JPH10204679A - カップ式めっき装置 - Google Patents
カップ式めっき装置Info
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- JPH10204679A JPH10204679A JP774097A JP774097A JPH10204679A JP H10204679 A JPH10204679 A JP H10204679A JP 774097 A JP774097 A JP 774097A JP 774097 A JP774097 A JP 774097A JP H10204679 A JPH10204679 A JP H10204679A
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- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims abstract description 124
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 208000024891 symptom Diseases 0.000 description 1
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】めっき対象物の被めっき面とめっき液流出路と
の間にある段差部でのめっき液の流れの澱みを解消する
ことのできるカップ式めっき装置の提供。 【解決手段】カップ状のめっき槽１は、その上部開口に
沿って支持部３を有し、また支持部の下側位置にめっき
液流出路４を有する。このめっき槽では、めっき液供給
部８から上昇流で供給されるめっき液がめっき液流出路
からめっき槽の外部へ流出する流れを形成し、このめっ
き液に支持部に載置のめっき対象物Ｕの被めっき面を接
触させることで、めっきを施す。そしてそのめっき液流
出路の入口に沿って導流壁１１を設けてあり、この導流
壁によりめっき液流出路の入口に向けてのめっき液の流
れに強制的な蛇行流を与えることで、段差部でのめっき
液の流れの澱みを解消するようにしている。
の間にある段差部でのめっき液の流れの澱みを解消する
ことのできるカップ式めっき装置の提供。 【解決手段】カップ状のめっき槽１は、その上部開口に
沿って支持部３を有し、また支持部の下側位置にめっき
液流出路４を有する。このめっき槽では、めっき液供給
部８から上昇流で供給されるめっき液がめっき液流出路
からめっき槽の外部へ流出する流れを形成し、このめっ
き液に支持部に載置のめっき対象物Ｕの被めっき面を接
触させることで、めっきを施す。そしてそのめっき液流
出路の入口に沿って導流壁１１を設けてあり、この導流
壁によりめっき液流出路の入口に向けてのめっき液の流
れに強制的な蛇行流を与えることで、段差部でのめっき
液の流れの澱みを解消するようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばウエーハのよう
な板状のめっき対象物にめっきを施のに用いられるカッ
プ式めっき装置に関する。
な板状のめっき対象物にめっきを施のに用いられるカッ
プ式めっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】カップ式めっき装置の典型的な基本構造
は図３に示すようになっている。図に見られるように、
カップ式めっき装置は、カップ状のめっき槽１を備えて
いる。そのめっき槽１はその槽部２の上部開口に沿って
これを環状に囲む支持部３を有している。また支持部３
の下側にはめっき液流出路４が設けられている。このめ
っき液流出路４は、一般に、めっき槽１を二重構造とす
ることで形成されている。つまりめっき槽１を本体部５
とブリッジディスク部６で形成する。そして本体部５の
上端面に適宜な間隔で凸条７を放射状に形成し、この凸
条７の上にブリッジディスク部６を載せることで、各凸
条７の間がめっき液流出路４となるようにしてある。
は図３に示すようになっている。図に見られるように、
カップ式めっき装置は、カップ状のめっき槽１を備えて
いる。そのめっき槽１はその槽部２の上部開口に沿って
これを環状に囲む支持部３を有している。また支持部３
の下側にはめっき液流出路４が設けられている。このめ
っき液流出路４は、一般に、めっき槽１を二重構造とす
ることで形成されている。つまりめっき槽１を本体部５
とブリッジディスク部６で形成する。そして本体部５の
上端面に適宜な間隔で凸条７を放射状に形成し、この凸
条７の上にブリッジディスク部６を載せることで、各凸
条７の間がめっき液流出路４となるようにしてある。
【０００３】さらにめっき槽１は槽部２の内部にめっき
液供給部８を有している。そして図外の循環機構を介し
て供給されるめっき液がめっき液供給部８から上昇流で
槽部２へ流入し、このめっき液が矢印の如くめっき液流
出路４からめっき槽１の外部へ流出する流れを形成し、
この流動状態にあるめっき液に支持部３に載置のめっき
対象物、例えばウエーハＵの被めっき面を接触させるこ
とでめっきを施すようになっている。
液供給部８を有している。そして図外の循環機構を介し
て供給されるめっき液がめっき液供給部８から上昇流で
槽部２へ流入し、このめっき液が矢印の如くめっき液流
出路４からめっき槽１の外部へ流出する流れを形成し、
この流動状態にあるめっき液に支持部３に載置のめっき
対象物、例えばウエーハＵの被めっき面を接触させるこ
とでめっきを施すようになっている。
【０００４】ところでめっき液流出路４は、できるだけ
支持部３に近接させて設けられている。しかし支持部３
は、ウエーハＵを支持するのに必要な強度、より具体的
にはウエーハＵを支持部３に配してあるカソード電極
（図示を省略）に密着させ、またウエーハＵと支持部３
に設けてあるシール部材（図示を省略）との水密的な密
着を得るためにウエーハＵを上方から所定の圧力で押圧
することになるが、このような負荷を受けたウエーハＵ
を支持するのに必要な強度に応じた厚みｔを有しており
（図４）、この厚みｔの分だけはめっき液流出路４の上
端が支持部３に載置のウエーハＵの被めっき面から離れ
ることになる。
支持部３に近接させて設けられている。しかし支持部３
は、ウエーハＵを支持するのに必要な強度、より具体的
にはウエーハＵを支持部３に配してあるカソード電極
（図示を省略）に密着させ、またウエーハＵと支持部３
に設けてあるシール部材（図示を省略）との水密的な密
着を得るためにウエーハＵを上方から所定の圧力で押圧
することになるが、このような負荷を受けたウエーハＵ
を支持するのに必要な強度に応じた厚みｔを有しており
（図４）、この厚みｔの分だけはめっき液流出路４の上
端が支持部３に載置のウエーハＵの被めっき面から離れ
ることになる。
【０００５】つまりウエーハＵの被めっき面とめっき液
流出路４との間に支持部３の厚みに応じて段差部９があ
ることになる。このような段差部９はめっき液の流れに
澱みを生じさせ、そこに気泡Ｂが滞留しやすくなる。そ
してこのように滞留した気泡はめっきの形成を阻害する
ことになる。特にウェーハの使用効率を高めるためにウ
ェーハの外周端近辺にも有効なめっきを正確に施すこと
が要求される最近の状況下ではこのような滞留気泡によ
るめっき阻害が無視できない問題となってきている。
流出路４との間に支持部３の厚みに応じて段差部９があ
ることになる。このような段差部９はめっき液の流れに
澱みを生じさせ、そこに気泡Ｂが滞留しやすくなる。そ
してこのように滞留した気泡はめっきの形成を阻害する
ことになる。特にウェーハの使用効率を高めるためにウ
ェーハの外周端近辺にも有効なめっきを正確に施すこと
が要求される最近の状況下ではこのような滞留気泡によ
るめっき阻害が無視できない問題となってきている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のような知見に基
づいてなされたのが本発明で、めっき対象物の被めっき
面とめっき液流出路との間にある段差部でのめっき液の
流れの澱みを解消することのできるカップ式めっき装置
の提供を目的としている。
づいてなされたのが本発明で、めっき対象物の被めっき
面とめっき液流出路との間にある段差部でのめっき液の
流れの澱みを解消することのできるカップ式めっき装置
の提供を目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によるカップ式め
っき装置は、カップ状のめっき槽の上部開口に沿って支
持部が設けられるとともに、この支持部の下側位置にめ
っき槽の内部から外部に貫通するめっき液流出路が設け
られ、さらにめっき槽の内部にめっき液供給部が設けら
れ、そしてめっき液供給部から上昇流で供給されるめっ
き液にめっき液流出路からめっき槽の外部へ流出する流
れを形成させ、このめっき液に支持部に載置のめっき対
象物の被めっき面を接触させることで、めっきを施す構
造を基本とし、めっき液流出路の入口に沿って導流壁を
設け、この導流壁の上端をめっき液流出路の入口の上端
よりも支持部に近接させることで、めっき液流出路の入
口に向けてのめっき液の流れに強制的な蛇行流を与える
ようにした構造を特徴としている。
っき装置は、カップ状のめっき槽の上部開口に沿って支
持部が設けられるとともに、この支持部の下側位置にめ
っき槽の内部から外部に貫通するめっき液流出路が設け
られ、さらにめっき槽の内部にめっき液供給部が設けら
れ、そしてめっき液供給部から上昇流で供給されるめっ
き液にめっき液流出路からめっき槽の外部へ流出する流
れを形成させ、このめっき液に支持部に載置のめっき対
象物の被めっき面を接触させることで、めっきを施す構
造を基本とし、めっき液流出路の入口に沿って導流壁を
設け、この導流壁の上端をめっき液流出路の入口の上端
よりも支持部に近接させることで、めっき液流出路の入
口に向けてのめっき液の流れに強制的な蛇行流を与える
ようにした構造を特徴としている。
【０００８】この構造によると、導流壁による導流で形
成されるめっき液流出路の入口近辺での強制的な蛇行流
により、めっき対象物の被めっき面とめっき液流出路と
の間にある段差部でのめっき液の流れの澱みを効果的に
解消することができる。つまりめっき液流出路へ向かう
めっき液の流れがめっき液流出路の入口に沿う導流壁に
より阻害されるように導流され、この結果、めっき液流
出路に向かうめっき液は、めっき対象物の被めっき面と
めっき液流出路との間にある段差部に沿うよう状態の蛇
行流となり、段差部に澱みの生じるのを効果的に防止で
きる。したがってめっき阻害要因となる気泡が段差部で
澱みにより滞留するのを効果的に解消することができ
る。
成されるめっき液流出路の入口近辺での強制的な蛇行流
により、めっき対象物の被めっき面とめっき液流出路と
の間にある段差部でのめっき液の流れの澱みを効果的に
解消することができる。つまりめっき液流出路へ向かう
めっき液の流れがめっき液流出路の入口に沿う導流壁に
より阻害されるように導流され、この結果、めっき液流
出路に向かうめっき液は、めっき対象物の被めっき面と
めっき液流出路との間にある段差部に沿うよう状態の蛇
行流となり、段差部に澱みの生じるのを効果的に防止で
きる。したがってめっき阻害要因となる気泡が段差部で
澱みにより滞留するのを効果的に解消することができ
る。
【０００９】
【実施の形態】以下、本発明の一実施形態について説明
する。本発明によるカップ式めっき装置は、例えばウエ
ーハのバンプめっき用である場合であれば、基本的には
上述した図３のカップ式めっき装置と同様とすることが
できる。すなわち図１に示すように、カップ状のめっき
槽１を備え、このめっき槽１は、その槽部２の上部開口
に沿って支持部３を有し、また支持部３の下側にめっき
液流出路４を有し、さらに槽部２の内部にめっき液供給
部８を有している。そしてそのめっき液流出路４は、上
端面に凸条７を有する本体部５とブリッジディスク部６
の組み合わせで形成されている。
する。本発明によるカップ式めっき装置は、例えばウエ
ーハのバンプめっき用である場合であれば、基本的には
上述した図３のカップ式めっき装置と同様とすることが
できる。すなわち図１に示すように、カップ状のめっき
槽１を備え、このめっき槽１は、その槽部２の上部開口
に沿って支持部３を有し、また支持部３の下側にめっき
液流出路４を有し、さらに槽部２の内部にめっき液供給
部８を有している。そしてそのめっき液流出路４は、上
端面に凸条７を有する本体部５とブリッジディスク部６
の組み合わせで形成されている。
【００１０】このような基本的な構造に加えて本発明の
特徴するところは、めっき液流出路４の入口に沿って導
流壁１１を有することである。導流壁１１は、本体部５
に付加するように形成することも可能であるのが、図の
例では本体部５の内側上端部から延設して形成してい
る。つまり本体部５をその内径がブリッジディスク部６
の内径より相対的に若干小さくなるように形成すること
で本体部５の内周面がブリッジディスク部６における支
持部３の内周面より内側に出るようにし、この本体部５
の上端面から導流壁１１を立設している。導流壁１１の
高さはその上端がめっき液流出路４の入口の上端よりも
支持部３に近接するようにする。具体的には図２中に示
す矢印のようなめっき液の流れにあまり大きな抵抗を与
えることのない程度の隙間Ｓａを支持部３に載置のウエ
ーハＵとの間に残せる程度とする。また導流壁１１とめ
っき液流出路４の入口との間にもめっき液の流れにあま
り大きな抵抗を与えることのない程度の隙間Ｓｂを与え
るようにする。
特徴するところは、めっき液流出路４の入口に沿って導
流壁１１を有することである。導流壁１１は、本体部５
に付加するように形成することも可能であるのが、図の
例では本体部５の内側上端部から延設して形成してい
る。つまり本体部５をその内径がブリッジディスク部６
の内径より相対的に若干小さくなるように形成すること
で本体部５の内周面がブリッジディスク部６における支
持部３の内周面より内側に出るようにし、この本体部５
の上端面から導流壁１１を立設している。導流壁１１の
高さはその上端がめっき液流出路４の入口の上端よりも
支持部３に近接するようにする。具体的には図２中に示
す矢印のようなめっき液の流れにあまり大きな抵抗を与
えることのない程度の隙間Ｓａを支持部３に載置のウエ
ーハＵとの間に残せる程度とする。また導流壁１１とめ
っき液流出路４の入口との間にもめっき液の流れにあま
り大きな抵抗を与えることのない程度の隙間Ｓｂを与え
るようにする。
【００１１】このような導流壁１１を設けることによ
り、めっき液はめっき液流出路４の入口近辺で矢印のよ
うな蛇行を生じる。そしてこの蛇行により、段差部９に
沿う流れを形成し、この結果、段差部９に澱みの生じる
のを効果的に防止できる。
り、めっき液はめっき液流出路４の入口近辺で矢印のよ
うな蛇行を生じる。そしてこの蛇行により、段差部９に
沿う流れを形成し、この結果、段差部９に澱みの生じる
のを効果的に防止できる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したごとく本発明のカップ式め
っき装置によると、めっき対象物の被めっき面とめっき
液流出路との間にある段差部でのめっき液の流れの澱み
を効果的に解消することができる。この結果、めっき阻
害要因となる気泡が澱みにより滞留するのを効果的に解
消でき、ウェーハなどのめっきをより効率的に行なうこ
とができる。
っき装置によると、めっき対象物の被めっき面とめっき
液流出路との間にある段差部でのめっき液の流れの澱み
を効果的に解消することができる。この結果、めっき阻
害要因となる気泡が澱みにより滞留するのを効果的に解
消でき、ウェーハなどのめっきをより効率的に行なうこ
とができる。
【図１】本発明によるカップ式めっき装置の内部構造を
示す断面図。
示す断面図。
【図２】図１のカップ式めっき装置の部分拡大図。
【図３】従来のカップ式めっき装置の内部構造を示す断
面図。
面図。
【図４】図３のカップ式めっき装置の部分拡大図。
１ めっき槽 ３ 支持部 ４ めっき液流出路 ８ めっき液供給部 １１ 導流壁 Ｕ ウェーハ（めっき対象物）
Claims (1)
- 【請求項１】 カップ状のめっき槽の上部開口に沿って
支持部が設けられるとともに、この支持部の下側位置に
めっき槽の内部から外部に貫通するめっき液流出路が設
けられ、さらにめっき槽の内部にめっき液供給部が設け
られ、そしてめっき液供給部から上昇流で供給されるめ
っき液にめっき液流出路からめっき槽の外部へ流出する
流れを形成させ、このめっき液に支持部に載置のめっき
対象物の被めっき面を接触させることで、めっきを施す
ようになっているカップ式めっき装置において、 めっき液流出路の入口に沿って導流壁を設け、この導流
壁の上端をめっき液流出路の入口の上端よりも支持部に
近接させることで、めっき液流出路の入口に向けてのめ
っき液の流れに強制的な蛇行流を与えるようにしたこと
を特徴とするカップ式めっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP774097A JPH10204679A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | カップ式めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP774097A JPH10204679A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | カップ式めっき装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10204679A true JPH10204679A (ja) | 1998-08-04 |
Family
ID=11674109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP774097A Pending JPH10204679A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | カップ式めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10204679A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001316871A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法、及び液処理装置 |
-
1997
- 1997-01-20 JP JP774097A patent/JPH10204679A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001316871A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法、及び液処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040623 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050426 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050616 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050721 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050920 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |