JPH10156793A - Ｘ線イメージインテンシファイアの軸ずれ補正装置及びそれを備えたプリント基板穴開け装置 - Google Patents
Ｘ線イメージインテンシファイアの軸ずれ補正装置及びそれを備えたプリント基板穴開け装置Info
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- JPH10156793A JPH10156793A JP31660796A JP31660796A JPH10156793A JP H10156793 A JPH10156793 A JP H10156793A JP 31660796 A JP31660796 A JP 31660796A JP 31660796 A JP31660796 A JP 31660796A JP H10156793 A JPH10156793 A JP H10156793A
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 周囲環境の変化に伴うＸ線イメージインテン
シファイアの軸ずれを補正するための軸ずれ補正装置を
提供する。 【解決手段】被計測対象に向けられるＸ線イメージイン
テンシファイア４のＸ線入射窓２６の所定位置に、Ｘ線
の透過を抑制あるいは遮断する校正用基準マークＭ１〜
Ｍ４が設けられている。Ｘ線イメージインテンシファイ
ア４の計測にて得られる校正用基準マークＭ１〜Ｍ４の
像の重心位置を画像処理手段にて求め、この重心位置を
被計測対象を計測するための基準位置とする。
シファイアの軸ずれを補正するための軸ずれ補正装置を
提供する。 【解決手段】被計測対象に向けられるＸ線イメージイン
テンシファイア４のＸ線入射窓２６の所定位置に、Ｘ線
の透過を抑制あるいは遮断する校正用基準マークＭ１〜
Ｍ４が設けられている。Ｘ線イメージインテンシファイ
ア４の計測にて得られる校正用基準マークＭ１〜Ｍ４の
像の重心位置を画像処理手段にて求め、この重心位置を
被計測対象を計測するための基準位置とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの入力画像と出力画像との軸ずれを補正
するための軸ずれ補正装置と、それを用いたプリント基
板穴開け装置に関するものである。
テンシファイアの入力画像と出力画像との軸ずれを補正
するための軸ずれ補正装置と、それを用いたプリント基
板穴開け装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線イメージインテンシファイアは、Ｘ
線を光に変換する蛍光面とそれに密着した感光性の電子
放出器と電子増倍器及び蛍光板を備えた電子管から成
り、電子放出器に被写体からの光像（入力画像）が入射
すると光電子を放出し、この光電子を電子増倍器で電子
増倍して蛍光板に照射することにより視認可能な被写体
画像（出力画像）を出力する。このＸ線イメージインテ
ンシファイアは、微弱な被写体Ｘ線像を高増倍率で増幅
する機能を有することから、医療用の人体の透視、工業
用の非破壊検査等に用いられている。
線を光に変換する蛍光面とそれに密着した感光性の電子
放出器と電子増倍器及び蛍光板を備えた電子管から成
り、電子放出器に被写体からの光像（入力画像）が入射
すると光電子を放出し、この光電子を電子増倍器で電子
増倍して蛍光板に照射することにより視認可能な被写体
画像（出力画像）を出力する。このＸ線イメージインテ
ンシファイアは、微弱な被写体Ｘ線像を高増倍率で増幅
する機能を有することから、医療用の人体の透視、工業
用の非破壊検査等に用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このＸ線イメ
ージインテンシファイアは、周囲環境の変化、例えば温
度や磁界の変化等の影響を受けることにより、電子放出
器への被写体Ｘ線像の入射位置と蛍光板に再生された被
写体画像の出力位置がずれるという所謂軸ずれ現象が発
生し、被写体の絶対位置を高精度で計測することができ
なくなるという問題がある。
ージインテンシファイアは、周囲環境の変化、例えば温
度や磁界の変化等の影響を受けることにより、電子放出
器への被写体Ｘ線像の入射位置と蛍光板に再生された被
写体画像の出力位置がずれるという所謂軸ずれ現象が発
生し、被写体の絶対位置を高精度で計測することができ
なくなるという問題がある。
【０００４】例えば、Ｘ線イメージインテンシファイア
を用いてプリント基板の穴開け位置を計測してその計測
位置に穴開け加工を行うプリント基板穴開け装置にあっ
ては、前記軸ずれ現象が発生すると、本来の穴開け位置
と計測された穴開け位置とがずれてしまい、計測された
穴開け位置に基づいて穴開けを行うことになるため加工
精度の低下及び変動を生じるという問題がある。
を用いてプリント基板の穴開け位置を計測してその計測
位置に穴開け加工を行うプリント基板穴開け装置にあっ
ては、前記軸ずれ現象が発生すると、本来の穴開け位置
と計測された穴開け位置とがずれてしまい、計測された
穴開け位置に基づいて穴開けを行うことになるため加工
精度の低下及び変動を生じるという問題がある。
【０００５】従来、このような問題点を解決するための
一手法として、特開平５−８１０７号に開示されたもの
がある。これは、Ｘ線カメラの中心とドリルの中心との
温度ドリフトを時間経過に沿って補正している。即ち、
予め温度ドリフトを時間に沿って実測し、この実測デー
タに基づいて補正するものである。しかし、この従来の
技術は、特定の温度パターンについてのみの補正は可能
であるが、温度パターンが変化した場合には精度の良い
補正ができないという問題を有している。例えば、夏の
時期に温度ドリフトを実測してその実測データに基づい
て補正することとした場合に冬の時期になると精度の良
い補正ができなくなる。また、この従来の技術では、磁
界によるドリフトの補正はできなかった。
一手法として、特開平５−８１０７号に開示されたもの
がある。これは、Ｘ線カメラの中心とドリルの中心との
温度ドリフトを時間経過に沿って補正している。即ち、
予め温度ドリフトを時間に沿って実測し、この実測デー
タに基づいて補正するものである。しかし、この従来の
技術は、特定の温度パターンについてのみの補正は可能
であるが、温度パターンが変化した場合には精度の良い
補正ができないという問題を有している。例えば、夏の
時期に温度ドリフトを実測してその実測データに基づい
て補正することとした場合に冬の時期になると精度の良
い補正ができなくなる。また、この従来の技術では、磁
界によるドリフトの補正はできなかった。
【０００６】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たものであり、Ｘ線イメージインテンシファイアにおけ
る入力画像と出力画像との軸ずれを補正するための軸ず
れ補正装置と、その軸ずれ補正装置を備えることにより
高精度の穴開け加工を実現し得るプリント基板穴開け装
置を提供することを目的とする。
たものであり、Ｘ線イメージインテンシファイアにおけ
る入力画像と出力画像との軸ずれを補正するための軸ず
れ補正装置と、その軸ずれ補正装置を備えることにより
高精度の穴開け加工を実現し得るプリント基板穴開け装
置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明のＸ線イメージインテンシファイアの軸
ずれ補正装置は、Ｘ線イメージインテンシファイアのＸ
線入射端の所定位置に設けられた校正用基準マークと、
前記Ｘ線イメージインテンシファイアにて前記校正用基
準マークを計測することにより得られる前記校正用基準
マークの像の重心位置を求めてその重心位置を被計測対
象を計測するための基準位置とする画像処理手段とを備
える構成とした。
るために本発明のＸ線イメージインテンシファイアの軸
ずれ補正装置は、Ｘ線イメージインテンシファイアのＸ
線入射端の所定位置に設けられた校正用基準マークと、
前記Ｘ線イメージインテンシファイアにて前記校正用基
準マークを計測することにより得られる前記校正用基準
マークの像の重心位置を求めてその重心位置を被計測対
象を計測するための基準位置とする画像処理手段とを備
える構成とした。
【０００８】また、本発明のプリント基板穴開け装置
は、Ｘ線入射端の所定位置に校正用マークが設けられた
Ｘ線イメージインテンシファイアと、前記Ｘ線イメージ
インテンシファイアに併設された穿孔手段と、前記Ｘ線
イメージインテンシファイアと穿孔手段を一体に移動さ
せる移動手段と、前記Ｘ線イメージインテンシファイア
にて前記校正用基準マークを計測することにより得られ
る前記校正用基準マークの像の重心位置を求める画像処
理手段とを備え、前記画像処理手段により前記校正用基
準マークの像の第１の重心位置を求めて前記穿孔手段に
より校正用プリント基板の適宜の位置に穴を穿設し、前
記Ｘ線イメージインテンシファイアにて前記穴を計測す
ることにより得られる前記穴の像を前記第１の重心位置
に合致させるように前記移動手段にて前記Ｘ線イメージ
インテンシファイアと穿孔手段を移動させたときの移動
距離を前記Ｘ線イメージインテンシファイアと穿孔手段
とのオフセット距離とし、被加工対象のプリント基板に
予め設けられている基準穴開けマークに合致する穴を穿
設する際に、前記画像処理手段により前記校正用基準マ
ークの像の第２の重心位置を求めて、前記Ｘ線イメージ
インテンシファイアにて前記基準穴開けマークを計測す
ることにより得られる前記基準穴開けマークの像を前記
第２の重心位置に合致させるように前記移動手段にて前
記Ｘ線イメージインテンシファイアと穿孔手段を移動さ
せ、更に前記オフセット距離だけ前記移動手段を移動制
御して前記穿孔手段にてプリント基板に穴を穿設させる
こととした。
は、Ｘ線入射端の所定位置に校正用マークが設けられた
Ｘ線イメージインテンシファイアと、前記Ｘ線イメージ
インテンシファイアに併設された穿孔手段と、前記Ｘ線
イメージインテンシファイアと穿孔手段を一体に移動さ
せる移動手段と、前記Ｘ線イメージインテンシファイア
にて前記校正用基準マークを計測することにより得られ
る前記校正用基準マークの像の重心位置を求める画像処
理手段とを備え、前記画像処理手段により前記校正用基
準マークの像の第１の重心位置を求めて前記穿孔手段に
より校正用プリント基板の適宜の位置に穴を穿設し、前
記Ｘ線イメージインテンシファイアにて前記穴を計測す
ることにより得られる前記穴の像を前記第１の重心位置
に合致させるように前記移動手段にて前記Ｘ線イメージ
インテンシファイアと穿孔手段を移動させたときの移動
距離を前記Ｘ線イメージインテンシファイアと穿孔手段
とのオフセット距離とし、被加工対象のプリント基板に
予め設けられている基準穴開けマークに合致する穴を穿
設する際に、前記画像処理手段により前記校正用基準マ
ークの像の第２の重心位置を求めて、前記Ｘ線イメージ
インテンシファイアにて前記基準穴開けマークを計測す
ることにより得られる前記基準穴開けマークの像を前記
第２の重心位置に合致させるように前記移動手段にて前
記Ｘ線イメージインテンシファイアと穿孔手段を移動さ
せ、更に前記オフセット距離だけ前記移動手段を移動制
御して前記穿孔手段にてプリント基板に穴を穿設させる
こととした。
【０００９】
【実施の形態】本発明の一実施の形態を図面と共に説明
する。尚、この実施の形態は、Ｘ線イメージインテンシ
ファイアの軸ずれ補正装置を備えたプリント基板穴開け
装置に関するものである。
する。尚、この実施の形態は、Ｘ線イメージインテンシ
ファイアの軸ずれ補正装置を備えたプリント基板穴開け
装置に関するものである。
【００１０】図１はこのプリント基板穴開け装置の構成
を示すブロック図であり、同図において、Ｘ線源２のＸ
線出射端に対向してＸ線イメージインテンシファイア４
が配置され、Ｘ線イメージインテンシファイア４内に備
えられている蛍光板（図示せず）に対向してビデオカメ
ラ６が固定されている。更に、Ｘ線イメージインテンシ
ファイア４の近傍には、載置台８に載せられたプリント
基板１０に穴を穿設するためのドリル歯１２を備える穿
孔装置１４が配置されている。これらＸ線源２とＸ線イ
メージインテンシファイア４とビデオカメラ６及び穿孔
装置１４は、移動手段であるＸＹステージ１６に固定さ
れ、このＸＹステージ１６がＸＹ座標に沿って水平移動
することにより、Ｘ線イメージインテンシファイア４に
よるプリント基板１０の計測位置及び穿孔装置１６によ
るプリント基板１０の穿設位置を調節することができる
構成となっている。
を示すブロック図であり、同図において、Ｘ線源２のＸ
線出射端に対向してＸ線イメージインテンシファイア４
が配置され、Ｘ線イメージインテンシファイア４内に備
えられている蛍光板（図示せず）に対向してビデオカメ
ラ６が固定されている。更に、Ｘ線イメージインテンシ
ファイア４の近傍には、載置台８に載せられたプリント
基板１０に穴を穿設するためのドリル歯１２を備える穿
孔装置１４が配置されている。これらＸ線源２とＸ線イ
メージインテンシファイア４とビデオカメラ６及び穿孔
装置１４は、移動手段であるＸＹステージ１６に固定さ
れ、このＸＹステージ１６がＸＹ座標に沿って水平移動
することにより、Ｘ線イメージインテンシファイア４に
よるプリント基板１０の計測位置及び穿孔装置１６によ
るプリント基板１０の穿設位置を調節することができる
構成となっている。
【００１１】更に、マイクロコンピュータシステムから
成る画像処理部１８とＸＹステージ駆動部２０と操作部
２２及び表示部２４が備えられている。画像処理部１８
は、ビデオカメラ６から出力される画像信号を所定プロ
ブラムに従って画像処理することにより、後述するＸ線
イメージインテンシファイア４の軸ずれ補正のための処
理を行う。ＸＹステージ駆動部２０は、画像処理部１８
からの指令に従ってＸＹステージ１６を移動させること
により、プリント基板１０のＸ線イメージインテンシフ
ァイア４による計測位置を移動させたり、プリント基板
１０の穿孔装置１４による穿設位置を移動させる等の駆
動制御を行う。操作部２２はユーザーが画像処理部２２
に対して所望の指示を入力するためのキーボード等を備
え、表示部２４は画像処理部１８の画像処理結果を表示
したりビデオカメラ６から転送されて来る画像信号に基
づいて再生画像を表示するためのディスプレイ等を備え
ている。
成る画像処理部１８とＸＹステージ駆動部２０と操作部
２２及び表示部２４が備えられている。画像処理部１８
は、ビデオカメラ６から出力される画像信号を所定プロ
ブラムに従って画像処理することにより、後述するＸ線
イメージインテンシファイア４の軸ずれ補正のための処
理を行う。ＸＹステージ駆動部２０は、画像処理部１８
からの指令に従ってＸＹステージ１６を移動させること
により、プリント基板１０のＸ線イメージインテンシフ
ァイア４による計測位置を移動させたり、プリント基板
１０の穿孔装置１４による穿設位置を移動させる等の駆
動制御を行う。操作部２２はユーザーが画像処理部２２
に対して所望の指示を入力するためのキーボード等を備
え、表示部２４は画像処理部１８の画像処理結果を表示
したりビデオカメラ６から転送されて来る画像信号に基
づいて再生画像を表示するためのディスプレイ等を備え
ている。
【００１２】図２に示す如く、Ｘ線イメージインテンシ
ファイア４のＸ線入射面、即ち、Ｘ線イメージインテン
シファイア４内に設けられている、Ｘ線を光に変換する
蛍光面とそれに密着した感光性の電子放出面の前方に位
置するＸ線入射窓２６には、その中心Ｑから等間隔で配
置された複数個の校正用基準マークＭ１〜Ｍ４が固着さ
れ、これらの校正用基準マークＭ１〜Ｍ４は、鉛やタン
グステン等のＸ線透過率の低い材料が用いられている。
尚、この実施の形態では４個のマークＭ１〜Ｍ４を設け
る場合を示しているが、４個に限定されるものではな
く、Ｘ線入射窓２６の中心Ｑに対して点対称に位置する
複数対のマークを設けるようにしてもよいし、中心Ｑを
基準にしなくとも予め決められた位置に設けるようにし
てもよい。また、ドリル歯１２の軸中心が、この中心Ｑ
に対してＸ座標方向にＸOF、Ｙ座標方向にＹOFの機構的
なオフセットをもって位置している。
ファイア４のＸ線入射面、即ち、Ｘ線イメージインテン
シファイア４内に設けられている、Ｘ線を光に変換する
蛍光面とそれに密着した感光性の電子放出面の前方に位
置するＸ線入射窓２６には、その中心Ｑから等間隔で配
置された複数個の校正用基準マークＭ１〜Ｍ４が固着さ
れ、これらの校正用基準マークＭ１〜Ｍ４は、鉛やタン
グステン等のＸ線透過率の低い材料が用いられている。
尚、この実施の形態では４個のマークＭ１〜Ｍ４を設け
る場合を示しているが、４個に限定されるものではな
く、Ｘ線入射窓２６の中心Ｑに対して点対称に位置する
複数対のマークを設けるようにしてもよいし、中心Ｑを
基準にしなくとも予め決められた位置に設けるようにし
てもよい。また、ドリル歯１２の軸中心が、この中心Ｑ
に対してＸ座標方向にＸOF、Ｙ座標方向にＹOFの機構的
なオフセットをもって位置している。
【００１３】次に、かかる構成のプリント基板穴開け装
置におけるＸ線イメージインテンシファイア４の軸ずれ
補正動作を図３のフローチャートと共に説明する。
置におけるＸ線イメージインテンシファイア４の軸ずれ
補正動作を図３のフローチャートと共に説明する。
【００１４】ステップＳ１００においてシステム電源を
投入することにより本装置を起動させた後、ステップＳ
１０２〜Ｓ１０５においてユーザーが載置台８上に校正
用プリント基板１０ａを載せ、穿孔装置１４により適宜
の部分に校正用の穴２８を開けさせ、校正用の穴の近く
にＸ線イメージインテンシファイア４を移動させる。こ
の穴開けの際に温度変化や磁気変化の影響を受けてＸ線
イメージインテンシファイア４に軸ずれを招いている場
合には、図４（ａ）に示す如く、Ｘ線イメージインテン
シファイア４の蛍光板上には、実際の校正用基準マーク
Ｍ１〜Ｍ２よりもずれた位置にそれらのマーク像Ｍ１’
〜Ｍ２’が映し出される。即ち、要部断面を示す同図
（ｂ）に示す如く、実際の校正用マークＭ１〜Ｍ４の中
心Ｑよりもずれた位置にマーク像Ｍ１’〜Ｍ２’が映し
出され、ビデオカメラ６より出力される画像信号が画像
処理部１８に転送されてフレームメモリ等に記憶され
る。
投入することにより本装置を起動させた後、ステップＳ
１０２〜Ｓ１０５においてユーザーが載置台８上に校正
用プリント基板１０ａを載せ、穿孔装置１４により適宜
の部分に校正用の穴２８を開けさせ、校正用の穴の近く
にＸ線イメージインテンシファイア４を移動させる。こ
の穴開けの際に温度変化や磁気変化の影響を受けてＸ線
イメージインテンシファイア４に軸ずれを招いている場
合には、図４（ａ）に示す如く、Ｘ線イメージインテン
シファイア４の蛍光板上には、実際の校正用基準マーク
Ｍ１〜Ｍ２よりもずれた位置にそれらのマーク像Ｍ１’
〜Ｍ２’が映し出される。即ち、要部断面を示す同図
（ｂ）に示す如く、実際の校正用マークＭ１〜Ｍ４の中
心Ｑよりもずれた位置にマーク像Ｍ１’〜Ｍ２’が映し
出され、ビデオカメラ６より出力される画像信号が画像
処理部１８に転送されてフレームメモリ等に記憶され
る。
【００１５】次に、ステップＳ１０６において、画像処
理部１８が、夫々のマーク像Ｍ１’，Ｍ２’，Ｍ３’，
Ｍ４’のｘｙ座標上における位置（ｘ01，ｙ01），（ｘ
02，ｙ02），（ｘ03，ｙ03），（ｘ04，ｙ04）を求め
る。ここで、このｘｙ座標は、ビデオカメラ６の視野範
囲内の画素配列に対応しており、前記フレームメモリに
設定されている記憶アドレスに基づいて決められてい
る。更に、ステップＳ１０８において、前記ｘｙ座標上
の位置データに基づいて次式（１−ａ）と（１−ｂ）の
演算を行うことにより、これらのマーク像Ｍ１’〜Ｍ
４’の重心位置Ｇ1の座標（ｘg1，ｙg1）を求める。
理部１８が、夫々のマーク像Ｍ１’，Ｍ２’，Ｍ３’，
Ｍ４’のｘｙ座標上における位置（ｘ01，ｙ01），（ｘ
02，ｙ02），（ｘ03，ｙ03），（ｘ04，ｙ04）を求め
る。ここで、このｘｙ座標は、ビデオカメラ６の視野範
囲内の画素配列に対応しており、前記フレームメモリに
設定されている記憶アドレスに基づいて決められてい
る。更に、ステップＳ１０８において、前記ｘｙ座標上
の位置データに基づいて次式（１−ａ）と（１−ｂ）の
演算を行うことにより、これらのマーク像Ｍ１’〜Ｍ
４’の重心位置Ｇ1の座標（ｘg1，ｙg1）を求める。
【００１６】 ｘg1＝（ｘ01＋ｘ02＋ｘ03＋ｘ04）／４ …(1-a) ｙg1＝（ｙ01＋ｙ02＋ｙ03＋ｙ04）／４ …(1-b) 次に、ステップＳ１１０において、ＸＹステージ１６を
移動させ、図５（ａ）（ｂ）に示す如く、Ｘ線イメージ
インテンシファイア４の蛍光板に映し出される校正用の
穴２８の像２８’の中心が重心位置Ｇに合致する位置で
停止させ、ステップＳ１１２において、画像処理部１８
がＸＹステージ１６のＸ方向に移動した距離ＸOF’とＹ
方向に移動した距離ＹOF’を求めて、これらの距離
ＸOF’とＹOF’をＸ線イメージインテンシファイア４と
ドリル歯１２とのオフセット距離として記憶する。
移動させ、図５（ａ）（ｂ）に示す如く、Ｘ線イメージ
インテンシファイア４の蛍光板に映し出される校正用の
穴２８の像２８’の中心が重心位置Ｇに合致する位置で
停止させ、ステップＳ１１２において、画像処理部１８
がＸＹステージ１６のＸ方向に移動した距離ＸOF’とＹ
方向に移動した距離ＹOF’を求めて、これらの距離
ＸOF’とＹOF’をＸ線イメージインテンシファイア４と
ドリル歯１２とのオフセット距離として記憶する。
【００１７】このようにステップＳ１０２〜Ｓ１１２の
前処理により、Ｘ線イメージインテンシファイア４の取
付け位置とドリル歯１２の取付け位置との間隔が予め計
測され、本来加工すべきプリント基板への穴開け処理
は、次のステップＳ１１４〜Ｓ１２４において行われ
る。
前処理により、Ｘ線イメージインテンシファイア４の取
付け位置とドリル歯１２の取付け位置との間隔が予め計
測され、本来加工すべきプリント基板への穴開け処理
は、次のステップＳ１１４〜Ｓ１２４において行われ
る。
【００１８】ステップＳ１１４において、ユーザーが加
工処理すべきプリント基板１０ｂを載置台８の適宜の位
置に載せ、そのプリント基板１０ｂに予め印刷等されて
いる穴開け位置を指標するためのマーク（以下、基準穴
開けマークという）の検出を指示し、ステップＳ１１５
において、基準穴開けマークの近くにＸ線イメージイン
テンシファイア４を移動する。
工処理すべきプリント基板１０ｂを載置台８の適宜の位
置に載せ、そのプリント基板１０ｂに予め印刷等されて
いる穴開け位置を指標するためのマーク（以下、基準穴
開けマークという）の検出を指示し、ステップＳ１１５
において、基準穴開けマークの近くにＸ線イメージイン
テンシファイア４を移動する。
【００１９】この指示に応じてステップＳ１１６では、
Ｘ線イメージインテンシファイア４及びビデオカメラ６
が再び校正用基準マークＭ１〜Ｍ４を計測し、画像処理
部１８がこの計測により得られたマーク像Ｍ１”〜Ｍ
４”の現時点での各ｘｙ座標上の位置（ｘ11，ｙ11），
（ｘ12，ｙ12），（ｘ13，ｙ13），（ｘ14，ｙ14）を求
め、更にステップＳ１１８において、これらのｘｙ座標
上の位置データに基づいて次式（２−ａ），（２−ｂ）
の演算を行うことにより、マーク像Ｍ１”〜Ｍ４”の重
心位置Ｇ2の座標（ｘg2，ｙg2）を求める。
Ｘ線イメージインテンシファイア４及びビデオカメラ６
が再び校正用基準マークＭ１〜Ｍ４を計測し、画像処理
部１８がこの計測により得られたマーク像Ｍ１”〜Ｍ
４”の現時点での各ｘｙ座標上の位置（ｘ11，ｙ11），
（ｘ12，ｙ12），（ｘ13，ｙ13），（ｘ14，ｙ14）を求
め、更にステップＳ１１８において、これらのｘｙ座標
上の位置データに基づいて次式（２−ａ），（２−ｂ）
の演算を行うことにより、マーク像Ｍ１”〜Ｍ４”の重
心位置Ｇ2の座標（ｘg2，ｙg2）を求める。
【００２０】 ｘg2＝（ｘ11＋ｘ12＋ｘ13＋ｘ14）／４ …(2-a) ｙg2＝（ｙ11＋ｙ12＋ｙ13＋ｙ14）／４ …(2-b) このように再び校正用基準マークＭ１〜Ｍ４を計測する
のは、前記オフセット距離ＸOF’とＹOF’を求めた時と
現時点とでは、Ｘ線イメージインテンシファイア４の周
囲温度や磁界が変化する場合があるので、穴開け加工を
行う直前でＸ線イメージインテンシファイア４の現時点
での軸ずれ状態におけるマーク像Ｍ１”〜Ｍ４”の重心
位置Ｇ2を確認するためである。
のは、前記オフセット距離ＸOF’とＹOF’を求めた時と
現時点とでは、Ｘ線イメージインテンシファイア４の周
囲温度や磁界が変化する場合があるので、穴開け加工を
行う直前でＸ線イメージインテンシファイア４の現時点
での軸ずれ状態におけるマーク像Ｍ１”〜Ｍ４”の重心
位置Ｇ2を確認するためである。
【００２１】次に、ステップＳ１２０において、図６
（ａ）（ｂ）に示す如く、Ｘ線イメージインテンシファ
イア４にて計測される基準穴開けマークＣのマーク像
Ｃ’を重心位置Ｇ2に合致させるように、ＸＹステージ
１６を駆動制御する。
（ａ）（ｂ）に示す如く、Ｘ線イメージインテンシファ
イア４にて計測される基準穴開けマークＣのマーク像
Ｃ’を重心位置Ｇ2に合致させるように、ＸＹステージ
１６を駆動制御する。
【００２２】次に、ステップＳ１２２において、図７
（ａ）（ｂ）に示す如く、ＸＹステージ１６を前記オフ
セット距離ＸOF’，ＹOF’だけ移動させる。この移動処
理により、ドリル歯１２の軸中心が基準穴開けマークＣ
の位置と合致することとなる。
（ａ）（ｂ）に示す如く、ＸＹステージ１６を前記オフ
セット距離ＸOF’，ＹOF’だけ移動させる。この移動処
理により、ドリル歯１２の軸中心が基準穴開けマークＣ
の位置と合致することとなる。
【００２３】そして、ステップＳ１２４において、穿孔
装置１４を動作させ、ドリル歯１２にて基準穴開けマー
クＣの位置に所望の穴を穿設する。
装置１４を動作させ、ドリル歯１２にて基準穴開けマー
クＣの位置に所望の穴を穿設する。
【００２４】このように、この実施の形態によれば、Ｘ
線イメージインテンシファイア４のＸ線入射窓２６に予
め校正用基準マークＭ１〜Ｍ４を設けておき、このＸ線
イメージインテンシファイア４の蛍光板に映し出される
マーク像の重心位置Ｇ2を求めて、その重心位置Ｇ2に基
準穴開けマークＣ等の目標物の像Ｃ’を合致させるよう
にしたので、Ｘ線イメージインテンシファイア４が温度
変化や磁界変化等の周囲環境の変化の影響を受けて軸ず
れ現象を招いても、その軸ずれを補正したｘｙ座標を基
準にして目標物の位置を計測することができ、ひいては
目標物の実際の位置を正確に計測することができるとい
う優れた効果を発揮する。
線イメージインテンシファイア４のＸ線入射窓２６に予
め校正用基準マークＭ１〜Ｍ４を設けておき、このＸ線
イメージインテンシファイア４の蛍光板に映し出される
マーク像の重心位置Ｇ2を求めて、その重心位置Ｇ2に基
準穴開けマークＣ等の目標物の像Ｃ’を合致させるよう
にしたので、Ｘ線イメージインテンシファイア４が温度
変化や磁界変化等の周囲環境の変化の影響を受けて軸ず
れ現象を招いても、その軸ずれを補正したｘｙ座標を基
準にして目標物の位置を計測することができ、ひいては
目標物の実際の位置を正確に計測することができるとい
う優れた効果を発揮する。
【００２５】また、計測手段であるＸ線イメージインテ
ンシファイア４と作業手段である穿孔装置１４の位置が
不可避的に異なっている場合であっても、前記ステップ
Ｓ１０２〜Ｓ１１２の処理において、Ｘ線イメージイン
テンシファイア４の軸ずれを補正した状態で両者のオフ
セット距離を求めるので、高精度でオフセット距離を求
めることができ、極めて精度の高い穴開け加工を実現す
ることができる。
ンシファイア４と作業手段である穿孔装置１４の位置が
不可避的に異なっている場合であっても、前記ステップ
Ｓ１０２〜Ｓ１１２の処理において、Ｘ線イメージイン
テンシファイア４の軸ずれを補正した状態で両者のオフ
セット距離を求めるので、高精度でオフセット距離を求
めることができ、極めて精度の高い穴開け加工を実現す
ることができる。
【００２６】特に、この実施の形態のように、プリント
基板を静止させておき、Ｘ線イメージインテンシファイ
アの方を移動させるようにしたプリント基板穴開け装置
の場合には、Ｘ線イメージインテンシファイアは移動に
伴って変化する周囲環境の影響を受け易いが、この軸ず
れ補正により周囲環境の影響を除去することができる。
基板を静止させておき、Ｘ線イメージインテンシファイ
アの方を移動させるようにしたプリント基板穴開け装置
の場合には、Ｘ線イメージインテンシファイアは移動に
伴って変化する周囲環境の影響を受け易いが、この軸ず
れ補正により周囲環境の影響を除去することができる。
【００２７】尚、この実施の形態では、プリント基板の
所定位置に穴開け加工を行うための装置について示した
が、本発明の軸ずれ補正装置はかかる装置に適用するも
のに限定されるものではなく、様々な目標物の位置検出
や計測等の分野に広く適用することができるという汎用
性を有するものである。
所定位置に穴開け加工を行うための装置について示した
が、本発明の軸ずれ補正装置はかかる装置に適用するも
のに限定されるものではなく、様々な目標物の位置検出
や計測等の分野に広く適用することができるという汎用
性を有するものである。
【００２８】図８及び図９は、この軸ずれ補正装置の効
果を実証するための実験結果を示す。尚、図８（ａ）
（ｂ）は、周囲温度Ｔaが時間変化したときの軸ずれ現
象に伴って生じた入力画像に対する出力画像のｘ座標方
向における変位量ΔＴx及びｙ座標方向における変位量
ΔＴyと、軸ずれ補正後のｘ座標方向における変位量Δ
ＴＣx及びｙ座標方向における変位量ΔＴＣyとを対比し
て示している。図９（ａ）（ｂ）は、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの位置を変えることで周囲磁界が変化し
たときの軸ずれ現象に伴って生じた入力画像に対する出
力画像のｘ座標方向における変位量ΔＭx及びｙ座標方
向における変位量ΔＭyと、軸ずれ補正後のｘ座標方向
における変位量ΔＭＣx及びｙ座標方向における変位量
ΔＭＣyとを対比して示している。
果を実証するための実験結果を示す。尚、図８（ａ）
（ｂ）は、周囲温度Ｔaが時間変化したときの軸ずれ現
象に伴って生じた入力画像に対する出力画像のｘ座標方
向における変位量ΔＴx及びｙ座標方向における変位量
ΔＴyと、軸ずれ補正後のｘ座標方向における変位量Δ
ＴＣx及びｙ座標方向における変位量ΔＴＣyとを対比し
て示している。図９（ａ）（ｂ）は、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの位置を変えることで周囲磁界が変化し
たときの軸ずれ現象に伴って生じた入力画像に対する出
力画像のｘ座標方向における変位量ΔＭx及びｙ座標方
向における変位量ΔＭyと、軸ずれ補正後のｘ座標方向
における変位量ΔＭＣx及びｙ座標方向における変位量
ΔＭＣyとを対比して示している。
【００２９】これらの実験結果から明らかな如く、軸ず
れ補正後の変動量ΔＴＣx，ΔＴＣy，ΔＭＣx，ΔＭＣy
が大幅に低減されることから、温度変動及び磁界の変動
の影響を除去することができ、入力画像に対する出力画
像の軸ずれ補正が成されることが確認された。
れ補正後の変動量ΔＴＣx，ΔＴＣy，ΔＭＣx，ΔＭＣy
が大幅に低減されることから、温度変動及び磁界の変動
の影響を除去することができ、入力画像に対する出力画
像の軸ずれ補正が成されることが確認された。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｘ
線イメージインテンシファイアのＸ線入射端に設けられ
た校正用基準マークを計測して得られるその像の重心位
置を求め、その重心位置を基準にして様々な目標物の位
置を計測するようにしたので、周囲環境の変化に伴いＸ
線イメージインテンシファイアに軸ずれ現象が招来して
も、この軸ずれを補正して目標物の位置を正確に計測す
ることができる。
線イメージインテンシファイアのＸ線入射端に設けられ
た校正用基準マークを計測して得られるその像の重心位
置を求め、その重心位置を基準にして様々な目標物の位
置を計測するようにしたので、周囲環境の変化に伴いＸ
線イメージインテンシファイアに軸ずれ現象が招来して
も、この軸ずれを補正して目標物の位置を正確に計測す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸ線イメージインテンシファイアの軸
ずれ補正装置を備えたプリント基板穴開け装置の実施の
形態を示すブロック図である。
ずれ補正装置を備えたプリント基板穴開け装置の実施の
形態を示すブロック図である。
【図２】Ｘ線イメージインテンシファイアに設けられた
校正用基準マークを説明するための説明図である。
校正用基準マークを説明するための説明図である。
【図３】プリント基板穴開け装置の動作を説明するため
のフローチャートである。
のフローチャートである。
【図４】校正用プリント基板とＸ線イメージインテンシ
ファイア及び穿孔装置の位置関係と、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの軸ずれ現象を説明するための要部平面
図及び要部断面図である。
ファイア及び穿孔装置の位置関係と、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの軸ずれ現象を説明するための要部平面
図及び要部断面図である。
【図５】校正用プリント基板とＸ線イメージインテンシ
ファイア及び穿孔装置の位置関係と、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの軸ずれ現象を更に説明するための要部
平面図及び要部断面図である。
ファイア及び穿孔装置の位置関係と、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの軸ずれ現象を更に説明するための要部
平面図及び要部断面図である。
【図６】校正用プリント基板とＸ線イメージインテンシ
ファイア及び穿孔装置の位置関係と、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの軸ずれ現象を更に説明するための要部
平面図及び要部断面図である。
ファイア及び穿孔装置の位置関係と、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの軸ずれ現象を更に説明するための要部
平面図及び要部断面図である。
【図７】校正用プリント基板とＸ線イメージインテンシ
ファイア及び穿孔装置の位置関係と、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの軸ずれ現象を更に説明するための要部
平面図及び要部断面図である。
ファイア及び穿孔装置の位置関係と、Ｘ線イメージイン
テンシファイアの軸ずれ現象を更に説明するための要部
平面図及び要部断面図である。
【図８】温度変化に対する本発明の軸ずれ補正の効果を
説明するための実験結果を示す説明図である。
説明するための実験結果を示す説明図である。
【図９】磁界変化に対する本発明の軸ずれ補正の効果を
説明するための実験結果を示す説明図である。
説明するための実験結果を示す説明図である。
２…Ｘ線源、４…Ｘ線イメージインテンシファイア、６
…ビデオカメラ、８…載置台、１０，１０ａ，１０ｂ…
プリント基板、１２…ドリル歯、１４…穿孔装置、１６
…ＸＹステージ、１８…画像処理部、２０…ＸＹステー
ジ駆動部、２２…操作部、２４…表示部、２６…Ｘ線入
射窓、Ｍ１〜Ｍ４…校正用基準マーク、Ｃ…基準穴開け
マーク。
…ビデオカメラ、８…載置台、１０，１０ａ，１０ｂ…
プリント基板、１２…ドリル歯、１４…穿孔装置、１６
…ＸＹステージ、１８…画像処理部、２０…ＸＹステー
ジ駆動部、２２…操作部、２４…表示部、２６…Ｘ線入
射窓、Ｍ１〜Ｍ４…校正用基準マーク、Ｃ…基準穴開け
マーク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｊ 31/50 Ｈ０１Ｊ 31/50 Ａ Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｑ // Ｇ０１Ｍ 11/00 Ｇ０１Ｍ 11/00 Ｔ (72)発明者 山内 成恭 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松ホ トニクス株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線イメージインテンシファイアのＸ線
入射端の所定位置に設けられた校正用基準マークと、 前記Ｘ線イメージインテンシファイアにて前記校正用基
準マークを計測することにより得られる前記校正用基準
マークの像の重心位置を求め、前記重心位置を被計測対
象を計測するための基準位置とする画像処理手段と、 を備えたことを特徴とするＸ線イメージインテンシファ
イアの軸ずれ補正装置。 - 【請求項２】 Ｘ線入射端の所定位置に校正用マークが
設けられたＸ線イメージインテンシファイアと、 前記Ｘ線イメージインテンシファイアに併設された穿孔
手段と、 前記Ｘ線イメージインテンシファイアと穿孔手段を一体
に移動させる移動手段と、 前記Ｘ線イメージインテンシファイアにて前記校正用基
準マークを計測することにより得られる前記校正用基準
マークの像の重心位置を求める画像処理手段とを備え、 前記画像処理手段により前記校正用基準マークの像の第
１の重心位置を求めて前記穿孔手段により校正用プリン
ト基板の適宜の位置に穴を穿設し、前記Ｘ線イメージイ
ンテンシファイアにて前記穴を計測することにより得ら
れる前記穴の像を前記第１の重心位置に合致させるよう
に前記移動手段にて前記Ｘ線イメージインテンシファイ
アと穿孔手段を移動させときの移動距離を前記Ｘ線イメ
ージインテンシファイアと穿孔手段とのオフセット距離
とし、 被加工対象のプリント基板に予め設けられている基準穴
開けマークに合致する穴を穿設する際に、前記画像処理
手段により前記校正用基準マークの像の第２の重心位置
を求めて、前記Ｘ線イメージインテンシファイアにて前
記基準穴開けマークを計測することにより得られる前記
基準穴開けマークの像を前記第２の重心位置に合致させ
るように前記移動手段にて前記Ｘ線イメージインテンシ
ファイアと穿孔手段を移動させ、更に前記オフセット距
離だけ前記移動手段を移動制御して前記穿孔手段にてプ
リント基板に穴を穿設させることを特徴とするプリント
基板穴開け装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31660796A JP3842353B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | Ｘ線イメージインテンシファイアの軸ずれ補正装置及びそれを備えたプリント基板穴開け装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31660796A JP3842353B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | Ｘ線イメージインテンシファイアの軸ずれ補正装置及びそれを備えたプリント基板穴開け装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10156793A true JPH10156793A (ja) | 1998-06-16 |
| JP3842353B2 JP3842353B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=18078960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31660796A Expired - Fee Related JP3842353B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | Ｘ線イメージインテンシファイアの軸ずれ補正装置及びそれを備えたプリント基板穴開け装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3842353B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008084861A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Thales | イメージインテンシファイア電子管のひずみ修正 |
| JP2012088170A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Seiko Precision Inc | Ｘ線位置計測装置、ｘ線位置計測装置の位置計測方法、及びｘ線位置計測装置の位置計測用プログラム |
| JP2014184492A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-02 | Motoronikusu:Kk | Ｘ線画像検出装置付穴あけ加工機械のｘ線カメラの変動補正装置 |
| JP2020504678A (ja) * | 2016-12-07 | 2020-02-13 | ジョン・ビーン・テクノロジーズ・コーポレイションＪｏｈｎ Ｂｅａｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 定量分配装置の較正方法 |
-
1996
- 1996-11-27 JP JP31660796A patent/JP3842353B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008084861A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Thales | イメージインテンシファイア電子管のひずみ修正 |
| JP2012088170A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Seiko Precision Inc | Ｘ線位置計測装置、ｘ線位置計測装置の位置計測方法、及びｘ線位置計測装置の位置計測用プログラム |
| CN102564360A (zh) * | 2010-10-19 | 2012-07-11 | 精工精密有限公司 | X射线位置测量装置、该装置的位置测量方法、以及该装置的位置测量用程序 |
| TWI453368B (zh) * | 2010-10-19 | 2014-09-21 | Seiko Precision Kk | X-ray position measuring device, position measuring method of X-ray position measuring device, and position measuring method of X-ray position measuring device |
| JP2014184492A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-02 | Motoronikusu:Kk | Ｘ線画像検出装置付穴あけ加工機械のｘ線カメラの変動補正装置 |
| JP2020504678A (ja) * | 2016-12-07 | 2020-02-13 | ジョン・ビーン・テクノロジーズ・コーポレイションＪｏｈｎ Ｂｅａｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 定量分配装置の較正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3842353B2 (ja) | 2006-11-08 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060713 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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