JPH0385470U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの発明の一実施例を示
すカツプ部断面図および電解めつき装置の主要部
構成断面図、第３図は従来の電解めつき装置の構
成を示す断面図である。図において、１……カツ
プ部、１ａ……めつき液流入口、１ｂ……めつき
液流出口、１ｃ……基板ステージ、１ｄ……第１
のセル、１ｅ……第２のセル、１ｆ……すのこ穴
、１ｇ……めつき液流出パイプ、１ｈ……第３の
セル、２……基板、３……電源、４……アノード
、５……２と接触するカソードコンタクト部、６
……めつき槽、６ａ……めつき槽のドレイン、７
……めつき液タンク、８……めつき液循環用ポン
プ、９……矢印はめつき液のフロー、１０……実
線はめつき液送液配管、を示す。尚、図中、同一
符号は同一または相当部分を示す。

補正 平２．３．９ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第８頁第１５行目に「発明」とあるのを
「考案」と訂正する。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ポンプによるめつき液の循環機能を有し、めつ
   き槽内に設けられその上部から常にオーバーフロ
   ーし循環するめつき液を収容するカツプ部と、こ
   のカツプ部に設けられ基板と接触するカソードコ
   ンタクト部と、前記基板およびカソードコンタク
   ト部に対向するように配されたアノード部と、前
   記カソードコンタクト部とアノード部間に電界を
   かけ、前記基板表面にめつき金属層を形成する電
   源手段とを備えた電解めつき装置において、前記
   カツプ部内に基板ステーを設け、前記カツプ部が
   前記基板ステージ上に前記基板を基板表面を上向
   きにして設置する第１のセルと、この第１のセル
   の上部に配され、前記めつき液を導入し、前記第
   １のセルへ前記アノード部が固定されたすのこ穴
   を有する壁を通して供給する第２のセルと、この
   第２のセルの上部に配され前記第１のセルと少な
   くとも１本以上のパイプにより連結され、前記カ
   ツプ上方より前記めつき液を噴出せしめる噴出口
   を配した第３のセルとを備えた事を特徴とする電
   解めつき装置。