JPH10144980A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH10144980A JPH10144980A JP29618796A JP29618796A JPH10144980A JP H10144980 A JPH10144980 A JP H10144980A JP 29618796 A JP29618796 A JP 29618796A JP 29618796 A JP29618796 A JP 29618796A JP H10144980 A JPH10144980 A JP H10144980A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- chamber
- cooling water
- laser oscillator
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロッドの両端面に損傷しやすいＡＲコーティ
ングを施すことなく、出力低下を未然に防ぐことができ
るレーザ発振器を提供する。 【解決手段】 レーザ発振器１は密封され冷却水が充て
んされた励起チャンバ１ａと、励起チャンバ１ａ内に設
けられたロッド２およびランプ４とを備えている。励起
チャンバ１ａ内に、ロッド２を支持する支持体が設けら
れている。ロッド２は少なくともその両端面２ａ，２ｂ
が冷却水に接するよう配置されている。
ングを施すことなく、出力低下を未然に防ぐことができ
るレーザ発振器を提供する。 【解決手段】 レーザ発振器１は密封され冷却水が充て
んされた励起チャンバ１ａと、励起チャンバ１ａ内に設
けられたロッド２およびランプ４とを備えている。励起
チャンバ１ａ内に、ロッド２を支持する支持体が設けら
れている。ロッド２は少なくともその両端面２ａ，２ｂ
が冷却水に接するよう配置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ発振器に係
り、とりわけ製造が容易で低コストで製造することがで
きるレーザ発振器に関する。
り、とりわけ製造が容易で低コストで製造することがで
きるレーザ発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ発振器について図２により
説明する。図２に示すように、従来のレーザ発振器１は
密封され冷却水が充てんされた励起チャンバ１ａと、励
起チャンバ１ａ内に収納されたＹＡＧロッド２およびラ
ンプ４とを備えている。そして励起チャンバ１ａの内面
は、ランプ４の励起光を効率良くＹＡＧロッド２に集光
するため、楕円筒状の鏡面となっている。
説明する。図２に示すように、従来のレーザ発振器１は
密封され冷却水が充てんされた励起チャンバ１ａと、励
起チャンバ１ａ内に収納されたＹＡＧロッド２およびラ
ンプ４とを備えている。そして励起チャンバ１ａの内面
は、ランプ４の励起光を効率良くＹＡＧロッド２に集光
するため、楕円筒状の鏡面となっている。
【０００３】ロッド２の外周にはガラス管３が配設さ
れ、このガラス管３はチャンバ１ａから内方へ突出する
枠体１７により保持されている。またロッド２はその両
端部が、シール６ａを介して一対のロッドホルダ５ａ，
５ｂによって支持されており、各ロッドホルダ５ａ，５
ｂは励起チャンバ１ａを貫通して外方へ延びている。ま
た各ロッドホルダ５ａ，５ｂの励起チャンバ１ａの貫通
部分にはシール６ｂが設けられている。
れ、このガラス管３はチャンバ１ａから内方へ突出する
枠体１７により保持されている。またロッド２はその両
端部が、シール６ａを介して一対のロッドホルダ５ａ，
５ｂによって支持されており、各ロッドホルダ５ａ，５
ｂは励起チャンバ１ａを貫通して外方へ延びている。ま
た各ロッドホルダ５ａ，５ｂの励起チャンバ１ａの貫通
部分にはシール６ｂが設けられている。
【０００４】また一方のロッドホルダ５ａには、チュー
ブ１２ａを介して反射ミラー８が設けられており、この
反射ミラー８の外面８ａにはＡＲコーティング（無反射
コーティング）が施されている。また反射ミラー８の内
面８ｂには全反射コーティングが施されている。
ブ１２ａを介して反射ミラー８が設けられており、この
反射ミラー８の外面８ａにはＡＲコーティング（無反射
コーティング）が施されている。また反射ミラー８の内
面８ｂには全反射コーティングが施されている。
【０００５】さらに他方のロッドホルダ５ｂには、チュ
ーブ１２ｂを介して出力ミラー７が設けられており、こ
の出力ミラー７の外面７ａにはＡＲコーティング（無反
射コーティング）が施されている。また出力ミラー７の
内面７ｂには、部分反射コーティングが施されている。
ーブ１２ｂを介して出力ミラー７が設けられており、こ
の出力ミラー７の外面７ａにはＡＲコーティング（無反
射コーティング）が施されている。また出力ミラー７の
内面７ｂには、部分反射コーティングが施されている。
【０００６】またロッド２の両端面１１ａ，１１ｂに
も、反射率を減らすためＡＲコーティングが施されてい
る。
も、反射率を減らすためＡＲコーティングが施されてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、ロッド
２の両端部はロッドホルダ５ａ，５ｂによって支持され
ているが、ロッド２のうちロッドホルダ５ａ，５ｂ内に
収納された両端部はランプ４からの光が照射されないた
め励起されることはなく、ロッド２の有効利用を図るこ
とができない。
２の両端部はロッドホルダ５ａ，５ｂによって支持され
ているが、ロッド２のうちロッドホルダ５ａ，５ｂ内に
収納された両端部はランプ４からの光が照射されないた
め励起されることはなく、ロッド２の有効利用を図るこ
とができない。
【０００８】またロッド２の両端面１１ａ，１１ｂ、出
力ミラー７の外面７ａ、および反射ミラー８の外面８ａ
には、各々ＡＲコーティングが施されているが、このＡ
Ｒコーティングは損傷し易いため、損傷した場合にレー
ザ光の出力低下を生じさせる。
力ミラー７の外面７ａ、および反射ミラー８の外面８ａ
には、各々ＡＲコーティングが施されているが、このＡ
Ｒコーティングは損傷し易いため、損傷した場合にレー
ザ光の出力低下を生じさせる。
【０００９】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、ロッドの有効利用を図ることができ、構造
が簡単でかつレーザ光の出力低下を未然に防止すること
ができるレーザ発振器を提供することを目的とする。
ものであり、ロッドの有効利用を図ることができ、構造
が簡単でかつレーザ光の出力低下を未然に防止すること
ができるレーザ発振器を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、密封され冷却
水が充てんされた励起チャンバと、この励起チャンバ内
に設けられたロッドおよびランプとを備え、励起チャン
バ内にロッドを支持する支持体を設け、ロッドは少なく
ともその両端面が励起チャンバ内の冷却水に接するよう
配置されていることを特徴とするレーザ発振器である。
水が充てんされた励起チャンバと、この励起チャンバ内
に設けられたロッドおよびランプとを備え、励起チャン
バ内にロッドを支持する支持体を設け、ロッドは少なく
ともその両端面が励起チャンバ内の冷却水に接するよう
配置されていることを特徴とするレーザ発振器である。
【００１１】本発明によれば、ロッドの両端面が励起チ
ャンバ内の冷却水に接しているので、この両端面におけ
る屈折率差が小さくなっている。このためロッドの両端
面における冷却水との反射は少ないので、ロッドの両端
面にＡＲコーティングを施す必要はない。
ャンバ内の冷却水に接しているので、この両端面におけ
る屈折率差が小さくなっている。このためロッドの両端
面における冷却水との反射は少ないので、ロッドの両端
面にＡＲコーティングを施す必要はない。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について述べる。図１（ａ）（ｂ）は本発明に
よるレーザ発振器の一実施の形態を示す図であり、この
うち図１（ａ）はその側断面図、図１（ｂ）は図１
（ａ）の拡大図である。
施の形態について述べる。図１（ａ）（ｂ）は本発明に
よるレーザ発振器の一実施の形態を示す図であり、この
うち図１（ａ）はその側断面図、図１（ｂ）は図１
（ａ）の拡大図である。
【００１３】図１（ａ）（ｂ）に示すように、レーザ発
振器１は密封され冷却水が充てんされた励起チャンバ１
ａと、励起チャンバ１ａ内に収納されたＹＡＧロッド２
およびランプ４とを備えている。
振器１は密封され冷却水が充てんされた励起チャンバ１
ａと、励起チャンバ１ａ内に収納されたＹＡＧロッド２
およびランプ４とを備えている。
【００１４】またロッド２の外周にはガラス管３が配設
され、このガラス管３はチャンバ１ａから内方へ突出し
て設けられた枠体１７により保持されている。またロッ
ド２はその両端部において、枠体１７から内方へ延びる
支持体１８により支持されている（図１（ｂ）参照）。
ロッド２の各端部において、支持体１８はロッド２の外
周に複数、例えば９０゜ずつの間隙をもって４個配置さ
れており、このため支持体１８間は冷却水の流路となっ
ている。
され、このガラス管３はチャンバ１ａから内方へ突出し
て設けられた枠体１７により保持されている。またロッ
ド２はその両端部において、枠体１７から内方へ延びる
支持体１８により支持されている（図１（ｂ）参照）。
ロッド２の各端部において、支持体１８はロッド２の外
周に複数、例えば９０゜ずつの間隙をもって４個配置さ
れており、このため支持体１８間は冷却水の流路となっ
ている。
【００１５】またチャンバ１ａの側面であって、ロッド
２の両端面２ａ，２ｂに対向する部分に、各々反射ミラ
ー８および出力ミラー７が嵌込まれており、また反射ミ
ラー８および出力ミラー７と、チャンバ１ａの側面との
間にはシール１９が設けられている。
２の両端面２ａ，２ｂに対向する部分に、各々反射ミラ
ー８および出力ミラー７が嵌込まれており、また反射ミ
ラー８および出力ミラー７と、チャンバ１ａの側面との
間にはシール１９が設けられている。
【００１６】さらにまた、反射ミラー８の外面８ａには
全反射コーティングが施されるとともに、反射ミラー８
の内面８ｂはコーティングなしの研磨面となっている。
また出力ミラー７の外面７ａには部分反射コーティング
が施されるとともに、出力ミラー７の内面はコーティン
グなしの研磨面となっている。
全反射コーティングが施されるとともに、反射ミラー８
の内面８ｂはコーティングなしの研磨面となっている。
また出力ミラー７の外面７ａには部分反射コーティング
が施されるとともに、出力ミラー７の内面はコーティン
グなしの研磨面となっている。
【００１７】またロッド２の両端面２ａ，２ｂはコーテ
ィングなしの研磨面となっている。
ィングなしの研磨面となっている。
【００１８】次にこのような構成からなる本実施例の作
用について説明する。まず図１（ａ）（ｂ）においてラ
ンプ４からの光がＹＡＧロッド２に対して照射し、ＹＡ
Ｇロッド２が励起してレーザ光が誘電放出される。レー
ザ光はロッド２の両端面２ａ，２ｂから出射し、反射ミ
ラー８と出力ミラー７との間で多重反射して増幅され、
出射ミラー７を経て外方へ導かれる。この間、ランプ４
およびロッド２は、チャンバ１ａ内を流れる冷却水（純
水）によって冷却される。
用について説明する。まず図１（ａ）（ｂ）においてラ
ンプ４からの光がＹＡＧロッド２に対して照射し、ＹＡ
Ｇロッド２が励起してレーザ光が誘電放出される。レー
ザ光はロッド２の両端面２ａ，２ｂから出射し、反射ミ
ラー８と出力ミラー７との間で多重反射して増幅され、
出射ミラー７を経て外方へ導かれる。この間、ランプ４
およびロッド２は、チャンバ１ａ内を流れる冷却水（純
水）によって冷却される。
【００１９】本実施の形態によれば、ロッド２の両端面
２ａ，２ｂ、反射ミラー８の内面８ｂ、および出力ミラ
ー７の内面７ｂはいずれも純水と直接接触しているの
で、これらの面２ａ，２ｂ，８ｂ，７ｂにおける冷却水
との屈折率差が小さくなっている。このため、これらの
面２ａ，２ｂ，８ｂ，７ｂにおける反射は生じにくくな
っている。ロッド２の両端面２ａ，２ｂ、反射ミラー８
の内面８ｂ、および出力ミラー７の内面７ｂは、いずれ
もコーティングなしの研摩面となっているが、反射が生
じにくくなっているため、特にこれらの面２ａ，２ｂ，
８ｂ，７ｂに対してＡＲコーティングを施す必要はな
い。このためＡＲコーティングの損傷によるレーザ光の
出力低下が生じることはない。また従来のレーザ発振器
のようなロッドホルダ５ａ，５ｂを設ける必要はないの
で、チャンバ１ａ内の構造が簡略化される。さらにロッ
ド２は、ロッドホルダ５ａ，５ｂによって覆われる部分
はなく、全長にわたってチャンバ１ａ内に露出している
ので、ロッド２の全長にわたって、ランプ４から光を照
射することができ、ロッド２の有効利用を図ることがで
きる。
２ａ，２ｂ、反射ミラー８の内面８ｂ、および出力ミラ
ー７の内面７ｂはいずれも純水と直接接触しているの
で、これらの面２ａ，２ｂ，８ｂ，７ｂにおける冷却水
との屈折率差が小さくなっている。このため、これらの
面２ａ，２ｂ，８ｂ，７ｂにおける反射は生じにくくな
っている。ロッド２の両端面２ａ，２ｂ、反射ミラー８
の内面８ｂ、および出力ミラー７の内面７ｂは、いずれ
もコーティングなしの研摩面となっているが、反射が生
じにくくなっているため、特にこれらの面２ａ，２ｂ，
８ｂ，７ｂに対してＡＲコーティングを施す必要はな
い。このためＡＲコーティングの損傷によるレーザ光の
出力低下が生じることはない。また従来のレーザ発振器
のようなロッドホルダ５ａ，５ｂを設ける必要はないの
で、チャンバ１ａ内の構造が簡略化される。さらにロッ
ド２は、ロッドホルダ５ａ，５ｂによって覆われる部分
はなく、全長にわたってチャンバ１ａ内に露出している
ので、ロッド２の全長にわたって、ランプ４から光を照
射することができ、ロッド２の有効利用を図ることがで
きる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ロッドの
両端面が冷却水に接しているので、この両端面における
反射を少なくすることができる。このためロッドの両端
面にＡＲコーティングを施す必要はなく、ＡＲコーティ
ングの損傷によるレーザ光の出力低下を問題とすること
はない。
両端面が冷却水に接しているので、この両端面における
反射を少なくすることができる。このためロッドの両端
面にＡＲコーティングを施す必要はなく、ＡＲコーティ
ングの損傷によるレーザ光の出力低下を問題とすること
はない。
【図１】本発明によるレーザ発振器の一実施の形態を示
す図。
す図。
【図２】従来のレーザ発振器の一実施の形態を示す図。
１ レーザ発振器 １ａ 励起チャンバ ２ ＹＡＧロッド ２ａ，２ｂ 端面 ４ ランプ ７ 出力ミラー ７ａ 外面 ７ｂ 内面 ８ 反射ミラー ８ａ 外面 ８ｂ 内面 １７ 枠体 １８ 支持体
Claims (2)
- 【請求項１】密封され冷却水が充てんされた励起チャン
バと、 この励起チャンバ内に設けられたロッドおよびランプと
を備え、 励起チャンバ内にロッドを支持する支持体を設け、ロッ
ドは少なくともその両端面が励起チャンバ内の冷却水に
接するよう配置されていることを特徴とするレーザ発振
器。 - 【請求項２】励起チャンバの側面であって、ロッドの両
端面に対向する部分に、反射ミラーおよび出力ミラーを
各々取付けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29618796A JPH10144980A (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29618796A JPH10144980A (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10144980A true JPH10144980A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=17830302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29618796A Pending JPH10144980A (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10144980A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11101355B2 (en) | 2016-07-22 | 2021-08-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device, power circuit, and computer |
-
1996
- 1996-11-08 JP JP29618796A patent/JPH10144980A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11101355B2 (en) | 2016-07-22 | 2021-08-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device, power circuit, and computer |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040901 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040924 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050225 |