JP2013119567A - Composition for forming intermediate layer for gas barrier film, gas barrier film and method for producing the same, and electronic part or optical part - Google Patents

Composition for forming intermediate layer for gas barrier film, gas barrier film and method for producing the same, and electronic part or optical part Download PDF

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渉 岩屋
Masaharu Ito
雅春 伊藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film, which forms the intermediate layer for improving tight adhesiveness of a gas barrier layer with other layers such as a substrate and the like, a gas barrier film having the gas barrier layer and the intermediate layer formed of the composition, a method for producing the gas barrier film and electronic parts or optical parts having the gas barrier film.SOLUTION: There are provided the composition for forming the intermediate layer for the gas barrier film comprising an OH-containing resin and a cross-linking agent, the intermediate layer comprising the composition for forming the intermediate layer for the gas barrier film, the gas barrier film having at least the gas barrier layer formed on the intermediate layer, the method for producing the gas barrier film and the electronic parts or the optical parts having the gas barrier film.

Description

本発明は、層間密着性の向上に有用なガスバリアフィルム用中間層形成用組成物、ガスバリアフィルム及びその製造方法、並びに、前記ガスバリアフィルムを備える電子部材又は光学部材に関する。   The present invention relates to a gas barrier film intermediate layer forming composition useful for improving interlayer adhesion, a gas barrier film and a method for producing the same, and an electronic member or an optical member provided with the gas barrier film.

従来、プラスチックフィルム等の高分子成形体は、低価格であり加工性に優れるため、所望の機能を付与して種々の分野で用いられている。例えば、食品や医薬品の包装用フィルムには、蛋白質や油脂等の酸化や変質を抑制して味や鮮度を保持するため、水蒸気や酸素の透過を防ぐガスバリア性のプラスチックフィルムが用いられている。   Conventionally, a polymer molded body such as a plastic film is inexpensive and excellent in workability, and therefore has been used in various fields with a desired function. For example, a gas barrier plastic film that prevents the permeation of water vapor and oxygen is used for food and pharmaceutical packaging films to maintain the taste and freshness by suppressing the oxidation and alteration of proteins and fats and oils.

また、近年、液晶ディスプレイやエレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ等のディスプレイには、薄型化、軽量化、フレキシブル化等を実現するために、電極を有する基板として、ガラス板に代えて透明プラスチックフィルムを用いることが検討されている。例えば、特許文献1には、透明プラスチックフィルムに金属酸化物からなる透明ガスバリア層を積層したフレキシブルディスプレイ基板が提案されている。
しかしながら、この文献記載のフレキシブルディスプレイ基板は、透明プラスチックフィルム表面に、蒸着法やイオンプレーティング法、スパッター法等により、金属酸化物からなる透明ガスバリア層を積層したものであるため、該基板を丸めたり折り曲げたりすると、ガスバリア層にクラックが発生してガスバリア性が低下したり、プラスチックフィルムと金属酸化膜からなるガスバリア層との密着不良が発生する場合があった。
In recent years, a transparent plastic film is used instead of a glass plate as a substrate having electrodes in a display such as a liquid crystal display or an electroluminescence (EL) display in order to realize a reduction in thickness, weight, and flexibility. It is being considered. For example, Patent Document 1 proposes a flexible display substrate in which a transparent gas barrier layer made of a metal oxide is laminated on a transparent plastic film.
However, the flexible display substrate described in this document is obtained by laminating a transparent gas barrier layer made of a metal oxide on the surface of a transparent plastic film by vapor deposition, ion plating, sputtering, or the like. If the gas barrier layer is bent or bent, the gas barrier layer may be cracked to deteriorate the gas barrier property, or the adhesion failure between the plastic film and the gas barrier layer made of the metal oxide film may occur.

このような問題を解決すべく、特許文献2、3には、合成樹脂シート上に平滑層を設け、更にガスバリア性の無機化合物薄膜を積層したガスバリア性シートが提案されている。しかしながら、これらの文献に記載されているガスバリア性シートは、平滑層と、ガスバリア層や電極材料となる無機材料層との層間密着性を高めるため、機能性薄膜を各層間に設けなくてはならず、それに伴う工程数の多さや、得られるガスバリア性シートの厚膜化が問題となっていた。   In order to solve such problems, Patent Documents 2 and 3 propose gas barrier sheets in which a smooth layer is provided on a synthetic resin sheet and a gas barrier inorganic compound thin film is further laminated. However, in the gas barrier sheet described in these documents, a functional thin film must be provided between each layer in order to improve the interlayer adhesion between the smooth layer and the inorganic material layer as the gas barrier layer or electrode material. However, the large number of processes and the increase in the thickness of the resulting gas barrier sheet have been problems.

特開2000−338901号公報JP 2000-338901 A 特開2003−154596号公報JP 2003-154596 A 特開2006−264118号公報JP 2006-264118 A

本発明は、上記した従来技術に鑑みてなされたものであり、基材又は他の層とガスバリア層との密着性を向上させる中間層を形成するガスバリアフィルム用中間層形成用組成物、この組成物により形成される中間層とガスバリア層を有するガスバリアフィルム、該ガスバリアフィルムの製造方法、及び、前記ガスバリアフィルムを備える電子部材又は光学部材を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-described conventional technology, and an intermediate layer forming composition for a gas barrier film that forms an intermediate layer that improves the adhesion between a base material or another layer and a gas barrier layer, and this composition It is an object of the present invention to provide a gas barrier film having an intermediate layer and a gas barrier layer formed by an object, a method for producing the gas barrier film, and an electronic member or an optical member including the gas barrier film.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、水酸基含有樹脂と架橋剤とを含有する、ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物を用いて、基材とガスバリア層との層間に中間層を形成すると、基材とガスバリア層との密着性が向上することを見出した。また、前記中間層の上にケイ素系高分子化合物を含む層を形成した後、該ケイ素系高分子化合物を含む層にイオンを注入してガスバリア層を形成することで、ガスバリア性、透明性、及び層間密着性に優れるガスバリアフィルムを簡便かつ効率よく製造することができることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have used a composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film, which contains a hydroxyl group-containing resin and a crosslinking agent, between the substrate and the gas barrier layer. It has been found that when the intermediate layer is formed, the adhesion between the substrate and the gas barrier layer is improved. Further, after forming a layer containing a silicon-based polymer compound on the intermediate layer, ions are implanted into the layer containing the silicon-based polymer compound to form a gas barrier layer, thereby providing gas barrier properties, transparency, And it discovered that the gas barrier film excellent in interlayer adhesiveness could be manufactured simply and efficiently, and came to complete this invention.

かくして本発明によれば、下記(1)〜(5)のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物、(6)〜(8)のガスバリアフィルム、(9)のガスバリアフィルムの製造方法、(10)の電子部材又は光学部材が提供される。   Thus, according to the present invention, the following (1) to (5) composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film, (6) to (8) a gas barrier film, (9) a method for producing a gas barrier film, (10) An electronic member or an optical member is provided.

(1)水酸基含有樹脂及び架橋剤を含有するガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。
(2)前記水酸基含有樹脂が、ポリビニルアセタール系樹脂であることを特徴とする(1)請求項1に記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。
(3)前記ポリビニルアセタール系樹脂のアセタール化度が、50mol%以上であることを特徴とする(2)に記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。
(4)前記ポリビニルアセタール系樹脂が、ポリビニルアルコールと、アセトアルデヒド又はブチルアルデヒドを反応させて得られるものであることを特徴とする(2)又は(3)に記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。
(5)前記架橋剤が、イソシアネート系架橋剤であることを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。
(1) A composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film, which contains a hydroxyl group-containing resin and a crosslinking agent.
(2) The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to (1), wherein the hydroxyl group-containing resin is a polyvinyl acetal resin.
(3) The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to (2), wherein the degree of acetalization of the polyvinyl acetal resin is 50 mol% or more.
(4) The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to (2) or (3), wherein the polyvinyl acetal resin is obtained by reacting polyvinyl alcohol with acetaldehyde or butyraldehyde. object.
(5) The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to any one of (1) to (4), wherein the crosslinking agent is an isocyanate-based crosslinking agent.

(6)フィルム基材、前記(1)〜(5)のいずれかに記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物から形成された中間層、及び該中間層上に形成されたガスバリア層を少なくとも有するガスバリアフィルム。
(7)前記ガスバリア層が、ケイ素系高分子化合物を含む層に、イオンが注入されて得られる層であることを特徴とする(6)に記載のガスバリアフィルム。
(8)前記ケイ素系高分子化合物が、ポリシラザン化合物であることを特徴とする(7)に記載のガスバリアフィルム。
(6) A film base, an intermediate layer formed from the composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to any one of (1) to (5), and a gas barrier layer formed on the intermediate layer at least Gas barrier film having.
(7) The gas barrier film according to (6), wherein the gas barrier layer is a layer obtained by implanting ions into a layer containing a silicon-based polymer compound.
(8) The gas barrier film according to (7), wherein the silicon-based polymer compound is a polysilazane compound.

(9)フィルム基材、該基材上に形成された中間層、及び該中間層上に形成されたガスバリア層を有するガスバリアフィルムの製造方法であって、下記工程を有することを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。
(工程1)フィルム基材上に、水酸基含有樹脂及び架橋剤を含有するガスバリアフィルム用中間層形成用組成物を塗工し、得られた塗膜を乾燥することにより中間層を形成する工程
(工程2)得られた中間層上に、ケイ素系高分子化合物を含む塗布液を塗工し、得られた塗膜を乾燥することによりケイ素系高分子化合物を含有する層を形成する工程
(工程3)得られたケイ素系高分子化合物を含有する層に、イオンを注入することにより、ガスバリア層を形成する工程
(10)前記(6)〜(8)のいずれかに記載のガスバリアフィルムを備える電子部材又は光学部材。
(9) A method for producing a gas barrier film having a film substrate, an intermediate layer formed on the substrate, and a gas barrier layer formed on the intermediate layer, the method comprising the following steps: A method for producing a film.
(Step 1) A step of applying an intermediate layer forming composition for a gas barrier film containing a hydroxyl group-containing resin and a crosslinking agent on a film substrate, and forming the intermediate layer by drying the resulting coating film ( Step 2) A step of forming a layer containing a silicon-based polymer compound by coating a coating liquid containing a silicon-based polymer compound on the obtained intermediate layer and drying the obtained coating film (step) 3) Step of forming a gas barrier layer by implanting ions into the layer containing the obtained silicon-based polymer compound (10) The gas barrier film according to any one of (6) to (8) is provided. Electronic member or optical member.

本発明のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物によれば、基材又は他の層とガスバリア層との層間密着性を向上させるガスバリアフィルム用中間層を形成することができる。
本発明のガスバリアフィルムは、優れたガスバリア性を有し、透明性が良好で、基材又は他の層とガスバリア層との層間密着性に優れるものである。
本発明のガスバリアフィルムの製造方法によれば、優れたガスバリア性、透明性、層間密着性を有する本発明のガスバリアフィルムを簡便かつ効率よく製造することができる。また、無機膜を成膜する方法に比して低コストにて容易に大面積化を図ることができる。
本発明の電子部材及び光学部材は、本発明のガスバリアフィルムを備えるものであるため、優れたガスバリア性を有し、層間密着性に優れるものである。
According to the composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film of the present invention, an intermediate layer for a gas barrier film that improves interlayer adhesion between a base material or another layer and the gas barrier layer can be formed.
The gas barrier film of the present invention has excellent gas barrier properties, good transparency, and excellent interlayer adhesion between the base material or other layers and the gas barrier layer.
According to the method for producing a gas barrier film of the present invention, the gas barrier film of the present invention having excellent gas barrier properties, transparency, and interlayer adhesion can be produced simply and efficiently. In addition, the area can be easily increased at a lower cost than the method of forming an inorganic film.
Since the electronic member and the optical member of the present invention are provided with the gas barrier film of the present invention, they have excellent gas barrier properties and excellent interlayer adhesion.

本発明のガスバリアフィルムを得る工程での、ガスバリアフィルムの層構成断面図である。It is layer structure sectional drawing of a gas barrier film in the process of obtaining the gas barrier film of this invention.

以下、本発明を、1)ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物、2)ガスバリアフィルム、3)ガスバリアフィルムの製造方法、並びに、4)電子デバイス用部材及び電子デバイス、に項分けして詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention is divided into 1) a composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film, 2) a gas barrier film, 3) a method for producing the gas barrier film, and 4) an electronic device member and an electronic device. explain.

1)ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物
本発明のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物は、水酸基含有樹脂及び架橋剤を含有することを特徴とする。
1) Gas barrier film intermediate layer forming composition The gas barrier film intermediate layer forming composition of the present invention is characterized by containing a hydroxyl group-containing resin and a crosslinking agent.

〈水酸基含有樹脂〉
用いる水酸基含有樹脂としては、水酸基を含有する樹脂であれば特に制限されない。
例えば、ポリビニルアルコール樹脂、エチレン・ビニルアルコール共重合体等のポリビニルアルコール系ポリマー;ポリビニルホルマール、ポリビニルアセタール、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルブチラール、エチレン・ビニルアルコール共重合体のアセタール化物等のポリビニルアセタール系樹脂;アクリルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリエーテルポリオール、ウレタンポリオール等のポリオール系ポリマー;ポリ(2−ヒドロキシエチルメタクリレート)等の水酸基含有アクリル系ポリマー;ポリエステル;セルロース等のセルロース系ポリマー;等が挙げられる。これらは1種単独で、或いは2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、架橋剤との相溶性に優れる観点から、ポリビニルアセタール系樹脂が好ましい。
<Hydroxyl-containing resin>
The hydroxyl group-containing resin to be used is not particularly limited as long as it is a hydroxyl group-containing resin.
For example, polyvinyl alcohol polymers such as polyvinyl alcohol resins and ethylene / vinyl alcohol copolymers; polyvinyl acetals such as polyvinyl formal, polyvinyl acetal, polyvinyl butyral, polyvinyl acetal, polyvinyl butyral, and acetalized products of ethylene / vinyl alcohol copolymer Resins; polyol polymers such as acrylic polyol, polyester polyol, polyether polyol, and urethane polyol; hydroxyl group-containing acrylic polymers such as poly (2-hydroxyethyl methacrylate); polyesters; cellulose polymers such as cellulose; These can be used alone or in combination of two or more.
Among these, a polyvinyl acetal resin is preferable from the viewpoint of excellent compatibility with the crosslinking agent.

ポリビニルアセタール系樹脂は、ポリビニルアルコール(あるいはそのエステルの部分ケン化物。以下にて同じ。)の水酸基と、アルデヒドとのアセタール化反応によって得られるものある。   The polyvinyl acetal resin is obtained by an acetalization reaction between a hydroxyl group of polyvinyl alcohol (or a partially saponified product of its ester, the same applies hereinafter) and an aldehyde.

用いるアルデヒドとしては、特に限定されず、要求される性能に応じて適宜選択して用いることができる。一般的に、炭素数が1〜10のアルデヒドが用いられる。具体的には、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、n−ブチルアルデヒド、イソブチルアルデヒド、n−バレルアルデヒド、n−ヘキシルアルデヒド、2−エチルブチルアルデヒド、n−オクチルアルデヒド、n−ノニルアルデヒド、n−デシルアルデヒド等の脂肪族飽和アルデヒド;ベンズアルデヒド、シンナムアルデヒド等の芳香族アルデヒド;等が挙げられる。これらの中でも、アセタール化反応に優れるアセトアルデヒド、n−ブチルアルデヒドが好ましい。これらは1種単独で、或いは2種以上を組み合わせて用いることができる。   It does not specifically limit as an aldehyde to be used, According to the performance requested | required, it can select suitably and can be used. Generally, an aldehyde having 1 to 10 carbon atoms is used. Specifically, formaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde, n-butyraldehyde, isobutyraldehyde, n-valeraldehyde, n-hexylaldehyde, 2-ethylbutyraldehyde, n-octylaldehyde, n-nonylaldehyde, n-decylaldehyde Aliphatic saturated aldehydes such as benzaldehyde, aromatic aldehydes such as cinnamaldehyde, and the like. Among these, acetaldehyde and n-butyraldehyde which are excellent in acetalization reaction are preferable. These can be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、ポリビニルアセタール系樹脂としては、ポリビニルアルコールと、アセトアルデヒドを反応させて得られるポリビニルアセタール(PVAC)、ポリビニルアルコールと、ブチルアルデヒドを反応させて得られるポリビニルブチラール(PVB)がより好ましい。   Among these, as the polyvinyl acetal resin, polyvinyl acetal (PVAC) obtained by reacting polyvinyl alcohol with acetaldehyde, and polyvinyl butyral (PVB) obtained by reacting polyvinyl alcohol with butyraldehyde are more preferable.

ポリビニルアセタール系樹脂のアセタール化度は、50モル%以上であることが好ましく、50モル%以上99モル%以下がより好ましく、60モル%以上90モル%以下がさらに好ましい。アセタール化度を50モル%以上にすることにより、後述する架橋剤及び有機溶剤との相溶性に優れた組成物を調製することができ、さらに、後述する架橋剤とポリビニルアセタール系樹脂中の水酸基が反応し、三次元網目構造が形成されることにより、ガスバリア層との密着性が向上する。
このような樹脂と架橋剤とを組み合わせて用いることにより、本発明が目的とする層間密着性に優れるガスバリアフィルムを得ることができる。
ポリビニルアセタール系樹脂のアセタール化度は、公知の測定方法により求めることが出来る。例えば、13C−NMRにおいて観測されたポリビニルアセタールの主鎖メチン炭素(66〜75ppm近傍)のピーク面積をA、アルデヒド由来メチン炭素(94ppm近傍、101ppm近傍)のピーク面積をBとし、次式により求めることができる。
The degree of acetalization of the polyvinyl acetal resin is preferably 50 mol% or more, more preferably 50 mol% or more and 99 mol% or less, and further preferably 60 mol% or more and 90 mol% or less. By setting the degree of acetalization to 50 mol% or more, it is possible to prepare a composition excellent in compatibility with a crosslinking agent and an organic solvent, which will be described later, and further, a hydroxyl group in the crosslinking agent and the polyvinyl acetal resin described later. React to form a three-dimensional network structure, thereby improving the adhesion with the gas barrier layer.
By using such a resin and a crosslinking agent in combination, a gas barrier film excellent in interlayer adhesion intended by the present invention can be obtained.
The degree of acetalization of the polyvinyl acetal resin can be determined by a known measurement method. For example, the peak area of the main chain methine carbon (near 66 to 75 ppm) of polyvinyl acetal observed in 13 C-NMR is A, and the peak area of the aldehyde-derived methine carbon (near 94 ppm, near 101 ppm) is B. Can be sought.

Figure 2013119567
Figure 2013119567

ポリビニルアセタール系樹脂は、適当な溶媒中、ポリビニルアルコール(又はビニルアルコール由来の繰り返し単位)とアルデヒドとを酸触媒を用いて反応させることにより合成することができる。用いる溶媒としては、水;メチルアルコール、エチルアルコール等のアルコール系溶媒;水とアルコールからなる混合溶媒;ジメチルスルホキシド等の非プロトン性極性溶媒;等が挙げられる。   The polyvinyl acetal resin can be synthesized by reacting polyvinyl alcohol (or a repeating unit derived from vinyl alcohol) and an aldehyde in an appropriate solvent using an acid catalyst. Examples of the solvent to be used include water; alcohol solvents such as methyl alcohol and ethyl alcohol; mixed solvents composed of water and alcohol; aprotic polar solvents such as dimethyl sulfoxide;

また、ポリビニルアセタール系樹脂は、ポリ酢酸ビニル溶液に酸触媒とアルデヒドを添加して反応させることによっても合成することができる。
用いる酸触媒としては特に限定されず、例えば、酢酸、パラトルエンスルホン酸等の有機酸;硝酸、硫酸、塩酸等の無機酸;が挙げられる。
上記反応は、アルカリを添加することによって停止される。用いるアルカリとしては特に限定されず、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の金属水酸化物;アンモニア;硝酸ナトリウム等の金属硝酸塩;炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の金属炭酸塩;炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の金属炭酸水素塩;等が挙げられる。
The polyvinyl acetal resin can also be synthesized by adding an acid catalyst and an aldehyde to a polyvinyl acetate solution and reacting them.
The acid catalyst to be used is not particularly limited, and examples thereof include organic acids such as acetic acid and p-toluenesulfonic acid; inorganic acids such as nitric acid, sulfuric acid and hydrochloric acid.
The reaction is stopped by adding alkali. The alkali to be used is not particularly limited, and examples thereof include metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide; ammonia; metal nitrates such as sodium nitrate; metal carbonates such as sodium carbonate and potassium carbonate; Metal hydrogen carbonates such as potassium hydrogen; and the like.

ポリビニルアセタール系樹脂の分子量は、特に制限されるものではないが、優れた造膜性及び優れた物性の膜が得られる観点等から、重量平均分子量が200から100万であるのが好ましく、1000から10万であるのがより好ましい。重量平均分子量が200未満であると柔軟性が低下し、100万を超えると塗工性が悪くなる。   The molecular weight of the polyvinyl acetal resin is not particularly limited, but preferably has a weight average molecular weight of 200 to 1,000,000 from the viewpoint of obtaining a film having excellent film forming properties and excellent physical properties. Is more preferably from 100,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is less than 200, the flexibility is lowered, and when it exceeds 1,000,000, the coating property is deteriorated.

(架橋剤〉
架橋剤としては、水酸基含有樹脂の水酸基と反応し、水酸基含有樹脂の分子を化学結合で架橋させ、三次元網目構造を形成することがきできる多官能性化合物を使用することができる。
多官能性化合物としては、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤などが挙げられる。
(Crosslinking agent)
As the cross-linking agent, a polyfunctional compound that can react with the hydroxyl group of the hydroxyl group-containing resin to crosslink the molecule of the hydroxyl group-containing resin with a chemical bond to form a three-dimensional network structure can be used.
Examples of the polyfunctional compound include an isocyanate crosslinking agent, an epoxy crosslinking agent, an aziridine crosslinking agent, and a metal chelate crosslinking agent.

イソシアネート系架橋剤としては、分子中にイソシアネート基を少なくとも2個以上含有するものであれば特に限定されず、公知のものを使用することができる。例えば、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート(TDI)、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,2’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)、4,4’−ジフェニルエーテルジイソシアネート、1,3−又は1,4−キシリレンジイソシアネートもしくはその混合物(XDI)、トリメチロールプロパンキシリレンジイソシアネート(XDI−TMP)、1,3−又は1,4−テトラメチルキシリレンジイソシアネートもしくはその混合物(TMXDI)等の芳香族ジイソシアネート;
ヘキサメチレンジイソシアネート(HMDI)、テトラメチレンジイソシアネート、2−メチル−ペンタン−1,5−ジイソシアネート、3−メチル−ペンタン−1,5−ジイソシアネート、リジンジイソシアネート、トリオキシエチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート;
イソホロンジイソシアネート(IPDI)、水素添加トリレンジイソシアネート、水素添加キシレンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート、水素添加テトラメチルキシレンジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート;等の各種ポリイソシアネートや、それらのヌレート体、ビウレット体などが挙げられる。
これらは1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
The isocyanate-based crosslinking agent is not particularly limited as long as it contains at least two isocyanate groups in the molecule, and known ones can be used. For example, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate (TDI), 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,2′-diphenylmethane diisocyanate (MDI), 4, 4'-diphenyl ether diisocyanate, 1,3- or 1,4-xylylene diisocyanate or mixtures thereof (XDI), trimethylolpropane xylylene diisocyanate (XDI-TMP), 1,3- or 1,4-tetramethylxylylene diene Aromatic diisocyanates such as isocyanates or mixtures thereof (TMXDI);
Aliphatic diisocyanates such as hexamethylene diisocyanate (HMDI), tetramethylene diisocyanate, 2-methyl-pentane-1,5-diisocyanate, 3-methyl-pentane-1,5-diisocyanate, lysine diisocyanate, trioxyethylene diisocyanate;
Various polyisocyanates such as isophorone diisocyanate (IPDI), hydrogenated tolylene diisocyanate, hydrogenated xylene diisocyanate, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, hydrogenated tetramethylxylene diisocyanate; Is mentioned.
These can be used alone or in combination of two or more.

エポキシ系架橋剤としては、特に限定されず、例えば、1,3−ビス(N,N’−ジグリシジジルアミノメチル)シクロヘキサン、N,N,N’,N’−テトラグリシジル−m−キシリレンジアミン、エチレングリコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンジグリシジルエーテル、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルアミンなどが挙げられる。これらは、1種単独で、或いは2種以上を組み合わせて用いることができる。   The epoxy-based crosslinking agent is not particularly limited, and for example, 1,3-bis (N, N′-diglycidylaminomethyl) cyclohexane, N, N, N ′, N′-tetraglycidyl-m-xylylene diene Examples include amines, ethylene glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, trimethylolpropane diglycidyl ether, diglycidyl aniline, diglycidyl amine and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

アジリジン系架橋剤としては、特に限定されず、例えば、ジフェニルメタン−4,4'−ビス(1−アジリジンカーボキサミド)、トリメチロールプロパントリ−β−アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタントリ−β−アジリジニルプロピオネート、トルエン−2,4−ビス(1−アジリジンカーボキサミド)、トリエチレンメラミン、ビスイソフタロイル−1−(2−メチルアジリジン)、トリス−1−(2−メチルアジリジン)フォスフィン、トリメチロールプロパントリ−β−(2−メチルアジリジン)プロピオネートなどが挙げられる。これらは、1種単独で、或いは2種以上を組み合わせて用いることができる。   The aziridine-based crosslinking agent is not particularly limited, and examples thereof include diphenylmethane-4,4′-bis (1-aziridinecarboxamide), trimethylolpropane tri-β-aziridinylpropionate, tetramethylolmethanetri- β-aziridinylpropionate, toluene-2,4-bis (1-aziridinecarboxamide), triethylenemelamine, bisisophthaloyl-1- (2-methylaziridine), tris-1- (2- Methyl aziridin) phosphine, trimethylolpropane tri-β- (2-methylaziridine) propionate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

金属キレート系架橋剤としては、金属原子がアルミニウム、ジルコニウム、チタニウム、亜鉛、鉄、スズなどのキレート化合物が挙げられるが、性能の点からアルミニウムキレート化合物が好ましい。アルミニウムキレート化合物としては、例えば、ジイソプロポキシアルミニウムモノオレイルアセトアセテート、モノイソプロポキシアルミニウムビスオレイルアセトアセテート、モノイソプロポキシアルミニウムモノオレエートモノエチルアセトアセテート、ジイソプロポキシアルミニウムモノラウリルアセトアセテート、ジイソプロポキシアルミニウムモノステアリルアセトアセテート、ジイソプロポキシアルミニウムモノイソステアリルアセトアセテートなどが挙げられる。これらは、1種単独で、或いは2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the metal chelate-based crosslinking agent include chelate compounds whose metal atoms are aluminum, zirconium, titanium, zinc, iron, tin and the like, and aluminum chelate compounds are preferable from the viewpoint of performance. Examples of the aluminum chelate compound include diisopropoxy aluminum monooleyl acetoacetate, monoisopropoxy aluminum bis oleyl acetoacetate, monoisopropoxy aluminum monooleate monoethyl acetoacetate, diisopropoxy aluminum monolauryl acetoacetate, diisopropoxy Examples thereof include aluminum monostearyl acetoacetate and diisopropoxy aluminum monoisostearyl acetoacetate. These may be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、より優れた密着性が得られることからイソシアネート系架橋剤が好ましく、芳香族イソシアネート系架橋剤がより好ましく、キシリレンジイソシアネートが特に好ましい。イソシアネート系架橋剤は、前記水酸基含有樹脂の水酸基と反応してウレタン結合を形成し、三次元網目構造を形成することにより、ガスバリア層との密着性を向上することができる。   Among these, an isocyanate-based crosslinking agent is preferable, an aromatic isocyanate-based crosslinking agent is more preferable, and xylylene diisocyanate is particularly preferable because more excellent adhesion can be obtained. The isocyanate-based crosslinking agent can improve the adhesion with the gas barrier layer by reacting with the hydroxyl group of the hydroxyl group-containing resin to form a urethane bond and forming a three-dimensional network structure.

架橋剤の含有量は、架橋剤の架橋性基が、例えばイソシアネート基である場合を例にとると、イソシアネート基(NCO)の、水酸基含有樹脂の水酸基(OH)に対する割合(NCO/OH)が、10%から200%未満となる量であることが好ましく、50%〜150%となる量であることがより好ましい。架橋性基の量が10%未満では、基材との密着性が得られないおそれがあり、架橋性基の量が200%以上であると、後に、中間層が形成された基材をロールに巻き取る際などに、塗工面と基材非塗工面とがブロッキングするおそれがある。ブロッキングとは、過重な圧力が加わること等が原因で、重なった部分がくっついてしまう現象をいう。   For example, when the crosslinkable group of the crosslinker is an isocyanate group, the content of the crosslinker is such that the ratio (NCO / OH) of the isocyanate group (NCO) to the hydroxyl group (OH) of the hydroxyl group-containing resin is as follows. The amount is preferably 10% to less than 200%, and more preferably 50% to 150%. If the amount of the crosslinkable group is less than 10%, the adhesion to the substrate may not be obtained. If the amount of the crosslinkable group is 200% or more, the substrate on which the intermediate layer is formed is rolled later. There is a possibility that the coated surface and the non-coated surface of the base material may be blocked when wound on the surface. Blocking refers to a phenomenon in which overlapping portions stick together due to the application of excessive pressure.

本発明のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物は、前記水酸基含有樹脂を、適当な溶剤に溶解又は分散させた後、所定量の架橋剤を添加、混合することにより調製することができる。
用いる溶剤としては、例えば、トルエン、ベンゼン等の芳香族系溶媒;酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶媒;テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒;n−ヘキサン、シクロヘキサン等の脂肪族系溶媒;これらの組み合わせ;等が挙げられる。
溶剤の使用量は、特に限定されないが、通常、該組成物の濃度(固形分)で1〜50質量%である。
The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film of the present invention can be prepared by dissolving or dispersing the hydroxyl group-containing resin in a suitable solvent, and then adding and mixing a predetermined amount of a crosslinking agent.
Examples of the solvent used include aromatic solvents such as toluene and benzene; ester solvents such as ethyl acetate and butyl acetate; ether solvents such as tetrahydrofuran; aliphatic solvents such as n-hexane and cyclohexane; And the like.
Although the usage-amount of a solvent is not specifically limited, Usually, it is 1-50 mass% in the density | concentration (solid content) of this composition.

2)ガスバリアフィルム
本発明のガスバリアフィルムは、フィルム基材、本発明のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物(以下、単に「本発明の組成物」ということがある。)から形成された中間層、及び該中間層上に形成されたガスバリア層を少なくとも有することを特徴とする。
2) Gas Barrier Film The gas barrier film of the present invention is an intermediate layer formed from a film substrate and an intermediate layer forming composition for a gas barrier film of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “the composition of the present invention”). And a gas barrier layer formed on the intermediate layer.

本発明のガスバリアフィルムは、ガスバリア層と、フィルム基材との間(層間)に、本発明の組成物からなる中間層を有するため、ガスバリア層とフィルム基材の層間密着性に優れるものである。中間層においては、水酸基含有樹脂中に含まれる水酸基と、架橋剤とが反応して三次元網目構造が形成され、これにより、ガスバリア層との密着性が向上する。
中間層の厚みは、0.1〜50μmであり、好ましくは、0.1〜10μm、より好ましくは、0.5〜1μmである。
中間層の軟化温度は、40℃以上が好ましく、60℃以上がより好ましい。軟化温度が上記範囲内であれば、中間層の取り扱いが容易となる。
Since the gas barrier film of the present invention has an intermediate layer made of the composition of the present invention between the gas barrier layer and the film substrate (interlayer), it has excellent interlayer adhesion between the gas barrier layer and the film substrate. . In the intermediate layer, the hydroxyl group contained in the hydroxyl group-containing resin reacts with the crosslinking agent to form a three-dimensional network structure, thereby improving the adhesion with the gas barrier layer.
The thickness of the intermediate layer is 0.1 to 50 μm, preferably 0.1 to 10 μm, and more preferably 0.5 to 1 μm.
The softening temperature of the intermediate layer is preferably 40 ° C. or higher, and more preferably 60 ° C. or higher. If the softening temperature is within the above range, the intermediate layer can be easily handled.

本発明のガスバリアフィルムのガスバリア層は、酸素や水蒸気の透過を抑制する特性(以下、「ガスバリア性」ともいう)を有する層である。
ガスバリア層は、ガスバリア性を有する限り、材質等は特に制限されない。例えば、無機蒸着膜からなるガスバリア層、ガスバリア性樹脂を含むガスバリア層、高分子化合物を含む層にイオンを注入して得られるガスバリア層等が挙げられる。
これらの中でも、薄く、ガスバリア性に優れる層を効率よく形成できることから、無機蒸着膜からなるガスバリア層、及び高分子化合物を含む層にイオンを注入して得られるガスバリア層が好ましく、高分子化合物を含む層にイオンを注入して得られるガスバリア層が特に好ましい。
The gas barrier layer of the gas barrier film of the present invention is a layer having a property of suppressing permeation of oxygen and water vapor (hereinafter also referred to as “gas barrier property”).
The material of the gas barrier layer is not particularly limited as long as it has gas barrier properties. Examples thereof include a gas barrier layer made of an inorganic vapor deposition film, a gas barrier layer containing a gas barrier resin, a gas barrier layer obtained by implanting ions into a layer containing a polymer compound, and the like.
Among these, since a thin layer having excellent gas barrier properties can be efficiently formed, a gas barrier layer made of an inorganic vapor deposition film and a gas barrier layer obtained by implanting ions into a layer containing a polymer compound are preferable. A gas barrier layer obtained by implanting ions into the containing layer is particularly preferred.

無機蒸着膜としては、無機化合物や金属の蒸着膜が挙げられる。
無機蒸着膜を形成する方法としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等のPVD法や、熱CVD法、プラズマCVD法、光CVD法等のCVD法が挙げられる。
無機化合物の蒸着膜の原料としては、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ等の無機酸化物;窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化チタン等の無機窒化物;無機炭化物;無機硫化物;酸化窒化ケイ素等の無機酸化窒化物;無機酸化炭化物;無機窒化炭化物;無機酸化窒化炭化物等が挙げられる。
金属の蒸着膜の原料としては、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、及びスズ等が挙げられる。
これらは1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせであってもよい。また、無機蒸着膜は、単層でもよく、多層でもよい。
無機蒸着膜の厚みは、ガスバリア性と取り扱い性の観点から、好ましくは10〜2000nm、より好ましくは20〜1000nm、より好ましくは30〜500nm、さらに好ましくは40〜200nmの範囲である。
Examples of the inorganic vapor deposition film include vapor deposition films of inorganic compounds and metals.
Examples of the method for forming the inorganic vapor deposition film include PVD methods such as vacuum vapor deposition, sputtering, and ion plating, and CVD methods such as thermal CVD, plasma CVD, and photo CVD.
As the raw material for the vapor-deposited film of the inorganic compound, inorganic oxides such as silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide, indium oxide and tin oxide; inorganic nitrides such as silicon nitride, aluminum nitride and titanium nitride; inorganic carbides; Inorganic sulfides; inorganic oxynitrides such as silicon oxynitride; inorganic oxide carbides; inorganic nitride carbides; inorganic oxynitride carbides and the like.
Examples of the raw material for the metal vapor deposition film include aluminum, magnesium, zinc, and tin.
These may be used alone or in combination of two or more. The inorganic vapor deposition film may be a single layer or a multilayer.
The thickness of the inorganic vapor deposition film is preferably in the range of 10 to 2000 nm, more preferably 20 to 1000 nm, more preferably 30 to 500 nm, and still more preferably 40 to 200 nm, from the viewpoints of gas barrier properties and handling properties.

前記ガスバリア性樹脂としては、例えば、ポリビニルアルコール、又はその部分ケン化物、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリクロロトリフルオロエチレン等の酸素等を透過しにくい樹脂が挙げられる。   As the gas barrier resin, for example, polyvinyl alcohol, or a partially saponified product thereof, an ethylene-vinyl alcohol copolymer, polyacrylonitrile, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polychlorotrifluoroethylene, and the like are hardly permeable to oxygen. Resin.

ガスバリア性樹脂を含むガスバリア層を形成する方法としては、ガスバリア性樹脂を含む溶液を、中間層上に塗布し、得られた塗膜を適宜乾燥することでガスバリア層を作製する方法が挙げられる。   Examples of a method for forming a gas barrier layer containing a gas barrier resin include a method of producing a gas barrier layer by applying a solution containing a gas barrier resin on an intermediate layer and drying the obtained coating film as appropriate.

高分子化合物を含む層にイオン注入して得られるガスバリア層において、用いる高分子化合物としては、例えば、ケイ素系高分子化合物、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、アクリル系樹脂、シクロオレフィン系ポリマー、芳香族系重合体、及びこれらの高分子の2種以上の組合せ等が挙げられる。   Examples of the polymer compound used in the gas barrier layer obtained by ion implantation into the layer containing the polymer compound include silicon-based polymer compounds, polyimides, polyamides, polyamideimides, polyphenylene ethers, polyether ketones, and polyether ether ketones. Polyolefin, polyester, polycarbonate, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, acrylic resin, cycloolefin polymer, aromatic polymer, and combinations of two or more of these polymers.

これらの中でも、優れたガスバリア性を得ることが出来るという点で、ケイ素系高分子化合物が好ましい。
ガスバリア層が、ケイ素系高分子化合物を含む層にイオンが注入されて得られる層である場合に、ケイ素系高分子化合物を含む層と中間層の界面において、水酸基含有樹脂の水酸基とケイ素系高分子化合物とが反応して、化学結合を形成することにより、基材へイオンが注入されることが阻止される。これにより、透明性に優れるガスバリアフィルムを得ることが出来る。
Among these, a silicon-based polymer compound is preferable in that an excellent gas barrier property can be obtained.
When the gas barrier layer is a layer obtained by implanting ions into a layer containing a silicon-based polymer compound, the hydroxyl group of the hydroxyl-containing resin and the silicon-based polymer at the interface between the layer containing the silicon-based polymer compound and the intermediate layer Reaction with the molecular compound to form a chemical bond prevents ions from being implanted into the substrate. Thereby, the gas barrier film excellent in transparency can be obtained.

ケイ素系高分子化合物としては、公知のものを用いることができ、例えば、ポリシラザン化合物、ポリカルボシラン化合物、ポリシラン化合物、及びポリオルガノシロキサン化合物等が挙げられる(特開平10−245436号公報、特表2003−514822号公報、特開2005−36089号公報、特開2008−63586号公報、特開2009−235358号公報、特開2009−286891号公報、特開2010−106100号公報、特開2010-229445号公報、特開2010−232569号公報、特開2010−238736号公報等参照)。なかでも、ポリシラザン化合物がより好ましい。   As the silicon-based polymer compound, known compounds can be used, and examples thereof include polysilazane compounds, polycarbosilane compounds, polysilane compounds, and polyorganosiloxane compounds (Japanese Patent Laid-Open No. 10-245436, special table). JP 2003-514822 A, JP 2005-36089 A, JP 2008-63586 A, JP 2009-235358 A, JP 2009-286891 A, JP 2010-106100 A, JP 2010-106 A. No. 2.9445, JP 2010-232569 A, JP 2010-238736 A, etc.). Of these, polysilazane compounds are more preferred.

ポリシラザン化合物は、分子内に(−Si−N−)で表される繰り返し単位を有する高分子化合物であり、有機ポリシラザン、無機ポリシラザン、変性ポリシラザン等の公知のものを使用することができる。   The polysilazane compound is a polymer compound having a repeating unit represented by (—Si—N—) in the molecule, and known compounds such as organic polysilazane, inorganic polysilazane, and modified polysilazane can be used.

これらの中でも、本発明において用いるポリシラザン化合物としては、無機ポリシラザン、有機ポリシラザンが好ましく、入手容易性、及び優れたガスバリア性を有する注入層を形成できる観点から、無機ポリシラザンがより好ましく、ペルヒドロポリシラザンが特に好ましい。   Among these, as the polysilazane compound used in the present invention, inorganic polysilazane and organic polysilazane are preferable, and from the viewpoint of easy availability and formation of an injection layer having excellent gas barrier properties, inorganic polysilazane is more preferable, and perhydropolysilazane is preferable. Particularly preferred.

なお、ポリシラザン層(ケイ素系高分子化合物としてポリシラザン化合物を含む層)は、ジメチルジシラザン、テトラメチルジシラザン、ヘキサメチルジシラザンなどの、プラズマ重合性シラザン化合物のガスを、中間層と接触させて、プラズマ重合処理を施すことによって形成することもできる(特開平9−143289号公報)。
また、ポリシラザン化合物は、ガラスコーティング材等として市販されている市販品をそのまま使用することもできる。
The polysilazane layer (a layer containing a polysilazane compound as a silicon-based polymer compound) is obtained by bringing a plasma polymerizable silazane compound gas such as dimethyldisilazane, tetramethyldisilazane, hexamethyldisilazane, etc. into contact with the intermediate layer. It can also be formed by performing a plasma polymerization treatment (Japanese Patent Laid-Open No. 9-143289).
Moreover, the polysilazane compound can also use the commercial item marketed as a glass coating material etc. as it is.

高分子化合物を含む層には、高分子化合物の他に、本発明の目的を阻害しない範囲で他の成分を含んでいてもよい。他の成分としては、硬化剤、他の高分子、老化防止剤、光安定剤、難燃剤等が挙げられる。   The layer containing the polymer compound may contain other components in addition to the polymer compound as long as the object of the present invention is not impaired. Examples of other components include curing agents, other polymers, anti-aging agents, light stabilizers, and flame retardants.

高分子化合物を含む層中の、高分子化合物の含有量は、優れたガスバリア性を有するイオン注入層を形成できる観点から、50重量%以上であるのが好ましく、70重量%以上であるのがより好ましい。   The content of the polymer compound in the layer containing the polymer compound is preferably 50% by weight or more, and preferably 70% by weight or more from the viewpoint of forming an ion-implanted layer having excellent gas barrier properties. More preferred.

本発明において、形成される高分子化合物を含む層の厚みは、特に制限されないが、通常20nmから10μm、好ましくは30〜500nm、より好ましくは40〜200nmである。
本発明においては、高分子化合物を含む層がナノオーダーであっても、充分なガスバリア性を有するガスバリアフィルムを得ることができる。
In the present invention, the thickness of the layer containing the polymer compound to be formed is not particularly limited, but is usually 20 nm to 10 μm, preferably 30 to 500 nm, more preferably 40 to 200 nm.
In the present invention, a gas barrier film having a sufficient gas barrier property can be obtained even if the layer containing the polymer compound is nano-order.

高分子化合物を含む層に注入されるイオンとしては、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノンなどの希ガス、フルオロカーボン、水素、窒素、酸素、二酸化炭素、塩素、フッ素、硫黄等のイオン;金、銀、銅、白金、ニッケル、パラジウム、クロム、チタン、モリブデン、ニオブ、タンタル、タングステン、アルミニウム等の金属のイオン;等が挙げられる。
なかでも、より簡便に注入することができ、特に優れたガスバリア性と透明性を有するイオン注入層が得られることから、水素、窒素、酸素、アルゴン、ヘリウム、ネオン、キセノン及びクリプトンからなる群から選ばれる少なくとも一種のイオンが好ましい。
Examples of ions implanted into the layer containing a high molecular compound include ions such as argon, helium, neon, krypton, and xenon, rare gases, fluorocarbon, hydrogen, nitrogen, oxygen, carbon dioxide, chlorine, fluorine, and sulfur; gold, And ions of metals such as silver, copper, platinum, nickel, palladium, chromium, titanium, molybdenum, niobium, tantalum, tungsten, and aluminum.
Among them, from the group consisting of hydrogen, nitrogen, oxygen, argon, helium, neon, xenon and krypton because an ion implantation layer that can be implanted more easily and has particularly excellent gas barrier properties and transparency can be obtained. At least one ion selected is preferred.

イオンの注入量は、形成するガスバリアフィルムの使用目的(必要なガスバリア性、透明性等)等に合わせて適宜決定すればよい。   What is necessary is just to determine suitably the ion implantation amount according to the intended purpose (necessary gas barrier property, transparency, etc.) of the gas barrier film to form.

イオンを注入する方法としては、電界により加速されたイオン(イオンビーム)を照射する方法、プラズマ中のイオンを注入する方法等が挙げられる。なかでも、本発明においては、簡便にガスバリア層が得られることから、後者のプラズマイオンを注入する方法が好ましい。   Examples of the method for implanting ions include a method of irradiating ions accelerated by an electric field (ion beam), a method of implanting ions in plasma, and the like. Among them, in the present invention, the latter method of implanting plasma ions is preferable because a gas barrier layer can be easily obtained.

プラズマイオン注入は、例えば、希ガス等のプラズマ生成ガスを含む雰囲気下でプラズマを発生させ、ポリシラザン層に負の高電圧パルスを印加することにより、該プラズマ中のイオン(陽イオン)を、ポリシラザン層の表面部に注入して行うことができる。   In the plasma ion implantation, for example, plasma is generated in an atmosphere containing a plasma generating gas such as a rare gas, and a negative high voltage pulse is applied to the polysilazane layer, whereby ions (positive ions) in the plasma are converted into polysilazane. It can be performed by injecting into the surface of the layer.

イオン注入により、イオンが注入される領域の厚みは、イオンの種類や印加電圧、処理時間等の注入条件により制御することができ、ポリシラザン層の厚み、ガスバリアフィルムの使用目的等に応じて決定すればよいが、通常、10〜1000nmである。   By ion implantation, the thickness of the region into which ions are implanted can be controlled by implantation conditions such as ion type, applied voltage, and processing time, and is determined according to the thickness of the polysilazane layer, the purpose of use of the gas barrier film, and the like. Usually, it is 10 to 1000 nm.

イオンが注入されたことは、X線光電子分光分析(XPS)を用いて表面から10nm付近の元素分析測定を行うことによって確認することができる。   The ion implantation can be confirmed by performing elemental analysis measurement in the vicinity of 10 nm from the surface using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).

ガスバリア層の厚みは、その材質等によっても異なるが、ガスバリア性と取り扱い性の観点から、通常、10〜2000nm、好ましくは20〜1000nm、より好ましくは30〜500nm、さらに好ましくは40〜200nmの範囲である。   The thickness of the gas barrier layer varies depending on the material and the like, but from the viewpoint of gas barrier properties and handleability, it is usually in the range of 10 to 2000 nm, preferably 20 to 1000 nm, more preferably 30 to 500 nm, and further preferably 40 to 200 nm. It is.

本発明のガスバリアフィルムは、ガスバリア層とフィルム基材との間に、本発明の組成物からなる中間層が形成されていれば、積層数、積層順は特に限定されない。例えば、フィルム基材の片方の面に、ガスバリア層を有するものでもよいし、フィルム基材の両方の面に当該ガスバリア層を有するものであってもよい。また、当該ガスバリアフィルムが複数積層されたものであってもよい。   In the gas barrier film of the present invention, the number of layers and the stacking order are not particularly limited as long as an intermediate layer made of the composition of the present invention is formed between the gas barrier layer and the film substrate. For example, it may have a gas barrier layer on one side of the film substrate, or may have the gas barrier layer on both sides of the film substrate. Further, a plurality of the gas barrier films may be laminated.

(フィルム基材)
フィルム基材の素材としては、ケイ素系高分子化合物以外であって、本発明のガスバリアフィルムの目的に合致するものであれば特に制限されない。例えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、アクリル系樹脂、シクロオレフィン系ポリマー、芳香族系重合体等が挙げられる。
(Film substrate)
The material for the film substrate is not particularly limited as long as it is other than the silicon-based polymer compound and can meet the purpose of the gas barrier film of the present invention. For example, polyimide, polyamide, polyamideimide, polyphenylene ether, polyether ketone, polyether ether ketone, polyolefin, polyester, polycarbonate, polysulfone, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, acrylic resin, cycloolefin polymer, aromatic Group polymers and the like.

これらの中でも、透明性に優れ、汎用性があることから、ポリエステル、ポリアミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート又はシクロオレフィン系ポリマーが好ましく、ポリエステル又はシクロオレフィン系ポリマーがより好ましい。   Among these, polyester, polyamide, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, or cycloolefin polymer is preferable, and polyester or cycloolefin polymer is more preferable because of excellent transparency and versatility.

ポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアリレート等が挙げられる。
ポリアミドとしては、全芳香族ポリアミド、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン共重合体等が挙げられる。
Examples of the polyester include polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, and polyarylate.
Examples of the polyamide include wholly aromatic polyamide, nylon 6, nylon 66, nylon copolymer, and the like.

シクロオレフィン系ポリマーとしては、ノルボルネン系重合体、単環の環状オレフィン系重合体、環状共役ジエン系重合体、ビニル脂環式炭化水素重合体、及びこれらの水素化物が挙げられる。その具体例としては、アペル(三井化学社製のエチレン−シクロオレフィン共重合体)、アートン(JSR社製のノルボルネン系重合体)、ゼオノア(日本ゼオン社製のノルボルネン系重合体)等が挙げられる。   Examples of cycloolefin polymers include norbornene polymers, monocyclic olefin polymers, cyclic conjugated diene polymers, vinyl alicyclic hydrocarbon polymers, and hydrides thereof. Specific examples thereof include Apel (an ethylene-cycloolefin copolymer manufactured by Mitsui Chemicals), Arton (a norbornene polymer manufactured by JSR), Zeonoa (a norbornene polymer manufactured by Nippon Zeon), and the like. .

フィルム基材の厚みとしては、特に限定されず、ガスバリアフィルムの目的に合わせて決定すればよいが、通常0.5〜500μm、好ましくは1〜100μmである。   Although it does not specifically limit as thickness of a film base material, What is necessary is just to determine according to the objective of a gas barrier film, Usually, 0.5-500 micrometers, Preferably it is 1-100 micrometers.

また、本発明のガスバリアフィルムは他の層を有していてもよい。他の層としては、例えば、保護層、導電体層、保護シート、粘着剤層等が挙げられる。   Moreover, the gas barrier film of this invention may have another layer. Examples of other layers include a protective layer, a conductor layer, a protective sheet, and an adhesive layer.

(保護層)
保護層は、外部から衝撃が加わったときに、ガスバリア層を保護する役割を有する層である。
保護層が積層される位置は、特に限定されないが、ガスバリア層に隣接して積層されることが好ましい。
保護層としては、透明性がよく、耐擦傷性が良好なものが好ましい。更に保護層が電子デバイスや光学デバイスに組み込まれた際に、最表面に配置される場合には、防汚性、耐指紋付着防止性、帯電防止性、撥水性、親水性などの機能を具備することができる。
(Protective layer)
The protective layer is a layer having a role of protecting the gas barrier layer when an impact is applied from the outside.
The position where the protective layer is laminated is not particularly limited, but is preferably laminated adjacent to the gas barrier layer.
As the protective layer, those having good transparency and good scratch resistance are preferable. Furthermore, when it is placed on the outermost surface when the protective layer is incorporated into an electronic device or optical device, it has functions such as antifouling property, anti-fingerprint resistance, antistatic property, water repellency and hydrophilicity. can do.

保護層の厚みは、ガスバリアフィルムの使用目的等を考慮して適宜選択することができる。その厚みは、通常、0.05〜10μm未満、好ましくは0.1〜8.0μm、より好ましくは0.2〜5μmである。
0.05μm以上であれば、耐擦傷性が十分なものになる。9μm以下であれば、硬化時の歪みによるカールが生じにくい。
The thickness of the protective layer can be appropriately selected in consideration of the purpose of use of the gas barrier film. The thickness is usually less than 0.05 to 10 μm, preferably 0.1 to 8.0 μm, more preferably 0.2 to 5 μm.
If it is 0.05 μm or more, the scratch resistance is sufficient. If it is 9 μm or less, curling due to distortion during curing is unlikely to occur.

保護層の表面粗さRa(算術平均粗さ)は、10.0nm以下が好ましく、8.0nm以下がより好ましい。また、表面粗さRt(最大断面高さ)は、100nm以下が好ましく、50nm以下がより好ましい。
表面粗さRa及びRtが、それぞれ、10.0nm、100nmを超えると、ガスバリア層の表面粗さが大きくなり、ガスバリアフィルムのガスバリア性が低下するおそれがある。
なお、表面粗さRa及びRtは、100μm□のサンプルを用いて、光干渉法により得られた値である。
The surface roughness Ra (arithmetic mean roughness) of the protective layer is preferably 10.0 nm or less, and more preferably 8.0 nm or less. Further, the surface roughness Rt (maximum cross-sectional height) is preferably 100 nm or less, and more preferably 50 nm or less.
When the surface roughness Ra and Rt exceed 10.0 nm and 100 nm, respectively, the surface roughness of the gas barrier layer increases, and the gas barrier property of the gas barrier film may be lowered.
The surface roughness Ra and Rt are values obtained by an optical interference method using a 100 μm square sample.

保護層の材料は特に制限されず、例えば、ケイ素含有化合物;光重合性モノマー及び/又は光重合性プレポリマーからなる光重合性化合物、及び少なくともUVでラジカルを発生する重合開始剤を含む重合性組成物;ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂(特にポリアクリルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリエーテルポリオール等とイソシアネート化合物との2液硬化型樹脂)、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体、ポリビニルブチラール系樹脂、ニトロセルロース系樹脂等の樹脂類;アルキルチタネート;エチレンイミン;等が挙げられる。
これらは、一種単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いてもよい。
The material of the protective layer is not particularly limited, and is, for example, a polymer containing a silicon-containing compound; a photopolymerizable compound composed of a photopolymerizable monomer and / or a photopolymerizable prepolymer, and a polymerization initiator that generates radicals at least in the UV. Composition: polyester resin, polyurethane resin (particularly two-part curable resin of polyacryl polyol, polyester polyol, polyether polyol, etc. and isocyanate compound), acrylic resin, polycarbonate resin, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer Examples thereof include resins such as coalescence, polyvinyl butyral resin and nitrocellulose resin; alkyl titanates; ethyleneimine;
These may be used alone or in combination of two or more.

なかでも、保護層の材料としては、透明性や耐擦傷性に優れるという点から、光重合性モノマー及び/又は光重合性プレポリマーからなる光重合性化合物、及び少なくともUVでラジカルを発生する重合開始剤を含む重合性組成物が好ましい。   Among these, as a material for the protective layer, from the viewpoint of excellent transparency and scratch resistance, a photopolymerizable compound comprising a photopolymerizable monomer and / or a photopolymerizable prepolymer, and polymerization that generates radicals at least in UV. A polymerizable composition containing an initiator is preferred.

保護層は、前記材料を適当な溶剤に溶解又は分散させてなる保護層形成用溶液を、公知の方法により、積層される層上に塗布し、得られた塗膜を乾燥させ、所望により加熱することより形成することができる。   For the protective layer, a solution for forming a protective layer obtained by dissolving or dispersing the above materials in an appropriate solvent is applied onto the layer to be laminated by a known method, and the obtained coating film is dried, and heated if desired. Can be formed.

(導電体層)
導電体層は、導電性を有する層であって、電子部材等において、電極として利用したり、帯電防止性や放熱性を向上させるために設けられる層である。
導電体層が積層される位置は、ガスバリアフィルムが使用される目的に応じて選択することができ、特に限定されない。
導電体層の表面抵抗率は、1000Ω/□以下が好ましく、より好ましくは200Ω/□である。
導電体層の厚みは、ガスバリアフィルムの使用目的等を考慮して適宜選択することができる。その厚みは、通常、10nmから9μm、好ましくは20nmから1.0μmである。
(Conductor layer)
The conductor layer is a layer having conductivity, and is a layer provided to be used as an electrode in an electronic member or the like, or to improve antistatic properties and heat dissipation properties.
The position where the conductor layer is laminated can be selected according to the purpose for which the gas barrier film is used, and is not particularly limited.
The surface resistivity of the conductor layer is preferably 1000Ω / □ or less, more preferably 200Ω / □.
The thickness of the conductor layer can be appropriately selected in consideration of the purpose of use of the gas barrier film. The thickness is usually 10 nm to 9 μm, preferably 20 nm to 1.0 μm.

導電体層の材料としては、金属、合金、金属酸化物、電気伝導性化合物、これらの混合物等が挙げられる。具体的には、アンチモンをドープした酸化スズ(ATO);フッ素をドープした酸化スズ(FTO);酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の金属酸化物;金、銀、クロム、ニッケル等の金属;これら金属と金属酸化物との混合物;ヨウ化銅、硫化銅等の無機導電性物質;ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロール等の有機導電性材料;等が挙げられる。これらの中でも、透明性の点から、金属酸化物が好ましく、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の酸化インジウム系や酸化亜鉛系の金属酸化物が特に好ましい。   Examples of the material for the conductor layer include metals, alloys, metal oxides, electrically conductive compounds, and mixtures thereof. Specifically, tin oxide doped with antimony (ATO); tin oxide doped with fluorine (FTO); metals such as tin oxide, zinc oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO), and zinc indium oxide (IZO) Oxides; metals such as gold, silver, chromium and nickel; mixtures of these metals and metal oxides; inorganic conductive materials such as copper iodide and copper sulfide; organic conductive materials such as polyaniline, polythiophene and polypyrrole; etc. Is mentioned. Among these, metal oxides are preferable from the viewpoint of transparency, and indium oxide-based and zinc oxide-based metal oxides such as zinc oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO), and zinc oxide indium (IZO) are particularly preferable. preferable.

導電体層の形成方法としては、例えば、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、熱CVD法、プラズマCVD法等が挙げられる。これらの中でも、簡便に導電体層が形成できることから、スパッタリング法が好ましい。   Examples of the method for forming the conductor layer include a vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a thermal CVD method, a plasma CVD method, and the like. Among these, the sputtering method is preferable because the conductor layer can be easily formed.

形成された導電体層には、必要に応じてパターニングを行ってもよい。パターニングする方法としては、フォトリソグラフィー等による化学的エッチング、レーザ等を用いた物理的エッチング等、マスクを用いた真空蒸着法やスパッタリング法、リフトオフ法、印刷法等が挙げられる。   The formed conductor layer may be patterned as necessary. Examples of the patterning method include chemical etching by photolithography and the like, physical etching using a laser and the like, vacuum deposition method using a mask, sputtering method, lift-off method, printing method, and the like.

(保護シート)
保護シートは、ガスバリアフィルムの最外層に積層され、ガスバリアフィルムを保存、運搬等する際に、ガスバリア層を保護する役割を有し、使用時には剥離される。
(Protective sheet)
A protective sheet is laminated | stacked on the outermost layer of a gas barrier film, has a role which protects a gas barrier layer, when a gas barrier film is preserve | saved, transported, etc., and peels off at the time of use.

本発明のガスバリアフィルムは、片面に保護シートを有するものであってもよく、両面に保護シートを有するものであってもよい。
保護シートとしては、紙やプラスチックフィルム等の基材に再剥離性の粘着剤層や剥離剤層を設けたものが挙げられる。
The gas barrier film of the present invention may have a protective sheet on one side or may have a protective sheet on both sides.
As a protective sheet, what provided the releasable adhesive layer and release agent layer in base materials, such as paper and a plastic film, is mentioned.

(粘着剤層)
粘着剤層は、ガスバリアフィルムを複数積層する場合や、被着体に貼付する際に設けることができる。
粘着剤層の材料としては、特に限定されず、公知の粘着剤を使用することができる。例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等が挙げられる。
(Adhesive layer)
An adhesive layer can be provided when laminating | stacking two or more gas barrier films, or when affixing on a to-be-adhered body.
It does not specifically limit as a material of an adhesive layer, A well-known adhesive can be used. For example, an acrylic adhesive, a silicone adhesive, a urethane adhesive, a rubber adhesive, and the like can be given.

上記その他の層は、上記条件を満たす限り、積層する順序、積層数は特に制限はない。
本発明のガスバリアフィルムは、高温・高湿下に長時間置かれた後であっても、基材とガスバリア層とが剥離しにくく、層間密着性に優れる。
As long as the above-mentioned other layers satisfy the above conditions, the order of stacking and the number of stacks are not particularly limited.
The gas barrier film of the present invention is excellent in interlayer adhesion because the base material and the gas barrier layer are hardly peeled off even after being placed under a high temperature and high humidity for a long time.

本発明のガスバリアフィルムが、優れた層間密着性を有することは、例えば、高温湿熱条件(60℃、湿度90%)下に150時間載置した後、碁盤目試験(JIS K−5400(1990年))に従って膜の剥がれを観測し、試験目数中、剥がれていない数が90%以上となること等から確認することができる。   The gas barrier film of the present invention has excellent interlaminar adhesion, for example, after placing it under high-temperature and humid-heat conditions (60 ° C., humidity 90%) for 150 hours, followed by a cross-cut test (JIS K-5400 (1990) )), The peeling of the film is observed, and it can be confirmed from the fact that, in the number of test specimens, the number of peeling is 90% or more.

本発明のガスバリアフィルムが、優れたガスバリア性を有していることは、ガスバリアフィルムの水蒸気透過率が小さいこと等から確認することができる。
ガスバリアフィルムの水蒸気透過率は、40℃、相対湿度90%雰囲気下で、通常0.1g/m/day以下であり、好ましくは0.05g/m/day以下である。水蒸気透過率は、公知の方法で測定することができる。
It can be confirmed that the gas barrier film of the present invention has an excellent gas barrier property because the water vapor permeability of the gas barrier film is small.
Water vapor permeability of the gas barrier film, 40 ° C., under a relative humidity of 90%, generally not more than 0.1g / m 2 / day, preferably not more than 0.05g / m 2 / day. The water vapor transmission rate can be measured by a known method.

本発明のガスバリアフィルムが、優れた透明性を有していることは、ガスバリアフィルムの可視光線透過率が高いこと等から確認することができる。
ガスバリアフィルムの可視光線透過率は、90%以上であることが好ましい。可視光線透過率が90%以上であれば、透明性が高く、光学特性が優れるため、電子部材用、光学部材用として用いるために好ましい。
可視光線透過率は、波長550nmにおける透過率であり、公知の測定装置を使用して測定することができる。
That the gas barrier film of the present invention has excellent transparency can be confirmed from the high visible light transmittance of the gas barrier film and the like.
The visible light transmittance of the gas barrier film is preferably 90% or more. A visible light transmittance of 90% or more is preferable for use as an electronic member or an optical member because of high transparency and excellent optical properties.
The visible light transmittance is a transmittance at a wavelength of 550 nm, and can be measured using a known measuring device.

本発明のガスバリアフィルムは、ガスバリア性、層間密着性、さらには透明性に優れるため、電子部材用、光学部材用のガスバリアフィルムとして用いることができる。なかでも、電子部材用、光学部材用として、特に、フレキシブルディスプレイ基板等の可撓性が求められる電子部材用、液晶表示素子用プラスチック基板等の耐熱性、耐湿性が求められる電子部材用として好ましく用いられる。   Since the gas barrier film of the present invention is excellent in gas barrier properties, interlayer adhesion, and transparency, it can be used as a gas barrier film for electronic members and optical members. Among them, it is preferable for electronic members and optical members, especially for electronic members that require flexibility such as flexible display substrates, and for electronic members that require heat resistance and moisture resistance such as plastic substrates for liquid crystal display elements. Used.

3)ガスバリアフィルムの製造方法
本発明のガスバリアフィルムの製造方法は、フィルム基材、該基材上に形成された中間層、及び該中間層上に形成されたガスバリア層を有するガスバリアフィルムの製造方法であって、下記工程を有することを特徴とする。
3) Method for Producing Gas Barrier Film The method for producing a gas barrier film of the present invention is a method for producing a gas barrier film having a film substrate, an intermediate layer formed on the substrate, and a gas barrier layer formed on the intermediate layer. And it has the following processes, It is characterized by the above-mentioned.

(工程1)フィルム基材上に、水酸基含有樹脂及び架橋剤を含有するガスバリアフィルム用中間層形成用組成物を塗工し、得られた塗膜を乾燥することにより中間層を形成する工程。
(工程2)得られた中間層上に、ケイ素系高分子化合物を含む塗工液を塗工し、得られた塗膜を乾燥することによりケイ素系高分子化合物を含有する層を形成する工程。
(工程3)得られたケイ素系高分子化合物を含有する層に、イオンを注入することにより、ガスバリア層を形成する工程。
(Process 1) The process of forming an intermediate | middle layer by applying the composition for gas barrier film intermediate | middle layer formation containing a hydroxyl-containing resin and a crosslinking agent on a film base material, and drying the obtained coating film.
(Step 2) A step of forming a layer containing a silicon-based polymer compound by coating a coating liquid containing a silicon-based polymer compound on the obtained intermediate layer and drying the obtained coating film. .
(Step 3) A step of forming a gas barrier layer by implanting ions into the layer containing the obtained silicon polymer compound.

以下、図面を参照しながら、本発明の製造方法を説明する。
(1)工程1
先ず、図1(a)に示すように、フィルム基材1上に、水酸基含有樹脂及び架橋剤を含有するガスバリアフィルム用中間層形成用組成物を塗工し、得られた塗膜を乾燥することにより中間層2を形成する。
Hereinafter, the manufacturing method of the present invention will be described with reference to the drawings.
(1) Step 1
First, as shown to Fig.1 (a), the composition for gas barrier film intermediate | middle layer formation containing a hydroxyl-containing resin and a crosslinking agent is applied on the film base material 1, and the obtained coating film is dried. Thus, the intermediate layer 2 is formed.

工程1において用いるフィルム基材としては、前項で例示したのと同様のものが挙げられる。
水酸基含有樹脂及び架橋剤を含有するガスバリアフィルム用中間層形成用組成物としては、本発明のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物を好ましく用いることができる。
Examples of the film substrate used in step 1 include the same as those exemplified in the previous section.
As the intermediate layer forming composition for a gas barrier film containing a hydroxyl group-containing resin and a crosslinking agent, the intermediate layer forming composition for a gas barrier film of the present invention can be preferably used.

フィルム基材上にガスバリアフィルム用中間層形成用組成物を塗工する方法としては、通常の湿式コーティング方法を用いることができる。例えばディッピング法、ロールコート、グラビアコート、ナイフコート、エアナイフコート、ロールナイフコート、ダイコート、スクリーン印刷法、スプレーコート、グラビアオフセット法等が挙げられる。   As a method for coating the intermediate layer forming composition for gas barrier film on the film substrate, a usual wet coating method can be used. Examples include dipping method, roll coating, gravure coating, knife coating, air knife coating, roll knife coating, die coating, screen printing method, spray coating, gravure offset method and the like.

組成物の塗膜を乾燥する方法としては、熱風乾燥、熱ロール乾燥、赤外線照射等、従来公知の乾燥方法が採用できる。加熱温度は、通常60〜130℃の範囲である。   As a method for drying the coating film of the composition, a conventionally known drying method such as hot air drying, hot roll drying, infrared irradiation or the like can be adopted. The heating temperature is usually in the range of 60 to 130 ° C.

工程1において、中間層は、乾燥した後に所望により加熱することにより形成するのが好ましい。
工程1において、中間層は、上記のようにして形成される間に、水酸基含有樹脂中に含まれる水酸基と、架橋剤とが反応して三次元網目構造が形成されることにより、ガスバリア層との密着性を向上することができる。
In step 1, the intermediate layer is preferably formed by drying and then optionally heating.
In step 1, while the intermediate layer is formed as described above, the hydroxyl group contained in the hydroxyl group-containing resin reacts with the crosslinking agent to form a three-dimensional network structure. Can be improved.

(2)工程2
次いで、図1(b)に示すように、得られた中間層2上に、ケイ素系高分子化合物を含む塗工液を塗工し、得られた塗膜を乾燥することによりケイ素系高分子化合物を含有する層3を形成する。
(2) Step 2
Next, as shown in FIG. 1 (b), the obtained intermediate layer 2 is coated with a coating solution containing a silicon-based polymer compound, and the resulting coating film is dried to thereby obtain a silicon-based polymer. A layer 3 containing the compound is formed.

工程2において用いるケイ素系高分子化合物としては、例えば、ポリシラザン化合物、ポリカルボシラン化合物、ポリシラン化合物、及びポリオルガノシロキサン化合物等が挙げられる。ケイ素系高分子化合物は一種単独で、或いは二種以上を組み合わせて用いることができる。なかでも、ポリシラザン化合物が好ましく、具体例としては、上述したものと同様のものが挙げられる。   Examples of the silicon-based polymer compound used in step 2 include a polysilazane compound, a polycarbosilane compound, a polysilane compound, and a polyorganosiloxane compound. The silicon polymer compounds can be used alone or in combination of two or more. Of these, polysilazane compounds are preferred, and specific examples thereof include those described above.

ケイ素系高分子化合物を含む塗工液に用いる溶媒しては、ケイ素系高分子化合物を溶解し得るものであれば特に制限されない。例えば、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素系溶媒;トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶媒;塩化メチレン、塩化エチレンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのアルコール系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、2−ペンタノン、イソホロン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶媒;酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶媒;エチルセロソルブなどのセロソルブ系溶剤などが挙げられる。
ケイ素系高分子化合物を含む塗工液中のケイ素系高分子化合物の濃度は、塗工適性等の観点から、通常1〜70質量%、好ましくは1〜30質量%である。
The solvent used in the coating solution containing the silicon-based polymer compound is not particularly limited as long as it can dissolve the silicon-based polymer compound. For example, aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane and heptane; aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene; halogenated hydrocarbon solvents such as methylene chloride and ethylene chloride; methanol, ethanol, propanol, butanol, propylene glycol Examples include alcohol solvents such as monomethyl ether; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, 2-pentanone, isophorone, and cyclohexanone; ester solvents such as ethyl acetate and butyl acetate; and cellosolv solvents such as ethyl cellosolve.
The concentration of the silicon-based polymer compound in the coating solution containing the silicon-based polymer compound is usually 1 to 70% by mass, preferably 1 to 30% by mass, from the viewpoint of coating suitability and the like.

前記中間層2上に、ケイ素系高分子化合物を含む塗工液を塗工し、得られた塗膜を乾燥することによりケイ素系高分子化合物を含有する層3を形成する方法は、特に制約はなく、例えば、高分子化合物の少なくとも一種、所望により他の成分、及び溶剤等を含有する層形成用溶液を、中間層の上に塗布し、得られた塗膜を適度に乾燥して形成する方法が挙げられる。   The method for forming the layer 3 containing the silicon-based polymer compound by applying a coating liquid containing the silicon-based polymer compound on the intermediate layer 2 and drying the obtained coating film is particularly limited. For example, a layer-forming solution containing at least one polymer compound, optionally other components, and a solvent is applied on the intermediate layer, and the resulting coating film is appropriately dried. The method of doing is mentioned.

塗工装置としては、スピンコーター、ナイフコーター、グラビアコーター等の公知の装置を使用することができる。   As the coating apparatus, known apparatuses such as a spin coater, a knife coater, and a gravure coater can be used.

得られた塗膜は、ガスバリア性向上のため、塗膜を加熱することが好ましい。加熱は80〜150℃で、数十秒から数十分行うことができる。   The obtained coating film is preferably heated to improve gas barrier properties. Heating can be performed at 80 to 150 ° C. for several tens of seconds to several tens of minutes.

(3)工程3
次に、図1(c)に示すように、得られたケイ素系高分子化合物を含有する層3に、イオンを注入することにより、ガスバリア層4を形成する。
工程3において、ケイ素系高分子化合物を含有する層3に、イオンを注入する方法は、前項で例示したのと同様の方法が挙げられる。
ケイ素系高分子化合物を含有する層3にイオンを注入することにより、ケイ素系高分子化合物を含有する層3の表面部に、ガスバリア性を有するイオン注入層3aが形成される。図1(c)では、表面部にイオン注入層3aが形成された、ケイ素系高分子化合物を含有する層3全体をガスバリア層4としている。
本発明の製造方法によれば、本発明のガスバリアフィルムを効率よく簡便に製造することができる。
(3) Process 3
Next, as shown in FIG. 1C, a gas barrier layer 4 is formed by implanting ions into the obtained layer 3 containing the silicon-based polymer compound.
In step 3, the method of implanting ions into the layer 3 containing the silicon-based polymer compound may be the same method as exemplified in the previous section.
By implanting ions into the layer 3 containing the silicon-based polymer compound, an ion-implanted layer 3a having gas barrier properties is formed on the surface portion of the layer 3 containing the silicon-based polymer compound. In FIG. 1C, the gas barrier layer 4 is the entire layer 3 containing the silicon-based polymer compound in which the ion implantation layer 3 a is formed on the surface portion.
According to the production method of the present invention, the gas barrier film of the present invention can be produced efficiently and simply.

4)電子部材又は光学部材
本発明の電子部材及び光学部材は、本発明のガスバリアフィルムを備えることを特徴とする。
電子部材としては、例えば、液晶ディスプレイ部材、有機ELディスプレイ部材、無機ELディスプレイ部材、電子ペーパー部材、太陽電池、熱電変換部材等のフレキシブル基板等が挙げられる。
光学部材としては、例えば、光学フィルター、波長変換デバイス、調光デバイス、偏光板、位相差板の光学部材等が挙げられる。
4) Electronic member or optical member The electronic member and optical member of the present invention include the gas barrier film of the present invention.
Examples of the electronic member include flexible substrates such as a liquid crystal display member, an organic EL display member, an inorganic EL display member, an electronic paper member, a solar cell, and a thermoelectric conversion member.
Examples of the optical member include an optical filter, a wavelength conversion device, a light control device, a polarizing plate, an optical member of a retardation plate, and the like.

本発明の電子部材及び光学部材は、本発明のガスバリアフィルムを備えるため、ガスバリア性に優れ、水蒸気等のガスの浸入を防ぐことができる。
また、本発明の電子部材及び光学部材は、本発明のガスバリアフィルムを備えるものであるため、高温条件下や高湿条件下で用いる場合においても、層間密着性に優れ、ガスバリア性が低下しにくいものである。
Since the electronic member and the optical member of the present invention include the gas barrier film of the present invention, the electronic member and the optical member are excellent in gas barrier properties and can prevent intrusion of gas such as water vapor.
In addition, since the electronic member and the optical member of the present invention are provided with the gas barrier film of the present invention, even when used under high temperature conditions or high humidity conditions, they are excellent in interlayer adhesion and hardly deteriorate in gas barrier properties. Is.

以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。但し、本発明は、以下の実施例になんら限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

(実施例1)
水酸基含有樹脂として、ポリビニルアルコールと、アセトアルデヒドを反応させて得られるポリビニルアセタール系樹脂(「エスレックKS−10」、積水化学工業社製、水酸基を含む繰り返し単位:25mol%、アセタール化度:75mol%、重量平均分子量:17,000、下記第1表中「PVAC1」と表示する。)を、トルエン及び酢酸エチルからなる混合溶媒(容積比=1/1)に溶解させた後、架橋剤として、芳香族イソシアネート系架橋剤であるキシリレンジイソシアネート(XDI)(「TD―75」、綜研化学社製、下記第1表中、架橋剤「A」と表示する。)を、ポリビニルアセタール樹脂中の水酸基に対する、キシリレンジイソシアネート中のイソシアネート基の比(NCO/OH)が50%となるように配合し、ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物1を調製した。
Example 1
As a hydroxyl group-containing resin, a polyvinyl acetal resin obtained by reacting polyvinyl alcohol and acetaldehyde (“ESREC KS-10”, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., repeating unit containing a hydroxyl group: 25 mol%, degree of acetalization: 75 mol%, Weight average molecular weight: 17,000, expressed as “PVAC1” in Table 1 below) is dissolved in a mixed solvent (volume ratio = 1/1) consisting of toluene and ethyl acetate, and then a fragrance is used as a crosslinking agent. Xylylene diisocyanate (XDI), which is an aliphatic isocyanate-based cross-linking agent (“TD-75”, manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., indicated as cross-linking agent “A” in Table 1 below) is used for the hydroxyl group in the polyvinyl acetal resin. The ratio of isocyanate groups in xylylene diisocyanate (NCO / OH) is 50%. The composition for forming an intermediate layer 1 was prepared gas barrier film.

次いで、フィルム基材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム(「PET50A−4100」、東洋紡社製、厚さ50μm、以下「PET」という。)の易接着面に、ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物1を、乾燥後の厚みが1μmとなるようにバーコーターで塗布し、120℃で2分間乾燥後、40℃で7日間放置して、基材上にガスバリアフィルム用中間層を形成した(工程1)。中間層の厚みは、1μmであった。
得られた中間層上に、ケイ素系高分子化合物としてペルヒドロポリシラザンを主成分とするコーティング剤(「アクアミカNL110−20」、クラリアントジャパン社製)をスピンコートで、乾燥後の厚みが150nmとなるように塗布し、120℃で2分間加熱してケイ素系高分子化合物を含有する層を形成した(工程2)。
次いで、プラズマイオン注入装置を用いて、ケイ素系高分子化合物を含有する層の表面に、アルゴン(Ar)をプラズマイオン注入してガスバリア層を形成し、ガスバリアフィルム1を作製した(工程3)。形成されたガスバリア層の厚みは、150nmであった。
Next, on the easy-adhesion surface of a polyethylene terephthalate film (“PET50A-4100”, manufactured by Toyobo Co., Ltd., thickness 50 μm, hereinafter referred to as “PET”) as a film base, It was coated with a bar coater so that the thickness after drying was 1 μm, dried at 120 ° C. for 2 minutes, and then allowed to stand at 40 ° C. for 7 days to form a gas barrier film intermediate layer on the substrate (Step 1). The thickness of the intermediate layer was 1 μm.
On the obtained intermediate layer, a coating agent (“Aquamica NL110-20”, manufactured by Clariant Japan Co., Ltd.) mainly composed of perhydropolysilazane as a silicon-based polymer compound is spin-coated, and the thickness after drying becomes 150 nm. And heated at 120 ° C. for 2 minutes to form a layer containing a silicon polymer compound (step 2).
Next, using a plasma ion implantation apparatus, argon (Ar) was plasma ion implanted on the surface of the layer containing the silicon-based polymer compound to form a gas barrier layer, thereby producing a gas barrier film 1 (step 3). The thickness of the formed gas barrier layer was 150 nm.

プラズマイオン注入の条件を以下に示す。
・ガス流量:100sccm
・Duty比:0.5%
・繰り返し周波数:1000Hz
・印加電圧:−10kV
・RF電源:周波数 13.56MHz、印加電力 1000W
・チャンバー内圧:0.2Pa
・パルス幅:5μsec
・処理時間(イオン注入時間):5分間
・搬送速度:0.2m/min
The conditions for plasma ion implantation are shown below.
・ Gas flow rate: 100sccm
・ Duty ratio: 0.5%
・ Repetition frequency: 1000Hz
-Applied voltage: -10 kV
-RF power supply: frequency 13.56 MHz, applied power 1000 W
-Chamber internal pressure: 0.2 Pa
・ Pulse width: 5μsec
・ Processing time (ion implantation time): 5 minutes ・ Conveying speed: 0.2 m / min

(実施例2〜6)
実施例1において、架橋剤Aの添加量を下記第1表に示したものとする以外は、実施例1と同様にしてガスバリアフィルム用中間層形成用組成物2〜6を調整し、ガスバリアフィルム2〜6を得た。
(Examples 2 to 6)
In Example 1, except that the addition amount of the crosslinking agent A is as shown in Table 1 below, the gas barrier film intermediate layer forming compositions 2 to 6 were prepared in the same manner as in Example 1, and the gas barrier film was prepared. 2-6 were obtained.

(実施例7)
実施例5において、水酸基含有樹脂として、ポリビニルアルコールと、アセトアルデヒドを反応させて得られるポリビニルアセタール系樹脂(「エスレックKS−3」、積水化学工業社製、水酸基を含む繰り返し単位:25mol%、アセタール化度:75mol%、重量平均分子量:108,000、下記第1表中「PVAC2」と表示する。)に変更した以外は、実施例5と同様にして、ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物7を調製し、次いでガスバリアフィルム7を作製した。
(Example 7)
In Example 5, as a hydroxyl group-containing resin, a polyvinyl acetal resin obtained by reacting polyvinyl alcohol and acetaldehyde (“ESREC KS-3”, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., hydroxyl group-containing repeating unit: 25 mol%, acetalization) The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film is the same as in Example 5, except that the degree is 75 mol%, the weight average molecular weight is 108,000, and is expressed as “PVAC2” in Table 1 below. Then, a gas barrier film 7 was produced.

(実施例8)
実施例5において、水酸基含有樹脂として、ポリビニルアルコールと、アセトアルデヒドを反応させて得られるポリビニルアセタール系樹脂(「エスレックBX−1」、積水化学工業社製、水酸基を含む繰り返し単位:33mol%、アセタール化度:67mol%、重量平均分子量:100,000、下記第1表中「PVAC3」と表示する。)に変更した以外は、実施例5と同様にして、ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物8を調整し、次いでガスバリアフィルム8を作製した。
(Example 8)
In Example 5, as a hydroxyl group-containing resin, a polyvinyl acetal resin obtained by reacting polyvinyl alcohol and acetaldehyde (“ESREC BX-1”, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., hydroxyl group-containing repeating unit: 33 mol%, acetalization) Degree: 67 mol%, weight average molecular weight: 100,000, indicated as “PVAC3” in Table 1 below) Then, a gas barrier film 8 was produced.

(実施例9)
実施例3において、架橋剤を、架橋剤Aからキシリレンジイソシアネート(三井化学ポリウレタン社製、下記第1表中、架橋剤「B」と表示する。)に変更した以外は、実施例3と同様にして、ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物9を調製し、次いでガスバリアフィルム9を作製した。
Example 9
In Example 3, the cross-linking agent was changed from cross-linking agent A to xylylene diisocyanate (made by Mitsui Chemicals Polyurethanes Co., Ltd., indicated as cross-linking agent “B” in Table 1 below). Thus, a gas barrier film intermediate layer forming composition 9 was prepared, and then a gas barrier film 9 was produced.

(実施例10)
実施例3において、フィルム基材をポリカーボネートフィルム(「ピュアエース」、帝人化成社製、下記第1表中「PC」と表示する。)に変更した以外は、実施例3と同様にして、ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物10を調製し、次いでガスバリアフィルム10を作製した。
(Example 10)
In Example 3, the gas barrier was changed in the same manner as in Example 3 except that the film base material was changed to a polycarbonate film (“Pure Ace”, manufactured by Teijin Chemicals Ltd., indicated as “PC” in Table 1 below). A film intermediate layer forming composition 10 was prepared, and then a gas barrier film 10 was prepared.

(比較例1)
架橋剤を使用せず、水酸基含有樹脂としてポリビニルアルコール樹脂(「ゴーセノールGL−03」、日本合成化学工業社製、水酸基を含む繰り返し単位:86.5〜89.0mol%、下記第1表中「PVA」と表示する。)をガスバリアフィルム用中間層形成用組成物として用いた以外は、実施例10と同様にして、ガスバリアフィルム1rを作製した。
(Comparative Example 1)
Without using a cross-linking agent, a polyvinyl alcohol resin (“GOHSENOL GL-03”, manufactured by Nippon Gosei Kagaku Kogyo Co., Ltd., a hydroxyl group-containing repeating unit: 86.5 to 89.0 mol%, as shown in Table 1 below, without using a crosslinking agent. A gas barrier film 1r was produced in the same manner as in Example 10, except that PVA was used as a composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film.

(比較例2)
ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物として、ウレタン系樹脂(「バイロンUR 1350」、東洋紡社製、固形分重量比8%、水酸基を含有しないポリウレタンアクリラート系UV硬化型樹脂化合物を主成分とする樹脂を、メチルエチルケトン/トルエン溶媒(重量比:65/35)に溶解した溶液)を使用し、実施例1と同様に、フィルム基材としてのPETの易接着面に、乾燥後の厚みが1μmとなるようにバーコートで塗布し、120℃で2分間乾燥後、UV照射ラインを用いて、UV照射(高圧水銀灯、ライン速度20m/分、積算光量100mJ/cm)を行い、中間層を形成した。次いで、実施例1と同様にして、ガスバリアフィルム2rを作製した。
(Comparative Example 2)
As a composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film, a urethane resin (“Byron UR 1350”, manufactured by Toyobo Co., Ltd., a solid content weight ratio of 8%, a polyurethane acrylate UV curable resin compound containing no hydroxyl group as a main component is used. Using a solution in which the resin was dissolved in methyl ethyl ketone / toluene solvent (weight ratio: 65/35), the thickness after drying was 1 μm on the easy-adhesion surface of PET as a film substrate in the same manner as in Example 1. After coating with a bar coat and drying at 120 ° C. for 2 minutes, UV irradiation (high pressure mercury lamp, line speed 20 m / min, integrated light quantity 100 mJ / cm 2 ) is performed using a UV irradiation line to form an intermediate layer did. Next, a gas barrier film 2r was produced in the same manner as in Example 1.

(比較例3)
実施例1において、架橋剤を添加しないこと以外は、実施例1と同様にして、ガスバリアフィルム用中間層形成用組成物を調製し、次いでガスバリアフィルム3rを作製した。
(Comparative Example 3)
In Example 1, a composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film was prepared in the same manner as in Example 1 except that no crosslinking agent was added, and then a gas barrier film 3r was produced.

(比較例4)
実施例1において、基材上に、中間層形成用組成物による中間層を形成せずに、直接、ケイ素系高分子化合物としてペルヒドロポリシラザンを主成分とするコーティング剤を塗布してガスバリア層を形成する他は、実施例1と同様にして、ガスバリアフィルム4rを得た。
(Comparative Example 4)
In Example 1, a gas barrier layer was formed by directly applying a coating agent mainly composed of perhydropolysilazane as a silicon-based polymer compound on the base material without forming an intermediate layer by the intermediate layer forming composition. A gas barrier film 4r was obtained in the same manner as in Example 1 except that it was formed.

上記実施例及び比較例で得られたガスバリアフィルム1〜10及び1r〜4rにつき、下記に示す方法により、水蒸気透過率の測定、層間密着性評価試験、及び可視光線透過率の測定を行った。その結果を下記第1表に示す。   About the gas barrier films 1-10 and 1r-4r obtained by the said Example and comparative example, the measurement of the water-vapor-permeation rate, the interlayer adhesive evaluation test, and the measurement of visible light transmittance were performed by the method shown below. The results are shown in Table 1 below.

(水蒸気透過率の測定)
40℃、相対湿度90%の条件下で水蒸気透過率測定装置(「PERMATRAN−W3/33」、mocon社製)を用いて水蒸気透過率を測定した。
(Measurement of water vapor transmission rate)
The water vapor transmission rate was measured using a water vapor transmission rate measuring device (“PERMATRAN-W3 / 33”, manufactured by mocon) under the conditions of 40 ° C. and relative humidity 90%.

(光学特性の評価)
高温湿熱条件(60℃、湿度90%)下に150時間載置する前後での、ガスバリアフィルムの可視光線透過率をJIS K 7631−1に準じて、「NDH2000」(日本電色工業社製)を用いて測定した。
(Evaluation of optical properties)
According to JIS K 7631-1, “NDH2000” (manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.) is used as the visible light transmittance of the gas barrier film before and after being placed for 150 hours under high-temperature and humid heat conditions (60 ° C., humidity 90%). It measured using.

(層間密着性評価試験)
高温湿熱条件(60℃、湿度90%)下に150時間載置した後、碁盤目試験(JIS K−5400(1990年))に従って膜の剥がれを観測した。なお、100マスを観察し、90マス以上の剥がれが見られなかったものを、「良好」と評価し、それ以外を「不良」と評価した。
(Interlayer adhesion evaluation test)
After placing for 150 hours under high-temperature and humid-heat conditions (60 ° C., humidity 90%), peeling of the film was observed according to a cross-cut test (JIS K-5400 (1990)). In addition, 100 squares were observed, and those in which peeling of 90 squares or more was not observed were evaluated as “good”, and the others were evaluated as “bad”.

Figure 2013119567
Figure 2013119567

第1表から、実施例1〜10の本発明のガスバリアフィルムは、ガスバリア性、層間密着性及び透明性に優れるものであることがわかる。
中間層に架橋剤を含まない比較例1,3のガスバリアフィルム、中間層に水酸基含有樹脂を含まない比較例2のガスバリアフィルムは、層間密着性に劣り、さらに、比較例2のガスバリアフィルムは、透明性に劣っていた。
中間層を用いない比較例4のガスバリアフィルムは、層間密着性、透明性ともに劣るものであった。
From Table 1, it can be seen that the gas barrier films of the present invention of Examples 1 to 10 are excellent in gas barrier properties, interlayer adhesion and transparency.
The gas barrier film of Comparative Examples 1 and 3 that does not contain a crosslinking agent in the intermediate layer, the gas barrier film of Comparative Example 2 that does not contain a hydroxyl group-containing resin in the intermediate layer is inferior in interlayer adhesion, and the gas barrier film of Comparative Example 2 is It was inferior in transparency.
The gas barrier film of Comparative Example 4 that did not use an intermediate layer was inferior in both interlayer adhesion and transparency.

1・・・フィルム基材
2・・・中間層
3・・・ケイ素系高分子化合物を含む層
4・・・ガスバリア層
3a・・・イオン注入層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Film base material 2 ... Intermediate | middle layer 3 ... Layer 4 containing a silicon-type polymer compound ... Gas barrier layer 3a ... Ion implantation layer

Claims (10)

水酸基含有樹脂及び架橋剤を含有するガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。   A composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film, which comprises a hydroxyl group-containing resin and a crosslinking agent. 前記水酸基含有樹脂が、ポリビニルアセタール系樹脂であることを特徴とする請求項1に記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。   The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to claim 1, wherein the hydroxyl group-containing resin is a polyvinyl acetal resin. 前記ポリビニルアセタール系樹脂のアセタール化度が、50mol%以上であることを特徴とする請求項2に記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。   The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to claim 2, wherein the degree of acetalization of the polyvinyl acetal resin is 50 mol% or more. 前記ポリビニルアセタール系樹脂が、ポリビニルアルコールと、アセトアルデヒド又はブチルアルデヒドを反応させて得られるものであることを特徴とする請求項2又は3に記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。   The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to claim 2 or 3, wherein the polyvinyl acetal resin is obtained by reacting polyvinyl alcohol with acetaldehyde or butyraldehyde. 前記架橋剤が、イソシアネート系架橋剤であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物。   The composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to any one of claims 1 to 4, wherein the crosslinking agent is an isocyanate-based crosslinking agent. フィルム基材、請求項1〜5のいずれかに記載のガスバリアフィルム用中間層形成用組成物から形成された中間層、及び該中間層上に形成されたガスバリア層を少なくとも有するガスバリアフィルム。   A gas barrier film comprising at least a film substrate, an intermediate layer formed from the composition for forming an intermediate layer for a gas barrier film according to any one of claims 1 to 5, and a gas barrier layer formed on the intermediate layer. 前記ガスバリア層が、ケイ素系高分子化合物を含む層に、イオンが注入されて得られる層であることを特徴とする請求項6に記載のガスバリアフィルム。   The gas barrier film according to claim 6, wherein the gas barrier layer is a layer obtained by implanting ions into a layer containing a silicon-based polymer compound. 前記ケイ素系高分子化合物が、ポリシラザン化合物であることを特徴とする請求項7に記載のガスバリアフィルム。   The gas barrier film according to claim 7, wherein the silicon-based polymer compound is a polysilazane compound. フィルム基材、該基材上に形成された中間層、及び該中間層上に形成されたガスバリア層を有するガスバリアフィルムの製造方法であって、下記工程を有することを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。
(工程1)フィルム基材上に、水酸基含有樹脂及び架橋剤を含有するガスバリアフィルム用中間層形成用組成物を塗工し、得られた塗膜を乾燥することにより中間層を形成する工程
(工程2)得られた中間層上に、ケイ素系高分子化合物を含む塗布液を塗工し、得られた塗膜を乾燥することによりケイ素系高分子化合物を含有する層を形成する工程
(工程3)得られたケイ素系高分子化合物を含有する層に、イオンを注入することにより、ガスバリア層を形成する工程
A method for producing a gas barrier film comprising a film substrate, an intermediate layer formed on the substrate, and a gas barrier layer formed on the intermediate layer, the method comprising: Method.
(Step 1) A step of applying an intermediate layer forming composition for a gas barrier film containing a hydroxyl group-containing resin and a crosslinking agent on a film substrate, and forming the intermediate layer by drying the resulting coating film ( Step 2) A step of forming a layer containing a silicon-based polymer compound by coating a coating liquid containing a silicon-based polymer compound on the obtained intermediate layer and drying the obtained coating film (step) 3) Step of forming a gas barrier layer by implanting ions into the layer containing the obtained silicon-based polymer compound
請求項6〜8のいずれかに記載のガスバリアフィルムを備える電子部材又は光学部材。   An electronic member or an optical member comprising the gas barrier film according to claim 6.
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