JPH1018034A - 成膜装置および成膜方法 - Google Patents
成膜装置および成膜方法Info
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- JPH1018034A JPH1018034A JP17697096A JP17697096A JPH1018034A JP H1018034 A JPH1018034 A JP H1018034A JP 17697096 A JP17697096 A JP 17697096A JP 17697096 A JP17697096 A JP 17697096A JP H1018034 A JPH1018034 A JP H1018034A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】成膜時に被成膜物の三次元情報が得られ、その
情報に基づいて被成膜物上に均質な膜を成膜可能な成膜
装置および成膜方法を提供する。 【解決手段】ライトソース３２からの光を集光レンズ３
３で集光しスリットガラス３４を通って引き延ばしレン
ズ３５で引き延ばして、格子パターン光５５とし、フィ
ルム５０に投影する。投影された格子パターンをＣＣＤ
カメラ３６で撮像しその画像信号をコンピュータ４０で
画像処理してフィルム５０の三次元情報を得る。この情
報に基づいてフィルム５０のテンションを調整する。ま
た、同様にしてターゲット１２の３次元情報も得る。さ
らに、フィルム５０の干渉光をフォトディテクタ３７で
測定しその測定信号をコンピュータ４０で処理して膜厚
を求める。
情報に基づいて被成膜物上に均質な膜を成膜可能な成膜
装置および成膜方法を提供する。 【解決手段】ライトソース３２からの光を集光レンズ３
３で集光しスリットガラス３４を通って引き延ばしレン
ズ３５で引き延ばして、格子パターン光５５とし、フィ
ルム５０に投影する。投影された格子パターンをＣＣＤ
カメラ３６で撮像しその画像信号をコンピュータ４０で
画像処理してフィルム５０の三次元情報を得る。この情
報に基づいてフィルム５０のテンションを調整する。ま
た、同様にしてターゲット１２の３次元情報も得る。さ
らに、フィルム５０の干渉光をフォトディテクタ３７で
測定しその測定信号をコンピュータ４０で処理して膜厚
を求める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は成膜装置および成膜
方法に関し、特に、フィルムにＡＲコーティング等の成
膜を行うスパッタリング装置およびそれを用いた成膜方
法に関する。
方法に関し、特に、フィルムにＡＲコーティング等の成
膜を行うスパッタリング装置およびそれを用いた成膜方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のスパッタリング装置にお
いては、ロール巻取機を使用し、ロール間に掛けられた
フィルム上にスパッタリングによりＡＲコーティング等
の成膜を行っていた。
いては、ロール巻取機を使用し、ロール間に掛けられた
フィルム上にスパッタリングによりＡＲコーティング等
の成膜を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のスパ
ッタリング装置では、成膜時にフィルムの三次元情報が
適切に得られなかったので、成膜時にフィルムにしわや
ねじれが生じ、その結果、膜厚分布が悪化し、さらには
成膜された膜にピンホールや欠けが生じるという問題が
あった。また、ターゲットのエロージョン形状によって
も膜厚分布が悪化するという問題があった。
ッタリング装置では、成膜時にフィルムの三次元情報が
適切に得られなかったので、成膜時にフィルムにしわや
ねじれが生じ、その結果、膜厚分布が悪化し、さらには
成膜された膜にピンホールや欠けが生じるという問題が
あった。また、ターゲットのエロージョン形状によって
も膜厚分布が悪化するという問題があった。
【０００４】従って、本発明の一目的は、成膜時に被成
膜物の三次元情報が得られる成膜装置を提供することに
ある。
膜物の三次元情報が得られる成膜装置を提供することに
ある。
【０００５】また、本発明の他の目的は、成膜時に被成
膜物の三次元情報が得られると共に、その情報に基づい
て被成膜物上に均質な膜を成膜可能な成膜装置およびそ
れを使用した成膜方法を提供することにある。
膜物の三次元情報が得られると共に、その情報に基づい
て被成膜物上に均質な膜を成膜可能な成膜装置およびそ
れを使用した成膜方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、真空チ
ャンバ内の被成膜物に格子パターンを投影可能な格子パ
ターン投影手段と、前記被成膜物を撮像可能な撮像手段
と、前記撮像手段によって撮像された被撮像物上の格子
パターンを画像処理して前記被撮像物の三次元情報を得
る情報処理手段と、を備えることを特徴とする成膜装置
が提供される。
ャンバ内の被成膜物に格子パターンを投影可能な格子パ
ターン投影手段と、前記被成膜物を撮像可能な撮像手段
と、前記撮像手段によって撮像された被撮像物上の格子
パターンを画像処理して前記被撮像物の三次元情報を得
る情報処理手段と、を備えることを特徴とする成膜装置
が提供される。
【０００７】この成膜装置においては、格子パターン投
影手段によって真空チャンバ内の被成膜物に格子パター
ンを投影し、その被成膜物上に投影された格子パターン
を撮像手段によって撮像し、撮像された被成膜物上の格
子パターンを情報処理手段により画像処理して被成膜物
の三次元情報を得ることができる。そして、このように
して得られた被成膜物の三次元情報に基づいて被成膜物
の形状や成膜条件を調整すれば、被成膜物上に均質な膜
を成膜可能となる。
影手段によって真空チャンバ内の被成膜物に格子パター
ンを投影し、その被成膜物上に投影された格子パターン
を撮像手段によって撮像し、撮像された被成膜物上の格
子パターンを情報処理手段により画像処理して被成膜物
の三次元情報を得ることができる。そして、このように
して得られた被成膜物の三次元情報に基づいて被成膜物
の形状や成膜条件を調整すれば、被成膜物上に均質な膜
を成膜可能となる。
【０００８】なお、好ましくは、前記情報処理手段は、
前記被撮像物の形状に応じて変形した格子パターンの位
相を求めることにより前記三次元情報を得る情報処理手
段である。
前記被撮像物の形状に応じて変形した格子パターンの位
相を求めることにより前記三次元情報を得る情報処理手
段である。
【０００９】また、本発明は、前記真空チャンバ内に一
方のロールから他方のロールにフィルムを巻き取るロー
ル巻取機が設けられており、前記被成膜物が前記ロール
間に掛けられた前記フィルムである場合に好ましく適用
される。
方のロールから他方のロールにフィルムを巻き取るロー
ル巻取機が設けられており、前記被成膜物が前記ロール
間に掛けられた前記フィルムである場合に好ましく適用
される。
【００１０】この場合に、好ましくは、前記情報処理手
段により得られる前記三次元情報に基づいて前記ロール
間に掛けられた前記フィルムのテンションを調整可能な
調整手段をさらに備える。このようにすれば、成膜時に
得られたフィルムの三次元情報に基づいてフィルムのテ
ンションが調整されるので、成膜時にフィルムにしわや
ねじれが生じることが防止され、その結果、優れた膜厚
分布が得られ、さらには成膜された膜にピンホールや欠
けが生じることも防止される。
段により得られる前記三次元情報に基づいて前記ロール
間に掛けられた前記フィルムのテンションを調整可能な
調整手段をさらに備える。このようにすれば、成膜時に
得られたフィルムの三次元情報に基づいてフィルムのテ
ンションが調整されるので、成膜時にフィルムにしわや
ねじれが生じることが防止され、その結果、優れた膜厚
分布が得られ、さらには成膜された膜にピンホールや欠
けが生じることも防止される。
【００１１】なお、前記成膜装置がスパッタリング装置
である場合には、好ましくは、前記格子パターン投影手
段を前記被成膜物およびターゲットのうちのいずれの一
方にも格子パターンを投影可能な手段とし、前記撮像手
段を前記被成膜物およびターゲットのうちのいずれも撮
像可能な手段とする。
である場合には、好ましくは、前記格子パターン投影手
段を前記被成膜物およびターゲットのうちのいずれの一
方にも格子パターンを投影可能な手段とし、前記撮像手
段を前記被成膜物およびターゲットのうちのいずれも撮
像可能な手段とする。
【００１２】このような装置を使用すれば、ターゲット
についても、その三次元情報を得ることが可能となり、
その結果、スパッタターゲットのエロージョン形状を三
次元で測定することが可能となる。そして、ターゲット
の残量がわかるようになり、ターゲットを使用限度いっ
ぱいまで使用できるようになる。また、ターゲットの異
常放電光が検出でき、ターゲット表面のノジュールも検
出できるようになる。
についても、その三次元情報を得ることが可能となり、
その結果、スパッタターゲットのエロージョン形状を三
次元で測定することが可能となる。そして、ターゲット
の残量がわかるようになり、ターゲットを使用限度いっ
ぱいまで使用できるようになる。また、ターゲットの異
常放電光が検出でき、ターゲット表面のノジュールも検
出できるようになる。
【００１３】また、好ましくは、前記被成膜物からの光
を測定可能なフォトディテクタをさらに備える。そし
て、この場合に、好ましくは、前記フォトディテクタに
より測定された前記被成膜物からの光の干渉情報に基づ
いて前記被成膜物上に成膜された膜の膜厚を求める膜厚
測定手段をさらに備える。このようにすれば、成膜され
る膜の膜厚制御が可能となる。
を測定可能なフォトディテクタをさらに備える。そし
て、この場合に、好ましくは、前記フォトディテクタに
より測定された前記被成膜物からの光の干渉情報に基づ
いて前記被成膜物上に成膜された膜の膜厚を求める膜厚
測定手段をさらに備える。このようにすれば、成膜され
る膜の膜厚制御が可能となる。
【００１４】また、前記フィルムとして所定の間隔にマ
ークが設けられたフィルムを使用した場合には、好まし
くは、前記撮像手段を前記マークも撮像可能な撮像手段
とし、前記成膜装置には前記撮像されたマークを画像処
理して前記フィルムの送り速度を測定可能な送り速度測
定手段をさらに設ける。このようにすれば、フィルムの
送り速度が測定可能となり、そして、それを利用してフ
ィルムの送り量やロールに巻かれているフィルムの残量
がわかるようになる。
ークが設けられたフィルムを使用した場合には、好まし
くは、前記撮像手段を前記マークも撮像可能な撮像手段
とし、前記成膜装置には前記撮像されたマークを画像処
理して前記フィルムの送り速度を測定可能な送り速度測
定手段をさらに設ける。このようにすれば、フィルムの
送り速度が測定可能となり、そして、それを利用してフ
ィルムの送り量やロールに巻かれているフィルムの残量
がわかるようになる。
【００１５】また、本発明によれば、格子パターン投影
手段によってロール間に掛けられたフィルムに格子パタ
ーンを投影し、そのフィルム上に投影された格子パター
ンを撮像手段により撮像し、撮像されたフィルム上の格
子パターンを情報処理手段により画像処理してロール間
に掛けられたフィルムの三次元情報を得、その三次元情
報に基づいて調整手段によりロール間に掛けられたフィ
ルムのテンションを調整しながらフィルムに成膜を行う
ことを特徴とする成膜方法が提供される。
手段によってロール間に掛けられたフィルムに格子パタ
ーンを投影し、そのフィルム上に投影された格子パター
ンを撮像手段により撮像し、撮像されたフィルム上の格
子パターンを情報処理手段により画像処理してロール間
に掛けられたフィルムの三次元情報を得、その三次元情
報に基づいて調整手段によりロール間に掛けられたフィ
ルムのテンションを調整しながらフィルムに成膜を行う
ことを特徴とする成膜方法が提供される。
【００１６】このようにしてフィルム上に成膜を行え
ば、成膜時にフィルムにしわやねじれが生じることが防
止され、その結果、優れた膜厚分布が得られ、さらには
成膜された膜にピンホールや欠けが生じることも防止さ
れる。
ば、成膜時にフィルムにしわやねじれが生じることが防
止され、その結果、優れた膜厚分布が得られ、さらには
成膜された膜にピンホールや欠けが生じることも防止さ
れる。
【００１７】この場合に、前記フィルムとして所定の間
隔にマークが設けられたフィルムを使用し、前記撮像手
段により前記マークも撮像し、前記撮像されたマークを
画像処理して前記フィルムの送り速度を測定しながら成
膜を行うことが好ましい。このようにすれば、フィルム
の送り速度が測定可能となり、そして、それを利用して
フィルムの送り量やロールに巻かれているフィルムの残
量がわかるようになる。
隔にマークが設けられたフィルムを使用し、前記撮像手
段により前記マークも撮像し、前記撮像されたマークを
画像処理して前記フィルムの送り速度を測定しながら成
膜を行うことが好ましい。このようにすれば、フィルム
の送り速度が測定可能となり、そして、それを利用して
フィルムの送り量やロールに巻かれているフィルムの残
量がわかるようになる。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施の形態を図
面を参照して説明する。なお、本発明はこの実施の形態
に限定されるものでないことは言うまでもない。
面を参照して説明する。なお、本発明はこの実施の形態
に限定されるものでないことは言うまでもない。
【００１９】図１は、本発明の一実施の形態の成膜装置
を説明するための断面図であり、図２は、本発明の一実
施の形態の成膜装置のロール巻取機のテンション調整方
法を説明するための斜視図であり、図３は、本発明の一
実施の形態の成膜装置の測定および制御装置における画
像処理方法を説明するためのフローチャートであり、図
４は、本発明の一実施の形態の成膜装置のロール巻取機
のテンション調整方法を説明するためのフローチャート
である。
を説明するための断面図であり、図２は、本発明の一実
施の形態の成膜装置のロール巻取機のテンション調整方
法を説明するための斜視図であり、図３は、本発明の一
実施の形態の成膜装置の測定および制御装置における画
像処理方法を説明するためのフローチャートであり、図
４は、本発明の一実施の形態の成膜装置のロール巻取機
のテンション調整方法を説明するためのフローチャート
である。
【００２０】図１を参照すれば、本実施の形態の成膜装
置１００は、スパッタリング装置１０と測定および制御
装置６０とを備えている。
置１００は、スパッタリング装置１０と測定および制御
装置６０とを備えている。
【００２１】スパッタリング装置１０は、真空チャンバ
１１を備えている。真空チャンバ１１内にはＡｒガス、
Ｏ2 ガスおよびＮ2 ガスが適宜供給されるガス供給系１
４が接続されている。また、真空チャンバ１１は、ター
ボ分子ポンプ１７およびメカニカルポンプ１９で排気さ
れる。なお、ターボ分子ポンプ１７と真空チャンバ１１
との間にはゲートバルブ１８が設けられている。
１１を備えている。真空チャンバ１１内にはＡｒガス、
Ｏ2 ガスおよびＮ2 ガスが適宜供給されるガス供給系１
４が接続されている。また、真空チャンバ１１は、ター
ボ分子ポンプ１７およびメカニカルポンプ１９で排気さ
れる。なお、ターボ分子ポンプ１７と真空チャンバ１１
との間にはゲートバルブ１８が設けられている。
【００２２】真空チャンバ１１内には、ターゲット１２
とロール巻取機２０とが設けられている。ターゲット１
２とロール巻取機２０との間にはシャッタ１３が設けら
れている。また、真空チャンバ１１はビューポート窓１
５を備えており、ビューポート窓１５とロール巻取機２
０との間にはシャッタ１６が設けられている。
とロール巻取機２０とが設けられている。ターゲット１
２とロール巻取機２０との間にはシャッタ１３が設けら
れている。また、真空チャンバ１１はビューポート窓１
５を備えており、ビューポート窓１５とロール巻取機２
０との間にはシャッタ１６が設けられている。
【００２３】ロール巻取機２０は２本のロール２１と２
２とを備えており、２本のロール２１、２２間にはフィ
ルム５０が掛けられており、フィルム５０はロール２１
からロール２２に巻き取られる構成となっている。
２とを備えており、２本のロール２１、２２間にはフィ
ルム５０が掛けられており、フィルム５０はロール２１
からロール２２に巻き取られる構成となっている。
【００２４】図２を参照すれば、ロール２１とロール２
２との間にはプランジャー、ギャー等の駆動装置２３が
設けられている。駆動装置２３にはポテンショメータが
付属している。駆動装置２３によりロール２２と２３間
の距離ｘを調整し、それによりフィルム５０のテンショ
ンを調整する。
２との間にはプランジャー、ギャー等の駆動装置２３が
設けられている。駆動装置２３にはポテンショメータが
付属している。駆動装置２３によりロール２２と２３間
の距離ｘを調整し、それによりフィルム５０のテンショ
ンを調整する。
【００２５】測定および制御装置６０は、光学系３０
と、ライトソース３２と、コンピュータ４０と、電源３
８、３９とを備えている。
と、ライトソース３２と、コンピュータ４０と、電源３
８、３９とを備えている。
【００２６】光学系３０は、ブレッドボード３１と、集
光レンズ３３と、スリットガラス３４と、引き延ばしレ
ンズ３５と、ＣＣＤカメラ３６と、フォトディテクタ３
７とを備えている。集光レンズ３３と、スリットガラス
３４と、引き延ばしレンズ３５と、ＣＣＤカメラ３６
と、フォトディテクタ３７とはブレッドボード３１に固
定されている。ブレッドボード３１は移動可能な構造と
なっている。
光レンズ３３と、スリットガラス３４と、引き延ばしレ
ンズ３５と、ＣＣＤカメラ３６と、フォトディテクタ３
７とを備えている。集光レンズ３３と、スリットガラス
３４と、引き延ばしレンズ３５と、ＣＣＤカメラ３６
と、フォトディテクタ３７とはブレッドボード３１に固
定されている。ブレッドボード３１は移動可能な構造と
なっている。
【００２７】集光レンズ３３にはライトソース３２が接
続されている。ＣＣＤカメラ３６は電源３８に接続さ
れ、フォトディテクタ３７は電源３９に接続されてい
る。また、ＣＣＤカメラ３６とフォトディテクタ３７は
それぞれコンピュータ４０に接続されている。コンピュ
ータ４０はコンピュータ本体４２とディスプレイ４１と
を備える。
続されている。ＣＣＤカメラ３６は電源３８に接続さ
れ、フォトディテクタ３７は電源３９に接続されてい
る。また、ＣＣＤカメラ３６とフォトディテクタ３７は
それぞれコンピュータ４０に接続されている。コンピュ
ータ４０はコンピュータ本体４２とディスプレイ４１と
を備える。
【００２８】ライトソース３２からのハロゲン光は、集
光レンズ３３で集光され、スリットガラス３４を通り、
引き延ばしレンズ３５で引き延ばされて、格子パターン
光５５となり、フィルム５０に投影され、フィルム５０
上に図２に示すような格子パターンを形成する。
光レンズ３３で集光され、スリットガラス３４を通り、
引き延ばしレンズ３５で引き延ばされて、格子パターン
光５５となり、フィルム５０に投影され、フィルム５０
上に図２に示すような格子パターンを形成する。
【００２９】そして、この格子パターンを、ビューポー
ト窓１５を介してＣＣＤカメラ３６で撮像し、その撮像
信号をコンピュータ４０に供給し、コンピュータ４０に
おいて、ＣＣＤカメラ３６によって撮像された格子パタ
ーンを画像処理してフィルム５０の三次元情報を得る。
ト窓１５を介してＣＣＤカメラ３６で撮像し、その撮像
信号をコンピュータ４０に供給し、コンピュータ４０に
おいて、ＣＣＤカメラ３６によって撮像された格子パタ
ーンを画像処理してフィルム５０の三次元情報を得る。
【００３０】一方では、ロール２２と２３間の距離ｘを
調整し、それによりフィルム５０のテンションを調整す
る駆動装置２３（図２参照。）もコンピュータ４０に接
続されており、上記のようにして得られたフィルム５０
の三次元情報に基づいて駆動装置２３の制御が行われ、
フィルムのテンションの調整が行われる。
調整し、それによりフィルム５０のテンションを調整す
る駆動装置２３（図２参照。）もコンピュータ４０に接
続されており、上記のようにして得られたフィルム５０
の三次元情報に基づいて駆動装置２３の制御が行われ、
フィルムのテンションの調整が行われる。
【００３１】このように、成膜時にフィルム５０の三次
元情報が適切に得られ、それに基づいてフィルム５０の
テンションを調整するので、成膜時にフィルム５０にし
わやねじれが生じることが防止され、その結果、優れた
膜厚分布が得られ、さらには成膜された膜にピンホール
や欠けが生じることも防止される。
元情報が適切に得られ、それに基づいてフィルム５０の
テンションを調整するので、成膜時にフィルム５０にし
わやねじれが生じることが防止され、その結果、優れた
膜厚分布が得られ、さらには成膜された膜にピンホール
や欠けが生じることも防止される。
【００３２】なお、このように、ＣＣＤカメラ３６によ
って撮像しているので、成膜時におけるターゲット１２
の異常放電光も観察できる。また、ターゲット表面のノ
ジュールも検出できる。
って撮像しているので、成膜時におけるターゲット１２
の異常放電光も観察できる。また、ターゲット表面のノ
ジュールも検出できる。
【００３３】また、フィルム５０の表面および裏面から
の反射光による干渉光をビューポート窓１５を介してフ
ォトディテクタ３７で測定し、その測定信号をコンピュ
ータ４０に供給する。そして、この測定信号に基づいて
コンピュータ４０において、フィルム５０上に成膜され
るＡＲコート等の膜の膜厚を求める。また、このように
して求められた膜厚値または上記測定信号に基づいてロ
ール２１、２２の回転速度等の成膜条件の制御が行わ
れ、フィルム５０上に成膜される膜の膜厚制御が行われ
る。
の反射光による干渉光をビューポート窓１５を介してフ
ォトディテクタ３７で測定し、その測定信号をコンピュ
ータ４０に供給する。そして、この測定信号に基づいて
コンピュータ４０において、フィルム５０上に成膜され
るＡＲコート等の膜の膜厚を求める。また、このように
して求められた膜厚値または上記測定信号に基づいてロ
ール２１、２２の回転速度等の成膜条件の制御が行わ
れ、フィルム５０上に成膜される膜の膜厚制御が行われ
る。
【００３４】また、フィルム５０の脱着時には、ブレッ
ドボード３１をターゲット１２側に移動させて、格子パ
ターン光５５を、ターゲット１２に投影し、ターゲット
１２上に格子パターンを形成し、この格子パターンを、
ＣＣＤカメラ３６で撮像し、その撮像信号をコンピュー
タ４０に供給し、コンピュータ４０において、ＣＣＤカ
メラ３６によって撮像された格子パターンを画像処理し
てターゲット１２の三次元情報を得る。この三次元情報
により、ターゲットのエロージョン形状を三次元で測定
することができるようになり、また、ターゲットの残量
もわかるようになり、ターゲットを使用限度いっぱいま
で使用できるようになる。
ドボード３１をターゲット１２側に移動させて、格子パ
ターン光５５を、ターゲット１２に投影し、ターゲット
１２上に格子パターンを形成し、この格子パターンを、
ＣＣＤカメラ３６で撮像し、その撮像信号をコンピュー
タ４０に供給し、コンピュータ４０において、ＣＣＤカ
メラ３６によって撮像された格子パターンを画像処理し
てターゲット１２の三次元情報を得る。この三次元情報
により、ターゲットのエロージョン形状を三次元で測定
することができるようになり、また、ターゲットの残量
もわかるようになり、ターゲットを使用限度いっぱいま
で使用できるようになる。
【００３５】フィルム５０として、等間隔にマークされ
たフィルムを使用すれば、この等間隔のマークを、ビュ
ーポート窓１５を介してＣＣＤカメラ３６で撮像し、そ
の撮像信号をコンピュータ４０に供給し、コンピュータ
４０において、ＣＣＤカメラ３６によって撮像されたマ
ークを画像処理すれば、フィルム５０の送り速度が測定
できる。そして、この情報を利用すれば、フィルム５０
の送り量やロールに巻かれているフィルム５０の残量が
わかる。
たフィルムを使用すれば、この等間隔のマークを、ビュ
ーポート窓１５を介してＣＣＤカメラ３６で撮像し、そ
の撮像信号をコンピュータ４０に供給し、コンピュータ
４０において、ＣＣＤカメラ３６によって撮像されたマ
ークを画像処理すれば、フィルム５０の送り速度が測定
できる。そして、この情報を利用すれば、フィルム５０
の送り量やロールに巻かれているフィルム５０の残量が
わかる。
【００３６】次に、図３を参照して、本実施の形態の成
膜装置１００の測定および制御装置６０における画像処
理方法を説明する。
膜装置１００の測定および制御装置６０における画像処
理方法を説明する。
【００３７】まず、ＣＣＤカメラ３６からの画像信号を
コンピュータ４０に取り込む（ステップＳ１）。次に、
画像信号からノイズを除去する（ステップＳ２）。次
に、ノイズが除去された画像信号から格子影を抽出する
（ステップＳ３）。次に、抽出された格子影の曲がりか
ら位相差を検出する。そして、位相差をフィルム５０の
凹凸の深さに換算し（ステップＳ５）、表示する（ステ
ップ６）（田中康司、大谷幸利、吉澤徹、「Ｏｎｅ−Ｓ
ｔｅｐ ＧＲＡＳＰによる動的形状計測」１９９４年度
精密工学会秋季講演論文集，５５．参照。）。
コンピュータ４０に取り込む（ステップＳ１）。次に、
画像信号からノイズを除去する（ステップＳ２）。次
に、ノイズが除去された画像信号から格子影を抽出する
（ステップＳ３）。次に、抽出された格子影の曲がりか
ら位相差を検出する。そして、位相差をフィルム５０の
凹凸の深さに換算し（ステップＳ５）、表示する（ステ
ップ６）（田中康司、大谷幸利、吉澤徹、「Ｏｎｅ−Ｓ
ｔｅｐ ＧＲＡＳＰによる動的形状計測」１９９４年度
精密工学会秋季講演論文集，５５．参照。）。
【００３８】なお、ターゲット１２の形状も同様にして
得ることができる。
得ることができる。
【００３９】次に、図４および図２を参照して、本実施
の形態の成膜装置１００のロール巻取機２０におけるフ
ィルム５０のテンション調整方法を説明する。
の形態の成膜装置１００のロール巻取機２０におけるフ
ィルム５０のテンション調整方法を説明する。
【００４０】まず、フィルム５０の変形量δの最大値φ
max をＹ方向の各格子影毎に検出しする（ステップＳ１
１）。
max をＹ方向の各格子影毎に検出しする（ステップＳ１
１）。
【００４１】次に、ロール巻取機２０のロール２１とロ
ール２２との間の距離を、駆動装置２３で、上記最大値
φmax の値に基づいてｘだけ移動させて、ロール２１と
２２との間に掛けられたフィルム５０のテンションの調
整を行う（ステップＳ１２）。
ール２２との間の距離を、駆動装置２３で、上記最大値
φmax の値に基づいてｘだけ移動させて、ロール２１と
２２との間に掛けられたフィルム５０のテンションの調
整を行う（ステップＳ１２）。
【００４２】次に、Ｙ方向の各格子影Ｙ1、Ｙ2・・・Ｙ
n毎の最大値φmaxがそれぞれ０か否かを判定して、０の
場合はステップＳ１４に進んでフィルム５０のテンショ
ンの調整を終了し、０でない場合は、再びステップＳ１
１に戻り０になるまで、ステップＳ１１〜ステップＳ１
３を繰り返す。
n毎の最大値φmaxがそれぞれ０か否かを判定して、０の
場合はステップＳ１４に進んでフィルム５０のテンショ
ンの調整を終了し、０でない場合は、再びステップＳ１
１に戻り０になるまで、ステップＳ１１〜ステップＳ１
３を繰り返す。
【００４３】
【発明の効果】本発明によれば、成膜時に被成膜物の三
次元情報が得られるようになる。
次元情報が得られるようになる。
【００４４】また、本発明によれば、成膜時に被成膜物
の三次元情報が得られると共に、その情報に基づいて被
成膜物上に均質な膜が成膜可能となる。
の三次元情報が得られると共に、その情報に基づいて被
成膜物上に均質な膜が成膜可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態の成膜装置を説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態の成膜装置のロール巻取
機のテンション調整方法を説明するための斜視図であ
る。
機のテンション調整方法を説明するための斜視図であ
る。
【図３】本発明の一実施の形態の成膜装置の測定および
制御装置における画像処理方法を説明するためのフロー
チャートである。
制御装置における画像処理方法を説明するためのフロー
チャートである。
【図４】本発明の一実施の形態の成膜装置のロール巻取
機のテンション調整方法を説明するためのフローチャー
トである。
機のテンション調整方法を説明するためのフローチャー
トである。
１０…スパッタリング装置、１１…真空チャンバ、１２
…ターゲット、１５…ビューポート窓、２０…ロール巻
取機、２１、２２…ロール、２３…駆動装置、３０…光
学系、３１…ブレッドボード、３２…ライトソース、３
３…集光レンズ、３４…スリットガラス、３５…引き延
ばしレンズ、３６…ＣＣＤカメラ、３７…フォトディテ
クタ、３８、３９…電源、４０…コンピュータ、４１…
ディスプレイ、４２…コンピュータ本体、５０…フィル
ム、５５…格子パターン光、６０…測定および制御装
置、１００…成膜装置、１３０…光源
…ターゲット、１５…ビューポート窓、２０…ロール巻
取機、２１、２２…ロール、２３…駆動装置、３０…光
学系、３１…ブレッドボード、３２…ライトソース、３
３…集光レンズ、３４…スリットガラス、３５…引き延
ばしレンズ、３６…ＣＣＤカメラ、３７…フォトディテ
クタ、３８、３９…電源、４０…コンピュータ、４１…
ディスプレイ、４２…コンピュータ本体、５０…フィル
ム、５５…格子パターン光、６０…測定および制御装
置、１００…成膜装置、１３０…光源
Claims (10)
- 【請求項１】真空チャンバ内の被成膜物に格子パターン
を投影可能な格子パターン投影手段と、 前記被成膜物を撮像可能な撮像手段と、 前記撮像手段によって撮像された被撮像物上の格子パタ
ーンを画像処理して前記被撮像物の三次元情報を得る情
報処理手段と、 を備えることを特徴とする成膜装置。 - 【請求項２】前記情報処理手段は、前記被撮像物の形状
に応じて変形した格子パターンの位相を求めることによ
り前記三次元情報を得る情報処理手段であることを特徴
とする請求項１記載の成膜装置。 - 【請求項３】前記真空チャンバ内には一方のロールから
他方のロールにフィルムを巻き取るロール巻取機が設け
られており、前記被成膜物が前記ロール間に掛けられた
前記フィルムであることを特徴とする請求項１または２
記載の成膜装置。 - 【請求項４】前記情報処理手段により得られる前記三次
元情報に基づいて前記ロール間に掛けられた前記フィル
ムのテンションを調整可能な調整手段をさらに備えるこ
とを特徴とする請求項３記載の成膜装置。 - 【請求項５】前記成膜装置がスパッタリング装置であ
り、前記格子パターン投影手段が前記被成膜物およびタ
ーゲットのうちのいずれの一方にも格子パターンを投影
可能であり、前記撮像手段が前記被成膜物およびターゲ
ットのうちのいずれも撮像可能であることを特徴とする
請求項１乃至４のいずれかに記載の成膜装置。 - 【請求項６】前記被成膜物からの光を測定可能なフォト
ディテクタをさらに備えることを特徴とする請求項１乃
至５のいずれかに記載の成膜装置。 - 【請求項７】前記フォトディテクタにより測定された前
記被成膜物からの光の干渉情報に基づいて前記被成膜物
上に成膜された膜の膜厚を求める膜厚測定手段をさらに
有することを特徴とする請求項６記載の成膜装置。 - 【請求項８】前記フィルムとして所定の間隔にマークが
設けられたフィルムを使用した場合に、前記撮像手段が
前記マークも撮像可能であり、前記成膜装置が前記撮像
されたマークを画像処理して前記フィルムの送り速度を
測定可能な送り速度測定手段をさらに有することを特徴
とする請求項４記載の成膜装置。 - 【請求項９】請求項４記載の成膜装置を用いて、前記情
報処理手段により得られる前記三次元情報に基づいて前
記調整手段により前記ロール間に掛けられた前記フィル
ムのテンションを調整しながら前記フィルムに成膜を行
うことを特徴とする成膜方法。 - 【請求項１０】前記フィルムとして所定の間隔にマーク
が設けられたフィルムを使用し、前記撮像手段により前
記マークも撮像し、前記撮像されたマークを画像処理し
て前記フィルムの送り速度を測定しながら成膜を行うこ
とを特徴とする請求項９記載の成膜方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17697096A JPH1018034A (ja) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | 成膜装置および成膜方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17697096A JPH1018034A (ja) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | 成膜装置および成膜方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1018034A true JPH1018034A (ja) | 1998-01-20 |
Family
ID=16022905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17697096A Abandoned JPH1018034A (ja) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | 成膜装置および成膜方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1018034A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023501699A (ja) * | 2019-11-15 | 2023-01-18 | ダイソン・テクノロジー・リミテッド | スパッタ堆積装置及び方法 |
-
1996
- 1996-07-08 JP JP17697096A patent/JPH1018034A/ja not_active Abandoned
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023501699A (ja) * | 2019-11-15 | 2023-01-18 | ダイソン・テクノロジー・リミテッド | スパッタ堆積装置及び方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050927 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051004 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20051205 |