、凸レンズ13が透光性プラスチック製であるの
で、その形状を自由に設計することができ、光結合の効
率を向上させることができる。
【0051】さらに、第二実施形態では、積層基板1の
積層を利用して光素子3を配置する高さを可変すること
ができる。これにより、例えば受光素子であれば高い位
置に、発光素子であれば低い位置に配置したり、光ファ
イバー先端の径に応じて高さを変えることができるの
で、焦点を合わせ易くなる。
【0052】凸レンズ13と光素子3それぞれの中心の
位置合わせについては、第一実施形態と全く同様であ
り、精度良く位置合わせすることが可能となり、効率の
良い光結合を実現できる。第二実施形態では溝9が円形
であるために嵌合部17も円形となるので、よりいっそ
う精度が良くなる。
【0053】なお、第一及び第二実施形態において、溝
9の断続部10を2箇所としたが、これに限ること無
く、2箇所以上有っても良いものである。但し、1箇所
以上無いと、製造が困難であるか、位置合わせ精度が悪
くなる。理想的には対称的に2箇所以上にするのが望ま
しい。溝9は、光素子3のみを囲むようにし、光素子3
を中心とする最小の径で設計するのが望ましい。
【0054】また、図1及び図3で示した各実施形態で
は、それぞれの一例を示したものであり、今回の実施形
態に限らず、溝9及びこれと嵌合する蓋11や嵌合部1
7の形状、光素子3を配置する高さ、スルーホール配線
15の有無、光素子3のみの中空封止、積層基板1全体
の中空封止など様々な組み合わせが可能なものである。
【0055】以下に、凸レンズ13の形状に係わる実施
形態を、第三実施形態として説明する。従来の技術でも
説明したように、凸レンズ13はその形状によって、光
送信半導体装置用と光受信半導体装置用とで使い分ける
のが望ましい。図4は、第三実施形態に係わる凸レンズ
の断面図であり、図4(A)は送信用、図4(B)は受
信用を示している。
【0056】図4(A)に示すように、送信用の凸レン
ズ13aの形状は、外側の曲率半径をr1、発光素子3
a側の曲率半径をr2とすると、∞≧r2≧5×r1と
なり、かつ外側の高さをh1、発光素子3a側の高さを
h2とすると、0≦h1≦2×h2となるような形状で
ある。
【0057】このように、送信用の凸レンズ13aは、
発光素子3a側の曲率半径r2を外側の曲率半径r1の
5倍以上にし、外側の高さh1を発光素子3a側の高さ
h2の2倍以下にすることにより、効率良く光結合させ
ることができる。
【0058】また図4(B)に示すように、受信用の凸
レンズ13bの形状は、外側の曲率半径をr1、受光素
子3b側の曲率半径をr2とすると、∞≧r1≧5×r
2となり、かつ外側の高さをh1、受光素子3b側の高
さをh2とすると、0≦h2≦2×h1となるような形
状である。
【0059】このように、受信用の凸レンズ13bは、
外側の曲率半径r1を受光素子3b側の曲率半径r2の
5倍以上にし、受光素子3b側の高さh2を外側の高さ
h1の2倍以下にすることにより、効率良く光結合させ
ることができる。
【0060】最後に、本発明の光送信半導体装置と従来
のそれとの、各評価項目に対する評価結果を表1に示
す。
【0061】
【表1】 この表から明らかなように、一体化、素子環境、位置合
わせ、設計自由度、低コストの各評価項目に対し、本発
明による光送信半導体装置が平均して優れていることが
分かる。
【0062】
【発明の効果】以上、本発明によれば、発光素子と発光
素子駆動用半導体、あるいは受光素子と受光素子出力増
幅用半導体、及び配線を積層基板と共に一体化させるこ
とができるので、生産性も良く、低コストである。少な
くとも発光素子あるいは受光素子を中空封止するので、
理想的な環境に置くことができる。
【0063】また、小さい径の溝と蓋を嵌合させるの
で、凸レンズの中心と発光素子あるいは受光素子の中心
とが精度良く位置合わせされる。これにより、光結合の
効率を向上させることができる。さらに、凸レンズを透
光性プラスチックで形成するので、設計自由度が高くな
るため、よりいっそう効率の良い光結合を実現させるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態に係わる光送受信半導体
装置の平面図及び断面図。
【図2】本発明に係わる光送受信半導体装置に備えられ
た蓋の変形を示す断面図。
【図3】本発明の第二実施形態に係わる光送受信半導体
装置の平面図及び断面図。
【図4】本発明の第三実施形態に係わる凸レンズの断面
図。
【図5】従来の光送受信半導体装置の一例を示す断面
図。
【図6】一体化された従来の光送受信半導体装置の一例
を示す断面図。
【図7】理想的な従来の光送受信半導体装置の例を示す
平面図及び断面図。
【図8】光素子と光ファイバーの先端が凸レンズを介し
て光結合する様子を示す断面図。
【符号の説明】 1 積層基板 3 光素子(発光素子あるいは受光素子) 3a 発光素子 3b 受光素子 5 光素子用半導体(発光素子駆動用半導体あるいは受
光素子出力増幅用半導体) 7 配線 9 溝 10 断続部 11 蓋 13,13a,13b 凸レンズ 14 樹脂 15 スルーホール配線 17 嵌合部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ファイバーの先端と光結合する光送受
    信半導体装置であって、 非導電性の積層基板と、 該積層基板上に配置された発光素子及び発光素子駆動用
    半導体、あるいは受光素子及び受光素子出力増幅用半導
    体と、 前記積層基板上に施され、前記発光素子と発光素子駆動
    用半導体、あるいは前記受光素子と受光素子出力増幅用
    半導体とを電気的に接続する配線と、 前記積層基板上に設けられた、前記発光素子あるいは受
    光素子のみを囲む溝と、 該溝と嵌合することによって少なくとも前記発光素子あ
    るいは受光素子を中空封止する蓋とを備え、 前記溝は、1箇所以上の断続部を有する断続的な溝であ
    り、 前記蓋は、前記光ファイバーの先端と前記発光素子ある
    いは受光素子との間で送受信される光が通過する凸レン
    ズを有する透光性プラスチック製の蓋であり、前記溝と
    嵌合することによって前記凸レンズと前記発光素子ある
    いは受光素子とが位置合わせされることを特徴とする光
    送受信半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記蓋は前記発光素子あるいは受光素子
    のみを中空封止し、前記発光素子駆動用半導体あるいは
    受光素子出力増幅用半導体、及び前記配線は樹脂封止さ
    れることを特徴とする請求項1記載の光送受信半導体装
    置。
  3. 【請求項3】 前記蓋は、前記積層基板全体を中空封止
    することを特徴とする請求項1記載の光送受信半導体装
    置。
  4. 【請求項4】 前記溝は、前記発光素子あるいは受光素
    子を中心とする円形の溝であることを特徴とする請求項
    1記載の光送受信半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記発光素子、発光素子駆動用半導体、
    及び前記配線間、あるいは前記受光素子、受光素子出力
    増幅用半導体、及び前記配線間の電気的接続を、前記積
    層基板の積層間に設けられたスルーホール配線を用いて
    行うことを特徴とする請求項1記載の光送受信半導体装
    置。
  6. 【請求項6】 前記発光素子を少なくとも中空封止する
    前記蓋に有する前記凸レンズは、前記発光素子側の曲率
    半径が外側の曲率半径の5倍以上であると共に、外側の
    高さが発光素子側の高さの2倍以下であることを特徴と
    する請求項1記載の光送受信半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記受光素子を少なくとも中空封止する
    前記蓋に有する前記凸レンズは、外側の曲率半径が前記
    受光素子側の曲率半径の5倍以上であると共に、受光素
    子側の高さが外側の高さの2倍以下であることを特徴と
    する請求項1記載の光送受信半導体装置。
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