JPH10144762A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送アームの移動と開口部におけるシャッタ
部材の開閉とのマッチングを確実に行うと共に、基板処
理装置内のスペースおよびコストを抑制する。 【解決手段】 搬送アーム２０およびシャッタ機構の制
御系は、搬送アーム２０の移動に機械的に連動してシャ
ッタ機構が動作する同一制御系となっているので、搬送
アーム２０の移動とシャッタ機構による開口部７ａの開
閉動作との動作マッチングが正確に図られて、搬送アー
ム２０とシャッタ部材１１との衝突は防止される。した
がって、この衝突による各部の破損やそれによるパーテ
ィクルの発生も解消される。また、この場合、従来のシ
ャッタ機構側の駆動系であるエアーシリンダやその制御
系である電磁弁部材などが省略されて、基板処理装置内
のスペースやそのコストが抑制される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
基板の電気特性の計測処理等の所定処理を行う基板処理
装置に開口部を通して基板を搬入または搬出する基板搬
送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の基板処理装置は、例えば
半導体装置製造用のクリーンルーム内などに配設されて
おり、複数の半導体ウエハを階層的に収納するカセット
キャリアから順次取り出した半導体ウエハを、基板搬送
装置によって開閉口を通して、半導体ウエハのＣ−Ｖ曲
線などの電気特性の計測など所定処理を施す測定装置内
に搬入し、その計測後、基板搬送装置によって開閉口を
通して測定装置外に半導体ウエハを搬出してカセットキ
ャリア内に再び回収するものであった。このような基板
処理装置の基板搬送装置について以下の図９に示してい
る。

【０００３】図９は従来の基板搬送装置の概略構成を示
す斜視図である。

【０００４】図９において、基板搬送装置３１は、円形
の半導体ウエハ３２の外周部をそのアーム部上に載置し
て半導体ウエハ３２の外周部を吸引した状態で、開口部
３３を通して測定装置３４内にその半導体ウエハ３２を
搬入、または、開口部３３を通して測定装置３４外にそ
の半導体ウエハ３２を搬出する。

【０００５】一方、この測定装置３４は、半導体ウエハ
３２のＣ−Ｖ曲線などの電気特性の計測処理を施すもの
であり、この計測処理は暗い状態で行われるので、開口
部３３には光を通さないシャッタ機構３５が設けられて
いる。このシャッタ機構３５は、開口部３３を覆う広さ
の板状のシャッタ部材３６と、このシャッタ部材３６の
下辺中央部にロッド先端が連結されており、シャッタ部
材３６を開口部３３に対して開位置と閉位置の間で上下
移動させる駆動部材としてのシャッタ駆動シリンダ３７
とを有している。

【０００６】これらの基板搬送装置３１とシャッタ機構
３５との動作は、図示しない各制御部によって、測定装
置３４に対する半導体ウエハ３２の搬入・搬出時にシャ
ッタ駆動シリンダ３７を駆動させて、シャッタ部材３６
を開口部３３に対して開位置となるように下方向に移動
させる構成となっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成では、
基板搬送装置３１とは別にシャッタ機構３５単独でシャ
ッタ駆動源としてのシャッタ駆動シリンダ３７を持って
おり、それぞれ個別に制御がなされていた。このよう
に、別系統の駆動制御を行っていることで、その搬送ア
ームの移動とシャッタ機構による開閉とのマッチングに
信頼性の低下を来すと共に、基板処理装置内でのスペー
ス面およびコスト面でも無駄があるという問題を有して
いた。例えば、基板搬送装置３１の搬送アームが暴走し
た場合、別系統の駆動制御であるため、シャッタ部材３
６によって開口部３３が閉ざされた状態のままで、半導
体ウエハ３２を載置した基板搬送装置３１の搬送アーム
がシャッタ部材３６に衝突する。このような衝突による
各部の破損やそれによるパーティクルが発生する。

【０００８】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、搬送アームの移動と開口部におけるシャッタ部材の
開閉動作とのマッチングを確実に行うと共に、基板処理
装置内でのスペース面およびコスト面でも無駄を省くこ
とができる基板搬送装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送装置
は、開閉自在なシャッタ部材を有する開口部を通して基
板処理装置に基板を搬入または搬出する基板搬送装置に
おいて、基板を保持しつつ、基板の搬送を行う搬送手段
と、開口部を通して基板処理装置に基板を搬入または搬
出するように搬送手段を移動させる駆動手段と、駆動手
段による搬送手段の移動に連動させてシャッタ部材の開
閉を行わせる連動手段と、を備えたことを特徴とするも
のである。

【００１０】従来は、搬送手段とシャッタ部材の開閉が
別々の制御系で制御され、搬送手段の移動とシャッタ部
材の開閉動作との動作マッチングがずれたり取れなくな
ったりすることに起因して衝突などの異常動作が起こっ
ていたが、上記構成により、搬送手段およびシャッタ部
材の開閉の制御系は連動手段により機械的に連動して動
作する同一制御系である駆動手段となっているので、搬
送手段の移動とシャッタ部材の開閉動作との動作マッチ
ングが正確に図られて、搬送手段とシャッタ部材との衝
突は解消されることになる。したがって、この衝突によ
る各部の破損やそれによるパーティクルの発生も解消さ
れることになる。また、従来のシャッタ部材開閉の駆動
系であるエアーシリンダやその制御系である電磁弁部材
などを、本発明においては省略することが可能となっ
て、基板処理装置内でのスペースやそのコストの無駄が
省略されることになる。

【００１１】また、本発明の基板搬送装置は、連動手段
が、一方端部がシャッタ部材に設けられたレバー部材
と、レバー部材の他方端部に設けられ、シャッタ部材を
開閉させるために揺動するレバー部材の回動中心となる
軸支部と、搬送手段の移動に連動させて、軸支部を回動
中心としてレバー部材を揺動させる揺動部材と、を備え
たことを特徴とするものである。

【００１２】この構成により、搬送手段の開閉口への接
近動作に連動してレバー部材はその軸支部を回動中心と
して揺動部材により一方向に揺動すると共にシャッタ部
材を下方に容易に揺動させ、また、搬送手段の開閉口か
らの離間動作に連動してレバー部材はその軸支部を回動
中心として揺動部材により他方向に揺動すると共にシャ
ッタ部材を上方に容易に揺動させ得るので、シャッタ部
材の開閉が搬送手段の移動に機械的に連動して容易かつ
正確になされる。

【００１３】さらに、本発明の基板搬送装置は、揺動部
材が、カム部材とカムフォロア部材とを備え、カム部材
とカムフォロア部材のうちいずれか一方が搬送手段に設
けられ、他方がレバー部材に設けられていることを特徴
とするものである。

【００１４】この構成により、カム部材とカムフォロア
部材を用いた搬送手段からレバー部材への機械的に連動
した動作が容易かつスムーズになされる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る基板搬送装置
を含む基板処理装置の実施形態について図面を参照して
説明する。

【００１６】図１は本発明の一実施形態における基板搬
送装置を含む基板処理装置の構成を示す正面図であり、
図２は図１の基板処理装置の構成を示すＡＡ′断面図で
ある。

【００１７】図１および図２において、基板処理装置１
上の左手前側には、複数の半導体ウエハ２を階層的に収
納するカセットキャリア３を基板載置台４上に載置し、
このカセットキャリア３と共にその基板載置台４を取り
出し位置から手前側にスライドさせて引き出し可能な構
成となっている。また、カセットキャリア３には半導体
ウエハ２を左右方向に搬入・搬出可能な開口部３ａが配
設されており、この開口部３ａに対向し得るようにイン
デクサアーム５が配設されている。このインデクサアー
ム５の下方位置にはトランスファアーム６が配設され、
その右側には、半導体ウエハ２に対してＣ−Ｖ曲線など
の電気特性の計測などの所定処理を施す測定室７が配設
されている。この測定室７には、半導体ウエハ２を左右
方向に搬入・搬出可能な開口部７ａが配設されており、
このトランスファアーム６の開口部７ａ側への接近移動
に連動して開口部７ａに対して開動作し、また、トラン
スファアーム６の開口部７ａ側からの離間移動に連動し
て開口部７ａに対して閉動作する開閉機構部としてのシ
ャッタ機構が配設されている。

【００１８】このインデクサアーム５のアーム駆動部８
は、カセットキャリア３とセンタリング部（図示せず）
の間および、このセンタリング部（図示せず）とトラン
スファアーム６の間でこのインデクサアーム５を左右方
向および上下方向に移動させる構成となっている。ま
た、インデクサアーム５は、そのアーム先端部で半導体
ウエハ２を下方から支持すると共に、その中央下面をア
ーム先端吸引部で吸引して導体ウエハ２を固定した状態
で、カセットキャリア３内に載置された半導体ウエハ２
を取り出すと共に、センタリング部（図示せず）で円形
の半導体ウエハ２の外径を挾み込むことによってインデ
クサアーム５の半導体ウエハ２の保持位置を調整した
後、インデクサアーム５は半導体ウエハ２をトランスフ
ァアーム６上へと下方に搬送させる。

【００１９】また、このトランスファアーム６は、半導
体ウエハ２に所定の計測を行う測定室７の搬入・搬出用
の開口部７ａを介して、測定室７内の半導体ウエハ載置
台９と、インデクサアーム５からの半導体ウエハ２の受
け取り位置との間で半導体ウエハ２の搬送を行うように
構成されている。また、測定室７では半導体ウエハ載置
台９は搬入・搬出位置と計測位置との間で移動可能な構
成となっている。

【００２０】ここで、トランスファアーム６の移動に連
動して開口部７ａに対して開閉動作をするシャッタ機構
について詳しく説明する。

【００２１】図３は図１および図２のトランスファアー
ム６およびそれによるシャッタ機構の概略構成を示す斜
視図である。

【００２２】図３において、測定室７の開口部７ａには
縦案内溝が形成されており、この縦案内溝に対して板状
で遮光性のシャッタ部材１１が下方から挿入または引出
し自在に配設されている。この縦案内溝内に板状のシャ
ッタ部材１１を挿入した場合に開口部７ａは遮閉状態と
なり、また、縦案内溝内から板状のシャッタ部材１１を
引き抜いた場合に開口部７ａは開放状態となる。また、
このシャッタ部材１１の下辺中央部にはジョイント部材
１２が連結されており、このジョイント部材１２にはト
ランスファアーム６側に対向するように凹部１３が形成
されている。この凹部１３内にはべアリングを介して遊
嵌しているレバー部材としてのリンクレバー１４の一方
先端部が配設されている。また、トランスファアーム６
にはローラ状のカムフォロア１５が固定され、リンクレ
バー１４の他方端近傍位置の下面側には上記一方先端部
側に傾斜した傾斜面を有するカム部材としての台形ブロ
ック１６が固定されて設けられている。さらに、このリ
ンクレバー１４の他方端は軸支されており、トランスフ
ァアーム６と共にカムフォロア１５が測定室７の開口部
７ａ側に接近または離間するときに、カムフォロア１５
が台形ブロック１６の傾斜面に沿って移動することによ
って、ジョイント部材１２に遊嵌したリンクレバー１４
の一方先端部が所定範囲内で上下方向に揺動する構成と
なっている。これらのカムフォロア１５および台形ブロ
ック１６によりレバー揺動部材１７が構成され、トラン
スファアーム６の開口部７ａへの接近または開口部７ａ
からの離間に連動してリンクレバー１４を上下方向に揺
動させる構成である。また、これらのシャッタ部材１
１、ジョイント部材１２、リンクレバー１４およびレバ
ー揺動部材１７によってシャッタ機構が構成されてお
り、トランスファアーム６の開口部７ａへの接近または
開口部７ａからの離間に連動して開口部７ａの開閉動作
を行う構成となっている。

【００２３】図４は図３のトランスファアーム６および
それによるシャッタ機構の構成を示す側面図であり、図
４を参照して図３の構成をさらに詳しく説明する。

【００２４】図４において、トランスファアーム６のア
ーム部材１８の一方側上には半導体ウエハ２が載置可能
に構成され、アーム部材１８の他方側はベース部材１９
で支持されている。これらのベース部材１９およびアー
ム部材１８により搬送アーム２０が構成され、開口部７
ａを介して測定室７内に半導体ウエハ２を搬入または搬
出可能なように、案内部材（図示せず）で案内されて移
動自在に構成されている。また、電力を供給するケーブ
ルと、アーム部材１８上の円弧状溝を介して半導体ウエ
ハ２を固定すべく吸引する吸引用管とが収納され、搬送
アーム２０による半導体ウエハ２の搬送に伴ってフレキ
シブルに屈曲する屈曲部材２１の一方端はベース部材１
９に連結され、また、屈曲部材２１の他方端は架台２２
上に連結されており、搬送アーム２０の移動によってケ
ーブルや吸引配管が絡んでトラブルの原因にならないよ
うになっている。

【００２５】また、この搬送アーム２０の駆動源として
の駆動モータの駆動軸２３はプーリ２４に回転軸心を同
一として連結しており、このプーリ２４の左右側には図
６に示す搬送アーム２０の移動ストロークＢに合わせて
プーリ２５，２６が配設されている。これらのプーリ２
４，２５，２６にはワイヤ２７が巻回されており、モー
タ駆動軸２３の駆動によって、プーリ２５，２６間のワ
イヤ２７も水平方向Ｃに移動するが、搬送アーム２０の
ベース部材１９に図５に示すようなワイヤ２７の終端部
２７ａが固定され、ワイヤ２７と共に搬送アーム２０が
移動自在に構成されている。

【００２６】さらに、カムフォロア１５と台形ブロック
１６との関係は、図６に示すように、搬送アーム２０が
測定室７の開口部７ａから離れる方向に移動するに連れ
て、搬送アーム２０と一体的に移動するカムフォロア１
５は台形ブロック１６の傾斜面を押し上げることで、軸
支部２８を回動中心として軸支部２８とは反対側のリン
クレバー１４の一方端部は上方向に揺動することにな
る。このリンクレバー１４の上方向の揺動でシャッタ部
材１１は、開口部７ａの縦案内溝内に挿入されて開口部
７ａは遮閉状態となる。また、搬送アーム２０が測定室
７の開口部７ａに外側から接近する方向に移動する場合
には、搬送アーム２０と一体的に移動するカムフォロア
１５の移動により台形ブロック１６は自重で下がること
で、軸支部２８を回動中心として軸支部２８とは反対側
のリンクレバー１４の一方端部はその自重によって下方
向に揺動することになる。このリンクレバー１４の下方
向の揺動で、シャッタ部材１１は、開口部７ａの縦案内
溝内から引き出されて開口部７ａは開放状態となる。こ
の搬送アーム２０に、屈曲部材２１や、駆動モータおよ
びその駆動軸２３、プーリ２４，２５，２６、ワイヤ２
７などの駆動系を含めてトランスファアーム６が構成さ
れており、また、このトランスファアーム６にシャッタ
機構を加えて基板搬送装置２９が構成されている。

【００２７】この構成により、以下、その動作を説明す
る。

【００２８】まず、オペレータが装置本体奥側に入るこ
となく、手前側にスライドされたカセット載置部４上に
カセットキャリア３をセットし、カセットキャリア３と
共にセット載置部４を装置本体奥側のウエハ取出位置に
スライドさせてセットする。

【００２９】次に、インデクサアーム５の先端吸引部が
カセットキャリア３の開口部３ａ内に移動し、カセット
キャリア３内に載置された半導体ウエハ２の中央下面を
支持すると共に吸引して開口部３ａ外に取り出した後、
センタリング部（図示せず）で円形の半導体ウエハ２の
外径を挾み込むことによってインデクサアーム５の半導
体ウエハ保持位置のセンター合わせをしてウエハ保持位
置の調整をする。

【００３０】さらに、インデクサアーム５は半導体ウエ
ハ２を下方のトランスファアーム６上に搬送する。この
トランスファアーム６は、そのアーム部材１８上で半導
体ウエハ２を固定すべく円弧状溝を介して吸引した固定
状態で測定室７内の半導体ウエハ載置台９に向けて搬送
することになる。

【００３１】このとき、トランスファアーム６の搬送ア
ーム２０は半導体ウエハ２と共に、開口部７ａに接近す
るように移動しており、搬送アーム２０と一体的に移動
するカムフォロア１５の移動により台形ブロック１６は
自重で下がることで、軸支部２８を回動中心としてリン
クレバー１４の一方端部はシャッタ部材１１と共にその
自重によって下方向に揺動することになる。このシャッ
タ部材１１の下方向の揺動で、開口部７ａの縦案内溝内
から板状のシャッタ部材１１が引き抜かれて開口部７ａ
は開放状態となる。

【００３２】このように、トランスファアーム６の移動
に機械的に連動するシャッタ機構によって開放状態とな
った搬入・搬出用の開口部７ａを介して、トランスファ
アーム６は、半導体ウエハ２を測定室７内の半導体ウエ
ハ載置台９上に搬送する。その後、搬送アーム２０は、
開口部７ａから外側に向けて移動し、搬送アーム２０と
一体的に移動するカムフォロア１５は台形ブロック１６
の傾斜面を押し上げることで、軸支部２８を回動中心と
してリンクレバー１４の一方端部はシャッタ部材１１と
共にその自重に抗して上方向に揺動することになる。こ
のシャッタ部材１１の上方向の揺動で、開口部７ａの縦
案内溝内へ板状のシャッタ部材１１が挿入されて開口部
７ａは遮閉状態となる。

【００３３】これによって、測定室７内は遮光状態でか
つ密閉状態となり、測定室７内の半導体ウエハ載置台９
上に載置された半導体ウエハ２は半導体ウエハ載置台９
と共に計測位置に移動してＣ−Ｖ曲線などの電気特性の
正確な測定がなされた後に搬入・搬出位置に戻され、上
記した場合と同様に、搬入・搬出用の開口部７ａを開放
状態として、トランスファアーム６およびシャッタ機構
よりなる基板搬送装置２９によって半導体ウエハ２が取
り出されることになり、その後、開口部７ａは遮閉状態
となる。

【００３４】このようにして、所定の計測が完了した半
導体ウエハ２は、トランスファアーム６から受け渡され
たインデクサアーム５によってカセットキャリア３内に
再び回収されることになる。

【００３５】従来は、搬送アーム２０とシャッタ機構が
別々の制御系で制御され、搬送アーム２０の移動とシャ
ッタ機構による開口部７ａの開閉動作との動作マッチン
グが何らかのトラブルによってずれたり取れなくなった
りすることに起因して衝突などの異常動作が起こってい
たが、上記構成により、搬送アーム２０およびシャッタ
機構の制御系は、搬送アーム２０の移動に機械的に連動
してシャッタ機構が動作する同一制御系となっているの
で、搬送アーム２０の移動とシャッタ機構による開口部
７ａの開閉動作との動作マッチングが正確に図られて、
搬送アーム２０とシャッタ部材１１との衝突は防止され
ることになる。したがって、半導体装置製造用などのク
リーンルーム内において、この衝突による各部の破損や
それによるパーティクルの発生も解消されることにな
る。また、この場合、シャッタ機構側の駆動系であるエ
アーシリンダやその制御系である電磁弁部材などを省略
することができて、クリーンルーム内の設置スペースや
そのコストを抑えることができる。

【００３６】なお、本実施形態では、搬送アーム２０の
開口部７ａへの接近動作に連動してレバー部材であるリ
ンクレバー１４はその軸支部２８を回動中心としてリン
クレバー１４と共にシャッタ部材１１をそれらの自重で
下方に揺動させて開口部７ａを開放状態とし、また、搬
送アーム２０の開口部７ａから外側への離間動作に連動
してリンクレバー１４はその軸支部２８を回動中心とし
てリンクレバー１４と共にシャッタ部材１１を上方に揺
動させて開口部７ａを遮閉状態とするように構成した
が、リンクレバー１４およびシャッタ部材１１の下方へ
の揺動力として、それらの自重に加えてばね部材による
荷重などを下方向に加えるように構成してもよい。この
場合には、シャッタ部材１１の下方への揺動の不動作を
より抑制することができる。また、これとは逆に、他方
端部に軸支部２８を有するリンクレバー１４にばね部材
による荷重などを上方向に付勢した状態で、搬送アーム
２０の開口部７ａへの接近動作、または、搬送アーム２
０の開口部７ａからの離間動作に連動して、その軸支部
２８を回動中心としてリンクレバー１４と共にシャッタ
部材１１を下方または上方に揺動させて開口部７ａを開
閉するように構成してもよい。

【００３７】また、本実施形態では、図３〜図６に示す
ように、リンクレバー１４の揺動は、カムフォロア部材
１５が搬送アーム２０のベース部材１９に固定され、カ
ム部材としての台形ブロック１６がリンクレバー１４の
下面部に固定されている構成としたが、図７および図８
に示すように、カム部材としての台形ブロック１６ａが
搬送アーム２０のベース部材１９に固定され、カムフォ
ロア部材１５ａがリンクレバー１４に固定されている構
成としてもよい。つまり、搬送アーム２０の開口部７ａ
への接近または開口部７ａから外側への離間に連動して
シャッタ部材１１による開口部７ａの開閉動作を行うよ
うな構成であればよい。これらの図７および図８におい
て、図３〜図６の場合と同様の作用効果を奏する部材に
は同一の符号を付してその説明を省略している。

【００３８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、搬送手段
およびシャッタ部材開閉の制御系は連結手段により機械
的に連動して動作する同一制御系となっているため、搬
送手段の移動とシャッタ部材による開閉動作との動作マ
ッチングを正確に図ることができて、搬送手段とシャッ
タ部材との衝突を防止することができる。したがって、
この衝突による各部の破損やそれによるパーティクルの
発生をも防止することができる。また、従来のシャッタ
部材開閉の駆動系であるエアーシリンダやその制御系で
ある電磁弁部材などを省略することができて、基板処理
装置内のスペースやそのコストを抑制することができ
る。

【００３９】また、本発明によれば、搬送手段の開口部
への接近動作に連動してレバー部材はその軸支部を回動
中心として揺動部材により一方向に揺動すると共にシャ
ッタ部材を下方に揺動させ、また、搬送手段の開口部か
らの離間動作に連動してレバー部材はその軸支部を回動
中心として揺動部材により他方向に揺動すると共にシャ
ッタ部材を上方に揺動させ得るので、シャッタ部材の開
閉が搬送手段の動作に機械的に連動して容易かつ正確に
行うことができる。

【００４０】さらに、本発明によれば、揺動部材が、カ
ム部材とカムフォロア部材で構成されているため、搬送
手段からレバー部材への機械的に連動した動作を容易か
つスムーズに行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態における基板搬送装置を含
む基板処理装置の構成を示す正面図である。

【図２】図１の基板処理装置の構成を示すＡＡ′断面図
である。

【図３】図１および図２のトランスファアームおよびそ
れによるシャッタ機構の概略構成を示す斜視図である。

【図４】図３のトランスファアームおよびそれによるシ
ャッタ機構の構成を示す側面図である。

【図５】図３のトランスファアームの駆動系の構成を示
す側面図である。

【図６】図３のレバー揺動部材の構成を示す一部側面図
である。

【図７】図１および図２のトランスファアームおよびそ
れによるシャッタ機構とは別の実施形態における概略構
成を示す斜視図である。

【図８】図７のレバー揺動部材の構成を示す一部側面図
である。

【図９】従来の基板搬送装置の概略構成を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 ２ 半導体ウエハ ６ トランスファアーム ７ 測定室 ７ａ 開口部 １１ シャッタ部材 １２ ジョイント部材 １４ リンクレバー １５ カムフォロア １６ 台形ブロック １７ レバー揺動部材 １８ アーム部材 １９ ベース部材 ２０ 搬送アーム ２３ 駆動モータの駆動軸 ２４，２５，２６ プーリ ２７ ワイヤ ２８ 軸支部 ２９ 基板搬送装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 開閉自在なシャッタ部材を有する開口部
   を通して基板処理装置に基板を搬入または搬出する基板
   搬送装置において、 基板を保持しつつ、基板の搬送を行う搬送手段と、 前記開口部を通して前記基板処理装置に基板を搬入また
   は搬出するように前記搬送手段を移動させる駆動手段
   と、 前記駆動手段による前記搬送手段の移動に連動させて前
   記シャッタ部材の開閉を行わせる連動手段と、を備えた
   ことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板搬送装置において、 前記連動手段は、 一方端部が前記シャッタ部材に設けられたレバー部材
   と、 前記レバー部材の他方端部に設けられ、前記シャッタ部
   材を開閉させるために揺動する前記レバー部材の回動中
   心となる軸支部と、 前記搬送手段の移動に連動させて、前記軸支部を回動中
   心として前記レバー部材を揺動させる揺動部材と、を備
   えたことを特徴とする基板搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の基板搬送装置において、 前記揺動部材は、カム部材とカムフォロア部材とを備
   え、 前記カム部材と前記カムフォロア部材のうちいずれか一
   方が前記搬送手段に設けられ、他方が前記レバー部材に
   設けられていることを特徴とする基板搬送装置。