JPH1016142A - Transparent gas barrier laminated film and manufacture thereof - Google Patents

Transparent gas barrier laminated film and manufacture thereof

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JPH1016142A
JPH1016142A JP17211796A JP17211796A JPH1016142A JP H1016142 A JPH1016142 A JP H1016142A JP 17211796 A JP17211796 A JP 17211796A JP 17211796 A JP17211796 A JP 17211796A JP H1016142 A JPH1016142 A JP H1016142A
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JP
Japan
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layer
film
alkoxysilane
group
transparent
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Application number
JP17211796A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Sasaki
毅 佐々木
Kazuo Hachiman
一雄 八幡
Toru Hanada
亨 花田
Tatsuya Ekinaka
達矢 浴中
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Teijin Ltd
Original Assignee
Teijin Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a laminated film, which is excellent in solvent resistance and gas barrier properties and has transparency, optical isotropy and planeness by a method wherein this laminated film is produced by forming a ceramic layer made of polysilazane and a specified hardened covering film on one side of a transparent polymer film. SOLUTION: This laminated film is produced by forming a ceramic layer made of polysilazane and a hardened covering layer containing vinyl alcohol crosslinked with the (partial) hydrolyzate, (partial) condensate or their mixture of the alkoxysilane represented by the formula contacting with each other on one side of a transparent polymer film. In the formula, R' is 1-4C alkylene group, R<2> and R<3> are 1-4C alkyl group, X is glycidoxy group or epoxycyclohexyl group and (n) is 1 or 0. In order to give the more favorable gas barrier properties, a transparent metal oxide layer may well be formed on at least one side of the transparent polymer film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、透明ガスバリアー
性積層フィルムおよびその製造方法に関し、さらに詳し
くは、光学等方性、平面性、耐溶剤性、ガスバリアー
性、可撓性に優れるという特徴に加え、層間の密着性が
良好な透明ガスバリアー性積層フィルムに関するもので
あり、液晶表示装置、光導電性感光体、面発光体、有機
エレクトロルミネッセンス用などの透明基板として利用
できるものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transparent gas-barrier laminated film and a method for producing the same, and more particularly, to a film having excellent optical isotropy, flatness, solvent resistance, gas barrier properties, and flexibility. In addition, the present invention relates to a transparent gas barrier laminated film having good interlayer adhesion, and can be used as a transparent substrate for liquid crystal display devices, photoconductive photoconductors, surface light emitters, organic electroluminescence, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示素子などへの応用が進んでいる
透明基板としては、一般にガラス基板が用いられてい
る。しかし近年、液晶表示素子は、軽量化、大型化とい
う要求に加え、長期信頼性、形状の自由度、曲面表示等
の高度な要求がなされていることから、重くて割れやす
い大面積化が困難なガラス基板に代わって透明プラスチ
ック等のフィルム基板が検討されている。また、プラス
チック基板は上記要求に応えるだけでなく、ロール・ツ
ー・ロール方式が可能であることからガラス基板よりも
生産性が良くコストダウンの点でも有利である。
2. Description of the Related Art In general, a glass substrate is used as a transparent substrate which has been applied to a liquid crystal display device or the like. However, in recent years, in addition to demands for weight reduction and enlargement of liquid crystal display elements, advanced requirements such as long-term reliability, freedom of shape, and curved surface display have been made. A film substrate made of transparent plastic or the like has been studied in place of a transparent glass substrate. In addition, the plastic substrate not only meets the above-mentioned requirements but also has a roll-to-roll system, so that it is advantageous in terms of productivity and cost reduction as compared with a glass substrate.

【0003】しかし、一般的に透明プラスチック基板
は、ガラス基板と比較し、ガスバリアー性や耐溶剤性が
劣るという欠点を有する。耐溶剤性が劣ると液晶セル作
成工程での有機溶剤洗浄や、配向膜形成時に、基板の変
形や白化等の問題が生じてしまう。一方、ガスバリアー
性すなわち、酸素バリアー性、水蒸気バリアー性に劣る
基板を用いると、空気、水蒸気が浸透し、液晶セル内部
に気泡が発生し、表示不能点となってディスプレイーの
表示品位を劣化させてしまい、特に車載用などの過酷な
条件下ではこの欠点が容易に発生し大きな問題となる。
[0003] However, generally, a transparent plastic substrate has a drawback that gas barrier properties and solvent resistance are inferior to glass substrates. If the solvent resistance is poor, problems such as deformation and whitening of the substrate may occur at the time of cleaning the organic solvent in the liquid crystal cell forming step or forming the alignment film. On the other hand, if a substrate with poor gas barrier properties, i.e., oxygen barrier properties and water vapor barrier properties, is used, air and water vapor will permeate, bubbles will be generated inside the liquid crystal cell, and display will not be possible, deteriorating the display quality of the display. In particular, under severe conditions, such as for in-vehicle use, this defect easily occurs and becomes a serious problem.

【0004】そこで上記欠点を改善する目的で、耐溶剤
性、ガスバリアー性を持つ剤を透明プラスチック基板上
に積層するいくつかの提案がなされている。例えば、特
公平5−52002号公報や特公平5−52003号公
報等には、高分子フィルムとポリビニルアルコール系樹
脂からなる酸素ガスバリアー層との密着性を改善し、さ
らには、水蒸気ガスバリアー性を有した透明基板が記載
されている。
[0004] Therefore, for the purpose of remedying the above-mentioned drawbacks, several proposals have been made in which an agent having solvent resistance and gas barrier properties is laminated on a transparent plastic substrate. For example, Japanese Patent Publication No. 5-52002 and Japanese Patent Publication No. 5-52003 disclose improving the adhesion between a polymer film and an oxygen gas barrier layer composed of a polyvinyl alcohol-based resin, and further improving the water vapor gas barrier property. Are described.

【0005】しかし、これらは、ポリビニルアルコール
が最外層に積層されているため、耐溶剤性が不十分であ
り、液晶セル製作工程で不都合が生じてしまう。耐溶剤
性を持たせるために、上記透明基板においては、耐溶剤
性を有する層をさらに設ける必要がありコストが割高に
なる。
However, since polyvinyl alcohol is laminated on the outermost layer, these have insufficient solvent resistance and cause problems in the liquid crystal cell manufacturing process. In order to impart solvent resistance, it is necessary to further provide a layer having solvent resistance on the transparent substrate, which increases the cost.

【0006】また、特開平2ー137922号公報や特
開平5ー309794号公報等には、透明高分子フィル
ムにアンカーコート層、そしてガスバリアー層としてエ
チレンービニルアルコール共重合体層、更に耐溶剤層と
して硬化性樹脂層を順次両面に積層した透明基板が記載
されている。しかし、これらは、耐溶剤性は満足するも
のの、ガスバリアー剤の特性から高湿度でのガスバリア
ー性の低下の問題がある。更に、6層ものコーティング
はコストが割高となる。
Further, JP-A-2-137922 and JP-A-5-309794 disclose an anchor coat layer on a transparent polymer film, an ethylene-vinyl alcohol copolymer layer as a gas barrier layer, and a solvent resistant layer. A transparent substrate in which a curable resin layer is sequentially laminated on both sides as a layer is described. However, although these have satisfactory solvent resistance, they have a problem that the gas barrier properties are lowered at high humidity due to the characteristics of the gas barrier agent. In addition, as many as six coatings are costly.

【0007】また、液晶表示素子等の透明基板において
は、上記耐溶剤性、ガスバリアー性に対する要求のほ
か、さらに高透明性、光学等方性、平面性等の要求があ
る。基板の透明性が低い場合や複屈折がある場合、表示
の着色・コントラストの低下等の問題が生じるためであ
る。また、平面性が低い場合、液晶層のギャップが均一
でなくなる上、液晶配向にもムラが生じたり、基板自体
も光学的なムラが発生するために、表示色にムラが生じ
る。
[0007] Further, in the case of a transparent substrate such as a liquid crystal display device, in addition to the above-mentioned requirements for solvent resistance and gas barrier properties, there are also requirements for high transparency, optical isotropy, flatness and the like. This is because when the transparency of the substrate is low or when there is birefringence, problems such as coloring of display and reduction in contrast occur. When the flatness is low, the gap between the liquid crystal layers is not uniform, and the liquid crystal alignment also becomes uneven, and the substrate itself also becomes optically uneven, so that the display color becomes uneven.

【0008】さらには、機械的、熱的影響により、容易
にこれらの平面性、透明性、ガスバリア性が悪化してし
まうのでは、軽薄、形状の自由、曲面表示という特徴を
生かした実用性が低下し、ペイジャー、携帯電話、電子
手帳、ペン入力機器などの外的影響が大きく作用する用
途への適応は困難となってしまう。特に機械的影響に対
して、この様な特性を維持するためには、特性発現のた
めに積層された各層間の良好な密着性も要求される。
Further, if the flatness, transparency, and gas barrier properties easily deteriorate due to mechanical and thermal influences, practicality utilizing characteristics of lightness, thinness, free shape, and curved surface display is required. This makes it difficult to adapt to applications where external influences such as pagers, mobile phones, electronic organizers, and pen input devices are greatly affected. In particular, in order to maintain such characteristics with respect to mechanical effects, good adhesion between the layers stacked for expressing the characteristics is also required.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
問題を解決しようとするものであり、耐溶剤性、ガスバ
リアー性に優れ、しかも上記のような透明性、光学等方
性、平面性に優れ、層間の密着性が良好な透明ガスバリ
アー性積層フィルムを提供することを目的とし、更に積
層数を少なくし、製造コストを抑えることを目的とす
る。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is intended to solve such a problem and is excellent in solvent resistance and gas barrier properties, and has the above-mentioned transparency, optical isotropy, and flatness. An object of the present invention is to provide a transparent gas-barrier laminated film having excellent adhesiveness and good interlayer adhesion, further reducing the number of layers, and suppressing production cost.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、ポリシラザンより
形成されるセラミックス層(A層)と、特定のアルコキ
シシランの(部分)加水分解物、その(部分)縮合物若
しくはそれらの混合物で架橋されたビニルアルコール系
樹脂を含む硬化被膜層(B層)とが互いに接して構成さ
れる層が、湿度に依存しないガスバリアー性を持つこと
を見いだし、さらに、A層ならびにB層はいずれも架橋
硬化した被膜であることから、非常に良好な耐溶剤性を
持つことを見い出した。また、A層およびB層はいずれ
も高分子フィルムおよび金属酸化物層が設けられた基材
との密着性が良好であることを見いだし、本発明を完成
した。
The present inventors have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found that a ceramic layer (A layer) formed of polysilazane and (partial) hydrolysis of a specific alkoxysilane. A layer composed of a product, a (partial) condensate thereof, and a cured coating layer (B layer) containing a vinyl alcohol-based resin cross-linked with a mixture thereof, having a gas barrier property independent of humidity Furthermore, since both the layer A and the layer B were crosslinked and cured films, they were found to have very good solvent resistance. Further, it has been found that both the A layer and the B layer have good adhesion to the base material provided with the polymer film and the metal oxide layer, and the present invention has been completed.

【0011】すなわち、本発明は、透明高分子フィル
ム、または金属酸化物層を有する透明ガスバリアー性積
層フィルムの少なくとも片面上に、ポリシラザンより形
成されるセラミックス層(A層)と、下記一般式(1)
That is, the present invention relates to a transparent polymer film or a transparent gas barrier laminated film having a metal oxide layer, on at least one side of which, a ceramic layer (A layer) formed of polysilazane, 1)

【0012】[0012]

【化3】 Embedded image

【0013】(ここでR1 は炭素数1〜4のアルキレン
基、R2 およびR3 は炭素数1〜4のアルキル基、Xは
グリシドキシ基またはエポキシシクロヘキシシル基であ
り、nは1または0である)で示されるエポキシ基を有
するアルコキシシランの(部分)加水分解物、その(部
分)縮合物またはこれらの混合物、および下記一般式
(2)
(Where R 1 is an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, R 2 and R 3 are alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms, X is a glycidoxy group or an epoxycyclohexyl group, and n is 1 or 0) (Partial) hydrolyzate, (partial) condensate or a mixture thereof of an alkoxysilane having an epoxy group represented by the following general formula (2):

【0014】[0014]

【化4】 Embedded image

【0015】(ここでR4 は炭素数1〜4のアルキレン
基、R5 およびR6 は炭素数1〜4のアルキル基、Yは
水素原子またはアミノアルキル基であり、mは1または
0である)で示されるアミノ基及び/またはイミノ基を
有するアルコキシシランの(部分)加水分解物、その
(部分)縮合物またはこれらの混合物により架橋された
ビニルアルコール系樹脂を含む硬化樹脂層(B層)とが
互いに接して構成される層を有することを特徴とする透
明ガスバリアー性積層フィルムである。
(Where R 4 is an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, R 5 and R 6 are alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms, Y is a hydrogen atom or an aminoalkyl group, and m is 1 or 0) A) a cured resin layer (B layer) containing a vinyl alcohol-based resin cross-linked by a (partially) hydrolyzed product, a (partially) condensate or a mixture thereof of an alkoxysilane having an amino group and / or an imino group represented by And (b) have a layer formed in contact with each other.

【0016】また、本発明は上記透明ガスバリアー性積
層フィルムの製造方法であり、透明高分子フィルム、ま
たは金属酸化物層(C層)を少なくとも片面上に有する
透明高分子フィルムの少なくとも片面上に、下記(a)
〜(d) (a)ビニルアルコール系樹脂、(b)上記一般式
(1)で示されるエポキシ基を有するアルコキシシラン
の(部分)加水分解物、その部分縮合物またはそれらの
混合物、(c)上記一般式(2)で示されるアミノ基及
び/またはイミノ基を有するアルコキシシランの(部
分)加水分解物、その部分縮合物またはこれらの混合
物、(d)ビニルアルコール系樹脂可溶性溶剤を全溶剤
中50重量%以上含有する溶剤、からなり、(a)/
[(b)+(c)]=9/1〜1/3(重量比)である
アルコキシシランコーティング組成物を塗布した後、少
なくとも乾燥被膜とし、続いて、該乾燥被膜上に、ポリ
シラザンおよびポリシラザン可溶性溶剤を少なくとも含
有するポリシラザンコーティング組成物を塗布した後、
転化させて、該乾燥被膜が硬化した硬化樹脂層(B層)
の上に、セラミックス層(A層)を形成することを特徴
とする。該乾燥被膜を予め硬化させた硬化樹脂層(B
層)の上に、ポリシラザンコーティング組成物を塗布し
てもよい。
The present invention also relates to a method for producing the above-mentioned laminated film having a transparent gas barrier property, wherein at least one side of a transparent polymer film or a transparent polymer film having a metal oxide layer (C layer) on at least one side. , Below (a)
To (d) (a) a vinyl alcohol resin, (b) a (partial) hydrolyzate of an alkoxysilane having an epoxy group represented by the above general formula (1), a partial condensate thereof, or a mixture thereof, (c) A (partial) hydrolyzate of an alkoxysilane having an amino group and / or an imino group represented by the general formula (2), a partial condensate thereof, or a mixture thereof, and (d) a vinyl alcohol resin soluble solvent in all solvents A solvent containing 50% by weight or more, (a) /
After applying the alkoxysilane coating composition in which [(b) + (c)] = 9/1 to 1/3 (weight ratio), at least a dry film is formed, and then polysilazane and polysilazane are formed on the dry film. After applying the polysilazane coating composition containing at least a soluble solvent,
The cured resin layer (B layer) in which the dried film is cured by inversion.
A ceramic layer (A layer) is formed thereon. A cured resin layer (B
On the layer), a polysilazane coating composition may be applied.

【0017】さらに、上記製造方法には、上記セラミッ
クス層(A層)を形成した後に、該A層に接して上記硬
化樹脂層(B層)を形成する方法が含まれる。
Further, the above-mentioned manufacturing method includes a method of forming the above-mentioned ceramic layer (layer A) and then forming the above-mentioned cured resin layer (layer B) in contact with the layer A.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。
本発明の積層フィルムは、液晶表示素子の透明電極等に
用いる場合、550nmにおける光線透過率が80%以
上の透明性を有し、リタデーション値が30nm以下で
あることが好ましい。550nmにおける光線透過率が
80%未満では画像品質が実用上十分でなく、また、リ
タデーション値が30nmを超えると着色、視角特性の
面で問題がある。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail.
When the laminated film of the present invention is used for a transparent electrode or the like of a liquid crystal display device, it is preferable that the laminated film has a light transmittance at 550 nm of 80% or more and a retardation value of 30 nm or less. If the light transmittance at 550 nm is less than 80%, the image quality is not practically sufficient, and if the retardation value exceeds 30 nm, there are problems in coloring and viewing angle characteristics.

【0019】本発明において、透明高分子フィルムとし
ては、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアリレー
ト、ポリスルホン、ポリエーテルスルホンなどの透明な
プラスチックフィルムを挙げることができるが、なかで
も、上記透明性、及び光学異方性が少ないという光学特
性の観点から、ポリカーボネート、ポリアリレートのフ
ィルムがよりふさわしい。透明高分子フィルムは、通常
30μm以上800μm以下である。
In the present invention, examples of the transparent polymer film include transparent plastic films such as polyester, polycarbonate, polyarylate, polysulfone, and polyethersulfone. Films of polycarbonate and polyarylate are more suitable from the viewpoint of the optical properties that the properties are low. The size of the transparent polymer film is usually 30 μm or more and 800 μm or less.

【0020】またこの透明高分子フィルムには、より良
好なガスバリアー性を与えるために、少なくともその片
面上に透明な金属酸化物層(C層)を形成してもよい。
The transparent polymer film may be provided with a transparent metal oxide layer (C layer) on at least one surface thereof in order to give better gas barrier properties.

【0021】C層を形成する金属酸化物層としては、ケ
イ素、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛等の透明な金
属酸化物層が挙げられ、これら透明な金属酸化物層は、
公知のスパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング
法、プラズマCVD法等により作製される。なかでも、
ガスバリアー性が良好な金属酸化物としては、透明高分
子フィルムとの接着性、更には透明性、平面性、屈曲
性、コスト等の点から特にケイ素酸化物が好ましい。
Examples of the metal oxide layer forming the C layer include transparent metal oxide layers of silicon, aluminum, magnesium, zinc and the like.
It is produced by a known sputtering method, vacuum deposition method, ion plating method, plasma CVD method, or the like. Above all,
As a metal oxide having a good gas barrier property, a silicon oxide is particularly preferable in terms of adhesiveness to a transparent polymer film, and further, transparency, flatness, flexibility, cost, and the like.

【0022】ケイ素酸化物の組成は、X線光電子分光
法、X線マイクロ分光法、オージェ電子分光法、ラザホ
ード後方散乱法などにより分析、決定されるが、可視光
線領域での透過率、屈曲性などの面から、SiOxで表
した平均組成において、xは1.5≦x≦2の範囲が好
ましい。x値が1.5未満では、屈曲性、透明性が悪く
なる。
The composition of the silicon oxide is analyzed and determined by X-ray photoelectron spectroscopy, X-ray microspectroscopy, Auger electron spectroscopy, Rutherford backscattering, and the like. In view of the above, x is preferably in the range of 1.5 ≦ x ≦ 2 in the average composition represented by SiOx. If the x value is less than 1.5, the flexibility and transparency will be poor.

【0023】C層の厚さとしては、5nm〜200nm
の範囲が好ましい。C層の厚みが5nm未満では均一に
膜を形成することは困難であり、膜が形成されない部分
が発生し、この部分からガスが浸透し、ガスバリアー性
が悪くなる。一方、厚みが200nmを超えると透明性
を欠くだけではなく、屈曲性が悪く、クラックが発生し
てガスバリアー性を損なう。
The thickness of the C layer is 5 nm to 200 nm.
Is preferable. If the thickness of the C layer is less than 5 nm, it is difficult to form a film uniformly, and a portion where the film is not formed occurs, and gas penetrates from this portion, resulting in poor gas barrier properties. On the other hand, when the thickness exceeds 200 nm, not only lacks transparency, but also has poor flexibility, cracks are generated, and gas barrier properties are impaired.

【0024】本発明において、ポリシラザンより形成さ
れるセラミックス層(A層)は、下記一般式(3)及び
(4)の繰り返し単位からなる主骨格を有する数平均分
子量が100〜50,000のポリシラザンおよび/ま
たはその変成体(以下、単にポリシラザンという)を含
有するポリシラザンコーティング組成物を塗布し、フィ
ルム上にポリシラザン被膜を形成した後、これをセラミ
ックス化することにより得られる。
In the present invention, the ceramic layer (layer A) formed of polysilazane has a number average molecular weight of 100 to 50,000 having a main skeleton composed of repeating units represented by the following general formulas (3) and (4). It is obtained by applying a polysilazane coating composition containing a modified product thereof (hereinafter, simply referred to as polysilazane), forming a polysilazane film on a film, and then converting the film to ceramics.

【0025】[0025]

【化5】 Embedded image

【0026】上記ポリシラザンコーティング組成物は、
ポリシラザンを溶剤に溶解させることにより得られる。
ポリシラザンを溶解させる溶剤としては、ベンゼン、ト
ルエン、キシレン、エチルベンゼン、ペンタン、ヘキサ
ン、イソヘキサン、メチルペンタン、ヘプタン、イソヘ
プタン、オクタン、イソオクタン、シクロペンタン、シ
クロヘキサン、リグロイン、アセトン、メチルイソブチ
ルケトン、酢酸エチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘ
キシル、エチルエーテル、ブチルエーテル、1,4−ジ
オキサン、テトラヒドロフラン、塩化メチレン、塩化エ
チレン等が挙げられる。これらの溶剤は単独でまたは2
種以上を併せて用いることができる。
The above polysilazane coating composition comprises:
It is obtained by dissolving polysilazane in a solvent.
Solvents for dissolving polysilazane include benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, pentane, hexane, isohexane, methylpentane, heptane, isoheptane, octane, isooctane, cyclopentane, cyclohexane, ligroin, acetone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, acetic acid Isobutyl, cyclohexyl acetate, ethyl ether, butyl ether, 1,4-dioxane, tetrahydrofuran, methylene chloride, ethylene chloride and the like. These solvents can be used alone or
More than one species can be used together.

【0027】該コーティング組成物中のポリシラザンの
含有割合としては、使用するポリシラザンの分子量等に
よっても異なるが、0.1重量%〜50重量%の範囲が
好ましく選ばれる。また、該コーティング組成物中には
必要に応じて各種添加剤、充填剤を混合してもよい。こ
れらの添加量や種類は、例えばポリシラザンのセラミッ
クス化促進剤等、その添加剤の添加目的及びその効果に
より決定することができる。
The content of the polysilazane in the coating composition varies depending on the molecular weight of the polysilazane used, but is preferably in the range of 0.1% by weight to 50% by weight. In addition, various additives and fillers may be mixed in the coating composition as needed. The amount and type of these additives can be determined depending on the purpose of addition of the additives such as, for example, a ceramicization accelerator for polysilazane and the effects thereof.

【0028】本発明において、上記A層形成のための塗
布方法としては、ディップコート、スプレーコート、フ
ローコート、ロールコート、バーコート、スピンコート
等通常使われている方法が用いられる。A層の厚さとし
ては、5nm〜3,000nmの範囲が好ましい。A層
の厚みが5nm未満では均一に膜を形成することは困難
であり、膜が形成されない部分が発生し、この部分から
ガスが浸透し、ガスバリアー性が悪くなるため好ましく
ない。また、3,000nmを超えると、ポリシラザン
をセラミック化した際にクラックが入るため好ましくな
い。
In the present invention, a commonly used method such as dip coating, spray coating, flow coating, roll coating, bar coating, and spin coating is used as a coating method for forming the layer A. The thickness of the A layer is preferably in the range of 5 nm to 3,000 nm. If the thickness of the layer A is less than 5 nm, it is difficult to form a uniform film, and a portion where the film is not formed occurs, and gas penetrates from this portion, and the gas barrier property deteriorates, which is not preferable. On the other hand, if the thickness exceeds 3,000 nm, cracks occur when the polysilazane is ceramicized, which is not preferable.

【0029】本発明において、ポリシラザンのセラミッ
クス化は、その方法に特に制約されず、例えば、使用す
る透明高分子フィルムが非晶性高分子である場合は、該
フィルムのガラス転移点を超えない温度、好ましくは5
0〜300℃の範囲で熱処理することにより、行うこと
ができる。また、ポリシラザンのセラミックス化を促進
するために、特開平7−223867号公報に報告され
ているような、水蒸気雰囲気にさらす、触媒を含有した
蒸留水中に浸す等の公知の転化条件の併用も可能であ
る。
In the present invention, the method for converting the polysilazane into a ceramic is not particularly limited. For example, when the transparent polymer film to be used is an amorphous polymer, the temperature does not exceed the glass transition point of the film. , Preferably 5
The heat treatment can be performed in the range of 0 to 300 ° C. In order to promote the conversion of polysilazane to ceramics, known conversion conditions such as exposure to a steam atmosphere and immersion in distilled water containing a catalyst, as reported in JP-A-7-223867, can also be used. It is.

【0030】一般にポリシラザンは空気中の熱処理によ
って、Si−H、N−H結合の切断と、Si−O結合の
生成が起こり、シリカ等のセラミックスに転化するが、
この転化の度合はIR測定によって、以下に定義する式
により半定量的に評価することができる。
In general, polysilazane is converted into ceramics such as silica by heat treatment in the air, which breaks Si—H and NH bonds and generates Si—O bonds.
The degree of this conversion can be evaluated semi-quantitatively by IR measurement according to the equation defined below.

【0031】[0031]

【数1】SiO/SiN比=転化後のSiO吸光度/転
化後のSiN吸光度
## EQU1 ## SiO / SiN ratio = SiO absorbance after conversion / SiN absorbance after conversion

【0032】ここで、SiO吸光度は約1160c
-1、SiN吸光度は約840cm-1の特性吸収より算
出する。SiO/SiN比が大きいほどシリカ組成に近
いセラミックスへの転化が進んでいることを示す。
Here, the SiO absorbance is about 1160 c
m -1 and SiN absorbance are calculated from characteristic absorption of about 840 cm -1 . The higher the SiO / SiN ratio, the more the conversion to ceramics with a silica composition closer to that.

【0033】本発明において、セラミックスへの転化度
合の指標となるSiO/SiN比は0.3以上、好まし
くは0.5以上とすることが好ましい。0.3未満では
期待するガスバリア性が得られないことがあるため好ま
しくない。
In the present invention, the ratio of SiO / SiN, which is an index of the degree of conversion to ceramics, is preferably at least 0.3, more preferably at least 0.5. If it is less than 0.3, an expected gas barrier property may not be obtained, which is not preferable.

【0034】本発明のB層である特定のアルコキシシラ
ンの(部分)加水分解物、その(部分)縮合物若しくは
それらの混合物により架橋されたビニルアルコール系樹
脂を含む硬化樹脂層は、(a)ビニルアルコール系樹脂
と、(b)エポキシ基を有するアルコキシシランの(部
分)加水分解物、その(部分)縮合物またはこれらの混
合物、(c)アミノ基及び/またはイミノ基を有するア
ルコキシシランの(部分)加水分解物、その(部分)縮
合物またはこれらの混合物、および(d)ビニルアルコ
ール系樹脂可溶性溶剤を全溶剤量中、50重量%以上含
有する溶剤からなるアルコキシシランコーティング組成
物を塗工し、加熱硬化して得られるが、A層積層の場合
は、少なくとも乾燥被膜とし、次いでA層を形成した
後、A層と共にこれを加熱硬化させて得ることもでき
る。
The cured resin layer containing a vinyl alcohol-based resin crosslinked with a (partial) hydrolyzate of a specific alkoxysilane, a (partial) condensate thereof or a mixture thereof, which is the layer B of the present invention, comprises (a) (B) a (partial) hydrolyzate of an alkoxysilane having an epoxy group, a (partial) condensate thereof or a mixture thereof, and (c) an alkoxysilane having an amino group and / or an imino group. An alkoxysilane coating composition comprising a (partial) hydrolyzate, a (partial) condensate thereof, or a mixture thereof, and a solvent containing (d) a vinyl alcohol-based resin-soluble solvent in an amount of 50% by weight or more based on the total solvent amount is applied. It is obtained by heating and curing, but in the case of the layer A, at least a dry film is formed, and then the layer A is formed. It can also be obtained by heating and curing.

【0035】ここで、(a)ビニルアルコール系樹脂と
しては、公知の市販のものが適用でき、ビニルアルコー
ル成分を60モル%以上含有する高分子樹脂が好まし
い。具体的には、ポリビニルアルコール、ビニルアルコ
ール−酢酸ビニル共重合体、ビニルアルコール−ビニル
ブチラール共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重
合体、あるいは分子内にシリル基を有するポリビニルア
ルコール等が挙げられる。なかでもガスバリアー性、耐
溶剤性、密着性の点からポリビニルアルコール及び分子
内にシリル基を有するポリビニルアルコールが好ましく
使用される。
Here, as the vinyl alcohol resin (a), a known commercially available resin can be used, and a polymer resin containing a vinyl alcohol component at 60 mol% or more is preferable. Specific examples include polyvinyl alcohol, vinyl alcohol-vinyl acetate copolymer, vinyl alcohol-vinyl butyral copolymer, ethylene-vinyl alcohol copolymer, and polyvinyl alcohol having a silyl group in the molecule. Above all, polyvinyl alcohol and polyvinyl alcohol having a silyl group in the molecule are preferably used from the viewpoint of gas barrier properties, solvent resistance and adhesion.

【0036】本発明において、(b)エポキシ基を有す
るアルコキシシランの(部分)加水分解物、その(部
分)縮合物またはこれらの混合物を与えるアルコキシシ
ランは、下記一般式(1)
In the present invention, (b) an alkoxysilane which gives a (partial) hydrolyzate of an alkoxysilane having an epoxy group, a (partial) condensate thereof or a mixture thereof is represented by the following general formula (1)

【0037】[0037]

【化6】 Embedded image

【0038】で示されるエポキシ基を有するアルコキシ
シランである。
An alkoxysilane having an epoxy group represented by the following formula:

【0039】上記式(1)において、R1 は炭素数1〜
4のアルキレン基、R2 およびR3は炭素数1〜4のア
ルキル基、Xはグリシドキシ基またはエポキシシクロヘ
キシシル基であり、nは1または0である。
In the above formula (1), R 1 has 1 to 1 carbon atoms.
4 is an alkylene group, R 2 and R 3 are an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, X is a glycidoxy group or an epoxycyclohexyl group, and n is 1 or 0.

【0040】かかるエポキシ基を有するアルコキシシラ
ンとしては、例えば、グリシドキシメチルトリメトキシ
シラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、グリ
シドキシメチルトリプロポキシシラン、グリシドキシメ
チルトリブトキシシラン、2−グリシドキシエチルトリ
メトキシシラン、2−グリシドキシエチルトリエトキシ
シラン、2−グリシドキシエチルトリプロポキシシラ
ン、2−グリシドキシエチルトリブトキシシラン、1−
グリシドキシエチルトリメトキシシラン、1−グリシド
キシエチルトリエトキシシラン、1−グリシドキシエチ
ルトリプロポキシシラン、1−グリシドキシエチルトリ
ブトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラ
ン、3−グリシドキシプロピルトリプロポキシシラン、
3−グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、2−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−グリシド
キシプロピルトリエトキシシラン、2−グリシドキシプ
ロピルトリプロポキシシラン、2−グリシドキシプロピ
ルトリブトキシシラン、1−グリシドキシプロピルトリ
メトキシシラン、1−グリシドキシプロピルトリエトキ
シシラン、1−グリシドキシプロピルトリプロポキシシ
ラン、1−グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、
(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリメトキ
シシラン、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル
トリエトキシシラン、(3,4−エポキシシクロヘキシ
ル)メチルトリプロポキシシラン、(3,4−エポキシ
シクロヘキシル)メチルトリブトキシシラン、2−
(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキ
シシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エ
チルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシク
ロヘキシル)エチルトリプロポキシシラン、2−(3,
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリブトキシシラ
ン、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピル
トリメトキシシラン、3−(3,4−エポキシシクロヘ
キシル)プロピルトリエトキシシラン、3−(3,4−
エポキシシクロヘキシル)プロピルトリプロポキシシラ
ン、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピル
トリブトキシシラン、4−(3,4−エポキシシクロヘ
キシル)ブチルトリメトキシシラン、4−(3,4−エ
ポキシシクロヘキシル)ブチルトリエトキシシラン、4
−(3,4−エポキシシクロヘキシル)ブチルトリプロ
ポキシシラン、4−(3,4−エポキシシクロヘキシ
ル)ブチルトリブトキシシラン、ジエトキシ−3−グリ
シドキシプロピルメチルシラン等が挙げられる。
Examples of the alkoxysilane having an epoxy group include glycidoxymethyltrimethoxysilane, glycidoxymethyltriethoxysilane, glycidoxymethyltripropoxysilane, glycidoxymethyltributoxysilane, and 2-glycol Sidoxyethyltrimethoxysilane, 2-glycidoxyethyltriethoxysilane, 2-glycidoxyethyltripropoxysilane, 2-glycidoxyethyltributoxysilane, 1-
Glycidoxyethyltrimethoxysilane, 1-glycidoxyethyltriethoxysilane, 1-glycidoxyethyltripropoxysilane, 1-glycidoxyethyltributoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3- Glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltripropoxysilane,
3-glycidoxypropyltributoxysilane, 2-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 2-glycidoxypropyltriethoxysilane, 2-glycidoxypropyltripropoxysilane, 2-glycidoxypropyltributoxysilane, 1-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 1-glycidoxypropyltriethoxysilane, 1-glycidoxypropyltripropoxysilane, 1-glycidoxypropyltributoxysilane,
(3,4-epoxycyclohexyl) methyltrimethoxysilane, (3,4-epoxycyclohexyl) methyltriethoxysilane, (3,4-epoxycyclohexyl) methyltripropoxysilane, (3,4-epoxycyclohexyl) methyltributoxy Silane, 2-
(3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltripropoxysilane, 2- (3
4-epoxycyclohexyl) ethyltributoxysilane, 3- (3,4-epoxycyclohexyl) propyltrimethoxysilane, 3- (3,4-epoxycyclohexyl) propyltriethoxysilane, 3- (3,4-
Epoxy (cyclohexyl) propyltripropoxysilane, 3- (3,4-epoxycyclohexyl) propyltributoxysilane, 4- (3,4-epoxycyclohexyl) butyltrimethoxysilane, 4- (3,4-epoxycyclohexyl) butyltrisilane Ethoxysilane, 4
-(3,4-epoxycyclohexyl) butyltripropoxysilane, 4- (3,4-epoxycyclohexyl) butyltributoxysilane, diethoxy-3-glycidoxypropylmethylsilane and the like.

【0041】なかでも、特に好ましいエポキシ基を有す
るアルコキシシランは、3−グリシドキシプロピルトリ
メトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシ
ル)エチルトリメトキシシランである。これらの化合物
は単独で又は2種以上を併せて用いることができる。
Among them, particularly preferred alkoxysilanes having an epoxy group are 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane and 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane. These compounds can be used alone or in combination of two or more.

【0042】本発明において、(c)アミノ基及び/ま
たはイミノ基を有するアルコキシシランの(部分)加水
分解物、その(部分)縮合物またはこれらの混合物を与
えるアルコキシシランは、下記一般式(2)
In the present invention, (c) an alkoxysilane having a (partial) hydrolyzate, (partial) condensate or a mixture thereof of an alkoxysilane having an amino group and / or an imino group is represented by the following general formula (2) )

【0043】[0043]

【化7】 Embedded image

【0044】で示されるアミノ基及び/またはイミノ基
を有するアルコキシシランである。
An alkoxysilane having an amino group and / or an imino group represented by

【0045】上記式(2)において、R4 は炭素数1〜
4のアルキレン基、R5 およびRは炭素数1〜4のア
ルキル基、Yは水素原子またはアミノアルキル基であ
り、mは1または0である。
In the above formula (2), R 4 has 1 to 1 carbon atoms.
4, an alkylene group, R 5 and R 6 are an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, Y is a hydrogen atom or an aminoalkyl group, and m is 1 or 0.

【0046】かかるアミノ基及び/またはイミノ基を有
するアルコキシシランとしては、例えばアミノメチルト
リエトキシシラン、2−アミノエチルトリメトキシシラ
ン、2−アミノエチルトリエトキシシラン、2−アミノ
エチルトリプロポキシシラン、2−アミノエチルトリブ
トキシシラン、1−アミノエチルトリメトキシシラン、
1−アミノエチルトリエトキシシラン、3−アミノプロ
ピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエト
キシシラン、3−アミノプロピルトリプロポキシシラ
ン、3−アミノプロピルトリブトキシシラン、2−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン、2−アミノプロピルト
リエトキシシラン、2−アミノプロピルトリプロポキシ
シラン、2−アミノプロピルトリブトキシシラン、1−
アミノプロピルトリメトキシシラン、1−アミノプロピ
ルトリエトキシシラン、1−アミノプロピルトリプロポ
キシシラン、1−アミノプロピルトリブトキシシラン、
N−アミノメチルアミノメチルトリメトキシシラン、N
−アミノメチルアミノメチルトリプロポキシシラン、N
−アミノメチル−2−アミノエチルトリメトキシシラ
ン、N−アミノメチル−2−アミノエチルトリエトキシ
シラン、N−アミノメチル−2−アミノエチルトリプロ
ポキシシラン、N−アミノメチル−3−アミノプロピル
トリメトキシシラン、N−アミノメチル−3−アミノプ
ロピルトリエトキシシラン、N−アミノメチル−3−ア
ミノプロピルトリプロポキシシラン、N−アミノメチル
−2−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−アミノ
メチル−2−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−
アミノメチル−2−アミノプロピルトリプロポキシシラ
ン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミ
ノプロピルトリエトキシシラン、N−(2−アミノエチ
ル)−2−アミノエチルトリメトキシシラン、N−(2
−アミノエチル)−2−アミノエチルトリエトキシシラ
ン、N−(2−アミノエチル)−2−アミノエチルトリ
プロポキシシラン、N−(2−アミノエチル)−1−ア
ミノエチルトリメトキシシラン、N−(2−アミノエチ
ル)−1−アミノエチルトリエトキシシラン、N−(2
−アミノエチル)−1−アミノエチルトリプロポキシシ
ラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピル
トリエトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−
アミノプロピルトリプロポキシシラン、N−(3−アミ
ノプロピル)−2−アミノエチルトリメトキシシラン、
N−(3−アミノプロピル)−2−アミノエチルトリエ
トキシシラン、N−(3−アミノプロピル)−2−アミ
ノエチルトリプロポキシシラン、N−メチル−3−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルメ
チルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエ
トキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノ
プロピルメチルジメトキシシラン、3−ジエチレントリ
アミンプロピルトリエトキシシラン、3−[2−(2−
アミノエチルアミノエチルアミノ)プロピル]トリメト
キシシラン、トリメトキシシリルプロピルジエチレント
リアミン等が挙げられる。
Examples of the alkoxysilane having an amino group and / or an imino group include, for example, aminomethyltriethoxysilane, 2-aminoethyltrimethoxysilane, 2-aminoethyltriethoxysilane, 2-aminoethyltripropoxysilane, -Aminoethyltributoxysilane, 1-aminoethyltrimethoxysilane,
1-aminoethyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltripropoxysilane, 3-aminopropyltributoxysilane, 2-aminopropyltrimethoxysilane, 2- Aminopropyltriethoxysilane, 2-aminopropyltripropoxysilane, 2-aminopropyltributoxysilane, 1-
Aminopropyltrimethoxysilane, 1-aminopropyltriethoxysilane, 1-aminopropyltripropoxysilane, 1-aminopropyltributoxysilane,
N-aminomethylaminomethyltrimethoxysilane, N
-Aminomethylaminomethyltripropoxysilane, N
-Aminomethyl-2-aminoethyltrimethoxysilane, N-aminomethyl-2-aminoethyltriethoxysilane, N-aminomethyl-2-aminoethyltripropoxysilane, N-aminomethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane , N-aminomethyl-3-aminopropyltriethoxysilane, N-aminomethyl-3-aminopropyltripropoxysilane, N-aminomethyl-2-aminopropyltrimethoxysilane, N-aminomethyl-2-aminopropyltriethoxysilane Ethoxysilane, N-
Aminomethyl-2-aminopropyltripropoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -2-aminoethyltrimethoxysilane, N- (2
-Aminoethyl) -2-aminoethyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -2-aminoethyltripropoxysilane, N- (2-aminoethyl) -1-aminoethyltrimethoxysilane, N- ( 2-aminoethyl) -1-aminoethyltriethoxysilane, N- (2
-Aminoethyl) -1-aminoethyltripropoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-
Aminopropyltripropoxysilane, N- (3-aminopropyl) -2-aminoethyltrimethoxysilane,
N- (3-aminopropyl) -2-aminoethyltriethoxysilane, N- (3-aminopropyl) -2-aminoethyltripropoxysilane, N-methyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyl Methyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-diethylenetriaminepropyltriethoxysilane, 3- [2- (2-
Aminoethylaminoethylamino) propyl] trimethoxysilane, trimethoxysilylpropyldiethylenetriamine and the like.

【0047】中でも、特に好ましいアミノ基及び/また
はイミノ基を有するアルコキシシランは、3−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエ
トキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシ
ラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピル
トリメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−
アミノプロピルメチルジメトキシシランである。これら
の化合物は単独で、又は2種以上を併せて用いることが
できる。
Among them, particularly preferred alkoxysilanes having an amino group and / or imino group are 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, N- (2- Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-
Aminopropylmethyldimethoxysilane. These compounds can be used alone or in combination of two or more.

【0048】アルコキシシランの(部分)加水分解物及
びその(部分)縮合物は、該アルコキシシランの一部ま
たは全部が加水分解したもの、該加水分解物の一部又は
全部が縮合反応した縮合物、及び該(部分)加水分解物
と加水分解していない原料のアルコキシシランとが縮合
したものであり、これらはいわゆるゾルゲル反応させる
ことにより得られるものである。
The (partial) hydrolyzate of alkoxysilane and its (partial) condensate include those obtained by partially or wholly hydrolyzing the alkoxysilane and those obtained by subjecting part or all of the hydrolyzate to a condensation reaction. And the (partial) hydrolyzate condensed with the unhydrolyzed raw material alkoxysilane, which is obtained by a so-called sol-gel reaction.

【0049】該アルコキシシランの使用に際しては、そ
のまま成分として添加することもできるし、あらかじめ
加水分解を行った後、該アルコキシシランの(部分)加
水分解物及びその部分縮合物を添加して使用することも
可能である。
When the alkoxysilane is used, it can be added as a component as it is, or after hydrolysis in advance, a (partial) hydrolyzate of the alkoxysilane and a partial condensate thereof are used. It is also possible.

【0050】また加水分解に際しては通常の方法、例え
ば塩酸等の無機酸、酢酸等の有機酸またはカセイソーダ
のようなアルカリによって、あるいは水のみを用いて加
水分解する方法を利用することができる。また、加水分
解を均一に行う目的でアルコキシシランと溶媒を混合し
た後、加水分解を行うことも可能である。目的に応じ
て、加水分解に際しては冷却または加熱することも可能
である。また、加水分解後のアルコール等を加熱及び/
または減圧下に適当量除去して使用することも可能であ
るし、その後に適当な溶媒を添加することも可能であ
る。
For hydrolysis, a usual method, for example, a method of hydrolysis with an inorganic acid such as hydrochloric acid, an organic acid such as acetic acid or an alkali such as caustic soda, or using only water can be used. It is also possible to carry out the hydrolysis after mixing the alkoxysilane and the solvent for the purpose of performing the hydrolysis uniformly. Depending on the purpose, cooling or heating can be performed during the hydrolysis. Further, the alcohol or the like after hydrolysis is heated and / or
Alternatively, it is also possible to remove an appropriate amount under reduced pressure before use, or to add an appropriate solvent thereafter.

【0051】上記成分(d)の溶剤は、ビニルアルコー
ル系樹脂可溶性溶剤を全溶剤量中、50重量%以上含有
する溶剤である。ビニルアルコール系樹脂可溶性溶剤と
しては、使用する樹脂に合わせて適宜選択すればよく、
例えばポリビニルアルコール(ケン化度99%以上)で
は水、ジメチルイミダゾリン等が、エチレン−ビニルア
ルコール共重合体では水とプロパノールの混合溶媒等が
挙げられる。
The solvent of the component (d) is a solvent containing a vinyl alcohol resin soluble solvent in an amount of 50% by weight or more based on the total amount of the solvent. The vinyl alcohol-based resin soluble solvent may be appropriately selected according to the resin used,
For example, water and dimethylimidazoline are used for polyvinyl alcohol (having a saponification degree of 99% or more), and a mixed solvent of water and propanol is used for an ethylene-vinyl alcohol copolymer.

【0052】また、併用可能な溶剤としてはビニルアル
コール系樹脂可溶性溶剤と、均一に混合するものであれ
ば良く、コート膜の蒸発速度、レベリング性等を調整す
るために適宜選択される。
The solvent that can be used in combination may be any solvent that can be uniformly mixed with the vinyl alcohol-based resin-soluble solvent, and is appropriately selected to adjust the evaporation rate, leveling property, and the like of the coat film.

【0053】成分(a)〜(d)は各々次のような割合
とする。即ち成分(a)と成分(b)および成分(c)
の重量比(a)/[(b)+(c)]が9/1〜1/3
の範囲で用いる。ここで成分(b)は下記式(5)
Each of the components (a) to (d) has the following ratio. That is, component (a), component (b), and component (c)
Weight ratio (a) / [(b) + (c)] is 9/1 to 1/3
Use within the range. Here, the component (b) is represented by the following formula (5)

【0054】[0054]

【化8】 Embedded image

【0055】で示される化合物による重量基準、成分
(c)は下記式(6)
The component (c) based on the weight of the compound represented by the following formula is represented by the following formula (6).

【0056】[0056]

【化9】 Embedded image

【0057】で示される化合物による重量基準である。
(a)/[(b)+(c)]が9/1を超えると、耐溶
剤性に劣る傾向となり、逆に1/3未満ではガスバリア
ー性が低下する傾向となる。
Based on the weight of the compound represented by
When (a) / [(b) + (c)] is more than 9/1, the solvent resistance tends to be inferior, and when it is less than 1/3, the gas barrier property tends to decrease.

【0058】また、成分(b)と成分(c)との配合比
率は、得られる硬化樹脂膜の性能に影響し、(エポキシ
基)/(アミノ基とイミノ基の総和)がモル当量換算で
2/1から1/4のときに密着性、耐熱性、耐薬品性、
耐水性、耐久性に優れる硬化樹脂膜が得られる。成分
(b)または成分(c)のどちらかの成分が他方に対し
て過剰になり、上記範囲からはずれるにともない硬化樹
脂膜の性能が低下する。
The mixing ratio of the component (b) and the component (c) affects the performance of the cured resin film to be obtained, and (epoxy group) / (sum of amino group and imino group) is calculated in terms of molar equivalent. When 2/1 to 1/4, adhesion, heat resistance, chemical resistance,
A cured resin film having excellent water resistance and durability can be obtained. Either the component (b) or the component (c) becomes excessive relative to the other, and the performance of the cured resin film deteriorates as it deviates from the above range.

【0059】成分(c)は、成分(b)の加水分解物の
縮合触媒であり、同時にエポキシ基の重合触媒として作
用するので、成分(b)の加水分解物に成分(c)を加
えると反応が急速におこり、コーティング液がゲル化し
てしまう。そのため成分(c)にカルボン酸を加えて弱
酸性の有機酸塩として調製に用いることによりポットラ
イフを調整することが好ましい。
Component (c) is a condensation catalyst for the hydrolyzate of component (b), and at the same time acts as a polymerization catalyst for epoxy groups. Therefore, when component (c) is added to the hydrolyzate of component (b), The reaction occurs rapidly and the coating solution gels. Therefore, it is preferable to adjust the pot life by adding a carboxylic acid to the component (c) and using it as a weakly acidic organic acid salt in the preparation.

【0060】ここでカルボン酸としては、例として蟻
酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸等が挙げられるが、その
酸性度、揮発性からみて酢酸が最も好ましい。また、カ
ルボン酸の添加量は成分(c)のアミノ基およびイミノ
基の総和1モルあたり0.1〜10モル量の範囲、好ま
しくは0.5〜5.0モルの範囲であり、この量が0.
1モル未満では、これから調製されるコーティング液の
ポットライフが短くなりゲル化しやすくなる。一方10
モル量を超えるとコーティング液の硬化が不十分とな
り、したがって得られる硬化樹脂膜の性能が低下する。
The carboxylic acid includes, for example, formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid and the like, and acetic acid is most preferable in view of its acidity and volatility. The amount of the carboxylic acid to be added is in the range of 0.1 to 10 mol, preferably 0.5 to 5.0 mol, per 1 mol of the total of the amino groups and imino groups of the component (c). Is 0.
If the amount is less than 1 mol, the pot life of the coating solution prepared from this becomes short, and the coating solution tends to gel. On the other hand 10
If the molar amount is exceeded, the curing of the coating liquid becomes insufficient, and the performance of the obtained cured resin film is reduced.

【0061】さらに成分(d)は、成分(a)、(b)
および(c)の合計固形分量100重量部に対し、20
0重量部以上、99900重量部以下の範囲が好ましく
用いられる。200重量部未満では組成物の保存安定性
が悪化し、一方99900重量部を超えると組成物自体
の保存安定性は良好化するが、組成物中の固形分が少な
くなり、コーティングに供して得られる硬化樹脂膜の膜
厚が制限される。
Further, the component (d) is composed of the components (a) and (b)
And 100 parts by weight of the total solid content of (c), 20
A range of 0 to 99900 parts by weight is preferably used. When the amount is less than 200 parts by weight, the storage stability of the composition is deteriorated. On the other hand, when the amount is more than 99900 parts by weight, the storage stability of the composition itself is improved, but the solid content in the composition is reduced and the composition is obtained by coating. The thickness of the cured resin film to be obtained is limited.

【0062】また、アルコキシシランコーテイング組成
物には、必要に応じて硬化触媒を添加することも可能で
ある。硬化触媒としては、例えば、アルミニウムアセチ
ルアセトナート、アルミニウムエチルアセトアセテート
ビスアセチルアセトナート、アルミニウムビスアセトア
セテートアセチルアセトナート、アルミニウムジ−n−
ブトキシドモノエチルアセトアセテート、アルミニウム
ジ−i−プロポキシドモノメチルアセトアセテート等の
アルミニウムキレート化合物;酢酸ナトリウム、酢酸カ
リウム、ギ酸カリウム等のカルボン酸のアルカリ金属
塩;ジメチルアミンアセテート、エタノールアセトエー
ト、ジメチルアニリンホルメート等のアミンカルボキシ
レート;水酸化ベンジルトリメチルアンモニウム、酢酸
テトラメチルアンモニウム、酢酸ベンジルトリメチルア
ンモニウムのような第四級アンモニウム塩;オクタン酸
スズのような金属カルボン酸塩;トリエチルアミン、ト
リエタノールアミン、ピリジンのようなアミン;および
1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセ
ンが用いられる。これらの化合物は単独で又は2種以上
を併せて用いることができる。
Further, a curing catalyst can be added to the alkoxysilane coating composition, if necessary. As the curing catalyst, for example, aluminum acetylacetonate, aluminum ethyl acetoacetate bisacetylacetonate, aluminum bisacetoacetate acetylacetonate, aluminum di-n-
Aluminum chelate compounds such as butoxide monoethyl acetoacetate and aluminum di-i-propoxide monomethyl acetoacetate; alkali metal salts of carboxylic acids such as sodium acetate, potassium acetate and potassium formate; dimethylamine acetate, ethanol acetoate, dimethylaniline phosphate Amine carboxylates such as mate; quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium hydroxide, tetramethylammonium acetate and benzyltrimethylammonium acetate; metal carboxylate salts such as tin octoate; triethylamine, triethanolamine and pyridine Such amines; and 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene are used. These compounds can be used alone or in combination of two or more.

【0063】また、該コーティング組成物に、表面平滑
性を改良する目的で各種界面活性剤の添加が可能であ
り、例としてはシリコーン系化合物、フッ素系界面活性
剤、有機界面活性剤などが使用できる。さらに改質剤と
しては前記コーティング組成物と相容性のよい各種エポ
キシ樹脂、メラミン樹脂、アミド樹脂、コロイダルシリ
カ等を添加してもよい。このような成分(a)〜(d)
以外の添加成分は、本発明の硬化樹脂膜に対して耐熱
性、耐候性、耐水性、耐久性、密着性、あるいは耐溶剤
性など、本発明が適用される用途に応じて種々の実用特
性を改良しうるものである。
Various surfactants can be added to the coating composition for the purpose of improving the surface smoothness. For example, silicone compounds, fluorine surfactants, organic surfactants and the like can be used. it can. Further, as a modifier, various epoxy resins, melamine resins, amide resins, colloidal silica, etc., which are compatible with the coating composition may be added. Such components (a) to (d)
The additional components other than the above have various practical properties depending on the application to which the present invention is applied, such as heat resistance, weather resistance, water resistance, durability, adhesion, or solvent resistance to the cured resin film of the present invention. Can be improved.

【0064】本発明で用いるアルコキシシランコーティ
ング組成物を調製するに際しては、例えば成分(a)〜
(d)を一度に混合してもよい。その際、成分(b)及
び(c)についてはあらかじめ加水分解などの処理を施
したものを用いても、一般式(1)で示される化合物及
び一般式(2)の化合物を用いることもできる。いずれ
も本発明で用いるアルコキシシランコーティング組成物
の調製には有用な方法であるが、好ましくは(a)と
(d)からなる溶液にカルボン酸を添加し、次いで一般
式(2)で示される化合物を添加し、一般式(1)で示
される化合物を添加することが好ましい。また、必要に
応じて該コーティング組成物の各調整段階において加熱
してもよい。さらに、必要に応じて熟成させてもよい。
In preparing the alkoxysilane coating composition used in the present invention, for example, components (a) to
(D) may be mixed at once. At that time, the compounds represented by the general formula (1) and the compounds of the general formula (2) can be used even if the components (b) and (c) have been subjected to a treatment such as hydrolysis in advance. . Both are useful methods for preparing the alkoxysilane coating composition used in the present invention. Preferably, a carboxylic acid is added to a solution composed of (a) and (d), and then represented by the general formula (2). It is preferable to add the compound and the compound represented by the general formula (1). Moreover, you may heat at each adjustment stage of this coating composition as needed. Furthermore, you may ripen as needed.

【0065】本発明の製造方法において、B層形成の為
の塗布方法は上記A層と同様、ディップコート、スプレ
ーコート、フローコート、ロールコート、バーコート、
スピンコート等通常使われている塗布方法が用いられ
る。B層の厚みとしては0.01〜100μm、好まし
くは0.1〜100μmの範囲が好ましい。硬化樹脂層
の厚みが0.01μm未満ではガスバリアー性が不十分
であり、100μmを超えるとコート膜の硬化に時間が
かかり経済的に好ましくない。
In the manufacturing method of the present invention, the coating method for forming the layer B is the same as that for the layer A, such as dip coating, spray coating, flow coating, roll coating, bar coating,
A commonly used coating method such as spin coating is used. The thickness of the layer B is preferably in the range of 0.01 to 100 μm, and more preferably 0.1 to 100 μm. If the thickness of the cured resin layer is less than 0.01 μm, the gas barrier properties are insufficient, and if it exceeds 100 μm, it takes a long time to cure the coat film, which is economically undesirable.

【0066】アルコキシシランコーテイング組成物を塗
布された高分子フィルムは、通常常温から該フィルムの
ガラス転移点以下の温度下で溶媒の蒸発除去を行い、次
いで50℃以上、好ましくは80℃以上の温度で加熱硬
化する。
The polymer film coated with the alkoxysilane coating composition is usually subjected to evaporation of the solvent at a temperature from room temperature to a temperature not higher than the glass transition point of the film, and then to a temperature of 50 ° C. or higher, preferably 80 ° C. or higher. And heat cure.

【0067】この過程でアルコキシシランコーティング
組成物中の成分(a)ビニルアルコール系樹脂が、成分
(b)及び(c)のアルコキシシランの(部分)加水分
解物等により架橋される等の反応が生成し、透明な硬化
樹脂膜からなるB層が形成される。
In this process, the reaction such as the crosslinking of the component (a) vinyl alcohol resin in the alkoxysilane coating composition by the (partial) hydrolyzate of the alkoxysilane of the components (b) and (c) is performed. Then, a layer B composed of a transparent cured resin film is formed.

【0068】本発明の透明ガスバリアー性積層フィルム
においては、上記A層とB層とが接して構成されればよ
く、従って、その製造方法には、金属酸化物層(C層)
または透明高分子フィルムに接する層としては、いずれ
の層が形成される製造方法をも包含する。
In the transparent gas barrier laminate film of the present invention, the layer A and the layer B only need to be in contact with each other. Therefore, the production method includes a metal oxide layer (C layer).
Alternatively, the layer in contact with the transparent polymer film includes a production method in which any layer is formed.

【0069】即ち、本発明における積層フィルムのA層
及びB層は、いずれも架橋硬化した被膜であり、高分子
フィルム、特にポリカーボネートフィルムとの密着性が
極めて良好であり、また耐アルカリ性や耐N−メチルピ
ロリドン(NMP)性などの耐溶剤性に極めて優れたも
のである。このことは積層構成の自由度が高いことを意
味しており、すなわち該積層フィルムは、透明高分子フ
ィルムの少なくとも片面上にA層とB層とが接して積層
されていればよく、透明高分子フィルムにA層を積層し
てからB層を積層する方法、B層を積層してからA層を
積層する方法いずれの方法でもよい。
That is, both the A layer and the B layer of the laminated film of the present invention are crosslinked and cured coatings, have extremely good adhesion to a polymer film, especially a polycarbonate film, and have an alkali resistance and an N resistance. -It is extremely excellent in solvent resistance such as methylpyrrolidone (NMP) property. This means that the degree of freedom of the laminated structure is high, that is, the laminated film only needs to have the layer A and the layer B in contact with and laminated on at least one side of the transparent polymer film. Either a method of laminating the layer A and then the layer B on the molecular film, or a method of laminating the layer B and laminating the layer A may be used.

【0070】またA層及びB層は、前記した金属酸化物
層(C層)との密着性も良好であることから、C層を有
する透明積層フィルムにおいても積層方法に制約はな
く、例えば片面のみにC層を有する透明積層フィルムで
は、C層の上にA層を積層してからB層を積層する方
法、C層の上にB層を積層してからA層を積層する方法
いずれでもよい。
Since the A layer and the B layer have good adhesion to the metal oxide layer (C layer) described above, the laminating method is not limited even in a transparent laminated film having the C layer. In the case of the transparent laminated film having only the C layer, the method of laminating the A layer on the C layer and then laminating the B layer, or the method of laminating the B layer on the C layer and then laminating the A layer Good.

【0071】この際、A層とB層のいずれをC層の上に
形成するかによって、上記、A層のセラミックス化及び
B層の硬化方法の好適な態様が異なる。即ち、A層の上
にB層を積層する場合は、セラミックスへの転化を前記
したSiO/SiN比で0.3以上としたA層の上にB
層を積層し、加熱硬化することが好ましい。この際の熱
処理時間としては、処理温度にも依存するため一慨には
いえないが、例えば130℃の温度で行う場合は3分以
上、好ましくは5分以上、更に好ましくは10分以上の
熱処理が行われる。3分未満ではガスバリアー性が得ら
れないことがあるため好ましくない。
At this time, the preferred mode of the above-mentioned method for forming the ceramics of the A layer and curing the B layer differs depending on whether the A layer or the B layer is formed on the C layer. That is, when the layer B is laminated on the layer A, the conversion to ceramics is performed on the layer A with the SiO / SiN ratio of 0.3 or more.
Preferably, the layers are laminated and cured by heating. The heat treatment time at this time depends on the treatment temperature, and cannot be said unconditionally. For example, when the heat treatment is performed at a temperature of 130 ° C., the heat treatment time is 3 minutes or more, preferably 5 minutes or more, more preferably 10 minutes or more. Is performed. If it is less than 3 minutes, gas barrier properties may not be obtained, which is not preferable.

【0072】一方、B層の上にA層を積層する場合は、
B層を加熱硬化する前にA層を積層しても、B層を加熱
硬化した後にA層を積層してもいずれでもよく、この際
のB層の熱処理時間としては、処理温度にも依存するた
め一慨にはいえないが、例えば130℃の温度で行う場
合は3分未満で1分程度にまで短縮できる。
On the other hand, when the layer A is laminated on the layer B,
The layer A may be laminated before the layer B is heat-cured, or the layer A may be laminated after the layer B is cured. The heat treatment time of the layer B depends on the processing temperature. For example, when the temperature is 130 ° C., the time can be reduced to less than 3 minutes to about 1 minute.

【0073】従って、A層とB層の積層する順番が変わ
ると、好適な熱処理時間が異なり、生産性の観点では、
より熱処理時間が短くできるB層を積層してからA層を
積層する方法が好ましい。
Therefore, if the order of laminating the A layer and the B layer is changed, a suitable heat treatment time is different, and from the viewpoint of productivity,
It is preferable to stack the layer B, which can shorten the heat treatment time, and then stack the layer A.

【0074】また、透明高分子フィルムのC層のない面
にA層とB層を積層した積層フィルムも本発明において
好適に実施される例であるが、C層である金属酸化物、
特に生産性が良好で好適に使用されるケイ素酸化物が最
外層にある場合、アルカリ水溶液で容易に浸食されてし
まうという欠点があるため、この場合は耐溶剤層を設け
るのが好ましい。耐溶剤層としては、耐溶剤性を示し、
使用する金属酸化物との密着性が良好なものを適宜選択
すればよく、例えば金属酸化物層としてケイ素酸化物を
使用した場合は、本発明のB層である架橋ビニルアルコ
ール系樹脂、特願平7−336664号明細書に示され
ているようなアルコキシシランの加水分解物を混合した
放射線硬化型樹脂等が挙げられる。
Also, a laminated film in which the layer A and the layer B are laminated on the surface of the transparent polymer film on which the layer C is not provided is a preferred example of the present invention.
In particular, in the case where silicon oxide, which has good productivity and is preferably used, is in the outermost layer, there is a disadvantage that it is easily eroded by an aqueous alkali solution. In this case, it is preferable to provide a solvent-resistant layer. As a solvent-resistant layer, it shows solvent resistance,
What has good adhesion with the metal oxide to be used may be appropriately selected. For example, when silicon oxide is used as the metal oxide layer, the crosslinked vinyl alcohol-based resin as the B layer of the present invention, A radiation-curable resin mixed with a hydrolyzate of an alkoxysilane as described in JP-A-7-336664 is exemplified.

【0075】[0075]

【実施例】以下、実施例を挙げ本発明をさらに具体的に
説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるもので
はない。なお、実施例中における各種の測定は下記のと
おり行った。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to the following examples. Various measurements in the examples were performed as described below.

【0076】積層フィルム外観:肉眼観察で着色、塗工
むらの有無などを調べた。
Appearance of laminated film: Coloring and the presence of uneven coating were examined by visual observation.

【0077】透明性:分光光度計(日立製作所製、U−
3500)を用い波長550nmの平行光線の光透過率
を測定した。また、日本電色製、COH−300Aを用
いてヘイズ値(△H%)を測定した。
Transparency: Spectrophotometer (U-Made by Hitachi, Ltd.)
3500), the light transmittance of a parallel light beam having a wavelength of 550 nm was measured. The haze value (ΔH%) was measured using COH-300A manufactured by Nippon Denshoku.

【0078】光学等方性:日本分光社製、多波長複屈折
率測定装置M−150を用い、波長590nmの光に対
するリタデーション値を測定した。
Optical Isotropy: The retardation value for light having a wavelength of 590 nm was measured using a multi-wavelength birefringence measuring apparatus M-150 manufactured by JASCO Corporation.

【0079】平面性:WYCO社製、TOPO−3Dを
用い、表面粗さRaを測定した。ここで、Raは、位相
シフト干渉法を測定原理に、400倍の倍率でフィルム
表面上の辺の長さが256μmの長方形の面を1μmの
間隔で測定したときに得られる中心線平均粗さのことで
ある。
Flatness: Surface roughness Ra was measured using TOPO-3D manufactured by WYCO. Here, Ra is the center line average roughness obtained when measuring a rectangular surface having a side length of 256 μm on the film surface at an interval of 1 μm at a magnification of 400 times using a phase shift interferometer as a measurement principle. That is.

【0080】耐溶剤性:25℃の3.5%NaOH水
溶液に10分間浸漬し、流水にて十分洗浄を行った後、
乾燥させ、外観を目視して観察した。
Solvent resistance: immersed in a 3.5% NaOH aqueous solution at 25 ° C. for 10 minutes, washed sufficiently with running water,
After drying, the appearance was visually observed.

【0081】耐溶剤性:25℃の5.0%HCl水溶
液に10分間浸漬し、流水にて十分洗浄を行った後、乾
燥させ、外観を目視して観察した。
Solvent resistance: The film was immersed in a 5.0% HCl aqueous solution at 25 ° C. for 10 minutes, washed sufficiently with running water, dried, and visually observed.

【0082】耐溶剤性:80℃のN−メチルピロリド
ンを積層フィルムの上に数滴滴下し5分間放置して、流
水にて十分洗浄を行った後、外観を目視にて観察した。
Solvent resistance: A few drops of N-methylpyrrolidone at 80 ° C. were dropped on the laminated film, left for 5 minutes, sufficiently washed with running water, and the appearance was visually observed.

【0083】ガスバリアー性:モダンコントロール
(MOCON)社製、OX−TRAN2/20型を用い
30℃、50%RH雰囲気下で酸素透過性を測定した。 ガスバリアー性:MOCON社製、OX−TRAN
2/20型を用い30℃、90%RH雰囲気下で酸素透
過性を測定した。
Gas barrier property: Oxygen permeability was measured at 30 ° C. and 50% RH using OX-TRAN 2/20 manufactured by Modern Control (MOCON). Gas barrier property: OX-TRAN manufactured by MOCON
Oxygen permeability was measured using a 2/20 type at 30 ° C. and 90% RH atmosphere.

【0084】密着性:ナイフで試験片表面に縦、横1m
m間隔で切れ目を入れ、100個の碁盤目を形成する。
その上にセロファンテープ(ニチバン(株)製商品名セ
ロテープ)を張付けた後、表面から90度の方向に一気
に引っ張り剥離して、表面に残った目の数で接着性を評
価した。従って、100/100は完全接着、0/10
0は完全剥離を意味する(JIS K5400に準
拠)。
Adhesion: 1 m vertically and horizontally on the surface of the test piece with a knife
Cuts are made at m intervals to form 100 grids.
After a cellophane tape (Cellotape, trade name, manufactured by Nichiban Co., Ltd.) was stuck thereon, the film was peeled off at once from the surface in a direction of 90 degrees, and the adhesiveness was evaluated by the number of eyes remaining on the surface. Therefore, 100/100 is perfect adhesion, 0/10
0 means complete peeling (based on JIS K5400).

【0085】可撓性:10mmφのロットに積層フィル
ムを巻き付け、クラック発生等の外観変化の有無を観測
した。
Flexibility: The laminated film was wound around a lot of 10 mmφ, and the presence or absence of appearance change such as crack generation was observed.

【0086】耐久性:恒温恒湿炉で60℃、90%RH
にて100時間保持し、自然放冷後の硬化被膜の外観変
化の有無を観測した。
Durability: 60 ° C., 90% RH in a constant temperature and humidity oven
For 100 hours, and the presence or absence of an appearance change of the cured film after natural cooling was observed.

【0087】また、実施例1〜6および比較例1〜4に
共通の高分子フィルムの製造等は、以下の通りである。
The production of a polymer film common to Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 4 is as follows.

【0088】(1)高分子フィルムの製造 ビスフェノール成分がビスフェノールAのみからなる平
均分子量37,000のポリカーボネート樹脂を、メチ
レンクロライドに濃度が20重量%になるように溶解し
た。そしてこの溶液をダイコーティング法により厚さ1
75μmのポリエステルフィルム上に流延した。次い
で、乾燥炉で残留溶媒濃度が13重量%になるまで乾燥
し、ポリエステルフィルムから剥離した。そして、得ら
れたポリカーボネートフィルムを温度120℃の乾燥炉
で縦横の張力をバランスさせながら、残留溶媒濃度が
0.08重量%になるまで乾燥させた。
(1) Production of Polymer Film A polycarbonate resin having an average molecular weight of 37,000, consisting of bisphenol A alone, was dissolved in methylene chloride to a concentration of 20% by weight. This solution is applied to a thickness of 1 by die coating method.
It was cast on a 75 μm polyester film. Next, it was dried in a drying oven until the residual solvent concentration became 13% by weight, and was peeled off from the polyester film. Then, the obtained polycarbonate film was dried in a drying furnace at a temperature of 120 ° C. while balancing the longitudinal and horizontal tensions until the residual solvent concentration became 0.08% by weight.

【0089】こうして得られた透明フィルムは、厚みが
103μm、波長550nmにおける光線透過率は91
%であった。
The transparent film thus obtained has a thickness of 103 μm and a light transmittance at a wavelength of 550 nm of 91 μm.
%Met.

【0090】また、同様の製膜方法にて、平均分子量2
2,000のポリエーテルスルホン樹脂を用いて、ポリ
エーテルスルホンフィルムを得た。このフィルムは、厚
みが95μm、波長550nmにおける光線透過率は8
9%であった。
Further, an average molecular weight of 2
A polyethersulfone film was obtained using 2,000 polyethersulfone resins. This film has a thickness of 95 μm and a light transmittance of 8 at a wavelength of 550 nm.
9%.

【0091】(2)ポリシラザンコーテイング組成物の
調製 ポリシラザンとして、東燃(株)製ペルヒドロポリシラ
ザン(低温焼成タイプ)を用い、ポリシラザン可溶性溶
剤として、m−キシレンとn−ヘキサンの混合溶媒を使
用した。ポリシラザン含有量が1重量%(組成物)ま
たは5重量%(組成物)、m−キシレンとn−ヘキサ
ンの混合比が50:50(重量比)となるように調製し
た。
(2) Preparation of Polysilazane Coating Composition Perhydropolysilazane (low-temperature firing type) manufactured by Tonen Co., Ltd. was used as polysilazane, and a mixed solvent of m-xylene and n-hexane was used as polysilazane-soluble solvent. The polysilazane content was adjusted to 1% by weight (composition) or 5% by weight (composition), and the mixture ratio of m-xylene and n-hexane was adjusted to 50:50 (weight ratio).

【0092】(3)アルコキシシランコーテイング組成
物の調製 次に、表2,3に示す仕込み組成で、本発明の透明ガス
バリアー性積層フィルムのB層を与えるアルコキシシラ
ンコーテイング組成物a〜gの7種類を調製した。具体
的な調製方法は後述する。なお、下記実施例において、
成分(b)および(c)については、加水分解前の化合
物(一般式(1)または(2)で示されるアルコキシシ
ラン)を用いて各コーテイング組成物を調製した。表
2,3においても、仕込み組成は該化合物を成分
(b)、(c)として記載する。
(3) Preparation of Alkoxysilane Coating Composition Next, with the charged compositions shown in Tables 2 and 3, the alkoxysilane coating compositions a to g of the transparent gas barrier laminate film of the present invention, which provide layer B, were prepared. Types were prepared. A specific preparation method will be described later. In the following examples,
As for the components (b) and (c), each coating composition was prepared using a compound before hydrolysis (alkoxysilane represented by the general formula (1) or (2)). Also in Tables 2 and 3, the charged composition describes the compound as components (b) and (c).

【0093】(4)金属酸化物層(C層)の形成 ポリエーテルスルホンフィルムの片面に金属酸化物層
(C層)を形成した。この金属酸化物としてSiO小片
を5×10-5torrの真空中で加熱蒸着し、厚さ20
nmのケイ素酸化物被膜を形成した。このケイ素酸化物
はSiOxの平均組成でxはおよそ1.7であった。
(4) Formation of Metal Oxide Layer (C Layer) A metal oxide layer (C layer) was formed on one surface of the polyethersulfone film. As a metal oxide, a small piece of SiO was heated and evaporated in a vacuum of 5 × 10 −5 torr to a thickness of 20 μm.
nm of a silicon oxide film was formed. In this silicon oxide, x was about 1.7 in the average composition of SiOx.

【0094】(5)各実施例、比較例の操作 上記で得られたポリカーボネートフィルム(200×3
00mm)、または金属酸化物薄膜として厚さ20nm
のSiO1.7 が設けられたポリエーテルスルホンフィル
ム(200×300mm)上に、ポリシラザンコーティ
ング組成物、及び調製してから24時間、室温で熟
成した後のアルコキシシランコーティング組成物a〜g
をそれぞれマイヤーバーを用いて、表2または3に示す
順にコーティングし、表2,3に示す条件下で熱処理を
行い、表2,3に示す各膜厚を有する積層フィルムを得
た。このようにして得られた試験片を用い、各種のテス
トを行った。この結果を表2,3に示す。
(5) Operation of Examples and Comparative Examples The polycarbonate films (200 × 3
00 mm), or 20 nm thick as a metal oxide thin film
A polysilazane coating composition on a polyethersulfone film (200 × 300 mm) provided with SiO 1.7 and alkoxysilane coating compositions a to g after aging at room temperature for 24 hours after preparation
Were respectively coated using a Meyer bar in the order shown in Table 2 or 3, and heat-treated under the conditions shown in Tables 2 and 3 to obtain laminated films having the respective film thicknesses shown in Tables 2 and 3. Various tests were performed using the test pieces thus obtained. The results are shown in Tables 2 and 3.

【0095】なお、表2,3中、B層の熱処理条件はア
ルコキシシランコーテイング組成物のコーテイングがポ
リシラザンコーテイング組成物のそれよりも前に行われ
た場合にはB層のみの熱処理条件を示す。
In Tables 2 and 3, the heat treatment conditions for the B layer indicate the heat treatment conditions for the B layer only when the coating of the alkoxysilane coating composition was performed before that of the polysilazane coating composition.

【0096】〔参考例1〜6〕 (ポリシラザンのセラミックス化の評価)IR測定によ
り、セラミックスへの転化度合を以下に定義する式より
求めた。
Reference Examples 1 to 6 (Evaluation of Ceramic Conversion of Polysilazane) The degree of conversion to ceramics was determined by IR measurement according to the following equation.

【0097】[0097]

【数2】SiO/SiN比=転化後のSiO吸光度/転
化後のSiN吸光度
## EQU2 ## SiO / SiN ratio = SiO absorbance after conversion / SiN absorbance after conversion

【0098】SiO吸光度は約1160cm-1、SiN
吸光度は約840cm-1の特性吸収より算出した。Si
O/SiN比が大きいほどシリカ組成に近いセラミック
スへの転化が進んでいることを示す。
The SiO absorbance is about 1160 cm -1 , SiN
Absorbance was calculated from characteristic absorption at about 840 cm -1 . Si
The higher the O / SiN ratio, the more conversion to ceramics having a silica composition is progressing.

【0099】具体的には、実施例で調製したポリシラザ
ンコーティング組成物(表中、コーテイング組成物)
、をシリコンウエハ上(15×25×0.5mm)
にスピンコーターを用いてコーティングし、厚さ50n
m、150nmのポリシラザンの塗膜を得た。この塗膜
を表1に示す条件で処理し、処理後の塗膜のIRスペク
トルより、SiO/SiN比を求めた。なお、参考例4
は、150℃×30分の後、130℃×15分の処理条
件を示す。これらの結果を表1に示す。
More specifically, the polysilazane coating composition prepared in the examples (in the table, the coating composition)
On a silicon wafer (15 × 25 × 0.5 mm)
Is coated using a spin coater and has a thickness of 50n.
A polysilazane coating having a thickness of 150 nm was obtained. This coating film was treated under the conditions shown in Table 1, and the SiO / SiN ratio was determined from the IR spectrum of the treated coating film. Reference Example 4
Indicates processing conditions of 130 ° C. × 15 minutes after 150 ° C. × 30 minutes. Table 1 shows the results.

【0100】[0100]

【表1】 [Table 1]

【0101】次に、各実施例、比較例について説明す
る。 〔実施例1〕透明高分子フィルムがポリカーボネート
で、この上にA層を積層、熱処理してからB層を積層し
た例である。
Next, examples and comparative examples will be described. [Example 1] In this example, a transparent polymer film is made of polycarbonate, layer A is laminated thereon, heat-treated, and layer B is laminated.

【0102】アルコキシシランコーティング組成物の
(a)ビニルアルコール系樹脂として、日本合成化学
(株)製、ポリビニルアルコール(ゴーセノールNM−
11Q(ケン化度99%以上))を用い、エポキシ基を
有するアルコキシシランとして、3−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシランを、アミノ基を有するアルコキ
シシランにアミノプロピルトリメトキシシランを用い、
(a)/〔(b)+(c)〕=2/1(重量比)、(エ
ポキシ基)/(アミノ基+イミノ基の総和)=1/1
(モル比)とした。該コーティング組成物の調製にあた
っては、ポリビニルアルコールと蒸留水(d)からなる
溶液に酢酸を混合し、溶液が均一になってからアミノプ
ロピルトリメトキシシランを滴下して加水分解反応を行
い、30分間そのまま撹拌を継続後、3−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシランを加えた。
As the vinyl alcohol resin (a) of the alkoxysilane coating composition, polyvinyl alcohol (Gohsenol NM- manufactured by Nippon Synthetic Chemical Co., Ltd.)
11Q (a degree of saponification of 99% or more)), using 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane as an alkoxysilane having an epoxy group, and aminopropyltrimethoxysilane as an alkoxysilane having an amino group,
(A) / [(b) + (c)] = 2/1 (weight ratio), (epoxy group) / (sum of amino group + imino group) = 1/1
(Molar ratio). In preparing the coating composition, acetic acid is mixed with a solution composed of polyvinyl alcohol and distilled water (d), and after the solution is homogenized, aminopropyltrimethoxysilane is added dropwise to carry out a hydrolysis reaction, and the reaction is carried out for 30 minutes. After continuing stirring as it is, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane was added.

【0103】A層のセラミックスへの転化度合は参考例
3で求めたSiO/SiN比で1.1であった。得られ
た試験片は、表2に示すとおり、いずれの評価結果も良
好であった。
The degree of conversion of the layer A to ceramics was 1.1 in terms of the SiO / SiN ratio obtained in Reference Example 3. As shown in Table 2, the obtained test pieces had good evaluation results.

【0104】〔実施例2〕透明高分子フィルムがポリカ
ーボネートで、この上にB層を積層し、2分間の熱処理
後、A層を積層した例である。
Example 2 In this example, a transparent polymer film is made of polycarbonate, a layer B is laminated thereon, a heat treatment is performed for 2 minutes, and a layer A is laminated.

【0105】アルコキシシランコーティング組成物は、
各成分の種類、調製方法について、実施例1と同様にし
た。A層のセラミックスへの転化度合は参考例1で求め
たSiO/SiN比で0.7であった。いずれの評価結
果も良好であった。
The alkoxysilane coating composition comprises:
About the kind of each component and the preparation method, it carried out similarly to Example 1. The degree of conversion of the A layer to ceramics was 0.7 in terms of the SiO / SiN ratio obtained in Reference Example 1. All evaluation results were good.

【0106】〔実施例3〕透明高分子フィルムがポリカ
ーボネートで、この上にB層を積層し、2分間熱処理
後、A層を積層した例である。
Example 3 In this example, a transparent polymer film is made of polycarbonate, a layer B is laminated thereon, heat-treated for 2 minutes, and then a layer A is laminated.

【0107】アルコキシシランコーティング組成物の
(a)ビニルアルコール系樹脂にクラレ(株)製、シラ
ノール基含有ポリビニルアルコール(R1130)を、
エポキシ基を有するアルコキシシランに、2−(3,4
−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン
を、アミノ基を有するアルコキシシランにN−(2−ア
ミノエチル)−3−アミノ−プロピルトリメトキシシラ
ンを用い、(a)/〔(b)+(c)〕=3/1(重量
比)、(エポキシ基)/(アミノ基+イミノ基の総和)
=3/4(モル比)となるように仕込み組成を調整し、
調製方法は実施例1と同様に行った。
Silanol group-containing polyvinyl alcohol (R1130) manufactured by Kuraray Co., Ltd. was added to (a) vinyl alcohol resin of the alkoxysilane coating composition.
2- (3,4) is added to the alkoxysilane having an epoxy group.
(A) / [(b) + (c)] using (epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane and N- (2-aminoethyl) -3-amino-propyltrimethoxysilane as an alkoxysilane having an amino group. = 3/1 (weight ratio), (epoxy group) / (sum of amino group + imino group)
= 3/4 (molar ratio), the charge composition was adjusted,
The preparation method was the same as in Example 1.

【0108】A層のセラミックスへの転化度合は参考例
1で求めたSiO/SiN比で0.7であった。表2に
示すとおり、いずれの評価結果も良好であった。
The degree of conversion of the layer A into ceramics was 0.7 in terms of the SiO / SiN ratio obtained in Reference Example 1. As shown in Table 2, all the evaluation results were good.

【0109】〔実施例4〕透明高分子フィルムがケイ素
酸化物被膜(C層)を形成したポリエーテルスルホンフ
ィルムで、C層の上にB層を積層してからA層を積層し
た例である。
[Example 4] A transparent polymer film is a polyethersulfone film having a silicon oxide film (C layer) formed thereon, in which a B layer is laminated on a C layer and then an A layer is laminated. .

【0110】アルコキシシランコーティング組成物は、
各成分の種類、調製方法について、(a)/〔(b)+
(c)〕=2/1(重量比)、(エポキシ基)/(アミ
ノ基+イミノ基の総和)=1/2(モル比)としたほか
は、実施例1と同様にした。A層のセラミックスへの転
化度合は参考例2で求めたSiO/SiN比で1.0で
あった。いずれの評価結果も良好であった。
The alkoxysilane coating composition comprises:
About the kind and preparation method of each component, (a) / [(b) +
(C)] = 2/1 (weight ratio), (epoxy group) / (sum of amino group + imino group) = 1/2 (molar ratio), except that it was the same as in Example 1. The degree of conversion of the layer A into ceramics was 1.0 in terms of the SiO / SiN ratio obtained in Reference Example 2. All evaluation results were good.

【0111】〔実施例5〕透明高分子フィルムがケイ素
酸化物被膜(C層)を形成したポリエーテルスルホンフ
ィルムで、C層の上にA層を積層してからB層を積層し
た例である。
Example 5 A transparent polymer film is a polyethersulfone film having a silicon oxide film (C layer) formed thereon, wherein an A layer is laminated on a C layer, and then a B layer is laminated. .

【0112】B層を与えるアルコキシシランコーティン
グ組成物の(a)ビニルアルコール系樹脂は実施例1と
同じ、エポキシ基を有するアルコキシシランに2−
(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキ
シシランを、アミノ基を有するアルコキシシランにアミ
ノプロピルトリメトキシシランを用いた。(a)/
〔(b)+(c)〕=2/1(重量比)、(エポキシ
基)/(アミノ基+イミノ基の総和)=1/1(モル
比)である。コーティング組成物の調製は実施例1と同
様に行った。A層のセラミックスへの転化度合は、参考
例4で求めたSiO/SiN比で1.3であった。いず
れの評価結果も良好であった。
The (a) vinyl alcohol resin of the alkoxysilane coating composition for providing the layer B is the same as that in Example 1 except that the alkoxysilane having an epoxy group is
(3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane was used, and aminopropyltrimethoxysilane was used as alkoxysilane having an amino group. (A) /
[(B) + (c)] = 2/1 (weight ratio), (epoxy group) / (sum of amino group + imino group) = 1/1 (molar ratio). Preparation of the coating composition was performed in the same manner as in Example 1. The degree of conversion of the layer A to ceramics was 1.3 in terms of the SiO / SiN ratio determined in Reference Example 4. All evaluation results were good.

【0113】〔実施例6〕透明高分子フィルムがケイ素
酸化物被膜(C層)を形成したポリエーテルスルホンフ
ィルムで、C層の上にB層を積層し、さらにその反対の
面にB層を積層した後A層を積層した例である。
Example 6 A transparent polymer film is a polyethersulfone film on which a silicon oxide film (C layer) is formed. A layer B is laminated on the layer C, and a layer B is formed on the opposite surface. This is an example in which layer A is laminated after lamination.

【0114】B層を与えるアルコキシシランコーティン
グ組成物の(a)ビニルアルコール系樹脂として、エチ
レン−ビニルアルコール共重合体(クラレ(株)製EV
OH−F(エチレン共重合比32モル%))を使用し、
エポキシ基を有するアルコキシシラン、およびアミノ基
を有するアルコキシシランは実施例5と同じで、(a)
/〔(b)+(c)〕=2/1(重量比)、(エポキシ
基)/(アミノ基+イミノ基の総和)=1/1(モル
比)としたほかは、実施例1と同様に調製した。A層の
セラミックスへの転化度合は、参考例5で求めたSiO
/SiN比で1.5であった。表3に示すとおり、いず
れの評価結果も良好であった。
An ethylene-vinyl alcohol copolymer (EV manufactured by Kuraray Co., Ltd.) may be used as the vinyl alcohol resin (a) of the alkoxysilane coating composition for providing the layer B.
OH-F (ethylene copolymerization ratio 32 mol%))
The alkoxysilane having an epoxy group and the alkoxysilane having an amino group are the same as those in Example 5, (a)
/ [(B) + (c)] = 2/1 (weight ratio), (epoxy group) / (sum of amino group + imino group) = 1/1 (molar ratio) Prepared similarly. The degree of conversion of the layer A into ceramics was determined by the SiO 2 obtained in Reference Example 5.
/ SiN ratio was 1.5. As shown in Table 3, all the evaluation results were good.

【0115】〔比較例1〕B層を与えるアルコキシシラ
ンコーティング組成物において、(a)/〔(b)+
(c)〕>9/1(重量比)の例であり、耐アルカリ
性、耐酸性(耐溶剤性)、耐NMP性、密着性、耐久
性に劣る。
[Comparative Example 1] In an alkoxysilane coating composition providing a layer B, (a) / [(b) +
(C)]> 9/1 (weight ratio), which is inferior in alkali resistance, acid resistance (solvent resistance), NMP resistance, adhesion and durability.

【0116】〔比較例2〕アルコキシシランコーテイン
グ組成物において、(a)/〔(b)+(c)〕<1/
3(重量比)の例であり、30℃、90%RHでのガス
バリアー性に劣る。
[Comparative Example 2] In the alkoxysilane coating composition, (a) / [(b) + (c)] <1 /
3 (weight ratio), which is inferior in gas barrier properties at 30 ° C. and 90% RH.

【0117】〔比較例3〕A層とB層が互いに接して積
層されていない例であり、30℃、90%RHでのガス
バリアー性に劣る。
Comparative Example 3 This is an example in which the layer A and the layer B are not laminated so as to be in contact with each other, and have poor gas barrier properties at 30 ° C. and 90% RH.

【0118】〔比較例4〕A層のセラミックスへの転化
が低い例であり、30℃、90%RHでのガスバリアー
性に劣る。
[Comparative Example 4] This is an example in which the conversion of the layer A to ceramics is low, and is inferior in gas barrier properties at 30 ° C and 90% RH.

【0119】[0119]

【表2】 [Table 2]

【0120】[0120]

【表3】 [Table 3]

【0121】[0121]

【発明の効果】本発明によるA層とB層とが接して構成
される層を有する積層フィルムは、透明性、光学等方
性、平面性、耐溶剤性、可撓性、層間の密着性に優れる
という特徴に加え、湿度に依存しない優れたガスバリア
ー性を持つ透明ガスバリアー性積層フィルムである。
According to the present invention, the laminated film having a layer constituted by the layer A and the layer B in contact with each other is transparent, optically isotropic, flat, solvent-resistant, flexible, and has good adhesion between layers. This is a transparent gas-barrier laminated film that has excellent gas barrier properties independent of humidity in addition to its excellent characteristics.

フロントページの続き (72)発明者 浴中 達矢 東京都日野市旭が丘4丁目3番2号 帝人 株式会社東京研究センター内Continued on the front page (72) Inventor Tatsuya Yuka 4-3-2 Asahigaoka, Hino-shi, Tokyo Teijin Co., Ltd. Tokyo Research Center

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明高分子フィルムの少なくとも片面上
に、ポリシラザンより形成されるセラミックス層(A
層)と、下記一般式(1) 【化1】 (ここでR1 は炭素数1〜4のアルキレン基、R2 およ
びR3 は炭素数1〜4のアルキル基、Xはグリシドキシ
基またはエポキシシクロヘキシシル基であり、nは1ま
たは0である)で示されるエポキシ基を有するアルコキ
シシランの(部分)加水分解物、その(部分)縮合物ま
たはこれらの混合物、および下記一般式(2) 【化2】 (ここでR4 は炭素数1〜4のアルキレン基、R5 およ
びR6 は炭素数1〜4のアルキル基、Yは水素原子また
はアミノアルキル基であり、mは1または0である)で
示されるアミノ基及び/またはイミノ基を有するアルコ
キシシランの(部分)加水分解物、その(部分)縮合物
またはこれらの混合物により架橋されたビニルアルコー
ル系樹脂を含む硬化樹脂層(B層)とが互いに接して構
成される層を有することを特徴とする透明ガスバリアー
性積層フィルム。
1. A ceramic layer (A) formed of polysilazane on at least one surface of a transparent polymer film.
Layer) and the following general formula (1): (Where R 1 is an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, R 2 and R 3 are alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms, X is a glycidoxy group or an epoxycyclohexyl group, and n is 1 or 0) A (partial) hydrolyzate, a (partial) condensate or a mixture thereof of an alkoxysilane having an epoxy group represented by the following general formula (2): (Where R 4 is an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, R 5 and R 6 are alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms, Y is a hydrogen atom or an aminoalkyl group, and m is 1 or 0). A (partial) hydrolyzate of an alkoxysilane having an amino group and / or an imino group shown, a (partial) condensate thereof, or a cured resin layer (B layer) containing a vinyl alcohol-based resin cross-linked by a mixture thereof A transparent gas-barrier laminated film having layers that are in contact with each other.
【請求項2】 透明高分子フィルムが少なくともその片
面上に、金属酸化物層(C層)を有していることを特徴
とする請求項1記載の透明ガスバリアー性積層フィル
ム。
2. The transparent gas-barrier laminated film according to claim 1, wherein the transparent polymer film has a metal oxide layer (C layer) on at least one surface thereof.
【請求項3】 透明高分子フィルムが少なくともその片
面上に、金属酸化物層(C層)を有し、該金属酸化物層
(C層)に接してその上にB層が積層されており、さら
にB層に接してA層が積層されていることを特徴とする
請求項1記載の透明ガスバリアー性積層フィルム。
3. The transparent polymer film has a metal oxide layer (C layer) on at least one surface thereof, and a B layer is laminated on and in contact with the metal oxide layer (C layer). 2. The transparent gas barrier laminate film according to claim 1, wherein the layer A is further laminated in contact with the layer B.
【請求項4】 波長550nmにおける光線透過率が8
0%以上で、リタデーション値が30nm以下である請
求項1〜3のいずれか1項記載の透明ガスバリアー積層
フィルム。
4. A light transmittance at a wavelength of 550 nm of 8
The transparent gas barrier laminated film according to any one of claims 1 to 3, wherein the retardation value is 0 nm or more and the retardation value is 30 nm or less.
【請求項5】 透明高分子フィルム、または金属酸化物
層(C層)を少なくとも片面上に有する透明高分子フィ
ルムの少なくとも片面上に、下記(a)〜(d) (a)ビニルアルコール系樹脂、(b)請求項1記載の
エポキシ基を有するアルコキシシランの(部分)加水分
解物、その部分縮合物またはそれらの混合物、(c)請
求項1記載のアミノ基及び/またはイミノ基を有するア
ルコキシシランの(部分)加水分解物、その部分縮合物
またはこれらの混合物、(d)ビニルアルコール系樹脂
可溶性溶剤を全溶剤中50重量%以上含有する溶剤、か
らなり、(a)/[(b)+(c)]=9/1〜1/3
(重量比)であるアルコキシシランコーティング組成物
を塗布した後、少なくとも乾燥被膜とし、該乾燥被膜の
上に、ポリシラザンおよびポリシラザン可溶性溶剤を少
なくとも含有するポリシラザンコーティング組成物を塗
布した後、転化させて、該乾燥被膜が硬化した硬化樹脂
層(B層)上にセラミックス層(A層)を形成すること
を特徴とする、透明ガスバリアー性積層フィルムの製造
方法。
5. The following (a) to (d): (a) a vinyl alcohol-based resin on at least one surface of a transparent polymer film or a transparent polymer film having a metal oxide layer (C layer) on at least one surface. (B) a (partial) hydrolyzate of the alkoxysilane having an epoxy group according to claim 1, a partial condensate thereof or a mixture thereof, and (c) an alkoxy group having an amino group and / or an imino group according to claim 1. (A) / [(b) comprising a (partial) hydrolyzate of silane, a partial condensate thereof or a mixture thereof, and (d) a solvent containing at least 50% by weight of a vinyl alcohol resin soluble solvent in the total solvent. + (C)] = 9/1 to 1/3
(Weight ratio) after applying the alkoxysilane coating composition, at least as a dry film, and applying a polysilazane coating composition containing at least polysilazane and a polysilazane-soluble solvent on the dry film, followed by inversion. A method for producing a transparent gas barrier laminate film, comprising forming a ceramic layer (A layer) on a cured resin layer (B layer) in which the dried film has been cured.
【請求項6】 乾燥被膜を硬化樹脂層(B層)とする請
求項5記載の透明ガスバリアー性積層フィルムの製造方
法。
6. The method for producing a transparent gas-barrier laminated film according to claim 5, wherein the dried film is a cured resin layer (layer B).
【請求項7】 透明高分子フィルム、または金属酸化物
層(C層)を少なくとも片面上に有する透明高分子フィ
ルムの少なくとも片面上に、請求項5記載のポリシラザ
ンコーティング組成物を塗布した後、転化させてセラミ
ックス層(A層)を形成し、しかる後、該A層の上に、
請求項5記載のアルコキシシランコーティング組成物を
塗布し、次いで、該アルコキシシランコーティング層を
加熱して硬化樹脂層(B層)を形成することを特徴とす
る、透明ガスバリアー性積層フィルムの製造方法。
7. The polysilazane coating composition according to claim 5, which is applied on at least one surface of a transparent polymer film or a transparent polymer film having a metal oxide layer (C layer) on at least one surface, and then converted. To form a ceramic layer (A layer), and then, on the A layer,
A method for producing a transparent gas barrier laminate film, comprising applying the alkoxysilane coating composition according to claim 5, and then heating the alkoxysilane coating layer to form a cured resin layer (B layer). .
【請求項8】 アルコキシシランコーティング組成物を
金属酸化物層(C層)の上に塗布する請求項5または6
記載の透明ガスバリアー性積層フィルムの製造方法。
8. The method according to claim 5, wherein the alkoxysilane coating composition is applied on the metal oxide layer (C layer).
The method for producing a transparent gas barrier laminate film according to the above.
【請求項9】 エポキシ基を有するアルコキシシランが
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、及び/
または2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル
トリメトキシシランである請求項5〜8のいずれか1項
記載の透明ガスバリアー性積層フィルムの製造方法。
9. An alkoxysilane having an epoxy group is 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and / or
The method for producing a transparent gas-barrier multilayer film according to any one of claims 5 to 8, wherein the method is 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane.
【請求項10】 アミノ基及び/またはイミノ基を有す
るアルコキシシランが3−アミノプロピルトリメトキシ
シラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−
アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−(2−ア
ミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメ
チルジメトキシシランからなる群から選ばれる少なくと
も1種の化合物である請求項5〜9のいずれか1項記載
の透明ガスバリアー性積層フィルムの製造方法。
10. An alkoxysilane having an amino group and / or an imino group is 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane,
At least one member selected from the group consisting of aminopropylmethyldiethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, and N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane The method for producing a transparent gas-barrier laminated film according to any one of claims 5 to 9, which is a compound.
【請求項11】 C層が厚さ5nm〜200nmのSi
Ox(ただし、1.5≦x≦2)で表される平均組成の
ケイ素酸化物からなる請求項5〜10のいずれか1項記
載の透明ガスバリアー性積層フィルムの製造方法。
11. The method according to claim 1, wherein the C layer has a thickness of 5 nm to 200 nm.
The method for producing a transparent gas barrier laminate film according to any one of claims 5 to 10, comprising a silicon oxide having an average composition represented by Ox (where 1.5 ≦ x ≦ 2).
【請求項12】 ビニルアルコール系樹脂がポリビニル
アルコールである請求項5〜11のいずれか1項記載の
透明ガスバリアー積層フィルムの製造方法。
12. The method for producing a transparent gas barrier laminated film according to claim 5, wherein the vinyl alcohol-based resin is polyvinyl alcohol.
【請求項13】 透明高分子フィルムがポリカーボネー
ト樹脂またはポリアリレート樹脂からなる請求項5〜1
2のいずれか1項記載の透明ガスバリアー性積層フィル
ムの製造方法。
13. A transparent polymer film comprising a polycarbonate resin or a polyarylate resin.
3. The method for producing a transparent gas-barrier laminated film according to any one of 2.
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