JPH086037Y2 - 電解めっき装置 - Google Patents

電解めっき装置

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JPH086037Y2
JPH086037Y2 JP1989146830U JP14683089U JPH086037Y2 JP H086037 Y2 JPH086037 Y2 JP H086037Y2 JP 1989146830 U JP1989146830 U JP 1989146830U JP 14683089 U JP14683089 U JP 14683089U JP H086037 Y2 JPH086037 Y2 JP H086037Y2
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JP
Japan
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cell
substrate
plating solution
plating
anode
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JP1989146830U
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克也 小崎
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Mitsubishi Electric Corp
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は基板の主面に金属層を形成する電解めっき
装置に関するものである。
〔従来の技術〕
第3図は従来の電解めっき装置の構成を示す断面図
で、図において、(1)はカップ部、(1a)はめっき液
噴流口、(1b)はカップ部(1)からめっき液が流出す
るめっき液オーバーフロー部、(2)は基板、(3)は
電源、(4)はアノード、(5)は基板(2)と接触す
るカソードコンタクト部、(6)はめっき槽、(6a)は
めっき槽のドレイン、(7)はめっき液タンク、(8)
はめっき液循環用ポンプ、(9)の矢印はめっき液のフ
ロー、(10)の実線はめっき液送液配管、(11)の破線
はめっき液を通じてこの電流のリークをそれぞれ示して
いる。
次に機能および動作について説明する。
基板(2)は金属層が形成される主面側を下向きに
し、カップ部(1)に固定されたカソードコンタクト部
(5)の先端に接触して配置され、同時に電源(3)の
負極側と基板(1)の主面側との電気的コンタクトを得
る。まためっき液噴流口(1a)はめっき液循環用ポンプ
(8)に接続され、めっき液はその流れを図示矢印
(9)で示すように、めっき液噴流口(1a)から噴出
し、基板(2)主面側と接しつつ、カップ部(1)のめ
っき液噴流口(1b)からオーバーフローし、めっき液タ
ンク(7)に回収され、再びめっき液循環ポンプ(8)
によってカップ部(1)に送られる。アノード(4)は
カップ部(1)内に基板(2)に平行になるように設置
され、カップ部(1)にめっき液を流しながらアノード
(4)と基板(2)、つまりカソード間に電流を印加す
ることによって、めっき液の電解反応がおこり基板
(1)主面側にめっき金属が析出する。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の電解めっき装置は以上のように構成されていた
ので、電源とアノードおよびカソードを一組とした回路
は各カップ部間で独立に設置されているものの、実際に
は電解質であるめっき液を通じての電流リークがあり、
少なくとも2つ以上のカップをめっき槽内に配置しバッ
チ処理を行なう場合、各アノードばかりでなく各カソー
ドもそれぞれ同電位になってしまい、つまり各カップ部
は電気的に見ると並列回路と等価になる。よって、電源
に定電流電源を用いる場合、例えば各カップ部において
カソードコンタクト部と基板との間の接触抵抗にばらつ
きがあると、各基板に供給される電流量がばらつき、め
っき厚の精密制御の大きな障害となるという問題点があ
った。
この考案は上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、カソード間での電流のリークを防止しめっ
き厚の精密制御を可能とした電解めっき装置を得る事を
目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
この考案に係る電解めっき装置は、カップ部中にめっ
き被着面である基板主面を上向きに配置する基板ステー
ジを設け、カップ部が基板ステージ上に基板を基板表面
を上向きにして設置する第1のセルと、この第1のセル
の上部に配され、めっき液を導入し、前記第1のセルへ
前記アノード部が固定されたすのこ穴を有する壁を通し
て供給する第2のセルと、この第2のセルの上部に配さ
れアノード部が存在する部分において第1のセルと少な
くとも1本以上のパイプにより連結され、第1のセルか
らアノード部を通過して流入するめっき液をカップ上方
より噴出せしめる噴出口を配した第3のセルとを備えた
ものである。
〔作用〕
この考案における電解めっき装置は、カップ部が基板
ステージ上に基板を基板表面を上向きにして設置する第
1のセルと、この第1のセルの上部に配され、めっき液
を導入し、前記第1のセルへ前記アノード部が固定され
たすのこ穴を有する壁を通して供給する第2のセルと、
この第2のセルの上部に配されアノード部が存在する部
分において第1のセルと少なくとも1本以上のパイプに
より連結され、第1のセルからアノード部を通過して流
入するめっき液をカップ上方より噴出せしめる噴出口を
配した第3のセルとを備え、カップ部内においてアノー
ド上方よりめっき液が供給され、かつカップ部内のめっ
き液がアノードを通過した後にアノードの上方から排出
される構成としたので、これにより、基板、つまりカソ
ード電位を各カップ間において独立とすることができ、
バッチ処理においても、他のカップと電流リークの影響
を受ける事なく精密なめっき厚制御ができ、また、めっ
き液を基板表面の上方よりすのこ穴を介して供給するよ
うにしているので、めっき液を基板表面に均一にあてる
ことができ、良好なめっきを行うことができる。
〔実施例〕
以下、この考案の一実施例を図について説明する。
第1図および第2図はそれぞれこの考案の一実施例を
示すカップ部断面図および電解めっき装置主要部構成断
面図で、図中符号は前記従来のものと同一符号は同一に
つき説明は省略する。図において、(1a)はめっき液流
入口、(1b)はめっき液流出口、(1c)は基板ステー
ジ、(1d)は第1のセル、(1e)は第2のセル、(1f)
はすのこ穴、(1g)はめっき液流出パイプ、(1h)は第
3のセルを示す。
次に動作について説明する。
上記のように構成された電解めっき装置において、カ
ップ部(1)の第1のセル(1d)内の基板(2)はめっ
き被着面を上向きにし、基板ステージ(1C)上に設置さ
れる[第1図]。基板(2)は、適度に弾性を得た単数
又は複数本のピン状のカソードコンタクト部(5)によ
って押さえられ、同時に電源(3)の負極側と基板
(2)のめっき被着面側との電気的コンタクトを得る。
第1のセル(1d)と第2のセル(1e)の境界にはメッシ
ュ状のアノード(4)およびめっき液供給用すのこ穴
(1f)が配され、また、第1のセル(1d)と第3のセル
(1h)とはめっき液流出用パイプ(1g)によって連結さ
れている。めっき液はめっき液タンク(7)から循環用
ポンプ(8)によって、カップ部(1)のめっき液流入
口(1a)から第2のセル(1e)内に導入され、フローを
表わす矢印(9)が示す様に、すのこ穴(1f)およびメ
ッシュ状アノード(4)を通って第1のセル(1d)内に
入り、基板(2)のめっき被着面に到達後、再び前記メ
ッシュ状アノード(4)を通り、めっき液流出用パイプ
(1g)を通って、第3のセル(1h)に入り、めっき液流
出口(1b)から流出した後、めっき槽(6)のドレイン
(6a)からタンク(7)に回収される。上記経路でめっ
き液を循環させながら、アノード(4)とカソードつま
り基板(2)間に電流を印加する事によって、基板
(2)主面上に金属層形成できる。尚、すのこ穴(1f)
はめっき液を均一に基板に当てるために設けられたもの
で、穴(1f)の疎密や穴あけ角度を適当に調節する事に
よって、基板(2)上の液流を均一にする事ができる。
尚、上記実施例においてはアノード(4)にメッシュ
状のものを用いた場合を示したが、小孔を有し、通液性
の形状のものであればどんな形状のものであってもよ
い。
〔考案の効果〕
以上のようにこの考案によれば、カップ部が基板ステ
ージ上に基板を基板表面を上向きにして設置する第1の
セルと、この第1のセルの上部に配され、めっき液を導
入し、前記第1のセルへ前記アノード部が固定されたす
のこ穴を有する壁を通して供給する第2のセルと、この
第2のセルの上部に配されアノード部が存在する部分に
おいて第1のセルと少なくとも1本以上のパイプにより
連結され、第1のセルからアノード部を通過して流入す
るめっき液をカップ上方より噴出せしめる噴出口を配し
た第3のセルとを備え、カップ部内においてアノード上
方よりめっき液が供給され、かつカップ部内のめっき液
がアノードを通過した後にアノードの上方から排出され
る構成としたので、これにより、基板、つまりカソード
電位を各カップ間において独立とすることができ、バッ
チ処理においても、他のカップと電流リークの影響を受
ける事なく精密なめっき厚制御ができ、また、めっき液
を基板表面の上方よりすのこ穴を介して供給するように
しているので、めっき液を基板表面に均一にあてること
ができ、良好なめっきを行うことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はこの考案の一実施例を示すカップ
部断面図および電解めっき装置の主要部構成断面図、第
3図は従来の電解めっき装置の構成を示す断面図であ
る。図において、(1)はカップ部、(1a)はめっき液
流入口、(1b)はめっき液流出口、(1c)は基板ステー
ジ、(1d)は第1のセル、(1e)は第2のセル、(1f)
はすのこ穴、(1g)はめっき液流出パイプ、(1h)は第
3のセル、(2)は基板、(3)は電源、(4)はアノ
ード、(5)は(2)と接触するカソードコンタクト
部、(6)はめっき槽、(6a)はめっき槽のドレイン、
(7)はめっき液タンク、(8)はめっき液循環用ポン
プ、(9)の矢印はめっき液のフロー、(10)の実線は
めっき液送液配管、を示す。 尚、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】ポンプによるめっき液の循環機能を有し、
    めっき槽内に設けられその上部から常にオーバーフロー
    し循環するめっき液を収容するカップ部と、このカップ
    部に設けられ基板と接触するカソードコンタクト部と、
    前記基板およびカソードコンタクト部に対向するように
    配されたアノード部と、前記カソードコンタクト部とア
    ノード部間に電界をかけ、前記基板表面にめっき金属層
    を形成する電源手段とを備えた電解めっき装置におい
    て、前記カップ部内に基板ステージを設け、前記カップ
    部が前記基板ステージ上に前記基板を基板表面を上向き
    にして設置する第1のセルと、この第1のセルの上部に
    配され、前記めっき液を導入し、前記第1のセルへ前記
    アノード部が固定されたすのこ穴を有する壁を通して供
    給する第2のセルと、この第2のセルの上部に配され前
    記アノード部が存在する部分において前記第1のセルと
    少なくとも1本以上のパイプにより連結され、前記第1
    のセルから前記アノード部を通過して流入する前記めっ
    き液を前記カップ上方より噴出せしめる噴出口を配した
    第3のセルとを備えたことを特徴とする電解めっき装
    置。
JP1989146830U 1989-12-19 1989-12-19 電解めっき装置 Expired - Lifetime JPH086037Y2 (ja)

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