JPH10177842A - 陰極線管用蛍光面の作製方法 - Google Patents
陰極線管用蛍光面の作製方法Info
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- JPH10177842A JPH10177842A JP33860296A JP33860296A JPH10177842A JP H10177842 A JPH10177842 A JP H10177842A JP 33860296 A JP33860296 A JP 33860296A JP 33860296 A JP33860296 A JP 33860296A JP H10177842 A JPH10177842 A JP H10177842A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超高精細なカラー蛍光面の作製を可能にす
る。 【解決手段】 パネル内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗
膜を形成し、感光塗膜上に厚さ１００Å〜３００Åの金
属膜を形成する第１の工程と、金属膜に高圧を印加し、
マスクを介して電子線を照射して感光塗膜を選択的に露
光する第２の工程と、現像処理して感光塗膜による所定
パターンのレジスト層を形成する第３の工程を有するこ
とを特徴とする。
る。 【解決手段】 パネル内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗
膜を形成し、感光塗膜上に厚さ１００Å〜３００Åの金
属膜を形成する第１の工程と、金属膜に高圧を印加し、
マスクを介して電子線を照射して感光塗膜を選択的に露
光する第２の工程と、現像処理して感光塗膜による所定
パターンのレジスト層を形成する第３の工程を有するこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高精細度のカラー
陰極線管の蛍光面を作製するための、陰極線管用蛍光面
の作製方法に関する。
陰極線管の蛍光面を作製するための、陰極線管用蛍光面
の作製方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラー陰極線管における蛍光面、
例えば図６に示すようにパネル１の内面に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）及び青（Ｂ）の各色蛍光体ストライプ２Ｒ，２Ｇ
及び２Ｂを形成すると共に、各色蛍光体ストライプ２
Ｒ，２Ｇ及び２Ｂ間にカーボンストライプ（光吸収層）
３を形成したいわゆるブラックマトリックス型のカラー
蛍光面４は、次のようにして形成していた。
例えば図６に示すようにパネル１の内面に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）及び青（Ｂ）の各色蛍光体ストライプ２Ｒ，２Ｇ
及び２Ｂを形成すると共に、各色蛍光体ストライプ２
Ｒ，２Ｇ及び２Ｂ間にカーボンストライプ（光吸収層）
３を形成したいわゆるブラックマトリックス型のカラー
蛍光面４は、次のようにして形成していた。
【０００３】まず、陰極線管のパネル１の内面に感光塗
膜、例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール）−ＡＤＣ
（重クロム酸アンモニウム）系の感光塗膜を形成し、乾
燥後、色選別電極を光学用マスクとして紫外線露光し、
水洗等で現像処理して各色に対応した位置にストライプ
状のレジスト層を形成する。
膜、例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール）−ＡＤＣ
（重クロム酸アンモニウム）系の感光塗膜を形成し、乾
燥後、色選別電極を光学用マスクとして紫外線露光し、
水洗等で現像処理して各色に対応した位置にストライプ
状のレジスト層を形成する。
【０００４】次に、レジスト層を含む全面にカーボンス
ラリーを塗布し、乾燥後、反転現像し、即ちレジスト層
と共にその上のカーボン層をリフトオフし、所定パター
ンのカーボンストライプ３を形成する。
ラリーを塗布し、乾燥後、反転現像し、即ちレジスト層
と共にその上のカーボン層をリフトオフし、所定パター
ンのカーボンストライプ３を形成する。
【０００５】次に、例えば緑色蛍光体スラリーを塗布
し、乾燥後、色選別電極を介して紫外線露光し、現像処
理して所定のカーボンストライプ３間に緑色蛍光体スト
ライプ２Ｇを形成し、以下同様にして、夫々他のカーボ
ンストライプ３間に青色蛍光体ストライプ２Ｂ及び赤色
蛍光体ストライプ２Ｒを形成して目的のカラー蛍光面４
が形成される。
し、乾燥後、色選別電極を介して紫外線露光し、現像処
理して所定のカーボンストライプ３間に緑色蛍光体スト
ライプ２Ｇを形成し、以下同様にして、夫々他のカーボ
ンストライプ３間に青色蛍光体ストライプ２Ｂ及び赤色
蛍光体ストライプ２Ｒを形成して目的のカラー蛍光面４
が形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近時、高精
細度のカラー陰極線管の開発に伴い、高精細なカラー蛍
光面の作製が必要となってきた。従来の紫外線露光法で
は、微細パターンの形成に限界があり、特に、図６にお
けるピッチ（Ｒ，Ｇ，Ｂ３色蛍光体ストライプ２Ｒ，２
Ｇ及び２Ｂを組としたいわゆる１トリオピッチ）Ｐとし
て１５０μｍ以下の微細ピッチのカラー蛍光面を作製す
るのが困難であった。
細度のカラー陰極線管の開発に伴い、高精細なカラー蛍
光面の作製が必要となってきた。従来の紫外線露光法で
は、微細パターンの形成に限界があり、特に、図６にお
けるピッチ（Ｒ，Ｇ，Ｂ３色蛍光体ストライプ２Ｒ，２
Ｇ及び２Ｂを組としたいわゆる１トリオピッチ）Ｐとし
て１５０μｍ以下の微細ピッチのカラー蛍光面を作製す
るのが困難であった。
【０００７】本発明は、上述の点に鑑み、高精細なカラ
ー蛍光面の作製を可能にした陰極線管用蛍光面の作製方
法を提供するものである。
ー蛍光面の作製を可能にした陰極線管用蛍光面の作製方
法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る陰極線管用
蛍光面の作製方法は、パネル内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の
感光塗膜とその上に厚さ１００Å〜３００Åの金属膜を
形成し、金属膜に高圧を印加して電子線照射により感光
塗膜を選択的に露光する工程を有する。
蛍光面の作製方法は、パネル内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の
感光塗膜とその上に厚さ１００Å〜３００Åの金属膜を
形成し、金属膜に高圧を印加して電子線照射により感光
塗膜を選択的に露光する工程を有する。
【０００９】このようにＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜に
対して電子線露光を行うことにより、微線パターンの露
光が可能となり、高精細な蛍光面の作製ができる。金属
膜の膜厚を１００Å〜３００Åとすることにより、金属
膜の全面に均一に高圧が印加され、電子線照射でもチャ
ージアップせず、目的の位置に電子線を照射できる。同
時に、その後の水現像のときに感光塗膜側への水の浸透
が十分に行え、微細パターンの現像処理が可能となる。
対して電子線露光を行うことにより、微線パターンの露
光が可能となり、高精細な蛍光面の作製ができる。金属
膜の膜厚を１００Å〜３００Åとすることにより、金属
膜の全面に均一に高圧が印加され、電子線照射でもチャ
ージアップせず、目的の位置に電子線を照射できる。同
時に、その後の水現像のときに感光塗膜側への水の浸透
が十分に行え、微細パターンの現像処理が可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明に係る陰極線管蛍光面の作
製方法は、パネル内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜を
形成し、この感光塗膜上に厚さ１００Å〜３００Åの金
属膜を形成する第１の工程と、金属膜に高圧を印加し
て、マスクを介して電子線を照射して感光塗膜を選択的
に露光する第２の工程を有する。
製方法は、パネル内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜を
形成し、この感光塗膜上に厚さ１００Å〜３００Åの金
属膜を形成する第１の工程と、金属膜に高圧を印加し
て、マスクを介して電子線を照射して感光塗膜を選択的
に露光する第２の工程を有する。
【００１１】本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法
は、上記第２の工程の後に、感光塗膜を現像処理して所
定パターンのレジスト層を形成する第３の工程と、全面
に光吸収塗膜を形成し、反転現像して所定パターンの光
吸収層を形成する第４の工程を有する。
は、上記第２の工程の後に、感光塗膜を現像処理して所
定パターンのレジスト層を形成する第３の工程と、全面
に光吸収塗膜を形成し、反転現像して所定パターンの光
吸収層を形成する第４の工程を有する。
【００１２】本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法
は、上記第４の工程の後に、全面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の
感光塗膜を形成し、この感光塗膜上に厚さ１００Å〜３
００Åの金属膜を形成する第５の工程と、金属膜に高圧
を印加し、マスクを介して電子線を照射して１つの色以
外の他の色に対応する位置の感光塗膜を選択的に露光す
る第６の工程と、現像処理して他の色に対応する位置に
レジスト層を形成する第７の工程と、全面に１つの色の
蛍光体スラリー塗膜を形成し、パネル外面より露光し、
反転現像する第８の工程を有して、第１色目の蛍光体層
を形成し、前記第６の工程から第８の工程までを繰り返
して第２色目及び第３色目の蛍光体層を形成する。
は、上記第４の工程の後に、全面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の
感光塗膜を形成し、この感光塗膜上に厚さ１００Å〜３
００Åの金属膜を形成する第５の工程と、金属膜に高圧
を印加し、マスクを介して電子線を照射して１つの色以
外の他の色に対応する位置の感光塗膜を選択的に露光す
る第６の工程と、現像処理して他の色に対応する位置に
レジスト層を形成する第７の工程と、全面に１つの色の
蛍光体スラリー塗膜を形成し、パネル外面より露光し、
反転現像する第８の工程を有して、第１色目の蛍光体層
を形成し、前記第６の工程から第８の工程までを繰り返
して第２色目及び第３色目の蛍光体層を形成する。
【００１３】以下、図面を参照して本発明による陰極線
管用蛍光面の作製方法の実施例を説明する。
管用蛍光面の作製方法の実施例を説明する。
【００１４】本実施例は、前述と同様のブラックマトリ
ックス型のカラー蛍光面の作製に適用した場合である。
ックス型のカラー蛍光面の作製に適用した場合である。
【００１５】図１〜図２はカーボンストライプを形成す
るまでの工程を示す。先ず、図１Ａに示すように、陰極
線管のパネル１１の内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜
１２を塗布形成し、乾燥後、図１Ｂに示すように、この
感光塗膜１２上の全面に、金属膜、例えばＡｌ膜１３を
蒸着等により形成する。
るまでの工程を示す。先ず、図１Ａに示すように、陰極
線管のパネル１１の内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜
１２を塗布形成し、乾燥後、図１Ｂに示すように、この
感光塗膜１２上の全面に、金属膜、例えばＡｌ膜１３を
蒸着等により形成する。
【００１６】このＡｌ膜１３の膜厚ｔは、１００Å〜３
００Åに設定される。ここで、厚さが１００Åより薄く
なると、シート抵抗が大きくなりすぎて、後述の高圧を
印加したときに、全面均一に高圧を印加することが難し
くなり、電子線照射したときにチャージアップして電位
が不安定となり、電子線を目的の位置に照射することが
難しく、微細パターンの露光が出来ない。また、厚さが
３００Åを越えるように厚くなりすぎると、後述の感光
塗膜１２を水現像するときに水が感光塗膜１２に浸透し
にくくなり、未露光部分が取り切れない。
００Åに設定される。ここで、厚さが１００Åより薄く
なると、シート抵抗が大きくなりすぎて、後述の高圧を
印加したときに、全面均一に高圧を印加することが難し
くなり、電子線照射したときにチャージアップして電位
が不安定となり、電子線を目的の位置に照射することが
難しく、微細パターンの露光が出来ない。また、厚さが
３００Åを越えるように厚くなりすぎると、後述の感光
塗膜１２を水現像するときに水が感光塗膜１２に浸透し
にくくなり、未露光部分が取り切れない。
【００１７】次に、図１Ｃに示すように、色選別電極、
例えばアパーチャグリルをマスク１４として、Ａｌ膜１
３に高圧を印加して、電子線１５を照射し、赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の蛍光体ストライプを形成すべき
位置に対応した部分（斜線図示）１７の感光塗膜１２を
選択的に露光する（いわゆる電子線露光）。
例えばアパーチャグリルをマスク１４として、Ａｌ膜１
３に高圧を印加して、電子線１５を照射し、赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の蛍光体ストライプを形成すべき
位置に対応した部分（斜線図示）１７の感光塗膜１２を
選択的に露光する（いわゆる電子線露光）。
【００１８】この電子線露光に際しては、内面に感光塗
膜１２、Ａｌ膜１３を形成し、且つマスク１４を装着し
たパネル１１を、図５に示すように、電子線露光装置４
０側のファンネル部４１に気密的に配置し、内部を例え
ば１０-5Ｔｏｒｒに真空排気した後、電子銃４２から電
子線１５を照射し、この電子線１５を偏向ヨーク４３に
より水平、垂直方向に偏向させる。そして、Ｒ（赤）に
対応する電子線、Ｇ（緑）に対応する電子線、Ｂ（青）
に対応する電子線をもって露光するようになす。
膜１２、Ａｌ膜１３を形成し、且つマスク１４を装着し
たパネル１１を、図５に示すように、電子線露光装置４
０側のファンネル部４１に気密的に配置し、内部を例え
ば１０-5Ｔｏｒｒに真空排気した後、電子銃４２から電
子線１５を照射し、この電子線１５を偏向ヨーク４３に
より水平、垂直方向に偏向させる。そして、Ｒ（赤）に
対応する電子線、Ｇ（緑）に対応する電子線、Ｂ（青）
に対応する電子線をもって露光するようになす。
【００１９】次に、図１Ｄに示すように、水現像して、
露光されない部分の感光塗膜１２を除去し、Ｒ（赤）、
Ｇ（緑）、Ｂ（青）の蛍光体ストライプに対応する位置
にレジスト層１２Ａを形成する。その後、このレジスト
層１２Ａに対して例えばタンニン酸溶液をかけて後、ア
ンモニアで中和する等して、硬膜処理を施す。
露光されない部分の感光塗膜１２を除去し、Ｒ（赤）、
Ｇ（緑）、Ｂ（青）の蛍光体ストライプに対応する位置
にレジスト層１２Ａを形成する。その後、このレジスト
層１２Ａに対して例えばタンニン酸溶液をかけて後、ア
ンモニアで中和する等して、硬膜処理を施す。
【００２０】次に、図２Ｅに示すように、全面にカーボ
ン塗膜１８を形成し、乾燥後、図２Ｆに示すように、い
わゆる反転現像し、即ち、レジスト層１２Ａ、Ａｌ膜１
３と共にその上のカーボン塗膜１８を除去し、所定パタ
ーンのカーボンストライプ１８ＢＬを形成する。これに
よってカーボンストライプ１８ＢＬの形成が完了する。
ン塗膜１８を形成し、乾燥後、図２Ｆに示すように、い
わゆる反転現像し、即ち、レジスト層１２Ａ、Ａｌ膜１
３と共にその上のカーボン塗膜１８を除去し、所定パタ
ーンのカーボンストライプ１８ＢＬを形成する。これに
よってカーボンストライプ１８ＢＬの形成が完了する。
【００２１】図３〜図４は蛍光体ストライプを形成する
工程を示す。即ち、図３Ａは上述のようにして内面に所
定パターンのカーボンストライプ１８ＢＬを形成したパ
ネル１１を示す。このパネル１１の内面に、図３Ｂに示
すように、再びＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜２１を形成
し、その上に厚さ１００Å〜３００ÅのＡｌ膜２２を蒸
着等により形成する。
工程を示す。即ち、図３Ａは上述のようにして内面に所
定パターンのカーボンストライプ１８ＢＬを形成したパ
ネル１１を示す。このパネル１１の内面に、図３Ｂに示
すように、再びＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜２１を形成
し、その上に厚さ１００Å〜３００ÅのＡｌ膜２２を蒸
着等により形成する。
【００２２】次に、図５の電子線露光装置４０を用い、
図３Ｃに示すように、色選別電極のアパーチャグリルを
マスク１４として、電子線１５を照射して、例えば第１
色目のＧ（緑）以外の第２色目Ｂ（青）及び第３色目Ｒ
（赤）に対応する位置の部分（視線図示）２３の感光塗
膜２１を選択的に露光する（いわゆる電子線露光）。
図３Ｃに示すように、色選別電極のアパーチャグリルを
マスク１４として、電子線１５を照射して、例えば第１
色目のＧ（緑）以外の第２色目Ｂ（青）及び第３色目Ｒ
（赤）に対応する位置の部分（視線図示）２３の感光塗
膜２１を選択的に露光する（いわゆる電子線露光）。
【００２３】次に、図３Ｄに示すように、水現像して、
電子線露光されない第１色目のＧ（緑）に対応する部分
を除去し、第２色目のＢ（青）及び第３色目のＲ（赤）
に対応する位置にレジスト層２１Ａを形成する。
電子線露光されない第１色目のＧ（緑）に対応する部分
を除去し、第２色目のＢ（青）及び第３色目のＲ（赤）
に対応する位置にレジスト層２１Ａを形成する。
【００２４】次に、図４Ｅに示すように、全面に第１色
目の緑色蛍光体スラリー２５を塗布し、乾燥後、パネル
１１の外面から紫外線２６を照射して、カーボンストラ
イプ１８ＢＬ及びレジスト層２１Ａ以外の部分の緑色蛍
光体スラリー塗膜を選択的に露光する（いわゆる紫外線
による外面露光）。
目の緑色蛍光体スラリー２５を塗布し、乾燥後、パネル
１１の外面から紫外線２６を照射して、カーボンストラ
イプ１８ＢＬ及びレジスト層２１Ａ以外の部分の緑色蛍
光体スラリー塗膜を選択的に露光する（いわゆる紫外線
による外面露光）。
【００２５】次に、図４Ｆに示すように、反転現像し、
即ちレジスト層２１Ａとその上の緑色蛍光体スラリー塗
膜２５を除去し、第１のカーボンストライプ１８ＢＬ間
に第１色目の緑色蛍光体ストライプ２７Ｇを形成する。
そしてこの緑色蛍光体ストライプ２７Ｇに硬膜処理を施
す。
即ちレジスト層２１Ａとその上の緑色蛍光体スラリー塗
膜２５を除去し、第１のカーボンストライプ１８ＢＬ間
に第１色目の緑色蛍光体ストライプ２７Ｇを形成する。
そしてこの緑色蛍光体ストライプ２７Ｇに硬膜処理を施
す。
【００２６】次いで、上述の図３Ｂの工程から図４Ｆま
での工程を繰り返して、第２のカーボンストライプ１８
ＢＬ間に青色蛍光体ストライプ２７Ｂを形成し、また第
３のカーボンストライプ１８ＢＬ間に赤色蛍光体ストラ
イプ２７Ｒを形成し、図４Ｇに示すように目的の高精細
なカラー蛍光面２８を作製する。
での工程を繰り返して、第２のカーボンストライプ１８
ＢＬ間に青色蛍光体ストライプ２７Ｂを形成し、また第
３のカーボンストライプ１８ＢＬ間に赤色蛍光体ストラ
イプ２７Ｒを形成し、図４Ｇに示すように目的の高精細
なカラー蛍光面２８を作製する。
【００２７】尚、電子線露光における露光条件は、次の
条件とすることができる。 カソード電流ＩK ２５０μＡ Ａｌ膜に印加する高圧ＨＶ １５ＫＶ 露光時間 カーボンストライプ作製、及び蛍光体スト
ライプ作製ともに１５ｓｅｃ
条件とすることができる。 カソード電流ＩK ２５０μＡ Ａｌ膜に印加する高圧ＨＶ １５ＫＶ 露光時間 カーボンストライプ作製、及び蛍光体スト
ライプ作製ともに１５ｓｅｃ
【００２８】上述の実施例によれば、ＰＶＡ−ＡＤＣ系
の感光塗膜１２，２１を用い、電子線露光によって、微
細ピッチの所定パターンのレジスト層１２Ａ，２１Ａの
形成が可能となり、これによって、ピッチが１５０μｍ
以下の超高精細なカラー蛍光面２８を作製することがで
きる。そしてＡｌ膜１３，２２の膜厚ｔを１００Å〜３
００Åとすることにより、Ａｌ膜１３，２２の全面に均
一に高圧を印加でき、電子線照射時のチャージアップを
防止して良好な微細パターンの露光を可能にすると共
に、水現象を可能とするものである。
の感光塗膜１２，２１を用い、電子線露光によって、微
細ピッチの所定パターンのレジスト層１２Ａ，２１Ａの
形成が可能となり、これによって、ピッチが１５０μｍ
以下の超高精細なカラー蛍光面２８を作製することがで
きる。そしてＡｌ膜１３，２２の膜厚ｔを１００Å〜３
００Åとすることにより、Ａｌ膜１３，２２の全面に均
一に高圧を印加でき、電子線照射時のチャージアップを
防止して良好な微細パターンの露光を可能にすると共
に、水現象を可能とするものである。
【００２９】尚、本実施例に係る電子線露光ではＰＶＡ
−ＡＤＣ系感光膜が適しており、その他の例えばＰＶＰ
（ポリビニルピロリドン）−ＤＡＳ（４，４′−ジアジ
トスチルベン−２，２′−ジスルホン酸ナトリウム）系
の感光塗膜等は電子線露光に不適であった。
−ＡＤＣ系感光膜が適しており、その他の例えばＰＶＰ
（ポリビニルピロリドン）−ＤＡＳ（４，４′−ジアジ
トスチルベン−２，２′−ジスルホン酸ナトリウム）系
の感光塗膜等は電子線露光に不適であった。
【００３０】上例ではストライプ状蛍光体によるカラー
蛍光面の作製に適用しが、その他、ドット状蛍光体スト
ライプによるカラー蛍光面の作製にも適用できる。
蛍光面の作製に適用しが、その他、ドット状蛍光体スト
ライプによるカラー蛍光面の作製にも適用できる。
【００３１】
【発明の効果】本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方
法によれば、ＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜と、電子線露
光とを用いることにより微細パターンのレジスト層の形
成が可能となる。
法によれば、ＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜と、電子線露
光とを用いることにより微細パターンのレジスト層の形
成が可能となる。
【００３２】この工程を利用することにより、微細パタ
ーンの光吸収層の形成、更には微細パターンの蛍光体層
の形成が可能になる。従って、ピッチ１５０μｍ以下の
超高精細なカラー蛍光面の作製が容易に行える。
ーンの光吸収層の形成、更には微細パターンの蛍光体層
の形成が可能になる。従って、ピッチ１５０μｍ以下の
超高精細なカラー蛍光面の作製が容易に行える。
【図１】Ａ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法
の工程図（特にカーボンストライプの作製）である。 Ｂ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特にカーボンストライプの作製）である。 Ｃ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特にカーボンストライプの作製）である。 Ｄ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特にカーボンストライプの作製）である。
の工程図（特にカーボンストライプの作製）である。 Ｂ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特にカーボンストライプの作製）である。 Ｃ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特にカーボンストライプの作製）である。 Ｄ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特にカーボンストライプの作製）である。
【図２】Ｅ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法
の工程図（特にカーボンストライプの作製）である。 Ｆ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特にカーボンストライプの作製）である。
の工程図（特にカーボンストライプの作製）である。 Ｆ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特にカーボンストライプの作製）である。
【図３】Ａ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法
の工程図（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｂ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｃ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｄ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。
の工程図（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｂ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｃ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｄ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。
【図４】Ｅ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法
の工程図（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｆ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｇ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。
の工程図（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｆ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。 Ｇ 本発明に係る陰極線管用蛍光面の作製方法の工程図
（特に蛍光体ストライプの作製）である。
【図５】本発明に適用される露光装置の概略図である。
【図６】ブラックマトリックス型カラー蛍光面の断面図
である。
である。
１１ パネル、１２，２１ ＰＶＡ−ＡＤＣ系感光塗
膜、１３，２２ Ａｌ膜、１４ マスク（色選別電
極）、１５ 電子線露光、１８ カーボン塗膜、１８Ｂ
Ｌ カーボンストライプ、２５ 緑色蛍光体スラリー、
２６ 紫外線露光、２７Ｇ 緑色蛍光体ストライプ、２
７Ｂ 青色蛍光体ストライプ、２７Ｒ 赤色蛍光体スト
ライプ
膜、１３，２２ Ａｌ膜、１４ マスク（色選別電
極）、１５ 電子線露光、１８ カーボン塗膜、１８Ｂ
Ｌ カーボンストライプ、２５ 緑色蛍光体スラリー、
２６ 紫外線露光、２７Ｇ 緑色蛍光体ストライプ、２
７Ｂ 青色蛍光体ストライプ、２７Ｒ 赤色蛍光体スト
ライプ
Claims (3)
- 【請求項１】 パネル内面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗
膜を形成し、該感光塗膜上に厚さ１００Å〜３００Åの
金属膜を形成する第１の工程と、 前記金属膜に高圧を印加し、マスクを介して電子線を照
射して前記感光塗膜を選択的に露光する第２の工程を有
することを特徴とする陰極線管用蛍光面の作製方法。 - 【請求項２】 前記第２の工程の後、 前記感光塗膜を現像処理して所定パターンのレジスト層
を形成する第３の工程と、 全面に光吸収塗膜を形成し、反転現像して所定パターン
の光吸収層を形成する第４の工程を有することを特徴と
する請求項１に記載の陰極線管用蛍光面の作製方法。 - 【請求項３】 前記第４の工程の後、 全面にＰＶＡ−ＡＤＣ系の感光塗膜を形成し、該感光塗
膜上に厚さ１００Å〜３００Åの金属膜を形成する第５
の工程と、 前記金属膜に高圧を印加し、マスクを介して電子線を照
射して１つの色以外の他の色に対応する位置の感光塗膜
を選択的に露光する第６の工程と、 現像処理して他の色に対応する位置にレジスト層を形成
する第７の工程と、 全面に１つの色の蛍光体スラリー塗膜を形成し、パネル
外面より露光し、反転現像する第８の工程を有して、第
１色目の蛍光体層を形成し、 前記第６の工程から第８の工程までを繰り返して第２色
目及び第３色目の蛍光体層を形成することを特徴とする
請求項２に記載の陰極線管用蛍光面の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33860296A JPH10177842A (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 陰極線管用蛍光面の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33860296A JPH10177842A (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 陰極線管用蛍光面の作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10177842A true JPH10177842A (ja) | 1998-06-30 |
Family
ID=18319725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33860296A Pending JPH10177842A (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 陰極線管用蛍光面の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10177842A (ja) |
-
1996
- 1996-12-18 JP JP33860296A patent/JPH10177842A/ja active Pending
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