JPH03178175A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH03178175A JPH03178175A JP31675889A JP31675889A JPH03178175A JP H03178175 A JPH03178175 A JP H03178175A JP 31675889 A JP31675889 A JP 31675889A JP 31675889 A JP31675889 A JP 31675889A JP H03178175 A JPH03178175 A JP H03178175A
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ装置に関する。
従魚 固体レーザの発振装置において１転 励起用ラン
プの集光反射鏡、励起ランプ、ランプ電極とそのホルダ
ー及びレーザロッド等を気密容器に収納し 冷却水を循
環し励起用ランプとレーザロッドの発熱を防止している
。
プの集光反射鏡、励起ランプ、ランプ電極とそのホルダ
ー及びレーザロッド等を気密容器に収納し 冷却水を循
環し励起用ランプとレーザロッドの発熱を防止している
。
第３陳 第４図は従来の固体レーザ装置断面の模式図で
ある。従来の固体レーザの励起ランプの冷却方法４ふ
励起ランプ１４の電極！５がホルダ１６に保持され気密
容器１８の集光反射鏡１７の反射面内側に配設されてい
る。この励起ランプ１４は循環している純水等の液体１
３により冷却４されている。一方、集光反射鏡１７の内
側反射表面には高反射率の銖 金、クロム、アルミニウ
ムなどの金属メツキ層等が形成されている。なお、レー
ザ媒質１２の周囲は冷却管１１が配設され気密容器１８
内を仕切っており、レーザ媒質１２は冷却管ｌｌ内に流
通している液体１３＝ により冷却されている。
ある。従来の固体レーザの励起ランプの冷却方法４ふ
励起ランプ１４の電極！５がホルダ１６に保持され気密
容器１８の集光反射鏡１７の反射面内側に配設されてい
る。この励起ランプ１４は循環している純水等の液体１
３により冷却４されている。一方、集光反射鏡１７の内
側反射表面には高反射率の銖 金、クロム、アルミニウ
ムなどの金属メツキ層等が形成されている。なお、レー
ザ媒質１２の周囲は冷却管１１が配設され気密容器１８
内を仕切っており、レーザ媒質１２は冷却管ｌｌ内に流
通している液体１３＝ により冷却されている。
こうした水浸構造のレーザ装置で長時間レーザ発振を行
うと集光反射鏡の鏡面内に施されている高反射率の金属
メツキ層が変色や腐食等の障害をおこしたりして、レー
ザ発振効率の低下や時には発振不能に陥ったりする現象
が生じる欠点がありｔも 特に銀メツキをしたものに
ついては、Ｓｉｎ、などの保護層をコーティングしても
完全ではなく、変色 腐食の障害を引き起こし易い欠点
を有してい九 また、長期使用に伴い、気密容器内の冷却水の純度が低
下してくるという現象が発生し このため集光反射鏡の
反射率が低下したり、ランプ電極に異物が付着したり、
電極表面の電気的性質が変化したりして、電極ホルダと
ランプ電極の接触が不良となり、また、両電極間の絶縁
が破壊されるなどの障害が虫取 レーザ発振の効率が著
しく低下したり、発振不能になったりする。
うと集光反射鏡の鏡面内に施されている高反射率の金属
メツキ層が変色や腐食等の障害をおこしたりして、レー
ザ発振効率の低下や時には発振不能に陥ったりする現象
が生じる欠点がありｔも 特に銀メツキをしたものに
ついては、Ｓｉｎ、などの保護層をコーティングしても
完全ではなく、変色 腐食の障害を引き起こし易い欠点
を有してい九 また、長期使用に伴い、気密容器内の冷却水の純度が低
下してくるという現象が発生し このため集光反射鏡の
反射率が低下したり、ランプ電極に異物が付着したり、
電極表面の電気的性質が変化したりして、電極ホルダと
ランプ電極の接触が不良となり、また、両電極間の絶縁
が破壊されるなどの障害が虫取 レーザ発振の効率が著
しく低下したり、発振不能になったりする。
本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、その
目的は寿命の長いレーザ装置を提供しようとするもので
ある。
目的は寿命の長いレーザ装置を提供しようとするもので
ある。
本発明１転 前記課題を解決するため、以下のような手
段とした。
段とした。
本発明眠 レーザ媒質と、電力印加用電極を有する励起
源と、この励起源で励起された光を反射して前記レーザ
媒質に投射する反射鏡とを備えたレーザ装置において、
前記励起源を透明な冷却筐内に収容して冷却筐内を循環
冷却液で満た獣 その際、前記電極は冷却筐の外部に出
た状態とするととも＆ｌ 前記反射鏡も前記冷却筐の外
に配置してレーザ装置としム ここで、前記レーザ媒質を冷却する必要がある力曳 そ
の場合、前記冷却筐内に励起源とともに収容して冷却す
ること、あるい眠 前記冷却筐とは別の第２冷却筺内に
収容して循環冷却水で冷却するようにしてもよい。
源と、この励起源で励起された光を反射して前記レーザ
媒質に投射する反射鏡とを備えたレーザ装置において、
前記励起源を透明な冷却筐内に収容して冷却筐内を循環
冷却液で満た獣 その際、前記電極は冷却筐の外部に出
た状態とするととも＆ｌ 前記反射鏡も前記冷却筐の外
に配置してレーザ装置としム ここで、前記レーザ媒質を冷却する必要がある力曳 そ
の場合、前記冷却筐内に励起源とともに収容して冷却す
ること、あるい眠 前記冷却筐とは別の第２冷却筺内に
収容して循環冷却水で冷却するようにしてもよい。
また、本発明における冷却筐としては、透明なガラス管
が望ましいカー 冷却水を満たすことができて、しかも
、励起源で励起された光を透過させることができればど
のような形態でもよい。
が望ましいカー 冷却水を満たすことができて、しかも
、励起源で励起された光を透過させることができればど
のような形態でもよい。
さらに 前記レーザ媒質、励起源 反射鏡を気密性筐体
内に設け、この気密性筐体内において励起源を冷却筐内
に収容し その際、前記電極を冷却筐の外部でしかも、
気密性筐体の外部に出た状態にすると、さらに電極の保
護が良好となる。
内に設け、この気密性筐体内において励起源を冷却筐内
に収容し その際、前記電極を冷却筐の外部でしかも、
気密性筐体の外部に出た状態にすると、さらに電極の保
護が良好となる。
本発明でε九 電極 反射鏡を冷却筐の外部に配置しで
あるため、冷却水に電極や反射鏡が触れることがない。
あるため、冷却水に電極や反射鏡が触れることがない。
この点、冷却液が集光反射鏡面内のメツキ層や保護膜に
直接接触し流通している従来の装置と大きく異なる。
直接接触し流通している従来の装置と大きく異なる。
以下図面を参照して本発明について説明する。
第１Ｉａ 第２図は本発明の固体レーザ装置断面の模式
図である。
図である。
本実施例におけるレーザ装置ｉｌｌ 気密性筐体１内
に レーザ媒質２としてアレキサンドライト、励起源と
して２つのフラッシュランプ３、この励起源で励起され
た光を発振させる共振器を備え、前記各フラッシュラン
プ３は励起用電力を印加するための電極４をそれぞれ２
つ育成 また、前記共振器はフラッシュランプ３で励起
された光を反射して前記レーザ媒質２に投射する反射鏡
５を育成 反射鏡５はレーザ媒質２を挾んで一対設けら
れている。なお、気密性筐体１内は空気で満たされてい
る。
に レーザ媒質２としてアレキサンドライト、励起源と
して２つのフラッシュランプ３、この励起源で励起され
た光を発振させる共振器を備え、前記各フラッシュラン
プ３は励起用電力を印加するための電極４をそれぞれ２
つ育成 また、前記共振器はフラッシュランプ３で励起
された光を反射して前記レーザ媒質２に投射する反射鏡
５を育成 反射鏡５はレーザ媒質２を挾んで一対設けら
れている。なお、気密性筐体１内は空気で満たされてい
る。
そして、前記フラッシュランプ３屯 気密性筐体１内に
設けた透明なガラス管巣の第１冷却筐６内に収容されて
いる。その際、前記各電極４は第１冷却筐６の外部でし
かも、気密性筐体１の外部に出た状態となっている。ま
た、各電極４に眠電極を固定保持するための電極ホルダ
８がそれぞれ取り付けられている。さら＆気 第１冷却
筐６内は冷却液９としての純水で満たさ札 この純水は
図示しない循環手段で循環されるようになっている。
設けた透明なガラス管巣の第１冷却筐６内に収容されて
いる。その際、前記各電極４は第１冷却筐６の外部でし
かも、気密性筐体１の外部に出た状態となっている。ま
た、各電極４に眠電極を固定保持するための電極ホルダ
８がそれぞれ取り付けられている。さら＆気 第１冷却
筐６内は冷却液９としての純水で満たさ札 この純水は
図示しない循環手段で循環されるようになっている。
前記反射鏡５も気密性筐体１内ではあるが前記第１冷却
筐６の外に配置されている。反射鏡５は集光型で、その
鏡面に高反射率の金属メツキ層が形成されている。
筐６の外に配置されている。反射鏡５は集光型で、その
鏡面に高反射率の金属メツキ層が形成されている。
また、レーザ媒質２も気密性筐体１内に設けた透明ガラ
ス管部の第２冷却筺７内に収容さ也 この第２冷却筺７
内にも冷却液１０として純水が満たさ札 この純水も図
示しない循環手段で循環されるようになっている。この
循環手段は前記したフラッシュランプ冷却用の冷却液９
を循環させるための循環手段と共用しても、別個独立し
たものでもよい。また、前記第１冷却筐６とこの第２冷
却筐７とを連通管で接続し 冷却水９．１０が両冷却筺
を順次循環するようにしてもよい。
ス管部の第２冷却筺７内に収容さ也 この第２冷却筺７
内にも冷却液１０として純水が満たさ札 この純水も図
示しない循環手段で循環されるようになっている。この
循環手段は前記したフラッシュランプ冷却用の冷却液９
を循環させるための循環手段と共用しても、別個独立し
たものでもよい。また、前記第１冷却筐６とこの第２冷
却筐７とを連通管で接続し 冷却水９．１０が両冷却筺
を順次循環するようにしてもよい。
そして、フラッシュランプ３で励起された光１も冷却液
９、透明な冷却液を透過し 反射鏡５を反射獣 レーザ
媒質２に投入さ也 反対側の反射鏡５に反射さ也 再度
レーザ媒質２に投入さへ この繰り返しによる共振でレ
ーザ光が生成されて射出される。
９、透明な冷却液を透過し 反射鏡５を反射獣 レーザ
媒質２に投入さ也 反対側の反射鏡５に反射さ也 再度
レーザ媒質２に投入さへ この繰り返しによる共振でレ
ーザ光が生成されて射出される。
この間、フラッシュランプ３、及び、レーザ媒質２はそ
れぞ也 第１冷却筐６舷 第２冷却ｔ１１７内の冷却液
９．１０で冷却されるカー ここで、フラッシュランプ
３の電極４及び電極ホルダ８眠冷却筐の外部で、しかも
、気密性筐体１外に配設されるため冷却液９がこれら電
極４、電極ホルダ８と非接触となるため、冷却液９の純
度低下などに起因する電極４表面の電気的性質の変化は
なくなり、また電極４とホルダ８との電気的接触を損な
うことも無くなり、かつ画電極４間の絶縁は正常に維持
できる。
れぞ也 第１冷却筐６舷 第２冷却ｔ１１７内の冷却液
９．１０で冷却されるカー ここで、フラッシュランプ
３の電極４及び電極ホルダ８眠冷却筐の外部で、しかも
、気密性筐体１外に配設されるため冷却液９がこれら電
極４、電極ホルダ８と非接触となるため、冷却液９の純
度低下などに起因する電極４表面の電気的性質の変化は
なくなり、また電極４とホルダ８との電気的接触を損な
うことも無くなり、かつ画電極４間の絶縁は正常に維持
できる。
また、反射鏡５も冷却液９．１０に触れることがないの
で、鏡面の反射効率が常時良好に保たれる。
で、鏡面の反射効率が常時良好に保たれる。
この実施例では第１冷却筺６を用いて気密性筐体ｌを仕
切ってフラッシュランプ３を第１冷却筐６内に収容した
ことで、反射鏡５を冷却液９． １Ｏから切り離し ま
た電極４を気密性筐体１外に配置することにより、電極
４も冷却液から切り離すことができ、反射鏡５の鏡面部
の反射効率を低下させることなく、また電極４を正常に
維持できることにより長寿命のレーザ装置を提供できる
。
切ってフラッシュランプ３を第１冷却筐６内に収容した
ことで、反射鏡５を冷却液９． １Ｏから切り離し ま
た電極４を気密性筐体１外に配置することにより、電極
４も冷却液から切り離すことができ、反射鏡５の鏡面部
の反射効率を低下させることなく、また電極４を正常に
維持できることにより長寿命のレーザ装置を提供できる
。
しかも、電極４は気密性筺体１外にあるため、電極４か
ら発生する微細な放電現象による、気密性筺体１内の雰
囲気に影響を与えることもない。
ら発生する微細な放電現象による、気密性筺体１内の雰
囲気に影響を与えることもない。
なお、この冷却筐を形成する管はフラッシュランプ３の
発光波長域において透明なる物質、例えば合成石英ガラ
ス、天然石英ガラス、セリウムドープ天然石英ガラス、
パイレックス等によって形成されるとよい。
発光波長域において透明なる物質、例えば合成石英ガラ
ス、天然石英ガラス、セリウムドープ天然石英ガラス、
パイレックス等によって形成されるとよい。
また、励起源として（転 フラッシュランプ３に限らず
、放電 電光 レーザ、化学反応などによる光励起を行
えるもので、冷却を必要とするものを例示できる。
、放電 電光 レーザ、化学反応などによる光励起を行
えるもので、冷却を必要とするものを例示できる。
レーザ媒質２としては 前記したアレキサンドライトの
他、ルビー ガラス、チタニウム、サファイヤなどの固
体を使用できる。
他、ルビー ガラス、チタニウム、サファイヤなどの固
体を使用できる。
以上のように 本発明で１も 電板 反射鏡を冷却筐の
外部に配置したため、冷却水に電極や反射鏡が触れるこ
とがなく、その粘気 電極部を正常に維持でき、また、
反射鏡の鏡面部の反射効率を低下させることなくレーザ
装置を長寿命にすることができる。
外部に配置したため、冷却水に電極や反射鏡が触れるこ
とがなく、その粘気 電極部を正常に維持でき、また、
反射鏡の鏡面部の反射効率を低下させることなくレーザ
装置を長寿命にすることができる。
第１図は本発明のレーザ装置の正面断面図であり、第２
図は本発明のレーザ装置の側面断面図である。 第３図は従来のレーザ装置の正面断面図であり、第４図
は従来のレーザ装置の側面断面図である。 １・・気密性筺［２・・レーザ媒質、３・・フラッシュ
ランプ、４・・電板 ５・・反射ｉＬ６・・励起源収容
用の第１冷却筐、７・・レーザ媒質収容用の第２冷却筐
、９・・励起源用冷却法ｌＯ・・レーザ媒質用冷却札 第１図 第２図 第３図 ２ 第４図
図は本発明のレーザ装置の側面断面図である。 第３図は従来のレーザ装置の正面断面図であり、第４図
は従来のレーザ装置の側面断面図である。 １・・気密性筺［２・・レーザ媒質、３・・フラッシュ
ランプ、４・・電板 ５・・反射ｉＬ６・・励起源収容
用の第１冷却筐、７・・レーザ媒質収容用の第２冷却筐
、９・・励起源用冷却法ｌＯ・・レーザ媒質用冷却札 第１図 第２図 第３図 ２ 第４図
Claims (4)
- （１）レーザ媒質と、電力印加用電極を有する励起源と
、この励起源で励起された光を反射して前記レーザ媒質
に投射する反射鏡とを備えたレーザ装置において、前記
励起源を透明な冷却筐内に収容して冷却筐内を循環冷却
液で満たし、その際、前記電極は冷却筐の外部に出た状
態とするとともに、前記反射鏡も前記冷却筐の外に配置
したことを特徴とするレーザ装置。 - （２）前記レーザ媒質も冷却筐内に収容されることを特
徴とする請求項１記載のレーザ装置。 - （３）励起源を収容する冷却筐とレーザ媒質を収容する
冷却筐とは、互いに独立している請求項２記載のレーザ
装置。 - （４）前記レーザ媒質、励起源、反射鏡を気密性筐体内
に設け、この気密性筐体内において励起源を冷却筺内に
収容し、その際、前記電極を冷却筐の外部で、しかも、
気密性筐体の外部に出た状態とした請求項１ないし３い
ずれかに記載のレーザ装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31675889A JPH03178175A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | レーザ装置 |
| CA002031445A CA2031445A1 (en) | 1989-12-06 | 1990-12-04 | Laser device |
| US07/623,094 US5130999A (en) | 1989-12-06 | 1990-12-06 | Laser device |
| KR1019900019998A KR910013637A (ko) | 1989-12-06 | 1990-12-06 | 레이저장치 |
| EP19900123441 EP0431619A3 (en) | 1989-12-06 | 1990-12-06 | Laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31675889A JPH03178175A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03178175A true JPH03178175A (ja) | 1991-08-02 |
Family
ID=18080594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31675889A Pending JPH03178175A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03178175A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5473022A (en) * | 1993-09-04 | 1995-12-05 | Basf Aktiengesellschaft | Carboxyl-containing isobutene copolymers |
| DE112010000795T5 (de) | 2009-02-05 | 2012-07-05 | Omron Healthcare Co., Ltd. | Managementvorrichtung,Managementsystem und Managementverfahren |
-
1989
- 1989-12-06 JP JP31675889A patent/JPH03178175A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5473022A (en) * | 1993-09-04 | 1995-12-05 | Basf Aktiengesellschaft | Carboxyl-containing isobutene copolymers |
| DE112010000795T5 (de) | 2009-02-05 | 2012-07-05 | Omron Healthcare Co., Ltd. | Managementvorrichtung,Managementsystem und Managementverfahren |
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