JPH10197632A - 超音波反射型距離測定装置 - Google Patents

超音波反射型距離測定装置

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JPH10197632A
JPH10197632A JP3105997A JP3105997A JPH10197632A JP H10197632 A JPH10197632 A JP H10197632A JP 3105997 A JP3105997 A JP 3105997A JP 3105997 A JP3105997 A JP 3105997A JP H10197632 A JPH10197632 A JP H10197632A
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JP
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wave
pulse
ultrasonic
circuit
waves
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JP3105997A
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English (en)
Inventor
Shoichi Horiuchi
正一 堀内
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HORIUCHI DENSHI SEKKEI KK
Original Assignee
HORIUCHI DENSHI SEKKEI KK
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  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検出分解能の向上を図り得る超音波反射型距
離測定装置を提供する。 【解決手段】 駆動パルスを減らし、反射検出波の特定
波が基準電圧以上となるように反射検出波を増幅し、こ
の増幅した反射検出波をローパスフィルタを通さずにコ
ンパレータ14に入力することにより、基準電圧と比較
される反射検出波の傾きを垂直に近くなるようにして、
伝播時間誤差を低減し、測定精度を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気中において超
音波を用いて対象物体に接触することなく対象物体まで
の距離や対象物体の厚み、あるいは対象物体の凹凸を測
定する超音波反射型距離測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】このような超音波反射型距離測定装置
は、危険な物体、透明な物体(透明液体の液面)、光線
を反射しない物体等を対象物体として、対象物体までの
距離、対象物体の厚み、あるいは対象物体の凹凸を測定
するものである。
【0003】従来、波の反射を利用する距離測定装置と
しては、超音波を用いるものの他に光を用いたものがあ
るが、光反射型の距離測定装置の対象物体は光を反射す
る物体に限られれる。このため、光を透過してしまう透
明物体の測定には、専ら超音波反射型の距離測定装置が
用いられる。
【0004】図5は従来の超音波反射型距離測定装置に
おける各部の波形を示す図である。(a)は駆動パルス
波形、(b)は反射検出波形、(c)は整流された反射
検出波形、(d)は反射検出パルス波形をそれぞれ示
す。
【0005】従来の超音波反射型距離測定装置は、駆動
パルス(図5のa)を対象物体に当てて、この対象物体
で反射された超音波(図5のb)を検出し、この反射検
出波をローパスフィルタに入力して包絡波形(図5の
c)を生成し、この包絡波形をコンパレータにより基準
電圧Vthと比較して反射検出パルス波形(出力波形)
(図5のd)を得て、超音波の放射開始から包絡波形電
圧が基準電圧Vth以上となるまでを超音波の伝播時間
として対象物体までの距離を算出しており、超音波反射
型距離測定装置の検出分解能の限界は0.1[mm]で
あった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の超
音波反射型距離測定装置には、従来の発射波および反射
波は、駆動波による振動部分と超音波振動子の慣性によ
る減衰振動部分から構成されており、反射波群を整流
し、1つの波形として処理するために基準とする反射波
の位置が反射波の振幅変動により数個の受信パルスにわ
たるため高い精度が得られなかった。また、適用対象物
体の範囲が広いという利点がある一方で、0.1[m
m]以上の高精度の距離測定が困難であるという問題が
あった。
【0007】本発明は、上記した問題点に着目して成さ
れたものであって、その目的とするところは、検出分解
能の向上を図り得る超音波反射型距離測定装置を提供す
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を解決するた
めに、請求項1の発明に係わる超音波反射型距離測定装
置は、所定の周波数でi(iは2以上の整数)個の駆動
パルスを発生する駆動パルス発生回路と、前記駆動パル
スに励起されて前記所定周波数の超音波を空気中に発射
し、対象物体で反射されて戻ってきた前記超音波の反射
波で励起されて前記周波数の超音波を反射検出波として
出力する超音波振動子と、前記反射検出波の第j(jは
1≦j≦iなる整数)波の電圧が、基準電圧以上とな
り、第j波以前の波の電圧が前記基準電圧より小さくな
るように、前記反射検出波を所定の利得で増幅する増幅
回路と、前記増幅された反射検出波を整流する整流回路
と、前記整流された反射検出波の電圧が前記基準電圧以
上となったとき、反射検出パルスを出力するコンパレー
タと、前記駆動パルスの第j波と前記反射検出パルスの
第j波との時間差を計測することにより、前記空気中に
放射した超音波が前記超音波振動子と前記対象物体の間
を往復するのに要した伝播時間を算出する時間計測回路
と、周囲温度に基づいて、前記空気中に放射した超音波
の伝播速度を算出し、この伝播速度と前記伝播時間とを
用いて、前記対象物体までの距離を算出する距離算出回
路と、前記増幅回路の増幅利得および基準電圧を予め最
適化しておく反射検出監視回路とを備えたことを特徴と
する。
【0009】かかる構成により、駆動パルスを減らし、
反射検出波の特定波が基準電圧以上となるように反射検
出波を増幅し、この増幅した反射検出波をローパスフィ
ルタを通さずにコンパレータに入力することにより、測
定精度を向上させることができる。
【0010】また、上記の目的を解決するために、請求
項2の発明に係わる超音波反射型距離測定装置は、請求
項1に記載の超音波反射型距離測定装置において、前記
反射検出監視回路は、前記整流回路からの反射検出波を
非反転入力、前記基準電圧よりも所定電圧だけ低い上限
電圧を反転入力とする第1のコンパレータと、前記整流
回路からの反射検出波を非反転入力、前記基準電圧より
も所定電圧だけ高い下限電圧を反転入力とする第2のコ
ンパレータと、前記第2のコンパレータの出力パルスを
トリガ入力としてトリガパルスの立ち上がりで動作し、
その出力パルス幅をPloとほぼ等しくする第1の単安
定マルチバイブレータと、前記第1のコンパレータの出
力パルスと前記第1の単安定マルチバイブレータの正相
出力パルスとを入力とする第1のAND素子と、前記第
1の単安定マルチバイブレータの逆相出力パルスをトリ
ガ入力としてトリガパルスの立ち上がりで動作し、特定
した反射波の次以降のパルスをキャンセルする第2の単
安定マルチバイブレータと、前記第1のAND素子の出
力パルスと前記第2の単安定マルチバイブレータの正相
出力パルスとを入力する第2のAND素子と、前記第2
のAND素子の出力パルスをトリガ入力としてトリガパ
ルスの立ち上がりで動作し、LEDの点滅を見易くする
ためにパルス幅を拡げる役目をする第3の単安定マルチ
バイブレータとを有する。
【0011】かかる構成により、駆動パルスを減らし、
反射検出波の特定波が基準電圧以上となるように反射検
出波を増幅し、この増幅した反射検出波をローパスフィ
ルタを通さずにコンパレータに入力することにより、測
定精度を向上させることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照して説
明する。図1の(1)は本発明の実施の形態を示す超音
波反射型距離測定装置の概略的な構成説明図、図1の
(2)は本発明の実施の形態を示す超音波反射型距離測
定装置の回路ブロック図である。
【0013】図1の(1)に示す距離測定装置1は、本
発明の距離測定方法を適用したものであり、超音波振動
子1aと、制御部1bとを有する。
【0014】前記超音波振動子1aは、共振周波数f0
の振動子であり、制御部1bからの周波数f0の駆動パ
ルスで励起されて周波数f0の超音波を空気中に発射
し、また対象物体2からの反射波で励起されて周波数f
0の超音波を制御部1bに入力する。以下空気中に発射
された超音波を放射波、制御部1bに入力される超音波
を反射検出波と称する。
【0015】前記制御部1bは、図1の(2)に示すよ
うに駆動パルス発生回路11と、増幅回路12と、整流
回路13と、コンパレータ14と、時間計測回路15
と、距離算出回路16と、反射検出監視回路17とを有
する。
【0016】前記駆動パルス発生回路11は、超音波振
動子1aを駆動する周波数f0の駆動パルスを発生す
る。ここでは駆動パルス数を4個とする。尚、駆動パル
ス数は4個に限定されるものではなく、2個以上であれ
ば良い。
【0017】前記増幅回路12は、超音波振動子1aか
らの反射検出波の特定波の電圧が基準電圧Vth以上と
なり、特定波以前の波の電圧が基準電圧Vthより小さ
くなるように、上記の反射検出波を所定の利得で増幅す
る。ここでは特定波を第2波とする。尚、増幅回路12
の増幅利得は可変設定できるものとする。この増幅利得
は反射検出波の特定波である第2波の電圧がちょうど飽
和するように設定されていることが好ましい。
【0018】前記整流回路13は、増幅回路12で増幅
された反射検出波電圧を整流する。また、前記コンパレ
ータ14は、整流回路13で整流された反射検出波電圧
が基準電圧Vth以上となるとき”H”レベルとなる反
射検出パルスを生成する。尚、基準電圧Vthは可変設
定できるものとする。
【0019】前記時間計測回路15は、上記の駆動パル
スの第2波と反射検出パルスの第1波との時間差を計測
することにより、超音波が超音波振動子1aと対象物体
2の間を往復するのに要した伝播時間Tを算出する。
【0020】前記距離算出回路16は、入力された周囲
温度t[℃]から超音波の伝播速度Vs[m/s]を算
出し、この伝播速度Vsと上記の伝播時間Tとを用いて
対象物体2までの距離Lを算出する。伝播速度Vs[m
/s]は次式を用いて算出す る。 Vs=331.5+0.60714t
[m/s] (1) また距離L[m]は次式を用いて算出する。 L=(VsxT)/2 [m] (2) 尚、反射検出監視回路17については後述する。
【0021】次に、図1に示す距離測定装置の動作を説
明する。図2は本発明の実施の形態を示す距離測定装置
の各部における波形図であり、(a)は駆動パルス波
形、(b)は増幅された反射検出波形、(c)は整流さ
れた反射検出波形、(d)は反射検出パルス波形をそれ
ぞれ示す。
【0022】駆動パルス発生回路11で図2(a)に示
す4個の駆動パルスを生成し、この駆動パルスを時間計
測回路15に入力するとともに、この駆動パルスで超音
波振動子1aを励起し、超音波振動子1aから周波数f
0の超音波を空気中に放射する。
【0023】上記の放射波は対象物体2で反射され、こ
の反射波は超音波振動子1aに戻り、超音波振動子1a
を励起し、超音波振動子1aは周波数f0の反射検出波
を制御部1bに入力する。
【0024】上記した反射検出波は、増幅回路12で図
2(b)に示すように増幅され、さらに整流回路13で
図2(c)に示すように整流される。
【0025】整流回路13で整流された反射検出波は、
コンパレータ14に入力され、基準電圧Vthと比較さ
れる。この反射検出波は、第1波が基準電圧Vthより
小さくなり、第2波が基準電圧Vthより大きくなるよ
うに増幅回路12で増幅されたものなので、コンパレー
タ14は、反射検出波の第2波〜第4波で”H”レベル
となる反射検出パルスを出力する。尚、反射検出波の減
衰振動部分である第5波以降も基準電圧Vthより大き
くなり、このため反射検出パルスのパルス数は4個以上
となるが(ここでは反射検出パルスのパルス数は6個で
ある)、このことは距離測定の精度には影響しない。
【0026】上記した反射検出パルスは、時間計測回路
15に入力され、時間計測回路15において駆動パルス
生成回路11からの駆動パルスの第2波と、反射検出パ
ルスの第1波との時間差が計測され、伝播時間T[s]
が算出される。
【0027】そして、距離算出回路16において、外部
から入力された周囲温度t[℃]を式(1)に代入して
伝播速度Vs[m/s]を算出し、この伝播速度Vsと
上記の伝播時間T[s]とを用いて式(2)により対象
物体2までの距離Lを算出する。
【0028】従来の発射波および反射波は、駆動波によ
る振動部分と超音波振動子1の慣性による減衰振動部分
から構成されており、反射波群を整流し、1つの波形と
して処理するために基準とする反射波の位置が反射波の
振幅変動により数個の受信パルスにわたるため高い精度
が得られなかった。しかし、本発明では反射波の第2波
が飽和するまで増幅度を上げ、検出波形を整流してコン
パレータに入力する。このコンパレータ入力波形のエッ
ジはほぼ垂直形状となるので、高い精度が得られる。
【0029】次に、増幅回路12の増幅利得および基準
電圧Vthの設定手順について説明する。実際には、超
音波振動子1aに入力される対象物体2からの反射波
を、測定対象距離範囲(距離測定装置で測定できるとす
る距離範囲)の全域において一定の振幅に保つことは困
難である。例えば、上記のように反射検出波の第2波を
特定波とした場合、対象物体2までの距離が測定対象距
離範囲の下限に近いときは、反射検出波の第1波の波高
が高くなり、基準電圧Vth以上となり、この第1波の
位置に反射検出パルスが出力され、伝播時間Tが実際よ
りも超音波の1波長分短くなってしまい、測定距離Lに
誤差を生じる。逆に対象物体2までの距離が測定対象距
離範囲の上限に近いときは、反射検出波の第2波が基準
電圧Vthより小さくなり、この第1波の位置に反射検
出パルスが出力され、伝播時間Tが実際よりも超音波の
1波長分長くなってしまう。
【0030】このような誤差を除去するために、図1に
示す反射検出監視回路17を用いて、増幅回路12の増
幅利得および基準電圧Vthを予め最適化しておく。図
3は反射検出監視回路17の内部回路図である。また図
4は反射検出監視回路17の各部におけるパルス波形で
ある。図3において反射検出監視回路17は、コンパレ
ータU1およびU2と、単安定マルチバイブレータU
3、U5、U7と、AND素子U4、U6とを有する。
【0031】コンパレータU1は整流回路13からの反
射検出波を非反転入力、下限電圧Vloを反転入力とし
て、パルスPloを出力する。ここで、上限電圧Vlo
=Vth−kである。kは正の定数である。
【0032】コンパレータU2は整流回路13からの反
射検出波を非反転入力、上限電圧Vhi(=Vth+
k)を反転入力として、パルスPhiを出力する。
【0033】単安定マルチバイブレータU3は、パルス
Phiをトリガ入力としてトリガパルスの立ち上がりで
動作し、拡幅したパルスPf1とPf1の反転パルスと
を出力する。そして、AND素子U4は、パルスPlo
とパルスPf1とを入力としてパルスPm1を出力す
る。
【0034】単安定マルチバイブレータU5は、パルス
Pf1の反転パルスをトリガ入力としてトリガパルスの
立ち上がりで動作し、不要な第3波以降のパルスを除去
するパルスPf2を出力する。
【0035】AND素子U6は、パルスPm1とパルス
Pf2とを入力としてパルスPm2を出力する。
【0036】単安定マルチバイブレータU7は、パルス
Pm2をトリガ入力としてトリガパルスの立ち上がりで
動作し、パルスPm3を出力する。
【0037】パルスPm2のパルス幅は、1[μs]程
度なので、これを視認できるように、単安定マルチバイ
ブレータU7で充分なパルス幅を有するパルスPm3を
生成する。
【0038】図4に示すように、反射検出波の第2波P
2が上限電圧Vhiより大きく、第1波P1が下限電圧
Vloより小さいとき、距離測定装置は正常に動作し、
このときLEDが点灯する。
【0039】仮に第2波P2のレベルが小さく上限電圧
Vhiに達しないときは、第2波P2の位置にパルスP
hiが出力されないため、LEDは点灯しない。また第
1波P1のレベルが大きく、下限電圧Vloに達したと
きは、第1波P1の位置にパルスP1oが出力されるた
め、LEDは点灯しない。
【0040】このように上記実施の形態によれば、駆動
パルスを減らし、反射検出波の特定波が基準電圧以上と
なるように反射検出波を増幅し、この増幅した反射検出
波をローパスフィルタを通さずにコンパレータに入力す
ることにより、基準電圧と比較される反射検出波の傾き
が垂直に近くなるので、伝播時間誤差を低減でき、測定
精度を向上させることができる。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
係わる超音波反射型距離測定装置によれば、所定の周波
数でi(iは2以上の整数)個の駆動パルスを発生する
駆動パルス発生回路と、前記駆動パルスに励起されて前
記所定周波数の超音波を空気中に発射し、対象物体で反
射されて戻ってきた前記超音波の反射波で励起されて前
記周波数の超音波を反射検出波として出力する超音波振
動子と、前記反射検出波の第j(jは1≦j≦iなる整
数)波の電圧が、基準電圧以上となり、第j波以前の波
の電圧が前記基準電圧より小さくなるように、前記反射
検出波を所定の利得で増幅する増幅回路と、前記増幅さ
れた反射検出波を整流する整流回路と、前記整流された
反射検出波の電圧が前記基準電圧以上となったとき、反
射検出パルスを出力するコンパレータと、前記駆動パル
スの第j波と前記反射検出パルスの第j波との時間差を
計測することにより、前記空気中に放射した超音波が前
記超音波振動子と前記対象物体の間を往復するのに要し
た伝播時間を算出する時間計測回路と、周囲温度に基づ
いて、前記空気中に放射した超音波の伝播速度を算出
し、この伝播速度と前記伝播時間とを用いて、前記対象
物体までの距離を算出する距離算出回路と、前記増幅回
路の増幅利得および基準電圧を予め最適化しておく反射
検出監視回路とを備えたことにより、駆動パルスを減ら
し、反射検出波の特定波が基準電圧以上となるように反
射検出波を増幅し、この増幅した反射検出波をローパス
フィルタを通さずにコンパレータに入力することが可能
になって、基準電圧と比較される反射検出波の傾きが垂
直に近くなるので、伝播時間誤差を低減でき、測定精度
を向上させることができる。
【0042】また、請求項2の発明に係わる超音波反射
型距離測定装置によれば、請求項1に記載の超音波反射
型距離測定装置において、前記反射検出監視回路は、前
記整流回路からの反射検出波を非反転入力、前記基準電
圧よりも所定電圧だけ低い上限電圧を反転入力とする第
1のコンパレータと、前記整流回路からの反射検出波を
非反転入力、前記基準電圧よりも所定電圧だけ高い下限
電圧を反転入力とする第2のコンパレータと、前記第2
のコンパレータの出力パルスをトリガ入力としてトリガ
パルスの立ち上がりで動作し、その出力パルス幅をPl
oとほぼ等しくする第1の単安定マルチバイブレータ
と、前記第1のコンパレータの出力パルスと前記第1の
単安定マルチバイブレータの正相出力パルスとを入力と
する第1のAND素子と、前記第1の単安定マルチバイ
ブレータの逆相出力パルスをトリガ入力としてトリガパ
ルスの立ち上がりで動作し、特定した反射波の次以降の
パルスをキャンセルする第2の単安定マルチバイブレー
タと、前記第1のAND素子の出力パルスと前記第2の
単安定マルチバイブレータの正相出力パルスとを入力す
る第2のAND素子と、前記第2のAND素子の出力パ
ルスをトリガ入力としてトリガパルスの立ち上がりで動
作し、LEDの点滅を見易くするためにパルス幅を拡げ
る役目をする第3の単安定マルチバイブレータとを有す
ることにより、駆動パルスを減らし、反射検出波の特定
波が基準電圧以上となるように反射検出波を増幅し、こ
の増幅した反射検出波をローパスフィルタを通さずにコ
ンパレータに入力することにより、測定精度を向上させ
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(1)は本発明の実施の形態を示す超音波反射
型距離測定装置の概略的な構成説明図である。(2)は
本発明の実施の形態を示す超音波反射型の距離測定装置
の回路ブロック図である。
【図2】本発明の実施の形態を示す距離測定装置におけ
る各部の波形図である。
【図3】本発明の実施の形態を示す距離測定装置におけ
る反射検出監視回路の内部回路図である。
【図4】本発明の実施の形態を示す距離測定装置の反射
検出監視回路における各部のパルス波形図である。
【図5】従来の距離測定装置における各部の波形図であ
る。
【符号の説明】
1a 超音波振動子 1b 制御部 11 駆動パルス発生回路 12 増幅回路 13 整流回路 14 コンパレータ 15 時間計測回路 16 距離算出回路 17 反射検出監視回路
【手続補正書】
【提出日】平成9年5月14日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の実施の形態を示す超音波反射
型距離測定装置の概略的な構成説明図である。(b)は
本発明の実施の形態を示す超音波反射型距離測定装置の
回路ブロック図である。
【図2】(a)、(b)、(c)、(d)は本発明の実
施の形態を示す超音波反射型距離測定装置における各部
の波形図である。
【図3】本発明の実施の形態を示す超音波反射型距離測
定装置における反射検査監視回路の内部回路図である。
【図4】本発明の実施の形態を示す超音波反射型距離測
定装置における各部のパルス波形図である。
【図5】(a)、(b)、(c)、(d)は従来の距離
測定装置における各部の波形図である。
【符号の説明】 1a 超音波振動子 1b 制御部 11 駆動パルス発生回路 12 増幅回路 13 整流回路 14 コンパレータ 15 時間計測回路 16 距離算出回路 17 反射検出監視回路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の周波数でi(iは2以上の整数)
    個の駆動パルスを発生する駆動パルス発生回路と、 前記駆動パルスに励起されて前記所定周波数の超音波を
    空気中に発射し、対象物体で反射されて戻ってきた前記
    超音波の反射波で励起されて前記周波数の超音波を反射
    検出波として出力する超音波振動子と、前記反射検出波
    の第j(jは1≦j≦iなる整数)波の電圧が、基準電
    圧以上となり、第j波以前の波の電圧が前記基準電圧よ
    り小さくなるように、前記反射検出波を所定の利得で増
    幅する増幅回路と、 前記増幅された反射検出波を整流する整流回路と、 前記整流された反射検出波の電圧が前記基準電圧以上と
    なったとき、反射検出パルスを出力するコンパレータ
    と、 前記駆動パルスの第j波と前記反射検出パルスの第j波
    との時間差を計測することにより、前記空気中に放射し
    た超音波が前記超音波振動子と前記対象物体の間を往復
    するのに要した伝播時間を算出する時間計測回路と、 周囲温度に基づいて、前記空気中に放射した超音波の伝
    播速度を算出し、この伝播速度と前記伝播時間とを用い
    て、前記対象物体までの距離を算出する距離算出回路
    と、 前記増幅回路の増幅利得および基準電圧を予め最適化し
    ておく反射検出監視回路とを備えたことを特徴とする超
    音波反射型距離測定装置。
  2. 【請求項2】 前記反射検出監視回路は、 前記整流回路からの反射検出波を非反転入力、前記基準
    電圧よりも所定電圧だけ低い上限電圧を反転入力とする
    第1のコンパレータと、 前記整流回路からの反射検出波を非反転入力、前記基準
    電圧よりも所定電圧だけ高い下限電圧を反転入力とする
    第2のコンパレータと、 前記第2のコンパレータの出力パルスをトリガ入力とし
    てトリガパルスの立ち上がりで動作し、その出力パルス
    幅をPloとほぼ等しくする第1の単安定マルチバイブ
    レータと、 前記第1のコンパレータの出力パルスと前記第1の単安
    定マルチバイブレータの正相出力パルスとを入力とする
    第1のAND素子と、 前記第1の単安定マルチバイブレータの逆相出力パルス
    をトリガ入力としてトリガパルスの立ち上がりで動作
    し、特定した反射波の次以降のパルスをキャンセルする
    第2の単安定マルチバイブレータと、 前記第1のAND素子の出力パルスと前記第2の単安定
    マルチバイブレータの正相出力パルスとを入力する第2
    のAND素子と、 前記第2のAND素子の出力パルスをトリガ入力として
    トリガパルスの立ち上がりで動作し、LEDの点滅を見
    易くするためにパルス幅を拡げる役目をする第3の単安
    定マルチバイブレータとを有する請求項1に記載の超音
    波反射型距離測定装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100821264B1 (ko) * 2006-05-24 2008-04-10 단국대학교 산학협력단 수중 초음파 원격이탈 제어 시스템
JP2009047368A (ja) * 2007-08-21 2009-03-05 Orion Mach Co Ltd 冷却システム
CN102870005A (zh) * 2010-05-19 2013-01-09 三菱电机株式会社 障碍物检测装置

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