JPH0385470U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0385470U JPH0385470U JP14683089U JP14683089U JPH0385470U JP H0385470 U JPH0385470 U JP H0385470U JP 14683089 U JP14683089 U JP 14683089U JP 14683089 U JP14683089 U JP 14683089U JP H0385470 U JPH0385470 U JP H0385470U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- substrate
- plating
- cup
- cathode contact
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
第1図および第2図はこの発明の一実施例を示
すカツプ部断面図および電解めつき装置の主要部
構成断面図、第3図は従来の電解めつき装置の構
成を示す断面図である。図において、1……カツ
プ部、1a……めつき液流入口、1b……めつき
液流出口、1c……基板ステージ、1d……第1
のセル、1e……第2のセル、1f……すのこ穴
、1g……めつき液流出パイプ、1h……第3の
セル、2……基板、3……電源、4……アノード
、5……2と接触するカソードコンタクト部、6
……めつき槽、6a……めつき槽のドレイン、7
……めつき液タンク、8……めつき液循環用ポン
プ、9……矢印はめつき液のフロー、10……実
線はめつき液送液配管、を示す。尚、図中、同一
符号は同一または相当部分を示す。
すカツプ部断面図および電解めつき装置の主要部
構成断面図、第3図は従来の電解めつき装置の構
成を示す断面図である。図において、1……カツ
プ部、1a……めつき液流入口、1b……めつき
液流出口、1c……基板ステージ、1d……第1
のセル、1e……第2のセル、1f……すのこ穴
、1g……めつき液流出パイプ、1h……第3の
セル、2……基板、3……電源、4……アノード
、5……2と接触するカソードコンタクト部、6
……めつき槽、6a……めつき槽のドレイン、7
……めつき液タンク、8……めつき液循環用ポン
プ、9……矢印はめつき液のフロー、10……実
線はめつき液送液配管、を示す。尚、図中、同一
符号は同一または相当部分を示す。
補正 平2.3.9
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第8頁第15行目に「発明」とあるのを
「考案」と訂正する。
「考案」と訂正する。
Claims (1)
- ポンプによるめつき液の循環機能を有し、めつ
き槽内に設けられその上部から常にオーバーフロ
ーし循環するめつき液を収容するカツプ部と、こ
のカツプ部に設けられ基板と接触するカソードコ
ンタクト部と、前記基板およびカソードコンタク
ト部に対向するように配されたアノード部と、前
記カソードコンタクト部とアノード部間に電界を
かけ、前記基板表面にめつき金属層を形成する電
源手段とを備えた電解めつき装置において、前記
カツプ部内に基板ステーを設け、前記カツプ部が
前記基板ステージ上に前記基板を基板表面を上向
きにして設置する第1のセルと、この第1のセル
の上部に配され、前記めつき液を導入し、前記第
1のセルへ前記アノード部が固定されたすのこ穴
を有する壁を通して供給する第2のセルと、この
第2のセルの上部に配され前記第1のセルと少な
くとも1本以上のパイプにより連結され、前記カ
ツプ上方より前記めつき液を噴出せしめる噴出口
を配した第3のセルとを備えた事を特徴とする電
解めつき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989146830U JPH086037Y2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 電解めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989146830U JPH086037Y2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 電解めっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0385470U true JPH0385470U (ja) | 1991-08-29 |
JPH086037Y2 JPH086037Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31693373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989146830U Expired - Lifetime JPH086037Y2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 電解めっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH086037Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08253892A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Nippondenso Co Ltd | めっき装置およびめっき方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01294888A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-28 | Mitsubishi Electric Corp | 電解メッキ装置 |
-
1989
- 1989-12-19 JP JP1989146830U patent/JPH086037Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01294888A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-28 | Mitsubishi Electric Corp | 電解メッキ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08253892A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Nippondenso Co Ltd | めっき装置およびめっき方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH086037Y2 (ja) | 1996-02-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |